JP2007307624A - 位置決め装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の操作棒6を、密閉容器7を密閉するために該密閉容器7とZ軸ステージ4の上面プレート5の間に、ベローズ9内を貫通させて配設することにより気密性を図る。前記ベローズ9におけるZ軸ステージ4の上面プレート5の接続面と、該ベローズ9における密閉容器7との接続面とにおいて、中心位置を偏心させて取り付ける。
【選択図】図1
Description
2 XYθ軸ステージ
3 あおり調整機構
4 Z軸ステージ
5 上面プレート
6 操作棒
7 密閉容器
8 被操作体
9 ベローズ
Claims (1)
- 密閉容器内の被操作体を、前記密閉容器外から回転および直線移動操作する位置決め装置であって、前記密閉容器を貫通して一端が前記被操作体に連結された複数の操作棒と、該操作棒の他端をそれぞれ支持して前記密閉容器外に配設されたプレートと、前記被操作体を前記操作棒と略平行な軸回りに回転せしめる回転機構と、前記被操作体を前記操作棒と略平行な軸と該軸に略直交しかつ互いに略直交する2軸との3方向に直進せしめる直進機構を備えた位置決め装置において、
前記操作棒をベローズ内に貫通させ、該ベローズの前記密閉容器に接続する端面の中心と、前記プレートに接続する端面の中心とを偏心させて設置したことを特徴とする位置決め装置。
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JPS63125888A (ja) * | 1986-11-13 | 1988-05-30 | 株式会社東芝 | ベロ−ズ継手 |
JPH0215894A (ja) * | 1988-07-04 | 1990-01-19 | Nippon Seiko Kk | 位置決め装置 |
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JP2003097709A (ja) * | 2001-09-27 | 2003-04-03 | Mirapuro:Kk | ねじれを吸収できる溶接ベローズ |
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