JP2007296775A - Inkjet recording head and inkjet recorder - Google Patents

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理 佐藤
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inexpensive inkjet recording head which can prevent a poor printing due to contaminants while ensuring a non-degradation of printing grace and high reliability. <P>SOLUTION: The inkjet recording head includes a liquid discharge substrate which is equipped with an ink passage communicating to a discharge port for discharging an ink and an energy generation means for generating an energy to discharge the ink from the discharge port, an ink supply member which forms an ink supply passage for feeding the ink to the passage and supports the liquid discharge substrate, and an electrical wiring board 3 for applying an electric control signal and a driving electric power to the liquid discharge substrate. The liquid discharge substrate is joined to the ink supply member across the electrical wiring board. A filter provided with a plurality of openings enabling the ink to pass and whose maximum opening area is smaller than the cross-sectional area of the ink passage is formed between the ink supply passage and the ink passage in the electrical wiring board. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、インクジェット記録ヘッド、該インクジェット記録ヘッドの製造方法及びインクジェット記録装置に関する。   The present invention relates to an inkjet recording head, a method for manufacturing the inkjet recording head, and an inkjet recording apparatus.

インクジェット記録装置は、いわゆるノンインパクト記録方式の記録装置であり、高速な記録と様々な記録媒体に対して記録することが可能であって、記録時における騒音がほとんど生じないといった特徴を持つ。このようなことからインクジェット記録装置は、プリンタ、ワードプロセッサ、ファクシミリ、及び複写機などの記録機構を担う装置として広く採用されている。   The ink jet recording apparatus is a so-called non-impact recording type recording apparatus, and is capable of recording on various recording media at high speed and hardly causes noise during recording. For this reason, the ink jet recording apparatus is widely used as an apparatus that bears a recording mechanism such as a printer, a word processor, a facsimile machine, and a copying machine.

このインクジェット記録装置における代表的なインク吐出方式としては、電気熱変換素子を用いた方式がある。この方式は、微小な吐出口から微少な液滴を吐出させて、記録媒体に対し記録を行うものとなっており、一般に、液滴を形成するためのインクジェット記録ノズルと、このヘッドに対してインクを供給する供給系とから構成される。   As a typical ink discharge method in this ink jet recording apparatus, there is a method using an electrothermal conversion element. In this method, a minute droplet is ejected from a minute ejection port to perform recording on a recording medium. In general, an inkjet recording nozzle for forming a droplet and this head are used. And a supply system for supplying ink.

電気熱変換素子を用いたインクジェット記録ヘッドは、電気熱変換素子を記録液室内に設け、これに記録信号となる電気パルスを与えることにより記録液に熱エネルギーを与え、そのときの記録液の相変化により生じる記録液の発泡時(沸騰時)の気泡圧力を記録液滴の吐出に利用したものである。さらに電気熱変換方式を用いたインクジェット記録ヘッドの場合、電気熱変換素子が配列された基板に対して平行に記録液を吐出させる方式(エッジシューター)と電気熱変換素子が配列された基板に対して垂直に記録液を吐出させる方式(サイドシュータ)とがある。   An ink jet recording head using an electrothermal conversion element is provided with an electrothermal conversion element in a recording liquid chamber, and gives thermal energy to the recording liquid by applying an electric pulse serving as a recording signal to the recording liquid phase. The bubble pressure at the time of foaming (boiling) of the recording liquid caused by the change is used for ejecting recording droplets. Furthermore, in the case of an ink jet recording head using an electrothermal conversion method, a recording liquid is ejected in parallel to a substrate on which electrothermal conversion elements are arranged (edge shooter) and on a substrate on which electrothermal conversion elements are arranged. There is also a method (side shooter) in which the recording liquid is ejected vertically.

図6に従来のインクジェット記録ヘッドカートリッジ250の側断面図を示す。ここで、インクジェット記録ヘッドカートリッジ250は、インクジェット記録ヘッド201と、インクジェット記録ヘッド201に装着されたホルダー部材206に着脱自在に保持されたインクタンク214とを有する。   FIG. 6 shows a side sectional view of a conventional ink jet recording head cartridge 250. Here, the ink jet recording head cartridge 250 includes an ink jet recording head 201 and an ink tank 214 detachably held by a holder member 206 attached to the ink jet recording head 201.

インク供給部材204には、インクを保持するインクタンク214へと接合される側に、インク中のごみ、気泡等を除去するためのフィルタ209が取り付けられた、後述のノズルへと連通するインク供給路208が形成されている。   The ink supply member 204 is provided with a filter 209 for removing dust, bubbles, and the like in the ink on the side to be joined to the ink tank 214 that holds the ink. A path 208 is formed.

インクを吐出するためにインクにエネルギを与える不図示のエネルギ発生素子を有する記録素子基板101は、支持部材102に支持された状態でインク供給部材204に接合されている。また、記録素子基板101の、支持部材102に支持された面の反対側の面には、インクを吐出するための吐出口及び吐出口へと連通する溝部が形成された不図示のオリフィス板が接合されている。記録素子基板101とオリフィス板とが接合されることにより、インク供給部材204のインク供給路208からオリフィス板に形成された吐出口まで連通する不図示のインク流路が形成されることとなる。インクジェット記録ヘッド201は、吐出口、インク流路及びエネルギ発生素子からなる、並列に配された複数のノズルを有する。   A recording element substrate 101 having an energy generating element (not shown) that gives energy to ink in order to eject ink is bonded to an ink supply member 204 while being supported by a support member 102. In addition, an orifice plate (not shown) having an ejection port for ejecting ink and a groove portion communicating with the ejection port is formed on the surface of the recording element substrate 101 opposite to the surface supported by the support member 102. It is joined. By joining the recording element substrate 101 and the orifice plate, an ink channel (not shown) that communicates from the ink supply path 208 of the ink supply member 204 to the ejection port formed in the orifice plate is formed. The inkjet recording head 201 has a plurality of nozzles arranged in parallel, each including an ejection port, an ink flow path, and an energy generating element.

また、近年では、インクジェット記録の高画質化に伴い、前記吐出口、インク流路等の寸法が20μm以下のものが多くなってきており、作業環境のごみや、インク供給部材に使用されるガラスフィラーが脱落して、ノズルに詰まったりするのを防止する為、特開2001-010080号広報では、図6に示すように、前記インク供給路と前記インク流路との間に、インクが通過可能であるとともに最大となる開口面積が前記インク流路の断面積よりも小さい複数の開口部が形成されたフィルタを有するものが提案されている。   In recent years, along with the improvement in the image quality of ink jet recording, the size of the discharge port, the ink flow path, etc. has been increasing to 20 μm or less, and the glass used for dust in the work environment and the ink supply member. In order to prevent the filler from dropping off and clogging the nozzle, as disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 2001-010080, ink passes between the ink supply path and the ink flow path as shown in FIG. A filter having a plurality of openings in which the opening area that is possible and has the maximum opening area is smaller than the cross-sectional area of the ink flow path has been proposed.

また、インクジェット記録ヘッドに適用される記録素子基板との配線基板の接続に関しては、特公平8-25272や特開平10-044418にて開示されている。すなわち、オリフィス板104の表面側に電気熱変換素子と電極107を備えた液体吐出基板101の電極107と、液体吐出基板101に対して電気制御信号と駆動電力を供給する電気配線基板103の電極108とが、ILB(Inner Lead Bonding)による金属間結合、または、異方性導電接着を用いた熱圧着により、電気的に接続されている。さらに、プリンターなどに代表される製品において、インクから保護、および、インク滴や紙紛等のゴミを除去するゴムブレードによる拭き取り動作から保護するために、接続部は、封止材110により覆われている。また、液体吐出基板101を接着剤210で保持しインクを供給する支持部材102は、液体吐出基板の温度上昇によりインクの吐出性能が低下しないように、アルミナなど液体吐出基板101と同等の熱伝導率を有する材料で形成されている。   Japanese Patent Publication No. 8-25272 and Japanese Patent Laid-Open No. 10-044418 disclose connection of a wiring board to a recording element substrate applied to an ink jet recording head. That is, the electrode 107 of the liquid discharge substrate 101 provided with the electrothermal conversion element and the electrode 107 on the surface side of the orifice plate 104, and the electrode of the electric wiring substrate 103 that supplies an electric control signal and driving power to the liquid discharge substrate 101 108 are electrically connected to each other by intermetallic bonding using ILB (Inner Lead Bonding) or thermocompression bonding using anisotropic conductive bonding. Furthermore, in products represented by printers and the like, the connection portion is covered with a sealing material 110 in order to protect it from ink and to protect it from a wiping operation by a rubber blade that removes dust such as ink droplets and paper dust. ing. Further, the supporting member 102 that holds the liquid discharge substrate 101 with the adhesive 210 and supplies the ink has a thermal conductivity equivalent to that of the liquid discharge substrate 101 such as alumina so that the ink discharge performance does not deteriorate due to the temperature rise of the liquid discharge substrate. It is made of a material having a rate.

液体吐出基板と電気配線基板の接続電極部を封止剤で封止した部分は、表面より突出することになり、この突出部の分だけヘッドと被記録媒体との間隔を取る必要があり、インクの被記録媒体への着弾精度を低下させる。さらに、突出部は、表面に付着したインク滴や紙紛等のゴミを除去するためのゴムブレードによる拭き取りに弊害を生じさせる場合があり、ひいては印字上悪影響を及ぼす。また、近年は、高速印字に対応するために、液体吐出基板のノズル(インク吐出口)および熱変換素子が増加し、電極数が増加する傾向がある。また、ゴムブレードによる拭き取り方向により、封止材の突出部の領域が制限され、多くの製品が、液体吐出基板の短手短部に高密度な接続がされており、電極から熱変換素子までの電源配線長が、電極に近い熱変換素子と遠い熱変換素子で、大きく異なり、配線抵抗を均一化するために、遠い電源配線は、幅を広げる必要がある。そのため、電源配線の占有面積が増え液体吐出基板の大型化を招き、低価格の妨げとなる。   The portion where the connection electrode portion of the liquid discharge substrate and the electric wiring substrate is sealed with the sealant will protrude from the surface, and it is necessary to take a gap between the head and the recording medium by the amount of the protrusion, Reduces the accuracy of ink landing on the recording medium. Further, the protruding portion may cause an adverse effect on wiping with a rubber blade for removing dust such as ink droplets and paper dust adhering to the surface, which in turn adversely affects printing. In recent years, in order to support high-speed printing, the number of nozzles (ink discharge ports) and heat conversion elements of the liquid discharge substrate has increased, and the number of electrodes tends to increase. In addition, the area of the protruding portion of the sealing material is limited by the direction of wiping with the rubber blade, and many products are connected to the short side of the liquid discharge substrate at high density, from the electrode to the heat conversion element. The length of the power supply wiring differs greatly between the heat conversion element close to the electrode and the heat conversion element far from the electrode. In order to make the wiring resistance uniform, it is necessary to widen the power supply wiring far away. For this reason, the area occupied by the power supply wiring increases, leading to an increase in the size of the liquid discharge substrate, which hinders low cost.

また、表面側に電気信号に応じて液体吐出口から液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生させるエネルギー発生手段を備え、裏面側に液体供給口と電極を備えた液体吐出基板と、前記液体吐出基板に対して電気制御信号と駆動電力を供給する電気配線基板と、前記液体吐出基板を保持し、液体を供給する保持部材と、を備えた記録ヘッドであって、前記液体吐出基板の電極と前記電気配線基板の電極が電気的に接続され、前記液体供給口の外周が密閉されているものが提案されている。
特開2001−10080号公報 特公平8−25272号公報 特開平10−44418号公報
In addition, a liquid discharge substrate including energy generating means for generating energy used to discharge liquid from the liquid discharge port in accordance with an electrical signal on the front surface side, a liquid discharge substrate having a liquid supply port and an electrode on the back surface side, A recording head comprising: an electric wiring substrate that supplies an electric control signal and driving power to a liquid discharge substrate; and a holding member that holds the liquid discharge substrate and supplies liquid. An electrode in which an electrode and an electrode of the electric wiring board are electrically connected and the outer periphery of the liquid supply port is sealed has been proposed.
Japanese Patent Laid-Open No. 2001-10080 Japanese Patent Publication No. 8-25272 Japanese Patent Laid-Open No. 10-44418

しかしながら、前記インク供給路と前記インク流路との間に、フィルタを設けることは、部品の増加に伴い、洗浄、組立コストが増加してしまうという問題があった。   However, the provision of a filter between the ink supply path and the ink flow path has a problem in that cleaning and assembly costs increase as the number of parts increases.

本発明の目的は、上記問題を解決し、更に、印字品位の劣化のない、信頼性の高い、安価なインクジェット記録ヘッドを提供することにある。さらには、その記録ヘッドを用いたインクジェット記録装置を提供することにある。   An object of the present invention is to solve the above-described problems and to provide a highly reliable and inexpensive ink jet recording head that does not deteriorate print quality. Furthermore, it is providing the inkjet recording device using the recording head.

上記目的を達成するため、請求項1の記録ヘッドは、インクを吐出する吐出口に連通するインク流路が形成され、前記吐出口からインクを吐出するためのエネルギを発生するエネルギ発生手段を備えた液体吐出基板と、インクを前記インク流路に供給するインク供給路の形成され、かつ前記液体吐出基板を支持するインク供給部材と、前記液体吐出基板に対して電気制御信号と駆動電力を供給する電気配線基板と、を有し、前記液体吐出基板が前記電気配線基板を挟んで前記インク供給部材に接合され、前記電気配線基板には前記インク供給路と前記インク流路との間に、インクが通過可能であるとともに最大となる開口面積が前記インク流路の断面積よりも小さい複数の開口部が形成されたフィルタが形成されていることを特徴とする。   In order to achieve the above object, the recording head according to claim 1 is provided with an energy generating means for generating energy for discharging ink from the discharge port, wherein an ink flow path communicating with the discharge port for discharging ink is formed. A liquid discharge substrate, an ink supply path for supplying ink to the ink flow path, and an ink supply member for supporting the liquid discharge substrate; and supplying an electric control signal and driving power to the liquid discharge substrate. An electric wiring board, and the liquid discharge board is bonded to the ink supply member with the electric wiring board interposed between the ink supply path and the ink flow path. A filter is formed in which a plurality of openings that allow ink to pass and have a maximum opening area smaller than the cross-sectional area of the ink flow path are formed.

請求項2の記録ヘッドは、前記フィルタが形成されている電気配線基板がフレキシブルプリント配線基板で、前記複数の開口部が前記電気配線基板のベースフィルム、或いはカバーフィルムに形成されていることを特徴とする。   The recording head according to claim 2, wherein the electric wiring board on which the filter is formed is a flexible printed wiring board, and the plurality of openings are formed in a base film or a cover film of the electric wiring board. And

請求項3の記録ヘッドは、前記液体吐出基板のインク吐出面と同一面側に電極が有り、前記液体吐出基板の電極と前記電気配線基板の電極をワイヤ−ボンディングにて電気接続されていることを特徴とする。   The recording head according to claim 3 has an electrode on the same side as the ink ejection surface of the liquid ejection substrate, and the electrode of the liquid ejection substrate and the electrode of the electrical wiring substrate are electrically connected by wire bonding. It is characterized by.

請求項4の記録ヘッドは、前記液体吐出基板のインク吐出面と対向する面側に電極が有り、前記液体吐出基板の電極と前記電気配線基板の電極が電気的に接続され、前記電極及び前記インク流路の外周が密閉されていることを特徴とする。   The recording head according to claim 4, wherein an electrode is provided on a surface side of the liquid discharge substrate facing the ink discharge surface, and the electrode of the liquid discharge substrate and the electrode of the electric wiring substrate are electrically connected, and the electrode and the electrode The outer periphery of the ink flow path is sealed.

請求項5の記録ヘッドは、前記複数の開口部をレーザー加工によって形成されていることを特徴とする。   According to a fifth aspect of the present invention, the plurality of openings are formed by laser processing.

請求項6の記録ヘッドは、前記複数の開口部をプレス加工によって形成されていることを特徴とする。   According to a sixth aspect of the present invention, the plurality of openings are formed by pressing.

請求項7の液体吐出装置は、インクジェット記録ヘッドと、前記インクジェット記録ヘッドから吐出された液体を受ける被記録媒体を搬送する被記録媒体搬送手段とを有することを特徴とする。   According to a seventh aspect of the present invention, there is provided a liquid ejection apparatus comprising: an ink jet recording head; and a recording medium transport unit that transports a recording medium that receives the liquid ejected from the ink jet recording head.

(作用)
上記のように構成された本発明においては、前記インク供給路と前記インク流路との間に、電気配線基板を加工したフィルタを設けることにより、新たな部品の追加無でごみによる印字品位の低下を防止可能な為、コストの増加が抑えられる。また、電気配線基板のフィルタ加工も電気配線基板の電極穴あけと同時で出来るので、工程の追加が不要である。
(Action)
In the present invention configured as described above, by providing a filter in which an electric wiring board is processed between the ink supply path and the ink flow path, it is possible to improve print quality due to dust without adding new parts. Since the decrease can be prevented, an increase in cost can be suppressed. Moreover, since the filter processing of the electric wiring board can be performed simultaneously with the drilling of the electrodes of the electric wiring board, no additional process is required.

また、裏面側に電極を備えた液体吐出基板を使用することにより、電極封止部が表面より突出することが無くなり、インクの被記録媒体への着弾精度が向上する。   Further, by using a liquid discharge substrate having an electrode on the back side, the electrode sealing portion does not protrude from the surface, and the landing accuracy of the ink on the recording medium is improved.

以上説明したように、本発明によれば、インク供給路からインク流路までのインクの供給径路の途中に、インク流路を塞ぐごみ等は通過させないフィルタが電気配線基板内に設けられているため、追加部品無でインク供給路のごみやガラスフィラーがインク流路内に侵入することは防止される。よって、インク流路の詰まりを防止することができる。   As described above, according to the present invention, a filter that does not allow dust or the like to block the ink flow path to pass through the ink supply path from the ink supply path to the ink flow path is provided in the electrical wiring board. Therefore, dust and glass filler in the ink supply path can be prevented from entering the ink flow path without additional parts. Therefore, clogging of the ink flow path can be prevented.

また、本発明によれば、インクジェット記録ヘッドにおいて、液体吐出基板の電極と電気配線基板の電極が電気的に接続され、前記液体供給口の外周が密閉されていることにより、表面に突出する封止材がないため、ヘッドと被記録媒体との間隔を表面から被記録媒体までの距離で決定することができ、印字品位が向上し、さらには、ゴムブレードによるオリフィス面のクリーニングの際に弊害を生じることもないため、耐久性も向上する。   Further, according to the present invention, in the ink jet recording head, the electrode of the liquid discharge substrate and the electrode of the electric wiring substrate are electrically connected, and the outer periphery of the liquid supply port is sealed, so that the seal protruding from the surface is provided. Since there is no stop material, the distance between the head and the recording medium can be determined by the distance from the surface to the recording medium, the printing quality is improved, and there is also a negative effect when cleaning the orifice surface with a rubber blade. As a result, durability is improved.

また、表面に突出する封止材がないため、ゴムブレードの拭き取り方向による接続部の制限がなく、低密度な接続による低価格が可能である。   In addition, since there is no sealing material protruding on the surface, there is no restriction on the connection portion depending on the wiping direction of the rubber blade, and a low price due to low density connection is possible.

さらにまた、液体吐出基板の電極と電気配線基板の電極がハンダにより電気的に接続され、液体供給口の外周が封止材により密閉されていることにより、一般的なフリップチップ実装を利用できるため、生産性に優れ、コスト低減が可能となる。   Furthermore, since the electrode of the liquid discharge substrate and the electrode of the electric wiring substrate are electrically connected by solder and the outer periphery of the liquid supply port is sealed with a sealing material, general flip chip mounting can be used. Excellent productivity and cost reduction.

さらにまた、液体吐出基板の電極と電気配線基板の電極が熱硬化性接着剤により電気的に接続され、液体供給口の外周が封止材により密閉されていることにより、数秒から数十秒という短時間で接続が可能なため、生産時のスループットが向上し生産コストが減少する。   Furthermore, the electrode of the liquid discharge substrate and the electrode of the electric wiring substrate are electrically connected by a thermosetting adhesive, and the outer periphery of the liquid supply port is sealed with a sealing material, so that it takes several seconds to several tens of seconds. Since connection is possible in a short time, throughput during production is improved and production cost is reduced.

さらにまた、熱硬化接着剤の塗布量を調整することにより、熱硬化接着剤のみで、記録素子基板と電気配線基板の電気的接続と、記録素子基板とインク保持部材のインク供給口を接着密閉することが可能である。   Furthermore, by adjusting the application amount of the thermosetting adhesive, only the thermosetting adhesive is used, and the electrical connection between the recording element substrate and the electric wiring substrate and the ink supply port of the recording element substrate and the ink holding member are adhered and sealed. Is possible.

さらにまた、導電粒子を含む熱硬化接着剤、異方性導電接着剤を用いて、導電粒子を介する電気的接続をすることにより、電気的接続の信頼性が向上する。   Furthermore, the reliability of electrical connection improves by making the electrical connection through the conductive particles using a thermosetting adhesive or an anisotropic conductive adhesive containing the conductive particles.

(実施例1)
以下に、本発明の実施例について、図1を用いて説明する。
(Example 1)
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

本発明のインクジェット記録ヘッドは、記録素子基板1と、支持部材2と電気配線基板3で構成される。   The ink jet recording head of the present invention includes a recording element substrate 1, a support member 2, and an electric wiring substrate 3.

図1は、本実施例の断面を示している。図1において、記録素子基板1のオリフィス板4の表面側にはインクを吐出するための吐出口5が複数列に開口しており、その下側にはインクを供給するためのインク供給口6が、吐出口列の長さとほぼ等しい長さで開口し、記録素子基板1の裏面にテーパー状に至っている。電気配線基板3はインク供給口39が開口された厚さ25μmのポリイミド製のベースフィルム31に不図示の配線形成された厚さ18μmの銅箔32と厚さ25μmのポリイミド製のカバーフィルム33がラミネートされ、銅箔32に設けられた端子8は金メッキされている。更に、カバーフィルム33の記録素子基板1のインク供給口6実装部には、吐出口5よりも小さい穴40が多数設けられている。また、支持部材2には、記録素子基板1の裏面のインク供給口6に、インクを供給するためのインク供給口9が前記インク供給口6とほぼ同一寸法で開口している。穴40は、多ければ多いほど、インク供給時の抵抗が少ない為、インク供給口9或いはインク供給口6の断面積に近づけた方が良い。   FIG. 1 shows a cross section of this example. In FIG. 1, discharge ports 5 for discharging ink are opened in a plurality of rows on the surface side of the orifice plate 4 of the recording element substrate 1, and an ink supply port 6 for supplying ink is provided below the discharge ports 5. However, the opening is opened with a length substantially equal to the length of the ejection port array, and the back surface of the recording element substrate 1 is tapered. The electrical wiring board 3 has an 18 μm thick copper foil 32 and a 25 μm thick polyimide cover film 33 formed on a 25 μm thick polyimide base film 31 with an ink supply port 39 opened. The terminals 8 laminated and provided on the copper foil 32 are gold-plated. Further, a large number of holes 40 smaller than the ejection ports 5 are provided in the mounting portion of the ink supply port 6 of the recording element substrate 1 of the cover film 33. The support member 2 has an ink supply port 9 for supplying ink to the ink supply port 6 on the back surface of the recording element substrate 1 having substantially the same dimensions as the ink supply port 6. The more holes 40 there are, the smaller the resistance during ink supply, so it is better to be closer to the cross-sectional area of the ink supply port 9 or the ink supply port 6.

本発明のインクジェット記録ヘッドは、インク供給口9が設けられた支持部材2とインク供給口6が開口した記録素子基板1に、フィルタとなる多数の穴40が設けられた電気配線基板3を挟んで接着固定し、それぞれ、インク供給口9、穴40、インク供給口6でインク流路を形成している。なお、支持部材2と電気配線基板3の接着剤23、電気配線基板3と記録素子基板1の接着剤10、及び電気配線基板3のラミネート接着剤34は共に熱硬化性のエポキシ樹脂が使用されている。エポキシ樹脂は一般にインクに侵されにくく、インクジェット記録ヘッドに使用するのに最適である。尚、電気配線基板3のラミネート接着剤34はインク供給口9にあるインクにより銅箔32が腐食されるのを防いでいる。   In the ink jet recording head of the present invention, the support member 2 provided with the ink supply port 9 and the recording element substrate 1 provided with the ink supply port 6 sandwich the electric wiring substrate 3 provided with a large number of holes 40 serving as filters. The ink supply port 9, hole 40, and ink supply port 6 form an ink flow path. The support member 2 and the adhesive 23 between the electric wiring board 3, the adhesive 10 between the electric wiring board 3 and the recording element board 1, and the laminate adhesive 34 of the electric wiring board 3 are both made of thermosetting epoxy resin. ing. Epoxy resins are generally less susceptible to ink and are optimal for use in ink jet recording heads. Incidentally, the laminate adhesive 34 of the electric wiring board 3 prevents the copper foil 32 from being corroded by the ink in the ink supply port 9.

また、記録素子基板1の電極1aは、電気配線基板3の端子8と金ワイヤー11でワイヤーボンディングされ電気的に接続され、封止剤12にて密閉封止されて電極部がインクで侵されない様になっている。   Further, the electrode 1a of the recording element substrate 1 is wire-bonded and electrically connected to the terminal 8 of the electric wiring substrate 3 by a gold wire 11, and hermetically sealed with a sealant 12, so that the electrode portion is not affected by ink. It is like.

本実施例によれば、電気配線基板3のカバーフィルム33にフィルタ機能を持つ穴40を設けることにより、部品の追加なくしてごみによる印字品位の低下を防止可能である。   According to the present embodiment, by providing the hole 40 having a filter function in the cover film 33 of the electrical wiring board 3, it is possible to prevent the printing quality from being deteriorated due to dust without adding parts.

なお、穴40の穴あけは、カバーフィルム33の穴あけ工程と同様に、プレスが使用可能である。プレス穴あけであれば、穴あけコストは金型代程度ですむが、50μm以下のものの量産性は低い。それに対し、YAGレーザー、エキシマレーザー等を使用すれば、20μm以下の小さな穴を同時にたくさんあけることが可能である。   In addition, the hole 40 can be punched in the same manner as in the step of drilling the cover film 33. In the case of press drilling, the drilling cost is about the cost of the mold, but the mass productivity of 50 μm or less is low. On the other hand, if a YAG laser, an excimer laser, or the like is used, a large number of small holes of 20 μm or less can be formed at the same time.

(実施例2)
上記実施例は、フィルタとして利用される小さい穴40はカバーフィルム33に設けられていたが、図2では、ベースフィルム31に設けられている。この方法によれば、電気配線基板3と記録素子基板1の接着剤10が、記録素子基板1のインク供給口6実装部となるカバーフィルム33の開口部35の縁でとまる為、接着剤10が前記穴40を塞いでしまう事が無い。
(Example 2)
In the above embodiment, the small hole 40 used as a filter is provided in the cover film 33, but in FIG. 2, it is provided in the base film 31. According to this method, the adhesive 10 between the electric wiring substrate 3 and the recording element substrate 1 is stopped at the edge of the opening 35 of the cover film 33 that becomes the mounting portion of the ink supply port 6 of the recording element substrate 1. However, the hole 40 is not blocked.

(実施例3)
図3は、本実施例の裏面電極のハンダによる接続部の断面拡大図を示している。図3において、記録素子基板1のオリフィス板4の表面側にはインクを吐出するための吐出口5が複数列に開口しており、その下側にはインクを供給するためのインク供給口6が、吐出口列の長さとほぼ等しい長さで開口し、記録素子基板1の裏面にテーパー状に至っている。記録素子基板1の裏面電極7は、貫通電極20により記録素子基板1内部で不図示のヒーターに接続されており、電気配線基板3の端子8と電気的に接続されている。本実施例では、この接続を端子8上のハンダバンプ18によりハンダリフローや、熱圧着といった、いわゆるフリップチップ実装により行った。また、支持部材2には、記録素子基板1の裏面のインク供給口6に、インクを供給するためのインク供給口9が開口している。記録素子基板1の裏面の裏面電極7とインク供給口6の外周は、支持部材2のインク供給口9の外周に、封止材12により、接着、密閉されている。
Example 3
FIG. 3 shows an enlarged cross-sectional view of the connecting portion by soldering of the back electrode of this embodiment. In FIG. 3, discharge ports 5 for discharging ink are opened in a plurality of rows on the surface side of the orifice plate 4 of the recording element substrate 1, and an ink supply port 6 for supplying ink is provided below the discharge ports 5. However, the opening is opened with a length substantially equal to the length of the ejection port array, and the back surface of the recording element substrate 1 is tapered. The back electrode 7 of the recording element substrate 1 is connected to a heater (not shown) inside the recording element substrate 1 by the through electrode 20 and is electrically connected to the terminal 8 of the electrical wiring substrate 3. In this embodiment, this connection is performed by so-called flip chip mounting such as solder reflow or thermocompression bonding by the solder bumps 18 on the terminals 8. The support member 2 has an ink supply port 9 for supplying ink to the ink supply port 6 on the back surface of the recording element substrate 1. The outer periphery of the back electrode 7 and the ink supply port 6 on the back surface of the recording element substrate 1 is bonded and sealed to the outer periphery of the ink supply port 9 of the support member 2 by a sealing material 12.

上述の本発明の構成により、記録素子基板の上面電極で接続し、接続部を封止した従来のインクジェット記録ヘッドと異なり、表面に突出する封止材がないため、ヘッドと被記録媒体との間隔をオリフィス表面から被記録媒体までの距離で決定することができる。さらには、ゴムブレードによるオリフィス面のクリーニングの際に弊害を生じることもない。   Unlike the conventional ink jet recording head that is connected by the upper surface electrode of the recording element substrate and seals the connecting portion, the structure of the present invention described above has no sealing material protruding on the surface. The interval can be determined by the distance from the orifice surface to the recording medium. Furthermore, no harmful effects are caused when the orifice surface is cleaned by the rubber blade.

また、表面に突出する封止材がないため、ゴムブレードの拭き取り方向による接続部の制限がなくなる。そのため、裏面電極を低密度に配置し、安価な設備による接続が可能となり、低価格が可能である。   In addition, since there is no sealing material protruding on the surface, there is no restriction on the connecting portion depending on the wiping direction of the rubber blade. For this reason, the back electrodes are arranged at a low density, and connection by inexpensive equipment is possible, so that the cost can be reduced.

さらにまた、一般的なフリップチップ実装を利用できるため、生産性に優れ、コスト低減が可能となる。   Furthermore, since general flip chip mounting can be used, the productivity is excellent and the cost can be reduced.

(実施例4)
図4は、裏面電極の導電粒子を含む異方性導電接着剤15による接続部の拡大図である。図4において、バンプ18は、電気配線基板3の端子8、または、記録素子基板1の裏面電極7、または、両方に形成されている。記録素子基板1の裏面電極7と電気配線基板3の端子8は、バンプ18および異方性導電接着剤15の導電粒子を介して電気的に導通し、異方性導電接着剤15により圧縮固定されている。記録素子基板1の裏面の裏面電極7とインク供給口6の外周は、インク保持部材2のインク供給口9の外周に、封止材12により、接着密閉されている。
Example 4
FIG. 4 is an enlarged view of a connection portion by the anisotropic conductive adhesive 15 including conductive particles of the back electrode. In FIG. 4, the bumps 18 are formed on the terminals 8 of the electric wiring board 3, the back surface electrode 7 of the recording element board 1, or both. The back electrode 7 of the recording element substrate 1 and the terminal 8 of the electric wiring substrate 3 are electrically connected through the bumps 18 and the conductive particles of the anisotropic conductive adhesive 15 and are compressed and fixed by the anisotropic conductive adhesive 15. Has been. The outer periphery of the back electrode 7 and the ink supply port 6 on the back surface of the recording element substrate 1 is bonded and sealed to the outer periphery of the ink supply port 9 of the ink holding member 2 by a sealing material 12.

本実施例の構成において、実施例3と同様の効果が得られる。さらにまた、数秒から数十秒という短時間で接続が可能なため、生産時のスループットが向上し生産コストが減少する。   In the configuration of the present embodiment, the same effects as those of the third embodiment can be obtained. Furthermore, since connection is possible in a short time of several seconds to several tens of seconds, throughput during production is improved and production cost is reduced.

なお、導電粒子を含まない熱硬化接着剤を用いて、記録素子基板1の裏面電極7と電気配線基板3の端子8上のバンプ18を直接電気的接続をすることにより、生産性が向上する。熱硬化接着剤として、例えば、東芝ケミカル製TMP0015Aを用いた場合、数秒から数十秒で接続固定が可能であった。   Note that productivity is improved by directly electrically connecting the back electrode 7 of the recording element substrate 1 and the bumps 18 on the terminals 8 of the electric wiring substrate 3 using a thermosetting adhesive that does not contain conductive particles. . For example, when TMP0015A manufactured by Toshiba Chemical was used as the thermosetting adhesive, connection and fixation were possible in several seconds to several tens of seconds.

さらにまた、熱硬化接着剤の塗布量を調整することにより、熱硬化接着剤のみで、記録素子基板と電気配線基板の電気的接続と、記録素子基板とインク保持部材のインク供給口を接着密閉することも可能である。   Furthermore, by adjusting the application amount of the thermosetting adhesive, only the thermosetting adhesive is used, and the electrical connection between the recording element substrate and the electric wiring substrate and the ink supply port of the recording element substrate and the ink holding member are adhered and sealed. It is also possible to do.

一方、本実施例においても、実施例3と同様の効果を有する。   On the other hand, this embodiment also has the same effect as that of the third embodiment.

(実施例5)
以上の実施形態を例に挙げて本発明のインクジェット記録ヘッドについて説明したが、以下に、本発明のインクジェット記録ヘッドが適用されたインクジェット記録装置について説明する。なお、以下の説明に用いる記号は、代表として第1の実施形態で用いられた記号を用いる。
(Example 5)
The ink jet recording head of the present invention has been described by taking the above embodiment as an example. Hereinafter, an ink jet recording apparatus to which the ink jet recording head of the present invention is applied will be described. Note that symbols used in the following description are representatively used in the first embodiment.

インクジェット記録ヘッド16が適用されたインクジェット記録装置の一例の外観図を図5に示す。   An external view of an example of an ink jet recording apparatus to which the ink jet recording head 16 is applied is shown in FIG.

本体フレーム551には、螺旋溝553の刻まれたリードスクリュー552が回転自在に軸支されている。リードスクリュー552は、駆動モータ559の正逆回転に連動し、駆動力伝達ギア560、561を介して回転駆動される。さらに、本体フレーム551には、キャリッジ555を摺動自在に案内する案内レール554が固定されている。キャリッジ555には、螺旋溝553に係合するピン(不図示)が設けられており、駆動モータ559の回転によりリードスクリュー552を回転させることで、キャリッジ555が図示矢印a、b方向に往復移動できるようになっている。紙押え板572は、キャリッジ555の移動方向にわたって、被記録媒体590をプラテンローラ573に対して押圧する。   A lead screw 552 having a spiral groove 553 is rotatably supported on the main body frame 551. The lead screw 552 is rotationally driven via the driving force transmission gears 560 and 561 in conjunction with the forward / reverse rotation of the drive motor 559. In addition, a guide rail 554 that slidably guides the carriage 555 is fixed to the main body frame 551. The carriage 555 is provided with a pin (not shown) that engages with the spiral groove 553. By rotating the lead screw 552 by the rotation of the drive motor 559, the carriage 555 reciprocates in the directions of the arrows a and b shown in the figure. It can be done. The paper pressing plate 572 presses the recording medium 590 against the platen roller 573 over the moving direction of the carriage 555.

キャリッジ555には、インクジェット記録ヘッドカートリッジ580が搭載される。インクジェット記録ヘッドカートリッジ580は、上述したインクジェット記録ヘッド16をインクタンクITと一体化したものである。また、このインクジェット記録ヘッドカートリッジ580は、キャリッジ555に設けられている位置決め手段および電気的接点によってキャリッジ555に固定支持されるとともに、キャリッジ555に対して着脱可能に設けられている。   An ink jet recording head cartridge 580 is mounted on the carriage 555. The ink jet recording head cartridge 580 is obtained by integrating the ink jet recording head 16 described above with an ink tank IT. The ink jet recording head cartridge 580 is fixedly supported on the carriage 555 by positioning means and electrical contacts provided on the carriage 555 and is detachable from the carriage 555.

フォトカプラ557、558は、キャリッジ555のレバー556のこの域での存在を確認して駆動モータ559の回転方向の逆転等を行うためのホームポジション検知手段を構成する。インクジェット記録ヘッド16の前面(インク吐出口24aが形成された面)をキャップするキャップ部材567は、支持用部材562によって支持され、さらに吸引手段566を備え、キャップ内開口568を介してインクジェット記録ヘッド16の吸引回復を行う。本体支持板564には支持板565が取り付けられており、この支持板565に摺動自在に支持されたクリーニングブレード563は、図示しない駆動手段によって前後方向に移動される。クリーニングブレード563の形態は図示するものに限られず、公知のものが適用できることはいうまでもない。レバー570は、インクジェット記録ヘッド16の吸引回復動作を開始するためのもので、キャリッジ555と当接するカム571の移動に伴って移動し、駆動モータ559から駆動力がギアやラッチ切換え等の公知の伝達手段によって移動制御される。   The photocouplers 557 and 558 constitute home position detecting means for confirming the presence of the lever 556 of the carriage 555 in this region and performing reverse rotation of the rotation direction of the drive motor 559 and the like. A cap member 567 that caps the front surface of the ink jet recording head 16 (the surface on which the ink discharge ports 24 a are formed) is supported by a support member 562, further includes suction means 566, and is provided with an ink jet recording head via an opening 568 in the cap. 16 suction recovery is performed. A support plate 565 is attached to the main body support plate 564, and the cleaning blade 563 slidably supported on the support plate 565 is moved in the front-rear direction by a driving means (not shown). It goes without saying that the form of the cleaning blade 563 is not limited to that shown in the figure, and a known one can be applied. The lever 570 is for starting the suction recovery operation of the ink jet recording head 16, and moves with the movement of the cam 571 in contact with the carriage 555, and the driving force from the driving motor 559 is known such as gear switching or latch switching. The movement is controlled by the transmission means.

これらのキャッピング、クリーニング、吸引回復の各処理は、キャリッジ555がホームポジション側領域に移動したときにリードスクリュー552の作用によって、それぞれの対応位置で行われるようになっている。周知のタイミングで所望の動作を行うようにすれば、本例にはいずれも適用できる。   These capping, cleaning, and suction recovery processes are performed at corresponding positions by the action of the lead screw 552 when the carriage 555 moves to the home position side region. Any desired application can be applied to this example as long as a desired operation is performed at a known timing.

以上説明したインクジェット記録装置においては、搭載したインクジェット記録ヘッド16のヒータを駆動するための記録信号をインクジェット記録ヘッド16に与える記録信号供給手段を有し、インクジェット記録装置の動作を司る制御部を備えている。   The ink jet recording apparatus described above includes a recording signal supply unit that supplies a recording signal for driving the heater of the mounted ink jet recording head 16 to the ink jet recording head 16, and includes a control unit that controls the operation of the ink jet recording apparatus. ing.

本発明のインクジェット記録装置は、上述したインクジェット記録ヘッド16を搭載しているのでインクの吐出が安定し、その結果、画像品位の劣化が少ない記録装置を達成することができる。なお、本発明のインクジェット記録装置ではキャリッジ555にインクジェット記録ヘッドカートリッジ580が着脱可能に搭載される例を示したが、これに限らず、インクジェット記録ヘッド16をキャリッジ555に一体化し、インクタンクのみを着脱可能に搭載する構成としてもよい。   Since the ink jet recording apparatus of the present invention is equipped with the ink jet recording head 16 described above, the ink discharge is stable, and as a result, a recording apparatus with little deterioration in image quality can be achieved. In the ink jet recording apparatus of the present invention, the example in which the ink jet recording head cartridge 580 is detachably mounted on the carriage 555 is shown. However, the present invention is not limited to this, and the ink jet recording head 16 is integrated with the carriage 555 and only the ink tank is provided. It is good also as a structure mounted so that attachment or detachment is possible.

実施例1の断面を示している。The cross section of Example 1 is shown. 実施例2の断面図である。6 is a cross-sectional view of Example 2. FIG. 本実施例の裏面電極のハンダによる接続部の断面拡大図である。It is a cross-sectional enlarged view of the connection part by the solder | pewter of the back surface electrode of a present Example. 裏面電極の導電粒子を含む異方性導電接着剤15による接続部の拡大図である。It is an enlarged view of the connection part by the anisotropic conductive adhesive 15 containing the electroconductive particle of a back surface electrode. 本発明のインクジェット記録ヘッドが適用されたインクジェット記録装置の外観図である。1 is an external view of an ink jet recording apparatus to which an ink jet recording head of the present invention is applied. 従来例である。This is a conventional example.

符号の説明Explanation of symbols

1 記録素子基板
2 支持部材
3 電気配線基板
4 オリフィス板
5 吐出口
6 記録素子基板のインク供給口
7 裏面電極
8 電気配線基板の端子
9 インク保持部材のインク供給口
10 接着剤
11 金ワイヤ
12 封止材
15 異方性導電接着剤
18 ハンダバンプ
18a バンプ
23 接着剤
31 ベースフィルム
32 銅箔
33 カバーフィルム
34 ラミネート接着剤
40 穴
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Recording element board | substrate 2 Support member 3 Electrical wiring board 4 Orifice plate 5 Ejection port 6 Ink supply port of recording element board 7 Back surface electrode 8 Terminal of electrical wiring board 9 Ink supply port of ink holding member 10 Adhesive 11 Gold wire 12 Sealing Stop material 15 Anisotropic conductive adhesive 18 Solder bump 18a Bump 23 Adhesive 31 Base film 32 Copper foil 33 Cover film 34 Laminate adhesive 40 Hole

Claims (7)

インクを吐出する吐出口に連通するインク流路が形成され、前記吐出口からインクを吐出するためのエネルギを発生するエネルギ発生手段を備えた液体吐出基板と、インクを前記インク流路に供給するインク供給路の形成され、かつ前記液体吐出基板を支持するインク供給部材と、
前記液体吐出基板に対して電気制御信号と駆動電力を供給する電気配線基板と、
を有するインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記液体吐出基板が前記電気配線基板を挟んで前記インク供給部材に接合され、前記電気配線基板には前記インク供給路と前記インク流路との間に、インクが通過可能であるとともに最大となる開口面積が前記インク流路の断面積よりも小さい複数の開口部が形成されたフィルタが形成されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
An ink channel that communicates with an ejection port that ejects ink is formed, and a liquid ejection substrate that includes energy generation means for generating energy for ejecting ink from the ejection port, and supplying ink to the ink channel An ink supply member formed with an ink supply path and supporting the liquid ejection substrate;
An electric wiring board for supplying an electric control signal and driving power to the liquid discharge board;
In an inkjet recording head having
The liquid discharge substrate is bonded to the ink supply member with the electric wiring board interposed therebetween, and the ink can pass through the electric wiring board between the ink supply path and the ink flow path and is maximized. An ink jet recording head, comprising: a filter having a plurality of openings in which an opening area is smaller than a cross-sectional area of the ink flow path.
前記フィルタが形成されている電気配線基板がフレキシブルプリント配線基板で、前記複数の開口部が前記電気配線基板のベースフィルム、或いはカバーフィルムに形成されていることを特徴とする請求項1に記載のインクジェット記録ヘッド。   The electrical wiring board on which the filter is formed is a flexible printed wiring board, and the plurality of openings are formed in a base film or a cover film of the electrical wiring board. Inkjet recording head. 前記液体吐出基板のインク吐出面と同一面側に電極が有り、前記液体吐出基板の電極と前記電気配線基板の電極をワイヤ−ボンディングにて電気接続されていることを特徴とする請求項1ないし請求項2に記載のインクジェット記録ヘッド。   2. The electrode according to claim 1, wherein an electrode is provided on the same side as an ink discharge surface of the liquid discharge substrate, and the electrode of the liquid discharge substrate and the electrode of the electric wiring substrate are electrically connected by wire bonding. The ink jet recording head according to claim 2. 前記液体吐出基板のインク吐出面と対向する面側に電極が有り、前記液体吐出基板の電極と前記電気配線基板の電極が電気的に接続され、前記電極及び前記インク流路の外周が密閉されていることを特徴とする請求項1ないし請求項2に記載のインクジェット記録ヘッド。   There is an electrode on the side of the liquid discharge substrate facing the ink discharge surface, the electrode of the liquid discharge substrate and the electrode of the electrical wiring substrate are electrically connected, and the outer periphery of the electrode and the ink flow path is sealed. The ink jet recording head according to claim 1, wherein the ink jet recording head is provided. 前記複数の開口部がレーザー加工されていることを特徴とする請求項1乃至請求項4に記載のインクジェット記録ヘッド。   The ink jet recording head according to claim 1, wherein the plurality of openings are laser processed. 前記複数の開口部をプレス加工されていることを特徴とする請求項項1乃至請求項4に記載のインクジェット記録ヘッド。   The inkjet recording head according to claim 1, wherein the plurality of openings are pressed. 請求項1ないし4のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッドと、前記インクジェット記録ヘッドから吐出された液体を受ける被記録媒体を搬送する被記録媒体搬送手段とを有する液体吐出装置。   5. A liquid ejection apparatus comprising: the ink jet recording head according to claim 1; and a recording medium transport unit that transports a recording medium that receives liquid ejected from the ink jet recording head.
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US10906305B2 (en) 2018-09-05 2021-02-02 Canon Kabushiki Kaisha Liquid ejection head

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10906305B2 (en) 2018-09-05 2021-02-02 Canon Kabushiki Kaisha Liquid ejection head
JP2020152004A (en) * 2019-03-20 2020-09-24 キヤノン株式会社 Liquid discharge head and method for manufacturing the same
JP7277192B2 (en) 2019-03-20 2023-05-18 キヤノン株式会社 LIQUID EJECTION HEAD AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

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