JP2007297664A - Reduced pressure slow-cooling apparatus and heat treatment apparatus for steel member - Google Patents

Reduced pressure slow-cooling apparatus and heat treatment apparatus for steel member Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a slow-cooling apparatus which can suppress the occurrence of cooling strain in comparison with a conventional apparatus and also can exhibit high cooling efficiency in the low possibility of the occurrence of the cooling strain, and to provide a heat treatment apparatus including this excellent slow-cooling apparatus and a carburizing treatment apparatus. <P>SOLUTION: A reduced pressure slow-cooling apparatus is provided with: a cooling chamber 10 closable while housing a material 2 to be treated; a pressure reducing device for reducing the pressure in the cooling chamber 10; a cooling fan 11 for circulating cooling gas in the cooling chamber and can change the circulating speed of the cooling gas; heat exchangers 12, 13 for cooling the cooling gas; and blasting guides 15, 16 for changing over the circulating route of the cooling gas. This apparatus is constituted so as to switched into a rapid cooling mode for contacting the cooling gas with the heat exchangers 12, 13 and circulating the gas or a slow cooling mode for circulating the cooling gas without contacting the gas with the heat exchangers 12, 13 by operating the blasting guides 15, 16. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、高温状態にある鋼部材等の被処理材を徐冷するための徐冷装置、及びこれを備えた鋼部材の熱処理装置に関する。   The present invention relates to a gradual cooling apparatus for gradually cooling a material to be treated such as a steel member in a high temperature state, and a steel member heat treatment apparatus including the gradual cooling apparatus.

例えば、加熱された高温の鋼部材等の被処理材を冷却する装置としては、被処理材を収容する冷却室内において、ファンにより冷却ガス(雰囲気ガス)を循環させ、その冷却ガスと被処理材との熱交換によって冷却処理を行う装置がある。
また、冷却ムラによる冷却歪みの発生等を抑制するために、冷却ガスの循環速度を変更したり、循環経路が適正となるように整流板を設けたりする対策をとって、冷却条件がムラのないものとなることを目指したガス冷却式真空熱処理炉が提案されている(特許文献1参照)。
For example, as a device for cooling a material to be treated such as a heated high-temperature steel member, a cooling gas (atmosphere gas) is circulated by a fan in a cooling chamber that accommodates the material to be treated, and the cooling gas and the material to be treated are circulated. There is a device that performs a cooling process by exchanging heat with.
In addition, in order to suppress the occurrence of cooling distortion due to uneven cooling, measures such as changing the circulation speed of the cooling gas or providing a baffle plate so that the circulation path is appropriate can be used. There has been proposed a gas-cooled vacuum heat treatment furnace that aims to be non-existent (see Patent Document 1).

しかしながら、従来のガス冷却式真空熱処理炉では、必ずしも十分に均一な冷却効果が得られず、冷却歪みの出やすい被処理材においては、寸法精度がばらつくという問題が生じることもあった。特に上記特許文献1に記載のガス冷却式真空熱処理炉による冷却は、均一かつ高速な冷却を目的とするものであり、歯車等の寸法精度の厳しい被処理材における冷却歪みを抑制することは困難であった。   However, the conventional gas-cooled vacuum heat treatment furnace does not always provide a sufficiently uniform cooling effect, and there is a problem that the dimensional accuracy varies in the material to be processed which is likely to generate cooling distortion. In particular, the cooling by the gas-cooled vacuum heat treatment furnace described in Patent Document 1 is intended for uniform and high-speed cooling, and it is difficult to suppress cooling distortion in a material to be processed with strict dimensional accuracy such as gears. Met.

また、歯車あるいはリング状の鋼部材は、靱性を維持しつつ表面硬度を高めるための処理として浸炭処理が施されることが多い。浸炭処理は、鋼部材をオーステナイト化温度以上に加熱した状態で表面の炭素濃度を増大させる処理である。従来においては、浸炭処理の直後に油焼き入れ等の焼き入れ処理を行って芯部の靱性を確保し、表面硬度を高める、いわゆる浸炭焼き入れ処理を行うことも多かった。しかしながら、浸炭焼き入れ処理を行った鋼部材は、歪みの発生の問題を解消することが困難である。そのため、寸法精度の厳しい部品に対しては、浸炭処理後徐冷し、その後、局部的に高周波焼き入れを行う方法が開発されてきた(特許文献2参照)。   Further, gears or ring-shaped steel members are often subjected to carburizing treatment as a treatment for increasing the surface hardness while maintaining toughness. The carburizing treatment is a treatment for increasing the surface carbon concentration in a state where the steel member is heated to the austenitizing temperature or higher. Conventionally, a so-called carburizing and quenching process is often performed immediately after the carburizing process, in which a quenching process such as oil quenching is performed to ensure the toughness of the core and to increase the surface hardness. However, it is difficult for a steel member subjected to carburizing and quenching to solve the problem of distortion. For this reason, a method has been developed in which parts with strict dimensional accuracy are gradually cooled after carburizing, and then subjected to induction hardening locally (see Patent Document 2).

この浸炭後徐冷と高周波焼き入れの組み合わせを行う場合には、高周波焼き入れ前の寸法精度を高く維持する必要がある。つまり、浸炭処理後の徐冷工程において、鋼部材に歪みを発生させないということが必要である。   When the combination of slow cooling after carburizing and induction hardening is performed, it is necessary to maintain high dimensional accuracy before induction hardening. That is, it is necessary not to generate distortion in the steel member in the slow cooling step after the carburizing process.

ところが、鋼部材をオーステナイト化温度以上の状態から冷却する際に、ゆっくりと冷やす徐冷を行っても、鋼部材に歪みが生じる場合がある。この徐冷時の歪の発生原因は次のように考えられる。すなわち、鋼部材を高温から冷却する場合には、上記のごとく冷却ガス循環させて、被処理材に衝突させる強制冷却を行うことが多いが、その風速を低下させても、風上と風下との間で冷却効果の差が大きくなり、その分歪みが出てしまう。また、強制冷却を停止した場合でも、温度の異なる冷却ガスの滞留が生じることによって冷却効果の差が生まれ、その分歪みが出てしまう。   However, when the steel member is cooled from the state above the austenitizing temperature, the steel member may be distorted even if it is slowly cooled. The cause of the distortion during the slow cooling is considered as follows. That is, when cooling a steel member from a high temperature, the cooling gas is circulated as described above, and forced cooling is often performed to collide with the material to be treated. The difference in the cooling effect increases between the two, and distortion is generated accordingly. Further, even when forced cooling is stopped, the retention of the cooling gas having different temperatures causes a difference in cooling effect, resulting in distortion.

このような、徐冷による歪みの発生は、特に、歯車その他のリング状の部品においては、真円度や軸方向の寸法精度の低下につながり、製品品質に大きく影響する。
また、歯車その他のリング状部品の浸炭処理に限らず、加熱した被処理材を冷却する際の冷却歪みを抑制する効果を高めることができる徐冷装置の開発は、鋼部材等の熱処理を施す技術分野において強く望まれていた。
また、一方において、冷却歪みの発生可能性が低い場合に徐冷をすることは、冷却時間の増大による生産効率の低下につながってしまう。そのため、最適な徐冷と効率のよい急冷とを適宜切り替えて実施できる実用性の高い徐冷装置の開発が望まれている。
Such distortion caused by gradual cooling, particularly in gears and other ring-shaped parts, leads to a decrease in roundness and dimensional accuracy in the axial direction, which greatly affects product quality.
In addition to carburizing treatment of gears and other ring-shaped parts, the development of a slow cooling device capable of enhancing the effect of suppressing cooling distortion when cooling a heated material to be treated includes heat treatment of steel members and the like. It was highly desired in the technical field.
On the other hand, slow cooling when the possibility of occurrence of cooling distortion is low leads to a decrease in production efficiency due to an increase in cooling time. Therefore, development of a highly practical slow cooling device that can be performed by appropriately switching between optimal slow cooling and efficient rapid cooling is desired.

特開2005−29872号公報JP 2005-29872 A 特開平11−131133号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-131133

本発明は、かかる従来の問題点に鑑みてなされたもので、従来よりも冷却歪みの発生を抑制することが可能であると共に、冷却歪み発生可能性が低い場合には冷却効率を向上させることが可能な徐冷装置、及びこの優れた徐冷装置及び浸炭処理装置を含む熱処理装置を提供しようとするものである。   The present invention has been made in view of such conventional problems, and it is possible to suppress the occurrence of cooling distortion as compared with the prior art, and to improve the cooling efficiency when the possibility of occurrence of cooling distortion is low. And a heat treatment apparatus including the excellent slow cooling apparatus and carburizing apparatus.

第1の発明は、被処理材を収容した状態で密閉可能な冷却室と、
該冷却室内を減圧する減圧装置と、
上記冷却室内において冷却ガスを循環させると共に、その循環速度を変更可能な冷却ファンと、
上記冷却ガスを冷却するための熱交換器と、
上記冷却ガスの循環経路を切り替える送風ガイドとを有しており、
該送風ガイドの操作により、上記冷却ガスを上記熱交換器に接触させて循環させる急冷モードと、上記冷却ガスを上記熱交換器に接触させることなく循環させる徐冷モードとのいずれかに切替可能に構成されていることを特徴とする減圧徐冷装置にある(請求項1)。
The first invention includes a cooling chamber that can be sealed in a state in which a material to be treated is accommodated,
A decompression device for decompressing the cooling chamber;
A cooling fan that circulates the cooling gas in the cooling chamber and can change the circulation speed;
A heat exchanger for cooling the cooling gas;
A ventilation guide for switching the cooling gas circulation path,
By operating the blower guide, it is possible to switch between a rapid cooling mode in which the cooling gas is circulated in contact with the heat exchanger and a slow cooling mode in which the cooling gas is circulated without being in contact with the heat exchanger. It is in the reduced pressure slow cooling apparatus characterized by the above-mentioned (Claim 1).

本発明の減圧徐冷装置は、上記構成を具備することによって、優れた冷却歪み抑制効果(徐冷効果)と、冷却歪み発生可能性が低い場合の冷却効率向上効果(急冷効果)の両方を得ることができる。
まず、上記減圧徐冷装置における上記冷却室は、上記減圧装置によって減圧可能であると共に、上記冷却ファンによって冷却ガスの循環速度を変更することもできる。そのため、冷却歪みが非常に出やすい被処理材を処理する場合においても、その冷却歪みの発生を極力抑制することができる。
The reduced-pressure slow cooling device of the present invention has both the above-described configuration, and thus has both an excellent cooling strain suppression effect (slow cooling effect) and a cooling efficiency improvement effect (rapid cooling effect) when the possibility of occurrence of cooling strain is low. Obtainable.
First, the cooling chamber in the reduced pressure gradual cooling device can be depressurized by the depressurizing device, and the circulation speed of the cooling gas can be changed by the cooling fan. Therefore, even when a material to be processed that is very susceptible to cooling distortion is processed, generation of the cooling distortion can be suppressed as much as possible.

すなわち、冷却時に冷却ガスを撹拌(循環)する場合には、冷却ガスを減圧状態とすることによって、大気圧状態の場合に比べ、循環する冷却ガスの風上と風下での冷却速度の差を低減させることができる。一方、撹拌を全くしない場合であっても、減圧状態の場合には、大気圧の場合よりも、温度の異なる冷却ガスの滞留による冷却速度の差を低減させることができる。
このような冷却ガスの減圧による効果を利用することにより、冷却歪みが生じやすい被処理材であっても歪み発生を抑制することができ、高精度の寸法精度を維持したまま冷却処理を行うことができる。
That is, when the cooling gas is stirred (circulated) during cooling, the cooling gas is reduced in pressure to reduce the difference in cooling rate between the upstream and the downstream of the circulating cooling gas compared to the atmospheric pressure state. Can be reduced. On the other hand, even in the case where stirring is not performed at all, in the reduced pressure state, the difference in cooling rate due to the residence of the cooling gas having different temperatures can be reduced as compared with the case of atmospheric pressure.
By utilizing the effect of such a reduced pressure of the cooling gas, the generation of distortion can be suppressed even if the workpiece is susceptible to cooling distortion, and the cooling process is performed while maintaining high dimensional accuracy. Can do.

また、上記冷却ガスの循環速度を通常の場合よりも低下させることによっても徐冷効果が向上する。そのため、上記の冷却ガスの減圧効果と循環速度低減効果の相乗効果によって、より一層優れた徐冷条件を得ることが可能となる。   The slow cooling effect can also be improved by lowering the cooling gas circulation rate than usual. For this reason, it is possible to obtain even more excellent slow cooling conditions by the synergistic effect of the above-described cooling gas decompression effect and circulation rate reduction effect.

さらに、上記減圧徐冷装置においては、上記熱交換器と上記送風ガイドとを有しており、該送風ガイドの操作により、上記冷却ガスを上記熱交換器に接触させて循環させる急冷モードと、上記冷却ガスを上記熱交換器に接触させることなく循環させる徐冷モードとのいずれかに切替可能に構成されている。
これにより、上記徐冷モードを選択した場合には、循環する冷却ガスが熱交換器によって冷やされることがないので、ある程度高温の状態に維持される。そのため、被処理材に対する冷却能自体を抑制し、上述した減圧と循環速度低減の両方または一方との組み合わせによって、徐冷効果をさらに向上させることができる。
Furthermore, in the reduced pressure gradual cooling device, it has the heat exchanger and the air blowing guide, and by operating the air blowing guide, a quenching mode for circulating the cooling gas in contact with the heat exchanger; The cooling gas is configured to be switchable to any one of a slow cooling mode in which the cooling gas is circulated without being brought into contact with the heat exchanger.
Thereby, when the said slow cooling mode is selected, since the circulating cooling gas is not cooled by the heat exchanger, it is maintained in a high temperature state to some extent. Therefore, the cooling ability itself with respect to a to-be-processed material is suppressed, and a slow cooling effect can further be improved by the combination of the pressure reduction mentioned above and the circulation speed reduction or both.

また、冷却歪み発生が少ない被処理材を処理する場合、あるいは、冷却歪み発生の危険性が少ない比較的低温域での冷却を行う場合には、上記急冷モードを選択することによって、冷却効率を向上させることができる。すなわち、上記送風ガイドを操作して、冷却ガスを上記熱交換器と接触させて熱交換させることにより、常に、冷却能の高い比較的低温の冷却ガスを被処理材に接触させることができる。これにより、冷却効率の向上を図ることができる。また、特に冷却ガスの循環速度を最大限とすることによって、更なる冷却効率の向上を図ることも可能である。   In addition, when processing a material to be processed with little occurrence of cooling distortion, or when cooling in a relatively low temperature range where there is little risk of occurrence of cooling distortion, the cooling efficiency can be improved by selecting the rapid cooling mode. Can be improved. That is, by operating the air blowing guide and bringing the cooling gas into contact with the heat exchanger to exchange heat, it is possible to always bring a relatively low-temperature cooling gas having a high cooling ability into contact with the material to be processed. Thereby, the cooling efficiency can be improved. It is also possible to further improve the cooling efficiency, particularly by maximizing the circulation speed of the cooling gas.

このように、本発明によれば、従来よりも冷却歪みの発生を抑制することが可能であると共に、冷却歪み発生可能性が低い場合には冷却効率を向上させることが可能な徐冷装置を提供することができる。   As described above, according to the present invention, there is provided a slow cooling device that can suppress the occurrence of cooling distortion as compared with the conventional case and can improve the cooling efficiency when the possibility of occurrence of cooling distortion is low. Can be provided.

第2の発明は、鋼部材よりなる被処理材の浸炭処理を行うための浸炭処理装置と、
該浸炭処理を終えた上記被処理材を冷却するための徐冷装置とを有してなり、
該徐冷装置は、第1の発明の減圧徐冷装置よりなることを特徴とする鋼部材の熱処理装置にある(請求項4)。
The second invention is a carburizing apparatus for carburizing a material to be processed made of a steel member,
And a slow cooling device for cooling the material to be treated after the carburizing treatment,
The slow cooling device is a steel member heat treatment device characterized by comprising the reduced pressure slow cooling device of the first invention.

本発明の熱処理装置は、特に鋼部材よりなる被処理材を処理するものであって、上記浸炭処理装置を有している。そして、徐冷装置として上述した減圧徐冷装置も有している。そのため、上記熱処理装置は、浸炭処理を上記浸炭処理装置によって実施した高温状態の上記被処理材を、上記減圧徐冷装置を用いて冷却歪みを極力抑えた状態で冷却することができ、寸法精度を悪化させることなく浸炭処理を施すことができる。
そして、例えば、その後に、歪みの生じにくい高周波焼入れと組み合わせることによって、浸炭焼入れ処理全体を、寸法精度を高く維持した状態で実施することができる。
The heat processing apparatus of this invention processes the to-be-processed material which consists of a steel member especially, Comprising: It has the said carburizing processing apparatus. And it also has the pressure reduction slow cooling apparatus mentioned above as a slow cooling apparatus. Therefore, the heat treatment apparatus can cool the material to be treated in a high temperature state, which has been carburized by the carburizing apparatus, with the cooling distortion suppressed as much as possible by using the reduced pressure annealing apparatus, and has a dimensional accuracy. Carburizing treatment can be performed without deteriorating.
Then, for example, the entire carburizing and quenching process can be carried out in a state in which the dimensional accuracy is maintained high by combining with induction hardening that is less likely to cause distortion.

第1の発明の減圧徐冷装置においては、上記冷却室内には、上記被処理材に接触することなくその周囲に上記冷却ガスを通す側方流路と、上記被処理材に接触するよう上記冷却ガスを通す中央流路とを区分する整流板が配設されており、
上記冷却ファンを配設したファン設置ゾーンから送られた上記冷却ガスが、上記側方流路又は上記中央流路を通って、上記ファン設置ゾーンの位置と反対側に位置する折り返しゾーンに送られ、該折り返しゾーンから上記中央流路又は上記側方流路を通って上記ファン設置ゾーンに戻るように構成されており、
上記熱交換器及び上記送風ガイドは、上記折り返しゾーンに配置されていることが好ましい(請求項2)。
In the reduced pressure gradual cooling device of the first aspect of the invention, the cooling chamber has a lateral flow path through which the cooling gas passes without contacting the material to be treated, and the material to be in contact with the material to be treated. A rectifying plate that separates the central flow path through which the cooling gas passes is arranged,
The cooling gas sent from the fan installation zone in which the cooling fan is disposed passes through the side flow path or the central flow path and is sent to the folding zone located on the opposite side of the fan installation zone. , Configured to return to the fan installation zone from the folding zone through the central channel or the side channel,
It is preferable that the heat exchanger and the air guide are arranged in the folding zone (Claim 2).

この場合には、上記側方流路と上記中央流路とを使ってループ状に冷却ガスを循環させることができる。このとき、上記熱交換器がファン設置ゾーン近傍に配設されている場合には、ファンが吸排する冷却ガスが比較的高速で上記熱交換器と接触して熱交換効率が低下するおそれがある。これに対し、上述したように、上記側方流路および中央流路を挟んで上記ファン設置ゾーンと反対側に位置する上記折り返しゾーン内に上記熱交換器および送風ガイドを設置することによって、流速が整った状態の冷却ガスを穏やかに熱交換器に接触させることができ、効率よく冷却することができる。
また、上記折り返しゾーンを用いることによって、上記熱交換器および送風ガイドの配設が容易となる。
In this case, the cooling gas can be circulated in a loop using the side flow path and the central flow path. At this time, when the heat exchanger is disposed in the vicinity of the fan installation zone, the cooling gas sucked and exhausted by the fan may come into contact with the heat exchanger at a relatively high speed and the heat exchange efficiency may be reduced. . On the other hand, as described above, by installing the heat exchanger and the air guide in the folding zone located on the opposite side of the fan installation zone across the side flow path and the central flow path, Thus, the cooling gas in a state where the air conditioner is in contact with the heat exchanger can be gently brought into contact with the heat exchanger, thereby efficiently cooling.
Further, the use of the folding zone facilitates the arrangement of the heat exchanger and the air guide.

また、上記折り返しゾーンは、上記側方流路と上記中央流路との間を連通させるU字状流路を有しており、上記送風ガイドは、該U字状流路内に揺動支点を有する揺動可能なガイド板よりなり、揺動位置によって上記U字状流路内の循環経路を内周側経路と外周側経路に切り替え可能に構成されており、上記熱交換器は、上記内周側経路又は上記外周側経路のいずれか一方のみに配設されていることが好ましい(請求項3)。
この場合には、上記送風ガイドによる循環経路の切り替えを容易に行うことができ、かつ、熱交換器と冷却ガスとの接触状態の制御を容易に行うことができる。
In addition, the folding zone has a U-shaped channel that communicates between the side channel and the central channel, and the air blowing guide is pivoted in the U-shaped channel. The circulatory path in the U-shaped flow path can be switched between an inner peripheral path and an outer peripheral path depending on the swing position, and the heat exchanger It is preferable that it is disposed only in one of the inner peripheral path and the outer peripheral path.
In this case, the circulation path can be easily switched by the air guide, and the contact state between the heat exchanger and the cooling gas can be easily controlled.

また、上記第2の発明の鋼部材の熱処理装置においては、上記浸炭処理装置は、上記被処理材を収容して加熱する加熱室と、加熱された上記被処理材を収容して減圧下の浸炭ガス中において浸炭処理する真空浸炭室とを別個に有していることが好ましい(請求項5)。
この場合には、上記真空浸炭室を備えることによって効率のよい所謂真空浸炭処理を行うことができ、さらに、上記真空浸炭室とは別個に上記加熱室を有することによって、浸炭処理前の加熱工程と、加熱後の真空浸炭処理を同時に並行して行うことができ、より効率的な熱処理を行うことができる。
In the heat treatment apparatus for steel members according to the second aspect of the invention, the carburizing apparatus includes a heating chamber that accommodates and heats the material to be treated, and a heated chamber that accommodates the heated material to be treated under reduced pressure. It is preferable to separately have a vacuum carburizing chamber for carburizing treatment in the carburizing gas.
In this case, an efficient so-called vacuum carburizing process can be performed by providing the vacuum carburizing chamber, and further, the heating step before the carburizing process can be performed by having the heating chamber separately from the vacuum carburizing chamber. And the vacuum carburizing process after a heating can be performed simultaneously in parallel, and a more efficient heat treatment can be performed.

また、上記加熱室、上記真空浸炭室、及び上記減圧徐冷装置の上記冷却室は、それぞれ個別に内部の減圧状態を調整可能であると共に雰囲気ガスの導入を個別に制御可能に構成されており、上記加熱室、上記真空浸炭室、及び上記冷却室を順次移動するように上記被処理材を移動させる搬送装置を設けてあることが好ましい(請求項6)。   The heating chamber, the vacuum carburizing chamber, and the cooling chamber of the vacuum slow cooling apparatus are each configured to be capable of individually adjusting the internal reduced pressure state and individually controlling the introduction of atmospheric gas. It is preferable to provide a transfer device for moving the material to be processed so as to sequentially move the heating chamber, the vacuum carburizing chamber, and the cooling chamber.

この場合には、上記加熱室、上記真空浸炭室、および上記冷却室について、それぞれ個別に内部の減圧状態および雰囲気ガスの導入状態を調整可能であるので、各室にそれぞれ被処理材を装入して最適な処理を並行して行うことが可能となる。そのため、非常に効率よく処理を進めることができる。
また、上記加熱室、上記真空浸炭室、及び上記冷却室を順次移動するように上記被処理材を移動させる搬送装置を設けることによって、効率よく被処理材を移動させることができる。
このような構成を具備することによって、連続真空浸炭徐冷装置として、非常に効率よく真空浸炭処理、およびその後の減圧徐冷処理を連続して進めることができる。
In this case, the heating chamber, the vacuum carburizing chamber, and the cooling chamber can be individually adjusted for the internal decompression state and the introduction state of the atmospheric gas. Thus, it is possible to perform optimum processing in parallel. Therefore, the process can be performed very efficiently.
In addition, the material to be treated can be efficiently moved by providing a transfer device that moves the material to be treated so as to sequentially move the heating chamber, the vacuum carburizing chamber, and the cooling chamber.
By having such a configuration, as a continuous vacuum carburizing and slow cooling device, the vacuum carburizing process and the subsequent reduced pressure slow cooling process can be proceeded very efficiently.

また、上記加熱室の上記搬入口には準備室が連結されており、該準備室は、独自に減圧可能に構成されていることが好ましい(請求項7)。この場合には、加熱室に装入する前の被処理材を上記準備室に収容して、加熱室に装入する際に適した雰囲気状態を得ることにより、さらに高効率化を図ることができる。   Further, it is preferable that a preparation chamber is connected to the carry-in port of the heating chamber, and the preparation chamber is independently configured to be able to be depressurized. In this case, the material to be treated before being charged into the heating chamber is accommodated in the preparation chamber, and an atmosphere state suitable for charging into the heating chamber can be obtained to further increase the efficiency. it can.

また、上記搬送装置は、上記被処理材を複数保持した熱処理治具を搬送可能に構成されていることが好ましい(請求項8)。これにより、安定した搬送状態が得られ、また、複数の被処理材を同時に扱えるのでさらに高効率化を図ることができる。   Moreover, it is preferable that the said conveying apparatus is comprised so that conveyance of the heat processing jig | tool holding the said to-be-processed material is carried out (Claim 8). As a result, a stable conveyance state can be obtained, and a plurality of materials to be processed can be handled at the same time, so that higher efficiency can be achieved.

また、上記被処理材は、リング状の本体部を有するリング状部材であり、該リング状部材の軸心を垂直方向にして上記熱処理治具上に載置して、又は上記リング状部材の軸心を水平方向にして上記熱処理治具に設けた吊り枠に吊した状態で搬送するよう構成することができる(請求項9)。
上記リング状部材は、リング状の本体部の真円度等が重要な場合が多いが、上述した減圧徐冷装置を備えた本発明の熱処理装置を用いることが非常に有効であり、冷却歪みを極力抑えて処理することができる。
また、リング状部材の熱処理治具による支持構造としては、上記のごとく、リング状部材の軸心を垂直方向にして上記熱処理治具上に載置する支持構造と、リング状部材の軸心を水平方向にして上記熱処理治具に設けた吊り枠に吊す支持構造をとることができる。
Further, the material to be treated is a ring-shaped member having a ring-shaped main body, and is placed on the heat treatment jig with the axis of the ring-shaped member in a vertical direction, or of the ring-shaped member. It can be configured such that the shaft is conveyed in a state of being suspended in a suspension frame provided in the heat treatment jig with a horizontal axis.
In the ring-shaped member, the roundness of the ring-shaped main body is often important. However, it is very effective to use the heat treatment apparatus of the present invention equipped with the above-described reduced pressure annealing apparatus, and cooling distortion Can be processed while suppressing as much as possible.
In addition, as described above, the support structure of the ring-shaped member by the heat treatment jig includes the support structure that is placed on the heat treatment jig with the axis of the ring-shaped member in the vertical direction, and the axis of the ring-shaped member. It is possible to adopt a support structure that hangs horizontally on a suspension frame provided on the heat treatment jig.

また、上記被処理材は、上記本体部の外周面又は内周面に歯部を有する歯車部材とすることができる(請求項10)。
歯車部材の場合には、特に寸法精度が厳しく、本発明の熱処理装置を用いることが特に有効である。歯車部材としては、例えば、自動変速機等の部品となるリングギア等がある。
Moreover, the said to-be-processed material can be used as the gear member which has a tooth | gear part in the outer peripheral surface or inner peripheral surface of the said main-body part (Claim 10).
In the case of a gear member, the dimensional accuracy is particularly strict, and it is particularly effective to use the heat treatment apparatus of the present invention. Examples of the gear member include a ring gear that is a component of an automatic transmission or the like.

(実施例1)
本発明の実施例に係る減圧徐冷装置につき、図1〜図3を用いて説明する。
本例の減圧徐冷装置1は、図1〜図3に示すごとく、被処理材8を収容した状態で密閉可能な冷却室10と、冷却室12内を減圧する減圧装置(図示略)と、冷却室10内において冷却ガスを循環させると共に、その循環速度を変更可能な冷却ファン11と、上記冷却ガスを冷却するための熱交換器12、13と、上記冷却ガスの循環経路を切り替える送風ガイド15、16とを有している。そして、送風ガイド15、16の操作により、上記冷却ガスを熱交換器12、13に接触させて循環させる急冷モードと、上記冷却ガスを熱交換器12、13に接触させることなく循環させる徐冷モードとのいずれかに切替可能に構成されている。
以下、これを詳説する。
Example 1
A vacuum slow cooling apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
As shown in FIGS. 1 to 3, the reduced pressure gradual cooling device 1 of the present example includes a cooling chamber 10 that can be sealed in a state in which the material to be processed 8 is accommodated, and a decompression device (not shown) that depressurizes the inside of the cooling chamber 12. The cooling gas is circulated in the cooling chamber 10, and the cooling fan 11 capable of changing the circulation speed, the heat exchangers 12 and 13 for cooling the cooling gas, and the air flow for switching the circulation path of the cooling gas. Guides 15 and 16 are provided. Then, by operating the air blowing guides 15 and 16, a quenching mode in which the cooling gas is circulated in contact with the heat exchangers 12 and 13, and slow cooling in which the cooling gas is circulated without being in contact with the heat exchangers 12 and 13 It can be switched to either mode.
This will be described in detail below.

図1、図2に示すごとく、上記減圧徐冷装置1の冷却室10内には、上記被処理材8に接触することなくその周囲に上記冷却ガスを通す側方流路101、102と、上記被処理材8に接触するよう上記冷却ガスを通す中央流路104とを区分する左右一対の整流板141、145が配設されている。すなわち、本例では、正面から見て冷却室10内の両側に設けられた左右一対の側方流路101、102と、左右方向中央の中央通路104とが、上記左右一対の整流板141、145によって仕切られている。この整流板141、145の上端よりも上方側がファン設置ゾーンZ1であり、下端よりも下方側が折り返しゾーンZ2である。   As shown in FIGS. 1 and 2, in the cooling chamber 10 of the reduced pressure gradual cooling apparatus 1, side flow passages 101 and 102 for passing the cooling gas to the periphery thereof without contacting the material 8 to be processed, A pair of left and right rectifying plates 141 and 145 that separate the central flow path 104 through which the cooling gas passes so as to come into contact with the material to be processed 8 are disposed. That is, in this example, a pair of left and right side flow paths 101 and 102 provided on both sides in the cooling chamber 10 when viewed from the front, and a central passage 104 at the center in the left and right direction are the pair of left and right rectifying plates 141, It is partitioned by 145. The fan installation zone Z1 is above the upper ends of the current plates 141 and 145, and the turn-back zone Z2 is below the lower ends.

上記整流板141、145は、同図に示すごとく、その下端部142、146が滑らかな曲面状を呈している。そして、折り返しゾーンZ2内には、この一対の下端部142、146に対向するように、一対の円弧状整流板143、147が設けられている。円弧状整流板143、147は、冷却室10内の底部から幅方向中央に近づくにつれて上方に曲がるような曲面形状、つまり、上面側が凹状となる形状を有している。   As shown in the figure, the rectifying plates 141 and 145 have lower end portions 142 and 146 having a smooth curved surface. A pair of arc-shaped rectifying plates 143 and 147 are provided in the turn-back zone Z2 so as to face the pair of lower end portions 142 and 146. The arc-shaped rectifying plates 143 and 147 have a curved shape that bends upward from the bottom in the cooling chamber 10 toward the center in the width direction, that is, a shape in which the upper surface side is concave.

したがって、上記折り返しゾーンZ2における同図中の右側では、整流板141の下端部142と上記円弧状整流板143とに囲まれるU字状流路が形成され、同様に、折り返しゾーンZ2における同図中の左側では、整流板145の下端部146と上記円弧状整流板147とに囲まれるU字状流路が形成されている。   Therefore, a U-shaped flow path surrounded by the lower end portion 142 of the rectifying plate 141 and the arc-shaped rectifying plate 143 is formed on the right side in FIG. On the left side, a U-shaped channel surrounded by the lower end 146 of the current plate 145 and the arc-shaped current plate 147 is formed.

そして、折り返しゾーンZ2における同図中の右側のU字状流路内には、7つの熱交換部121を2列にして冷却ガス流に略垂直となるよう、整流板141、145に対して斜めに配列した熱交換器12が配設されている。同様に、折り返しゾーンZ2における同図中の左側のU字状流路内には、7つの熱交換部131を2列にして斜めに配列した熱交換器13が配設されている。   In the U-shaped flow path on the right side in the drawing in the turn-back zone Z2, the seven heat exchanging portions 121 are arranged in two rows so that they are substantially perpendicular to the cooling gas flow with respect to the rectifying plates 141 and 145. An obliquely arranged heat exchanger 12 is arranged. Similarly, in the U-shaped flow path on the left side in the drawing in the turn-back zone Z2, a heat exchanger 13 in which seven heat exchanging portions 131 are diagonally arranged in two rows is disposed.

また、上記各熱交換器12、13の上方には、それぞれ送風ガイド15、16が設けられている。
同図中右側の送風ガイド15は、第1ガイド板151と第2ガイド板152とを備えており、それぞれ上記U字状流路内の揺動支点C1、C2を中心に揺動するよう構成されている。例えば、揺動支点C1、C2は冷却室10内側に固定されており、上記第2ガイド板152は、上記揺動支点C2を基点にしてV字状となるように支持片153を有している。支持片153には長穴154が設けられており、この長穴154には後述するリフタ105の支持ピン106が挿入されている。
Air blow guides 15 and 16 are provided above the heat exchangers 12 and 13, respectively.
The air guide 15 on the right side of the figure includes a first guide plate 151 and a second guide plate 152, and is configured to swing around swing support points C1 and C2 in the U-shaped channel. Has been. For example, the swing fulcrum C1 and C2 are fixed inside the cooling chamber 10, and the second guide plate 152 has a support piece 153 so as to be V-shaped with the swing fulcrum C2 as a base point. Yes. A long hole 154 is provided in the support piece 153, and a support pin 106 of the lifter 105 described later is inserted into the long hole 154.

また、第1ガイド板151と第2ガイド板152の揺動支点C1、C2には、それぞれ歯車157、158が設けられており、第2ガイド板152が立設した状態(閉じた状態)から横に寝た状態(開いた状態)に揺動した際、あるいはその逆方向に揺動した際に、上記第1ガイド板151が歯車157、158の噛み合いにより連動して揺動するように構成されている。また、上記第1ガイド板151と第2ガイド板152とは、いずれも曲面形状を呈しており、図1に示す開状態の場合に、両者が一連のスムーズな曲面を有する整流板として機能し、図2に示す閉状態の場合に切り替わった際には、上記整流板141との間の流路を閉止するように構成されている。   In addition, gears 157 and 158 are provided at the swing fulcrums C1 and C2 of the first guide plate 151 and the second guide plate 152, respectively, from the state where the second guide plate 152 is erected (closed state). The first guide plate 151 is configured to swing in conjunction with the engagement of the gears 157 and 158 when swinging in a lying state (open state) or in the opposite direction. Has been. The first guide plate 151 and the second guide plate 152 both have a curved surface shape, and in the open state shown in FIG. 1, both function as a rectifying plate having a series of smooth curved surfaces. When switched to the closed state shown in FIG. 2, the flow path between the rectifying plate 141 is closed.

同様に、図1、図2中左側の送風ガイド16は、第1ガイド板161と第2ガイド板162とを備えており、それぞれ上記U字状流路内の揺動支点C3、C4を中心に揺動するよう構成されている。上記第2ガイド板162は、上記揺動支点C4を基点にしてV字状となるように支持片163を有している。支持片163には長穴164が設けられており、この長穴164には後述するリフタ105の支持ピン107が挿入されている。   Similarly, the air blow guide 16 on the left side in FIGS. 1 and 2 includes a first guide plate 161 and a second guide plate 162, each centering on the swing fulcrums C3 and C4 in the U-shaped flow path. Is configured to swing. The second guide plate 162 has a support piece 163 so as to be V-shaped with the swing fulcrum C4 as a base point. A long hole 164 is provided in the support piece 163, and a support pin 107 of the lifter 105 described later is inserted into the long hole 164.

また、第1ガイド板161と第2ガイド板162の揺動支点C3、C4には、それぞれ歯車167、168が設けられており、第2ガイド板162が立設した状態(閉じた状態)から横に寝た状態(開いた状態)に揺動した際、あるいはその逆方向に揺動した際に、上記第1ガイド板161が歯車167、168の噛み合いにより連動して揺動するように構成されている。また、上記第1ガイド板161と第2ガイド板162とは、いずれも曲面形状を呈しており、図1に示す開状態の場合に、両者が一体となってスムーズな曲線の整流板として機能し、図2に示す閉状態の場合に、上記整流板145との間の流路を閉止するように構成されている。   In addition, gears 167 and 168 are provided at the swing fulcrums C3 and C4 of the first guide plate 161 and the second guide plate 162, respectively, so that the second guide plate 162 is standing (closed). The first guide plate 161 is configured to swing in conjunction with the engagement of the gears 167 and 168 when swinging in a lying state (opened state) or in the opposite direction. Has been. Further, both the first guide plate 161 and the second guide plate 162 have a curved surface shape, and in the open state shown in FIG. In the closed state shown in FIG. 2, the flow path between the current plate 145 is closed.

また、図1、図2にしめすごとく、冷却室10の下方には、上記第2ガイド板152、162につながる支持片153、163の長穴154、164に係合する支持ピン106、107を備えたリフタ105が配設されている。このリフタ105を上昇させることによって、送風ガイド15、16が閉じた状態となり、下降させることにより、送風ガイド15、16が開いた状態となるよう構成されている。
また、上記リフタ105は、その上面に、被処理材を搬送するためのチェーンコンベアよりなる搬送装置76を備えている。
As shown in FIGS. 1 and 2, support pins 106 and 107 that engage with the elongated holes 154 and 164 of the support pieces 153 and 163 connected to the second guide plates 152 and 162 are provided below the cooling chamber 10. A provided lifter 105 is provided. By raising the lifter 105, the air guides 15 and 16 are closed, and by lowering the lifter 105, the air guides 15 and 16 are opened.
Further, the lifter 105 includes a transport device 76 formed of a chain conveyor for transporting the material to be processed on the upper surface thereof.

また、図3に示すごとく、第1ガイド板151は、多数のスリット部155を有している。これは、上記整流板141の表面において上下方向に立設させた複数の縦整流板19との干渉を避けるためのものである。上述した第1ガイド板161も同様のスリット部を有している(図示略)。   As shown in FIG. 3, the first guide plate 151 has a large number of slit portions 155. This is to avoid interference with a plurality of vertical rectifying plates 19 that are erected in the vertical direction on the surface of the rectifying plate 141. The first guide plate 161 described above also has a similar slit portion (not shown).

このような構成を有することによって、冷却ファン11を配設したファン設置ゾーンZ1から送られた冷却ガスは、側方流路101、102を通って、ファン設置ゾーンZ1の位置と反対側に位置する折り返しゾーンZ2に送られ、折り返しゾーンZ2から中央流路104を通ってファン設置ゾーンZ1に戻る。ここで、上記折り返しゾーンZ2は、上記のごとく、側方流路101、102と中央流路104との間を連通させるU字状流路を有しており、送風ガイド15、16の揺動位置によって上記U字状流路内の循環経路を内周側経路R2(図1)と外周側経路R1(図2)に切り替え可能である。   By having such a configuration, the cooling gas sent from the fan installation zone Z1 in which the cooling fan 11 is disposed passes through the side passages 101 and 102 and is located on the side opposite to the position of the fan installation zone Z1. Is sent to the turn-back zone Z2, and returns from the turn-back zone Z2 through the central flow path 104 to the fan installation zone Z1. Here, as described above, the turn-back zone Z2 has a U-shaped channel that communicates between the side channels 101 and 102 and the central channel 104, and the air guides 15 and 16 swing. Depending on the position, the circulation path in the U-shaped channel can be switched between the inner circumferential path R2 (FIG. 1) and the outer circumferential path R1 (FIG. 2).

本例では、上記の外周側経路R1に相当する位置のみに熱交換器12、13を配設してあるので、図2に示すごとく、送風ガイド15、16を閉状態とした場合のみ、冷却ガスと熱交換器12、13との接触が可能である。上記熱交換器12、13は、図示しない冷媒循環装置に接続されており、上記各熱交換部121、131の内部には、冷媒が循環可能に構成されている。   In this example, since the heat exchangers 12 and 13 are disposed only at the positions corresponding to the outer peripheral path R1, the cooling is performed only when the air blowing guides 15 and 16 are closed as shown in FIG. Contact between the gas and the heat exchangers 12, 13 is possible. The heat exchangers 12 and 13 are connected to a refrigerant circulation device (not shown), and the refrigerant can be circulated inside the heat exchange units 121 and 131.

そのため、上記送風ガイド15、16を閉状態(図2)にした場合には、上記冷却ガスが熱交換器12、13に接触する毎に冷やされて循環する急冷モードとなる。また、上記送風ガイド15、16を開状態(図1)にした場合には、上記冷却ガスが熱交換器12、13と接触することなく、比較的高温状態のまま循環する徐冷モードとなる。   Therefore, when the air blowing guides 15 and 16 are closed (FIG. 2), the cooling gas is cooled and circulated every time the cooling gas contacts the heat exchangers 12 and 13. Further, when the air blowing guides 15 and 16 are opened (FIG. 1), the cooling gas is in a slow cooling mode in which the cooling gas circulates in a relatively high temperature state without contacting the heat exchangers 12 and 13. .

また、上記冷却ファン11は、上述したごとく、上記冷却ガスを循環させる際の循環速度を変更可能に構成されている。具体的には、循環させない状態であるファン回転数0rpmの状態から、最大の循環速度となるファン回転する1500rpmの状態の間で制御可能である。また、本例の冷却ファン11は、下方と側方が開口したハウジング115に収容されており、下方から吸引した冷却ガスを側方に吐出するよう構成されている。   Further, as described above, the cooling fan 11 is configured to be able to change the circulation speed when the cooling gas is circulated. Specifically, it is possible to control between a state where the fan rotation speed is 0 rpm, which is not circulated, and a state where the fan rotates, which is the maximum circulation speed, is 1500 rpm. The cooling fan 11 of this example is housed in a housing 115 that is open at the bottom and sides, and is configured to discharge the cooling gas sucked from below to the sides.

また、冷却室10内を減圧する減圧装置(図示略)は、図3に示すごとく、真空弁109を介して接続されており、冷却室10内の圧力を1Paまで減圧可能に構成されている。   Further, a decompression device (not shown) for decompressing the inside of the cooling chamber 10 is connected via a vacuum valve 109 as shown in FIG. 3, and is configured so that the pressure in the cooling chamber 10 can be decompressed to 1 Pa. .

以上のような構成を有するので、本例の減圧徐冷装置1は、優れた冷却歪み抑制効果と、冷却歪み発生可能性が低い場合の冷却効率向上効果の両方を得ることができる。
まず、減圧徐冷装置1における冷却室10は、減圧装置によって減圧可能であると共に、冷却ファン11によって冷却ガスの循環速度を変更することもできる。そのため、冷却歪みが非常に出やすい被処理材を処理する場合においても、その冷却歪みの発生を極力抑制することができる。
Since it has the above configuration, the reduced pressure gradual cooling device 1 of this example can obtain both an excellent cooling distortion suppression effect and a cooling efficiency improvement effect when the possibility of occurrence of cooling distortion is low.
First, the cooling chamber 10 in the reduced pressure gradual cooling device 1 can be depressurized by the depressurizing device, and the cooling fan 11 can also change the circulation rate of the cooling gas. Therefore, even when a material to be processed that is very susceptible to cooling distortion is processed, generation of the cooling distortion can be suppressed as much as possible.

たとえば、冷却時に冷却ガスを撹拌(循環)する場合には、冷却ガスを減圧状態とすることによって、大気圧状態の場合に比べ、循環する冷却ガスの風上と風下での冷却速度の差を低減させることができる。一方、撹拌を全くしない場合であっても、減圧状態の場合には、大気圧の場合よりも、温度の異なる冷却ガスの滞留による冷却速度の差を低減させることができる。
このような冷却ガスの減圧による効果を利用することにより、冷却歪みが生じやすい被処理材であっても歪み発生を抑制することができ、高精度の寸法精度を維持したまま冷却処理を行うことができる。
For example, when the cooling gas is stirred (circulated) during cooling, the cooling gas is reduced in pressure to reduce the difference in cooling rate between the upstream and the downstream of the circulating cooling gas compared to the atmospheric pressure state. Can be reduced. On the other hand, even in the case where stirring is not performed at all, in the reduced pressure state, the difference in cooling rate due to the residence of the cooling gas having different temperatures can be reduced as compared with the case of atmospheric pressure.
By utilizing the effect of such a reduced pressure of the cooling gas, the generation of distortion can be suppressed even if the workpiece is susceptible to cooling distortion, and the cooling process is performed while maintaining high dimensional accuracy. Can do.

また、上記冷却ガスの循環速度を通常の場合よりも低下させることによっても徐冷効果が向上する。そのため、上記の冷却ガスの減圧効果と循環速度低減効果の相乗効果によって、より一層優れた徐冷条件を得ることが可能となる。   The slow cooling effect can also be improved by lowering the cooling gas circulation rate than usual. For this reason, it is possible to obtain even more excellent slow cooling conditions by the synergistic effect of the above-described cooling gas decompression effect and circulation speed reduction effect.

さらに、減圧徐冷装置1においては、熱交換器12、13と送風ガイド15、16とを有しており、送風ガイド15、16の操作により、冷却ガスを熱交換器12、13に接触させて循環させる急冷モードと、冷却ガスを熱交換器12、13に接触させることなく循環させる徐冷モードとのいずれかに切替可能に構成されている。
これにより、上記徐冷モードを選択した場合には、循環する冷却ガスが熱交換器12、13によって冷やされることがないので、ある程度高温の状態に維持される。そのため、被処理材に対する冷却能自体が低下し、上述した減圧と循環速度低減の両方または一方との組み合わせによって、徐冷効果をさらに向上させることができる。
Further, the reduced pressure gradual cooling device 1 has heat exchangers 12 and 13 and air blowing guides 15 and 16. By operating the air blowing guides 15 and 16, the cooling gas is brought into contact with the heat exchangers 12 and 13. It is possible to switch between a rapid cooling mode in which the cooling gas is circulated and a slow cooling mode in which the cooling gas is circulated without contacting the heat exchangers 12 and 13.
Thus, when the slow cooling mode is selected, the circulating cooling gas is not cooled by the heat exchangers 12 and 13, and thus is maintained at a high temperature to some extent. Therefore, the cooling capacity itself with respect to a to-be-processed material falls, and the slow cooling effect can further be improved by the combination of the pressure reduction mentioned above and / or the circulation speed reduction.

また、冷却歪み発生が少ない被処理材を処理する場合、あるいは、冷却歪み発生の危険性が少ない比較的低温域での冷却を行う場合には、上記急冷モードを選択することによって、冷却効率を向上させることができる。すなわち、上記送風ガイド15、16を操作して、冷却ガスを熱交換器12、13と接触させて熱交換させることにより、常に、冷却能の高い比較的低温の冷却ガスを被処理材に接触させることができる。これにより、冷却効率の向上を図ることができる。また、特に冷却ガスの循環速度を最大限とすることによって、更なる冷却効率の向上を図ることも可能である。   In addition, when processing a material to be processed with little occurrence of cooling distortion, or when cooling in a relatively low temperature range where there is little risk of occurrence of cooling distortion, the cooling efficiency can be improved by selecting the rapid cooling mode. Can be improved. That is, by operating the air blowing guides 15 and 16 to bring the cooling gas into contact with the heat exchangers 12 and 13 to exchange heat, a relatively low temperature cooling gas having a high cooling capacity is always brought into contact with the workpiece. Can be made. Thereby, the cooling efficiency can be improved. It is also possible to further improve the cooling efficiency, particularly by maximizing the circulation speed of the cooling gas.

(実施例2)
本例は、図4に示すごとく、実施例1に示した減圧徐冷装置1を、連続真空浸炭処理装置としての熱処理装置2に組み込んだ例である。
すなわち、本例の熱処理装置2は、同図に示すごとく、鋼部材よりなる被処理材8の浸炭処理を行うための浸炭処理装置6と、浸炭処理を終えた上記被処理材8を冷却するための徐冷装置としての上記減圧徐冷装置1を有している。
(Example 2)
In this example, as shown in FIG. 4, the reduced-pressure slow cooling apparatus 1 shown in Example 1 is incorporated in a heat treatment apparatus 2 as a continuous vacuum carburizing apparatus.
That is, as shown in the figure, the heat treatment apparatus 2 of this example cools the carburizing apparatus 6 for performing the carburizing process of the workpiece 8 made of a steel member and the workpiece 8 after the carburizing process. It has the said pressure reduction slow cooling apparatus 1 as a slow cooling apparatus for this.

浸炭処理装置6は、被処理材8を収容して加熱する加熱室4と、加熱された被処理材8を収容して減圧下の浸炭ガス中において浸炭処理する真空浸炭室5とを別個に有している。さらに、本例では、加熱室4の前方には準備室3が連結され、また、加熱室4と真空浸炭室5との間には第1通路45が配置され、真空浸炭室5と冷却室10との間には第2通路55が配置されている。   The carburizing apparatus 6 separately includes a heating chamber 4 that accommodates and heats the workpiece 8 and a vacuum carburizing chamber 5 that accommodates the heated workpiece 8 and performs carburizing treatment in a carburizing gas under reduced pressure. Have. Further, in this example, the preparation chamber 3 is connected in front of the heating chamber 4, and a first passage 45 is disposed between the heating chamber 4 and the vacuum carburizing chamber 5, and the vacuum carburizing chamber 5 and the cooling chamber are arranged. The second passage 55 is disposed between the second passage 55 and the second passage 55.

上記準備室3は、その前方側の搬入口を密閉するする入口扉31を有すると共に、その後方側の搬出口(加熱室4への搬入口)を密閉する準備室シール扉32を有している。
また、加熱室4は、その前方の搬入口を上記準備室シール扉32により密閉可能であると共に、その後方の搬出口(真空浸炭室5の搬入口)を密閉する加熱室シール扉42を有している。さらに、加熱室4には、加熱時の熱が外部へ漏れることを防止する断熱扉411、412を前後に有している。
The preparation chamber 3 has an entrance door 31 that seals the carry-in port on the front side thereof, and a preparation chamber seal door 32 that seals the carry-out port on the rear side (a carry-in port to the heating chamber 4). Yes.
The heating chamber 4 has a heating chamber seal door 42 that can seal the carry-in port in front of the heating chamber 4 with the preparation chamber seal door 32 and seal the carry-out port behind it (the carry-in port of the vacuum carburizing chamber 5). is doing. Furthermore, the heating chamber 4 has heat insulating doors 411 and 412 at the front and rear to prevent heat during heating from leaking to the outside.

また、真空浸炭室5は、その前方の搬入口を上記加熱室シール扉42により密閉可能であると共に、その後方の搬出口(冷却室10の搬入口)を冷却室シール扉181によって密閉可能に構成されている。さらに、真空浸炭室5には、加熱時の熱が外部へ漏れることを防止する断熱扉511、512を前後に有している。
また、上記冷却室10は、その前方の搬入口を上記冷却室シール扉181により密閉可能であると共に、その後方の搬出口を出口扉182によって密閉可能に構成されている。
Further, the vacuum carburizing chamber 5 can be sealed at the front entrance by the heating chamber seal door 42, and the rear exit (the entrance of the cooling chamber 10) can be sealed by the cooling chamber seal door 181. It is configured. Further, the vacuum carburizing chamber 5 has heat insulating doors 511 and 512 at the front and rear for preventing heat at the time of heating from leaking to the outside.
The cooling chamber 10 is configured such that the front entrance can be sealed by the cooling chamber seal door 181, and the rear exit can be sealed by the exit door 182.

また、各室は、それぞれ個別に内部の減圧状態を調整可能であると共に雰囲気ガスの導入を個別に制御可能に構成されている。
具体的には、準備室3は、真空弁309を介して外部に設けられた減圧装置によって内部を減圧可能に構成されている。
加熱室4は、真空弁409を介して外部に設けられた減圧装置によって内部を減圧可能に構成されている。また、加熱室4には、外部の窒素ガス供給源に接続される窒素ガス導入弁408が設けられている。
真空浸炭室5は、真空弁509を介して外部に設けられた減圧装置によって内部を減圧可能であると共に、浸炭ガス導入弁508を介して外部に設けられた浸炭ガス供給装置から所望の浸炭ガスを導入可能に構成されている。また、真空浸炭室5には、外部の窒素ガス供給源に接続される窒素ガス導入弁507が設けられている。
また、冷却室10は、上述したように、真空弁109を介して外部に設けられた減圧装置によって内部を減圧可能に構成されている。また、冷却室10には、外部の窒素ガス供給源に接続される窒素ガス導入弁108が設けられている。
In addition, each chamber is configured such that the internal decompression state can be individually adjusted and the introduction of the atmospheric gas can be individually controlled.
Specifically, the preparation chamber 3 is configured such that the inside can be decompressed by a decompression device provided outside via a vacuum valve 309.
The heating chamber 4 is configured such that the inside can be decompressed by a decompression device provided outside via a vacuum valve 409. Further, the heating chamber 4 is provided with a nitrogen gas introduction valve 408 connected to an external nitrogen gas supply source.
The inside of the vacuum carburizing chamber 5 can be decompressed by a decompression device provided outside via a vacuum valve 509, and a desired carburizing gas is supplied from a carburizing gas supply device provided outside via a carburizing gas introduction valve 508. It is configured to be able to introduce. The vacuum carburizing chamber 5 is provided with a nitrogen gas introduction valve 507 connected to an external nitrogen gas supply source.
Further, as described above, the cooling chamber 10 is configured such that the inside can be decompressed by the decompression device provided outside via the vacuum valve 109. The cooling chamber 10 is provided with a nitrogen gas introduction valve 108 connected to an external nitrogen gas supply source.

また、加熱室4は、雰囲気ガスを循環させるファン43を有すると共に、雰囲気ガスを加熱する加熱ヒータ44を備えており、対流加熱ができるように構成されている。なお、加熱室4は、ファン43を運転せずに真空状態にして加熱ヒータ44の輻射熱によって加熱する真空加熱も実施可能となっている。
また、真空浸炭室5は、浸炭室ヒータ54を備え、被処理材8を浸炭に適した温度に加熱できるように構成されている。
The heating chamber 4 includes a fan 43 that circulates the atmospheric gas and includes a heater 44 that heats the atmospheric gas, and is configured to perform convection heating. In addition, the heating chamber 4 can also perform the vacuum heating which heats by the radiant heat of the heater 44 by making the vacuum state without operating the fan 43.
Further, the vacuum carburizing chamber 5 includes a carburizing chamber heater 54 and is configured to heat the workpiece 8 to a temperature suitable for carburizing.

また、熱処理装置2は、準備室3(加熱室4)、第1通路45、真空浸炭室5、第2通路55、及び冷却室10を順次移動するように被処理材を移動させる搬送装置72〜76を設けてある。なお、準備室3の前方及び冷却室10の後方には、それぞれこの熱処理装置2への被処理材8の供給ライン及び搬出ラインが連結される(図示略)。
第1通路45、第2通路、及び冷却室10内の搬送装置73、75及び76は、いずれもチェーンコンベア方式のものであり、準備室3と加熱室4の搬送を兼任する搬送装置72は、プッシャー方式、真空浸炭室5の搬送装置74はリフト・アンド・キャリー方式を採用している。
In addition, the heat treatment apparatus 2 includes a transfer apparatus 72 that moves the material to be processed so as to sequentially move in the preparation chamber 3 (heating chamber 4), the first passage 45, the vacuum carburizing chamber 5, the second passage 55, and the cooling chamber 10. -76 are provided. Note that a supply line and a carry-out line for the material to be processed 8 to the heat treatment apparatus 2 are connected to the front of the preparation chamber 3 and the rear of the cooling chamber 10, respectively (not shown).
The first passage 45, the second passage, and the transfer devices 73, 75, and 76 in the cooling chamber 10 are all of the chain conveyor type, and the transfer device 72 serving as a transfer for the preparation chamber 3 and the heating chamber 4 is The pusher method and the transfer device 74 of the vacuum carburizing chamber 5 adopt a lift and carry method.

次に、上記構成の熱処理装置2の動作を簡単に説明する。
(被処理材の搬入)
まず、準備室3の入口扉31と準備室シール扉32を閉じた状態で準備室3内に窒素ガスを導入し、大気圧状態とする。
次いで、入口扉31を開いて、図示しない搬入ラインの搬送装置と搬送装置71とを連動させて、被処理材8を準備室内に搬入する。
次いで、入口扉31と準備室シール扉32を閉じた状態で、真空弁309から真空引きを行い、準備室3内を減圧状態とする。
Next, operation | movement of the heat processing apparatus 2 of the said structure is demonstrated easily.
(Carrying material to be processed)
First, nitrogen gas is introduced into the preparation chamber 3 with the inlet door 31 and the preparation chamber seal door 32 of the preparation chamber 3 closed, and an atmospheric pressure state is obtained.
Next, the entrance door 31 is opened, and the material to be processed 8 is carried into the preparation chamber by interlocking the conveyance device of the carry-in line (not shown) with the conveyance device 71.
Next, in a state where the entrance door 31 and the preparation chamber seal door 32 are closed, the vacuum valve 309 is evacuated to make the inside of the preparation chamber 3 in a reduced pressure state.

(被処理材の加熱室搬入)
加熱室4は、その前後の準備室シール扉32と加熱室シール扉42とを閉じた状態で内部を真空弁409から真空引きを行い、減圧状態とする。そして、加熱室4と準備室3が略同じ減圧状態となった時点で、準備室シール扉32と断熱扉411を開くとともに、準備室3(加熱室4)の搬送装置72とを用いて被処理材8を加熱室4内に搬入する。そして、準備室シール扉32及び断熱扉411を閉じて、加熱室4の中央部を断熱、密閉状態とする。さらに上記の作動を繰り返し、2セットめの被処理材8を加熱室4へ搬入する。
(Carrying the heated material into the processing chamber)
The heating chamber 4 is evacuated from the vacuum valve 409 in a state where the preparation chamber seal door 32 and the heating chamber seal door 42 before and after the heating chamber 4 are closed. Then, when the heating chamber 4 and the preparation chamber 3 are in substantially the same decompressed state, the preparation chamber seal door 32 and the heat insulating door 411 are opened, and the conveyor chamber 72 of the preparation chamber 3 (heating chamber 4) is used. The processing material 8 is carried into the heating chamber 4. And the preparation room seal door 32 and the heat insulation door 411 are closed, and the center part of the heating chamber 4 is made into heat insulation and a sealing state. Further, the above operation is repeated, and the second set of workpieces 8 is carried into the heating chamber 4.

(被処理材の昇温)
加熱室4の窒素ガス導入弁408を開いて加熱室4内に窒素ガスを導入し、大気圧(600hPa)近くまで復圧し、ファン43で雰囲気ガスを撹拌しながら加熱ヒータ44の熱により被処理材8を対流加熱する。その後、被処理材8の温度が高温域に到達してからは、加熱室4内を真空弁409を介して減圧し、輻射伝熱を利用した真空加熱に切り替える。
(Temperature rise of material to be treated)
The nitrogen gas introduction valve 408 of the heating chamber 4 is opened, nitrogen gas is introduced into the heating chamber 4, the pressure is restored to near atmospheric pressure (600 hPa), and the processing is performed by the heat of the heater 44 while stirring the atmospheric gas with the fan 43. The material 8 is heated by convection. Thereafter, after the temperature of the workpiece 8 reaches a high temperature range, the inside of the heating chamber 4 is depressurized via the vacuum valve 409 and switched to vacuum heating using radiant heat transfer.

(被処理材の浸炭室搬入)
加熱室4及び真空浸炭室5を減圧して同圧にした後に、加熱室4の断熱扉412、加熱室シール扉42、真空浸炭室5の断熱扉511を開けて、搬送装置72、73を用いて被処理材8を運搬し、加熱室4から真空浸炭室5へと移動させる。そして、加熱室シール扉42及び断熱扉511を閉じて、真空浸炭室5の中央部を断熱、密閉状態とする。
(Carrying material into carburizing chamber)
After reducing the pressure in the heating chamber 4 and the vacuum carburizing chamber 5 to the same pressure, the heat insulating door 412 in the heating chamber 4, the heating chamber sealing door 42, and the heat insulating door 511 in the vacuum carburizing chamber 5 are opened, and the transfer devices 72 and 73 are connected. The material to be treated 8 is transported by using it and moved from the heating chamber 4 to the vacuum carburizing chamber 5. And the heating chamber seal door 42 and the heat insulation door 511 are closed, and the center part of the vacuum carburizing chamber 5 is insulative and sealed.

(浸炭拡散処理)
被処理材8を浸炭室ヒータ54で加熱し、浸炭処理に適した温度に到達した後、浸炭ガス導入弁508を開けて浸炭ガスを所定の時間導入する。このとき、真空弁509を開いておき、真空浸炭室5の真空状態を維持する。所定の浸炭処理時間が経過して浸炭処理が終了した後、浸炭ガス導入弁508を閉じて拡散処理を行う。
(Carburizing diffusion treatment)
After the workpiece 8 is heated by the carburizing chamber heater 54 and reaches a temperature suitable for the carburizing process, the carburizing gas introduction valve 508 is opened to introduce the carburizing gas for a predetermined time. At this time, the vacuum valve 509 is opened, and the vacuum state of the vacuum carburizing chamber 5 is maintained. After the predetermined carburizing process time has elapsed and the carburizing process is completed, the carburizing gas introduction valve 508 is closed and the diffusion process is performed.

(被処理材の冷却室搬送)
拡散処理終了後、真空浸炭室5と冷却室10内の圧力を同圧にした後、真空浸炭室5の断熱扉512と冷却室シール扉181を開ける。そして、搬送装置74〜76を用いて被処理材8を移動させ、冷却室10内に配置する。その後、冷却室シール扉181が閉じられ、冷却室10内は密閉状態となる。
(Cooling chamber conveyance of processed material)
After completion of the diffusion treatment, the pressures in the vacuum carburizing chamber 5 and the cooling chamber 10 are made the same, and then the heat insulating door 512 and the cooling chamber seal door 181 of the vacuum carburizing chamber 5 are opened. And the to-be-processed material 8 is moved using the conveying apparatuses 74-76, and it arrange | positions in the cooling chamber 10. FIG. Thereafter, the cooling chamber seal door 181 is closed, and the inside of the cooling chamber 10 is hermetically sealed.

(被処理材の冷却)
被処理材8の冷却は、上述した減圧徐冷装置1の機能を活かして、様々な方法を実施できる。
一例を挙げると、まず、最初の30分間の処理は、冷却室10内を、上記の被処理材8の挿入時の0hPaの減圧状態から、200hPaまで復圧して、冷却ファン11の回転数を低速の100rpmまで落として運転する。さらに、上述した送風ガイド15、16を開状態(図1)として徐冷モードとする。これにより、非常に優れた徐冷効果を得る。
次いで、窒素ガスを窒素ガス導入弁108から導入して冷却室10内の圧力を600hPaに高めると共に、冷却ファン11の回転数を最大の1500rpmまで高める。さらに、上記送風ガイド15、16を閉状態(図2)として急冷モードとする。これにより、歪みの出にくい温度領域では効率のよい急速冷却を実現する。
(Cooling of treated material)
Various methods can be implemented for cooling the workpiece 8 by taking advantage of the function of the above-described reduced pressure gradual cooling apparatus 1.
For example, first, in the first 30 minutes of processing, the inside of the cooling chamber 10 is decompressed from the reduced pressure state of 0 hPa when the workpiece 8 is inserted to 200 hPa, and the rotation speed of the cooling fan 11 is increased. Drive down to a low speed of 100 rpm. Furthermore, the air blowing guides 15 and 16 described above are set in the open state (FIG. 1) to be in the slow cooling mode. Thereby, a very excellent slow cooling effect is obtained.
Next, nitrogen gas is introduced from the nitrogen gas introduction valve 108 to increase the pressure in the cooling chamber 10 to 600 hPa, and the rotation speed of the cooling fan 11 is increased to a maximum of 1500 rpm. Further, the air blowing guides 15 and 16 are set in a closed state (FIG. 2) to set a rapid cooling mode. As a result, efficient rapid cooling is realized in a temperature region where distortion is unlikely to occur.

(被処理材の取り出し)
被処理材8の冷却が完了した後、冷却室10に窒素ガスを導入して、大気圧状態に復圧する。その後、出口扉182を開け、冷却室10の搬送装置76及び図示しない搬出ラインの搬送装置を連動させて、の冷却室10から被処理材8を搬出する。
(Removal of processing material)
After the cooling of the workpiece 8 is completed, nitrogen gas is introduced into the cooling chamber 10 to restore the atmospheric pressure. Thereafter, the outlet door 182 is opened, and the workpiece 8 is unloaded from the cooling chamber 10 by interlocking the transfer device 76 of the cooling chamber 10 and the unloading line transfer device (not shown).

以上のように、本例の熱処理装置2は、上述した実施例1の減圧徐冷装置1を浸炭処理装置6と組み合わせて、連続的に真空浸炭処理及びその後の冷却処理を行うことができる連続真空浸炭徐冷装置を構成することができる。
そして、ここで注目すべき点は、減圧徐冷装置1を組み入れているので、冷却初期に優れた徐冷効果が得られ、冷却後半には、効率のよい優れた急冷効果が得られることである。
As described above, the heat treatment apparatus 2 of the present example can continuously perform the vacuum carburization process and the subsequent cooling process by combining the reduced-pressure slow cooling apparatus 1 of Example 1 described above with the carburizing apparatus 6. A vacuum carburizing slow cooling device can be configured.
The point to be noted here is that since the vacuum slow cooling device 1 is incorporated, an excellent slow cooling effect is obtained in the initial stage of cooling, and an efficient and rapid cooling effect is obtained in the latter half of the cooling. is there.

すなわち、浸炭処理を終えた被処理材8の冷却歪みが出やすい状態では、減圧状態の実現、冷却ファン11の撹拌速度の低減、及び送風ガイド15、16による徐冷モードの選択による優れた徐冷効果を得ることができる。さらには、被処理材8がある程度冷却され、歪みが出にくい状態となった場合には、減圧状態の解除、冷却ファン11の撹拌速度の増加、及び送風ガイド15、16による急冷モードの選択によって、優れた急冷効果が得られる。
このような相反する2つの効果が得られる減圧徐冷装置1を備えることによって、浸炭処理が必要な鋼部材の処理を非常に優れた寸法精度を維持したまま行うことができるのである。なお、その後焼入れ処理を行う場合には、歪みの出にくい高周波焼入れ方法を適用することが好ましく、これにより、上記の優れた寸法精度を維持することが可能である。
That is, in a state where the cooling distortion of the workpiece 8 that has undergone the carburizing treatment is likely to occur, an excellent slowdown is realized by realizing a reduced pressure state, reducing the stirring speed of the cooling fan 11, and selecting the slow cooling mode by the air blowing guides 15 and 16. A cold effect can be obtained. Furthermore, when the material to be treated 8 is cooled to some extent and is not easily distorted, the reduced pressure state is released, the stirring speed of the cooling fan 11 is increased, and the quenching mode is selected by the air blowing guides 15 and 16. Excellent quenching effect can be obtained.
By providing the reduced pressure gradual cooling device 1 capable of obtaining these two contradictory effects, it is possible to perform the processing of the steel member that requires carburizing while maintaining very excellent dimensional accuracy. In addition, when performing a hardening process after that, it is preferable to apply the induction hardening method which does not generate | occur | produce distortion easily, and it is possible to maintain the said outstanding dimensional accuracy by this.

次に、本例の熱処理装置2を用いて鋼部材である被処理材を処理する場合のヒートパターンの一例を示す。
図5に示すごとく、本例のヒートパターンは、60分間の昇温パターンP1と60分間の均熱パターンP2と60分間の冷却パターンP3を組み合わせたものである。それぞれ、上述した加熱室4、真空浸炭室5および冷却室10において行う。
Next, an example of the heat pattern in the case of processing the to-be-processed material which is a steel member using the heat processing apparatus 2 of this example is shown.
As shown in FIG. 5, the heat pattern of this example is a combination of a 60-minute heating pattern P1, a 60-minute soaking pattern P2, and a 60-minute cooling pattern P3. Each is performed in the heating chamber 4, the vacuum carburizing chamber 5, and the cooling chamber 10 described above.

図6には、冷却パターンP3をより具体的に詳細に示した。同図は、横軸に時間をとり、第1縦軸に冷却ファン11の回転数(a)を、第2縦軸に被処理材の温度(b)を、第3縦軸に冷却室10内の圧力(冷却ガス圧)(c)をとったものである。さらに、同図には、流路切換状態(d)を示してある。   FIG. 6 shows the cooling pattern P3 in more detail and detail. In the figure, time is taken on the horizontal axis, the rotational speed (a) of the cooling fan 11 is plotted on the first vertical axis, the temperature (b) of the material to be treated is plotted on the second vertical axis, and the cooling chamber 10 is plotted on the third vertical axis. The internal pressure (cooling gas pressure) (c) is taken. Further, the flow path switching state (d) is shown in FIG.

同図より知られるごとく、本例では、最初の第1冷却ステップP31の間は、上記送風ガイド15、16を開いた状態(図1)に位置させて折り返しゾーンZ2のU字状流路の内周側を冷却ガスの循環路とする徐冷モードを選択し、冷却ファン11の回転数を低めに設定すると共に、冷却ガス圧を大気圧よりも十分に低い減圧状態として減圧徐冷を行った。   As known from the figure, in this example, during the first cooling step P31, the air guides 15 and 16 are positioned in the open state (FIG. 1) and the U-shaped flow path of the turn-back zone Z2 is set. The slow cooling mode in which the inner peripheral side is the cooling gas circulation path is selected, the rotation speed of the cooling fan 11 is set low, and the cooling gas pressure is set to a reduced pressure state sufficiently lower than the atmospheric pressure to perform the reduced pressure slow cooling. It was.

次に、第2冷却ステップP32の間は、上記送風ガイド15、16を開いた状態を維持し、冷却ガスの循環路を徐冷モードのままとし、冷却ファン11の回転数を定格よりは十分低いものの上記第1冷却ステップP31の場合よりも若干高くし、さらに、冷却ガス圧も大気圧よりも低いものの上記第1冷却ステップP31の場合よりも若干高めに設定した条件で減圧徐冷する。本例では、この第2冷却ステップP32の間において、被処理材の温度がいわゆるA1変態点を迎えるようにした。   Next, during the second cooling step P32, the air blowing guides 15 and 16 are kept open, the cooling gas circulation path is kept in the slow cooling mode, and the rotational speed of the cooling fan 11 is sufficiently higher than the rated value. Although it is low, it is slightly higher than in the case of the first cooling step P31, and further, the cooling gas pressure is lower than the atmospheric pressure, but it is gradually cooled under reduced pressure under conditions set slightly higher than in the case of the first cooling step P31. In this example, the temperature of the material to be processed reaches the so-called A1 transformation point during the second cooling step P32.

次に、第3冷却ステップP33の間は、上記送風ガイド15、16を閉じた状態(図2)に変更し、折り返しゾーンZ2のU字状流路の外周側を冷却ガスの循環路とする急冷モードとし、冷却ファン11の回転数および冷却ガス圧を十分に高く設定した条件で急冷する。   Next, during the third cooling step P33, the air guides 15 and 16 are changed to a closed state (FIG. 2), and the outer peripheral side of the U-shaped flow path in the turn-back zone Z2 is used as a cooling gas circulation path. The rapid cooling mode is set, and rapid cooling is performed under conditions in which the rotational speed of the cooling fan 11 and the cooling gas pressure are set sufficiently high.

以上のように、最初の被処理材が最も高温状態にある第1冷却ステップP31では、冷却ガスの圧力(冷却室10の圧力)および循環速度(冷却ファン11の回転数)を低くし、かつ、循環流路も徐冷モードを選択した状態での徐冷を行うことによって、冷却歪みの発生を確実に抑えることができる。次に、ある程度被処理材の冷却が進んだ第2冷却ステップP32では、冷却歪みの発生の可能性が低下しているので、若干冷却能力を高めるものの、鋼のA1変態点を超える際の組織変態に伴う歪み発生を抑制すべく、徐冷条件は維持する。これにより、A1変態点を超える際の歪み発生を極力抑えることができる。その後、第3冷却ステップP33では、冷却ガスの圧力および循環速度を最大にすると共に、循環流路を急冷モードとすることによって冷却能力を最大とすることができる。   As described above, in the first cooling step P31 in which the first material to be treated is in the highest temperature state, the pressure of the cooling gas (pressure of the cooling chamber 10) and the circulation speed (the number of rotations of the cooling fan 11) are reduced, and Further, by performing the slow cooling in the state where the slow cooling mode is also selected for the circulation channel, it is possible to reliably suppress the occurrence of cooling distortion. Next, in the second cooling step P32 in which the material to be treated has been cooled to some extent, the possibility of occurrence of cooling distortion is reduced, so the cooling capacity is slightly increased, but the structure when exceeding the A1 transformation point of steel. The slow cooling condition is maintained in order to suppress the occurrence of distortion associated with transformation. Thereby, generation | occurrence | production of the distortion at the time of exceeding A1 transformation point can be suppressed as much as possible. Thereafter, in the third cooling step P33, the cooling gas pressure and the circulation speed can be maximized, and the cooling capacity can be maximized by setting the circulation flow path to the rapid cooling mode.

次に、上記熱処理装置2によって用いることが可能な熱処理治具および被処理材の支持構造の例について説明する。
第1の例の熱処理治具91は、図7に示すごとく、リング状の本体部810を有するリング状部材81の軸心を垂直方向にして載置する熱処理治具である。同図に示すごとく、熱処理治具91は、多数の空隙910を設けた骨格構造を有しており、冷却ガスが流通可能となっている。また、熱処理治具91は、複数の位置決め突起部912を有しており、各リング状部材81の載置位置を容易に定めることができるように構成されている。
この熱処理治具91は、リング状の本体部810の肉厚が薄い場合、さらに位置決め突起部912と歯面が当接しない内歯歯車の場合に適しており、リング状部材81の自重による変形を回避することができる。
Next, an example of a heat treatment jig and a support structure for the material to be processed that can be used by the heat treatment apparatus 2 will be described.
As shown in FIG. 7, the heat treatment jig 91 of the first example is a heat treatment jig for placing the ring-shaped member 81 having the ring-shaped main body portion 810 with the axis centering in the vertical direction. As shown in the figure, the heat treatment jig 91 has a skeletal structure provided with a large number of voids 910 so that a cooling gas can flow therethrough. The heat treatment jig 91 has a plurality of positioning projections 912, and is configured so that the mounting position of each ring-shaped member 81 can be easily determined.
This heat treatment jig 91 is suitable for the case where the ring-shaped main body portion 810 is thin, and for the case of an internal gear in which the positioning projection 912 and the tooth surface do not contact with each other. Can be avoided.

第2の例の熱処理治具92は、図8に示すごとく、リング状部材82の軸心を水平方向にして、熱処理治具92に設けた吊り枠925に吊した状態で搬送するよう構成された熱処理治具である。同図に示すごとく、熱処理治具92の底板部921は、多数の空隙920を設けた骨格構造を有しており、冷却ガスが流通可能となっている。底板部921には、複数の支柱部923が立てられ、さらに支柱部923によって、横枠924および吊り枠925を支持するように構成されている。
この例の熱処理治具92は、リング状部材82のリング状の本体部820の肉厚が比較的厚く、内径側から吊り下げても自重による変形がほとんどない場合、さらに吊り枠925に歯面が当接しない外歯歯車の場合には、積載量を増やすことができ、最適である。
As shown in FIG. 8, the heat treatment jig 92 of the second example is configured to be conveyed while being hung on a suspension frame 925 provided in the heat treatment jig 92 with the axis of the ring-shaped member 82 being in the horizontal direction. Heat treatment jig. As shown in the figure, the bottom plate portion 921 of the heat treatment jig 92 has a skeletal structure provided with a large number of gaps 920 so that a cooling gas can flow therethrough. A plurality of support columns 923 are set up on the bottom plate portion 921, and the support frame 923 supports the horizontal frame 924 and the suspension frame 925.
In the heat treatment jig 92 of this example, the ring-shaped main body 820 of the ring-shaped member 82 is relatively thick, and when it is suspended from the inner diameter side, there is almost no deformation due to its own weight. In the case of an external gear that does not abut, the load can be increased, which is optimal.

なお、上記熱処理装置2に適用可能な熱処理治具としては、上記2例に限らず、他の形態に変更することもできる。   Note that the heat treatment jig applicable to the heat treatment apparatus 2 is not limited to the above two examples, and can be changed to other forms.

(実施例3)
本例は、実施例1における減圧徐冷装置1の内部構成を変更した例である。
すなわち、図9、図10に示すごとく、本例の減圧徐冷装置1bは、整流板141b、145bを下方に行くほど両者の間が広くなるように傾斜して設け、その内側面および外側面にそれぞれ縦整流板19bを設けた。
(Example 3)
This example is an example in which the internal configuration of the vacuum slow cooling device 1 in the first embodiment is changed.
That is, as shown in FIG. 9 and FIG. 10, the reduced pressure gradual cooling device 1b of this example is provided so as to be inclined so that the rectifying plates 141b and 145b become wider as going downward. Each of them is provided with a vertical rectifying plate 19b.

また、同図に示すごとく、冷却ファン11にはハウジングを設けなかったが、冷却ガスを下方中央から吸引し、側方へ吐出するように構成してある。
その他の構成は、実施例1と同様である。
Further, as shown in the figure, the cooling fan 11 is not provided with a housing, but the cooling gas is sucked from the lower center and discharged to the side.
Other configurations are the same as those of the first embodiment.

本例の減圧徐冷装置1bによれば、上記のごとく、左右の整流板141b、145bの内側面と外側面の両方に上記縦整流板19bを設けてあるので、さらにスムーズな冷却ガスの循環を実現することができる。
その他は実施例1と同様の作用効果が得られる。
According to the reduced pressure gradual cooling device 1b of the present example, as described above, the vertical rectifying plates 19b are provided on both the inner and outer surfaces of the left and right rectifying plates 141b and 145b. Can be realized.
In other respects, the same effects as those of the first embodiment can be obtained.

(実施例4)
本例は、実施例1における減圧徐冷装置1の内部構成を変更した例である。
すなわち、図11、図12に示すごとく、本例の減圧徐冷装置1cは、整流板141c、145cを、上端の回転軸140cを中心に揺動可能とし、処理製品に応じて中央流路の間隔を変更できるよう構成した。また、同図に示すごとく、冷却ファン11にはハウジングを設けなかったが、冷却ガスを下方中央から吸引し、側方へ吐出するように構成してある。
Example 4
This example is an example in which the internal configuration of the vacuum slow cooling device 1 in the first embodiment is changed.
That is, as shown in FIG. 11 and FIG. 12, the reduced pressure gradual cooling device 1c of the present example enables the rectifying plates 141c and 145c to swing around the rotation shaft 140c at the upper end. It was configured to change the interval. Further, as shown in the figure, the cooling fan 11 is not provided with a housing, but the cooling gas is sucked from the lower center and discharged to the side.

その他の構成は、実施例1と同様である。
本例の減圧徐冷装置1cによれば、上記のごとく、左右の整流板141c、145cの位置を変更できるので、処理品に応じて最適な冷却ガス循環路を形成することができる。さらに、冷却ファン11の回転数を変えなくても、左右の整流板141c、145cの位置を変更することによって中央流路104を通る冷却ガスの流速を変更できるので、さらにきめ細かい処理条件を実現することができる。
その他は実施例1と同様の作用効果が得られる。
Other configurations are the same as those of the first embodiment.
According to the reduced pressure gradual cooling device 1c of this example, the positions of the left and right rectifying plates 141c and 145c can be changed as described above, so that an optimal cooling gas circulation path can be formed according to the processed product. Further, since the flow rate of the cooling gas passing through the central flow path 104 can be changed by changing the positions of the left and right rectifying plates 141c and 145c without changing the number of rotations of the cooling fan 11, further fine processing conditions are realized. be able to.
In other respects, the same effects as those of the first embodiment can be obtained.

(実施例5)
本例は、実施例1における減圧徐冷装置1の内部構成を変更した例である。
すなわち、図13、図14に示すごとく、本例の減圧徐冷装置1dは、整流板141d、145dを断面略C字状に構成し、内側に空洞を設けた。また、整流板141d、145dの内側面および外側面には、いずれも縦整流板を設けなかった。
(Example 5)
This example is an example in which the internal configuration of the vacuum slow cooling device 1 in the first embodiment is changed.
That is, as shown in FIGS. 13 and 14, in the reduced-pressure slow cooling device 1 d of this example, the rectifying plates 141 d and 145 d are configured to have a substantially C-shaped cross section, and a cavity is provided inside. Further, no vertical rectifying plate was provided on the inner side surface and the outer side surface of the rectifying plates 141d and 145d.

その他の構成は、実施例1と同様である。
本例の減圧徐冷装置1dによれば、上記のごとく、左右の整流板141d、145dの形状を断面略C字状としたことによって、これらの整流板141d、145dと被処理材8との間にスペースを確保しやすくなり、冷却ガスの流れが整い、被処理材を均等に冷却できるという効果を得ることができる。その他は実施例1と同様の作用効果が得られる。
Other configurations are the same as those of the first embodiment.
According to the reduced pressure slow cooling device 1d of the present example, the shape of the left and right rectifying plates 141d and 145d is substantially C-shaped as described above, so that the rectifying plates 141d and 145d and the material to be processed 8 are It becomes easy to secure a space between them, the flow of the cooling gas is adjusted, and the effect that the material to be treated can be cooled uniformly can be obtained. In other respects, the same effects as those of the first embodiment can be obtained.

実施例1における、減圧徐冷装置を徐冷モードで使用している状態を示す説明図。Explanatory drawing which shows the state which is using the pressure reduction slow cooling apparatus in slow cooling mode in Example 1. FIG. 実施例1における、減圧徐冷装置を急冷モードで使用している状態を示す説明図。Explanatory drawing which shows the state which is using the pressure reduction slow cooling apparatus in Example 1 in rapid cooling mode. 実施例1における、減圧徐冷装置の側面から見た構成を示す説明図。Explanatory drawing which shows the structure seen from the side surface of the pressure reduction slow cooling apparatus in Example 1. FIG. 実施例2における、熱処理装置(連続真空浸炭徐冷装置)の構成を示す説明図。Explanatory drawing which shows the structure of the heat processing apparatus (continuous vacuum carburizing slow cooling apparatus) in Example 2. FIG. 実施例2における、ヒートパターンの概要を示す説明図。Explanatory drawing which shows the outline | summary of the heat pattern in Example 2. FIG. 実施例2における、冷却時の冷却ファン回転数、被処理材の温度、および冷却室内の圧力の変化パターンを示す説明図。Explanatory drawing which shows the change pattern of the cooling fan rotation speed at the time of cooling, the temperature of a to-be-processed material, and the pressure in a cooling chamber in Example 2. FIG. 実施例2における、熱処理装置によって用いることが可能な熱処理治具および被処理材の支持構造の一例を示す説明図。Explanatory drawing which shows an example of the support structure of the heat processing jig | tool and to-be-processed material which can be used with the heat processing apparatus in Example 2. FIG. 実施例2における、熱処理装置によって用いることが可能な熱処理治具および被処理材の支持構造の別例を示す説明図。Explanatory drawing which shows the other example of the support structure of the heat processing jig | tool and to-be-processed material which can be used with the heat processing apparatus in Example 2. FIG. 実施例3における、減圧徐冷装置の正面から見た構成を示す説明図。Explanatory drawing which shows the structure seen from the front of the pressure reduction slow cooling apparatus in Example 3. FIG. 実施例3における、減圧徐冷装置を側面から見た構成を示す説明図。Explanatory drawing which shows the structure which looked at the decompression slow cooling apparatus in Example 3 from the side surface. 実施例4における、減圧徐冷装置の正面から見た構成を示す説明図。Explanatory drawing which shows the structure seen from the front of the pressure reduction slow cooling apparatus in Example 4. FIG. 実施例4における、減圧徐冷装置を側面から見た構成を示す説明図。Explanatory drawing which shows the structure which looked at the decompression slow cooling apparatus in Example 4 from the side surface. 実施例5における、減圧徐冷装置の正面から見た構成を示す説明図。Explanatory drawing which shows the structure seen from the front of the pressure reduction slow cooling apparatus in Example 5. FIG. 実施例5における、減圧徐冷装置を側面から見た構成を示す説明図。Explanatory drawing which shows the structure which looked at the decompression slow cooling apparatus from Example 5 in the side.

符号の説明Explanation of symbols

1 減圧徐冷装置
10 冷却室
11 冷却ファン
12、13 熱交換器
15、16 送風ガイド
2 熱処理装置
3 準備室
4 加熱室
5 真空浸炭室
6 浸炭処理装置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Decompression slow cooling apparatus 10 Cooling chamber 11 Cooling fan 12, 13 Heat exchanger 15, 16 Blower guide 2 Heat treatment apparatus 3 Preparation chamber 4 Heating chamber 5 Vacuum carburizing chamber 6 Carburizing processing apparatus

Claims (10)

被処理材を収容した状態で密閉可能な冷却室と、
該冷却室内を減圧する減圧装置と、
上記冷却室内において冷却ガスを循環させると共に、その循環速度を変更可能な冷却ファンと、
上記冷却ガスを冷却するための熱交換器と、
上記冷却ガスの循環経路を切り替える送風ガイドとを有しており、
該送風ガイドの操作により、上記冷却ガスを上記熱交換器に接触させて循環させる急冷モードと、上記冷却ガスを上記熱交換器に接触させることなく循環させる徐冷モードとのいずれかに切替可能に構成されていることを特徴とする減圧徐冷装置。
A cooling chamber that can be sealed in a state in which a material to be treated is accommodated;
A decompression device for decompressing the cooling chamber;
A cooling fan that circulates the cooling gas in the cooling chamber and can change the circulation speed;
A heat exchanger for cooling the cooling gas;
A ventilation guide for switching the cooling gas circulation path,
By operating the blower guide, it is possible to switch between a rapid cooling mode in which the cooling gas is circulated in contact with the heat exchanger and a slow cooling mode in which the cooling gas is circulated without being in contact with the heat exchanger. A reduced pressure gradual cooling device characterized by comprising:
請求項1において、上記冷却室内には、上記被処理材に接触することなくその周囲に上記冷却ガスを通す側方流路と、上記被処理材に接触するよう上記冷却ガスを通す中央流路とを区分する整流板が配設されており、
上記冷却ファンを配設したファン設置ゾーンから送られた上記冷却ガスが、上記側方流路又は上記中央流路を通って、上記ファン設置ゾーンの位置と反対側に位置する折り返しゾーンに送られ、該折り返しゾーンから上記中央流路又は上記側方流路を通って上記ファン設置ゾーンに戻るように構成されており、
上記熱交換器及び上記送風ガイドは、上記折り返しゾーンに配置されていることを特徴とする減圧徐冷装置。
2. The cooling chamber according to claim 1, wherein the cooling chamber has a lateral flow path through which the cooling gas passes without contacting the material to be processed, and a central flow path through which the cooling gas passes so as to contact the material to be processed. A rectifying plate is arranged to separate
The cooling gas sent from the fan installation zone in which the cooling fan is disposed passes through the side flow path or the central flow path and is sent to the folding zone located on the opposite side of the fan installation zone. , Configured to return to the fan installation zone from the folding zone through the central channel or the side channel,
The reduced pressure gradual cooling device, wherein the heat exchanger and the air blowing guide are arranged in the folding zone.
請求項2において、上記折り返しゾーンは、上記側方流路と上記中央流路との間を連通させるU字状流路を有しており、上記送風ガイドは、該U字状流路内に揺動支点を有する揺動可能なガイド板よりなり、揺動位置によって上記U字状流路内の循環経路を内周側経路と外周側経路に切り替え可能に構成されており、上記熱交換器は、上記内周側経路又は上記外周側経路のいずれか一方のみに配設されていることを特徴とする減圧徐冷装置。   In Claim 2, the said folding | turning zone has a U-shaped flow path which connects between the said side flow path and the said central flow path, and the said ventilation guide is in this U-shaped flow path. The heat exchanger includes a swingable guide plate having a swing fulcrum, and is configured to be able to switch a circulation path in the U-shaped flow path between an inner peripheral path and an outer peripheral path depending on a swing position. Is a reduced pressure gradual cooling apparatus, which is disposed only in either the inner peripheral path or the outer peripheral path. 鋼部材よりなる被処理材の浸炭処理を行うための浸炭処理装置と、
該浸炭処理を終えた上記被処理材を冷却するための徐冷装置とを有してなり、
該徐冷装置は、請求項1〜3のいずれか1項に記載の減圧徐冷装置よりなることを特徴とする鋼部材の熱処理装置。
A carburizing apparatus for performing a carburizing process on a workpiece made of a steel member;
And a slow cooling device for cooling the material to be treated after the carburizing treatment,
The slow cooling apparatus comprises the reduced pressure slow cooling apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein the steel member heat treatment apparatus is characterized.
請求項4において、上記浸炭処理装置は、上記被処理材を収容して加熱する加熱室と、加熱された上記被処理材を収容して減圧下の浸炭ガス中において浸炭処理する真空浸炭室とを別個に有していることを特徴とする鋼部材の熱処理装置。   5. The carburizing apparatus according to claim 4, wherein the carburizing apparatus includes a heating chamber that accommodates and heats the material to be treated, and a vacuum carburizing chamber that accommodates the heated material to be treated and carburizes in a carburizing gas under reduced pressure. The heat processing apparatus of the steel member characterized by having separately. 請求項5において、上記加熱室、上記真空浸炭室、及び上記減圧徐冷装置の上記冷却室は、それぞれ個別に内部の減圧状態を調整可能であると共に雰囲気ガスの導入を個別に制御可能に構成されており、上記加熱室、上記真空浸炭室、及び上記冷却室を順次移動するように上記被処理材を移動させる搬送装置を設けてあることを特徴とする鋼部材の熱処理装置。   6. The heating chamber, the vacuum carburizing chamber, and the cooling chamber of the reduced pressure gradual cooling device according to claim 5, wherein the internal reduced pressure state can be individually adjusted and the introduction of atmospheric gas can be individually controlled. A steel member heat treatment apparatus, further comprising a transfer device that moves the workpiece so as to sequentially move the heating chamber, the vacuum carburization chamber, and the cooling chamber. 請求項6において、上記加熱室の上記搬入口には準備室が連結されており、該準備室は、独自に減圧可能に構成されていることを特徴とする鋼部材の熱処理装置。   7. The heat treatment apparatus for steel members according to claim 6, wherein a preparation chamber is connected to the carry-in port of the heating chamber, and the preparation chamber is configured to be able to be decompressed independently. 請求項6又は7において、上記搬送装置は、上記被処理材を複数保持した熱処理治具を搬送可能に構成されていることを特徴とする鋼部材の熱処理装置。   8. The steel member heat treatment apparatus according to claim 6, wherein the conveyance device is configured to be capable of conveying a heat treatment jig holding a plurality of the workpieces. 請求項8において、上記被処理材は、リング状の本体部を有するリング状部材であり、該リング状部材の軸心を垂直方向にして上記熱処理治具上に載置して、又は上記リング状部材の軸心を水平方向にして上記熱処理治具に設けた吊り枠に吊した状態で搬送するよう構成されていることを特徴とする鋼部材の熱処理装置。   In Claim 8, the said to-be-processed material is a ring-shaped member which has a ring-shaped main-body part, and it mounts on the said heat processing jig | tool with the axial center of this ring-shaped member being perpendicular | vertical, or the said ring A steel member heat treatment apparatus, wherein the steel member is transported in a state of being hung on a suspension frame provided in the heat treatment jig with the axis of the cylindrical member in a horizontal direction. 請求項9において、上記被処理材は、上記本体部の外周面又は内周面に歯部を有する歯車部材であることを特徴とする鋼部材の熱処理装置。   The steel member heat treatment apparatus according to claim 9, wherein the material to be treated is a gear member having a tooth portion on an outer peripheral surface or an inner peripheral surface of the main body portion.
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