JP2007526476A - 化合物半導体を用いたnoの検出並びにnoを検出するためのセンサ及びデバイス - Google Patents
化合物半導体を用いたnoの検出並びにnoを検出するためのセンサ及びデバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007526476A JP2007526476A JP2007501426A JP2007501426A JP2007526476A JP 2007526476 A JP2007526476 A JP 2007526476A JP 2007501426 A JP2007501426 A JP 2007501426A JP 2007501426 A JP2007501426 A JP 2007501426A JP 2007526476 A JP2007526476 A JP 2007526476A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- compound semiconductor
- organic compound
- thiophene
- conduit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 37
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 title claims abstract description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title abstract description 9
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 26
- 230000000241 respiratory effect Effects 0.000 claims abstract description 4
- YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N Thiophene Chemical compound C=1C=CSC=1 YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 18
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 14
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 13
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 12
- 239000002070 nanowire Substances 0.000 claims description 11
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 10
- 229930192474 thiophene Natural products 0.000 claims description 10
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 7
- SLIUAWYAILUBJU-UHFFFAOYSA-N pentacene Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC4=CC5=CC=CC=C5C=C4C=C3C=C21 SLIUAWYAILUBJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 6
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 claims description 4
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 230000005669 field effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 4
- 230000029058 respiratory gaseous exchange Effects 0.000 claims description 4
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical group [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 claims description 2
- 229910052760 oxygen Chemical group 0.000 claims description 2
- 239000001301 oxygen Chemical group 0.000 claims description 2
- -1 polyphenylene vinylene Polymers 0.000 claims 6
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 5
- 150000004982 aromatic amines Chemical class 0.000 claims 4
- 125000005582 pentacene group Chemical group 0.000 claims 4
- 229920000553 poly(phenylenevinylene) Polymers 0.000 claims 4
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 3
- 125000005842 heteroatom Chemical group 0.000 claims 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims 3
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 claims 3
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 claims 3
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 claims 2
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 claims 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 1
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 210000004072 lung Anatomy 0.000 abstract description 6
- 210000002345 respiratory system Anatomy 0.000 abstract description 6
- 238000004868 gas analysis Methods 0.000 abstract description 2
- MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N Nitric oxide Chemical compound O=[N] MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 28
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 206010061218 Inflammation Diseases 0.000 description 4
- 208000006673 asthma Diseases 0.000 description 4
- 230000004054 inflammatory process Effects 0.000 description 4
- 239000002071 nanotube Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 2
- 239000002800 charge carrier Substances 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 230000036541 health Effects 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 206010027654 Allergic conditions Diseases 0.000 description 1
- 206010001889 Alveolitis Diseases 0.000 description 1
- 229910000673 Indium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 208000019693 Lung disease Diseases 0.000 description 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000577 Silicon-germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- UHYPYGJEEGLRJD-UHFFFAOYSA-N cadmium(2+);selenium(2-) Chemical compound [Se-2].[Cd+2] UHYPYGJEEGLRJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002322 conducting polymer Substances 0.000 description 1
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 210000000981 epithelium Anatomy 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000005281 excited state Effects 0.000 description 1
- 201000001155 extrinsic allergic alveolitis Diseases 0.000 description 1
- 230000005182 global health Effects 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005283 ground state Effects 0.000 description 1
- 208000022098 hypersensitivity pneumonitis Diseases 0.000 description 1
- RPQDHPTXJYYUPQ-UHFFFAOYSA-N indium arsenide Chemical compound [In]#[As] RPQDHPTXJYYUPQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 208000027866 inflammatory disease Diseases 0.000 description 1
- 230000002757 inflammatory effect Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000004199 lung function Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 210000001331 nose Anatomy 0.000 description 1
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 1
- 238000006552 photochemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000035479 physiological effects, processes and functions Effects 0.000 description 1
- 230000002685 pulmonary effect Effects 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- SBIBMFFZSBJNJF-UHFFFAOYSA-N selenium;zinc Chemical compound [Se]=[Zn] SBIBMFFZSBJNJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004557 single molecule detection Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
- G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
- G01N33/0027—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector
- G01N33/0036—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector specially adapted to detect a particular component
- G01N33/0037—NOx
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B5/00—Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
- A61B5/08—Detecting, measuring or recording devices for evaluating the respiratory organs
- A61B5/083—Measuring rate of metabolism by using breath test, e.g. measuring rate of oxygen consumption
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B5/00—Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
- A61B5/41—Detecting, measuring or recording for evaluating the immune or lymphatic systems
- A61B5/411—Detecting or monitoring allergy or intolerance reactions to an allergenic agent or substance
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/125—Composition of the body, e.g. the composition of its sensitive layer
- G01N27/126—Composition of the body, e.g. the composition of its sensitive layer comprising organic polymers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/414—Ion-sensitive or chemical field-effect transistors, i.e. ISFETS or CHEMFETS
- G01N27/4146—Ion-sensitive or chemical field-effect transistors, i.e. ISFETS or CHEMFETS involving nanosized elements, e.g. nanotubes, nanowires
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/48—Biological material, e.g. blood, urine; Haemocytometers
- G01N33/483—Physical analysis of biological material
- G01N33/497—Physical analysis of biological material of gaseous biological material, e.g. breath
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02A—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
- Y02A50/00—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE in human health protection, e.g. against extreme weather
- Y02A50/20—Air quality improvement or preservation, e.g. vehicle emission control or emission reduction by using catalytic converters
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T436/00—Chemistry: analytical and immunological testing
- Y10T436/17—Nitrogen containing
- Y10T436/177692—Oxides of nitrogen
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Pathology (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Immunology (AREA)
- Biophysics (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Heart & Thoracic Surgery (AREA)
- Medical Informatics (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Public Health (AREA)
- Animal Behavior & Ethology (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Veterinary Medicine (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Surgery (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Food Science & Technology (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Pulmonology (AREA)
- Physiology (AREA)
- Obesity (AREA)
- Emergency Medicine (AREA)
- Vascular Medicine (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Investigating Or Analysing Biological Materials (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
本発明は、NOを検出する有機化合物半導体の使用と、斯かる化合物がNOの検出に使用されるセンサ(18)及びデバイス(19)とに関する。そのデバイス(9)は、肺及び呼吸管の状態及び/又は機能を予測するのに使用されることができる呼吸ガス分析を、簡単で無侵襲な方法で行うことを可能にする。そのセンサ(18)は、より詳細には、ナノスケールFETタイプの構造を持つ。
Description
本発明は、生きている人間の呼吸サイクルの間に生成されるようなガス混合体における酸化窒素NOを検出することに関し、その結果、生きている人間に属する現在の肺機能が正常であるか、又は所定の正常レベルから外れるかどうかを決定することが可能となる。
肺胞細胞と呼吸管上皮とが内因性(endogenous)酸化窒素を生み出すこと、並びにこの酸化窒素が呼吸管及び/又は肺において空中に分泌されることが知られている。従って、分泌された酸化窒素の一部は、呼気において測定されることができる。
更に、肺及び呼吸管における内因性酸化窒素の生成の評価が、肺及び呼吸管の状態及び/又は機能、つまり肺の状態又は機能の測定を与えることが知られている。
喘息及び肺胞炎といった炎症性肺疾患の場合には、炎症によって酸化窒素濃度が増加するので、呼気における酸化窒素濃度が通常より高いことが更に観察されている。そこで、酸化窒素濃度は、肺における炎症及び炎症性疾患のインジケータとして使用されることができる。例えば、喘息、又は、肺及び/若しくは呼吸管の炎症を生じるいずれかのアレルギー的な状態などのインジケータとなる。
喘息は、深刻かつ大きくなりつつある世界的な健康問題を構成する。今日およそ2500万人もの人々がヨーロッパにおいて喘息に苦しんでいる。
呼吸ガス分析は、簡単で無侵襲な方法であり、炎症についての医療的な経路測定(clinical routing measurement)に用いられることができる。
現在のところ、呼気分析は、化学発光法によるアナライザを用いて、医療センタの機能研究所においてのみ行われる。こうしたNOアナライザは、NOとオゾンとの間の光化学反応を利用する。
NO + O3 → NO2 (と NO2*) + O2.
NO2* → NO2 + hv.
NO + O3 → NO2 (と NO2*) + O2.
NO2* → NO2 + hv.
形成されるNO2の約10-20%が、電子的に励起された状態(NO2*)で生成され、基底状態への遷移の過程で光を発する。光は、590-2600nmの波長領域で発せられ、その強度は、反応室を通過するNOの質量流量に比例する。NOに関する検出限界は、およそ1 ppbであり、それは、正常又は異常な生理機能(0-200 ppb)を伴う被験者における呼気NOのレベルを考慮するには十分である。NO検出のための化学発光アナライザの不利な点は、それらが比較的高価(通常40.000ドル)であり、かつその装置がかさばる(例えば、持ち運びできない)ものである点である。こうした側面は、化学発光アナライザを、家庭での使用(個人健康監視の場合)又は一般開業医による使用にとって魅力的でないものにしている。そこで、個人の健康監視のために使い捨てデバイスの形式で実際に使用されることができるよう、比較的低コストであり小型化されたNO検出デバイスを持つことは非常に利点があることになる。
斯かるプロセス及びデバイスが、そのデバイスにおいて使用されるセンサと共に、現在発見された:それらは、より具体的には、有機化合物半導体(organic semi-conducting compound)の使用に基づく。
従って、本発明は、第1の側面において、NOを検出するための有機化合物半導体の使用に関する。
一般に、有機化合物半導体を用いてガスを検出する検出器が知られている。これらはしばしば電子の鼻(electronic nose)と呼ばれる。しかしながら、NOを検出するための具体的な例は文献において記述されていない。更に、非有機化合物半導体がガス検出器として使用され、NOを検出する具体的な例も、B.Fruhbergerその他による、Sensors and Actuators B76 (2001)、226-234から知られている。このセンサは、250℃という高温で動作するWO3薄膜化学抵抗センサ素子に基づかれる。しかしながら、このセンサ素子は、厳密に言えばNOに敏感ではなく、従って、人間の息のような複雑なガス混合体におけるNOを測定するには追加的なフィルタが必要とされる。
本発明は、それ自身が酸化窒素に反応することができる有機化合物半導体を扱う。従って、原理上は、追加的なフィルタは必要とされず、センサは、室温で動作することができる。
本使用の好ましい実施形態が、請求項2−4に記載される。
いわゆる電子の鼻の導電センサ(conductivity sensor)においてガスの検出のために導電ポリマとしてチオフェンを使用することは、それ自体国際公開番号第02/44698号において観察される。それにも関わらず、酸化窒素NOを検出するのにチオフェンを使用することは、この参照において記述されることも提案されることもなされていない。
本使用において、ペンタセンが好ましい化合物半導体である。なぜなら、ペンタセンは、(人の吐いた)空気中の主要な成分である水と酸素との両方に反応しないという利点があるからでる。
本発明は、第2の側面において、NOを含むガス混合体におけるNOの量を測定するプロセスに関する。そこでは、NOの量は有機化合物半導体を用いて測定される。その有機化合物の電気的特性は、NOとの反応に応じて変化する。その変化は、そのガス混合体に存在するNOの量に関する直接又は間接の測定として利用される。
本プロセスの好ましい実施形態が請求項6−10に記載される。
ガス混合体におけるNOを監視するセンサ、FETタイプの素子及び空気混合体のNO成分を決定するデバイスがクレーム11−17、18−20及び21−22にそれぞれ記載され、対応する図面を参照して以下に説明されることになる。
上記に示されたように、有機電界効果トランジスタが、酸化窒素の検出のためにクレームされる。そこで、本書において以下説明されるように、有機半導体物質が、よく知られた従来の平面FET構造又はナノスケールのFET構造に適用されることができる。
従来の平面FET
平面電界効果トランジスタ(FET)が図1に与えられ、それはいくつかの層からなる:ゲート電極3、誘電層5、及びソース/ドレイン接点1と2。この場合、誘電体は、有機半導体物質4で覆われる。有機半導体物質へのNOのバインディング(binding)が、結果として、トランジスタ構造内の電荷担体の減少又は生成をもたらす。斯かるいわゆる化学的に起動される(chemically activated)FETの魅力的な特徴は、酸化窒素のバインディングがコンダクタンス又は関連する特性における直接的な変化により測定されることができる点にある。
平面電界効果トランジスタ(FET)が図1に与えられ、それはいくつかの層からなる:ゲート電極3、誘電層5、及びソース/ドレイン接点1と2。この場合、誘電体は、有機半導体物質4で覆われる。有機半導体物質へのNOのバインディング(binding)が、結果として、トランジスタ構造内の電荷担体の減少又は生成をもたらす。斯かるいわゆる化学的に起動される(chemically activated)FETの魅力的な特徴は、酸化窒素のバインディングがコンダクタンス又は関連する特性における直接的な変化により測定されることができる点にある。
コンダクタンスにおける斯かる変化が、図2において概略的に表わされる。そこではy軸が、コンダクタンスσを、x軸が時間tを表わす。時間点t0は、有機化合物半導体がNOと接触状態になり始める時間を表わす。
明らかに、有機半導体層の厚さ及びドーパント濃度は、最適な感度を達成するために重要なパラメタである:例えば、薄い層、及び低ドープ又は内因性(intrinsic)の物質は、低いNO濃度には反応することになるが、一層素早く「飽和」されることになる。
ナノスケールFET
従来の平面構造の検出特性を一層改善するために、ナノスケールFETが使用されることができる。斯かるナノスケールデバイスの例が、近年の論文であるCui、Wei及びLiederによるScience 293、1289(2001)やKong、Franklin、Zhou、Chapline、Peng、Cho及びDaiによるScience 287、622(2000)に与えられる。斯かるナノワイヤ又はナノチューブセンサの概略的な図が図3a及び図3bに与えられ、複数のナノワイヤ又はナノチューブ8a−8dでブリッジされる金属電極6及び7を有する。ナノワイヤ又はナノチューブの表面への酸化窒素のバインディングは、結果として、ナノメータ直径構造の「バルク」における電荷担体の減少又は生成をもたらすことができる。原理上は、単一分子検出が可能である。酸化窒素に対するナノスケールFETの感度及び選択性は、ナノワイヤ又はナノチューブを、本発明による有機半導体物質の層で覆うことにより得られる。
従来の平面構造の検出特性を一層改善するために、ナノスケールFETが使用されることができる。斯かるナノスケールデバイスの例が、近年の論文であるCui、Wei及びLiederによるScience 293、1289(2001)やKong、Franklin、Zhou、Chapline、Peng、Cho及びDaiによるScience 287、622(2000)に与えられる。斯かるナノワイヤ又はナノチューブセンサの概略的な図が図3a及び図3bに与えられ、複数のナノワイヤ又はナノチューブ8a−8dでブリッジされる金属電極6及び7を有する。ナノワイヤ又はナノチューブの表面への酸化窒素のバインディングは、結果として、ナノメータ直径構造の「バルク」における電荷担体の減少又は生成をもたらすことができる。原理上は、単一分子検出が可能である。酸化窒素に対するナノスケールFETの感度及び選択性は、ナノワイヤ又はナノチューブを、本発明による有機半導体物質の層で覆うことにより得られる。
ナノワイヤは、触媒成長中心として機能する、例えば金粒子を備える表面を用いるいわゆるヴェイパ・リキッド・ソリッド(VLS)成長法を例えば用いて成長させることができる。Xiangfeng Duan及びCharles、M.LieberによるAdvanced Materials 12、298 (2000)参照。二元又は三元III-V、II-VI、IV-IV群元素の広い範囲が、例えば、GaAs、GaP、GaN、InP、GaAs/P、InAs/P、ZnS、ZnSe、CdS、CdSe、ZnO、SiGeなどのようにして合成されることができる。ナノワイヤの直径は、触媒のAu粒子の大きさによって、粗いスケールで制御されることができる。もし必要であれば、ナノワイヤの直径の細かい調整が、光化学作用エッチングを通して達成されることができる。それによりナノワイヤの直径は、エッチングの間における入射光の波長により決定される。
更に、ナノワイヤベースのセンサの感度は、必要であれば、ナノワイヤの表面に(on top)有機半導体層を適用することにより改善されることができる。
図4は、呼吸の間のNO生成を決定するデバイス9を概略的に示す。このデバイス9は、そのデバイスを介する吸気又は呼気のため、その片側にマウスピース13を持つ導管12を有する。導管12は、もう一方の側において、導管11から導管12へ空気サンプルを運ぶか、又は導管12から導管10へ呼吸空気のサンプルを通過させるよう、(選択的に)操作されることができる調整可能なバルブ14に接続される。バルブ14は、マウスピース13に居る人間による空気混合体の吸入により誘発される、導管12における副圧力(sub-pressure)の場合には、導管11を導管12へ(従って、導管10を閉じるよう)接続するよう操作されることになる。バルブ14は、マウスピース13に居る人間による呼気が原因で導管12に誘発される過圧力の場合には、導管10を導管12へ接続するよう操作されることになる。
導管10と11とは、それぞれ測定室15と16とに接続される。それらは、センサのCHEM-FET構造のコンダクタンスにおける変化としてNO成分を測定するため、図1及び図3a、図3bに説明されるセンサを伴い与えられる。
更に、NO吸収/反応に応じたゲート電位における変化もまた、測定室を通過する空気サンプルにおけるNO成分を監視するのに使用されることができる。
図示省略されているが、デバイス9は、エアフロー測定に必要な流量計も有する。更に、測定される空気サンプルから水を除去するため、測定室の上流に冷却ユニットが与えられることができる。しかしながら、ペンタセンが化合物半導体として使用される場合には、冷却ユニットは、必要ではない。なぜなら、それは、水に対して反応しないからである。
測定室16におけるセンサは、空気中におけるNOバックグラウンド(background)を測定することになる(空気が流入されるとき)。測定室15におけるセンサは、吐き出された空気のNO成分を測定することになる。測定室15と16とは、内因性のNO生成を測定室15に存在するセンサの読み出しと測定室16に存在するセンサの読み出しとの間の差(又は他のいずれかのアルゴリズム)に基づき計算するよう適合される、単一のプロセッサ17と結合される。内因性のNOの量は、大気のNOの量によって影響を受けないという予備的な証拠が存在する。その場合、測定室は省略されることができる。
本デバイスの追加的な修正において、吐き出された空気のNO成分だけが測定されることになる。すると、デバイス9は、測定室16と導管11とを有さないであろう(この実施形態は図示されていない)。
上記記述より、CHEM-FET構造を用いたNOの電気的な検出が、集積回路技術を用いた小型化と統合化を可能にすることが明らかであろう。
本発明は、特定の好ましい実施形態を参照して説明されてきた:しかしながら、その精神又は本質的な特徴から逸脱することなく、他の特定の形式又はその変形において実現されることができることは理解されるべきである。従って上述された実施形態は、すべての側面において説明目的であると考えられものであり、限定するものではなく、本発明の範囲は、上記説明ではなく添付された特許請求の範囲により示されるものである。
Claims (23)
- NOを検出するための有機化合物半導体の使用。
- 前記有機化合物半導体が、少なくとも2つの共役二重結合C=Cを持ち、更に、オプションで反応性窒素、硫黄又は他のヘテロ原子を構造式に有する化合物である、請求項1に記載の使用。
- 前記有機化合物半導体が、ペンタセン、ポリフェニレンビニレン、芳香族アミン又はチオフェンから選択され、好ましくはペンタセンである、請求項1又は2に記載の使用。
- 前記チオフェンが、ポリエチレン・ジオキサイド・チオフェンである、請求項3に記載の使用。
- NOを含むガス混合体におけるNOの量を測定するプロセスであって、前記NOの量が有機化合物半導体を用いて測定され、前記有機化合物半導体の電気的特性がNOとの反応に応じて変化し、前記変化が前記ガス混合体に存在する前記NOの量の直接的又は間接的な測定として利用される、プロセス。
- 前記ガス混合体が、人間により吸入され又は吐き出された、呼吸ガス混合体である、請求項5に記載のプロセス。
- 前記有機化合物半導体が、少なくとも2つの共役二重結合C=Cを持ち、更に、オプションで窒素、硫黄又は酸素から選択される少なくとも1つの反応性ヘテロ原子を有する、請求項5又は6に記載のプロセス。
- 前記有機化合物半導体が、ペンタセン、ポリフェニレンビニレン、芳香族アミン又はチオフェンから選択され、好ましくはペンタセンである、請求項5乃至7のいずれかに記載のプロセス。
- 前記有機化合物半導体の電気的特性の前記変化が、FETタイプ素子を用いて検出される、請求項5乃至8のいずれかに記載のプロセス。
- 前記電気的特性の変化が、前記化合物半導体のコンダクタンスの変化、又は前記FETタイプ素子のゲート電位における変化として測定される、請求項5乃至9のいずれかに記載のプロセス。
- ガス混合体においてNOを監視するセンサであって、ガスとの反応に応じて変化する電気的特性を持つ化学的に検出性のある素子を有し、前記素子は、NOとの反応に応じて電気的に導電状態になるよう変化する共役構造を持つ有機化合物半導体を有する、センサ。
- 前記化学的に検出性のある素子は、少なくとも1つのドレインと少なくとも1つのソースとを持つ電界効果トランジスタであって、前記トランジスタにおける前記ソースと前記ドレインとの間に広がる、共役バックボーンを持つ有機化合物半導体の層を含む電界効果トランジスタである、請求項11に記載のセンサ。
- 前記化合物半導体が、ペンタセン、ポリフェニレンビニレン、芳香族アミン又はチオフェンから選択され、好ましくはペンタセンである、請求項11又は12に記載のセンサ。
- 前記チオフェンが、ポリエチレン・ジオキサイド・チオフェンである、請求項13に記載のセンサ。
- 前記センサが、カーボンナノチューブ又はナノワイヤといったナノスケールFETタイプ素子として構成され、前記有機化合物半導体が、前記素子のコーティングとして存在する、請求項11乃至14のいずれかに記載のセンサ。
- 前記有機化合物半導体の層は、少なくとも部分的にNO選択性であり電気的に導電する化合物で覆われる、請求項11乃至15のいずれかに記載のセンサ。
- ソース及びドレインと、電気的特性が変化するようにしてNOと反応することができる有機化合物半導体の層とを有するFETタイプ素子。
- 前記有機化合物半導体は、共役バックボーンを持ち、オプションで、反応性窒素、硫黄又は他のヘテロ原子を構造式に有する、請求項17に記載のFETタイプ素子。
- 前記有機化合物半導体が、ペンタセン、ポリフェニレンビニレン、芳香族アミン又はチオフェンから選択され、好ましくはペンタセンである、請求項17又は18に記載のFETタイプ素子。
- 呼気のような空気混合体のNO成分を決定するデバイスであって、
空気の容積における前記NO成分を測定する測定室と、
前記NO成分に基づきセンサ読み出しを生成することができるNOセンサと共に与えられる前記測定室と、
前記NOセンサに結合される信号入力を持ち、前記センサ読み出しに基づき前記NO成分を計算する信号プロセッサとを有し、
前記NOセンサが請求項9乃至15のいずれかに記載のセンサである、デバイス。 - 呼吸の間のNO生成を決定するデバイスであって、
第1のセンサを収容する第1の測定室に関連付けられる第1の導管と、
第2のセンサを収容する第2の測定室に関連付けられる第2の導管と、
人間に隣接して位置する注入口を持つ共通導管と、
前記第1、第2及び共通導管に結合されるバルブ手段であって、前記共通導管を前記第1の導管に選択的に接続するよう前記共通導管における比較的低い圧力に対して検出性があり、かつ、前記共通導管を前記第2の導管に選択的に接続するよう前記共通導管における比較的高い圧力に対する検出性があるバルブ手段と、
前記第1のセンサに結合される第1の信号入力と、前記第2のセンサに結合される第2の信号入力とを少なくとも持ち、前記第1のセンサの読み出しと前記第2のセンサの読み出しとの間の差又は他のいずれかのアルゴリズムに基づき、前記NO生成を計算する信号プロセッサとを有し、
前記第1及び第2の測定室が、請求項11乃至16に記載されるNOセンサを少なくとも1つ備えて与えられる、デバイス。 - 前記測定室は、請求項11乃至16に記載されるNOセンサであって、1つの読み出しを生み出すため互いに結合されるNOセンサの配列を有する、請求項20又は21に記載のデバイス。
- 前記センサの配列において、有機化合物半導体の量及び/又は該有機化合物半導体におけるドーパント濃度が、空気のサンプルの流れの方向で見たとき、前記配列における最初のセンサから最後のセンサに向かって増加する、請求項22に記載のデバイス。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP04100851 | 2004-03-03 | ||
PCT/IB2005/050718 WO2005088289A1 (en) | 2004-03-03 | 2005-02-28 | Detection of no with a semi-conducting compound and a sensor and device to detect no |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007526476A true JP2007526476A (ja) | 2007-09-13 |
Family
ID=34960828
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007501426A Pending JP2007526476A (ja) | 2004-03-03 | 2005-02-28 | 化合物半導体を用いたnoの検出並びにnoを検出するためのセンサ及びデバイス |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20070281362A1 (ja) |
EP (1) | EP1728072A1 (ja) |
JP (1) | JP2007526476A (ja) |
CN (1) | CN1926427A (ja) |
WO (1) | WO2005088289A1 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009501927A (ja) * | 2005-07-19 | 2009-01-22 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 流体分析装置 |
JP2009257772A (ja) * | 2008-04-11 | 2009-11-05 | Sharp Corp | ガスセンサ装置 |
JP2010151659A (ja) * | 2008-12-25 | 2010-07-08 | Toyota Central R&D Labs Inc | エタノール用ガスセンサ |
CN102368953A (zh) * | 2009-04-08 | 2012-03-07 | 西门子公司 | 具有由气体除湿器和气体转换器构成的组合的气体分析设备 |
JP2012512392A (ja) * | 2008-12-16 | 2012-05-31 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 一酸化窒素用電子センサ |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101573612B (zh) * | 2007-01-04 | 2013-02-13 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | 用于测量样品浓度的方法、检测器和系统 |
WO2008088780A1 (en) * | 2007-01-12 | 2008-07-24 | University Of Pittsburgh-Of The Commonwealth System Of Higher Education | Detection of nitric oxide by nanostructured sensor |
US20120184052A1 (en) * | 2009-09-28 | 2012-07-19 | World Precision Instruments Inc. | Isolation and Analysis of Thiol Protein Matter Using Gold Nano-Particles |
CN101718733B (zh) * | 2009-12-09 | 2012-07-25 | 黑龙江大学 | 硼氮纳米线/半导体氧化物复合材料及其制备方法 |
DE102010001568A1 (de) * | 2010-02-04 | 2011-08-04 | Robert Bosch GmbH, 70469 | Elektronisches Bauteil für hohe Temperaturen |
EP2794033B1 (en) | 2011-12-21 | 2021-08-18 | Capnia, Inc. | Analysis of exhaled gas with breathing parameter frequency compensation |
WO2014043341A1 (en) * | 2012-09-12 | 2014-03-20 | President And Fellows Of Harvard College | Nanoscale field-effect transistors for biomolecular sensors and other applications |
US20140228699A1 (en) | 2013-02-12 | 2014-08-14 | Capnia, Inc. | Sampling and storage registry device for breath gas analysis |
CN104297320B (zh) * | 2013-07-17 | 2017-07-25 | 国家纳米科学中心 | 一种有机单分子层薄膜场效应气体传感器及制备方法 |
EP3760118A1 (en) | 2013-08-30 | 2021-01-06 | Capnia, Inc. | Neonatal carbon dioxide measurement system and method |
US10307080B2 (en) | 2014-03-07 | 2019-06-04 | Spirosure, Inc. | Respiratory monitor |
US9896772B2 (en) | 2014-03-13 | 2018-02-20 | Innosense Llc | Modular chemiresistive sensor |
US20160106343A1 (en) * | 2014-10-20 | 2016-04-21 | Capnia, Inc. | Breath analysis systems and methods for screening infectious diseases |
TWI615611B (zh) * | 2016-12-20 | 2018-02-21 | 氣體偵測器 | |
EP3589203A1 (en) | 2017-03-01 | 2020-01-08 | NGK Spark Plug Co., Ltd. | Nitric oxide detection device with reducing gas |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07507636A (ja) * | 1993-03-29 | 1995-08-24 | コミサリア タ レネルジー アトミック | 亜硝酸イオン,一酸化窒素またはnoを含む物質を検出するのに使用されるヘテロポリアニオン混合物でドーピングされた導電性ポリマーフィルム |
Family Cites Families (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4236307A (en) * | 1978-11-02 | 1980-12-02 | Johnson Controls Inc. | Method of making a nitrogen dioxide sensing element |
US4722905A (en) * | 1981-12-01 | 1988-02-02 | National Research Development Corporation | Semiconductors |
FR2601136B1 (fr) * | 1986-07-03 | 1989-05-12 | Commissariat Energie Atomique | Procede et dispositif de detection d'especes moleculaires ou ioniques |
US5892244A (en) * | 1989-01-10 | 1999-04-06 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Field effect transistor including πconjugate polymer and liquid crystal display including the field effect transistor |
GB9026544D0 (en) * | 1990-12-06 | 1991-01-23 | Honeybourne Colin L | Gas detection |
GB2274336B (en) * | 1993-01-13 | 1997-04-30 | British Gas Plc | Gas sensors |
EP0724723B1 (en) * | 1993-07-06 | 2000-04-05 | Aerocrine Ab | A system to be used for the determination of no levels in exhaled air and diagnostic methods for disorders related to abnormal no levels |
CA2120682C (en) * | 1994-04-06 | 1999-02-23 | Sabatino Nacson | Improved apparatus for rapid and specific detection of organic vapours |
GB9412632D0 (en) * | 1994-06-23 | 1994-08-10 | Aromascan Plc | Semiconducting organic polymers |
SE9600743L (sv) * | 1996-02-26 | 1997-08-27 | Lars Erik Gustafsson | Anordning för att kunna mäta andelen NO-gas i en gasblandning |
US5981970A (en) * | 1997-03-25 | 1999-11-09 | International Business Machines Corporation | Thin-film field-effect transistor with organic semiconductor requiring low operating voltages |
AU9451098A (en) * | 1997-10-14 | 1999-05-03 | Patterning Technologies Limited | Method of forming an electronic device |
US6635415B1 (en) * | 1998-03-09 | 2003-10-21 | 2B Technologies, Inc. | Nitric oxide gas detector |
JP2002526769A (ja) * | 1998-10-02 | 2002-08-20 | カリフォルニア インスティチュート オブ テクノロジー | 導電性有機センサー、アレイおよび使用方法 |
US6406435B1 (en) * | 1998-11-17 | 2002-06-18 | James R. Mault | Method and apparatus for the non-invasive determination of cardiac output |
EP1085320A1 (en) * | 1999-09-13 | 2001-03-21 | Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum Vzw | A device for detecting an analyte in a sample based on organic materials |
EP1085319B1 (en) * | 1999-09-13 | 2005-06-01 | Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum Vzw | A device for detecting an analyte in a sample based on organic materials |
US6585914B2 (en) * | 2000-07-24 | 2003-07-01 | Northwestern University | N-type thiophene semiconductors |
DE10121262A1 (de) * | 2001-04-30 | 2002-11-14 | Siemens Ag | Vorrichtung zur quantitativen Messung von Stickoxiden in der Ausatemluft und Verwendung |
FI110839B (fi) * | 2001-05-11 | 2003-04-15 | Lauri Lehtimaeki | Menetelmä ja mittauslaitteisto uloshengitysilman typpioksidipitoisuuden mittaamiseksi |
GB0126757D0 (en) * | 2001-11-07 | 2002-01-02 | Univ Cambridge Tech | Organic field effect transistors |
US6963080B2 (en) * | 2001-11-26 | 2005-11-08 | International Business Machines Corporation | Thin film transistors using solution processed pentacene precursor as organic semiconductor |
US6770904B2 (en) * | 2002-01-11 | 2004-08-03 | Xerox Corporation | Polythiophenes and electronic devices generated therefrom |
US7192782B2 (en) * | 2002-01-11 | 2007-03-20 | Ekips Technologies, Inc. | Method and apparatus for determining marker gas concentration in exhaled breath using an internal calibrating gas |
WO2003074601A2 (en) * | 2002-03-01 | 2003-09-12 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Printing of organic conductive polymers containing additives |
US6852996B2 (en) * | 2002-09-25 | 2005-02-08 | Stmicroelectronics, Inc. | Organic semiconductor sensor device |
US6905908B2 (en) * | 2002-12-26 | 2005-06-14 | Motorola, Inc. | Method of fabricating organic field effect transistors |
US7291503B2 (en) * | 2003-05-21 | 2007-11-06 | Massachusetts Institute Of Technology | Reversible resistivity-based sensors |
US7226818B2 (en) * | 2004-10-15 | 2007-06-05 | General Electric Company | High performance field effect transistors comprising carbon nanotubes fabricated using solution based processing |
-
2005
- 2005-02-28 JP JP2007501426A patent/JP2007526476A/ja active Pending
- 2005-02-28 WO PCT/IB2005/050718 patent/WO2005088289A1/en active Application Filing
- 2005-02-28 US US10/598,239 patent/US20070281362A1/en not_active Abandoned
- 2005-02-28 EP EP05708864A patent/EP1728072A1/en not_active Withdrawn
- 2005-02-28 CN CNA2005800066883A patent/CN1926427A/zh active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07507636A (ja) * | 1993-03-29 | 1995-08-24 | コミサリア タ レネルジー アトミック | 亜硝酸イオン,一酸化窒素またはnoを含む物質を検出するのに使用されるヘテロポリアニオン混合物でドーピングされた導電性ポリマーフィルム |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
JPN5007002965, K YOSHINO,et al., ""The influence of nitric oxide, nitrous oxide and carbon monoxide on the electrical conductivity of", POLYMER COMMUNICATIONS, 198504, Vol.26, p.103−104 * |
JPN5007002967, Y SADAOKA, ""ORGANIC SEMICONDUCTOR GAS SENSORS"", GAS SENSORS, 1992, p.187−218, NL * |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009501927A (ja) * | 2005-07-19 | 2009-01-22 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 流体分析装置 |
JP2009257772A (ja) * | 2008-04-11 | 2009-11-05 | Sharp Corp | ガスセンサ装置 |
JP2012512392A (ja) * | 2008-12-16 | 2012-05-31 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 一酸化窒素用電子センサ |
JP2010151659A (ja) * | 2008-12-25 | 2010-07-08 | Toyota Central R&D Labs Inc | エタノール用ガスセンサ |
CN102368953A (zh) * | 2009-04-08 | 2012-03-07 | 西门子公司 | 具有由气体除湿器和气体转换器构成的组合的气体分析设备 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1926427A (zh) | 2007-03-07 |
EP1728072A1 (en) | 2006-12-06 |
US20070281362A1 (en) | 2007-12-06 |
WO2005088289A1 (en) | 2005-09-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2007526476A (ja) | 化合物半導体を用いたnoの検出並びにnoを検出するためのセンサ及びデバイス | |
US20080021339A1 (en) | Anesthesia monitor, capacitance nanosensors and dynamic sensor sampling method | |
US9291613B2 (en) | Sensor having a thin-film inhibition layer | |
US9528979B2 (en) | Breath analysis of pulmonary nodules | |
US8366630B2 (en) | Carbon nanotube structures in sensor apparatuses for analyzing biomarkers in breath samples | |
US10168315B2 (en) | Sensor technology for diagnosing tuberculosis | |
Freddi et al. | Development of a sensing array for human breath analysis based on swcnt layers functionalized with semiconductor organic molecules | |
US20100282245A1 (en) | Detection of nitric oxide | |
WO2007136523A2 (en) | Nanoelectronic breath analyzer and asthma monitor | |
WO2008052104A2 (en) | Sensor having a thin-film inhibition layer, nitric oxide converter and monitor | |
Liu et al. | Lever-inspired triboelectric respiration sensor for respiratory behavioral assessment and exhaled hydrogen sulfide detection | |
Freddi et al. | Enhanced selectivity of target gas molecules through a minimal array of gas sensors based on nanoparticle-decorated SWCNTs | |
TWI319978B (ja) | ||
JP5062695B2 (ja) | 化学物質センシング素子、ならびにこれを備えたガス分析装置および呼気分析装置、ならびに化学物質センシング素子を用いたアセトン濃度検出方法 | |
Park et al. | MoS2 monolayers functionalized with gold nanoparticles using microwave absorption for FET-type NO2 gas sensors in ppb-levels | |
EP3893748B1 (en) | Hydrogen breath analyzer and breath test method | |
Lu et al. | Recent Progress of Exhaled Gas‐Based Diagnosis Based on Field Effect Transistor Sensors | |
Li et al. | A vanadium oxide nanotube-based nitric oxide gas sensor | |
Liu et al. | An electromechanical system based on carbon nanotube sensors to detect apnea | |
JP6935699B2 (ja) | 半導体材料、ガスセンサ、ガス測定装置、半導体材料の製造方法および硫化水素濃度測定方法 | |
Liu et al. | Monitoring Apnea in the elderly by an electromechanical system with a carbon nanotube-based sensor | |
Kim et al. | Room temperature CO 2 detection using interdigitated capacitors with heteropolysiloxane sensing films | |
Lapekin et al. | Gas-Sensors for NO₂ Detection Based on Multi-Walled Carbon Nanomaterials and Their Mixtures | |
TWI490489B (zh) | Acetone sensor device | |
Romashkin et al. | Energy-Efficient Chemiresistive Sensor Array Based on SWCNT Networks, WO3 Nanochannels and SWCNT-Pt Heterojunctions for NH3 Detection against the Background Humidity. Chemosensors 2022, 10, 476 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080228 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101007 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110308 |