JP2007283493A - 吸着固定用シートの製造方法 - Google Patents
吸着固定用シートの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007283493A JP2007283493A JP2006109739A JP2006109739A JP2007283493A JP 2007283493 A JP2007283493 A JP 2007283493A JP 2006109739 A JP2006109739 A JP 2006109739A JP 2006109739 A JP2006109739 A JP 2006109739A JP 2007283493 A JP2007283493 A JP 2007283493A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheet
- porous
- adsorption
- porous sheet
- coating layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Molding Of Porous Articles (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Abstract
【解決手段】 被吸着部材の吸引固定に用い、かつ少なくとも多孔質シート12を含み構成される吸着固定用シート11の製造方法であって、プラスティック粒子を溶媒に分散させた分散液を作製する工程と、前記分散液を多孔質シート12上に塗布して塗布層を形成する工程と、前記塗布層上にフィルムを載置する工程と、前記塗布層を焼成する工程と、前記塗布層に含まれる前記溶媒を除去して、前記プラスティック粒子からなる粒子層13を形成する工程とを含むことを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
即ち、本発明に係る吸着固定用シートの製造方法によれば、分散液を多孔質シート上に直接塗布して塗布層を形成した後、この塗布層上にフィルムを載置するだけで積層物が得られる。この為、従来の吸着固定用シートの製造方法と比較して、製造ラインを簡略化することができ、製造コストの低減が図れる。また、前記方法で得られる吸着固定用シートは、多孔質シート上にプラスティック粒子を含み構成される粒子層を形成するので、従来の吸着固定用シートよりも強度、表面平滑性、及び剥離性に優れている。更に、超高分子量ポリエチレンを多孔質シートの材料に用いた場合には、超高分子量ポリエチレンからなるブロック状多孔質体を切削して多孔質シートを作製するので、連続的で、かつ長尺の吸着固定用シートも製造できる。さらに、切削の際の厚さを任意に変更できるので、厚手品の吸着固定用シートの製造も可能である。
UHMWPE粉末(分子量500万、融点135℃、平均粒子径180μm)を内径500mm、高さ1000mmの金型に充填し、これを金属製耐圧容器に入れ、容器内を約4×103Paにまで減圧した。
UHMWPE粉末(分子量500万、融点135℃、平均粒子径180μm)を内径500mm、高さ1000mmの金型に充填し、これを金属製耐圧容器に入れ、容器内を約4×103Paにまで減圧した。
以上のようにして作製した各吸着固定用シートについて、表面粗さ及び通気性をそれぞれ測定した。それらの結果を下記表1に示す。尚、測定方法及び測定条件は以下の通りである。
吸着固定用シートの表面粗さは、触針式表面粗さ計((株)東京精密、サーフコム550A)を用いて測定した。測定条件は、先端径R250μm、速度0.3mm/sec、測定長4mmとした。
各吸着固定用シートの厚さは、1/1000マイクロメータを用いて測定した。
各吸着固定用シートの通気性は、フラジール試験機(東洋精機(株)製)を用いて測定した。また、通気性は、各吸着固定用シート全体の厚み方向に対する値である。
12 多孔質シート
13 粒子層
14 塗布層
15 塗工治具
16 フィルム
Claims (4)
- 被吸着部材の吸引固定に用い、かつ少なくとも多孔質シートを含み構成される吸着固定用シートの製造方法であって、
プラスティック粒子を溶媒に分散させた分散液を作製する工程と、
前記分散液を多孔質シート上に直接塗布して塗布層を形成する工程と、
前記塗布層上にフィルムを載置する工程と、
前記塗布層を焼成する工程と、
前記塗布層に含まれる前記溶媒を除去して、前記プラスティック粒子からなる粒子層を形成する工程とを含むことを特徴とする吸着固定用シートの製造方法。 - 前記プラスティック粒子として、平均粒子径が100μm以下のものを使用することを特徴とする請求項1に記載の吸着固定用シートの製造方法。
- 前記多孔質シートは、
超高分子量ポリエチレン粉末を金型に充填し、所定条件で焼結してブロック状多孔質体を作製する工程と、
前記ブロック状多孔質体を所定厚さのシート状に切削して、多孔質シートを作製する工程とを少なくとも行うことにより作製されることを特徴とする請求項1または2に記載の吸着固定用シートの製造方法。 - 請求項1〜3の何れか1項に記載の吸着固定用シートの製造方法により得られる吸着固定用シートであって、
前記多孔質シートの少なくとも一方の面に、プラスティックの粒子を含み構成される粒子層が設けられており、
前記粒子層の表面粗さ(Ra)は、0.5μm以下であることを特徴とする吸着固定用シート。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006109739A JP4803803B2 (ja) | 2006-04-12 | 2006-04-12 | 吸着固定用シートの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006109739A JP4803803B2 (ja) | 2006-04-12 | 2006-04-12 | 吸着固定用シートの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007283493A true JP2007283493A (ja) | 2007-11-01 |
JP4803803B2 JP4803803B2 (ja) | 2011-10-26 |
Family
ID=38755717
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006109739A Active JP4803803B2 (ja) | 2006-04-12 | 2006-04-12 | 吸着固定用シートの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4803803B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010099826A (ja) * | 2008-09-29 | 2010-05-06 | Nitto Denko Corp | 吸着用シート |
JP2010172967A (ja) * | 2009-01-27 | 2010-08-12 | Nitto Denko Corp | 吸着固定用シートおよびその製造方法 |
JP2018103270A (ja) * | 2016-12-22 | 2018-07-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 多層多孔質板及び多層多孔質板の製造方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006026981A (ja) * | 2004-07-13 | 2006-02-02 | Nitto Denko Corp | 吸着固定用シートおよびその製造方法 |
-
2006
- 2006-04-12 JP JP2006109739A patent/JP4803803B2/ja active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006026981A (ja) * | 2004-07-13 | 2006-02-02 | Nitto Denko Corp | 吸着固定用シートおよびその製造方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010099826A (ja) * | 2008-09-29 | 2010-05-06 | Nitto Denko Corp | 吸着用シート |
JP2010172967A (ja) * | 2009-01-27 | 2010-08-12 | Nitto Denko Corp | 吸着固定用シートおよびその製造方法 |
JP2018103270A (ja) * | 2016-12-22 | 2018-07-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 多層多孔質板及び多層多孔質板の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4803803B2 (ja) | 2011-10-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4285651B2 (ja) | 吸着固定用シートおよびその製造方法 | |
JP4883763B2 (ja) | 多孔質シートの製造方法及びその製造方法により得られる多孔質シート | |
JP5623721B2 (ja) | 吸着用シート | |
US10388425B2 (en) | Insulating resin material, metal layer-equipped insulating resin material using same, and wiring substrate | |
KR101440616B1 (ko) | 흡착 필름과 그 제조 방법, 및 이형 필름이 부착된 흡착필름과 그 제조 방법 | |
US20120247647A1 (en) | Method of suction of object to be worked upon suction unit and method of manufacture of ceramic capacitor | |
JP4803803B2 (ja) | 吸着固定用シートの製造方法 | |
JP4305656B2 (ja) | 吸着固定用シート及びその製造方法 | |
JP5529435B2 (ja) | 多孔質シートの製造方法及び多孔質シート | |
JP2017105200A (ja) | 吸着用多孔質シートおよび吸着用多孔質シートに用いる交換用表面層 | |
TWI352981B (en) | Sliding member | |
JPH0922935A (ja) | 吸着固定用シート | |
JP5297823B2 (ja) | 吸着固定用シートおよびその製造方法 | |
JP2003103723A (ja) | 帯電防止性多孔質体 | |
JP2011183478A (ja) | 吸着装置 | |
TW202020080A (zh) | 吸附固定片 | |
JP2019209516A (ja) | ワーク保護用シート |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081110 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20091224 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110519 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110524 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110720 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110805 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110808 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4803803 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140819 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |