JP2007311815A - イオン注入方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】イオン源から引き出したイオンビームをレジストが塗布された基板を設置したエンドステーション15に導くビームラインケース2の途中にクライオポンプ1を設けて、レジストから放出されたガスを差動排気することにより該ケース2内の圧力を低下して、イオンの衝突による価電変換したイオン割合を十分の1以下に低減してイオンを注入する。クライオポンプ1は、ビームラインケースの側面に設けられたビームライン中心軸10と交差する方向に伸びる超低温に冷却されたシールド6と、シールドの内側に同方向に配置された該シールドと連結したバッフル9と、シールドとバッフルとの間に同方向に多段複数列に配置された極低温に冷却されたクライオパネル8とを備える。
【選択図】図3
Description
Claims (2)
- イオン源から引き出したイオンビームをエンドステーションに接続されたビームラインケースの内部に導き、該ビームラインケースを通って前記エンドステーション内に設置したレジストが塗布された基板にイオンを注入する方法において、前記ビームラインケースの途中にクライオポンプを設けて、該クライオポンプにより前記レジストから放出されたガスを差動排気することによって該ビームラインケース内の圧力を低下して、該ガスとの衝突による価電変換したイオン割合を十分の1以下に低減してイオンを注入することを特徴とするイオン注入方法。
- 前記クライオポンプによる差動排気が、前記ビームラインケースの側面に設けられた、該クライオポンプのビームライン中心軸と交差する方向に伸びる多段複数列の極低温に冷却されたクライオパネルと、該クライオパネルの外側に配置された超低温に冷却されたシールドと、該シールドに連結したバッフルとによる気体分子の捕捉により行われることを特徴とする請求項1記載のイオン注入方法。
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2007
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