JP2007289980A - Laser soldering equipment and laser soldering method - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide laser soldering equipment, wherein the temperature of each welding member is increased to enable laser soldering by stable heat input. <P>SOLUTION: With two prisms 4 arranged on the optical path of a laser beam 10, and with the one laser beam 10 split into two laser beams, welding members 6, 7 are irradiated with the laser beams respectively, for fusing and solidifying cream solder 8 to join the welding members to each other. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、接合部材にレーザ光を照射して、接合界面もしくはその近傍に供給された半田の温度を間接的に上昇させることで、半田を溶融、固化して接合部材同士を接合するレーザ半田付け装置、およびレーザ半田付け方法に関する。   The present invention irradiates a joining member with a laser beam and indirectly raises the temperature of the solder supplied to or near the joining interface, thereby melting and solidifying the solder to join the joining members together. The present invention relates to an attaching device and a laser soldering method.

近年、精密接合が要求される半田接合にレーザ半田付けが採用されている。例えば光ディスクドライブ装置の光ピックアップの製造において、光源を結合ベースに半田接合するのにレーザ半田付けが採用されている(例えば、特許文献1参照。)。   In recent years, laser soldering has been adopted for solder bonding that requires precision bonding. For example, in the manufacture of an optical pickup of an optical disk drive device, laser soldering is employed to solder a light source to a coupling base (see, for example, Patent Document 1).

レーザ半田付けは、各接合部材を予め所定の位置に調節した後に半田を供給し、その後レーザ照射を行って半田を溶融、固化して、接合部材同士を接合する方法である。図11に、従来のレーザ半田付け装置の模式図を示す。   Laser soldering is a method in which each joining member is adjusted to a predetermined position in advance and then the solder is supplied, and then laser irradiation is performed to melt and solidify the solder, thereby joining the joining members. FIG. 11 shows a schematic diagram of a conventional laser soldering apparatus.

図11に示すように、従来のレーザ半田付け装置は、レーザ光源1と鏡筒2とを備える。また、鏡筒2は、レーザ光源1からのレーザ光を平行光化する第1の平凸レンズ3と、第1の平凸レンズ3からのレーザ光10を集光する第2の平凸レンズ5を内包する。   As shown in FIG. 11, the conventional laser soldering apparatus includes a laser light source 1 and a lens barrel 2. The lens barrel 2 includes a first plano-convex lens 3 that collimates the laser light from the laser light source 1 and a second plano-convex lens 5 that condenses the laser light 10 from the first plano-convex lens 3. To do.

従来は、図11に示すように、接合部材6、7を予め所定の位置に調節した後に、接合界面近傍にクリーム半田8を塗布し、鏡筒2から出射されるレーザ光をクリーム半田8上に照射して、クリーム半田8を溶融、固化することで、接合部材6、7を接合していた。   Conventionally, as shown in FIG. 11, after the joining members 6 and 7 are adjusted to predetermined positions in advance, cream solder 8 is applied in the vicinity of the joining interface, and the laser light emitted from the lens barrel 2 is applied to the cream solder 8. The joint members 6 and 7 were joined by melting and solidifying the cream solder 8.

しかしながら、このようにクリーム半田に直接レーザ光を照射すると、クリーム半田は一般的にレーザ光の吸収率が高いため、急激に温度が上昇して、ボール半田の発生や、突沸による半田の接合部外への流れ出し、フラックスの飛散などの問題を引き起すおそれがある。   However, when the cream solder is directly irradiated with laser light in this way, the cream solder generally has a high absorption rate of the laser light, so the temperature rises abruptly, and ball solder is generated or solder joints due to bumping There is a risk of causing problems such as outflow and flux scattering.

そこで、接合部材にレーザ光を照射して、その入熱によりクリーム半田を溶融、固化するレーザ半田付けが提案されている。しかしながら、従来のレーザ半田付けでは、接合する部材のうちの一方にのみレーザ光を照射するため、各接合部材が均等に温まらず、温度に差異が発生する。そのため、クリーム半田の塗布状態によっては半田の濡れ性が悪くなり、未接合を引き起こすおそれがある。
特開2005−339767号公報
Therefore, laser soldering has been proposed in which a joining member is irradiated with a laser beam and cream solder is melted and solidified by the heat input. However, in conventional laser soldering, only one of the members to be joined is irradiated with laser light, so that each joining member does not warm evenly, resulting in a difference in temperature. Therefore, depending on the application state of the cream solder, the wettability of the solder may be deteriorated and unbonding may occur.
JP 2005-339767 A

本発明は、上記問題点に鑑み、レーザ光を照射して半田を溶融させ第一の接合部材と第二の接合部材を接合するレーザ半田付けにおいて、1本のレーザ光を複数のレーザ光に分割して、各接合部材の所定の位置にレーザ照射することにより、各接合部材の温度を上昇させることができ、安定した入熱によるレーザ半田付けが可能となるレーザ半田付け装置、およびレーザ半田付け方法を提供することを目的とする。   In view of the above-described problems, the present invention provides a laser beam for irradiating a plurality of laser beams in laser soldering by irradiating a laser beam to melt the solder and bonding the first bonding member and the second bonding member. A laser soldering apparatus and a laser solder capable of increasing the temperature of each joining member by dividing and irradiating a predetermined position of each joining member with a laser, and enabling laser soldering with stable heat input The purpose is to provide an attachment method.

本発明の請求項1記載のレーザ半田付け装置は、レーザ光を照射して半田を溶融させ第一の部材と第二の部材とを接合するレーザ半田付け装置であって、1つのレーザ光源と、前記レーザ光源から出射されたレーザ光を複数のレーザ光に分割するレーザ光分割手段と、前記分割された複数のレーザ光を前記第一の部材と前記第二の部材の所定の位置にそれぞれ集光させる集光手段とを備えたことを特徴とする。   The laser soldering apparatus according to claim 1 of the present invention is a laser soldering apparatus for irradiating a laser beam to melt the solder and joining the first member and the second member. Laser beam splitting means for splitting the laser beam emitted from the laser light source into a plurality of laser beams, and the plurality of split laser beams at predetermined positions of the first member and the second member, respectively. And a light collecting means for collecting light.

また、本発明の請求項2記載のレーザ半田付け装置は、請求項1記載のレーザ半田付け装置であって、レーザ光分割手段は、複数のプリズムであることを特徴とする。
また、本発明の請求項3記載のレーザ半田付け装置は、請求項2記載のレーザ半田付け装置であって、プリズムに入射されるレーザ光の光軸を法線とする平面内で前記プリズムを移動させる移動手段を備えたことを特徴とする。
A laser soldering apparatus according to claim 2 of the present invention is the laser soldering apparatus according to claim 1, wherein the laser beam splitting means is a plurality of prisms.
A laser soldering apparatus according to claim 3 of the present invention is the laser soldering apparatus according to claim 2, wherein the prism is disposed within a plane having the optical axis of laser light incident on the prism as a normal line. A moving means for moving is provided.

また、本発明の請求項4記載のレーザ半田付け装置は、請求項2もしくは3のいずれかに記載のレーザ半田付け装置であって、プリズムに入射されるレーザ光の光軸に対する前記プリズムの入射面の角度を調整する角度調整手段を備えたことを特徴とする。   A laser soldering apparatus according to claim 4 of the present invention is the laser soldering apparatus according to claim 2 or 3, wherein the incident of the prism with respect to the optical axis of the laser beam incident on the prism. An angle adjusting means for adjusting the angle of the surface is provided.

また、本発明の請求項5記載のレーザ半田付け装置は、請求項2ないし4のいずれかに記載のレーザ半田付け装置であって、プリズムに入射されるレーザ光の光軸を法線とする平面内で、前記光軸を中心として前記プリズムを回転させる回転手段を備えたことを特徴とする。   A laser soldering apparatus according to claim 5 of the present invention is the laser soldering apparatus according to any one of claims 2 to 4, wherein the optical axis of the laser beam incident on the prism is a normal line. Rotating means for rotating the prism around the optical axis in a plane is provided.

また、本発明の請求項6記載のレーザ半田付け方法は、レーザ光を照射して半田を溶融させ第一の部材と第二の部材とを接合するレーザ半田付け方法であって、1本のレーザ光を複数のレーザ光に分割し、前記分割されたレーザ光を前記第一の部材と前記第二の部材の所定の位置にそれぞれ集光させることを特徴とする。   The laser soldering method according to claim 6 of the present invention is a laser soldering method in which the first member and the second member are joined by irradiating a laser beam to melt the solder. The laser light is divided into a plurality of laser lights, and the divided laser lights are condensed at predetermined positions of the first member and the second member, respectively.

また、本発明の請求項7記載のレーザ半田付け方法は、請求項6記載のレーザ半田付け方法であって、少なくとも1つの部材のレーザ光を集光させる所定の位置に孔または溝が設けられていることを特徴とする。   The laser soldering method according to claim 7 of the present invention is the laser soldering method according to claim 6, wherein a hole or a groove is provided at a predetermined position for condensing the laser beam of at least one member. It is characterized by.

また、本発明の請求項8記載のレーザ半田付け方法は、請求項7記載のレーザ半田付け方法であって、孔または溝の角度をθとした場合、レーザ光のNAに対してNA<180−2θの関係を満たすことを特徴とする。   The laser soldering method according to claim 8 of the present invention is the laser soldering method according to claim 7, wherein NA <180 with respect to the NA of the laser beam when the angle of the hole or groove is θ. -2θ is satisfied.

本発明によれば、第一および第二の部材にレーザ照射するので、接合する各部材の温度を上昇させることができ、安定した入熱によるレーザ半田付けが可能となる。また、レーザ発光点から加工点までの間に、複数のプリズムを挿入することで1つのレーザ光源に対して複数の集光点を得ることができる。   According to the present invention, since the first and second members are irradiated with laser, the temperature of each member to be joined can be raised, and laser soldering with stable heat input becomes possible. Also, a plurality of condensing points can be obtained for one laser light source by inserting a plurality of prisms between the laser emission point and the processing point.

また、プリズムに入射されるレーザ光の光軸を法線とする平面内で各プリズムの移動が可能な構成とすることで、レーザ光の分割比を任意に決定でき、分割後の各レーザ光の集光点でのエネルギ比を調整することができる。   In addition, by adopting a configuration in which each prism can be moved within a plane whose normal is the optical axis of the laser light incident on the prism, the split ratio of the laser light can be arbitrarily determined, and each divided laser light The energy ratio at the light condensing point can be adjusted.

また、プリズムに入射されるレーザ光の光軸に対する各プリズムのレーザ光の入射面の角度を調整可能な構成とすることで、レーザ光の各プリズムへの入射角を調整することができ、分割後の各レーザ光の集光点位置ないし集光点間の間隔を調節することができる。   In addition, the angle of the laser light incident surface of each prism with respect to the optical axis of the laser light incident on the prism can be adjusted, so that the incident angle of the laser light to each prism can be adjusted. The condensing point position of each subsequent laser beam or the interval between the condensing points can be adjusted.

また、プリズムに入射されるレーザ光の光軸を法線とする平面内で、その光軸を中心として各プリズムの回転が可能な構成とすることで、分割後の各レーザ光の集光点位置を調節することができる。   In addition, it is possible to rotate each prism around the optical axis in a plane with the optical axis of the laser light incident on the prism as a normal line. The position can be adjusted.

このように、集光点位置や集光点間の間隔を調節することができるので、接合する部材の相対位置の変動によらず、適切な位置にレーザ光を照射することが可能となり、適切な半田接合が可能となる。   As described above, since the condensing point position and the interval between the condensing points can be adjusted, it becomes possible to irradiate the laser beam at an appropriate position regardless of the relative position of the member to be joined. Soldering is possible.

また、接合される部材のレーザ照射位置に孔または溝を設け、そこにレーザ光を照射して半田接合を行うことで、各部材の表面精度(表面粗さ)や素材によることなく、安定した入熱と半田の濡れ性を確保することが可能となり、適切な半田接合が可能となる。   In addition, a hole or groove is provided at the laser irradiation position of the member to be joined, and solder joining is performed by irradiating the laser beam to the hole, so that the surface accuracy (surface roughness) of each member and the material are stable. It is possible to ensure heat input and solder wettability, and appropriate solder bonding is possible.

また、孔または溝の角度をθとした場合、レーザ光のNA(図8を参照)に対してNA<180−2θの関係を満たすことで、孔または溝内で反射したレーザ光が再び孔または溝内の部材表面に当たるため、実質2回以上のレーザ照射効果を得ることができる。よって、レーザ出力の変動や、部材の表面精度(表面粗さ)、部材表面の材質によることなく、より安定的に部材にレーザ光の熱量を吸収させることができるため、半田不良を低減することができる。   Further, when the angle of the hole or groove is θ, the laser light reflected in the hole or groove is re-opened by satisfying the relationship of NA <180−2θ with respect to the NA of the laser light (see FIG. 8). Or since it hits the member surface in a groove | channel, the laser irradiation effect of 2 times or more can be acquired substantially. Therefore, it is possible to more stably absorb the heat amount of the laser beam in the member without depending on the fluctuation of the laser output, the surface accuracy (surface roughness) of the member, and the material of the member surface, thereby reducing solder defects. Can do.

以下、本発明の実施の形態におけるレーザ半田付け装置、およびレーザ半田付け方法について、図面を参照しながら説明する。図1は本実施の形態におけるレーザ半田付け装置の模式図である。また、図2は、図1に示すレーザ半田付け装置を側面から見た模式図である。   Hereinafter, a laser soldering apparatus and a laser soldering method according to embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic diagram of a laser soldering apparatus according to the present embodiment. FIG. 2 is a schematic view of the laser soldering apparatus shown in FIG. 1 as viewed from the side.

図1、2に示すように、当該レーザ半田付け装置は、レーザ光源1と鏡筒2とを備える。レーザ光源としては、例えばレーザチップ等を使用する。また、鏡筒2は、レーザ光源1からのレーザ光を平行光化する第1の平凸レンズ3と、第1の平凸レンズからのレーザ光10を分割するための2個のプリズム4と、各プリズム4からのレーザ光(平行光)をそれぞれ集光する第2の平凸レンズ5を内包する。これらレーザ光源1および鏡筒2内の光学部品は、分割されたレーザ光が第一および第二の部材である接合部材6、7のそれぞれの所定の位置に照射されるように配置する。   As shown in FIGS. 1 and 2, the laser soldering apparatus includes a laser light source 1 and a lens barrel 2. For example, a laser chip or the like is used as the laser light source. The lens barrel 2 includes a first plano-convex lens 3 that collimates the laser light from the laser light source 1, two prisms 4 for dividing the laser light 10 from the first plano-convex lens, A second plano-convex lens 5 that condenses laser light (parallel light) from the prism 4 is included. The optical components in the laser light source 1 and the lens barrel 2 are arranged so that the divided laser light is irradiated to the predetermined positions of the joining members 6 and 7 as the first and second members.

このように、本実施の形態では、レーザ光源から出射されたレーザ光を複数のレーザ光に分割するレーザ光分割手段として2個のプリズム4を用いる。また、2個のプリズム4により分割された複数のレーザ光を接合部材6、7の所定の位置にそれぞれ集光させる集光手段として平凸レンズ5を用いる。   As described above, in this embodiment, the two prisms 4 are used as the laser beam dividing means for dividing the laser beam emitted from the laser light source into a plurality of laser beams. Further, the plano-convex lens 5 is used as a condensing means for condensing a plurality of laser beams divided by the two prisms 4 at predetermined positions of the joining members 6 and 7, respectively.

また、プリズムの接合面9は、プリズム4に入射されるレーザ光の光軸に対して平行である。このように、本実施の形態では、2個のプリズムがレーザ光路上に配置されており、それらのプリズムによりレーザ光を2本のレーザ光に分割する。   Further, the joint surface 9 of the prism is parallel to the optical axis of the laser light incident on the prism 4. Thus, in this embodiment, two prisms are arranged on the laser light path, and the laser light is divided into two laser lights by these prisms.

なお、ここでは図2に示すように三角柱のプリズムを使用する場合を例に説明するが、無論、プリズムの形状は三角柱に限定されるものではなく、例えば、三角錐〜多角錘のプリズムなどを用いてもよい。また、2枚の平凸レンズを用いる場合について説明するが、これに限るものではない。   Here, the case where a triangular prism is used as shown in FIG. 2 will be described as an example, but of course, the shape of the prism is not limited to a triangular prism. For example, a prism of a triangular pyramid to a polygonal pyramid is used. It may be used. Moreover, although the case where two plano-convex lenses are used will be described, the present invention is not limited to this.

また、2個のプリズムを用いて1本のレーザ光を2本のレーザ光に分割し、2つの接合部材の各々に照射する場合について説明するが、接合部材が2つ以上ある場合や、1つの接合部材に対して複数本のレーザ光を照射するような場合には、2個以上のプリズムを設けて1本のレーザ光を2本以上のレーザ光に分割すればよい。   Further, a case where one laser beam is divided into two laser beams using two prisms and irradiated onto each of the two bonding members will be described. However, when there are two or more bonding members, In the case where a plurality of laser beams are irradiated to one joining member, two or more prisms may be provided to divide one laser beam into two or more laser beams.

以下、当該レーザ半田付け装置を用いた半田接合について説明する。まず、接合部材6、7を予め所定の位置に調節した後に、接合界面近傍にクリーム半田8を塗布し、鏡筒2から出射される2本のレーザ光を各接合部材6、7の所定の位置に照射する(接合部材6と接合部材7とクリーム半田8の位置関係については、図5を参照。)。なお、部材を接合するための接合材としての半田はクリーム半田に限るものではない。   Hereinafter, solder bonding using the laser soldering apparatus will be described. First, after adjusting the joining members 6 and 7 to a predetermined position in advance, the cream solder 8 is applied in the vicinity of the joining interface, and two laser beams emitted from the lens barrel 2 are applied to the predetermined joining members 6 and 7. Irradiate the position (see FIG. 5 for the positional relationship of the bonding member 6, the bonding member 7, and the cream solder 8). Note that the solder as a bonding material for bonding the members is not limited to cream solder.

その際、レーザ光源1から出射されたレーザ光は鏡筒2内において、第1の平凸レンズ3により平行光10となって各プリズム4に入射され、各プリズム4により2本の平行光に分割される。第2の平凸レンズ5は、この2本の平行光をそれぞれ集光して接合部材6、7の所定の位置に照射する。   At this time, the laser light emitted from the laser light source 1 enters the prism 4 as parallel light 10 by the first plano-convex lens 3 in the lens barrel 2, and is split into two parallel light by each prism 4. Is done. The second plano-convex lens 5 collects the two parallel lights and irradiates them at predetermined positions of the joining members 6 and 7.

このように、接合される部材の各々にレーザ光を集光することで、接合部材がそれぞれ加熱し、熱伝導により半田に熱が伝わって溶融、固化されて、接合部材6、7が接合される。なお、ここでは接合界面近傍にクリーム半田を供与する場合について説明したが、無論、接合界面にクリーム半田が供与されている場合も同様に実施できる。   In this way, by condensing the laser beam on each of the members to be joined, the joining members are heated, and heat is transferred to the solder by heat conduction to melt and solidify, and the joining members 6 and 7 are joined. The Although the case where cream solder is provided near the joint interface has been described here, it goes without saying that the case where cream solder is provided at the joint interface can also be implemented in the same manner.

以上のように、レーザ発光点から加工点までの間に、2個のプリズム4を挿入することで1つのレーザ光源1に対して複数の集光点を得ることができる。そして、接合部材6、7の各々に同時にレーザ照射するので、各接合部材6、7の温度を同時に上昇させることができ、安定した入熱によるレーザ半田付けが可能となる。   As described above, a plurality of condensing points can be obtained for one laser light source 1 by inserting the two prisms 4 between the laser emission point and the processing point. Since each of the joining members 6 and 7 is irradiated with laser simultaneously, the temperature of each joining member 6 and 7 can be raised simultaneously, and laser soldering with stable heat input becomes possible.

続いて、本実施の形態のレーザ半田付け装置におけるレーザ光の分割比の調整について、図3を用いて説明する。図3は、本実施の形態のレーザ半田付け装置において、プリズムに入射されるレーザ光の光軸を法線とする平面内で各プリズムを移動させた場合の模式図である。   Next, adjustment of the laser beam division ratio in the laser soldering apparatus of the present embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a schematic view of the laser soldering apparatus according to the present embodiment in a case where each prism is moved within a plane whose normal is the optical axis of the laser light incident on the prism.

当該レーザ半田付け装置は、プリズムに入射されるレーザ光の光軸を法線とする平面内で各プリズムを移動させる機構(移動手段:図示せず)を備えており、該平面内で2個の三角柱プリズムを移動させることにより、それぞれのプリズムへのレーザ光の照射面積比を変えることができ、レーザ光の分割比を任意に決定できる。   The laser soldering apparatus includes a mechanism (moving means: not shown) that moves each prism within a plane whose normal is the optical axis of the laser beam incident on the prism. By moving the triangular prisms, it is possible to change the ratio of the irradiation area of the laser beam to each prism and arbitrarily determine the split ratio of the laser beam.

図3に示すように、各プリズム4は一体となって、プリズム4に入射されるレーザ光の光軸を法線とする平面上を平行移動できる。この平行移動により、プリズム4に入射されるレーザ光10の光軸に対するプリズムの接合面9の位置を移動させることができ、レーザ光の分割比を調整できる。レーザ光の分割比はレーザ光のエネルギ比に対応するため、このプリズムの位置調節により、分割後の各レーザ光の集光点でのエネルギ比を調節することができる。   As shown in FIG. 3, each prism 4 is integrated and can be translated on a plane whose normal is the optical axis of the laser light incident on the prism 4. By this parallel movement, the position of the joint surface 9 of the prism with respect to the optical axis of the laser beam 10 incident on the prism 4 can be moved, and the division ratio of the laser beam can be adjusted. Since the split ratio of the laser beam corresponds to the energy ratio of the laser beam, the energy ratio at the condensing point of each laser beam after splitting can be adjusted by adjusting the position of the prism.

このようにレーザ光10の光軸を法線とする平面内で各プリズムの移動が可能な構成とすることで、接合部材の熱容量を考慮してレーザ光の分割比を調節し、各接合部材の温度変化量または最高到達温度を同一もしくは略同一にすることができ、各接合部材への半田の濡れ性が同等もしくは略同等となり、半田不良を低減することができる。   In this way, each prism can be moved within a plane having the optical axis of the laser beam 10 as a normal line, so that the split ratio of the laser beam is adjusted in consideration of the heat capacity of the bonding member, and each bonding member The amount of change in temperature or the maximum reached temperature can be made the same or substantially the same, and the wettability of the solder to each joining member becomes equivalent or substantially the same, so that solder defects can be reduced.

続いて、本実施の形態のレーザ半田付け装置における分割後の各レーザ光の集光点の位置ないし各集光点間の間隔の調整について説明する。接合部材にレーザ光を照射して接合部材同士を接合するレーザ半田付けでは、接合部材を所定の位置に調節する精度や接合部材の仕上がり精度に起因して、レーザ照射位置がばらつき、半田が十分な熱量を吸収することができず、半田の未溶融を引き起すおそれがある。   Next, adjustment of the position of the condensing point of each laser beam after the division or the interval between the condensing points in the laser soldering apparatus of the present embodiment will be described. In laser soldering that joins joining members by irradiating them with laser light, the laser irradiation position varies due to the accuracy of adjusting the joining member to a predetermined position and the finishing accuracy of the joining member, and the solder is sufficient. Cannot absorb a sufficient amount of heat and may cause unmelting of the solder.

例えば、光ディスクドライブ装置の光ピックアップの製造において光源を結合ベースに半田接合する場合、各接合部材の仕上がり精度、特にLD素子の貼り付け位置精度が低いと、LD素子の発光位置を適切な位置に調節した場合に、結合ベースに対する光源の仮固定位置にばらつきが発生し、半田を溶融させるためのレーザ光を最適な位置に照射することができず、半田不良を引き起こすおそれがある。   For example, when a light source is soldered to a coupling base in the manufacture of an optical pickup of an optical disk drive device, if the finishing accuracy of each bonding member, particularly the bonding position accuracy of the LD element is low, the light emitting position of the LD element is set to an appropriate position When adjusted, there is a variation in the temporary fixing position of the light source with respect to the coupling base, and the laser beam for melting the solder cannot be irradiated to the optimum position, which may cause solder failure.

そこで、この問題を解決するために、本実施の形態におけるレーザ半田付け装置では、分割後の各レーザ光の集光点の位置ないし集光点間の間隔を調整可能とすることで、接合部材の相対位置が変動しても、容易に適切な位置にレーザ光を照射することができるようにする。   Therefore, in order to solve this problem, in the laser soldering apparatus according to the present embodiment, the position of the condensing point of each laser beam after division or the interval between the condensing points can be adjusted, so that the joining member Even if the relative position of the laser beam fluctuates, it is possible to easily irradiate the laser beam to an appropriate position.

まず、プリズム4に入射されるレーザ光の光軸に対する各プリズム4のレーザ光の入射面の角度を調整する場合について、図4、5を用いて説明する。図4は、本実施の形態のレーザ半田付け装置において、プリズムに入射されるレーザ光の光軸に対する各プリズムのレーザ光の入射面の角度を調整した場合の模式図である。また、図5は各プリズムのレーザ光の入射面の角度を調整することによる分割後の各レーザ光の集光点の移動を示す模式図であり、レーザ照射面を上方から見ている。   First, the case of adjusting the angle of the laser light incident surface of each prism 4 with respect to the optical axis of the laser light incident on the prism 4 will be described with reference to FIGS. FIG. 4 is a schematic diagram when the angle of the laser beam incident surface of each prism with respect to the optical axis of the laser beam incident on the prism is adjusted in the laser soldering apparatus of the present embodiment. FIG. 5 is a schematic diagram showing the movement of the condensing point of each laser beam after splitting by adjusting the angle of the laser beam incident surface of each prism, and the laser irradiation surface is viewed from above.

当該レーザ半田付け装置は、プリズムに入射されるレーザ光の光軸に対する各プリズムのレーザ光の入射面の角度を調整する機構(角度調整手段:図示せず)を備えており、レーザ光の各プリズムへの入射角を調整することができ、分割後の各レーザ光の集光点の位置ないし集光点間の間隔を調節することができる。   The laser soldering apparatus includes a mechanism (angle adjusting means: not shown) that adjusts the angle of the laser light incident surface of each prism with respect to the optical axis of the laser light incident on the prism. The incident angle to the prism can be adjusted, and the position of the condensing point of each laser beam after the division or the interval between the condensing points can be adjusted.

図4に示すように、プリズム4の各々は、接合面9に対して垂直な軸11を中心として回転することができ、レーザ光10の光軸に対する各プリズム4の入射面の角度(倒れ角)を調整することで、各プリズム4から出射される2本のレーザ光の平凸レンズ5への入射角を調節することができる。平凸レンズ5への入射角は、平凸レンズ5射出後のレーザ光の集光点の位置を決定するため、各プリズム4の倒れ角を調整することで、図5に示すように、接合面9に平行な方向13に対して各レーザ光の集光点12の位置を調節することができる。また、各レーザ光の集光点12の位置を調節することで、集光点12間の間隔を調節することができる。   As shown in FIG. 4, each of the prisms 4 can rotate around an axis 11 perpendicular to the bonding surface 9, and the angle (tilt angle) of the incident surface of each prism 4 with respect to the optical axis of the laser beam 10. ) Can be adjusted to adjust the incident angle of the two laser beams emitted from each prism 4 to the plano-convex lens 5. The incident angle to the plano-convex lens 5 is determined by adjusting the tilt angle of each prism 4 in order to determine the position of the condensing point of the laser light after exiting the plano-convex lens 5, as shown in FIG. The position of the condensing point 12 of each laser beam can be adjusted with respect to the direction 13 parallel to. Moreover, the space | interval between the condensing points 12 can be adjusted by adjusting the position of the condensing point 12 of each laser beam.

このようにレーザ光10の光軸に対する各プリズムのレーザ光の入射面の角度を調整可能な構成とすることで、レーザ光の各プリズムへの入射角を調整することができ、分割後の各レーザ光の集光点の位置ないし集光点間の間隔を調節することができる。   In this way, by adopting a configuration in which the angle of the laser beam incident surface of each prism with respect to the optical axis of the laser beam 10 can be adjusted, the incident angle of the laser beam to each prism can be adjusted. The position of the condensing point of the laser beam or the interval between the condensing points can be adjusted.

続いて、プリズムに入射されるレーザ光の光軸を法線とする平面内で、その光軸を中心として各プリズムを回転させる場合について、図6、7を用いて説明する。図6は、本実施の形態のレーザ半田付け装置において、プリズムに入射されるレーザ光の光軸を中心として各プリズムを一体に回転させた場合の模式図であり、プリズムを上方から見ている。また、図7はプリズムに入射されるレーザ光の光軸を中心として各プリズムを一体に回転させることによる分割後の各レーザ光の集光点の移動を示す模式図であり、レーザ照射面を上方から見ている。   Next, a case where each prism is rotated around the optical axis in a plane having the optical axis of laser light incident on the prism as a normal line will be described with reference to FIGS. FIG. 6 is a schematic view of the laser soldering apparatus according to the present embodiment when the prisms are integrally rotated around the optical axis of the laser light incident on the prism, and the prism is viewed from above. . FIG. 7 is a schematic diagram showing movement of the condensing point of each laser beam after splitting by rotating each prism integrally around the optical axis of the laser beam incident on the prism. Seen from above.

当該レーザ半田付け装置は、プリズムに入射されるレーザ光の光軸を法線とする平面内で、その光軸を中心として各プリズムを回転させる機構(回転手段:図示せず)を備えており、分割後の各レーザ光の集光点の位置を調節することができる。   The laser soldering apparatus includes a mechanism (rotating means: not shown) that rotates each prism around the optical axis in a plane with the optical axis of the laser light incident on the prism as a normal line. The position of the condensing point of each divided laser beam can be adjusted.

図6に示すように、各プリズム4は一体となって、レーザ光10の光軸14を中心として回転方向15へ回転することができる。そのプリズムの回転量を調節することで、各プリズム4へのレーザ光10の入射位置が変化し、平凸レンズ5への分割後の各レーザ光の入射位置が変化し、レーザ光の曲がり位置が変化する。よって、図7に示すように、分割後の各レーザ光の集光点12は、プリズムの回転量に応じて、レーザ光10の光軸14を中心として方向16へ移動する。   As shown in FIG. 6, the prisms 4 can be rotated together in the rotation direction 15 around the optical axis 14 of the laser light 10. By adjusting the amount of rotation of the prism, the incident position of the laser beam 10 on each prism 4 changes, the incident position of each laser beam after splitting on the plano-convex lens 5 changes, and the bending position of the laser beam changes. Change. Therefore, as shown in FIG. 7, the condensing point 12 of each divided laser beam moves in the direction 16 about the optical axis 14 of the laser beam 10 according to the amount of rotation of the prism.

このようにレーザ光10の光軸を法線とする平面内で、レーザ光10の光軸を中心として各プリズムの回転が可能な構成とすることで、分割後の各レーザ光の集光点位置を調節することができる。   In this way, the prisms can be rotated around the optical axis of the laser beam 10 in a plane having the optical axis of the laser beam 10 as a normal line, so that the condensing points of the divided laser beams can be obtained. The position can be adjusted.

以上のように、本実施の形態によれば、分割後の各レーザ光の集光点の位置ないし集光点間の間隔を調節することができるので、接合部材の相対位置の変動によらず、適切な位置にレーザ光を照射することが可能となり、適切な半田接合が可能となる。したがって、接合部材の相互位置を調節した後に半田接合する場合であっても、常に最適な位置にレーザ光を照射することが可能となり、半田不良を低減することができる。   As described above, according to the present embodiment, the position of the condensing point of each laser beam after the division or the interval between the condensing points can be adjusted. Therefore, it is possible to irradiate a laser beam at an appropriate position, and an appropriate solder joint is possible. Therefore, even when solder bonding is performed after adjusting the mutual position of the bonding members, it is possible to always irradiate the laser beam at the optimum position, and to reduce solder defects.

続いて、接合部材の所定のレーザ照射位置に孔または溝を設けて、その孔または溝へレーザ光を照射する場合について説明する。図8は、本実施の形態における接合部材の接合断面の模式図である。   Next, a case where a hole or groove is provided at a predetermined laser irradiation position of the bonding member and the hole or groove is irradiated with laser light will be described. FIG. 8 is a schematic diagram of a joining cross section of the joining member in the present embodiment.

図8に示すように、接合部材6のレーザ照射位置に孔または溝17を設け、接合部材表面に対して垂直にレーザ光を照射する。孔または溝17を設けることにより、その孔または溝17内に照射されたレーザ光は奥方向へ反射されていき、その孔または溝17内で多重反射するので、接合部材の表面状態ないし材質に関係なく、接合部材6に一定の割合でレーザ光を吸収させることができ、半田溶融時の加熱不足や加熱のしすぎを防ぐことが可能となり、半田不良を低減することができる。   As shown in FIG. 8, a hole or groove 17 is provided at the laser irradiation position of the bonding member 6 and the laser beam is irradiated perpendicularly to the surface of the bonding member. By providing the hole or groove 17, the laser light irradiated in the hole or groove 17 is reflected in the back direction, and multiple reflections are made in the hole or groove 17. Regardless, the joining member 6 can absorb laser light at a constant rate, and it becomes possible to prevent insufficient heating or excessive heating during melting of the solder, thereby reducing solder defects.

なお、孔を設けるのか、溝を設けるのかの選択は、使用するレーザ光のスポット形状によって決定すればよい。例えば、スポット形状が長方形であれば、孔形状よりも溝形状の方が利得が高くなり、好適である。また、孔または溝の大きさは、孔または溝内でレーザ光を多重反射させることを考慮すると、レーザ光のスポット径に対して同等または小さくしたほうが好適である。また、溝の方向は、溝内にレーザ光が照射されるように、スポット形状に合わせる。   The selection of whether to provide a hole or a groove may be determined according to the spot shape of the laser beam to be used. For example, if the spot shape is rectangular, the groove shape is more preferable than the hole shape because the gain is higher. Further, the size of the hole or groove is preferably equal to or smaller than the spot diameter of the laser light in consideration of the multiple reflection of the laser light in the hole or groove. The direction of the groove is adjusted to the spot shape so that the laser beam is irradiated into the groove.

また、孔または溝の形状を三角形状にする場合には、図8に示すように、孔または溝17の角度をθとすると、レーザ光のNAに対してNA<180−2θの関係を満たすことが好適である。なお、本発明では、図8に示すように、平凸レンズ5により集光されたレーザ光の集光する角度をNAとする。   Further, when the hole or groove shape is triangular, as shown in FIG. 8, if the angle of the hole or groove 17 is θ, the relationship NA <180−2θ with respect to the NA of the laser beam is satisfied. Is preferred. In the present invention, as shown in FIG. 8, the angle at which the laser beam collected by the plano-convex lens 5 is collected is NA.

NA<180−2θの関係を満たすことで、孔または溝内に照射されたレーザ光は奥方向へ反射されていき、孔または溝内で反射したレーザ光が孔または溝内の異なる部材表面領域に当たっていくため、実質2回以上のレーザ照射効果を得ることができる。例えば、図9に示すように、NA=180−θの場合、反射したレーザ光は、異なる部材表面領域に当たることなく孔または溝17の外部へと導かれてしまう。   By satisfying the relationship of NA <180-2θ, the laser light irradiated in the hole or groove is reflected in the back direction, and the laser light reflected in the hole or groove has different member surface regions in the hole or groove. Therefore, it is possible to obtain a laser irradiation effect that is substantially twice or more. For example, as shown in FIG. 9, when NA = 180−θ, the reflected laser beam is guided to the outside of the hole or groove 17 without hitting a different member surface region.

複数回のレーザ光の反射(複数回のレーザ光の吸収)により、レーザ出力の変動や、部材の表面精度(表面粗さ)、部材表面の材質によることなく、より安定的に部材にレーザ光の熱量を吸収させることができるため、半田不良を低減することができる。なお、NAに対するθの角度がより小さいほうが、奥方向へレーザ光が反射されるため、吸収効率を上げることが可能となる。   Multiple times of laser light reflection (absorption of multiple times of laser light) makes it possible to more stably apply laser light to a member without depending on fluctuations in laser output, surface accuracy (surface roughness) of the member, or material of the member surface. Since the amount of heat can be absorbed, solder defects can be reduced. Note that, when the angle of θ with respect to NA is smaller, the laser beam is reflected in the back direction, so that the absorption efficiency can be increased.

また、レーザ照射位置に孔または溝を設けることで、半田溶着部付近の非常に局所的な加熱が可能となり、熱ひずみや熱変形の影響を低減することが可能となり、高精度の半田接合をすることができる。   In addition, by providing a hole or groove at the laser irradiation position, it becomes possible to perform very local heating in the vicinity of the solder welded portion, and it is possible to reduce the influence of thermal strain and thermal deformation. can do.

また、レーザ照射位置に孔または溝を設けることで、接合部材のレーザ光の吸収率が上昇し、孔または溝を設けない場合と比較して、低いエネルギでの半田溶融が可能となる。よって、レーザ光源として使用するレーザチップなどの経年劣化を最小限にすることができる。   In addition, by providing the hole or groove at the laser irradiation position, the laser beam absorption rate of the bonding member is increased, and solder melting can be performed with lower energy than in the case where the hole or groove is not provided. Therefore, it is possible to minimize deterioration over time of a laser chip or the like used as a laser light source.

以上のように、接合される部材の所定のレーザ照射位置に孔または溝を設け、そこにレーザ光を照射して半田接合を行うことで、各接合部材の表面精度(表面粗さ)や素材によることなく、安定した入熱と半田の濡れ性を確保することが可能となり、適切な半田接合が可能となる。   As described above, a hole or groove is provided at a predetermined laser irradiation position of a member to be bonded, and laser bonding is performed on the hole or groove to perform surface bonding (surface roughness) and material of each bonding member. Therefore, stable heat input and solder wettability can be ensured, and appropriate solder bonding is possible.

なお、ここでは接合部材6にのみ孔または溝を設ける場合について説明したが、いずれの接合部材に孔または溝を設けるかは、使用する接合部材の材質やクリーム半田の塗布位置等の条件によって任意に決定することができ、少なくとも1つ以上の接合部材に孔または溝を設ければよい。   Here, the case where the hole or groove is provided only in the joining member 6 has been described, but it is optional depending on conditions such as the material of the joining member to be used and the application position of the cream solder. It is sufficient to provide a hole or groove in at least one or more joining members.

また、ここでは三角形状の孔または溝を例に説明したが、三角形状に限るものではなく、四角、多角、U字型などの形状でもよく、孔または溝の内部でレーザ光が多重反射する形状であればよい。例えば、図10に、四角形状の孔または溝を設けた場合の接合断面を示す。   In addition, although the triangular hole or groove has been described as an example here, the shape is not limited to a triangular shape, and may be a square, polygonal, U-shaped, or the like, and laser light is multiply reflected inside the hole or groove. Any shape can be used. For example, FIG. 10 shows a bonding cross section in the case where a square hole or groove is provided.

本発明にかかるレーザ半田付け装置、およびレーザ半田付け方法によれば、安定した入熱によるレーザ半田付けが可能となり、例えば光ディスクドライブ装置の光ピックアップの製造において光源を結合ベースに半田接合する場合など、精密接合が要求される半田接合に有用である。   According to the laser soldering apparatus and the laser soldering method of the present invention, it is possible to perform laser soldering with stable heat input. For example, in manufacturing an optical pickup of an optical disc drive apparatus, a light source is soldered to a coupling base. It is useful for solder joints that require precision joining.

本発明の実施の形態におけるレーザ半田付け装置の模式図Schematic diagram of laser soldering apparatus in an embodiment of the present invention 本発明の実施の形態におけるレーザ半田付け装置の側面の模式図Schematic diagram of a side surface of a laser soldering apparatus according to an embodiment of the present invention 本発明の実施の形態におけるプリズムの平行移動を説明するための模式図The schematic diagram for demonstrating the parallel displacement of the prism in embodiment of this invention 本発明の実施の形態におけるプリズムの入射面の角度調整を説明するための模式図The schematic diagram for demonstrating angle adjustment of the entrance plane of the prism in embodiment of this invention 本発明の実施の形態におけるプリズムの入射面の角度調整によるレーザ光の集光点移動を説明するための模式図Schematic diagram for explaining converging point movement of laser light by adjusting the angle of the incident surface of the prism in the embodiment of the present invention 本発明の実施の形態におけるプリズムの回転を説明するための模式図The schematic diagram for demonstrating rotation of the prism in embodiment of this invention 本発明の実施の形態におけるプリズムの回転によるレーザ光の集光点移動を説明するための模式図The schematic diagram for demonstrating the condensing point movement of the laser beam by rotation of the prism in embodiment of this invention 本実施の形態における接合部材の接合断面の模式図Schematic diagram of the joining cross section of the joining member in the present embodiment 本実施の形態における接合部材の接合断面の模式図Schematic diagram of the joining cross section of the joining member in the present embodiment 本実施の形態における接合部材の接合断面の模式図Schematic diagram of the joining cross section of the joining member in the present embodiment 従来のレーザ半田付け装置の模式図Schematic diagram of conventional laser soldering equipment

符号の説明Explanation of symbols

1 レーザ光源
2 鏡筒
3、5 平凸レンズ
4 プリズム
6、7 接合部材
8 クリーム半田
9 接合面
10 分割前のレーザ光(平行光)
11 回転軸
12 集光点
13、16 集光点の移動方向
14 分割前のレーザ光の光軸
15 回転方向
17 孔または溝

DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Laser light source 2 Lens tube 3, 5 Plano-convex lens 4 Prism 6, 7 Joining member 8 Cream solder 9 Joining surface 10 Laser beam (parallel light) before division | segmentation
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Rotating shaft 12 Condensing point 13, 16 Moving direction of condensing point 14 Optical axis of laser beam before division 15 Rotating direction 17 Hole or groove

Claims (8)

レーザ光を照射して半田を溶融させ第一の部材と第二の部材とを接合するレーザ半田付け装置であって、1つのレーザ光源と、前記レーザ光源から出射されたレーザ光を複数のレーザ光に分割するレーザ光分割手段と、前記分割された複数のレーザ光を前記第一の部材と前記第二の部材の所定の位置にそれぞれ集光させる集光手段とを備えたことを特徴とするレーザ半田付け装置。   A laser soldering apparatus for irradiating a laser beam to melt a solder to join a first member and a second member, wherein one laser light source and a plurality of laser beams emitted from the laser light source A laser beam splitting unit that splits the beam into light; and a focusing unit that collects the divided laser beams at predetermined positions of the first member and the second member, respectively. Laser soldering device. レーザ光分割手段は、複数のプリズムであることを特徴とする請求項1記載のレーザ半田付け装置。   2. The laser soldering apparatus according to claim 1, wherein the laser beam splitting means is a plurality of prisms. プリズムに入射されるレーザ光の光軸を法線とする平面内で前記プリズムを移動させる移動手段を備えたことを特徴とする請求項2記載のレーザ半田付け装置。   3. The laser soldering apparatus according to claim 2, further comprising moving means for moving the prism within a plane having the normal axis of the laser beam incident on the prism. プリズムに入射されるレーザ光の光軸に対する前記プリズムの入射面の角度を調整する角度調整手段を備えたことを特徴とする請求項2もしくは3のいずれかに記載のレーザ半田付け装置。   4. The laser soldering apparatus according to claim 2, further comprising angle adjusting means for adjusting an angle of an incident surface of the prism with respect to an optical axis of laser light incident on the prism. プリズムに入射されるレーザ光の光軸を法線とする平面内で、前記光軸を中心として前記プリズムを回転させる回転手段を備えたことを特徴とする請求項2ないし4のいずれかに記載のレーザ半田付け装置。   5. The rotating device according to claim 2, further comprising a rotating unit configured to rotate the prism around the optical axis in a plane having a normal to the optical axis of the laser beam incident on the prism. Laser soldering equipment. レーザ光を照射して半田を溶融させ第一の部材と第二の部材とを接合するレーザ半田付け方法であって、1本のレーザ光を複数のレーザ光に分割し、前記分割されたレーザ光を前記第一の部材と前記第二の部材の所定の位置にそれぞれ集光させることを特徴とするレーザ半田付け方法。   A laser soldering method for joining a first member and a second member by irradiating a laser beam to melt the solder, dividing one laser beam into a plurality of laser beams, and dividing the divided laser beams A laser soldering method comprising condensing light at predetermined positions of the first member and the second member, respectively. 少なくとも1つの部材のレーザ光を集光させる所定の位置に孔または溝が設けられていることを特徴とする請求項6記載のレーザ半田付け方法。   7. The laser soldering method according to claim 6, wherein a hole or a groove is provided at a predetermined position for condensing the laser beam of at least one member. 孔または溝の角度をθとした場合、レーザ光のNAに対してNA<180−2θの関係を満たすことを特徴とする請求項7記載のレーザ半田付け方法。

8. The laser soldering method according to claim 7, wherein when the angle of the hole or groove is θ, the relationship NA <180−2θ is satisfied with respect to the NA of the laser beam.

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