JP2007306704A - Manufacture of field system portion of cylindrical linear motor and field system portion manufactured by this method, and cylindrical linear motor - Google Patents
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Description
本発明は、円筒形リニアモータ界磁部の製造方法およびこの方法で製造された円筒形リニアモータ界磁部、並びに該界磁部と電機子部を備えた円筒形リニアモータに関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a cylindrical linear motor field part, a cylindrical linear motor field part manufactured by this method, and a cylindrical linear motor including the field part and an armature part.
従来、円筒形状の界磁と電機子を備えた円筒形リニアモータは、図5のようになっている。
図5は従来の円筒形リニアモータの構成を示す側断面図である。
図5において、1は固定子、2は可動子、3は軸受、4はヨーク、5はコイル、6は永久磁石、7はキャン、8はシャフト、9はブラケット、14は鉄ピースである。
リニアモータの固定子1と可動子2は互いに磁気的空隙を介して対向配置されており、可動子2は固定子1の両端に設けたブラケット9を介して、軸受3により軸支持されている。このうち、固定子1は、円筒状の磁性体よりなるヨーク4の内径側に電気装荷手段となる円筒状のコイル5を軸方向に複数個並べて構成される。また、可動子2は軸方向に伸びる円筒状の薄肉ステンレス製のキャン7の内径側に、図中に矢印で示す方向に磁化された磁気装荷手段となる円柱状の永久磁石6を軸方向に複数挿設し、かつ、各磁石を互いに極性が同じ向きに配置すると共に、円柱状の鉄ピース11を該磁石間に挟むようにして構成される。なお、キャン7内部における永久磁石6の磁石列の両端にはシャフト8を挿入するためのスペースが設けられている。
図6は、図5のリニアモータ界磁部におけるシャフトとキャンの結合部を拡大した図を示したものである。リニアモータ可動子2を構成する界磁部は、磁石列を内部に挿設したキャン7の内径側の両端におけるスペースに高精度に加工されたシャフト8を挿設し、シャフト8の端部の外周面とキャン7の内周面との間に同じく高精度に加工された補強リング11を圧入した後、キャン7と補強リング11のつなぎ目部分をレーザー溶接して一体化される(例えば、特許文献1を参照)。
FIG. 5 is a side sectional view showing a configuration of a conventional cylindrical linear motor.
In FIG. 5, 1 is a stator, 2 is a mover, 3 is a bearing, 4 is a yoke, 5 is a coil, 6 is a permanent magnet, 7 is a can, 8 is a shaft, 9 is a bracket, and 14 is an iron piece.
The stator 1 and the mover 2 of the linear motor are opposed to each other via a magnetic gap, and the mover 2 is axially supported by a bearing 3 via
FIG. 6 shows an enlarged view of the joint between the shaft and the can in the linear motor field part of FIG. The field magnet portion constituting the linear motor movable element 2 is inserted with a
ところが、従来の円筒形リニアモータは、補強リングをキャンとシャフトの間に圧入する工程を有するため、これらの部材は高精度な加工を必要とし、加工費用が高価であった。
また、円筒形リニアモータの可動子の直径が数ミリ程度の小型のものを採用する場合、補強リングをキャンとシャフトの間に圧入後、キャンと補強リングをエネルギー密度の高いレーザーなどの溶接を用いて溶接すると、溶接部分が非常に高温となるが、溶接対象部分となる部材間のつなぎ目部分が構造的に小さいため、各部材の該つなぎ目以外の周辺に熱が加わって、溶接時の加工熱による熱変形が起こり、精度良くキャンと補強リングを結合することができないといった問題があった。
そこで、本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、界磁を構成する永久磁石を備えたシャフトとキャンの部材間を補強リングで結合する際に、補強リングとキャンのつなぎ目の固定を、溶接を用いることなく、安価で、かつ、簡易な方法で実施することができると共に、加工時の熱変形の影響を抑えることが出来る円筒形リニアモータ界磁部の製造方法およびこの方法で製造された円筒形リニアモータ界磁部、並びに円筒形リニアモータを提供することを目的とする。
However, since the conventional cylindrical linear motor has a step of press-fitting the reinforcing ring between the can and the shaft, these members require high-precision processing, and the processing cost is expensive.
Also, when using a cylindrical linear motor with a mover of a few millimeters in diameter, press the reinforcing ring between the can and the shaft, and then weld the can and the reinforcing ring with a laser with high energy density. When welded, the welded part becomes very hot, but the joints between the parts to be welded are structurally small, so heat is applied to the periphery of each part other than the joints, and processing during welding There was a problem that thermal deformation occurred due to heat, and the can and the reinforcing ring could not be combined with high accuracy.
Therefore, the present invention has been made in view of such problems, and when the reinforcing ring is used to connect the shaft and the can member having the permanent magnet constituting the field with the reinforcing ring, the present invention has been made. The method of manufacturing a cylindrical linear motor field part that can be fixed in an inexpensive and simple manner without using welding, and that can suppress the influence of thermal deformation during processing, and this It is an object of the present invention to provide a cylindrical linear motor field part manufactured by the method and a cylindrical linear motor.
上記問題を解決するため、本発明は、次のように構成したものである。
請求項1記載の発明は、軸方向に伸びる薄肉円筒状のキャンの内径側に磁気装荷手段となる複数個の永久磁石を挿入する工程と、前記キャンに挿入された該永久磁石の磁石列の端部にシャフトを挿入する工程と、前記キャンと前記シャフトの間に補強リングを圧入する工程と、を備え、前記キャンの両端から隣り合う前記永久磁石の間を密着させるようにして界磁部を構成するようにした円筒形リニアモータの界磁部の製造方法において、前記シャフトの端部に段付状に波打った段付溝部を設ける構成とし、前記シャフトの段付溝部に対向する位置にかしめパンチを設置し、前記かしめパンチにより、前記シャフトの段付溝部の外周に圧入された補強リングを前記キャンの内径部に嵌合させてかしめように固定し、かしめにより前記キャンの肉が前記補強リングの内径側に流入して前記補強リングの回り止めを行うようにしたことを特徴としている。
In order to solve the above problems, the present invention is configured as follows.
The invention according to claim 1 includes a step of inserting a plurality of permanent magnets serving as magnetic loading means on the inner diameter side of a thin cylindrical can extending in the axial direction, and a magnet array of the permanent magnets inserted into the can. A step of inserting a shaft into an end portion, and a step of press-fitting a reinforcing ring between the can and the shaft, and the field magnet portion so as to closely contact the adjacent permanent magnets from both ends of the can In the method for manufacturing a magnetic field portion of a cylindrical linear motor configured to form a stepped groove portion wavy in a stepped shape at the end of the shaft, a position facing the stepped groove portion of the shaft A caulking punch is installed, and by the caulking punch, the reinforcing ring press-fitted into the outer periphery of the stepped groove portion of the shaft is fitted and fixed to the inner diameter portion of the can and fixed by caulking. There has been characterized by flows into the inner diameter side of the reinforcing ring has to perform the detent of the reinforcing ring.
請求項2記載の発明は。軸方向に伸びる薄肉円筒状のキャンの内径側に挿設された磁気装荷手段となる複数個の永久磁石と、前記キャンに挿設された該永久磁石の磁石列の端部に挿入されたシャフトと、前記キャンと前記シャフトの間に圧入された補強リングと、を備え、前記キャンの両端から、隣り合う前記永久磁石の間を密着させるようにして界磁部を構成してなる円筒形リニアモータの界磁部において、前記シャフトの端部に段付状に波打った段付溝部が設けてあり、前記シャフトの段付溝部の外周に圧入された補強リングが前記キャンの内径部に嵌合してかしめ固定され、かしめにより前記キャンの肉が前記補強リングの内径側に流入して前記補強リングの回り止めがなされていることを特徴としている。 The invention according to claim 2. A plurality of permanent magnets serving as magnetic loading means inserted on the inner diameter side of a thin cylindrical can extending in the axial direction, and a shaft inserted at an end of a magnet row of the permanent magnet inserted in the can And a reinforcing ring press-fitted between the can and the shaft, and a cylindrical linear member comprising a field portion so as to closely contact the adjacent permanent magnets from both ends of the can In the field portion of the motor, a stepped groove portion undulated in a stepped shape is provided at the end portion of the shaft, and a reinforcing ring press-fitted into the outer periphery of the stepped groove portion of the shaft is fitted into the inner diameter portion of the can. The can is fixed by caulking, and the meat of the can flows into the inner diameter side of the reinforcing ring by caulking to prevent rotation of the reinforcing ring.
請求項3記載の発明は、請求項2に記載の円筒形リニアモータ界磁部と、前記リニアモータ界磁部の外側に磁気的空隙を介して対向配置されると共に、円筒状の磁性体よりなる金属パイプの内径側に、電気装荷手段となる円筒状に巻回したコイルを軸方向に複数個並べて構成される円筒形リニアモータ電機子と、を備え、前記界磁部と前記電機子部の何れか一方を可動子に、他方を固定子として、前記界磁部と前記電機子部を相対的に走行するようにした円筒形リニアモータを構成することを特徴としている。 According to a third aspect of the present invention, the cylindrical linear motor field portion according to the second aspect is disposed opposite to the outside of the linear motor field portion via a magnetic gap, and the cylindrical magnetic body is used. A cylindrical linear motor armature configured by arranging a plurality of coils wound in a cylindrical shape serving as electric loading means in the axial direction on the inner diameter side of the metal pipe, and the field portion and the armature portion One of these is a movable element and the other is a stator, and a cylindrical linear motor is configured to travel relatively between the field part and the armature part.
請求項1または2に記載の本発明によると、界磁を構成する永久磁石を備えたシャフトとキャンの部材間を補強リングで結合する際に、かしめパンチを用いて補強リングとキャンを加圧変形させるようにしたので、各部材同士を極めて簡単に、かつ、迅速に固定することができ、リニアモータ界磁部の製造面での生産性向上やコスト低減に結びつく。
また、本発明は上記手段を用いることで、従来技術のようにシャフトおよび補強リングを高精度に加工したり、補強リングとキャンのつなぎ目の固定を溶接で行うといった面倒さ、あるいは溶接時の加工熱による熱変形の影響を解消することができる。
請求項3に記載の本発明によると、請求項1または2に記載の界磁部を電機子と組み合わせて用いることで、リニアモータ全体としての製造面での生産性が高くなり、信頼性の高い円筒形リニアモータを得ることができる。
According to the first or second aspect of the present invention, when the reinforcing ring is connected between the shaft and the can member having the permanent magnet constituting the field by the reinforcing ring, the reinforcing ring and the can are pressurized using the caulking punch. Since they are deformed, the members can be fixed very easily and quickly, leading to improvement in productivity and cost reduction in the production of the linear motor field part.
In addition, the present invention uses the above-described means, so that the shaft and the reinforcing ring are processed with high accuracy as in the prior art, and the joint between the reinforcing ring and the can is fixed by welding, or processing at the time of welding. The influence of heat deformation due to heat can be eliminated.
According to the third aspect of the present invention, by using the field part according to the first or second aspect in combination with an armature, productivity in terms of manufacturing as a whole linear motor is increased, and reliability is improved. A high cylindrical linear motor can be obtained.
以下、本発明の実施の形態について図を参照して具体的に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be specifically described with reference to the drawings.
図1は本発明の第1実施例を示すリニアモータ界磁部におけるシャフトとキャンの結合部を拡大した側断面図である。なお、本発明の構成要素が従来技術と同じ点についてはその説明を省略し、異なる点のみ説明する。
図1において、8aは段付溝部、10は補強リングである。
FIG. 1 is an enlarged side cross-sectional view of a shaft-can coupling portion in a linear motor field portion showing a first embodiment of the present invention. Note that the description of the same constituent elements of the present invention as those of the prior art will be omitted, and only different points will be described.
In FIG. 1, 8a is a stepped groove and 10 is a reinforcing ring.
本発明の特徴は以下のとおりである。
すなわち、軸方向に伸びる薄肉円筒状のキャン7の内径側に挿設された磁気装荷手段となる複数個の永久磁石6と、キャン7に挿設された永久磁石6の磁石列の端部に挿入されたシャフト8と、キャン7とシャフト8の間に圧入された補強リング10と、を備え、キャン7の両端から、隣り合う永久磁石6の間を密着させるようにして界磁部を構成してなる円筒形リニアモータの界磁部において、シャフト8の端部に段付状に波打った段付溝部8aが設けてあり、シャフト8の段付溝部8aの外周に圧入された補強リング10がキャン7の内径部に嵌合してかしめ固定され、かしめによりキャン7の肉が補強リング10の内径側に流入して補強リング10の回り止めがなされている点である。
The features of the present invention are as follows.
That is, a plurality of
次に、円筒形リニアモータの界磁部の製造方法を、図2及び図3を用いて説明する。
図2はシャフトとキャンと補強リングを嵌合する前の状態を示す側断面図、図3はリニアモータ界磁部のかしめ固定の手順を示すものであって、(a)は(b)のA−A線に沿う正断面図であり、かしめパンチを界磁部の上下方向にセットし、かしめ固定前の状態を示すもの、(b)は(a)の側断面図、(c)はかしめ時の状態を示す側断面図である。図3において、12aは上かしめパンチ、12bは下かしめパンチを示している。
まず、図2において、軸方向に伸びる薄肉円筒状のキャン7の内径側に複数個の永久磁石(不図示)を挿入する。続いて、キャン7に挿入された該永久磁石6の磁石列の端部にシャフト8を挿入すると共に、キャン7とシャフト8の間に補強リング10を圧入する。
次に、図3(a)および(b)に示すように、シャフト8の端部に段付状に波打った段付溝部8aに対向する位置に上かしめパンチ12a、下かしめパンチ12bを設置する。続いて、図3(c)に示すように、上かしめパンチ12a、下かしめパンチ12bにより、シャフト8の段付溝部8aの外周に位置する部分に圧入された補強リング10とキャン7を、加圧変形させてかしめると、かしめ時に塑性変形したキャン7の肉が補強リング10の内径側に流入して、補強リング10の回り止めが行われる。
Next, the manufacturing method of the field part of a cylindrical linear motor is demonstrated using FIG.2 and FIG.3.
FIG. 2 is a side sectional view showing a state before the shaft, the can and the reinforcing ring are fitted together, and FIG. 3 shows a procedure for caulking and fixing the linear motor field part. It is a front sectional view along the AA line, and shows a state before caulking is fixed by setting the caulking punch in the vertical direction of the field part, (b) is a side sectional view of (a), (c) is It is a sectional side view which shows the state at the time of crimping. In FIG. 3, 12a indicates an upper caulking punch, and 12b indicates a lower caulking punch.
First, in FIG. 2, a plurality of permanent magnets (not shown) are inserted on the inner diameter side of a thin cylindrical can 7 extending in the axial direction. Subsequently, the
Next, as shown in FIGS. 3 (a) and 3 (b), an
したがって、本発明は界磁を構成する永久磁石を備えたシャフトとキャンの部材間を補強リングで結合する際に、かしめパンチを用いて補強リングとキャンを加圧変形させる手段を採用したため、各部材同士を極めて簡単に、かつ、迅速に固定することができる。その結果、リニアモータ界磁部の製造面での生産性向上やコスト低減に結びつくといった効果がある。
また、本発明は上記手段を用いることで、従来技術のようにシャフトおよび補強リングを高精度に加工したり、補強リングとキャンのつなぎ目の固定を溶接で行うといった面倒さ、あるいは溶接時の加工熱による熱変形の影響を解消することができる。
また、界磁部を電機子と組み合わせて用いることで、リニアモータ全体としての製造面での生産性が向上し、信頼性の高い円筒形リニアモータを得ることができる。
Therefore, the present invention employs means for pressurizing and deforming the reinforcing ring and the can using a caulking punch when the shaft and the can provided with the permanent magnet constituting the field are coupled by the reinforcing ring. The members can be fixed very easily and quickly. As a result, there is an effect that the production efficiency of the linear motor field part is improved and the cost is reduced.
In addition, the present invention uses the above-described means, so that the shaft and the reinforcing ring are processed with high accuracy as in the prior art, and the joint between the reinforcing ring and the can is fixed by welding, or the processing at the time of welding is performed. The influence of heat deformation due to heat can be eliminated.
Further, by using the field part in combination with the armature, productivity in terms of manufacturing as the whole linear motor is improved, and a highly reliable cylindrical linear motor can be obtained.
なお、図3に示した第1実施例に替えて、図4に示すようなかしめパンチを用いるようにしても構わない。図4は、本発明のその他の実施例を示すリニアモータ界磁部におけるシャフトとキャンの結合部を拡大した側断面図である。
すなわち、上かしめパンチ13a,下かしめパンチ13bの先端の突起形状を三角形状から矩形状に変更したものであり、最適な形状に適宜変更することは可能である。
Instead of the first embodiment shown in FIG. 3, a caulking punch as shown in FIG. 4 may be used. FIG. 4 is an enlarged side cross-sectional view of a shaft-can coupling portion in a linear motor field portion showing another embodiment of the present invention.
That is, the protrusion shape at the tip of the
本発明によると、可動子を構成する永久磁石を設けた界磁部を安価で、簡易な方法で製造することが可能なので、界磁部を電機子と組み合わせて円筒形リニアモータを構成することで、高精度な位置決めや微小送りを必要とする液晶・半導体製造装置あるいは検査装置のほか、例えば、小型で、複数本の円筒リニアモータを並べて、チップマウンタのヘッドなどにも適用することができる。 According to the present invention, since the field part provided with the permanent magnet constituting the mover can be manufactured at a low cost by a simple method, a cylindrical linear motor is configured by combining the field part with the armature. In addition to liquid crystal / semiconductor manufacturing equipment or inspection equipment that requires high-precision positioning and microfeeding, for example, it can be applied to a chip mounter head or the like by arranging a plurality of small cylindrical linear motors. .
1 固定子、
2 可動子、
3 軸受、
4 ヨーク、
5 コイル、
6 永久磁石、
7 キャン、
8 シャフト、
8a 段付溝部、
9 ブラケット、
10、11補強リング、
12a、13a 上かしめパンチ、
12b、13b 下かしめパンチ、
14 鉄ピース
1 Stator,
2 mover,
3 bearings,
4 York,
5 coils,
6 Permanent magnet,
7 Can,
8 shaft,
8a Stepped groove,
9 Bracket,
10, 11 reinforcement ring,
12a, 13a Top caulking punch,
12b, 13b Lower caulking punch,
14 Iron piece
Claims (3)
前記キャンに挿入された該永久磁石の磁石列の端部にシャフトを挿入する工程と、
前記キャンと前記シャフトの間に補強リングを圧入する工程と、
を備え、前記キャンの両端から隣り合う前記永久磁石の間を密着させるようにして界磁部を構成するようにした円筒形リニアモータの界磁部の製造方法において、
前記シャフトの端部に段付状に波打った段付溝部を設ける構成とし、
前記シャフトの段付溝部に対向する位置にかしめパンチを設置し、
前記かしめパンチにより、前記シャフトの段付溝部の外周に圧入された補強リングを前記キャンの内径部に嵌合させてかしめように固定し、
かしめにより前記キャンの肉が前記補強リングの内径側に流入して前記補強リングの回り止めを行うようにしたことを特徴とする円筒形リニアモータ界磁部の製造方法。 Inserting a plurality of permanent magnets as magnetic loading means on the inner diameter side of the thin cylindrical can extending in the axial direction;
Inserting a shaft into the end of the magnet row of the permanent magnet inserted into the can;
Press-fitting a reinforcing ring between the can and the shaft;
In the manufacturing method of the field part of the cylindrical linear motor, wherein the field part is configured to closely contact between the permanent magnets adjacent from both ends of the can,
The end of the shaft has a stepped groove that is undulated in a stepped shape,
A caulking punch is installed at a position facing the stepped groove portion of the shaft,
With the caulking punch, the reinforcing ring press-fitted into the outer periphery of the stepped groove portion of the shaft is fitted into the inner diameter portion of the can and fixed so as to be caulked,
A method of manufacturing a cylindrical linear motor field portion, wherein the meat of the can flows into the inner diameter side of the reinforcing ring by caulking to prevent rotation of the reinforcing ring.
前記キャンに挿設された該永久磁石の磁石列の端部に挿入されたシャフトと、
前記キャンと前記シャフトの間に圧入された補強リングと、
を備え、前記キャンの両端から、隣り合う前記永久磁石の間を密着させるようにして界磁部を構成してなる円筒形リニアモータの界磁部において、
前記シャフトの端部に段付状に波打った段付溝部が設けてあり、
前記シャフトの段付溝部の外周に圧入された補強リングが前記キャンの内径部に嵌合してかしめ固定され、かしめにより前記キャンの肉が前記補強リングの内径側に流入して前記補強リングの回り止めがなされていることを特徴とする円筒形リニアモータ界磁部。 A plurality of permanent magnets serving as magnetic loading means inserted on the inner diameter side of the thin cylindrical can extending in the axial direction;
A shaft inserted into an end of a magnet row of the permanent magnet inserted into the can;
A reinforcing ring press-fitted between the can and the shaft;
In the field part of the cylindrical linear motor formed from both ends of the can, the field part is configured to closely contact between the adjacent permanent magnets.
A stepped groove portion undulating in a stepped shape is provided at the end of the shaft,
A reinforcing ring press-fitted into the outer periphery of the stepped groove portion of the shaft is fitted and fixed to the inner diameter portion of the can, and the meat of the can flows into the inner diameter side of the reinforcing ring by caulking and the reinforcing ring Cylindrical linear motor field part characterized by being prevented from rotation.
前記リニアモータ界磁部の外側に磁気的空隙を介して対向配置されると共に、円筒状の磁性体よりなる金属パイプの内径側に、電気装荷手段となる円筒状に巻回したコイルを軸方向に複数個並べて構成される円筒形リニアモータ電機子と、
を備え、前記界磁部と前記電機子部の何れか一方を可動子に、他方を固定子として、前記界磁部と前記電機子部を相対的に走行するようにしたことを特徴とする円筒形リニアモータ。 The cylindrical linear motor field part according to claim 2,
A coil wound in a cylindrical shape serving as an electric loading means is axially disposed on the inner diameter side of a metal pipe made of a cylindrical magnetic body and opposed to the outside of the linear motor field portion via a magnetic gap. A plurality of cylindrical linear motor armatures arranged side by side,
The field portion and the armature portion are relatively driven by using one of the field portion and the armature portion as a mover and the other as a stator. Cylindrical linear motor.
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