JP2007326181A - マイクロ流路の洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】マイクロ流路の洗浄性に優れ、マイクロ流路を有する装置を分解することなく洗浄可能であるマイクロ流路の洗浄方法を提供すること。
【解決手段】マイクロ流路内を流れる流体を電気分解して気泡を発生させる工程、及び、マイクロ流路に前記気泡を含有する流体を通過させる工程を含むことを特徴とするマイクロ流路の洗浄方法。また、前記マイクロ流路の洗浄方法は、前記マイクロ流路に対向して備えられる電極により前記電気分解を行う洗浄方法であることが好ましい。
【選択図】 図2
【解決手段】マイクロ流路内を流れる流体を電気分解して気泡を発生させる工程、及び、マイクロ流路に前記気泡を含有する流体を通過させる工程を含むことを特徴とするマイクロ流路の洗浄方法。また、前記マイクロ流路の洗浄方法は、前記マイクロ流路に対向して備えられる電極により前記電気分解を行う洗浄方法であることが好ましい。
【選択図】 図2
Description
本発明は、マイクロ流路の洗浄方法に関する。
一般的に「微細加工を利用して作られ、等価直径が500μm以下の微小な流路で反応を行う装置」と定義されているマイクロリアクターに代表される微小な素子や装置は、例えば、物質の分析、合成、抽出、分離を行う技術に応用した場合、少量多品種、高効率、低環境負荷などの多くの利点が得られるため、近年、様々な分野への応用が期待されている。
マイクロリアクターは、ガラス・プラスチック・金属・シリコーンなどの材質により製造されることが多い。中でもマイクロリアクター内部の挙動を見るためには、ガラスやプラスチックを用いる場合が多い。ガラスやプラスチックなどを用いたマイクロリアクターは、製作時に接合されているため、送液中の異物や粒子などが流路壁面に付着し閉塞を起こした場合、分解洗浄ができない。
従来のマイクロ流路の洗浄方法としては、圧力をかけて水などの溶媒を流し、付着物を押し流す方法や、マイクロリアクター本体を超音波洗浄機にいれ、シリンジなどで圧力をかけながら洗浄する方法が知られている。
また、例えば、特許文献1には、反応後のマイクロ化学デバイスに酸化剤水溶液を通液することを特徴とするマイクロ化学デバイスの洗浄方法が記載されている。
マイクロリアクターは、ガラス・プラスチック・金属・シリコーンなどの材質により製造されることが多い。中でもマイクロリアクター内部の挙動を見るためには、ガラスやプラスチックを用いる場合が多い。ガラスやプラスチックなどを用いたマイクロリアクターは、製作時に接合されているため、送液中の異物や粒子などが流路壁面に付着し閉塞を起こした場合、分解洗浄ができない。
従来のマイクロ流路の洗浄方法としては、圧力をかけて水などの溶媒を流し、付着物を押し流す方法や、マイクロリアクター本体を超音波洗浄機にいれ、シリンジなどで圧力をかけながら洗浄する方法が知られている。
また、例えば、特許文献1には、反応後のマイクロ化学デバイスに酸化剤水溶液を通液することを特徴とするマイクロ化学デバイスの洗浄方法が記載されている。
本発明は、マイクロ流路の洗浄性に優れ、マイクロ流路を有する装置を分解することなく洗浄可能であるマイクロ流路の洗浄方法を提供することである。
本発明の上記課題は、手段<1>によって解決された。好ましい実施態様である<2>と共に以下に示す。
<1> マイクロ流路内を流れる流体を電気分解して気泡を発生させる工程、及び、マイクロ流路に前記気泡を含有する流体を通過させる工程を含むことを特徴とするマイクロ流路の洗浄方法、
<2> 前記電気分解を、前記マイクロ流路の流れ方向と交差する方向に電界を付与することにより行う上記<1>に記載のマイクロ流路の洗浄方法。
<1> マイクロ流路内を流れる流体を電気分解して気泡を発生させる工程、及び、マイクロ流路に前記気泡を含有する流体を通過させる工程を含むことを特徴とするマイクロ流路の洗浄方法、
<2> 前記電気分解を、前記マイクロ流路の流れ方向と交差する方向に電界を付与することにより行う上記<1>に記載のマイクロ流路の洗浄方法。
本発明によれば、マイクロ流路の洗浄性に優れ、マイクロ流路を有する装置を分解することなく洗浄可能であるマイクロ流路の洗浄方法を提供することができた。
以下、図面も参照しながら、本発明を詳細に説明する。
本発明のマイクロ流路の洗浄方法(以下、単に「本発明の洗浄方法」ともいう。)は、マイクロ流路内を流れる流体を電気分解して気泡を発生させる工程(以下、「気泡発生工程」ともいう。)、及び、マイクロ流路に前記気泡を含有する流体を通過させる工程(以下、「気泡通過工程」ともいう。)を含むことを特徴とする。
本発明のマイクロ流路の洗浄方法は、マイクロ流路内を流れる流体を電気分解し、マイクロ流路内に気泡を発生させ、前記気泡が混合した流体をマイクロ流路中に流すことで、マイクロ流路内の汚れや付着物等を除去する洗浄方法である。電気分解によりマイクロ流路内に気泡を発生させ、洗浄を行うことで、マイクロ流路の洗浄性に優れ、マイクロ流路を有する装置を分解することなく洗浄可能である。また、本発明の洗浄方法によりマイクロ流路を適宜繰り返して洗浄することにより、該マイクロ流路を長期間繰り返し使用することができるようになるため好ましい。
本発明のマイクロ流路の洗浄方法は、マイクロ流路内を流れる流体を電気分解し、マイクロ流路内に気泡を発生させ、前記気泡が混合した流体をマイクロ流路中に流すことで、マイクロ流路内の汚れや付着物等を除去する洗浄方法である。電気分解によりマイクロ流路内に気泡を発生させ、洗浄を行うことで、マイクロ流路の洗浄性に優れ、マイクロ流路を有する装置を分解することなく洗浄可能である。また、本発明の洗浄方法によりマイクロ流路を適宜繰り返して洗浄することにより、該マイクロ流路を長期間繰り返し使用することができるようになるため好ましい。
本発明のマイクロ流路の洗浄方法の一実施態様を、図1に示すマイクロリアクターを用いて説明する。
図1は、本発明のマイクロ流路の洗浄方法に用いるマイクロリアクターの一例を示す概略図である。
また、図2は、図1に示すマイクロリアクターにおける電圧をかけた場合の電極周辺の部分拡大図である。
図1に示すマイクロリアクター10は、マイクロ流路12(12a、12b、12c及び12d)と、マイクロ流路の内壁の一部かつ流れ方向と交差する方向に対向して備えられた電極14a及び14bと、マイクロ流路の端部である流体導入(回収)部16(16a、16b及び16c)とを有しており、電極14a及び14bには、それぞれコード18a及び18bを介して電源装置20が接続されている。
図1に示すマイクロリアクター10において、流体導入部16a及び16bから流体を流し、電極14a及び14b間に電圧をかけ、流体中の成分を電気分解することができる。図2に示すように二電極間(14aと14bとの間)に電圧をかけ電気分解を行うことにより、気泡22が発生し、流体と共に気泡22が下流のマイクロ流路12dへと流れていき、マイクロ流路12dのよごれや付着物を、気泡22を含む流体と共に流し出し、流体回収部16cより排出することができる。また、流体の流れを上記と逆にして、上記と同様の操作を行い、マイクロ流路12a、12b及び12cの洗浄を行うこともできる。
マイクロ流路の洗浄は、流路内を流れる流体が層流となって安定して送液されている状態で、二電極間(14aと14bとの間)に電圧をかけて気泡22を発生させる事が好ましい。また、洗浄は連続して行うのではなく、時間の間隔を空けて行うことが好ましく、一定の時間ごとに行うことがより好ましい。
図1は、本発明のマイクロ流路の洗浄方法に用いるマイクロリアクターの一例を示す概略図である。
また、図2は、図1に示すマイクロリアクターにおける電圧をかけた場合の電極周辺の部分拡大図である。
図1に示すマイクロリアクター10は、マイクロ流路12(12a、12b、12c及び12d)と、マイクロ流路の内壁の一部かつ流れ方向と交差する方向に対向して備えられた電極14a及び14bと、マイクロ流路の端部である流体導入(回収)部16(16a、16b及び16c)とを有しており、電極14a及び14bには、それぞれコード18a及び18bを介して電源装置20が接続されている。
図1に示すマイクロリアクター10において、流体導入部16a及び16bから流体を流し、電極14a及び14b間に電圧をかけ、流体中の成分を電気分解することができる。図2に示すように二電極間(14aと14bとの間)に電圧をかけ電気分解を行うことにより、気泡22が発生し、流体と共に気泡22が下流のマイクロ流路12dへと流れていき、マイクロ流路12dのよごれや付着物を、気泡22を含む流体と共に流し出し、流体回収部16cより排出することができる。また、流体の流れを上記と逆にして、上記と同様の操作を行い、マイクロ流路12a、12b及び12cの洗浄を行うこともできる。
マイクロ流路の洗浄は、流路内を流れる流体が層流となって安定して送液されている状態で、二電極間(14aと14bとの間)に電圧をかけて気泡22を発生させる事が好ましい。また、洗浄は連続して行うのではなく、時間の間隔を空けて行うことが好ましく、一定の時間ごとに行うことがより好ましい。
本発明のマイクロ流路の洗浄方法に用いることができる流体、すなわち、洗浄時にマイクロ流路中に流す流体は、含有成分のうち少なくとも1つの成分を電気分解でき気体を発生させることができる流体であれば、特に制限はないが、含有成分である水を電気分解し酸素及び/又は水素を発生させることができる水含有液であることが好ましく、含有成分である水を電気分解し酸素及び水素を発生させることができる水含有液であることがより好ましく、ハロゲン化物イオン及び銅イオンや銀イオン等の重金属イオンを含有していない水含有液であることがさらに好ましい。
洗浄時に用いる流体は、上述したように電気分解により気体を発生させることができる流体であれば、反応や混合等の用途に使用する流体をそのまま洗浄時に使用してもよく、別途、洗浄用の流体(洗浄液)を使用してマイクロ流路の洗浄を行ってもよい。また、洗浄時に用いる流体は、使用用途に応じ、固体や電気分解により生じる気体以外の気体を含む流体であってもよく、流体の組成等も必要に応じ選択することができる。
洗浄時に用いる流体としては、電解質溶液、酸・アルカリ水溶液、水・アルコールの分散液等が例示できる。
洗浄時に用いる流体は、上述したように電気分解により気体を発生させることができる流体であれば、反応や混合等の用途に使用する流体をそのまま洗浄時に使用してもよく、別途、洗浄用の流体(洗浄液)を使用してマイクロ流路の洗浄を行ってもよい。また、洗浄時に用いる流体は、使用用途に応じ、固体や電気分解により生じる気体以外の気体を含む流体であってもよく、流体の組成等も必要に応じ選択することができる。
洗浄時に用いる流体としては、電解質溶液、酸・アルカリ水溶液、水・アルコールの分散液等が例示できる。
洗浄時に用いる流体の電気伝導度(「電導度」ともいう。その単位としては、S(ジーメンス)/cmを用いるものとする。)は、電気分解を容易に行うため、10μS/cm以上であることが好ましく、100μS/cm以上であることがより好ましく、500〜1,000μS/cmであることがさらに好ましい。
洗浄時に用いる流体の温度は、特に、限定されないが、汚染物質を除去するのに適した温度を選ぶことが好ましい。また、マイクロリアクター構成材料を損傷しない温度を選ぶことは言うまでもない。
洗浄時に用いる流体の温度は、特に、限定されないが、汚染物質を除去するのに適した温度を選ぶことが好ましい。また、マイクロリアクター構成材料を損傷しない温度を選ぶことは言うまでもない。
また、洗浄時以外に本発明のマイクロ流路デバイスに流すことができる流体は、電気分解により気体を発生させることができる流体である必要はなく、水系媒体や有機溶媒、それらの混合物等、所望の溶媒を用いることができ、また、使用用途に応じ、固体や気体を含む流体であってもよく、その組成や濃度等も必要に応じ選択することができる。
電気分解を行う電極の材質としては、電気分解時に腐食や溶解を起こさない材質であることが好ましく、イオン化傾向の小さい白金又は金であることがより好ましい。また、電気分解を行う電極は、白金又は金等の貴金属をメッキした電極であってもよい。
また、本発明において、電気分解を行うため2つの電極間に印加する電圧は、使用する流体の種類や温度等によっても異なるが、1.0〜30.0Vであることが好ましく、1.5〜6.0Vであることがより好ましい。上記範囲であると、洗浄に十分な気泡を発生させることができ、また、発熱等によるマイクロリアクターの基材の溶解や分解等が起こりにくいため好ましい。また、上記電圧の範囲と、前記電気伝導度の範囲との組み合わせもさらに好ましい。
本発明のマイクロ流路の洗浄方法において、電気分解に使用する電極の構造は、マイクロ流路中を流れる流体中の含有成分のうち少なくとも1つの成分を電気分解できる構造であればよく、特に制限はないが、マイクロ流路を流れる層流を乱さないため、マイクロ流路の内壁表面に凹凸がないよう電極が設けられた構造であることが好ましい。また、前記電極の構造は、電気分解を効率よく行うため、マイクロ流路の内壁に対向して設けられた構造であることが好ましい。また、これら電極には、電気分解に必要な電圧をかけることができる電界付与手段が電気的に接続される。電界付与手段としては、公知の装置等を用いることができ、具体的には電源装置や電池等が例示できる。
前記電極の構造として具体的には、図3及び図4に示す構造が例示できるが、本発明はこれらに限定されるものではない。
図3は、本発明のマイクロ流路の洗浄方法に用いるマイクロリアクターの一例を、マイクロ流路中央部において切断した電極近傍部分の断面概略図である。
図3に示すマイクロリアクターの電極近傍部分は、流れ方向に垂直な方向の断面形状が矩形であるマイクロ流路12の対向する1対の内壁の一部に電極14c,14dが設けられ、また、該電極14c,14dはそれぞれマイクロアクター外部方向へ薄膜状に設けられており、電源(不図示)と接続されている。
図4は、本発明のマイクロ流路の洗浄方法に用いるマイクロリアクターの他の一例を作製する2枚のマイクロリアクター基板を示す投影概略図である。
図4に示す(A)及び(B)は、マイクロリアクター基板24a及び24bをそれぞれ示し、この2枚の基板を接合することによりマイクロリアクターを製造することができる。
図4の(A)に示すマイクロリアクター基板24aには、その表面に2つの電極14e及び14fがマイクロ流路径分の間隔を空けて基板24aの中央部に設けられている。また、電極14e及び14fの厚さは、後述する電極はめ込み部26e及び26fの深さと同じである。
図4の(B)に示すマイクロリアクター基板24bには、Y字型のマイクロ流路12が設けられており、基板24bの中央部に電極はめ込み部26e及び26fが該マイクロ流路12と同じ深さで設けられている。また、電極はめ込み部26e及び26fの形状は、電極14e及び14fの形状と同じである。
2つのマイクロリアクター基板24a及び24bを、電極14eと電極はめ込み部26e、及び、電極14fと電極はめ込み部26fとがそれぞれ一致するようにはめあわせ、2つの基板24a及び24bを接合することにより、本発明に用いることができるマイクロリアクターが得られる。
図3は、本発明のマイクロ流路の洗浄方法に用いるマイクロリアクターの一例を、マイクロ流路中央部において切断した電極近傍部分の断面概略図である。
図3に示すマイクロリアクターの電極近傍部分は、流れ方向に垂直な方向の断面形状が矩形であるマイクロ流路12の対向する1対の内壁の一部に電極14c,14dが設けられ、また、該電極14c,14dはそれぞれマイクロアクター外部方向へ薄膜状に設けられており、電源(不図示)と接続されている。
図4は、本発明のマイクロ流路の洗浄方法に用いるマイクロリアクターの他の一例を作製する2枚のマイクロリアクター基板を示す投影概略図である。
図4に示す(A)及び(B)は、マイクロリアクター基板24a及び24bをそれぞれ示し、この2枚の基板を接合することによりマイクロリアクターを製造することができる。
図4の(A)に示すマイクロリアクター基板24aには、その表面に2つの電極14e及び14fがマイクロ流路径分の間隔を空けて基板24aの中央部に設けられている。また、電極14e及び14fの厚さは、後述する電極はめ込み部26e及び26fの深さと同じである。
図4の(B)に示すマイクロリアクター基板24bには、Y字型のマイクロ流路12が設けられており、基板24bの中央部に電極はめ込み部26e及び26fが該マイクロ流路12と同じ深さで設けられている。また、電極はめ込み部26e及び26fの形状は、電極14e及び14fの形状と同じである。
2つのマイクロリアクター基板24a及び24bを、電極14eと電極はめ込み部26e、及び、電極14fと電極はめ込み部26fとがそれぞれ一致するようにはめあわせ、2つの基板24a及び24bを接合することにより、本発明に用いることができるマイクロリアクターが得られる。
洗浄時における流体の流速は、特に制限はなく、マイクロ流路内の汚れや付着物の程度、マイクロリアクターの強度、電気分解による気泡の発生量等により適宜調整することができる。
電気分解によりマイクロ流路内に発生する気泡の平均粒径は、流体の圧力や流速、気泡の発生量等にも依存するが、マイクロ流路の流路径に対し、1/50〜1/2であることが好ましく、1/20〜1/4であることがより好ましい。上記範囲であると、より、汚染物質や堆積、閉塞物質を押し流しやすいため好ましい。
気泡の平均粒径の測定方法としては、特に制限はなく、公知の方法を用いることができ、例えば、顕微鏡画像を画像解析装置によって解析することにより平均粒径を求める方法が挙げられる。
気泡の平均粒径の測定方法としては、特に制限はなく、公知の方法を用いることができ、例えば、顕微鏡画像を画像解析装置によって解析することにより平均粒径を求める方法が挙げられる。
本発明に用いることができるマイクロリアクターの材質としては、セラミック、ガラス、シリコーン、樹脂などの材料が例示でき、樹脂が好ましく挙げられる。また、マイクロリアクターの材質として金属等の導電体を、マイクロリアクターの一部に用いてもよいが、その場合、電極との絶縁を適切に行い電気分解に影響を与えないように用いることが肝要である。
前記材質は、透明性及び加工性などの観点からはガラスを用いることが好ましく、また、安価、透明性、成型性及び耐衝撃性などの観点からは樹脂を用いることが好ましい。
前記材質は、透明性及び加工性などの観点からはガラスを用いることが好ましく、また、安価、透明性、成型性及び耐衝撃性などの観点からは樹脂を用いることが好ましい。
前記ガラスとしては、例えば、ソーダガラス、石英ガラス、ホウ珪酸ガラス、クリスタルガラスなど一般的なものが使用できる。また、ガラスのガラス転移点としては、500〜600℃であることがより好ましい。
前記樹脂としては、耐衝撃性、耐熱性、耐薬品性、透明性などが、行う反応や単位操作に適した樹脂が好ましく、具体的には、ポリエステル樹脂、スチレン樹脂、アクリル樹脂、スチレン・アクリル樹脂、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ジエン系樹脂、フェノール樹脂、テルペン樹脂、クマリン樹脂、アミド樹脂、アミドイミド樹脂、ブチラール樹脂、ウレタン樹脂、エチレン・酢酸ビニル樹脂等が好ましく例示できるが、より好ましくは、メチルメタクリレート樹脂などのアクリル樹脂、スチレン樹脂である。また、前記樹脂としては、ガラス転移点を有する樹脂であることが好ましく、前記樹脂のガラス転移点は、90〜150℃の範囲であることが好ましく、100〜140℃の範囲であることがより好ましい。
前記樹脂としては、耐衝撃性、耐熱性、耐薬品性、透明性などが、行う反応や単位操作に適した樹脂が好ましく、具体的には、ポリエステル樹脂、スチレン樹脂、アクリル樹脂、スチレン・アクリル樹脂、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ジエン系樹脂、フェノール樹脂、テルペン樹脂、クマリン樹脂、アミド樹脂、アミドイミド樹脂、ブチラール樹脂、ウレタン樹脂、エチレン・酢酸ビニル樹脂等が好ましく例示できるが、より好ましくは、メチルメタクリレート樹脂などのアクリル樹脂、スチレン樹脂である。また、前記樹脂としては、ガラス転移点を有する樹脂であることが好ましく、前記樹脂のガラス転移点は、90〜150℃の範囲であることが好ましく、100〜140℃の範囲であることがより好ましい。
前記マイクロ流路は、マイクロスケールの流路である。すなわち、流路の幅(流路径)は、5,000μm以下であり、好ましくは10〜1,000μmの範囲であり、より好ましくは30〜500μmの範囲である。また、流路の深さは10〜500μmの範囲程度であることが好ましい。さらに、流路の長さは、形成される流路の形状にもよるが、好ましくは5〜400mmの範囲であり、より好ましくは10〜200mmの範囲である。
また、マイクロ流路の形状については特に制限はなく、例えば、流れ方向に対し垂直な方向での断面形状が円形、楕円形、多角形など所望の形状とすることができる。
また、マイクロ流路の形状については特に制限はなく、例えば、流れ方向に対し垂直な方向での断面形状が円形、楕円形、多角形など所望の形状とすることができる。
マイクロリアクターの大きさは、使用目的に応じ適宜設定することができるが、1〜100cm2の範囲が好ましく、10〜40cm2の範囲がより好ましい。また、マイクロリアクターの厚さは、2〜30mmの範囲が好ましく、3〜15mmの範囲がより好ましい。
本発明に用いることができるマイクロリアクターは、必要に応じて、気泡発生手段を備えたマイクロ流路を1つ以上有していればよく、流路の分岐や合流部分、他のマイクロ流路等を有していてもよい。また、洗浄手段として、気泡発生手段以外に、シリンジやポンプ等による流体に圧力をかける手段や、超音波照射手段等の公知の洗浄手段を併用してもよい。
本発明に用いることができるマイクロリアクターは、電気分解により気泡を発生させることにより電極部分で発熱する場合もあるため、放熱手段や冷却手段を有していてもよい。また、例えば、電気分解時の温度調整や、反応等の洗浄以外の目的での温度調整等のため、加熱手段を有していてもよい。
また、本発明に用いることができるマイクロリアクターは、その用途に応じて、気泡発生手段を備えたマイクロ流路以外にも、反応、混合、分離、精製、分析、他の方法による洗浄等の機能を有する部位を有していてもよい。
本発明に用いることができるマイクロリアクターは、電気分解により気泡を発生させることにより電極部分で発熱する場合もあるため、放熱手段や冷却手段を有していてもよい。また、例えば、電気分解時の温度調整や、反応等の洗浄以外の目的での温度調整等のため、加熱手段を有していてもよい。
また、本発明に用いることができるマイクロリアクターは、その用途に応じて、気泡発生手段を備えたマイクロ流路以外にも、反応、混合、分離、精製、分析、他の方法による洗浄等の機能を有する部位を有していてもよい。
本発明に用いることができるマイクロリアクターには、必要に応じて、例えば、マイクロリアクターに流体を送液するための送液口や、マイクロリアクターから流体を回収するための回収口などを設けてもよい。
また、本発明に用いることができるマイクロリアクターは、その用途に応じて、複数を組合わせたり、反応、混合、分離、精製、分析等の機能を有する装置や、送液装置、回収装置、他のマイクロリアクター等を組み合わせ、マイクロ化学システムを好適に構築することができる。
本発明に用いることができるマイクロリアクターの製造方法は、特に制限されないが、公知の方法を用いることができる。
マイクロリアクターにおけるマイクロ流路の形成方法としては、特に制限はなく、例えば、公知の方法を用いることができる。マイクロ流路は、例えば、微細加工技術により作製することができる。微細加工方法としては、例えば、X線を用いたLIGA技術を用いる方法、フォトリソグラフィー法によりレジスト部を構造体として使用する方法、レジスト開口部をエッチング処理する方法、マイクロ放電加工法、YAGレーザーやUVレーザー等を使用するレーザー加工法、ダイアモンドのような硬い材料で作られたマイクロ工具を用いるエンドミル等の機械的マイクロ切削加工法がある。これらの技術は単独で用いてもよく、組み合わせて用いてもよい。
マイクロリアクターにおけるマイクロ流路の形成方法としては、特に制限はなく、例えば、公知の方法を用いることができる。マイクロ流路は、例えば、微細加工技術により作製することができる。微細加工方法としては、例えば、X線を用いたLIGA技術を用いる方法、フォトリソグラフィー法によりレジスト部を構造体として使用する方法、レジスト開口部をエッチング処理する方法、マイクロ放電加工法、YAGレーザーやUVレーザー等を使用するレーザー加工法、ダイアモンドのような硬い材料で作られたマイクロ工具を用いるエンドミル等の機械的マイクロ切削加工法がある。これらの技術は単独で用いてもよく、組み合わせて用いてもよい。
以下、本発明を実施例で詳しく説明するが、本発明を何ら限定するものではない。
(実施例1)
図1及び図2に示すマイクロリアクターを用いて以下の操作を行った。なお、マイクロリアクター10の基材としては、アクリル樹脂(日東樹脂工業(株)製クラレックスS(ノーマルタイプ)を用い、マイクロ流路12a及び12bの流路径は250μmであり、マイクロ流路12c及び12dの流路径は500μmであり、電極14a及び14bの材質は金であり、電極14a及び14bの幅は10μmとした。
マイクロ流路12a及び12bより洗浄液(組成:pH=約6のNaNO3溶液、電導度100μS/cm以上)をシリンジポンプにて流速(10ml/h〜20ml/h)で送液した。洗浄液の流れが安定するまで送液し、電極14aと電極14bとの間に電圧4.5Vを流した。図2に示すように、前記溶液に接した電極14a及び14b表面より気泡22が発生して流路内を洗浄し、流路内の汚れ(不図示)や流路壁面への付着物(不図示)を取り除くことができた。
図1及び図2に示すマイクロリアクターを用いて以下の操作を行った。なお、マイクロリアクター10の基材としては、アクリル樹脂(日東樹脂工業(株)製クラレックスS(ノーマルタイプ)を用い、マイクロ流路12a及び12bの流路径は250μmであり、マイクロ流路12c及び12dの流路径は500μmであり、電極14a及び14bの材質は金であり、電極14a及び14bの幅は10μmとした。
マイクロ流路12a及び12bより洗浄液(組成:pH=約6のNaNO3溶液、電導度100μS/cm以上)をシリンジポンプにて流速(10ml/h〜20ml/h)で送液した。洗浄液の流れが安定するまで送液し、電極14aと電極14bとの間に電圧4.5Vを流した。図2に示すように、前記溶液に接した電極14a及び14b表面より気泡22が発生して流路内を洗浄し、流路内の汚れ(不図示)や流路壁面への付着物(不図示)を取り除くことができた。
また、実施例1の条件において洗浄液の電気伝導度を変化させた場合、では、下記の表1に示す曲線の上部の領域における電気分解時の電導度(μS/cm)及び電圧で電気分解が発生することがわかった。
(実施例2)
実施例1と同様のマイクロリアクターを用いて、感光体顔料合成をアシッドペースティング法により行った。
マイクロ流路12aより25%濃アンモニア溶液10ml/h、マイクロ流路12bより98%濃硫酸顔料溶液を2.0ml/hにて送液した。約30分ぐらい送液すると、合成時に発生した硫酸アンモニウムが流路内に堆積してした。送液10分毎に10秒ほど電極14aと電極14bとの間に3.0Vの電圧を与え、図2に示すように、前記溶液に接した電極14a及び14b表面より電気分解の気泡22を発生させ、流路内部の硫酸アンモニウムを気泡にて除去した。これにより、10時間の送液・反応が可能であった。
実施例1と同様のマイクロリアクターを用いて、感光体顔料合成をアシッドペースティング法により行った。
マイクロ流路12aより25%濃アンモニア溶液10ml/h、マイクロ流路12bより98%濃硫酸顔料溶液を2.0ml/hにて送液した。約30分ぐらい送液すると、合成時に発生した硫酸アンモニウムが流路内に堆積してした。送液10分毎に10秒ほど電極14aと電極14bとの間に3.0Vの電圧を与え、図2に示すように、前記溶液に接した電極14a及び14b表面より電気分解の気泡22を発生させ、流路内部の硫酸アンモニウムを気泡にて除去した。これにより、10時間の送液・反応が可能であった。
(比較例1)
電界を発生させず、気泡を発生させなかった以外は実施例2と同様の条件で洗浄を行った。流路内の堆積物は少し除去できたが、流路壁面に付着したものはほとんど取り除くことが出来なかった。
電界を発生させず、気泡を発生させなかった以外は実施例2と同様の条件で洗浄を行った。流路内の堆積物は少し除去できたが、流路壁面に付着したものはほとんど取り除くことが出来なかった。
10:マイクロリアクター
12(12a,12b,12c,12d):マイクロ流路
14(14a,14b,14c,14d,14e,14f):電極
16(16a,16b,16c):流体導入(回収)部
18(18a,18b):コード
20:電源装置
22:気泡
24(24a,24b):マイクロリアクター基板
26(26e,26f):電極はめ込み部
12(12a,12b,12c,12d):マイクロ流路
14(14a,14b,14c,14d,14e,14f):電極
16(16a,16b,16c):流体導入(回収)部
18(18a,18b):コード
20:電源装置
22:気泡
24(24a,24b):マイクロリアクター基板
26(26e,26f):電極はめ込み部
Claims (1)
- マイクロ流路内を流れる流体を電気分解して気泡を発生させる工程、及び、
マイクロ流路に前記気泡を含有する流体を通過させる工程を含むことを特徴とする
マイクロ流路の洗浄方法。
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