JP2007313485A - 高粘度流体供給装置および高粘度流体供給方法 - Google Patents

Abstract

【課題】時間経過とともにシール性が低下することがなく、また種々のシール流体を適用可能な高粘度流体供給装置および高粘度流体供給方法を提供する。
【解決手段】高粘度流体を被加工物に塗布するためのノズル８を備えた高粘度流体供給装置１であって、ノズル８に連通する流出口７を開閉可能なロッド１３と、流出口７に連通するとともに外部から高粘度流体Aが流入される高粘度流体室５と、シール流体が充填されるシール流体室１７と、ロッド１３が摺動可能に貫通するとともに高粘度流体室５とシール流体室１７の間を封止するシール部と、シリンダ広断面部４８およびシリンダ狭断面部４９を備えて高粘度流体室５とシール流体室１７の間で連通して設けられ、シリンダ広断面部４８がシリンダ狭断面部４９よりも断面積が大きい圧力均衡用シリンダ４７と、圧力均衡用シリンダ４７に嵌合する圧力均衡用ピストン５２と、を有することを特徴とする。
【選択図】図３

Description

本発明は、高粘度流体を被加工物に塗布するためのノズルを備えた高粘度流体供給装置および高粘度流体供給方法に関する。

接着剤等の高粘性流体をシールする構造として、例えば特許文献１に示される構造が挙げられる。この構造は、軸受部にグリス室を設け、加圧されたグリス（潤滑剤）により接着剤の軸受部への侵入を防止している。

しかし、この構造は、潤滑剤を封入時に加圧するのみであり、現実には時間経過とともに潤滑剤の圧力が低下し、接着剤が軸受部に侵入する。

また、潤滑剤がグリスと指定されているが、グリスが混入することによって不具合の発生する接着剤も存在しため、適用条件が限定される。
特表昭６３−５０２５６８号公報

本発明は、上記従来技術に伴う課題を解決するためになされたものであり、時間経過とともにシール性が低下することがなく、また種々のシール流体を適用可能な高粘度流体供給装置および高粘度流体供給方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成する本発明に係る高粘度流体供給装置は、高粘度流体を被加工物に塗布するためのノズルを備えた高粘度流体供給装置であって、前記ノズルに連通する流出口に対して進退動することにより当該流出口を開閉可能なロッドと、前記流出口に連通するとともに前記ロッドが貫通し、外部から高粘度流体が流入される高粘度流体室と、前記ロッドが貫通するとともにシール流体が充填されるシール流体室と、前記ロッドが摺動可能に貫通するとともに前記高粘度流体室とシール流体室の間を封止するシール部と、高粘度流体室側に形成されるシリンダ広断面部および前記シール流体室側に形成されるシリンダ狭断面部を備えて前記高粘度流体室とシール流体室の間で連通して設けられ、前記シリンダ広断面部が前記シリンダ狭断面部よりも断面積が大きく形成された圧力均衡用シリンダと、前記シリンダ広断面部に嵌合するピストン広断面部および前記シリンダ狭断面部に嵌合するピストン狭断面部を備え、前記圧力均衡用シリンダ内を摺動する圧力均衡用ピストンと、を有することを特徴とする。

上記目的を達成する本発明に係る高粘度流体供給方法は、高粘度流体を吐出するノズルを備えた高粘度流体供給装置により高粘度流体を被加工物に塗布する高粘度流体供給方法であって、前記高粘度流体供給装置には、シール部を介して高粘度流体室とシール流体室が設けられ、前記高粘度流体室およびシール流体室と連通する圧力均衡用シリンダに、圧力均衡用ピストンが摺動可能に嵌合するとともに、前記シール流体室の圧力が高粘度流体室の圧力よりも高くなる位置で、圧力均衡用ピストンの摺動位置を釣り合わせつつ、ノズルから高粘度流体を吐出させることを特徴とする。

上記のように構成した本発明に係る高粘度流体供給装置は、両端面の面積が異なる圧力均衡用ピストンによって、シール流体室内のシール流体の圧力が高粘度流体室内の高粘度流体に対して常時高圧に保持されるため、シール性が低下することなしに、シール部における高粘度流体室からシール流体室への接着剤の侵入を確実に防止することができる。また、シール流体に適用される流体に制限はないため、例えば高粘度流体と相性の悪い流体をシール流体として使用する必要がなく、不具合の発生を抑制できる。

上記のように構成した本発明に係る高粘度流体供給方法は、シール流体室の圧力が高粘度流体室の圧力よりも高くなる位置で、圧力均衡用ピストンの摺動位置を釣り合わせつつ、ノズルから高粘度流体を吐出させるため、シール性が低下することなしに、シール部における高粘度流体室からシール流体室への接着剤の侵入を確実に防止することができる。

本発明の実施形態を、図面を参照しつつ説明する。

図１は本実施形態に係る高粘度流体供給装置の正面図、図２は同高粘度流体供給装置の側面図、図３は図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う断面図、図４は高粘度流体供給装置に使用される捻じ込み式フィルタを示す断面図である。

高粘度流体供給装置１は、高圧圧送ポンプ等で加圧された高粘度流体である接着剤Ａが供給され、この接着剤Ａを被加工物の所定の位置に供給する装置である。

高粘度流体供給装置１は、図１〜３に示すように、本体ハウジング２と、本体ハウジング２に対して互いに反対側に連結される上部ハウジング３および下部ハウジング４とを備えている。

下部ハウジング４には、内部に高粘度流体室５が設けられ、この高粘度流体室５に、外部から流入口６を解して接着剤Ａが供給される。

下部ハウジング４の一端には、高粘度流体室５から接着剤Ａを流出させるための流出口７が設けられており、この流出口７には、被加工物に対して接着剤Ａを供給するためのノズル８が、ノズル取り付けナット９により取り付けられる。ノズル８は、一体型の樹脂製であり、したがって、ノズル取り付けナット９によりノズル８を取り付ける際にＯリング等のシール部材が不要である。このため、消耗品であるノズル８を取り替える際には、ノズル８のみを交換するだけでよく、コストおよび作業時間を削減できる。

また、このノズル８は、スパナやモンキーレンチ等の汎用工具で取り替えることができ、作業性に優れている。

下部ハウジング４には、高粘度流体室５から外部に通じる圧力伝達通路１０が設けられ、圧力伝達通路１０の外部と通じる終端部には、メクラ栓１１が設けられる。

下部ハウジング４の高粘度流体室５には、ノズル８が設けられる側と反対側に設置されるシールスリーブ１２からロッド１３が挿入されており、ロッド１３の先端部が、流出口７に嵌合可能となっている。この流出口７のロッド１３の先端が接する流出口接触部７Ａは、耐磨耗性材質により形成される。

シールスリーブ１２には、ロッド１３が貫通するスリーブ孔１２Ａを備えたシール部が形成される。このスリーブ孔１２Ａには、高粘度流体室５側でスクレーパ押えリングナット１４により固定されるリング形状のスクレーパ１５と、Ｏリング１６とが備えられる。ロッド１３は、このスリーブ孔１２Ａをロッド１３の軸方向に摺動可能な構造となっている。

本体ハウジング２は、シールスリーブ１２を囲むようにして設置される。

本体ハウジング２の内部には、シール流体が充填されるシール流体室１７が設けられ、このシール流体室１７を、ロッド１３が貫通している。

本体ハウジング２には、シール流体室１７にシール流体を注入するために外部に通じる流体注入穴１８およびシール流体通路１９が設けられ、流体注入穴１８の外部と通じる終端部には、メクラ栓２０が設けられる。また、本体ハウジング２には、シール流体室１７からシール流体を排出するために外部に通じる流体排出穴２１が設けられ、流体排出穴２１の外部と通じる終端部には、メクラ栓２２が設けられる。

上部ハウジング３には、本体ハウジング２のシール流体通路１９から外部に通じるエアーパージ穴２３が設けられ、エアーパージ穴２３の外部と通じる終端部には、メクラ栓２４が設けられる。

上部ハウジング３は、本体ハウジング２のシール流体室１７を塞ぐように設置され、シール流体室１７までロッド１３が貫通する上部ハウジング貫通部２５が設けられる。上部ハウジング貫通部２５には、Ｏリング２６が設けられており、ロッド１３がロッド１３の軸方向に摺動可能な構造となっている。

上部ハウジング３のシール流体室１７側の反対側から突出するロッド１３には、固定ナット２７により駆動用ピストン２８が取り付けられ、この駆動用ピストン２８を覆う駆動用シリンダ２９が上部ハウジング３に固定される。駆動用ピストン２８の外周にはＯリング３０が設けられ、駆動用ピストン２８が駆動用シリンダ２９の内部をロッド１３の軸方向に摺動可能な構造となっている。

駆動用シリンダ２９の内部には、駆動用ピストン２８を挟んでノズル先端側の駆動用エアー室３１と、その反対側のスプリング保持室３２とが形成される。駆動用エアー室３１には、外部に通じるエアー通路３３から、加圧された駆動用のエアーが流入出される。このエアー通路３３には、逆止弁（不図示）が取り付けられ、駆動用のエアーを流入させるだけでなく、排気マニホールド（不図示）にも連結されて駆動用エアーを排気できる構造となっている。この逆止弁は、外部から駆動用エアー室３１への有害な異物の侵入を防止する機能も有している。

スプリング保持室３２には、スプリング保持溝３５に嵌って設けられるスプリング３６が備えられ、スプリング３６のずれをスプリング保持溝３５により防止し、このスプリング３６によって駆動用ピストン２８がロッド１３の先端方向に付勢される。

また、スプリング保持室３２には、駆動用ピストン２８のストロークを制限するためのストッパー３７が設けられる。ストッパー３７は、駆動用シリンダ２９に螺合するストローク調整ボルト３８により固定される。したがって、ストローク調整ボルト３８を回転させることによってストッパー３７の位置を移動させ、さらにロックナット３９によりストローク調整ボルト３８を固定することにより、ストッパー３７を任意の位置に調整することができる。

また、ストッパー３７は、スプリング３６のずれ等を防止するためのガイドとしての役割も果している。

駆動用シリンダ２９には、駆動用ピストン２８が移動する際にスプリング保持室３２内の空気を逃がすための通気穴４０が設けられる。この通気穴４０には、図４に示すような、イモネジの内部にフィルタ４１が設置された形態の捻じ込み式フィルタ４２が取り付けられる。

ロッド１３は、ノズル８側に設けられる先端ロッド４３と駆動用ピストン２８側に設けられる後端ロッド４４とが、シール流体室１７にてフローティングジョイント４５により連結されて構成される。このフローティングジョイント４５は、先端ロッド４３と後端ロッド４４の軸心のずれを吸収する機能を有している。このように、先端ロッド４３、後端ロッド４４および駆動用ピストン２８が別部材として構成されることにより、それぞれの部材２７，４３，４４に設けられる他の部材との間の摺動部位を別個に交換することが可能である。また、先端ロッド４３と後端ロッド４４は、同一の直径を有している。これにより、ロッド１３が軸方向に摺動しても、シール流体室１７の容積が変化せず、ロッド１３の進退動に起因するシール流体室１７内の圧力変動が発生しない。

本体ハウジング２の内部には、圧力均衡用ピストンスリーブ４６が設けられており、この圧力均衡用ピストンスリーブ４６には、下部ハウジング４の圧力伝達通路１０と本体ハウジング２のシール流体通路１９の間で連通する圧力均衡用シリンダ４７が形成される。

圧力均衡用シリンダ４７は、圧力伝達通路１０側に形成される円筒のシリンダ広断面部４８と、シリンダ広断面部４８よりも内径の小さいシリンダ狭断面部４９とを備えている。この圧力均衡用シリンダ４７には、シリンダ広断面部４９に嵌合するピストン広断面部５０と、シリンダ狭断面部４９に嵌合するピストン狭断面部５１とを有する圧力均衡用ピストン５２が設けられる。ピストン狭断面部５１およびピストン広断面部５０の外周には、Ｏリング５４が設けられ、異なる流体同士の混ざりを最小限に抑えている。

圧力均衡用ピストン５２は、一体構造で形成され、したがって、センターずれの起こり難い構造となっている。圧力均衡用シリンダ４７には、ＴＤ処理（表面効果処理）が施されており、したがって、接着剤Ａにより圧力均衡用シリンダ４７が磨耗し難く、交換し易いＯリング５４が磨耗されることとなる。

圧力均衡用ピストン５２は、圧力均衡用シリンダ４７に対して軸方向に摺動可能である。圧力均衡用ピストン５２が挿入された圧力均衡用ピストンスリーブ４６には、圧力均衡用シリンダ４７の圧力伝達通路側端部に溝付きリングナット５５が螺合し、圧力均衡用ピストン５２が圧力均衡用ピストンスリーブ４６の内部に保持される。この溝付きリングナット５５には、ドライバー等により取り外せるように、溝が設けられている。

圧力均衡用ピストン５２とシリンダ広断面部４８の間には、体積変化空間用流体が充填される体積変化空間５７が形成される。

圧力均衡用ピストンスリーブ４６と本体ハウジング２の間には、スリーブ外周溝５８が形成される。圧力均衡用ピストンスリーブ４６および本体ハウジング２には、体積変化空間５７から前述のスリーブ外周溝５８を介して外部に通じる体積変化空間用通路５９が設けられ、体積変化空間用通路５９の外部と通じる終端部の１つには、透明なシリコンチューブ（透明管）６０が取り付けられる。なお、体積変化空間用流体の種類によっては、透明管としてビニールチューブ等を使用することもできる。また、体積変化空間用通路５９の外部と通じる他の終端部には、メクラ栓６１が設けられる。

体積変化空間５７は、圧力均衡用シリンダ４７内を圧力均衡用ピストン５２が摺動することにより、容積が変化する。体積変化空間５７の容積が変化することにより、体積変化空間用流体である例えばグリースが、体積変化空間用通路５９を通って透明チューブ６０の中へ移動される。

高粘度流体供給装置１は、シール流体室１７にシール流体を充填し、体積変化空間５７に体積変化空間用流体を充填し、そして高粘度流体室５に体積変化空間用流体を充填した状態で使用される。

シール流体室１７にシール流体を封入または補充する際には、流体注入穴１８から注入しつつエアーパージ穴２３からエアーを排出した後、メクラ栓２０，２２により流体注入穴１８およびエアーパージ穴２３を塞いで密封する。また、シール流体室１７からシール流体を排出する際には、流体排出穴２１およびエアーパージ穴２３のメクラ栓２２，２４を取り外し、流体排出穴２１からシール流体を排出する。このように、エアーパージ穴２３が設けられているため、シール流体を封入、更新、または補充する際にシール流体室１７に過大な圧力が発生せず、パッキン等の破壊を抑制できる。

体積変化空間５７に体積変化空間用流体を封入または補充する際には、体積変化空間用通路５９から体積変化空間用流体を注入した後、メクラ栓６１により体積変化空間用通路５９を塞いで密封する。この際に、圧力均衡用ピストンスリーブ４６の外周にスリーブ外周溝５８が設けられるため、圧力均衡用ピストンスリーブ４６がどのような角度位置でも、体積変化空間５７に体積変化空間用流体を充填できる。体積変化空間５７から体積変化空間用流体を排出する際には、体積変化空間用通路５９に設けられるメクラ栓６１を取り外し、体積変化空間用通路５９から体積変化空間用流体を排出する。

高粘度流体室５に接着剤Ａを充填する際には、圧力伝達通路１０のメクラ栓１１を取り外し、ロッド１３を駆動用エアーにより下降させて流出口７を閉じた状態で、流入口６から接着剤Ａを注入する。高粘度流体室５に接着剤Ａが充填した後に、圧力伝達通路１０にメクラ栓１１を取り付けて封止する。

次に、高粘度流体供給装置１を用いた高粘度流体供給方法について説明する。

流入口６には、高圧圧送ポンプ等で加圧した接着剤Ａが供給される。この後、駆動用エアー室３１に駆動用エアーを注入すると、ロッド１３が引き上げられてロッド１３の先端が流出口７から離れ、ノズル８から接着剤Ａが吐出されて被加工物に供給される。この際に、ストッパー３７の位置を任意に調整することによりロッド１３のストロークを変更し、接着剤Ａの吐出量を調整することができる。

ここで、高粘度流体室５内の接着剤Ａが高圧圧送ポンプ等により圧力Ｐ１に加圧されているとすると、圧力均衡用ピストン５２の圧力伝達通路側端面５２Ａは、圧力Ｐ１に晒されているため、圧力均衡用ピストン５２には、圧力均衡用ピストン５２の圧力伝達通路側端面５２Ａの面積Ｓ１に圧力Ｐ１を乗じた力Ｆ１が作用する。

また、シール流体室１７内のシール流体の圧力をＰ２とすると、圧力均衡用ピストン５２のシール流体通路側端面５２Ｂは圧力Ｐ２に晒されているため、圧力均衡用ピストン５２には、圧力均衡用ピストン５２のシール流体通路側端面５２Ｂの面積Ｓ２に圧力Ｐ２を乗じた力Ｆ２が作用する。

このように圧力均衡用ピストン５２の両端で力Ｆ１、Ｆ２が作用すると、圧力均衡用ピストン５２は軸方向に摺動可能であるため、Ｆ１とＦ２の力が釣り合う位置で停止する。つまり、Ｓ１×Ｐ１＝Ｓ２×Ｐ２となり、したがって、Ｐ２＝Ｐ１×（Ｓ１／Ｓ２）の関係が成り立つ。

ここで、面積Ｓ１はＳ２よりも大きいため、圧力Ｐ２はＰ１よりも大きくなる。

この力の関係は、ノズル８から接着剤Ａを吐出している場合および吐出していない場合のどちらにおいても成り立つ。

したがって、シール流体室１７の圧力は常に高粘度流体室５よりも高い状態に保たれ、時間経過とともに圧力が低下することがない。これにより、接着剤Ａがシールスリーブ１２を通ってシール流体室１７側に漏出することを確実に防止できる。

また、体積変化空間５７にグリス等の非ニュートン流体を充填することにより、圧力均衡用ピストンスリーブ４６におけるシール性を向上させることができる。

また、温度変化によるシール流体の体積変化は、圧力均衡用ピストン５２により吸収することができる。また、透明チューブ６０に体積変化空間用流体が移動されるため、目視により高粘度流体室５の圧力を確認できる。

また、シールスリーブ１２にはスクレーパ１５が設けられているため、ロッド１３がノズル８を開く方向に摺動しても、接着剤Ａがシールスリーブ１２内に入り込まない。特に、被加工物に形成される接着層の厚さを正確に付与するための精度凍結用のガラス球が接着剤Ａに混入されている場合には、ガラス球がシールスリーブ１２内に入ると研磨粉のように作用し、摺動部に異常磨耗が発生する。しかし、スクレーパ１５が設けられることによって、接着剤Ａとともにガラス球の侵入も防ぎ、摺動部での異常磨耗を抑制できる。

シール流体には、腐食性の液体でなければ使用できる。また、シール流体が接する部材（本体ハウジング２、上部ハウジング３、シールスリーブ１２、圧力均衡用ピストンスリーブ４６、圧力均衡用ピストン５２、先端ロッド４３および後端ロッド４４）をステンレス等の耐食性材質で作製すれば、シール流体に腐食性流体を採用することも可能である。このように、シール流体の選択が自由であるため、接着剤Ａと相性の悪いシール流体を使用する必要がなく、接着剤Ａと相性の悪いシール流体を使用する際の不具合の発生を防止できる。

したがって、例えば車体を製造する工程においては、塗装工程の脱脂剤で除去できない油脂類（例えばシリコン系油脂等）が使用できないが、本実施形態ではシール流体の選択の自由度が広いため、不都合な油脂類をシール流体として選択する必要がない。このような脱脂可能な油脂の種類は工場により異なるため、工場により最適なシール流体を選択できる。

また、シール流体として潤滑特性の良い液体を使用することにより、摺動部の摩擦を低減させることができ、摺動部の寿命を延長させることができる。

また、接着剤Ａがシールスリーブ１２から漏出されず、したがって接着剤Ａが高粘度流体供給装置の外部に漏出されないため、被加工物の指定範囲以外に接着剤Ａが付着することがなく、被加工物の品質を良好に保つことができる。

また、駆動用シリンダ２９や駆動用ピストン２８等からなる駆動部と高粘度流体室５の間にシール流体室１７が設けられ、さらにシール流体室１７への接着剤Ａの流入を防止できるため、駆動部に接着剤Ａが流入することがなく、駆動部を固化させることがない。また、駆動部にシール流体が侵入しても、駆動用エアー室３１から駆動用エアーが排出される際に、駆動用エアーと一緒に排気マニホールドよりシール流体が排出される。

また、接着剤Ａに晒される先端ロッド４３、シールスリーブ１２、および下部ハウジング４には、最適な耐磨耗処理（耐磨耗超硬溶射、ＴｉＮコーティング等）を施すことにより、摺動部の寿命を延長できる。

また、本実施形態の高粘度流体供給装置の圧力均衡用ピストン５２が嵌る圧力均衡用ピストンスリーブ４６が本体ハウジング２と別部品であるため、圧力均衡用ピストン５２と圧力均衡用ピストンスリーブ４６を本体ハウジング２から容易に取り外すことができる。したがって、圧力均衡用ピストン５２の端面の面積比の異なる圧力均衡用ピストン５２および圧力均衡用ピストンスリーブ４６に変更することにより、シール流体室１７と高粘度流体室５の圧力比を容易に変更できる。また、圧力均衡用ピストン５２と圧力均衡用ピストンスリーブ４６を容易に取り外すことができるため、例えば接着剤Ａが固化等した場合に、容易に交換することができる。

この圧力均衡用ピストンスリーブ４６を本体ハウジング２から取り外す際には、本体ハウジング２から上部ハウジング３と下部ハウジング４を取り外した後、ドライバー等の長い棒により本体ハウジング２から容易に押し出すことができる。

また、それぞれの摺動する部位（シールスリーブ１２、圧力均衡用ピストンスリーブ４６、下部ハウジング４とロッド１３の間、上部ハウジング３とロッド１３の間、駆動部等）が磨耗した場合を考慮して、各摺動する部位が分割されているため、オーバーホールを容易に行うことができる。

なお、本発明は上述した実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の範囲内で種々改変することができる。例えば、本実施形態ではシールスリーブ１２、圧力均衡用ピストンスリーブ４６、およびノズル８等が取り外しできるように別部材で形成されるが、必ずしも別部材でなくてもよい。

本実施形態に係る高粘度流体供給装置の正面図である。 同高粘度流体供給装置の側面図である。 図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う断面図である。 高粘度流体供給装置に使用される捻じ込み式フィルタを示す断面図である。

符号の説明

１ 高粘度流体供給装置、
２ 本体ハウジング、
３ 上部ハウジング、
４ 下部ハウジング、
５ 高粘度流体室、
６ 流入口、
７ 流出口、
７Ａ 流出口接触部、
８ ノズル、
１０ 圧力伝達通路、
１２ シールスリーブ、
１３ ロッド、
１５ スクレーパ、
１７ シール流体室、
１８ 流体注入穴、
１９ シール流体通路、
２１ 流体排出穴、
２３ エアーパージ穴、
２８ 駆動用ピストン、
２９ 駆動用シリンダ、
３１ 駆動用エアー室、
４３ 先端ロッド、
４４ 後端ロッド、
４５ フローティングジョイント、
４６ 圧力均衡用ピストンスリーブ、
４７ 圧力均衡用シリンダ、
４８ シリンダ広断面部、
４９ シリンダ狭断面部、
５０ ピストン広断面部、
５１ ピストン狭断面部、
５２ 圧力均衡用ピストン、
５２Ａ 圧力伝達通路側端面、
５２Ｂ シール流体通路側端面、
５７ 体積変化空間、
５８ スリーブ外周溝、
５９ 体積変化空間用通路、
６０ シリコンチューブ（透明管）、
Ａ 接着剤（高粘度流体）。

Claims (10)

1. 高粘度流体を被加工物に塗布するためのノズルを備えた高粘度流体供給装置であって、
   前記ノズルに連通する流出口に対して進退動することにより当該流出口を開閉可能なロッドと、
   前記流出口に連通するとともに前記ロッドが貫通し、外部から高粘度流体が流入される高粘度流体室と、
   前記ロッドが貫通するとともにシール流体が充填されるシール流体室と、
   前記ロッドが摺動可能に貫通するとともに前記高粘度流体室とシール流体室の間を封止するシール部と、
   前記高粘度流体室側に形成されるシリンダ広断面部および前記シール流体室側に形成されるシリンダ狭断面部を備えて前記高粘度流体室とシール流体室の間で連通して設けられ、前記シリンダ広断面部が前記シリンダ狭断面部よりも断面積が大きく形成された圧力均衡用シリンダと、
   前記シリンダ広断面部に嵌合するピストン広断面部および前記シリンダ狭断面部に嵌合するピストン狭断面部を備え、前記圧力均衡用シリンダ内を摺動する圧力均衡用ピストンと、を有することを特徴とする高粘度流体供給装置。
2. 前記シール部の前記高粘度流体室側には、前記ロッドと接するスクレーパが設けられることを特徴とする請求項１に記載の高粘度流体供給装置。
3. 前記シリンダ広断面部と前記圧力均衡用ピストンの間に前記高粘度流体室およびシール流体室から隔絶された体積変化空間が形成され、当該体積変化空間に連通される透明管が外部に導出されることを特徴とする請求項１または２に記載の高粘度流体供給装置。
4. 前記ロッドは、前記シール流体室に対して前記高粘度流体室と反対の側に設けられる駆動用シリンダに摺動可能に嵌合する駆動用ピストンに連結され、当該駆動用シリンダに駆動用エアーが流入出することによりロッドが進退動することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の高粘度流体供給装置。
5. 前記シール部は、前記高粘度流体供給装置から取り外し可能なシールスリーブに形成されることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の高粘度流体供給装置。
6. 前記圧力均衡用シリンダは、前記高粘度流体供給装置から取り外し可能な圧力均衡用ピストンスリーブに形成されることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の高粘度流体供給装置。
7. 前記ロッドは、他の部材と摺動する摺動部を有する少なくとも２部材を有して形成されることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の高粘度流体供給装置。
8. 前記シール流体室は、流体注入穴および流体排出穴により外部に通じることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の高粘度流体供給装置。
9. 高粘度流体を吐出するノズルを備えた高粘度流体供給装置により高粘度流体を被加工物に塗布する高粘度流体供給方法であって、
   前記高粘度流体供給装置には、シール部を介して高粘度流体室とシール流体室が設けられ、
   前記高粘度流体室およびシール流体室と連通する圧力均衡用シリンダに、圧力均衡用ピストンが摺動可能に嵌合するとともに、前記シール流体室の圧力が高粘度流体室の圧力よりも高くなる位置で、圧力均衡用ピストンの摺動位置を釣り合わせつつ、ノズルから高粘度流体を吐出させることを特徴とする高粘度流体供給方法。
10. 前記圧力均衡用ピストンの摺動位置を釣り合わせは、前記圧力均衡用ピストンの高粘度流体室側およびシール流体室側の断面積を異ならせることにより調整されることを特徴とする請求項９に記載の高粘度流体供給方法。

Images