JP2007302759A - Phenolc compound, epoxy resin composition, cured product thereof and semiconductor device - Google Patents

Phenolc compound, epoxy resin composition, cured product thereof and semiconductor device Download PDF

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Yukinori Takeda
幸典 武田
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  • Polyoxymethylene Polymers And Polymers With Carbon-To-Carbon Bonds (AREA)
  • Epoxy Resins (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an epoxy resin composition having excellent flame retardance, solder resistance and reliability of moisture resistance and to provide a semiconductor device using the same. <P>SOLUTION: The epoxy resin composition consists essentially of a compound (A) and a phenolic compound (B). The compound (A) has ≥2 epoxy groups in one molecule. The phenolic compound (B) is represented by general formula (1) [wherein, R<SB>1</SB>to R<SB>4</SB>represent each hydrogen, an alkyl group or a phenyl group; and m and n are each 0 or an integer of ≥1]. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明はフェノール系化合物、エポキシ樹脂組成物及びその硬化物、並びに半導体装置に関するものである。   The present invention relates to a phenol compound, an epoxy resin composition and a cured product thereof, and a semiconductor device.

近年、IC、LSI等の半導体素子は、主にエポキシ樹脂組成物で封止され半導体装置に用いられている。近年の電子機器の市場動向は、小型化、軽量化、高性能化が進んできており、これに対応するため、半導体素子の高集積化が年々進んできている。又、半導体装置は、表面実装化が促進されており、半導体素子の高集積化において、半導体素子は大型化し、これを搭載する半導体装置は、TSOP(Thin Small Outline Package)、TQFP(Thin Quad Flat Package)、BGA(Ball Grid Array)等の形態となり、表面実装型の半導体装置になってきている。 In recent years, semiconductor elements such as IC and LSI are mainly sealed with an epoxy resin composition and used in semiconductor devices. In recent years, the market trend of electronic devices has been reduced in size, weight and performance, and in order to respond to this trend, the integration of semiconductor elements has been increasing year by year. Further, surface mounting of semiconductor devices has been promoted, and the semiconductor elements have been increased in size with the high integration of semiconductor elements, and the semiconductor devices on which the semiconductor devices are mounted are TSOP (Thin Small Outline Package), TQFP (Thin Quad Flat Flat). Package), BGA (Ball Grid Array), etc., and are becoming surface-mount semiconductor devices.

このような用途におけるエポキシ樹脂組成物において、従来、数多くの硬化剤が用いられている。例えば、ジエチレントリアミン、イソホロンジアミン、m−キシリレンジアミン、m−フェニレンジアミン、4,4'−ジアミノジフェニルスルホン等の脂肪族または芳香族アミン化合物、無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、無水マレイン酸等の酸無水物、フェノールノボラック樹脂等のフェノール樹脂類、その他ポリアミド、変成ポリアミン類、イミダゾール類等である。しかしながら、これらの硬化剤を用いて、2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)プロパン、フェノールノボラック樹脂、オルソクレゾールノボラック樹脂、4,4'−メチレンジアニリン等から誘導される各種エポキシ樹脂を硬化させて得られるエポキシ樹脂組成物は、性能的に一長一短があり、マトリックス樹脂として要求される性能が満足し得るものとは言い難い。 Conventionally, many curing agents have been used in epoxy resin compositions for such applications. For example, aliphatic or aromatic amine compounds such as diethylenetriamine, isophoronediamine, m-xylylenediamine, m-phenylenediamine, 4,4′-diaminodiphenylsulfone, phthalic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, Acid anhydrides such as maleic anhydride, phenol resins such as phenol novolac resin, other polyamides, modified polyamines, imidazoles and the like. However, these curing agents are used to cure various epoxy resins derived from 2,2-bis (4-hydroxyphenyl) propane, phenol novolac resin, orthocresol novolac resin, 4,4′-methylenedianiline, and the like. The resulting epoxy resin composition has advantages and disadvantages in performance, and it is difficult to say that the performance required as a matrix resin can be satisfied.

このようなマトリックス樹脂の欠点を改善する目的で、フェノールを原料とするフェノールアラルキル樹脂として、エポキシ樹脂としての用途(例えば特許文献1参照)、IC封止剤としての用途(例えば特許文献2参照)等が知られている。しかしながら、近年の複合材用マトリックス樹脂に対して要求されている性能は、耐熱性、機械的強度、対酸化性、耐湿性、更には難燃性等の種々の性能においてもより高い水準にある。したがって、フェノールを原料とするフェノールアラルキル樹脂ではこれらの要求性能を満たすことができず、特に難燃性の面で更なる改善が望まれている。
特開平5−117350号公報 特開平8−283536号公報
For the purpose of improving the disadvantages of such matrix resin, as phenol aralkyl resin using phenol as a raw material, use as epoxy resin (for example, see Patent Document 1), use as IC sealant (for example, see Patent Document 2) Etc. are known. However, the performance required for matrix resins for composite materials in recent years is at a higher level in various performances such as heat resistance, mechanical strength, oxidation resistance, moisture resistance, and flame retardancy. . Therefore, a phenol aralkyl resin using phenol as a raw material cannot satisfy these required performances, and further improvement is demanded particularly in terms of flame retardancy.
JP-A-5-117350 JP-A-8-283536

本発明は、難燃性に優れ耐半田性、耐湿信頼性にも優れるエポキシ樹脂組成物、及びこれを用いた半導体装置を提供するものである。   The present invention provides an epoxy resin composition having excellent flame retardancy and excellent solder resistance and moisture resistance reliability, and a semiconductor device using the same.

本発明者らは、上記問題点に鑑み、鋭意検討を重ねた結果、構造中にビフェニル構造を導入することにより上記課題を解決することを見出し、本発明を完成するに至ったものである。   As a result of intensive studies in view of the above problems, the present inventors have found that the above problems can be solved by introducing a biphenyl structure into the structure, and have completed the present invention.

前記の課題は以下の[1]〜[6]に記載の本発明により達成される。
[1] 一般式(1)で表されることを特徴とするフェノール系化合物(B)。

Figure 2007302759
[式(1)中、R1〜R4は、それぞれ、水素、炭素数1〜4のアルキル基、フェニル基の中から選択される1種を示し、互いに同一であっても異なっていてもよい。mおよびnは0または1以上の整数である。]
[2] 一般式(1)で表されるフェノール系化合物(B)を含有することを特徴とする樹脂組成物。
Figure 2007302759
[式(1)中、R1〜R4は、それぞれ、水素、炭素数1〜4のアルキル基、フェニル基の中から選択される1種を示し、互いに同一であっても異なっていてもよい。mおよびnは0または1以上の整数である。]
[3] 1分子内にエポキシ基を2個以上有する化合物(A)、および一般式(1)で表されるフェノール系化合物(B)を必須成分とすることを特徴とするエポキシ樹脂組成物。
Figure 2007302759
[式(1)中、R1〜R4は、それぞれ、水素、炭素数1〜4のアルキル基、フェニル基の中から選択される1種を示し、互いに同一であっても異なっていてもよい。mおよびnは0または1以上の整数である。]
[4] 充填剤を含む[3]項記載のエポキシ樹脂組成物。
[5] [3]又は[4]項に記載のエポキシ樹脂組成物を硬化して得られる樹脂硬化物。
[6] [3]又は[4]項に記載のエポキシ樹脂組成物を用いて半導体素子を封止してなる半導体装置。 The above-mentioned subject is achieved by the present invention described in the following [1] to [6].
[1] A phenol compound (B) represented by the general formula (1).
Figure 2007302759
In Expression (1), R 1 to R 4 are each hydrogen, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, represents one selected from among a phenyl group, optionally being the same or different Good. m and n are 0 or an integer of 1 or more. ]
[2] A resin composition comprising a phenolic compound (B) represented by the general formula (1).
Figure 2007302759
In Expression (1), R 1 to R 4 are each hydrogen, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, represents one selected from among a phenyl group, optionally being the same or different Good. m and n are 0 or an integer of 1 or more. ]
[3] An epoxy resin composition comprising, as essential components, a compound (A) having two or more epoxy groups in one molecule and a phenol compound (B) represented by the general formula (1).
Figure 2007302759
In Expression (1), R 1 to R 4 are each hydrogen, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, represents one selected from among a phenyl group, optionally being the same or different Good. m and n are 0 or an integer of 1 or more. ]
[4] The epoxy resin composition according to the item [3], which contains a filler.
[5] A cured resin obtained by curing the epoxy resin composition according to the item [3] or [4].
[6] A semiconductor device formed by sealing a semiconductor element using the epoxy resin composition according to [3] or [4].

本発明によれば、前記エポキシ樹脂組成物を用いて封止した半導体装置は、耐半田性、耐湿信頼性、難燃性に優れるものである。   According to the present invention, a semiconductor device encapsulated with the epoxy resin composition is excellent in solder resistance, moisture resistance reliability, and flame retardancy.

本発明は、一般式(1)で表されるフェノール系化合物(B)であり、また1分子内にエポキシ基を2個以上有する化合物(A)、および一般式(1)で表されるフェノール系化合物(B)を必須成分とするエポキシ樹脂組成物であり、このエポキシ樹脂組成物で半導体素子が封止された半導体装置は、耐半田性、耐湿信頼性、難燃性に優れるものである。   The present invention is a phenol compound (B) represented by the general formula (1), a compound (A) having two or more epoxy groups in one molecule, and a phenol represented by the general formula (1). An epoxy resin composition containing a compound (B) as an essential component, and a semiconductor device in which a semiconductor element is sealed with this epoxy resin composition is excellent in solder resistance, moisture resistance reliability, and flame retardancy. .

以下、本発明について、順次説明する。
[化合物(B)]
本発明のフェノール系化合物(B)は、反応溶媒中酸触媒の存在下ビフェノールおよびフェノール類と一般式(2)で表されるアルカリハライドまたはアラルキルアルコール誘導体との反応により得られる。
Hereinafter, the present invention will be described sequentially.
[Compound (B)]
The phenolic compound (B) of the present invention is obtained by reacting biphenol and phenols with an alkali halide or aralkyl alcohol derivative represented by the general formula (2) in the presence of an acid catalyst in a reaction solvent.

Figure 2007302759
[式(2)中、Rは、ハロゲン原子、水酸基又はアルコキシ基である。]
Figure 2007302759
[In Formula (2), R is a halogen atom, a hydroxyl group, or an alkoxy group. ]

前記反応溶媒は、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、エチレングリコール、
ジエチレングリコール、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、メチルソロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブおよびこれらの混合物などが挙げられるが、これらに限定されるものではない。
The reaction solvent is acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, ethylene glycol,
Examples include, but are not limited to, diethylene glycol, methyl acetate, ethyl acetate, butyl acetate, methyl solosolve, ethyl cellosolve, butyl cellosolve, and mixtures thereof.

前記フェノール類としては、フェノール、o−クレゾール、m−クレゾール、p−クレゾール、2,4−キシレノール,2,6−キシレノール,t−ブチルフェノール、o−フェニルフェノール、m−フェニルフェノール、p−フェニルフェノール等が挙げられる。   Examples of the phenols include phenol, o-cresol, m-cresol, p-cresol, 2,4-xylenol, 2,6-xylenol, t-butylphenol, o-phenylphenol, m-phenylphenol, and p-phenylphenol. Etc.

前記アルカリハライドまたはアラルキルアルコール誘導体は一般式(2)においてRが塩素、臭素等のハロゲン原子、水酸基またはアルコキシ基である化合物であり、アルコキシ基としては炭素数4以下の低級アルコキシ基が好ましい。   The alkali halide or aralkyl alcohol derivative is a compound in which R is a halogen atom such as chlorine or bromine, a hydroxyl group or an alkoxy group in the general formula (2), and the alkoxy group is preferably a lower alkoxy group having 4 or less carbon atoms.

前記反応におけるビフェノールとフェノール類の比率は重量%で5/95〜60/40好ましくは10/90〜50/50の範囲である。ビフェノールが前記下限値以上であると、構造中のビフェニル構造の密度が高く十分な難燃性効果を得ることができる。また前記上限値以下にすることにより、得られた化合物の結晶性を抑制し、軟化点および溶融時の粘度を低く抑えることができ好ましい。   The ratio of biphenol and phenols in the reaction is in the range of 5/95 to 60/40, preferably 10/90 to 50/50, by weight. When the biphenol is at least the lower limit, the density of the biphenyl structure in the structure is high, and a sufficient flame retardant effect can be obtained. Moreover, by making it into the said upper limit or less, the crystallinity of the obtained compound can be suppressed and the softening point and the viscosity at the time of melting can be restrained low, and it is preferable.

前記一般式(2)で表されるアルカリハライドまたはアラルキルアルコール誘導体とビフェノールおよびフェノール類の反応はアルカリハライドまたはアラルキルアルコール誘導体の1molに対して,ビフェノールおよびフェノール類を1mol以上20mol以下好ましくは1.5mol以上10mol以下で溶媒中酸触媒の存在下で加熱、反応させる。ビフェノールおよびフェノール類の使用量が多くなるほど未反応のビフェノールが増加し、前記下限値以上にすることにより分子量の増加を抑えることができ、軟化点および溶融時の粘度を低く抑えることができ好ましい。   In the reaction of the alkali halide or aralkyl alcohol derivative represented by the general formula (2) with biphenol and phenol, 1 mol or more and 20 mol or less, preferably 1.5 mol of biphenol and phenol are used per 1 mol of the alkali halide or aralkyl alcohol derivative. It is heated and reacted in the presence of an acid catalyst in a solvent at 10 mol or less. As the amount of biphenol and phenols used increases, the amount of unreacted biphenol increases. By setting the amount to the lower limit or more, an increase in molecular weight can be suppressed, and the softening point and viscosity at the time of melting can be suppressed low.

反応温度は、110℃以上が好ましく、110℃未満では反応速度が遅くなる。反応時間を短くするためには、反応温度を130〜250℃の範囲に更には130〜180℃の範囲とすることがより望ましい。反応時間は反応温度の影響を受けるが、1〜30時間程度である。   The reaction temperature is preferably 110 ° C. or higher. When the reaction temperature is lower than 110 ° C., the reaction rate becomes slow. In order to shorten the reaction time, it is more desirable to set the reaction temperature within the range of 130 to 250 ° C, and further within the range of 130 to 180 ° C. The reaction time is affected by the reaction temperature, but is about 1 to 30 hours.

酸触媒としては、無機または有機の酸、例えば塩酸、硫酸、などの鉱酸、塩化亜鉛、塩化第二鉄などのフリーデルクラフツ型触媒、メタンスルホン酸、p−トルエンスルホン酸、ジメチル硫酸、ジエチル硫酸などの硫酸エステル等を単独もしくは併用して使用することができる。   Examples of the acid catalyst include inorganic or organic acids, such as mineral acids such as hydrochloric acid and sulfuric acid, Friedel-Crafts type catalysts such as zinc chloride and ferric chloride, methanesulfonic acid, p-toluenesulfonic acid, dimethylsulfuric acid, diethyl Sulfuric acid esters such as sulfuric acid can be used alone or in combination.

触媒の使用量は、ビフェノールおよびフェノール類およびアルカリハライドまたはアラルキルアルコール誘導体の総量の0.0001〜10重量部、好ましくは0.001〜1重量部程度である。   The amount of the catalyst used is about 0.0001 to 10 parts by weight, preferably about 0.001 to 1 part by weight, based on the total amount of biphenol and phenols and alkali halide or aralkyl alcohol derivative.

[化合物(A)]
本発明に用いる1分子内にエポキシ基を2個以上有する化合物(A)は、1分子内にエポキシ基を2個以上有するものであれば、何ら制限はない。
この化合物(A)としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂等のビスフェノール型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、スチルベン型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂およびジヒドロキシベンゼン型エポキシ樹脂など、フェノール類、ナフトール類やフェノール樹脂などの水酸基にエピクロロヒドリンを反応させて製造するエポキシ樹脂、その他に、オレフィンを過酸により酸化させエポキシ化した脂環式エポキシ樹脂や、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
[Compound (A)]
The compound (A) having two or more epoxy groups in one molecule used in the present invention is not limited as long as it has two or more epoxy groups in one molecule.
Examples of the compound (A) include bisphenol type epoxy resins such as bisphenol A type epoxy resins and bisphenol F type epoxy resins, biphenyl type epoxy resins, biphenyl aralkyl type epoxy resins, stilbene type epoxy resins, phenol novolac type epoxy resins, Epoxy resins produced by reacting epichlorohydrin with hydroxyl groups such as phenols, naphthols and phenolic resins, such as cresol novolac type epoxy resins, naphthalene type epoxy resins, dicyclopentadiene type epoxy resins and dihydroxybenzene type epoxy resins, Other examples include alicyclic epoxy resins obtained by oxidizing olefins with peracids and epoxidizing, glycidyl ester type epoxy resins, glycidyl amine type epoxy resins, etc. It can be used in combination of at least Chino one or.

これらの中でも、前記化合物(A)としては、特に、ビフェニル型エポキシ樹脂およびビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂のいずれか一方または双方を主成分とするものを用いるのが好ましい。これにより、エポキシ樹脂組成物の成形時(例えば半導体装置の製造時等)の流動性が向上するとともに、得られた半導体装置の耐半田クラック性がより向上する。
ここで、「耐半田クラック性の向上」とは、得られた半導体装置が、例えば半田浸漬や半田リフロー工程等において、高温に曝された場合であっても、クラックや剥離等の欠陥の発生が生じ難くなることを言う。
Among these, as the compound (A), it is particularly preferable to use a compound mainly composed of one or both of a biphenyl type epoxy resin and a biphenyl aralkyl type epoxy resin. Thereby, fluidity at the time of molding of the epoxy resin composition (for example, at the time of manufacturing a semiconductor device, etc.) is improved, and solder crack resistance of the obtained semiconductor device is further improved.
Here, “improvement in resistance to solder cracks” means that the obtained semiconductor device has defects such as cracks and peeling even when it is exposed to high temperatures in, for example, a solder dipping or solder reflow process. It is difficult to occur.

前記ビフェニル型エポキシ樹脂およびビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂は有機置換基を有していてもよく、有機置換基としては、水素、メチル基、エチル基、プロピル基およびヘキシル基などの炭素数1〜4のアルキル基、フェニル基から選ばれるが、これらの置換基の中でも、特に、水素原子またはメチル基であるのが好ましい。これにより、エポキシ樹脂組成物の溶融粘度が低下し、例えば半導体装置の製造時等に、その取り扱いが容易となる。また、その硬化物は、吸水性が低減するので、得られた半導体装置は、その内部の部材の経時劣化(例えば断線の発生等)が好適に防止され、その耐湿信頼性がより向上する。   The biphenyl type epoxy resin and the biphenyl aralkyl type epoxy resin may have an organic substituent, and examples of the organic substituent include those having 1 to 4 carbon atoms such as hydrogen, methyl group, ethyl group, propyl group, and hexyl group. An alkyl group or a phenyl group is selected, and among these substituents, a hydrogen atom or a methyl group is particularly preferable. Thereby, the melt viscosity of the epoxy resin composition is lowered, and the handling thereof becomes easy, for example, at the time of manufacturing a semiconductor device. In addition, since the water absorption of the cured product is reduced, the obtained semiconductor device is preferably prevented from deterioration over time (for example, occurrence of disconnection) of the internal members, and the moisture resistance reliability is further improved.

本発明のフェノール系化合物(B)に他の樹脂を配合して樹脂組成物を形成することができる。特に1分子内にエポキシ基を2個以上有する化合物(A)とフェノール系化合物(B)とを配合することにより、半導体封止に適したエポキシ樹脂組成物を形成することができる。
1分子内にエポキシ基を2個以上有する化合物(A)に対するフェノール系化合物(B)の量は、特に限定されないが、通常、エポキシ樹脂のエポキシ当量に対してフェノール樹脂の活性水素が0.5〜1.5、好ましくは0.8〜1.2当量になるような量で使用すればよい。
Another resin can be mix | blended with the phenol type compound (B) of this invention, and a resin composition can be formed. In particular, an epoxy resin composition suitable for semiconductor encapsulation can be formed by blending a compound (A) having two or more epoxy groups in one molecule and a phenolic compound (B).
The amount of the phenolic compound (B) with respect to the compound (A) having two or more epoxy groups in one molecule is not particularly limited, but usually the active hydrogen of the phenol resin is 0.5 to the epoxy equivalent of the epoxy resin. It may be used in such an amount that it is -1.5, preferably 0.8-1.2 equivalent.

本発明に用いる充填剤としては、一般に封止材料に使用されているものを使用することができる。例えば、溶融シリカおよび結晶シリカ等のシリカ、アルミナ、タルク、炭酸カルシウム、クレー、マイカなどが挙げられる。これらに内、溶融シリカが好ましく粒子形状が球状であることが好ましい。充填材としてより好ましいのは、1〜100μmの球状シリカである。これにより、硬化物の吸湿率を低下させるとともに、線膨張係数を低下させることができる。   As the filler used in the present invention, those generally used for sealing materials can be used. Examples thereof include silica such as fused silica and crystalline silica, alumina, talc, calcium carbonate, clay, mica and the like. Among these, fused silica is preferable, and the particle shape is preferably spherical. More preferred as the filler is 1 to 100 μm spherical silica. Thereby, while reducing the moisture absorption rate of hardened | cured material, a linear expansion coefficient can be reduced.

本発明における充填剤の配合量としては、1分子内にエポキシ基を2個以上有する化合物(A)と、フェノール系化合物(B)との合計量100重量部あたり、200〜2400重量部であることが好ましい。   As a compounding quantity of the filler in this invention, it is 200-2400 weight part per 100 weight part of total amounts of the compound (A) which has 2 or more of epoxy groups in 1 molecule, and a phenolic compound (B). It is preferable.

また、本発明のエポキシ樹脂組成物には、必要に応じて、前記成分の他に、例えば、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン等のカップリング剤、カーボンブラック等の着色剤、シリコーンオイル、シリコーンゴム等の低応力成分、天然ワックス、合成ワックス、高級脂肪酸またはその金属塩類、パラフィン等の離型剤、酸化防止剤等の各種添加剤を添加することができる。   In addition to the above components, the epoxy resin composition of the present invention, if necessary, for example, a coupling agent such as γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, a colorant such as carbon black, a silicone oil, Various additives such as low stress components such as silicone rubber, natural wax, synthetic wax, higher fatty acids or metal salts thereof, mold release agents such as paraffin, and antioxidants can be added.

本発明のエポキシ樹脂組成物は、前記1分子内にエポキシ基を2個以上有する化合物(A)、および一般式(1)で表されるフェノール系化合物(B)を、必要に応じて、充填材、その他の各種添加剤を、ミキサーを用いて、常温混合し、更にこれらの混合物を、熱ロールおよび加熱ニーダー等の混練機を用いて、加熱混練後、冷却、粉砕することにより得られる。   The epoxy resin composition of the present invention is filled with the compound (A) having two or more epoxy groups in one molecule and the phenolic compound (B) represented by the general formula (1) as necessary. The material and other various additives are mixed at room temperature using a mixer, and these mixtures are obtained by heating and kneading using a kneader such as a hot roll and a heating kneader, followed by cooling and pulverization.

本発明の半導体装置は、上記で得られた充填材を含むエポキシ樹脂組成物を、モールド樹脂として用いて、トランスファーモールド、コンプレッションモールド、インジェクションモールド等の成形方法で、硬化成形することにより、半導体素子を封止して、得られる。
このようにして得られた本発明の半導体装置は、耐半田性、耐湿信頼性、高温保管性、難燃性に優れる。
The semiconductor device of the present invention is obtained by curing and molding the epoxy resin composition containing the filler obtained above as a molding resin by a molding method such as transfer molding, compression molding, or injection molding. Is obtained by sealing.
The semiconductor device of the present invention thus obtained is excellent in solder resistance, moisture resistance reliability, high temperature storage property, and flame retardancy.

以上、本発明のフェノール系化合物、エポキシ樹脂組成物および半導体装置の好適実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。
以下、本発明を実施例に基づいて詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
The preferred embodiments of the phenolic compound, the epoxy resin composition, and the semiconductor device of the present invention have been described above, but the present invention is not limited thereto.
EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated in detail based on an Example, this invention is not limited to this.

[化合物(B)の合成例]
以下に化合物(B)合成例を示すが、必ずしもこの方法、反応温度、反応時間に限定されるものではない。
[Synthesis Example of Compound (B)]
Although the synthesis example of a compound (B) is shown below, it is not necessarily limited to this method, reaction temperature, and reaction time.

[化合物B−1]
撹拌機、温度計、冷却器を備えた反応器に、ビフェノール271.7g(1.46mol)およびフェノ−ル1085.5g(11.5mol)とパラキシレングリコールジメチルエーテル431.6g(2.60mol)とブチルセロソルブを1755g仕込み、ジエチル硫酸1.4gを加えた後、反応温度を175℃に保ちながら時間反応させた。その間、生成するメタノールを留去した。反応終了後、未反応フェノールを減圧蒸留により除去し、化合物B−1を810.0g得た。軟化点は79℃であった。
[Compound B-1]
In a reactor equipped with a stirrer, a thermometer and a condenser, 271.7 g (1.46 mol) of biphenol, 1085.5 g (11.5 mol) of phenol, 431.6 g (2.60 mol) of paraxylene glycol dimethyl ether and After 1755 g of butyl cellosolve was added and 1.4 g of diethyl sulfuric acid was added, the reaction was continued for a period of time while maintaining the reaction temperature at 175 ° C. Meanwhile, the methanol produced was distilled off. After completion of the reaction, unreacted phenol was removed by distillation under reduced pressure to obtain 810.0 g of Compound B-1. The softening point was 79 ° C.

[化合物B−2]
化合物B−1の合成において、パラキシレングリコールジメチルエーテルの仕込み量を647.6g(3.90mol)に代えた以外は化合物B−1の合成と同様にして化合物B−2を1075.5g得た。軟化点は83℃であった。
[Compound B-2]
In the synthesis of Compound B-1, 1075.5 g of Compound B-2 was obtained in the same manner as in the synthesis of Compound B-1, except that the amount of paraxylene glycol dimethyl ether charged was changed to 647.6 g (3.90 mol). The softening point was 83 ° C.

[化合物B−3]
撹拌機、温度計、冷却器を備えた反応器に、ビフェノール283.2g(1.52mol)およびo−クレゾール1131.6g(10.5mol)とパラキシレングリコールジメチルエーテル397.6g(2.39mol)とブチルセロソルブを1620g仕込み、ジエチル硫酸1.4gを加えた後、反応温度を175℃に保ちながら時間反応させた。その間、生成するメタノールを留去した。反応終了後、未反応o−クレゾールを減圧蒸留により除去し、化合物C−1を1371.5g得た。軟化点は85℃であった。
[Compound B-3]
In a reactor equipped with a stirrer, a thermometer, and a condenser, 283.2 g (1.52 mol) of biphenol, 1131.6 g (10.5 mol) of o-cresol, and 397.6 g (2.39 mol) of paraxylene glycol dimethyl ether were added. After 1620 g of butyl cellosolve was charged and 1.4 g of diethyl sulfuric acid was added, the reaction was allowed to proceed for a time while maintaining the reaction temperature at 175 ° C. Meanwhile, the methanol produced was distilled off. After completion of the reaction, unreacted o-cresol was removed by distillation under reduced pressure to obtain 1371.5 g of Compound C-1. The softening point was 85 ° C.

(実施例1)
[エポキシ樹脂組成物の調製および半導体装置の製造]
以下のようにして、前記化合物(B)を含むエポキシ樹脂組成物を調製し、半導体装置を製造した。
Example 1
[Preparation of epoxy resin composition and manufacture of semiconductor device]
In the following manner, an epoxy resin composition containing the compound (B) was prepared, and a semiconductor device was manufactured.

まず、化合物(A)としてビフェニル型エポキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン(株)製YX4000H)、化合物(B)として前述合成により得られた化合物B−1、硬化促進剤(DBU:1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)ウンデセン−7)、無機充填材として溶融球状シリカ(平均粒径15μm)、その他の添加剤としてカーボンブラック、カルナバワックス、シランカップリング剤(A−186)を、それぞれ用意した。   First, as compound (A), a biphenyl type epoxy resin (YX4000H manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.), as compound (B), compound B-1 obtained by the above-mentioned synthesis, a curing accelerator (DBU: 1,8-diazabicyclo ( 5,4,0) undecene-7), fused spherical silica (average particle size 15 μm) as inorganic filler, and carbon black, carnauba wax, silane coupling agent (A-186) as other additives were prepared. .

次に、ビフェニル型エポキシ樹脂:53重量部、化合物B−1:47重量部、溶融球状シリカ:730重量部、カーボンブラック:2重量部、カルナバワックス:2重量部、シランカップリング剤(A−186)3重量部、DBU1.5重量部を、まず室温で混合し、次いで熱ロールを用いて95℃で8分間混練した後、冷却粉砕して、エポキシ樹脂組成物を得た。   Next, biphenyl type epoxy resin: 53 parts by weight, Compound B-1: 47 parts by weight, fused spherical silica: 730 parts by weight, carbon black: 2 parts by weight, carnauba wax: 2 parts by weight, silane coupling agent (A- 186) 3 parts by weight and 1.5 parts by weight of DBU were first mixed at room temperature, then kneaded at 95 ° C. for 8 minutes using a hot roll, and then cooled and ground to obtain an epoxy resin composition.

次に、このエポキシ樹脂組成物をモールド樹脂として用い、100ピンTQFPのパッケージ(半導体装置)を8個、および、16ピンDIPのパッケージ(半導体装置)を15個、それぞれ製造した。   Next, using this epoxy resin composition as a mold resin, 8 100-pin TQFP packages (semiconductor devices) and 15 16-pin DIP packages (semiconductor devices) were produced, respectively.

100ピンTQFPは、金型温度175℃、注入圧力7.4MPa、硬化時間2分でトランスファーモールド成形し、175℃、8時間で後硬化させることにより製造した。
なお、この100ピンTQFPのパッケージサイズは、14×14mm、厚み1.4mm、シリコンチップ(半導体素子)サイズは、8.0×8.0mm、リードフレームは、42アロイ製とした。
The 100-pin TQFP was manufactured by transfer molding at a mold temperature of 175 ° C., an injection pressure of 7.4 MPa and a curing time of 2 minutes, and post-cured at 175 ° C. for 8 hours.
The package size of the 100-pin TQFP was 14 × 14 mm, the thickness was 1.4 mm, the silicon chip (semiconductor element) size was 8.0 × 8.0 mm, and the lead frame was 42 alloy.

また、16ピンDIPは、金型温度175℃、注入圧力6.8MPa、硬化時間2分でトランスファーモールド成形し、175℃、8時間で後硬化させることにより製造した。
なお、この16ピンDIPのパッケージサイズは、6.4×19.8mm、厚み3.5mm、シリコンチップ(半導体素子)サイズは、3.5×3.5mm、リードフレームは、42アロイ製とした。
The 16-pin DIP was manufactured by transfer molding at a mold temperature of 175 ° C., an injection pressure of 6.8 MPa and a curing time of 2 minutes, and post-cured at 175 ° C. for 8 hours.
The package size of the 16-pin DIP is 6.4 × 19.8 mm, the thickness is 3.5 mm, the silicon chip (semiconductor element) size is 3.5 × 3.5 mm, and the lead frame is made of 42 alloy. .

次いで、上記で得たエポキシ樹脂組成物及び半導体装置を用いて各種特性を評価した。各特性の測定方法および試験方法は、下記の通りとした。評価結果を表1に示した。   Subsequently, various characteristics were evaluated using the epoxy resin composition and semiconductor device obtained above. The measurement method and test method for each property were as follows. The evaluation results are shown in Table 1.

[評価方法]
(1)スパイラルフロー
EMMI−I−66に準じたスパイラルフロー測定用の金型を用い、金型温度175℃、注入圧力6.86MPa、硬化時間2分で測定した。スパイラルフローは、流動性のパラメータであり、数値が大きい方が、流動性が良好である。
[Evaluation methods]
(1) Spiral Flow Using a mold for spiral flow measurement according to EMMI-I-66, measurement was performed at a mold temperature of 175 ° C., an injection pressure of 6.86 MPa, and a curing time of 2 minutes. The spiral flow is a fluidity parameter, and the larger the value, the better the fluidity.

(2)硬化トルク
キュラストメーター(オリエンテック(株)製、JSRキュラストメーターIVPS型)を用い、175℃、45秒後のトルクを測定した。この値の大きい方が硬化性は良好である。
(2) Curing torque Using a curast meter (Orientec Co., Ltd., JSR curast meter IVPS type), the torque after 175 ° C. and 45 seconds was measured. The larger this value, the better the curability.

(3)ガラス転移温度(Tg)測定
トランスファー成形機を用いて、金型温度175℃、注入圧力6.86MPa、硬化時間120秒で、試験片(幅2mm×長さ30mm×厚さ1.0mm)を成形し、175℃、4時間で後硬化したものを用いた。
測定には、動的粘弾性測定装置(セイコーインスツルメント社製 DMS6100)を用い5℃/分の割合で昇温しながら、周波数10Hzの歪みを与えて動的粘弾性の測定を行ない、tanδのピーク値からガラス転移温度(Tg)を判定した。
(3) Measurement of glass transition temperature (Tg) Using a transfer molding machine, a test piece (width 2 mm × length 30 mm × thickness 1.0 mm) at a mold temperature of 175 ° C., an injection pressure of 6.86 MPa, and a curing time of 120 seconds. ) And post-cured at 175 ° C. for 4 hours.
For the measurement, a dynamic viscoelasticity measuring device (DMS6100 manufactured by Seiko Instruments Inc.) is used to measure the dynamic viscoelasticity by applying a strain of a frequency of 10 Hz while raising the temperature at a rate of 5 ° C./min. The glass transition temperature (Tg) was determined from the peak value.

(4)耐半田クラック性
100ピンTQFP(Thin Quad Flat Package)の半導体パッケージを、85℃、相対湿度85%の環境下で、168時間放置し、その後、260℃の半田槽に10秒間浸漬した。顕微鏡で外部クラックを観察し、クラック発生率[(クラック発生パッケージ数)/(全パッケージ数)×100]を%で表示した。また、チップと樹脂組成物の硬化物との剥離面積の割合を、超音波探傷装置を用いて測定し、剥離率[(剥離面積)/(チップ面積)×100]として、5個のパッケージの平均値を求め、%で表示した。クラック数、剥離率が少ないほど、耐半田クラック性は良好である。
(4) Resistance to solder cracks A 100-pin TQFP (Thin Quad Flat Package) semiconductor package was left for 168 hours in an environment of 85 ° C. and 85% relative humidity, and then immersed in a solder bath at 260 ° C. for 10 seconds. . External cracks were observed with a microscope, and the crack generation rate [(number of crack generation packages) / (total number of packages) × 100] was displayed in%. Further, the ratio of the peeled area between the chip and the cured product of the resin composition was measured using an ultrasonic flaw detector, and the peel rate [(peeled area) / (chip area) × 100] The average value was calculated and expressed in%. The smaller the number of cracks and the peeling rate, the better the solder crack resistance.

(5)耐湿信頼性
16ピンDIP(Dual Inline Package)の半導体パッケージを、125℃、相対湿度100%の水蒸気中で、20Vの電圧を、16ピンDIPに印加し、断線不良を調べた。15個のパッケージのうち、8個以上に不良が出るまでの時間を、不良時間とした。単位は時間。なお、測定時間は、最長で500時間とし、その時点で不良パッケージ数が8個未満であったものは、不良時間を500時間以上と示した。不良時間が長いほど、耐湿信頼性に優れる。
(5) Moisture resistance reliability A 16-pin DIP (Dual Inline Package) semiconductor package was applied to a 16-pin DIP with a voltage of 20 V in water vapor at 125 ° C. and a relative humidity of 100%, and the disconnection failure was examined. Of the 15 packages, the time until 8 or more defects were detected was defined as the defect time. The unit is time. Note that the measurement time was 500 hours at the longest, and when the number of defective packages was less than 8 at that time, the defective time was 500 hours or more. The longer the defect time, the better the moisture resistance reliability.

(6)UL94難燃性
トランスファー成形機を用いて、金型温度175℃、注入圧力6.86MPa、硬化時間120秒で、試験片(127mm×12.7mm×厚み1.6mm)を成形し、175℃、8時間で後硬化し、UL−94垂直法に準じて測定し、難燃性を判定した。
(6) UL94 flame retardancy Using a transfer molding machine, a test piece (127 mm × 12.7 mm × 1.6 mm thickness) was molded at a mold temperature of 175 ° C., an injection pressure of 6.86 MPa, and a curing time of 120 seconds. After curing at 175 ° C. for 8 hours, measurement was performed according to the UL-94 vertical method to determine flame retardancy.

(実施例2)
化合物B−1のかわりに化合物B−2を用いた以外は実施例1と同様にして、エポキシ樹脂組成物を調製し、半導体装置を製造した。得られたエポキシ樹脂組成物及び半導体装置を用いて各特性の評価をした。評価結果は表1に示した通りであった。
(Example 2)
An epoxy resin composition was prepared and a semiconductor device was manufactured in the same manner as in Example 1 except that Compound B-2 was used instead of Compound B-1. Each characteristic was evaluated using the obtained epoxy resin composition and semiconductor device. The evaluation results were as shown in Table 1.

(実施例3)
化合物B−1のかわりに化合物B−3を用いた以外は実施例1と同様にして、エポキシ樹脂組成物を調製し、半導体装置を製造した。得られたエポキシ樹脂組成物及び半導体装置を用いて各特性の評価をした。評価結果は表1に示した通りであった。
(Example 3)
An epoxy resin composition was prepared and a semiconductor device was manufactured in the same manner as in Example 1 except that Compound B-3 was used instead of Compound B-1. Each characteristic was evaluated using the obtained epoxy resin composition and semiconductor device. The evaluation results were as shown in Table 1.

(比較例1)
化合物B−1のかわりにフェノールアラルキル樹脂(三井化学(株)製XL−225、ただし、繰り返し単位数:3は、平均値を示す。)、を用いた以外は実施例1と同様にして、エポキシ樹脂組成物を調製し、半導体装置を製造した。得られたエポキシ樹脂組成物及び半導体装置を用いて各特性の評価をした。評価結果は表1に示した通りであった。
(Comparative Example 1)
In the same manner as in Example 1 except that phenol aralkyl resin (XL-225 manufactured by Mitsui Chemicals, Inc., where the number of repeating units: 3 represents an average value) was used instead of compound B-1, An epoxy resin composition was prepared to manufacture a semiconductor device. Each characteristic was evaluated using the obtained epoxy resin composition and semiconductor device. The evaluation results were as shown in Table 1.

(比較例2)
化合物B−1のかわりにフェノールノボラック樹脂(住友ベークライト(株)製PR−53195)、を用いた以外は実施例1と同様にして、エポキシ樹脂組成物を調製し、半導体装置を製造した。得られたエポキシ樹脂組成物及び半導体装置を用いて各特性の評価をした。評価結果は表1に示した通りであった。
(Comparative Example 2)
An epoxy resin composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that a phenol novolac resin (PR-53195, manufactured by Sumitomo Bakelite Co., Ltd.) was used instead of Compound B-1, and a semiconductor device was produced. Each characteristic was evaluated using the obtained epoxy resin composition and semiconductor device. The evaluation results were as shown in Table 1.

Figure 2007302759
Figure 2007302759

表1に示した結果から分かるように、実施例1〜3では、いずれも優れた、難燃性を示し、耐湿信頼性、耐半田性、硬化性も十分なものであった。
これに対して、比較例1、2は耐湿信頼性、耐半田性、硬化性に優れるが、難燃性が十分でない。
As can be seen from the results shown in Table 1, in Examples 1 to 3, all exhibited excellent flame retardancy and sufficient moisture resistance reliability, solder resistance and curability.
On the other hand, Comparative Examples 1 and 2 are excellent in moisture resistance reliability, solder resistance, and curability, but are not sufficiently flame retardant.

本発明のエポキシ樹脂組成物を用いた硬化物により封止した半導体装置は、難燃性、耐半田性、耐湿信頼性、に優れるもので、表面実装型の半導体装置にも有用である。   A semiconductor device sealed with a cured product using the epoxy resin composition of the present invention is excellent in flame retardancy, solder resistance, and moisture resistance reliability, and is also useful for a surface-mount type semiconductor device.

Claims (6)

一般式(1)で表されることを特徴とするフェノール系化合物(B)。
Figure 2007302759
[式(1)中、R1〜R4は、それぞれ、水素、炭素数1〜4のアルキル基、フェニル基の中から選択される1種を示し、互いに同一であっても異なっていてもよい。mおよびnは0または1以上の整数である。]
A phenolic compound (B) represented by the general formula (1).
Figure 2007302759
In Expression (1), R 1 to R 4 are each hydrogen, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, represents one selected from among a phenyl group, optionally being the same or different Good. m and n are 0 or an integer of 1 or more. ]
一般式(1)で表されるフェノール系化合物(B)を含有することを特徴とする樹脂組成物。
Figure 2007302759
[式(1)中、R1〜R4は、それぞれ、水素、炭素数1〜4のアルキル基、フェニル基の中から選択される1種を示し、互いに同一であっても異なっていてもよい。mおよびnは0または1以上の整数である。]
A resin composition comprising a phenolic compound (B) represented by the general formula (1).
Figure 2007302759
In Expression (1), R 1 to R 4 are each hydrogen, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, represents one selected from among a phenyl group, optionally being the same or different Good. m and n are 0 or an integer of 1 or more. ]
1分子内にエポキシ基を2個以上有する化合物(A)、および一般式(1)で表されるフェノール系化合物(B)を必須成分とすることを特徴とするエポキシ樹脂組成物。
Figure 2007302759
[式(1)中、R1〜R4は、それぞれ、水素、炭素数1〜4のアルキル基、フェニル基の中から選択される1種を示し、互いに同一であっても異なっていてもよい。mおよびnは0または1以上の整数である。]
An epoxy resin composition comprising, as essential components, a compound (A) having two or more epoxy groups in one molecule and a phenolic compound (B) represented by the general formula (1).
Figure 2007302759
In Expression (1), R 1 to R 4 are each hydrogen, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, represents one selected from among a phenyl group, optionally being the same or different Good. m and n are 0 or an integer of 1 or more. ]
充填剤を含む請求項3記載のエポキシ樹脂組成物。 The epoxy resin composition of Claim 3 containing a filler. 請求項3又は4に記載のエポキシ樹脂組成物を硬化して得られる樹脂硬化物。 A cured resin obtained by curing the epoxy resin composition according to claim 3. 請求項3又は4に記載のエポキシ樹脂組成物を用いて半導体素子を封止してなる半導体装置。 The semiconductor device formed by sealing a semiconductor element using the epoxy resin composition of Claim 3 or 4.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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