JP2007305822A - Semiconductor integrated circuit - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、ワイヤボンディング等を行うための接続パッドの配置について改良を図った半導体集積回路に関するものである。 The present invention relates to a semiconductor integrated circuit in which the arrangement of connection pads for performing wire bonding or the like is improved.
近年、プロセスの微細化により、半導体集積回路に搭載できる回路素子数は大幅に増加しつつあり、それに伴い、例えばASIC(特殊用途向けLSI)においては多ピン化が進んでいる。これにより、ワイヤボンディング等を行うために多くの接続パッドが必要となるが、パッケージ実装におけるワイヤボンディング装置の制約等により、パッドピッチは制限されており、パッドピッチを小さくする手法として、パッド配列を複数列に分ける手法が広く用いられている。 In recent years, the number of circuit elements that can be mounted on a semiconductor integrated circuit has been greatly increased due to miniaturization of processes, and accordingly, for example, in ASIC (LSI for special applications), the number of pins is increasing. As a result, many connection pads are required to perform wire bonding, etc., but the pad pitch is limited due to restrictions of the wire bonding apparatus in package mounting, etc. A technique of dividing into a plurality of columns is widely used.
図6は従来の半導体集積回路(LSIチップ)10の平面の概略を示す図である。20はコア領域であり、主要回路が構成され且つコア電源配線21とコア接地配線22がメッシュ状に配置されている。30はIO領域であり、複数のIOセル31が配置されるとともに、それぞれのIOセル31に対応する接続パッド40が配置される。接続パッド40は、例えば、IOセル31内の入力バッファ、出力バッファ、もしくは入出力バッファに配線51(図7参照)を介して接続され、それぞれ、入力パッド、出力パッド、もしくは入出力パッドとして利用される。接続パッド40は、また、IO領域30に設けられるIO領域用高電位電源配線もしくは接地電源配線(図示しない)に接続され、IO領域30用の高電位電圧(VDDO)もしくは低電位電圧(GNDO)を供給するためにも使用される。IOセル31の一部は、コア領域20のコア電源配線21に高電位電圧(VDD)を供給するためのコア電源用セル32、コア接地配線22に低電位電圧(GND)を供給するためのコア接地用セル33として使用される。この場合、コア電源用セル32およびコア接地用セル33に対応して配置された接続パッド40は、それぞれVDDおよびGNDを供給するために使用される。34はコア電源用セル32上のコア電源配線、35はコア接地用セル33上のコア接地配線である。
FIG. 6 is a diagram showing a schematic plan view of a conventional semiconductor integrated circuit (LSI chip) 10. Reference numeral 20 denotes a core region, in which a main circuit is configured, and a core
図7は図6のX部分の拡大図である。この図7では、接続パッド40を千鳥状に2列に配置することで、各列の接続パッド40のパッピッチPをセルピッチSの2倍(=2S)に保持しながら、上下の列の接続パッドを合わせた全体のパッドピッチをセルピッチS(=P/2)に小さくして、パッド密度を高くしている(例えば、特許文献1参照)。52は配線、61はヴィアである。
FIG. 7 is an enlarged view of a portion X in FIG. In FIG. 7, the
ところで、上記したような接続パッドの配列を2列とする手法をさらに展開して多ピン化を実現するためには、各列の接続パッドのパッドピッチPを変更せずに、接続パッドの配列を3列以上に増やせばよい。接続パッド40の配列を4列に増やした図8では、各列の接続パッド40のパッドピッチPはセルピッチSの4倍(=4S)、4列の接続パッド40の全体のパッドピッチはセルピッチS(=P/4)となっている。
By the way, in order to further expand the method of arranging the connection pads as described above in two rows and realize a multi-pin configuration, the connection pads are arranged without changing the pad pitch P of the connection pads in each row. Can be increased to three or more rows. In FIG. 8 in which the arrangement of the
一方、IO領域30上に接続パッドを配置してチップ面積の縮小を図る手法が非特許文献1で提案されている。図9は、図7に示した部分にこの手法を適用した例を示す。図7の例では、それぞれのIOセル31に対応した接続パッド40を、複数のIOセル31の外側に、2列に分けて配置した。これに対して図9では、接続パッド40をそれぞれのIOセル31上に配置することによって、IO領域30を配置するために必要なチップ面積が縮小されている。
On the other hand, Non-Patent Document 1 proposes a method for reducing the chip area by arranging connection pads on the
ところで、外部電極端子のファインピッチ化を図りつつ、外部電極端子の高密度化を図るために、半導体集積回路の周辺上に第2の外部電極端子を配置するとともに、半導体集積回路上に比較的大きなサイズの第1の外部電極端子を配置し、前者にはスタッドパッド電極を、後者にははんだバンプ電極を配設することが提案されている(特許文献2参照)。これによれば、サイズの大きな第1の外部電極端子を電源用に利用することにより、電圧降下を減少させることができる。
しかし、図8に示す手法は、図7および図9に比べて、パッド密度を2倍にすることはできるものの、図8の各列のパッドピッチPが図7および図9の各列のパッドピッチPと同じであるとすると、パッド全体のパッドピッチの縮小化によって、IOセル31のセル幅が、図7および図9のIOセル31のセル幅の半分に小さくなる。また、IOセル31の相互間には隣接境界領域36が必要となるため、図8におけるIOセル31の実効的なセル幅は更に小さくなる。このため、IOセル31に必要とされるIO回路やESD保護素子等のレイアウト配置が困難となってくる。
However, although the method shown in FIG. 8 can double the pad density as compared with FIGS. 7 and 9, the pad pitch P in each row in FIG. 8 is equal to the pad pitch in each row in FIGS. If it is the same as the pitch P, the cell width of the
また、最近ではIO領域30とコア領域20とで電源を分離することが一般的となり、コア領域20に独立した電源を供給するために多数の接続パッドが必要となっている。このため、IOセル31に対応させた接続パッドを設けただけでは、コア領域20に電源を供給するための接続パッドが不足する場合がある。
In recent years, it has become common to separate the power supply between the IO
さらに、特許文献2に示す技術では、第1の外部電極端子と第2の外部電極端子とで接続パッドのタイプが異なっており、外部接続する際に異なった接続方法を適用しなければならず、組み立てコストの増大を招く恐れがある。
Furthermore, in the technique shown in
本発明の目的は、コア領域への電源供給のための接続パッド不足を防止でき、IOセルのセル幅を小さくする必要がなく、さらに全ての接続パッドに同一接続方法が適用できるようにした半導体集積回路を提供することである。 An object of the present invention is to prevent a shortage of connection pads for supplying power to the core region, eliminate the need to reduce the cell width of the IO cells, and further allow the same connection method to be applied to all connection pads. It is to provide an integrated circuit.
上記目的を達成するために、請求項1に記載の発明は、複数の回路素子が配置されたコア領域と、前記コア領域の外側において、複数のIOセルが前記コア領域の一辺に沿って配置されるとともに、該複数のIOセルのそれぞれに対応する第1の接続パッドが配置されたIO領域とを有し、前記コア領域の前記一辺に沿う前記コア領域内に、複数の第2の接続パッドが配置され、前記第1および第2の接続パッドに対して同一の外部接続手段が接続されていることを特徴とする。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の半導体集積回路において、前記外部接続手段がボンディングワイヤであることを特徴とする。
請求項3に記載の発明は、請求項1又は2に記載の半導体集積回路において、前記複数のIOセルが前記コア領域の前記一辺に沿って第1のピッチで配置され、前記複数の第2の接続パッドが前記コア領域の前記一辺に沿って前記第1のピッチの正の整数倍のピッチで配置されていることを特徴とする。
請求項4に記載の発明は、請求項1乃至3のいずれか1つに記載の半導体集積回路において、前記第1および第2の接続パッドは、前記コア領域の前記一辺に沿う方向の外形寸法が同一であることを特徴とする。
請求項5に記載の発明は、請求項1乃至4のいずれか1つに記載の半導体集積回路において、前記コア領域が、前記コア領域の前記一辺に沿って配置された、前記複数の回路素子に電源を供給する電源配線を含み、前記複数の第2の接続パッドの少なくとも一部が、前記電源配線に電源電圧を供給するために利用されていることを特徴とする。
請求項6に記載の発明は、請求項5に記載の半導体集積回路において、前記電源配線が高電位電源配線と低電位電源配線を含み、前記複数の第2の接続パッドの少なくとも一部が、前記高電位電源配線に沿って配置された第1群の接続パッドと、前記低電位電源配線に沿って配置された第2群の接続パッドとを含むことを特徴とする。
In order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, there is provided a core region in which a plurality of circuit elements are arranged, and a plurality of IO cells arranged along one side of the core region outside the core region. And an IO region in which a first connection pad corresponding to each of the plurality of IO cells is disposed, and a plurality of second connections are provided in the core region along the one side of the core region. A pad is arranged, and the same external connection means is connected to the first and second connection pads.
According to a second aspect of the present invention, in the semiconductor integrated circuit according to the first aspect, the external connection means is a bonding wire.
According to a third aspect of the present invention, in the semiconductor integrated circuit according to the first or second aspect, the plurality of IO cells are arranged at a first pitch along the one side of the core region, and the plurality of second cells are arranged. The connection pads are arranged at a pitch that is a positive integer multiple of the first pitch along the one side of the core region.
According to a fourth aspect of the present invention, in the semiconductor integrated circuit according to any one of the first to third aspects, the first and second connection pads are external dimensions in a direction along the one side of the core region. Are the same.
A fifth aspect of the present invention is the semiconductor integrated circuit according to any one of the first to fourth aspects, wherein the core region is disposed along the one side of the core region. And at least a part of the plurality of second connection pads is used to supply a power supply voltage to the power supply wiring.
According to a sixth aspect of the present invention, in the semiconductor integrated circuit according to the fifth aspect, the power wiring includes a high potential power wiring and a low potential power wiring, and at least a part of the plurality of second connection pads includes: It includes a first group of connection pads arranged along the high potential power supply wiring and a second group of connection pads arranged along the low potential power supply wiring.
本発明によれば、コア領域に配置した第2の接続パッドを、主として、コア領域への電源供給のために利用することにより、コア領域への電源供給のためにパッド不足が発生することを防止できる。また、IO領域へは従来と同様に接続パッドを配置できるので、IO領域のセル幅を縮小する必要もない。そして、第1の接続パッドおよび第2の接続パッドに対して同一の外部接続手段を接続するので、低コスト化が可能である。特に、請求項2に記載のようにボンディングワイヤで接続することで、低コスト化が可能である。また、請求項3に記載のように第2の接続パッドの配置をIOセルの配置ピッチの正の整数倍にしておくことにより、第1および第2の接続パッドの両者への接続が容易となる。また、請求項4に記載の発明のように、コア領域の一辺に沿う方向の接続パッドの外形寸法を同一にすることにより、特に第2の接続パッドの配置密度を高めることができる。
According to the present invention, the second connection pads arranged in the core region are mainly used for power supply to the core region, so that a shortage of pads occurs for power supply to the core region. Can be prevented. In addition, since connection pads can be arranged in the IO region as in the conventional case, it is not necessary to reduce the cell width of the IO region. Since the same external connection means is connected to the first connection pad and the second connection pad, the cost can be reduced. In particular, the cost can be reduced by connecting with bonding wires as described in
[第1の実施例]
図1は本発明の第1の実施例の半導体集積回路のIO領域の一部とコア領域の一部の説明図である。下列の接続パッド41a〜41cはIOセル31b,31d,31f上に配置され、中列の接続パッド42a〜42dはIOセル31a,31c,31e、31g上に配置され、上列の接続パッド43a〜43dはコア領域20のコア電源配線21(又はコア接地配線22)上に配置されている。それぞれのIOセル31は、入出力バッファ等のIO回路を構成する素子や、ESD保護素子等と、これらの素子間を相互に接続する配線を、図7において四角で示される領域内にあらかじめレイアウトしたものである。半導体集積回路の設計においては、あらかじめ用意されたIOセル31を、必要な個数だけ、コア領域20の一辺もしくは複数の辺に沿って一定のピッチで配置するとともに、それぞれのIOセル31に対応する第1の接続パッド(接続パッド41a〜41cおよび42a〜42d)を配置して、IO領域30を形成する(図6参照)。
[First embodiment]
FIG. 1 is an explanatory diagram of a part of an IO region and a part of a core region of the semiconductor integrated circuit according to the first embodiment of the present invention. Lower
接続パッド41a〜41cおよび42a〜42dのそれぞれは、対応するIOセル31上に配置されている。すなわち、それぞれの接続パッドは、少なくともその一部が、対応するIOセル31を構成する素子(四角で示された領域内に配置されている)の上方に位置するように配置されている。
Each of the
コア電源配線21は、コア領域20に配置される複数の回路素子に高電位電圧(VDD)を供給する高電位電源配線であり、コア接地配線22は、コア領域20に配置される複数の回路素子に低電位電圧(GND)を供給する低電位電源配線である。コア電源配線21(またはコア接地配線22)は、コア領域20の一辺に沿って、コア領域20内に配置される(図6参照)。図1に示した例では、このコア電源配線21(またはコア接地配線22)上に、複数の第2の接続パッド(接続パッド43a〜43d)が配置されている。すなわち、接続パッド43a〜43dは、コア電源配線21(またはコア接地配線22)に沿って、かつ、少なくともその一部がコア電源配線21(またはコア接地配線22)の上方に位置するように、配置されている。
The core
IOセル31a〜31g上に配置された接続パッド41a〜41cおよび42a〜42dは、主として、対応するIOセル31a〜31g内の入力バッファ、出力バッファ、もしくは入出力バッファに接続され、それぞれ、入力パッド、出力パッド、もしくは入出力パッドとして利用される。接続パッド41a〜41cおよび42a〜42dは、また、IO領域30に設けられるIO領域用高電位電源配線もしくは接地電源配線(図示しない)に接続され、IO領域30用の高電位電圧(VDDO)もしくは低電位電圧(GNDO)を供給するためにも使用される。これら接続パッドとIOセルや電源配線との接続では、配線やヴィア61等が使用される。
コア電源配線21(またはコア接地配線22)上に配置された接続パッド43a〜43dは、主としてコア領域べの電源供給のために使用される。具体的には、例えば、これらの接続パッド43a〜43dの直下に、もしくは隣接して設けられたヴィア(図示しない)を介してコア電源配線21(またはコア接地配線22)に接続され、コア領域20に配置される複数の回路素子に高電位電圧VDD(または低電位電圧GND)を供給するために利用される。もしくは、コア電源配線21(またはコア接地配線22)に隣接して配置される、図示しないコア接地配線22(またはコア電源配線21)に、ヴィアおよび配線を介して接続され、コア領域20に配置される複数の回路素子に低電位電圧GND(または高電位電圧VDD)を供給するために利用される。
The
本実施例では、各列の接続パッド41a〜41c,42a〜42d,43a〜43dのパッドピッチPはIOセル31a〜31gのセルピッチSの2倍(=2S)になっている。また、これら3列に分かれて配置された接続パッド全体のパッドピッチはP/3であり、したがってセルピッチSの2/3倍(=2S/3)となっている。つまり、2個のIOセル当り3つの接続パッドを配置できる構造となっている。これにより、図7および図9で説明した従来の千鳥状の2列パッド配置(1個のIOセル当り1個の接続パッド)に比べて、実質1.5倍の数の接続パッドを配置することが可能となる。また図8で説明した4列パッド配置と比較すると、IOセルのセル幅を2倍大きくすることができる。つまり、セル幅を図7および図9で説明したパッド配列の場合と同じにすることができる。
In this embodiment, the pad pitch P of the
図2に各接続パッド41a〜41c,42a〜42d,43a〜43dにワイヤ70でワイヤボンディングした様子を示した。2列に分けて配置された第1の接続パッド41a〜41cおよぴ42a〜42dは、コア領域20の一辺に沿う方向(図1の横方向)に、IOセル31a〜31gの配置ピッチSの正の整数倍(図1の例では2倍)のピッチで配置される。コア電源配線21(またはコア接地配線22)上に配置された接続パッド43a〜43dについては、IOセル31a〜31gの配置とは無関係に配置することも可能である。しかし、実用的には、接続パッド43a〜43dについても、コア領域20の一辺に沿う方向(図1の横方向)の配置位置を、接続パッド41a〜41cおよび42a〜42dの同じ方向の配置位置に対して一定の単純な関係を保つようにすることが好ましい。これによって、自動ボンディング装置を用いてワイヤボンディングを行う際の、ボンディング位置の設定を容易にし、ボンディング不良発生を防止することができる。具体的には、例えば、接続パッド43a〜43dについても、コア領域20の一辺に沿う方向に、IOセル31a〜31gの配置ピッチSの正の整数倍(図1の例では2倍)のピッチで配置することが好ましい。特に、第1の接続パッド41a〜41cおよび42a〜42dの、コア領域20の一辺に沿う方向の配置ピッチをIOセル31a〜31gの配置ピッチSの正の整数倍とした場合には、接続パッド43a〜43dの配置ピッチを、これらの接続パッド41a〜41cおよび42a〜42dの配置ピッチのさらに正の整数倍(図1の例でほ1倍)とすることが好ましい。また、第1の接続パッド41a〜41c、42a〜42d、および第2の接続パッド43a〜43dの全体を千鳥状に配置することにより、さらにボンディングを容易にすることができる。
FIG. 2 shows a state in which the
前述したように、コア電源配線21(またはコア接地配線22)上に配置された第2の接続パッド43a〜43dについては、第1の接続パッド41a〜41cおよび42a〜42dに比較して大きなピッチで配置することも可能である。この場合には、第2の接続パッド43a〜43dのコア領域20の一辺に沿う方向(図1の横方向)の寸法を、第1の接続パッド41a〜41cおよび42a〜42dの同じ方向の寸法に比較して大きくすることも可能である。しかし、第2の接続パッド43a〜43dの配置ピッチを第1の接続パッド41a〜41cもしくは42a〜42dの配置ピッチと同一にして、パッド配置密度を高めるためには、第2の接続パッド43a〜43dのコア領域20の一辺に沿う方向の寸法についても、第1の接続パッド41a〜41c、42a〜42dの同じ方向の寸法と同一もしくは実質的に同一にすることが好ましい。
As described above, the
なお、これらの接続パッド41a〜41c、42a〜42d、および43a〜43dに対する外部接続手段としてボンディングワイヤを接続することにより、特に低コストでの実装が可能になる。しかし、本発明の半導体集積回路において利用する外部接続手段はボンディングワイヤには限定されない。例えば、金バンプを接続することも可態である。もしくは、再配置配線を介して半田バンプを接続することも可能である。いずれの場合においても、第1の接続パッド41a〜41cおよび42a〜42dと、第2の接続パッド43a〜43dとに対して、同一の外部接続手段を接続することにより、実装コストの抑制が可能である。
Note that by connecting bonding wires as external connection means for these
[第2の実施例]
図3は本発明の第2の実施例の半導体集積回路のIO領域の一部とコア領域の一部の説明図である。本実施例は第1の実施例と同じ3列のパッド配列において、接続パッド41a〜41c,42a〜42dのIOセル31a〜31gへの接続構造は第1の実施例と同じであるが、配置位置が若干ずれている。このように、IOセル31の中心線と接続パッドの中心線が必ずしも重なっていなくても良く、パッド列内での接続パッドの配置とIOセル31の配置とは、接続パッドとIOセルとの接続が可能な範囲で任意の位置とすることが可能である。
[Second embodiment]
FIG. 3 is an explanatory diagram of a part of the IO region and a part of the core region of the semiconductor integrated circuit according to the second embodiment of the present invention. In this embodiment, in the same three-row pad arrangement as in the first embodiment, the connection structures of the
第1および第2の実施例のいずれにおいても、第1の接続パッド(接続パッド41a〜41cおよび42a〜42d)のそれぞれを、対応するIOセル31上に配置した。これによって、IOセルおよび第1の接続パッドを配置するために必要なチップ面積を縮小することが可能である。しかし、本発明の半導体集積回路において、このように接続パッドを対応するIOセル上に配置することは必須ではない。チップ面積に余裕があるときには、例えば図7に示されたように、IOセルが配置された領域のさらに外側に第1の接続パッドを配置することも可能である。また、第2の接続パッド(接続パッド43a〜43d)についても、コア電源配線21(またはコア接地配線22)上に配置することは必須ではない。ただし、コア電源配線21(またはコア接地配線22)上に配置しない場合であっても、対応するコア電源配線21(またはコア接地配線22)に短い配線で接続し、高い電源供給能力を得ることが可能なように、コア電源配線21(またはコア接地配線22)に沿って配置することが好ましい。
In both the first and second embodiments, the first connection pads (
[第3の実施例]
図4は本発明の第3の実施例の半導体集積回路のIO領域の一部とコア領域の一部の説明図であり、接続パッドを4列に配列した場合の実施例である。接続パッド41a〜41dはIOセル31c,31f,31i,31l上に配置され、接続パッド42a〜42eはIOセル31a,31d,31g、31j,31m上に配置され、接続パッド43a〜43eはIOセル31b,31e,31h、31k,31n上に配置され、接続パッド44a〜44eはコア領域20のコア電源配線21(又はコア接地配線22)上に配置されている。各列の接続パッド41a〜41d,42a〜42e,43a〜43e,44a〜44eのパッドピッチPはIOセル31a〜31nのセルピッチSの3倍(=3S)になっている。また、4列に分けて配置した接続パッド全体のパッドピッチはP/4であり、したがってセルピッチSの3/4倍(=3S/4)となっている。これにより、IOセル31の3個当り4つの接続パッドを配置できる構造となっている。
[Third embodiment]
FIG. 4 is an explanatory diagram of a part of the IO region and a part of the core region of the semiconductor integrated circuit according to the third embodiment of the present invention, and shows an example in which connection pads are arranged in four rows.
[第4の実施例]
図5は本発明の第4の実施例の半導体集積回路のIO領域の一部とコア領域の一部の説明図である。図5に示すのは、4列の接続パッドの内の1列の接続パッドをコア領域20のコア電源配線21上に、別の一列をコア領域20のコア接地配線22上に配置し、残りの2列をIOセル31上に配列した場合の実施例である。コア電源配線21上に配置された接続パッド43a〜43dは、主として、コア領域20に配置される複数の回路素子に高電位電圧VDDを供給するために利用される。コア接地配線22上に配置された接続パッド44a〜44dは、主として、コア領域20に配置される複数の回路素子に低電位電圧GNDを供給するために利用される。各列の接続パッド41a〜41c,42a〜42d,43a〜43d,44a〜44dのパッドピッチPはIOセル31a〜31gのセルピッチSの2倍(=2S)になっている。また、4列に分けて配置した接続パッド全体のパッドピッチはP/4であり、したがってセルピッチSの1/2倍(=S/2)となっている。これにより、IOセル31の2個当り4つの接続パッドを配置することが可能となる。
[Fourth embodiment]
FIG. 5 is an explanatory diagram of a part of the IO region and a part of the core region of the semiconductor integrated circuit according to the fourth embodiment of the present invention. FIG. 5 shows that one of the four rows of connection pads is arranged on the core
本例においては、第2の接続パッドが第1群の接続パッド43a〜43dと第2群の接続パッド44a〜44dとに分けられ、それぞれが1つの列を形成するように配置される。これにより、各列の接続パッドのパッドピッチを図1に示した第1の実施例の場合と同一(IOセルの配置ピッチSの2倍)に保ちながら、第2の接続パッドの個数を、第1の実施例の場合の2倍に増やすことができる。このため、第1の実施例の場合よりもさらに、コア領域への電源供給のためにパッド不足が発生する確率を減少させることができる。
In this example, the second connection pads are divided into a first group of
10:半導体装置
20:コア領域、21:コア電源配線、22:コア接地配線
30:IO領域、31,31a〜31n:IOセル、32:コア電源用セル、33:コア接地用セル、34:コア電源配線、35:コア接地配線、36:隣接境界領域
40,41a〜41d,42a〜42e,43a〜43e,44a〜44e:接続パッド
51,52:配線
61:ヴィア
70:ボンディングワイヤ
10: Semiconductor device 20: Core region, 21: Core power supply wiring, 22: Core ground wiring, 30: IO region, 31, 31a to 31n: IO cell, 32: Core power supply cell, 33: Core grounding cell, 34: Core power wiring, 35: Core ground wiring, 36:
Claims (6)
前記コア領域の前記一辺に沿う前記コア領域内に、複数の第2の接続パッドが配置され、前記第1および第2の接続パッドに対して同一の外部接続手段が接続されていることを特徴とする半導体集積回路。 A plurality of IO cells are arranged along one side of the core region, and a first region corresponding to each of the plurality of IO cells is disposed outside the core region in which the plurality of circuit elements are disposed. An IO region in which connection pads are arranged;
A plurality of second connection pads are arranged in the core region along the one side of the core region, and the same external connection means is connected to the first and second connection pads. A semiconductor integrated circuit.
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