JP2007292547A - 圧力センサ、圧力センサの検査方法 - Google Patents
圧力センサ、圧力センサの検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007292547A JP2007292547A JP2006119302A JP2006119302A JP2007292547A JP 2007292547 A JP2007292547 A JP 2007292547A JP 2006119302 A JP2006119302 A JP 2006119302A JP 2006119302 A JP2006119302 A JP 2006119302A JP 2007292547 A JP2007292547 A JP 2007292547A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- pressure sensor
- sensor element
- pressure chamber
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Combined Controls Of Internal Combustion Engines (AREA)
Abstract
【解決手段】この発明に係る圧力センサは、圧力室18の内部に収納された圧力センサ素子1と、圧力室18に連通し、かつ被測定媒体である空気からの圧力を圧力室18へ導入する導圧管3とを有する圧力センサにおいて、圧力室18と導圧管3の管路4とからなる空間内に、空間内の空気を加熱する加熱手段2が設けられている。
【選択図】図1
Description
そして、気温や湿度等使用環境によっては、吸気管内に滞留した水分が結露、凍結して、圧力センサ素子への導圧管が閉塞して正しく圧力計測ができなかったり、凍結時の体積膨張によって圧力センサ素子が破損してしまったりすることがあった。
これに対しては、導圧管に堰部やテーパー部を設けることによって、浸入した水分等を圧力室の内部で堰き止めて導圧管の管路内に入りにくくして、導圧管が閉塞しにくいように改善した圧力センサが知られている(例えば、特許文献1参照)。
また、圧力の印加状態における圧力センサの特性を自己診断することができる圧力センサの検査方法を提供することを目的としている。
またこの発明に係る圧力センサの検査方法では、圧力センサの加振手段を作動させ、圧力センサ素子に圧力変動を強制的に発生させることで、圧力センサ素子の特性を検査する。
また、この発明に係る圧力センサの検査方法によれば、圧力の印加状態における圧力センサの特性を自己診断することができるという効果がある。
図1はこの発明の実施の形態1による圧力センサを示す断面図、図2は図1におけるA矢視図である。
この圧力センサは、エンジンの吸気管に導圧管3が設置され、Oリング5によって気密性が維持されている。
圧力センサは、吸気管と連通するとともに支持部12を有する導圧管3と、この導圧管3の反吸気管側を覆い、内部に圧力室18を形成したモールド11と、圧力室18内に設けられ圧力センサチップとガラス台座とからなる圧力センサ素子1と、この圧力センサ素子1の表面に塗布され汚損から圧力センサ素子1を保護するゲル9と、導圧管3の内部の管路4の軸線方向に延びているとともに支持部12により支持され空気を加熱する加熱手段2と、圧力センサ素子1とボンディングワイヤを介して接続されたリードフレーム10と、このリードフレーム10と接続されたターミナル7を有するコネクタ6とを備えている。
加熱手段2は、例えばポリシリコン薄膜の導電性膜によって形成されており、導圧管3と一体で樹脂成形されている。
このような場合、エンジンが不調になり始動に時間がかかったり、最悪の場合、始動できなかったりするという不具合があった。
なお、温度上昇に伴って飽和水蒸気量は指数関数的に上昇するので、加熱手段2は水を蒸発させるほどの高温にする必要はなく、露点温度を超える程度でよいので、少ない消費電力でよい。
また、加熱手段2は、導圧管3と一体で樹脂成形されており、導圧管3と別部品ではないので、取り扱いが簡単であり、また部品点数削減により低コスト化ができるといった効果もある。
例えば、結露事例として多いのは、寒冷地等において日中に走行した後、夜間に気温が下がった場合である。
このような事例に対しては、エンジン停止中であっても、一定時間毎に圧力室18内の気温を測定し、一定温度以下の状態が一定時間以上続けば、加熱手段2を作動させて未然に結露の発生を防止するようにすればよい。
このような状態においては、エンジンの燃焼状態が最適化されておらず、燃焼効率が悪い排気ガスが多く排出される。
この実施の形態の圧力センサによれば、エンジンの始動時において、加熱手段2に通電させて、導圧管3内で凍結している氷を溶かすことによって、短時間で管路4の閉塞状態を解消して圧力計測可能な状態にできるので、システムの起動時間が短くなり、燃焼効率の悪い排気ガスの排出量を低減させることができる。
図4は、この発明の実施の形態2による圧力センサを示す断面図である。
この実施の形態では、導圧管3の壁内に、壁を加熱する加熱手段2が設けられている。 この加熱手段2は、導圧管3の壁内にニクロム線がコイル状に巻回されて構成されている。
また、導圧管3の内壁に径方向に突出した突起8を設けられている。
他の構成は実施の形態1と同じである。
また、導圧管3の内壁に突起8が設けられているので、導圧管3の内壁面の面積が増大し、導圧管3内の空気温度を短時間で上昇させることができとともに、導圧管3内に侵入した異物が圧力センサ素子1に衝突するのを防止できるという効果がある。
図5は、この発明の実施の形態3における圧力センサの要部平面図である。
この圧力センサの圧力センサ素子1は、中央部には薄肉化されたダイヤフラム14が形成されており、その境界近傍にはピエゾ抵抗等の歪検出素子16が設けられている。
この圧力センサ素子1上には、ポリシリコン薄膜などの導電性膜によって形成された加熱手段17が設けられている。
歪検出素子16及び加熱手段17と外部とは、圧力センサ素子1の四隅に設けられた電極パッド15を介してボンディングワイヤ(図示せず)により電気的に接続されている。
他の構成は、実施の形態1と同じである。
図6はこの発明の実施の形態4による圧力センサを示す断面図である。
この実施の形態の圧力センサは、導圧管3の管路4内に、管路4を閉塞する、結露水や液状汚染物質等の閉塞物質を振動により除去する加振手段19が設けられている。
加振手段19は、導圧管3の支持部12により支持されて導圧管3の軸線方向に延びている。導圧管3と一体成形された加振手段19の端部には、異物が圧力センサ素子1に到達するのを阻止する遮蔽部13が設けられている。
他の構成は、実施の形態1と同じである。
また、加振手段19の圧力室18側の端部に遮蔽部13を設けたので、侵入してきた異物が遮蔽部13に付着するため、圧力センサ素子1が異物で汚染されるのを防止することができる。
また、加振手段19は、導圧管3の軸線方向に延びているので、管路4は軸線方向に沿って均一に加振され、管路4における閉塞物質を強制的に振るい落とすことができる。
また、加振手段19は、導圧管3と一体で樹脂成形されており、導圧管3と別部品ではないので、取り扱いが簡単であり、また部品点数削減により低コスト化ができるといった効果もある。
この実施の形態では、実施の形態3に示した加熱手段17の代わりに圧力センサ素子1上にPZT((PbZrl−XTiXO3) チタン酸ジルコン酸鉛))等の圧電薄膜による加振手段が設けられている。
他の構成は、実施の形態3と同じである。
従って、圧力センサの検査方法として、加振手段を作動させ、圧力センサ素子1に強制的に圧力変動を発生させることで、擬似的に圧力が印加状態における圧力センサの特性を自己診断することができる。
また、被測定媒体についても、空気に限定されるものではなく、適用用途に応じて他の気体であってもよい。
このものの場合、内部での結露、凍結の発生を防止できるとともに、導圧管3の閉塞物質による閉塞状態を短時間で解消することができる。
Claims (15)
- 圧力室の内部に収納された圧力センサ素子と、前記圧力室に連通し、かつ被測定媒体からの圧力を前記圧力室へ導入する導圧管とを有する圧力センサにおいて、
前記圧力室と前記導圧管の管路とからなる空間内に、空間内の前記被測定媒体を加熱する加熱手段が設けられていることを特徴とする圧力センサ。 - 前記加熱手段は、前記導圧管の軸線方向に延びていることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記加熱手段は、前記導圧管と一体成形されていることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記加熱手段の断面形状は、前記導圧管の略中心軸線から径方向に放射状に延びる断面形状であることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記圧力室の内部に収納された圧力センサ素子と、前記圧力室に連通し、かつ被測定媒体からの圧力を前記圧力室へ導入する導圧管とを有する圧力センサにおいて、
前記導圧管の壁内に、壁を加熱する加熱手段が設けられていることを特徴とする圧力センサ。 - 前記導圧管の内壁には、径方向に突出した突起が設けられていることを特徴とする請求項5に記載の圧力センサ。
- 圧力室の内部に収納された圧力センサ素子と、前記圧力室に連通し、かつ被測定媒体からの圧力を前記圧力室へ導入する導圧管とを有する圧力センサにおいて、
前記圧力センサ素子に、圧力センサ素子の近傍を加熱する加熱手段が設けられていることを特徴とする圧力センサ。 - 前記加熱手段は、一定時間ごとに前記被測定媒体の温度を測定し、一定時間以上、所定温度より低い温度状態が継続した場合に、作動されることを特徴とする請求項1〜7の何れか1項に記載の圧力センサ。
- 圧力室の内部に収納された圧力センサ素子と、前記圧力室に連通し、かつ被測定媒体からの圧力を前記圧力室へ導入する導圧管とを有する圧力センサにおいて、
前記導圧管の管路内には、管路を閉塞する閉塞物質を振動により除去する加振手段が設けられていることを特徴とする圧力センサ。 - 前記加振手段は、前記導圧管の軸線方向に延びていることを特徴とする請求項9に記載の圧力センサ。
- 前記加振手段は、前記導圧管と一体成形されていることを特徴とする請求項9に記載の圧力センサ。
- 前記加振手段は、前記圧力室の側の端部に、異物が前記圧力センサ素子に到達するのを阻止する遮蔽部が設けられていることを特徴とする請求項9記載の圧力センサ。
- 圧力室の内部に収納された圧力センサ素子と、前記圧力室に連通し、かつ被測定媒体からの圧力を前記圧力室へ導入する導圧管とを有する圧力センサにおいて、
前記圧力センサ素子には、圧力センサ素子を振動させる加振手段が設けられていることを特徴とする圧力センサ。 - 前記加振手段は、一定時間ごとに被測定媒体の温度を測定し、一定時間以上、所定温度より低い状態が継続した場合に、作動させることを特徴とする請求項9〜13の何れか1項に記載の圧力センサ。
- 請求項13に記載の圧力センサの前記加振手段を作動させ、前記圧力センサ素子に圧力変動を強制的に発生させることで、前記圧力センサ素子の特性を検査することを特徴とする圧力センサの検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006119302A JP2007292547A (ja) | 2006-04-24 | 2006-04-24 | 圧力センサ、圧力センサの検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006119302A JP2007292547A (ja) | 2006-04-24 | 2006-04-24 | 圧力センサ、圧力センサの検査方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008222066A Division JP2009002962A (ja) | 2008-08-29 | 2008-08-29 | 圧力センサ、圧力センサの検査方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007292547A true JP2007292547A (ja) | 2007-11-08 |
Family
ID=38763300
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006119302A Pending JP2007292547A (ja) | 2006-04-24 | 2006-04-24 | 圧力センサ、圧力センサの検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007292547A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009096379A1 (ja) * | 2008-01-31 | 2009-08-06 | Eagle Industry Co., Ltd. | 圧力計測用加熱装置及び圧力計測装置 |
JP2010019663A (ja) * | 2008-07-10 | 2010-01-28 | Denso Corp | 圧力センサ |
JP2010175294A (ja) * | 2009-01-27 | 2010-08-12 | Ulvac Japan Ltd | 圧力センサ |
KR101117937B1 (ko) | 2009-07-13 | 2012-02-29 | 센싸타테크놀러지스코리아 주식회사 | 동파 방지 구조를 갖는 세라믹 압력센서 |
JP2014044115A (ja) * | 2012-08-27 | 2014-03-13 | Denso Corp | 圧力センサ |
WO2014188688A1 (ja) * | 2013-05-20 | 2014-11-27 | 株式会社デンソー | センサ装置 |
CN109931708A (zh) * | 2019-02-27 | 2019-06-25 | 珠海格力电器股份有限公司 | 供水系统及其加热控制方法、计算机可读存储介质 |
-
2006
- 2006-04-24 JP JP2006119302A patent/JP2007292547A/ja active Pending
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009096379A1 (ja) * | 2008-01-31 | 2009-08-06 | Eagle Industry Co., Ltd. | 圧力計測用加熱装置及び圧力計測装置 |
JP2010019663A (ja) * | 2008-07-10 | 2010-01-28 | Denso Corp | 圧力センサ |
JP2010175294A (ja) * | 2009-01-27 | 2010-08-12 | Ulvac Japan Ltd | 圧力センサ |
KR101117937B1 (ko) | 2009-07-13 | 2012-02-29 | 센싸타테크놀러지스코리아 주식회사 | 동파 방지 구조를 갖는 세라믹 압력센서 |
JP2014044115A (ja) * | 2012-08-27 | 2014-03-13 | Denso Corp | 圧力センサ |
WO2014188688A1 (ja) * | 2013-05-20 | 2014-11-27 | 株式会社デンソー | センサ装置 |
JP2015004667A (ja) * | 2013-05-20 | 2015-01-08 | 株式会社デンソー | センサ装置 |
CN109931708A (zh) * | 2019-02-27 | 2019-06-25 | 珠海格力电器股份有限公司 | 供水系统及其加热控制方法、计算机可读存储介质 |
CN109931708B (zh) * | 2019-02-27 | 2020-06-02 | 珠海格力电器股份有限公司 | 供水系统及其加热控制方法、计算机可读存储介质 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2007292547A (ja) | 圧力センサ、圧力センサの検査方法 | |
US20140341255A1 (en) | Device for measuring a pressure and a temperature of a fluid medium flowing in a duct | |
JP4268802B2 (ja) | 媒体に隣接する壁部と圧力センサモジュールとを有する装置 | |
US7992441B2 (en) | Pressure sensor for measuring pressure in a medium | |
JP3433124B2 (ja) | 熱式空気流量センサ | |
JP5530532B2 (ja) | 耐疲労性サーモウェル及び方法 | |
US7305878B2 (en) | Sensor equipment having sensing portion and method for manufacturing the same | |
US20060027025A1 (en) | Pressure sensor | |
JP6012515B2 (ja) | ガスセンサ | |
JP2000121474A (ja) | 自動車用センサの取付け構造及び半導体圧力センサ | |
US20110238281A1 (en) | Exhaust Gas Temperature Sensor Including Strain Relief and/or Anti-Vibration Sleeve | |
JP2003315193A (ja) | 圧力センサ | |
JP2008304232A (ja) | 吸入空気流量測定装置 | |
US6988399B1 (en) | Physical quantity detecting device having second lead conductors connected to the electrodes and extending to the circumference of the substrate | |
JP2007071856A (ja) | 自動車用温度センサー | |
JP2007309905A (ja) | ガス検出器 | |
JP4706444B2 (ja) | 圧力センサおよび圧力センサの取付構造 | |
JP2003533688A (ja) | 氷結耐性の圧力センサ | |
JP6606608B2 (ja) | 圧力センサ | |
US20090050481A1 (en) | Gas sensor with increased durability and reliability | |
US5228333A (en) | Pressure and heat-flow sensor for the combustion chamber of internal combustion engines | |
US11629047B2 (en) | Method for detecting contamination of a MEMS sensor element | |
US8413494B1 (en) | Burner pressure transducer | |
JP5579320B2 (ja) | 空気質量流量計 | |
JP2006258675A (ja) | 流量センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080625 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080701 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080829 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090507 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090703 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090728 |