JP2007507900A - 動的表面アニール処理のための吸収層 - Google Patents
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Abstract
【選択図】 図2
Description
[0001]本発明の実施形態は、一般的には、集積回路の製造に関する。更に詳細には、本発明の実施形態は、基板上に層を堆積させ、その後、基板をアニールする方法に関する。
[0002]集積回路の製造における多くの処理には、シリコン含有基板のような半導体基板上に層を堆積させるか又は半導体基板上にあらかじめ堆積させた層をアニールするための急速な高温処理ステップが必要である。例えば、ホウ素、リン、ヒ素のようなドーパントイオンが半導体基板の中に注入された後、基板は、典型的には、ドーププロセスの間に破壊した基板の結晶構造を修復するとともにドーパントを活性化するためにアニールされる。
[0044]実施例1‐9
[0045]以下の処理条件: 550℃、7トール、13.56MHzの周波数の700ワットRF電力、1200sccmのC3H6、650sccmのHe、チャンバシャワーヘッドと基板支持体の間の270ミルの間隔によってPECVDチャンバ内で9枚のシリコン基板上にアモルファス炭素を含む層を堆積させた。実施例1‐7においては、チャンバシャドーリングを除外して層を堆積させた。実施例8と実施例9においては、チャンバシャドーリングが存在して層を堆積させた。その後、基板を本明細書に示された実施形態に従ってレーザアニールした。堆積した層の厚さ、堆積時間、810nmの電磁放射線に対する層の放射率を表1に示す。
[0047]以下の処理条件: 400℃、7トール、13.56MHzの周波数の1200ワットRF電力、350sccmのC3H6、3400sccmのN2、チャンバシャワーヘッドと基板支持体の間の270ミルの間隔によってPECVDチャンバ内で8枚のシリコン基板上にアモルファス炭素と窒素を含む層を堆積させた。実施例10‐15においては、チャンバシャドーリングを除外して層を堆積させた。実施例16と実施例17においては、チャンバシャドーリングが存在して層を堆積させた。その後、基板を本明細書に示された実施形態に従ってレーザアニールした。堆積した層の厚さ、堆積時間、810nmの電磁放射線に対する層の放射率を表2に示す。
Claims (36)
- 基板を処理する方法であって、
該基板上にアモルファス炭素を含む層を堆積させるステップと、
その後、該層を少なくとも約300℃の温度に加熱するのに十分な条件下で該基板を約600nm〜約1000nmの波長を1つ以上もつ電磁放射線にさらすステップと、
を含む、前記方法。 - 該基板を電磁放射線にさらすステップが、該基板をレーザアニールするステップを含んでいる、請求項1記載の方法。
- 該レーザアニールするステップが、該基板の表面全体に伸びているラインに連続波電磁放射線の焦点を合わせるステップを含んでいる、請求項2記載の方法。
- 該電磁放射線がランプで供給される、請求項1記載の方法。
- アモルファス炭素を含む該層が、プラズマ増強型化学気相堆積によって堆積される、請求項1記載の方法。
- 該基板を電磁放射線にさらすステップの後に該基板から該層を除去するステップを更に含む、請求項1記載の方法。
- アモルファス炭素を含む層を堆積させるステップの前に該基板にドーパントイオンを注入するステップを更に含む、請求項1記載の方法。
- 該基板が、注入した該ドーパントイオンを活性化するのに十分な時間、該電磁放射線にさらされる、請求項7記載の方法。
- 基板を処理する方法であって、
アモルファス炭素と、窒素、ホウ素、リン、フッ素、及びそれらの組合せからなる群より選ばれたドーパントを含む層を該基板上に堆積させるステップと、
該層を少なくとも約300℃の温度に加熱するのに十分な条件下で該基板を約600nm〜約1000nmの波長を1つ以上もつ電磁放射線にさらすステップと、
を含む、前記方法。 - 該基板を電磁放射線にさらすステップが、該基板をレーザアニールするステップを含んでいる、請求項9記載の方法。
- 該レーザアニールするステップが、該基板の表面全体に伸びているラインに連続波電磁放射線の焦点を合わせるステップを含んでいる、請求項10記載の方法。
- 該電磁放射線がランプで供給される、請求項9記載の方法。
- 該ドーパントが窒素である、請求項9記載の方法。
- 該層を約250℃〜約450℃の温度で堆積させる、請求項9記載の方法。
- 該層をプラズマ増強型化学気相堆積によって堆積させる、請求項9記載の方法。
- 該基板を電磁放射線にさらすステップの後に該基板から該層を除去するステップを更に含む、請求項9記載の方法。
- アモルファス炭素を含む層を堆積させるステップの前に該基板にドーパントイオンを注入するステップを更に含む、請求項9記載の方法。
- 該基板が、注入した該ドーパントイオンを活性化するのに十分な時間、該電磁放射線にさらされる、請求項17記載の方法。
- シリコンを含む基板を処理する方法であって、該方法が、
約200オングストローム〜約2.5μmの厚さを有する層を約600nm〜約1000nmの波長をもつ電磁放射線の約0.84以上の放射率を該層に与えるのに十分な条件下で堆積させるステップと、
その後、該基板をレーザアニールするステップと、
を含む前記方法。 - 該層がアモルファス炭素を含んでいる、請求項19記載の方法。
- 該層が、窒素、ホウ素、リン、フッ素、及びそれらの組合わせからなる群より選ばれたドーパントを更に含んでいる、請求項20記載の方法。
- 該層が窒素を更に含んでいる、請求項20記載の方法。
- 該層の厚さが約800オングストローム〜約1500オングストロームであり、該層が約808nm〜約810nmの波長をもつ電磁放射線の約0.84以上の放射率を該層に与えるのに十分な条件下で堆積させる、請求項19記載の方法。
- 該レーザアニールするステップが、該基板の表面全体に伸びているラインに連続波電磁放射線の焦点を合わせるステップを含んでいる、請求項19記載の方法。
- アモルファス炭素を含む層を堆積させるステップの前に該基板にドーパントイオンを注入するステップを更に含む、請求項19記載の方法。
- 該注入するステップの前に該基板においてゲートソース領域とゲートドレイン領域を形成するステップを更に含む、請求項25記載の方法。
- 該基板が、注入した該ドーパントイオンを活性化するのに十分な時間、レーザアニールされる、請求項26記載の方法。
- 基板上にアモルファス炭素を含む層を堆積させるステップと、
その後、該層を少なくとも約300℃の温度に加熱するのに十分な条件下で該基板を約600nm〜約1000nmの波長を1つ以上もつ電磁放射線にさらすステップと、
を含む、方法によって処理された基板。 - 該基板を電磁放射線にさらすステップが、該基板をレーザアニールするステップを含んでいる、請求項28記載の方法。
- 該レーザアニールするステップが、該基板の表面全体に伸びているラインに連続波電磁放射線の焦点を合わせるステップを含んでいる、請求項29記載の基板。
- 該電磁放射線がランプで供給される、請求項28記載の方法。
- 該層が、窒素、ホウ素、リン、フッ素、及びそれらの組合わせからなる群より選ばれたドーパントを更に含んでいる、請求項28記載の基板。
- 該層が窒素を更に含んでいる、請求項28記載の基板。
- 該層の放射率が、約808nm〜約810nmの波長をもつ電磁放射線に対して約0.84以上である、請求項33記載の基板。
- 該方法が、層を堆積させるステップがアモルファス炭素を含む前に該基板にドーパントイオンを注入するステップを更に含んでいる、請求項28記載の基板。
- 該基板が、注入した該ドーパントイオンを活性化するのに十分な時間該電磁放射線にさらされている、請求項35記載の基板。
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