JP2007276385A - Ink jet recording head and ink jet recorder - Google Patents

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英男 才川
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To ensure high quality high speed printing by promoting heat dissipation of a recording head equipped with a plurality of adjoining ejection port arrays corresponding to increase in number of ejection ports of a recoding head. <P>SOLUTION: Two rows of ejection ports 3a are opened in an ejection port plate 3 located on the surface of a recording element substrate 1, and two sets of ejection port arrays each consisting of two arrays are constituted. Two supply ports 5 for supplying recording liquid to the ejection port arrays of each set are formed in the recording element substrate 1. One supply channel 2a for supplying recording liquid to each recording liquid supply port 5 is formed in a member 2 for supporting the recording element substrate 1. A beam 6 is formed in the supply channel 2a of the supporting member 2 to traverse the supply channel 2a in the direction intersecting the ejection port array perpendicularly and in contact with the intermediate portion 5a of the supply port. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、インク滴を吐出して記録媒体に記録を行うインクジェット記録ヘッド及びこれを搭載した記録装置に関する。より詳細には、記録ヘッドを支持する部材の放熱機能を向上させる構成に関する。   The present invention relates to an ink jet recording head that performs recording on a recording medium by ejecting ink droplets, and a recording apparatus equipped with the ink jet recording head. More specifically, the present invention relates to a configuration that improves the heat dissipation function of a member that supports a recording head.

従来、紙、OHP用シートなどの記録媒体に対して記録を行う記録装置は、種々の記録方式による記録ヘッドを搭載した形態で提案されている。この記録ヘッドには、ワイヤードット方式、感熱方式、熱転写方式、インクジェット方式によるものなどがある。特に、インクジェット方式は、記録用紙に直接インクを噴射するものであるので、ランニングコストが安く、静かな記録方法として注目されている。インクジェット方式のうち、膜沸騰を利用した熱エネルギー記録方式は、圧電素子を利用したものに比較して、高速性、高密度等の点で優れたものとして実用化されている。しかしながら、市場からは画像品位の向上と並んで記録速度のより一層の高速化を求められている。   2. Description of the Related Art Conventionally, recording apparatuses that perform recording on recording media such as paper and OHP sheets have been proposed in the form of mounting recording heads using various recording methods. The recording head includes a wire dot method, a heat sensitive method, a thermal transfer method, an ink jet method, and the like. In particular, since the ink jet method directly injects ink onto recording paper, it is attracting attention as a quiet recording method with low running cost. Of the ink jet methods, the thermal energy recording method utilizing film boiling has been put into practical use as being superior in terms of high speed, high density and the like as compared with those utilizing piezoelectric elements. However, the market demands a further increase in recording speed along with improvement in image quality.

一般的に膜沸騰を利用した熱エネルギー記録方式を採用したインクジェット記録装置は主にシリアル型記録方法とフルライン型記録方法がある。シリアル型記録方法は記録ヘッドを往復走査しながら記録するもので、後述するフルライン型記録方法と比較し、安価であるなどの特徴がある。一方、フルライン型記録方法は記録媒体の全幅分をカバーする記録ヘッド幅をもって印字記録するため、シリアル型記録方法に比べより高速記録が可能である。   In general, there are mainly a serial type recording method and a full line type recording method for an ink jet recording apparatus adopting a thermal energy recording method using film boiling. The serial recording method performs recording while reciprocating the recording head, and has a feature that it is less expensive than the full line recording method described later. On the other hand, the full-line recording method prints and records with a recording head width that covers the entire width of the recording medium, so that higher-speed recording is possible than the serial recording method.

いずれの記録方法においても、記録ヘッドのインク滴を吐出する周波数を上げることができれば記録速度が向上するが、インク滴を吐出する周波数には限界がある。従って、記録速度を向上させる手法としては、インク滴を吐出する吐出口の数を増やすことが有効となる。吐出口数増加の具体的手法としては、シリアル型記録方法では紙送り方向の記録ヘッド印字幅に対応して複数の吐出口が並ぶ吐出口列長さの拡大が挙げられる。ただし、記録ヘッドの印字幅拡大(吐出口列長さの拡大)には、記録装置の記録領域の平面性確保上ある程度限界がある。また、フルライン型記録方法は印字幅が固定されている為、吐出口列の紙送り方向への増加が記録速度向上に最も有効な手段となる。   In any of the recording methods, the recording speed can be improved if the frequency of ejecting ink droplets of the recording head can be increased, but the frequency of ejecting ink droplets is limited. Therefore, as a method for improving the recording speed, it is effective to increase the number of ejection ports that eject ink droplets. As a specific method for increasing the number of ejection ports, in the serial type recording method, there is an increase in the length of the ejection port array in which a plurality of ejection ports are arranged corresponding to the print head print width in the paper feed direction. However, expansion of the print width of the recording head (expansion of the discharge port array length) has a certain limit to ensure the flatness of the recording area of the recording apparatus. In the full line type recording method, since the printing width is fixed, the increase in the ejection port array in the paper feed direction is the most effective means for improving the recording speed.

従って、大幅な印字速度向上には、印字幅(吐出口列長さ)を限界まで長くすることと同時に、吐出口列数を増やすことが最も有効な手段となる。その為、吐出口列を複数設けて、同じ種類のインクを吐出する構成が提案されている。また、吐出口列までインクを供給する構成を考えると、その吐出口列は隣り合っていることがコスト的にも好ましい。   Therefore, in order to greatly improve the printing speed, it is the most effective means to increase the number of discharge port arrays at the same time as increasing the print width (discharge port array length) to the limit. Therefore, a configuration has been proposed in which a plurality of ejection port arrays are provided to eject the same type of ink. Considering a configuration for supplying ink to the ejection port arrays, it is preferable from the viewpoint of cost that the ejection port arrays are adjacent to each other.

ところで、インクジェット記録方式は電気エネルギーを電気抵抗素子に印加して電気抵抗素子を急激に温度上昇させ、電気抵抗素子上のインクを発泡させ、オリフィスよりインクを吐出させるものである。しかし、印加した電気エネルギーは、吐出したインクの運動エネルギーなどの外部へ放出されるエネルギーに比べ大きい。従って、その差分の余剰エネルギーは記録ヘッドに熱として蓄積されていき、記録ヘッド自身の温度を上昇させる。   By the way, the ink jet recording system applies electric energy to the electric resistance element to rapidly increase the temperature of the electric resistance element, foam the ink on the electric resistance element, and discharge the ink from the orifice. However, the applied electrical energy is larger than the energy released to the outside, such as the kinetic energy of the ejected ink. Accordingly, the excess energy of the difference is accumulated as heat in the recording head, and the temperature of the recording head itself is increased.

インクジェット記録装置にて連続で印字動作を行った場合、記録ヘッドは蓄積した熱を外部に放出する前に次々と加熱されることになるため、その温度が上昇していく。ある温度領域を超えるとインク吐出状態が不安定となり、記録画像に欠陥が生じることがある。よって、ある温度領域を超える前に、印字速度を低下させる制御を行っている。   When the printing operation is continuously performed by the ink jet recording apparatus, the recording head is heated one after another before releasing the accumulated heat to the outside, so that the temperature rises. If the temperature exceeds a certain temperature range, the ink ejection state becomes unstable, and the recorded image may be defective. Therefore, control is performed to reduce the printing speed before exceeding a certain temperature range.

従って、電気抵抗素子が設けられた記録素子基板に蓄積される熱をいかに放熱するかが、記録画像の信頼性を確保しつつ記録速度を向上させる上で、重要な要件となる。放熱する手段としては記録素子基板に密着する部材あるいはインクに放熱することになるが、インク成分のほとんどは水で構成されている。水の比熱は高いが、熱伝導率は低い特性を持っており、放熱性を向上させる上で、熱伝導率の比較的高い材料にて密着させることが好ましい。   Therefore, how to dissipate the heat accumulated in the recording element substrate provided with the electric resistance element is an important requirement for improving the recording speed while ensuring the reliability of the recorded image. As a means for dissipating heat, heat is dissipated to a member or ink that is in close contact with the recording element substrate, but most of the ink component is composed of water. The specific heat of water is high, but the thermal conductivity is low, and in order to improve the heat dissipation, it is preferable that the water is adhered with a material having a relatively high thermal conductivity.

特許文献1では、記録素子基板の、吐出エネルギー発生素子が設けられた箇所近傍の底部に支持部材を接着接合させ、支持部材に放熱させる構成が開示されている。   Patent Document 1 discloses a configuration in which a support member is bonded and bonded to the bottom of a recording element substrate in the vicinity of a portion where an ejection energy generating element is provided, and heat is radiated to the support member.

図19は、特許文献1の記録素子基板を支持部材上に搭載した状態を示す図である。   FIG. 19 is a diagram illustrating a state in which the recording element substrate of Patent Document 1 is mounted on a support member.

図19に示すように、第1の記録素子基板103の表面に位置する吐出口プレート104に2列にわたって吐出口104aが開口され、2列で1組を成す吐出口列が複数組構成されている。   As shown in FIG. 19, the discharge port 104a is opened in two rows on the discharge port plate 104 positioned on the surface of the first recording element substrate 103, and a plurality of discharge port rows are formed. Yes.

各組の吐出口列に対して記録液を供給する複数の記録液供給口106が、第1の記録素子基板103に形成されている。第1の記録素子基板103を支持する支持部材101には、それぞれの記録液供給口106に記録液を供給する供給流路101aが形成されている。記録液供給流路101aは記録液供給口106の入口部の開口幅とほぼ同等の流路幅を有している。また、互いに隣接する記録液供給流路101aを隔てる隔壁101bの厚みは、互いに隣接する記録液供給口106の入口部同士の間隔によって決定される。   A plurality of recording liquid supply ports 106 for supplying recording liquid to each set of ejection port arrays are formed in the first recording element substrate 103. The support member 101 that supports the first recording element substrate 103 is formed with a supply channel 101 a that supplies a recording liquid to each recording liquid supply port 106. The recording liquid supply channel 101 a has a channel width substantially equal to the opening width of the inlet portion of the recording liquid supply port 106. The thickness of the partition wall 101b separating the recording liquid supply channels 101a adjacent to each other is determined by the interval between the inlet portions of the recording liquid supply ports 106 adjacent to each other.

このような複数組の吐出口列を備えた記録素子基板103においては、1枚のシリコンウエハから切り出す記録素子基板の数を増やしてコストダウンを図る場合がある。あるいは、記録素子基板を大型化することなく吐出口列103aの数を増やそうとする場合がある。そのような場合、記録液供給口106の互いのピッチを小さくして高密度に配列する必要がある。そして、高速印字化の為には吐出口列の長さを長くすることが大変有効である。   In the recording element substrate 103 having such a plurality of discharge port arrays, the number of recording element substrates cut out from one silicon wafer may be increased to reduce the cost. Alternatively, there is a case where the number of ejection port arrays 103a is increased without increasing the size of the recording element substrate. In such a case, it is necessary to reduce the pitch of the recording liquid supply ports 106 and arrange them at high density. In order to achieve high-speed printing, it is very effective to increase the length of the discharge port array.

記録液供給口106同士のピッチを小さくした場合、それに合わせて支持部材101の隔壁101bの厚さを薄くする必要があるが、セラミックからなる支持部材101に、ある厚み以下の薄い隔壁を形成することは製造上困難である。同様に、吐出口列長を長くしていくと、隔壁を形成することは製造上困難になる。   When the pitch between the recording liquid supply ports 106 is reduced, the thickness of the partition wall 101b of the support member 101 needs to be reduced accordingly. However, a thin partition wall having a certain thickness or less is formed on the support member 101 made of ceramic. This is difficult to manufacture. Similarly, when the discharge port array length is increased, it becomes difficult to manufacture the partition wall.

図20はこの隔壁が無い支持部材を用いた記録ヘッドを示している。1つの記録液供給流路101aから、2つの記録液供給口106に対し記録液を供給している。
特開2002−154209号公報
FIG. 20 shows a recording head using a support member having no partition wall. The recording liquid is supplied to the two recording liquid supply ports 106 from one recording liquid supply channel 101a.
JP 2002-154209 A

しかしながら、記録素子基板の2つの記録液供給口間部に支持部材の前記隔壁がないと放熱効果が低下し、記録画像品位の低下を招くことになる。そうなった場合、吐出周波数を下げざるを得なくなり、印字速度が下がることになる。   However, if the partition wall of the support member is not provided between the two recording liquid supply ports of the recording element substrate, the heat dissipation effect is reduced, and the quality of the recorded image is deteriorated. In such a case, the ejection frequency must be lowered, and the printing speed is lowered.

本発明は、上述の課題を解決するためになされたもので、記録ヘッドの吐出口数増加に対応した複数の隣接した吐出口列を備えた記録ヘッドの放熱を促進することによって、高品位で、かつ高速なインクジェット記録装置を提供することを目的とする。   The present invention was made in order to solve the above-described problem, and by promoting heat dissipation of a recording head having a plurality of adjacent ejection port arrays corresponding to an increase in the number of ejection ports of the recording head, high quality, An object of the present invention is to provide a high-speed ink jet recording apparatus.

上記目的を達成するため、本発明のインクジェット記録ヘッドは記録素子基板と支持部材とを備える。記録素子基板は、同種の液体を吐出する複数の隣接した吐出口列と、各吐出口列に対応して形成された、前記同種の液体を供給する複数の液体供給口と、前記吐出口列から前記液体を吐出するための熱エネルギーを発生する電気抵抗素子とを有する。支持部材は、前記記録素子基板を支持し、前記記録素子基板の前記複数の液体供給口に液体を供給する供給流路が設けられたものである。そして、特徴とするところは、支持部材の供給流路内に、吐出口列と直交する方向にて供給流路内の内壁同士を結ぶ形で梁が形成されていることである。しかも、その梁は、記録素子基板の隣接する液体供給口同士の間の部分と接していることである。   In order to achieve the above object, an ink jet recording head of the present invention comprises a recording element substrate and a support member. The recording element substrate includes a plurality of adjacent discharge port arrays that discharge the same type of liquid, a plurality of liquid supply ports that are formed corresponding to the respective discharge port arrays, and that supply the same type of liquid, and the discharge port arrays And an electric resistance element for generating thermal energy for discharging the liquid. The support member is provided with a supply flow path for supporting the recording element substrate and supplying a liquid to the plurality of liquid supply ports of the recording element substrate. A feature is that a beam is formed in the supply flow path of the support member so as to connect the inner walls of the supply flow path in a direction orthogonal to the discharge port array. In addition, the beam is in contact with a portion between adjacent liquid supply ports of the recording element substrate.

本発明によれば、記録ヘッドの支持部材の供給流路内に設けられた梁により、記録素子基板に蓄積された熱を速やかに放熱することが可能となる。従って、インクジェット記録装置は連続印字等でも、記録素子基板の隣接する液体供給口の間の温度が上昇しにくくなり、従来に比べ印字品位を低下させることなく、印字速度を向上させることが可能となる。   According to the present invention, it is possible to quickly dissipate the heat accumulated in the recording element substrate by the beam provided in the supply flow path of the recording head support member. Therefore, the ink jet recording apparatus is less likely to increase the temperature between the liquid supply ports adjacent to the recording element substrate even in continuous printing, and the printing speed can be improved without degrading the print quality compared to the prior art. Become.

また、前記梁は1つの前記供給流路内に複数ある構成とすることにより、より放熱効果が向上する。さらに、吐出口列がさらに長くなった場合でも、梁を設ける箇所を複数設けることにより、前述した効果と同等の効果が得られる。   Moreover, the heat radiation effect is further improved by providing a plurality of beams in one supply channel. Furthermore, even when the discharge port array becomes longer, the same effect as described above can be obtained by providing a plurality of portions where the beams are provided.

さらに、前記梁の前記記録素子基板側の、それぞれの前記液体供給口に対応する部分に凹形状部を有することにより、供給流路から液体供給口に液体が流れる際に、より流抵抗が少なくなる。この構成は、より一層の放熱効果を得る為に梁の幅を広くした際に、液体の供給量を低下させることなく印字速度の向上が可能である。   Further, by having a concave portion in the portion corresponding to each liquid supply port on the recording element substrate side of the beam, when the liquid flows from the supply channel to the liquid supply port, the flow resistance is less. Become. This configuration can improve the printing speed without reducing the liquid supply amount when the width of the beam is increased in order to obtain a further heat radiation effect.

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

(第1の実施形態)
図2から図15は、本発明が実施もしくは適用される好適なインクジェット記録装置、そしてその構成要素である記録ヘッド、インクタンクのそれぞれ及びそれぞれの関係を説明するための説明図である。以下、これらの図面を参照して各構成要素の説明を行う。
(First embodiment)
FIG. 2 to FIG. 15 are explanatory diagrams for explaining each of the preferred ink jet recording apparatus to which the present invention is applied or applied, and the recording head and ink tank which are constituent elements thereof, and their respective relationships. Hereinafter, each component will be described with reference to these drawings.

図2は本実施形態におけるインクジェット記録装置の概略の構成を示す斜視図であり、以下に、その動作について説明する。   FIG. 2 is a perspective view showing a schematic configuration of the ink jet recording apparatus according to the present embodiment, and the operation thereof will be described below.

図2に示すインクジェット記録装置は、記録ヘッドH1001の往復移動(主走査)と、一般記録紙、特殊紙、OHPフィルム等の記録媒体Sの所定ピッチごとの搬送(副走査)とを繰り返している。これらの動きと同期させながら記録ヘッドH1001から選択的にインク滴を吐出させ、記録媒体Sに付着させることで、文字や記号、画像等を形成するシリアル型の記録装置である。   The ink jet recording apparatus shown in FIG. 2 repeats the reciprocating movement (main scanning) of the recording head H1001 and the conveyance (sub scanning) of the recording medium S such as general recording paper, special paper, and OHP film at a predetermined pitch. . This is a serial type recording apparatus that forms characters, symbols, images, and the like by ejecting ink droplets selectively from the recording head H1001 in synchronization with these movements and attaching them to the recording medium S.

このインクジェット記録装置は、インクタンクH1900と、インクタンクH1900から供給されるインクを記録情報に応じてノズルから吐出する記録ヘッドH1001とを有している。記録ヘッドH1001は、ガイドレール204に摺動自在に支持され、不図示のモータ等の駆動手段によりガイドレール204に沿って往復移動されるキャリッジ202に着脱可能に搭載されている。記録媒体Sは、搬送ローラ203により、記録ヘッドH1001のインク吐出面に対面する。そして、インク吐出面との距離を一定に維持するように、キャリッジ202の移動方向と交差する方向(例えば、直交する方向である矢印A方向)に搬送される。記録ヘッドH1001は、いわゆるカートリッジ方式を採るものであり、前述したキャリッジ202に対して着脱可能に搭載される。   The ink jet recording apparatus includes an ink tank H1900 and a recording head H1001 that ejects ink supplied from the ink tank H1900 from nozzles according to recording information. The recording head H1001 is slidably supported on the guide rail 204, and is detachably mounted on a carriage 202 that is reciprocated along the guide rail 204 by a driving unit such as a motor (not shown). The recording medium S faces the ink ejection surface of the recording head H1001 by the conveyance roller 203. And it is conveyed in the direction (for example, the direction of arrow A which is an orthogonal direction) which cross | intersects the moving direction of the carriage 202 so that the distance with an ink discharge surface may be maintained constant. The recording head H1001 employs a so-called cartridge system and is detachably mounted on the carriage 202 described above.

記録ヘッドH1001は、それぞれ異なる色のインクを吐出するためにブラック、シアン、マゼンタ、イエローの4種類のノズル列を有する。記録ヘッドH1001から吐出されるインクの色に対応して、ブラック、シアン、マゼンタ、イエローの4種類のインクタンクH1900が、記録ヘッドH1001に対し独立して着脱可能に装着される。   The recording head H1001 has four types of nozzle rows of black, cyan, magenta, and yellow in order to eject inks of different colors. Corresponding to the colors of ink ejected from the recording head H1001, four types of ink tanks H1900 of black, cyan, magenta, and yellow are detachably attached to the recording head H1001.

記録ヘッドH1001の往復移動範囲内で、かつ、記録媒体Sの通過範囲外の領域である非記録領域には、回復ユニット207が、記録ヘッドH1001のインク吐出面と対面するように配置されている。また、記録ヘッドは、ブラック、シアン、マゼンタ、イエローの4種類の吐出部にそれぞれ対応したキャップユニット208から吸引回復が行われる。   The recovery unit 207 is disposed so as to face the ink ejection surface of the recording head H1001 in the non-recording area that is within the reciprocating range of the recording head H1001 and outside the passing range of the recording medium S. . Further, the recording head performs suction recovery from the cap unit 208 corresponding to each of the four types of discharge units of black, cyan, magenta, and yellow.

図3は、記録ヘッドH1001と、記録ヘッドH1001に着脱自在に設けられたインクタンクH1900とが結合された状態を示す図である。また、図4は、記録ヘッドH1001と記録ヘッドH1001に着脱自在に設けられたインクタンクH1900とが結合される前の状態を示す図である。図3において、記録ヘッドH1001から吐出されるインクの色に対応して、ブラック、シアン、マゼンタ、イエローの4種類のインクタンク(H1901,H1902,H1903,H1904)が、記録ヘッドH1001に対し独立して着脱可能に装着される。次に記録ヘッドH1001に関してさらに詳しく、記録ヘッドを構成しているそれぞれの構成要素毎に順を追って説明する。   FIG. 3 is a diagram illustrating a state in which the recording head H1001 and an ink tank H1900 that is detachably provided on the recording head H1001 are coupled to each other. FIG. 4 is a diagram showing a state before the recording head H1001 and the ink tank H1900 that is detachably provided on the recording head H1001 are coupled. In FIG. 3, four types of ink tanks (H1901, H1902, H1903, H1904) of black, cyan, magenta, and yellow are independent of the recording head H1001 corresponding to the color of ink ejected from the recording head H1001. And is detachably mounted. Next, the recording head H1001 will be described in more detail in order for each component constituting the recording head.

<1>記録ヘッド
記録ヘッドH1001は、電気信号に応じて膜沸騰をインクに対して生じせしめるための熱エネルギーを生成する電気熱変換体を用いて記録を行うバブルジェット(登録商標)方式のサイドシュータ型とされる記録ヘッドである。
<1> Recording Head The recording head H1001 is a bubble jet (registered trademark) side that performs recording using an electrothermal transducer that generates thermal energy for causing film boiling to occur in ink in response to an electrical signal. This is a recording head that is of a shooter type.

記録ヘッドH1001は、図5の分解斜視図に示すように、記録素子ユニットH1002と、インク供給ユニットH1003と、タンクホルダーH2000とから構成される。   As shown in the exploded perspective view of FIG. 5, the recording head H1001 includes a recording element unit H1002, an ink supply unit H1003, and a tank holder H2000.

さらに、図6の分解斜視図は、記録素子ユニットH1002の構成要素を説明するものである。構成要素は、第1の記録素子基板H1100、第2の記録素子基板H1101、第1のプレートH1200、電気配線テープH1300、電気コンタクト基板H2200、第2のプレートH1400である。また、インク供給ユニットH1003は、インク供給部材H1500、流路形成部材H1600、ジョイントゴムH2300、フィルターH1700、シールゴムH1800から構成されている。   Furthermore, the exploded perspective view of FIG. 6 explains the components of the recording element unit H1002. The constituent elements are a first recording element substrate H1100, a second recording element substrate H1101, a first plate H1200, an electrical wiring tape H1300, an electrical contact substrate H2200, and a second plate H1400. The ink supply unit H1003 includes an ink supply member H1500, a flow path forming member H1600, a joint rubber H2300, a filter H1700, and a seal rubber H1800.

<1−1>記録素子ユニット
図7は、図6における記録ヘッドH1001の第1の記録素子基板H1100と第2の記録素子基板H1101に設けられた吐出口列を記録媒体側から観た模式図である。図7において、第1の記録素子基板H1100に設けられた吐出口列H1108aは、モノクロ画像を高速出力する為にブラックインク滴を吐出する吐出口を、イエロー・マゼンタ・シアン色のインク滴を吐出する吐出口に比べ多く備えている。実際には、吐出口列長さで約1.5倍、吐出口列数で2倍で、両方を加味すると約3倍の数を備えている。従って、ブラック単色印字の場合、イエロー・マゼンタ・シアン色に比べ、吐出口からインクを吐出する周波数が同じでも、3倍の速度で記録することが可能である。
<1-1> Recording Element Unit FIG. 7 is a schematic view of the ejection port arrays provided on the first recording element substrate H1100 and the second recording element substrate H1101 of the recording head H1001 in FIG. 6 as viewed from the recording medium side. It is. In FIG. 7, a discharge port array H1108a provided on the first recording element substrate H1100 discharges yellow, magenta, and cyan ink droplets from a discharge port that discharges black ink droplets in order to output a monochrome image at high speed. It has more than the discharge outlet. Actually, the discharge port row length is about 1.5 times, the discharge port row number is twice, and when both are included, the number is about three times. Therefore, in the case of black monochrome printing, it is possible to record at three times the speed even when the frequency at which ink is ejected from the ejection port is the same as in yellow, magenta and cyan colors.

図8は、図7におけるブラックインクを吐出する第1の記録素子基板H1100の構成を一部分解した状態で示す斜視図である。   FIG. 8 is a perspective view illustrating a partially exploded configuration of the first recording element substrate H1100 that discharges black ink in FIG.

第1の記録素子基板H1100には、例えば、厚さ0.5〜1mmのSi基板にインク流路として長溝状の貫通口からなるインク供給口H1102がSiの結晶方位を利用した異方性エッチングやサンドブラストなどの方法で2列並行に形成されている。   In the first recording element substrate H1100, for example, an ink supply port H1102 including a long groove-like through-hole as an ink channel on an Si substrate having a thickness of 0.5 to 1 mm is anisotropically etched using the crystal orientation of Si. It is formed in two rows in parallel by a method such as sandblasting.

それぞれのインク供給口H1102を挟んだ両側に記録素子である電気熱変換素子H1103がそれぞれ1列ずつ千鳥状に配列されている。また、前記電気熱変換素子H1103と、電気熱変換素子H1103に電力を供給するAl等の電気配線は、成膜技術により形成されている。さらに、前記電気配線に電力を供給するための電極部H1104が電気熱変換素子H1103の両外側に配列されており、電極部H1104にはAu等のバンプH1105が形成されている。そして、第一の記録素子基板H1100上には、電気熱変換素子H1103に対応したインク流路を形成するためのインク流路壁H1106と吐出口H1107が樹脂材料でフォトリソ技術によりに形成され、吐出口列H1108を形成している。したがって、電気熱変換素子H1103に対向して吐出口H1107が設けられているため、インク流路H1102から供給されたインクは電気熱変換素子H1103により発生した気泡により吐出される。   The electrothermal conversion elements H1103, which are recording elements, are arranged in a staggered pattern in one row on both sides of each ink supply port H1102. The electrothermal conversion element H1103 and the electric wiring such as Al for supplying electric power to the electrothermal conversion element H1103 are formed by a film forming technique. Furthermore, electrode portions H1104 for supplying electric power to the electric wiring are arranged on both outer sides of the electrothermal transducer H1103, and bumps H1105 such as Au are formed on the electrode portion H1104. On the first recording element substrate H1100, an ink flow path wall H1106 and a discharge port H1107 for forming an ink flow path corresponding to the electrothermal conversion element H1103 are formed of a resin material by a photolithographic technique. An outlet row H1108 is formed. Accordingly, since the ejection port H1107 is provided opposite to the electrothermal conversion element H1103, the ink supplied from the ink flow path H1102 is ejected by bubbles generated by the electrothermal conversion element H1103.

次に、図9は、第2の記録素子基板H1101を一部分解した状態で示す斜視図である。   Next, FIG. 9 is a perspective view showing the second recording element substrate H1101 in a partially exploded state.

第2の記録素子基板H1101はイエロー・マゼンタ・シアンの3色のインクを吐出させるための記録素子基板であり、3個のインク供給口H1102が並列して形成されている。また、第2の記録素子基板H1101にはそれぞれのインク供給口を挟んだ両側に電気熱変換素子H1103とインク吐出口H1107が形成されている。もちろん第1の記録素子基板H1100と同じようにSi基板にインク供給口や電気熱変換素子、電気配線、電極部などが形成されており、その上に樹脂材料でフォトリソ技術によりインク流路やインク吐出口が形成されている。   The second recording element substrate H1101 is a recording element substrate for discharging ink of three colors of yellow, magenta, and cyan, and three ink supply ports H1102 are formed in parallel. The second recording element substrate H1101 has electrothermal conversion elements H1103 and ink ejection openings H1107 on both sides of each ink supply port. Of course, like the first recording element substrate H1100, an ink supply port, an electrothermal conversion element, an electric wiring, an electrode portion, and the like are formed on the Si substrate, and an ink flow path and an ink are formed on the resin material by a photolithography technique. A discharge port is formed.

そして第一の記録素子基板と同様に電気配線に電力を供給するための電極部H1104にはAu等のバンプH1105が形成されている。   Similarly to the first recording element substrate, a bump H1105 such as Au is formed on the electrode portion H1104 for supplying electric power to the electric wiring.

次に、図6において、第1のプレートH1200は、例えば、厚さ0.5〜10mmのアルミナ(Al23)材料で形成されている。なお、第1のプレートの素材は、アルミナに限られることなく、記録素子基板H1100の材料の線膨張率と同等の線膨張率を有し、かつ、記録素子基板H1100の材料の熱伝導率と同等もしくは同等以上の熱伝導率を有する材料で作られてもよい。第1のプレートH1200の素材は、例えば、シリコン(Si)、窒化アルミニウム(AlN)、ジルコニア、窒化珪素(Si34)、炭化珪素(SiC)、モリブデン(Mo)、タングステン(W)のうちいずれであってもよい。第1のプレートH1200には、第1の記録素子基板H1100にブラックのインクを供給するためのインク供給口H1201と、第2の記録素子基板H1101にシアン、マゼンタ、イエローのインクを供給するためのインク供給口H1201が形成されている。また、第1の記録素子基板H1100と第2の記録素子基板H1101はそれぞれ第1のプレートH1200に対して接着固定される。 Next, in FIG. 6, the first plate H1200 is made of an alumina (Al 2 O 3 ) material having a thickness of 0.5 to 10 mm, for example. The material of the first plate is not limited to alumina, and has a linear expansion coefficient equivalent to that of the material of the recording element substrate H1100, and the thermal conductivity of the material of the recording element substrate H1100. It may be made of a material having a thermal conductivity equivalent or equal to or higher. Examples of the material of the first plate H1200 include silicon (Si), aluminum nitride (AlN), zirconia, silicon nitride (Si 3 N 4 ), silicon carbide (SiC), molybdenum (Mo), and tungsten (W). Either may be sufficient. The first plate H1200 is provided with an ink supply port H1201 for supplying black ink to the first recording element substrate H1100, and for supplying cyan, magenta, and yellow ink to the second recording element substrate H1101. An ink supply port H1201 is formed. Further, the first recording element substrate H1100 and the second recording element substrate H1101 are bonded and fixed to the first plate H1200, respectively.

次に、電気配線テープH1300は、第1の記録素子基板H1100と第2の記録素子基板H1101に対してインクを吐出するための電気信号を印加するものである。そして、電気配線テープH1300は、それぞれの記録素子基板を組み込むための複数の開口部位と、それぞれの記録素子基板の電極部H1104に対応する電極端子H1302とを有する。   Next, the electrical wiring tape H1300 applies an electrical signal for ejecting ink to the first recording element substrate H1100 and the second recording element substrate H1101. The electric wiring tape H1300 has a plurality of opening portions for incorporating the respective recording element substrates, and electrode terminals H1302 corresponding to the electrode portions H1104 of the respective recording element substrates.

また、電気配線テープH1300は、電気コンタクト基板H2200と電気的接続をおこなうための電極端子部H1303を有しており、電極端子H1302と電極端子1303は連続した銅箔の配線パターンでつながっている。電気配線テープH1300と第1の記録素子基板1100と第2の記録素子基板H1101は、それぞれ電気的に接続されている。   The electrical wiring tape H1300 has an electrode terminal portion H1303 for electrical connection with the electrical contact substrate H2200, and the electrode terminal H1302 and the electrode terminal 1303 are connected by a continuous copper foil wiring pattern. The electrical wiring tape H1300, the first recording element substrate 1100, and the second recording element substrate H1101 are electrically connected to each other.

第2のプレートH1400は、例えば、厚さ0.5〜1mmの一枚の板状部材であり、例えばアルミナ(Al23)等のセラミックや、Al、SUSなどの金属材料で形成されている。また、第1の記録素子基板H1100および第2の記録素子基板H1101と電気配線テープH1300を平面的に電気接続できるように、第2のプレートH1400を第1のプレートH1200に接着されている。また電気配線テープH1300の裏面が、第2のプレートH1400に接着固定される。 The second plate H1400 is, for example, a single plate-like member having a thickness of 0.5 to 1 mm, and is formed of a ceramic material such as alumina (Al 2 O 3 ) or a metal material such as Al or SUS. Yes. Further, the second plate H1400 is bonded to the first plate H1200 so that the first recording element substrate H1100 and the second recording element substrate H1101 and the electric wiring tape H1300 can be electrically connected in a plane. Further, the back surface of the electric wiring tape H1300 is bonded and fixed to the second plate H1400.

第1の記録素子基板H1100および第2の記録素子基板H1101と電気配線テープH1300は電気接続され、電気配線テープの端部に外部信号入力端子H1301を有した電気コンタクト基板H2200と電気的に接続される。そして電気配線テープH1300は、第1のプレートH1200の一側面で折り曲げられ、第1のプレートH1200の側面に第3の接着剤H1306で接着される。   The first recording element substrate H1100 and the second recording element substrate H1101 are electrically connected to the electrical wiring tape H1300, and are electrically connected to an electrical contact substrate H2200 having an external signal input terminal H1301 at the end of the electrical wiring tape. The The electric wiring tape H1300 is bent at one side surface of the first plate H1200, and is bonded to the side surface of the first plate H1200 with the third adhesive H1306.

次に図1、図10、図11にて、第1の記録素子基板H1100と第1のプレートH1200との詳細形状について説明する。なお、図1、図10、図11において、記録素子基板1は第一の記録素子基板H1100に対応し、支持部材2は第一のプレートH1200に対応するものである。   Next, the detailed shapes of the first recording element substrate H1100 and the first plate H1200 will be described with reference to FIGS. In FIGS. 1, 10, and 11, the recording element substrate 1 corresponds to the first recording element substrate H1100, and the support member 2 corresponds to the first plate H1200.

まず、図10(a)は従来の支持部材を、記録素子基板搭載面とは反対側から観た形状を表している。図10(b)は図10(a)における矢印方向の断面での従来の支持部材と記録素子基板の関係を表す図である。この場合、供給口5間のピッチP1がある程度確保されていることにより、それに対応した隔壁2bの厚みが十分に確保できるので、支持部材2の隔壁2bの厚みが部品製造上可能な寸法となっている。記録素子基板の供給口3a同士の間に蓄積する熱は、隔壁2bを通じて放熱される。   First, FIG. 10A shows a shape of a conventional support member viewed from the side opposite to the recording element substrate mounting surface. FIG. 10B is a view showing the relationship between the conventional support member and the recording element substrate in the cross section in the arrow direction in FIG. In this case, since the pitch P1 between the supply ports 5 is secured to some extent, the thickness of the partition wall 2b corresponding to the pitch P1 can be sufficiently secured, so that the thickness of the partition wall 2b of the support member 2 becomes a dimension capable of manufacturing parts. ing. Heat accumulated between the supply ports 3a of the recording element substrate is radiated through the partition walls 2b.

次に、図11(a)は、コストダウンの為、供給口5間のピッチを狭めた支持部材の形状を、記録素子基板搭載面とは反対側から観た状態の図を表している。図11(b)は図11(a)における矢印方向の断面での支持部材と記録素子基板の関係を表す図である。この場合、P2寸法が小さい為、それに対応した隔壁2bの厚みが部品製造上困難な寸法となっている。従って、図11中に一点鎖線で示すような隔壁2bを形成することが出来ず、連続した記録動作中に供給口中間部5aに蓄積する熱を拡散することが難しい。   Next, FIG. 11A shows a state in which the shape of the support member in which the pitch between the supply ports 5 is narrowed for cost reduction is viewed from the side opposite to the recording element substrate mounting surface. FIG. 11B is a view showing the relationship between the support member and the recording element substrate in the cross section in the arrow direction in FIG. In this case, since the dimension P2 is small, the thickness of the partition wall 2b corresponding to the dimension is difficult to manufacture the part. Accordingly, the partition wall 2b as shown by the alternate long and short dash line in FIG. 11 cannot be formed, and it is difficult to diffuse the heat accumulated in the supply port intermediate portion 5a during the continuous recording operation.

図1(a)は、本実施形態の支持部材の形状を、記録素子基板搭載面とは反対側から観た状態の図を表している。図1(b)は図1(a)におけるB−B線の断面での支持部材2と記録素子基板1の関係を表す図である。この場合、P2寸法が小さい為、それに対応した隔壁の厚みが部品製造上困難な寸法となっている。従って、隔壁を形成することが出来ない。次に、図1(c)は図1(a)におけるC−C線の断面での支持部材と記録素子基板の関係を表す図である。この断面においては、吐出口列と直交する方向にて供給流路2aを横断する形で梁6が形成され、かつ供給口中間部5aと接している。この梁6によって、連続記録動作中に供給口中間部5aに蓄積する熱を、図中に点線で示した矢印の様に支持部材2を通じて拡散させていくことが可能である。   FIG. 1A shows a state in which the shape of the support member of this embodiment is viewed from the side opposite to the recording element substrate mounting surface. FIG. 1B is a view showing the relationship between the support member 2 and the recording element substrate 1 in the cross section taken along the line BB in FIG. In this case, since the dimension P2 is small, the thickness of the partition wall corresponding to the dimension is difficult to manufacture the part. Therefore, a partition cannot be formed. Next, FIG. 1C is a diagram showing the relationship between the support member and the recording element substrate in the section taken along line CC in FIG. In this cross section, the beam 6 is formed so as to cross the supply flow path 2a in a direction orthogonal to the discharge port array, and is in contact with the supply port intermediate portion 5a. With this beam 6, it is possible to diffuse the heat accumulated in the supply port intermediate portion 5a during the continuous recording operation through the support member 2 as indicated by the dotted line in the drawing.

<1−2>インク供給ユニット
図12はインクタンクH1900が記録ヘッドH1001に結合された状態の断面形状を示す図である。図12に示すように、インク供給部材H1500は、インクタンクH1900から記録素子ユニットH1002(図6)にインクを導くためのインク供給ユニットH1003(図6)の一構成部品である。また、流路形成部材H1600を超音波溶着することによりインク流路H1501を形成している。また、インクタンクH1900と係合するジョイントH1517には、フィルターH1700が溶着により接合されており、さらに、シールゴムH1800が装着されている。
<1-2> Ink Supply Unit FIG. 12 is a view showing a cross-sectional shape in a state where the ink tank H1900 is coupled to the recording head H1001. As shown in FIG. 12, the ink supply member H1500 is a component of the ink supply unit H1003 (FIG. 6) for guiding ink from the ink tank H1900 to the recording element unit H1002 (FIG. 6). Further, the ink flow path H1501 is formed by ultrasonically welding the flow path forming member H1600. A filter H1700 is joined by welding to a joint H1517 that engages with the ink tank H1900, and a seal rubber H1800 is further attached.

またインク供給部材H1500は、着脱自在のインクタンクH1900を保持する機能も一部有しており、インクタンクH1900の第2の爪H1910を係合する第1の穴H1503を有している。   The ink supply member H1500 also has a part of the function of holding the removable ink tank H1900, and has a first hole H1503 for engaging the second claw H1910 of the ink tank H1900.

<1−3>記録ヘッドユニットとインク供給ユニットの結合
図5に示した通り、記録ヘッドH1001は、記録素子ユニットH1002をインク供給ユニットH1003に結合しさらにタンクホルダーH2000と結合することにより完成する。結合は以下のように行われる。
<1-3> Coupling of Recording Head Unit and Ink Supply Unit As shown in FIG. 5, the recording head H1001 is completed by connecting the recording element unit H1002 to the ink supply unit H1003 and further to the tank holder H2000. The coupling is performed as follows.

記録素子ユニットH1002のインク供給口とインク供給ユニットH1003のインク供給口をインクがリークしないように連通させるため、ジョイントゴムH2300を介してビスH2400で固定する。   In order to allow the ink supply port of the recording element unit H1002 and the ink supply port of the ink supply unit H1003 to communicate with each other so as not to leak ink, the recording element unit H1002 is fixed with a screw H2400 via a joint rubber H2300.

そして、記録素子ユニットH1002の電気コンタクト基板H2200はインク供給部材H1500の一側面に、端子位置決めピンH1515(2ヶ所)と端子位置決め穴H1309(2ヶ所)により位置決めされ、図13の様に固定される。   The electrical contact substrate H2200 of the recording element unit H1002 is positioned on one side of the ink supply member H1500 by terminal positioning pins H1515 (2 places) and terminal positioning holes H1309 (2 places), and fixed as shown in FIG. .

さらに、インク供給部材H1500のタンクホルダーとの結合穴及び結合部をタンクホルダーH2000に嵌合させ結合することにより、図14の様に記録ヘッドH1001が完成する。   Further, the recording head H1001 is completed as shown in FIG. 14 by fitting and coupling the coupling hole and coupling portion of the ink supply member H1500 with the tank holder to the tank holder H2000.

<2>記録ヘッド
図3および図4は、記録ヘッドH1001とインクタンクH1901、H1902、H1903、H1904の装着を説明する図であり、インクタンクH1901、H1902、H1903、H1904の内部には、対応する色のインクが収納されている。また、図12に示すようにそれぞれのインクタンクには、インクタンク内のインクを記録ヘッドH1001に供給するためのインク供給口H1907が形成されている。例えばインクタンク1901Hが記録ヘッドH1001に装着されると、インクタンクH1901のインク供給口H1907が記録ヘッドH1001のジョイント部H1520に設けられたフィルターH1700と圧接される。そして、インクタンクH1901内のブラックインクがインク供給口H1907から記録ヘッドH1001のインク流路H1501を介して第1のプレートH1200を通り第1の記録素子基板に供給される。
<2> Recording Head FIGS. 3 and 4 are diagrams for explaining the mounting of the recording head H1001 and the ink tanks H1901, H1902, H1903, and H1904. Contains color ink. Further, as shown in FIG. 12, each ink tank is formed with an ink supply port H1907 for supplying ink in the ink tank to the recording head H1001. For example, when the ink tank 1901H is attached to the recording head H1001, the ink supply port H1907 of the ink tank H1901 is brought into pressure contact with the filter H1700 provided in the joint portion H1520 of the recording head H1001. Then, the black ink in the ink tank H1901 is supplied from the ink supply port H1907 to the first recording element substrate through the first plate H1200 via the ink flow path H1501 of the recording head H1001.

そして、電気熱変換素子H1103と吐出口H1107のある発泡室にインクが供給され、電気熱変換素子H1103に与えられる熱エネルギーによって被記録媒体である記録用紙に向けて吐出される。   Then, ink is supplied to the foaming chamber having the electrothermal conversion element H1103 and the discharge port H1107, and is ejected toward a recording sheet as a recording medium by the thermal energy given to the electrothermal conversion element H1103.

次に、本実施形態のインクジェット記録装置にて印字記録を行った際の記録ヘッドの温度特性について、図15を用いて説明する。なお、図15に示す支持部材2は第一のプレートH1200に対応するものであり、この点は他の実施形態も同じである。   Next, temperature characteristics of the recording head when printing is performed by the ink jet recording apparatus of the present embodiment will be described with reference to FIG. The support member 2 shown in FIG. 15 corresponds to the first plate H1200, and this point is the same in other embodiments.

図15(a)は、図1で示した本発明の記録ヘッドの第一の記録素子基板H1100と該第一の記録素子基板H1100を支持する支持部材2で構成された記録ヘッドの温度測定ポイントを示す図である。また、図15(b)は、図11で示した従来の記録ヘッドの第一の記録素子基板H1100と該第一の記録素子基板H1100を支持する支持部材2で構成された記録ヘッドの温度測定ポイントを示す図である。さらに、図15(c)は、図15(a)、(b)で示された測定ポイントで測定された温度を表したグラフである。   FIG. 15A shows the temperature measurement point of the recording head composed of the first recording element substrate H1100 of the recording head of the present invention shown in FIG. 1 and the support member 2 that supports the first recording element substrate H1100. FIG. FIG. 15B shows the temperature measurement of the recording head composed of the first recording element substrate H1100 of the conventional recording head shown in FIG. 11 and the support member 2 that supports the first recording element substrate H1100. It is a figure which shows a point. Further, FIG. 15 (c) is a graph showing the temperature measured at the measurement points shown in FIGS. 15 (a) and 15 (b).

図15(a)において測定ポイントH1は第一の記録素子基板内部の温度センサが設けられた箇所である。また、測定ポイントH3は2列ある吐出口列H1108aのちょうど中間に位置し、かつ、梁6の中心位置でもある箇所である。さらに、測定ポイントH2は吐出口列H1108aを挟んで、H3ポイントと反対側に位置する箇所である。次に、図15(b)において測定ポイントK1は、第一の記録素子基板内部の温度センサが設けられた箇所であり、ポイントH1と同じ位置である。また、測定ポイントK3は前述したH3ポイントと同じ位置である。さらに、測定ポイントK2は前述したH3ポイントと同じ位置である。   In FIG. 15A, the measurement point H1 is a location where the temperature sensor inside the first recording element substrate is provided. In addition, the measurement point H3 is a location that is located exactly in the middle of the two ejection port rows H1108a and that is also the center position of the beam 6. Furthermore, the measurement point H2 is a portion located on the opposite side to the H3 point with the ejection port array H1108a interposed therebetween. Next, in FIG. 15B, a measurement point K1 is a location where the temperature sensor inside the first recording element substrate is provided, and is the same position as the point H1. The measurement point K3 is the same position as the H3 point described above. Furthermore, the measurement point K2 is at the same position as the H3 point described above.

図15(c)は、図15(a)、(b)で説明した記録ヘッドを用いて連続吐出を行い、前述した6つの測定ポイントH1、H2、H3、K1、K2、K3での温度を測定したものである。印字した条件は全ての吐出口から液滴を3kHzの周波数にて、連続吐出させたものであり、実際は記録媒体に対し印字せずに、図2で示したキャップユニット208に直接吐出したものである。また、ポイントH1とポイントK1はほとんど同じ温度あった為、ポイントK1の値は省略している。同様にポイントH2とポイントK2もほとんど同じ温度あった為、ポイントK2の値も省略している。   In FIG. 15C, continuous discharge is performed using the recording head described in FIGS. 15A and 15B, and the temperatures at the six measurement points H1, H2, H3, K1, K2, and K3 described above are measured. It is measured. The printing condition is that droplets are continuously ejected from all the ejection ports at a frequency of 3 kHz, and actually the ink is ejected directly to the cap unit 208 shown in FIG. 2 without printing on the recording medium. is there. Since the point H1 and the point K1 have almost the same temperature, the value of the point K1 is omitted. Similarly, since the point H2 and the point K2 have almost the same temperature, the value of the point K2 is also omitted.

さて、ポイントK3の値は、放熱する支持部材がない為ポイントH1の値に対し、10℃から15℃程高い値になっている。それに対し、ポイントH3では梁6の放熱により、ポイントK3よりも10℃ほど低い値になっており、記録素子基板の熱が支持部材に放熱していることが確認できる。また、ポイントH2は吐出口列に片側のみ接していることと、十分な面積の支持部材に接していることから、ポイントH3よりも若干低い温度になっている。   The value of the point K3 is about 10 to 15 ° C. higher than the value of the point H1 because there is no support member that dissipates heat. On the other hand, the value at point H3 is lower by about 10 ° C. than the point K3 due to the heat radiation of the beam 6, and it can be confirmed that the heat of the recording element substrate is radiated to the support member. Further, the point H2 is slightly lower than the point H3 because it is in contact with only one side of the discharge port array and is in contact with a support member having a sufficient area.

ここで、図16(a)、(b)にて、記録ヘッドの温度の吐出状態への影響を説明する。   Here, with reference to FIGS. 16A and 16B, the influence of the temperature of the recording head on the ejection state will be described.

図16(a)は、電気抵抗素子に電気エネルギーを加えた際の、常温における発泡を示す模式図である。また、図16(b)は、同様に高温時における発泡を示す模式図である。   FIG. 16A is a schematic diagram showing foaming at room temperature when electric energy is applied to the electric resistance element. Moreover, FIG.16 (b) is a schematic diagram which shows the foaming at the time of high temperature similarly.

図16(a)において、最大発泡381Aはインク流路332の途中まで達し、その後消泡していく。一方、図16(b)において、高温時の最大発泡381Bのサイズは常温での最大発泡381Aのサイズに対し、極端に大きさが大きくなり、泡が共通液室333まで大きくはみ出す。すると、泡が収縮する時間が長くなり、インクが発泡室331に充填されるまでの時間が長くなる。インクが発泡室331に充填される前に電気抵抗素子304に再度電気エネルギーが印加されると、発泡不良となり、正常にインクの吐出が行われず、吐出口から吐出されたインク滴の大きさが不均一なものになったりする。さらに、1つのインク滴ではなく、分裂した複数のインク滴になって吐出されたり、または、吐出自体が行われなくなったりすることもある。   In FIG. 16A, the maximum foam 381A reaches the middle of the ink flow path 332, and then disappears. On the other hand, in FIG. 16B, the size of the maximum foam 381B at the high temperature is extremely larger than the size of the maximum foam 381A at the normal temperature, and the bubbles greatly protrude to the common liquid chamber 333. Then, the time for the bubbles to contract becomes longer, and the time until the ink is filled in the foaming chamber 331 becomes longer. If electric energy is applied again to the electric resistance element 304 before the ink is filled in the foaming chamber 331, the foaming failure occurs, the ink is not normally ejected, and the size of the ink droplet ejected from the ejection port is small. It becomes uneven. Furthermore, the ink may be ejected as a plurality of divided ink droplets instead of one ink droplet, or the ejection itself may not be performed.

その結果、記録された画像においては、記録された領域によって濃度がばらついたり、かすれた画像や、ヨレによるスジ等が現れ、使用に耐えられない画像となったりする場合が生じる。そのため、記録ヘッドがその限界温度に対し超えた場合、吐出周波数を下げたり、印字動作間に休止時間を設けたり、場合によっては、印字動作を中断して、記録ヘッドの温度を低下させている。本実施形態では吐出が正常でなくなる限界温度は70℃である。   As a result, in the recorded image, the density varies depending on the recorded region, or a blurred image, a streak due to twisting, or the like may appear, resulting in an image that cannot be used. Therefore, when the recording head exceeds the limit temperature, the ejection frequency is lowered, a pause time is provided between printing operations, or the printing operation is interrupted in some cases to lower the temperature of the recording head. . In the present embodiment, the limit temperature at which ejection becomes abnormal is 70 ° C.

従って、本実施形態では、支持部材2の供給流路2a内に記録素子基板の供給口中間部5aに接する梁6を設けることにより、単位時間当たり同じインク滴を吐出した場合でも、従来に比べ、温度上昇を抑えることが可能となる。記録ヘッドの吐出周波数を下げたり、印字動作間に休止時間を設けたりする頻度が低下し、印字速度の向上が可能となった。   Therefore, in this embodiment, by providing the beam 6 in contact with the supply port intermediate portion 5a of the recording element substrate in the supply flow path 2a of the support member 2, even when the same ink droplets are ejected per unit time, compared to the conventional case. It becomes possible to suppress the temperature rise. The frequency with which the ejection frequency of the recording head is lowered or the pause time is provided between printing operations is reduced, and the printing speed can be improved.

(第2の実施形態)
第1の実施形態では、支持部材2に梁6が1箇所設けられた構成の記録ヘッドの構成説明を行ったが、第2の実施形態は、梁6が複数設けられた構成の記録ヘッドの説明を図17を用いて説明する。
(Second Embodiment)
In the first embodiment, the configuration of the recording head having the structure in which one beam 6 is provided on the support member 2 has been described. In the second embodiment, the recording head having a configuration in which a plurality of beams 6 are provided is described. The description will be given with reference to FIG.

図17(a)は、本発明の第2の実施形態である記録ヘッドの第一の記録素子基板H1100と該第一の記録素子基板H1100を支持する支持部材2で構成された記録ヘッドの温度測定ポイントを示す図である。また、図17(b)は、本発明の第1の実施形態の記録ヘッドの第一の記録素子基板H1100と該第一の記録素子基板H1100を支持する支持部材2で構成された記録ヘッドの温度測定ポイントを示す図である。さらに、図17(c)は、図17(a)、(b)で示された測定ポイントで測定された温度を表したグラフである。   FIG. 17A shows the temperature of the recording head composed of the first recording element substrate H1100 of the recording head according to the second embodiment of the present invention and the support member 2 that supports the first recording element substrate H1100. It is a figure which shows a measurement point. FIG. 17B shows a first recording element substrate H1100 of the recording head according to the first embodiment of the present invention and a recording head composed of a support member 2 that supports the first recording element substrate H1100. It is a figure which shows a temperature measurement point. Further, FIG. 17 (c) is a graph showing the temperature measured at the measurement points shown in FIGS. 17 (a) and 17 (b).

図17(b)において測定ポイントH1は第一の記録素子基板内部の温度センサが設けられた箇所である。また、測定ポイントH3は2列ある吐出口列H1108aのちょうど中間に位置し、かつ、梁6の中心位置でもある箇所である。さらに、測定ポイントH4は、ポイントH1とポイントH3の間にあり、図1(c)における供給口中間部5aの吐出口列方向において、支持部材2及び梁6から最も遠いポイントである。また、測定ポイントM4は前述したH4ポイントと同じ位置で、真下に梁6がある。   In FIG. 17B, the measurement point H1 is a location where the temperature sensor inside the first recording element substrate is provided. In addition, the measurement point H3 is a location that is located exactly in the middle of the two ejection port rows H1108a and that is also the center position of the beam 6. Furthermore, the measurement point H4 is between the point H1 and the point H3, and is the point farthest from the support member 2 and the beam 6 in the discharge port array direction of the supply port intermediate portion 5a in FIG. Further, the measurement point M4 is at the same position as the H4 point described above, and the beam 6 is directly below.

図17(c)は、図17(a)、(b)で説明した記録ヘッドを用いて連続吐出を行い、前述した4つの測定ポイントH1、H3、H4、M4での温度を測定したものである。印字した条件は全ての吐出口から液滴を3kHzの周波数にて、連続吐出させたものであり、実際は記録媒体に対し印字せずに、図2で示したキャップユニットに直接吐出したものである。   FIG. 17C shows the results of measuring the temperatures at the four measurement points H1, H3, H4, and M4 by performing continuous ejection using the recording head described in FIGS. 17A and 17B. is there. The printing condition was that droplets were continuously ejected from all the ejection ports at a frequency of 3 kHz, and actually the ink was ejected directly to the cap unit shown in FIG. 2 without printing on the recording medium. .

さて、第1の実施形態でも説明した通り、ポイントH3の値は、梁6の放熱により、梁が無い場合に比べ低い値になっており、記録素子基板H1100の熱が支持部材に放熱していることが確認できる。一方、ポイントH4の温度は、梁6が比較的近くにあるとはいえ、真下に梁が無い為、第一の実施形態でのポイントK3より低い温度ではあるが、ポイントH3に比べ3〜4℃程高くなっている。   As described in the first embodiment, the value of the point H3 is lower than that when there is no beam due to heat radiation of the beam 6, and the heat of the recording element substrate H1100 is radiated to the support member. It can be confirmed. On the other hand, the temperature of the point H4 is lower than the point K3 in the first embodiment because there is no beam underneath, although the beam 6 is relatively close, but it is 3-4 compared to the point H3. It is higher by about ℃.

それに対し、ポイントM4では梁6の放熱により、ポイントH4よりも3〜4℃程低い値になっており、記録素子基板の熱が梁によってより早く支持部材に対し、放熱していることが確認できる。   In contrast, at point M4, the heat of the beam 6 is about 3 to 4 ° C. lower than the point H4, and it is confirmed that the heat of the recording element substrate is radiated to the support member earlier by the beam. it can.

よって、第2の実施形態では支持部材2に梁6を複数設けることにより、より温度上昇を抑えることが可能となり、単位時間当たり同じインク滴を吐出した場合でも、従来に比べ記録素子基板の昇温を抑制することが出来る。従って、記録ヘッドの吐出周波数を下げたり、印字動作間に休止時間を設けたりする頻度が低下し、印字速度のさらなる向上が可能となった。   Therefore, in the second embodiment, by providing a plurality of beams 6 on the support member 2, it is possible to further suppress the temperature rise, and even when the same ink droplets are ejected per unit time, the rise of the recording element substrate compared to the conventional case. Temperature can be suppressed. Accordingly, the frequency of lowering the ejection frequency of the recording head or providing a pause time between printing operations is reduced, and the printing speed can be further improved.

(第3の実施形態)
第1の実施形態では、支持部材に設けられた梁により、昇温を抑える効果が確認できた。第3の実施形態は、より一層の効果を得る為に梁の幅を広くした構成について、説明を行う。
(Third embodiment)
In 1st Embodiment, the effect which suppresses temperature rising was confirmed by the beam provided in the supporting member. In the third embodiment, a configuration in which the width of the beam is widened to obtain a further effect will be described.

図18(a)は、より放熱効果を高める為に支持部材の梁の幅を広くした、本発明の第3の実施形態である記録ヘッドの支持部材を、記録素子基板搭載面とは反対側から観た状態の図を表している。図18(b)は図18(a)におけるB−B断面での支持部材と記録素子基板の関係を表す図である。また、図18(c)は図18(a)におけるC−C断面での支持部材と記録素子基板の関係を表す図である。   FIG. 18A shows the support member of the recording head according to the third embodiment of the present invention in which the width of the beam of the support member is increased in order to enhance the heat dissipation effect, on the side opposite to the recording element substrate mounting surface. The figure of the state seen from is represented. FIG. 18B is a diagram illustrating the relationship between the support member and the recording element substrate on the BB cross section in FIG. FIG. 18C is a view showing the relationship between the support member and the recording element substrate in the CC cross section in FIG.

図18(a)で示されているLは、支持部材の梁6aの幅を示している。支持部材2の梁6の幅Lを広くすることにより放熱効果が高まり、図15(c)で示したポイントH3の温度がポイントH2の温度にさらに近づくようになり、より大きな効果を得ることが出来る。しかしながら、吐出されるインクの粘度等が高い場合や、極めて早い印字速度を実現する際は、梁6aの部分に対応する、吐出口へのインクの供給に支障が起きる場合がある。本実施形態では、その弊害を排除する為に、梁6aの記録素子基板1側の面の、供給口5に対応する部位に凹状の溝7を、梁6で分けられた供給流路2aを連通させるように設けた。これにより、梁6の幅Lを広くした際の流抵抗の増加を防ぎ、インクの供給能力を向上させることが可能となった。   L shown by Fig.18 (a) has shown the width | variety of the beam 6a of a supporting member. By increasing the width L of the beam 6 of the support member 2, the heat dissipation effect is enhanced, and the temperature at the point H3 shown in FIG. 15C becomes closer to the temperature at the point H2, thereby obtaining a greater effect. I can do it. However, when the viscosity of the ejected ink is high, or when an extremely fast printing speed is realized, there may be a problem in the supply of ink to the ejection port corresponding to the beam 6a. In the present embodiment, in order to eliminate the adverse effects, a concave groove 7 is provided in a portion corresponding to the supply port 5 on the surface of the beam 6a on the recording element substrate 1 side, and the supply flow path 2a divided by the beam 6 is provided. Provided to communicate. As a result, an increase in the flow resistance when the width L of the beam 6 is increased can be prevented, and the ink supply capability can be improved.

図18(b)に示すように溝7は、供給口5の真下に設けられており、記録素子基板1と支持部材2が接する部分には梁6aが存在する為、溝形状が設けられても放熱を妨げることはない。図18(c)の矢印の様に、インクは供給流路2aから溝7と供給口5を通って、梁6a上の電気熱変換素子4上まで供給される。この溝7があることにより、短時間当たりのインク供給量を増すことが出来る。   As shown in FIG. 18B, the groove 7 is provided immediately below the supply port 5, and the beam 6 a exists at the portion where the recording element substrate 1 and the support member 2 are in contact with each other, so that the groove shape is provided. Does not interfere with heat dissipation. As indicated by the arrow in FIG. 18C, ink is supplied from the supply flow path 2a through the groove 7 and the supply port 5 to the electrothermal conversion element 4 on the beam 6a. The presence of the grooves 7 can increase the ink supply amount per short time.

従って、より高い放熱効果を維持しつつ、インクの供給を妨げることなく、インクジェット記録装置の印字速度を高めることが実現できる。   Accordingly, it is possible to increase the printing speed of the ink jet recording apparatus while preventing the ink supply while maintaining a higher heat dissipation effect.

また、本実施形態では、溝形状は断面が円弧状の形としているが、本発明はそれに限定されるものではない。たとえば、断面が四角でも、吐出口列方向に断面積が変化する形状でも構わない。インクの供給が向上する形状であるならば、どのような形状でも適用可能である。   In the present embodiment, the groove shape has an arc-shaped cross section, but the present invention is not limited thereto. For example, the cross section may be a square or the cross section may change in the discharge port array direction. Any shape is applicable as long as the ink supply is improved.

以上の各実施形態において、記録方式として熱エネルギーを生成する電気熱変換体を用いたバブルジェット方式の特にサイドシュータ型(電気熱変換体の形成面に対し垂直に吐出するタイプ)について説明を行ってきた。しかし、本願発明はそれに限定されるものではない。たとえば、エッジシュータ型ヘッドといったタイプ(電気熱変換体の形成面に対し略平行に吐出するタイプ)のインクジェット記録ヘッドについても適用可能である。   In each of the above embodiments, a bubble jet type using an electrothermal transducer that generates thermal energy as a recording method, particularly a side shooter type (a type that discharges perpendicularly to the formation surface of the electrothermal transducer) will be described. I came. However, the present invention is not limited thereto. For example, the present invention can also be applied to an ink jet recording head of a type such as an edge shooter type head (a type that ejects substantially parallel to the formation surface of the electrothermal transducer).

本発明の第1の実施形態に係る記録ヘッドの記録素子基板と支持部材の状態を示した図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a state of a recording element substrate and a support member of the recording head according to the first embodiment of the present invention. 本発明のインクジェット記録装置の構成の一例を示す模式斜視図である。1 is a schematic perspective view illustrating an example of a configuration of an inkjet recording apparatus of the present invention. 本発明の実施形態である、記録ヘッドとインクタンクとが組み合わされた状態を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view illustrating a state in which the recording head and the ink tank are combined according to the embodiment of the present invention. 本発明の実施形態である、記録ヘッドとインクタンクとが組み合わされる前の状態を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view illustrating a state before the recording head and the ink tank are combined according to the embodiment of the present invention. 図4に示した記録ヘッドの分解斜視図である。FIG. 5 is an exploded perspective view of the recording head illustrated in FIG. 4. 図5に示したインク供給ユニットおよび記録素子ユニットの分解斜視図である。FIG. 6 is an exploded perspective view of the ink supply unit and the recording element unit shown in FIG. 5. 図6に示した記録ヘッドの記録素子基板と吐出口列の配置を、記録媒体側からみた模式図である。FIG. 7 is a schematic view of the arrangement of the recording element substrate and the ejection port array of the recording head shown in FIG. 6 as viewed from the recording medium side. 図7に示した第1の記録素子基板を一部を破断して示した斜視図である。FIG. 8 is a perspective view showing the first recording element substrate shown in FIG. 7 with a part thereof broken. 図7に示した第2の記録素子基板を一部を破断して示した斜視図である。FIG. 8 is a perspective view showing the second recording element substrate shown in FIG. 7 with a part thereof broken. 従来の記録ヘッドの記録素子基板と支持部材の状態を示した図である。FIG. 6 is a diagram illustrating a state of a recording element substrate and a support member of a conventional recording head. 従来の記録ヘッドの記録素子基板と支持部材の状態を示した図である。FIG. 6 is a diagram illustrating a state of a recording element substrate and a support member of a conventional recording head. 図3に示した記録ヘッドとインクタンクの結合状態の断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view of a combined state of the recording head and the ink tank illustrated in FIG. 3. 図3等に示した記録ヘッドにおける記録素子ユニットとインク供給ユニットとの結合体を示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view illustrating a combined body of a recording element unit and an ink supply unit in the recording head illustrated in FIG. 3 and the like. 図3等に示した記録ヘッドとインクタンクの結合した状態の底面を示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view illustrating a bottom surface in a state where the recording head and the ink tank illustrated in FIG. 本発明の第1の実施形態に係る記録ヘッドの温度特性を示す図である。FIG. 4 is a diagram illustrating temperature characteristics of the recording head according to the first embodiment of the invention. 常温時と高温時における最大発泡の概念図である。It is a conceptual diagram of the maximum foaming at the time of normal temperature and high temperature. 本発明の第2の実施形態に係る記録ヘッドの温度特性を示す図である。FIG. 6 is a diagram illustrating temperature characteristics of a recording head according to a second embodiment of the present invention. 本発明の第3の実施形態に係る記録ヘッドの支持部材の構造を示す図である。FIG. 10 is a diagram illustrating a structure of a support member for a recording head according to a third embodiment of the invention. 本願の背景技術となる、従来例の記録素子基板を支持部材上に搭載した状態で示す図である。It is a figure shown in the state which mounted the recording element board | substrate of the prior art example used as the background art of this application on a support member. 本願の背景技術となる、従来例の隔壁が無い支持部材を用いた記録ヘッドを示す図である。It is a figure which shows the recording head using the supporting member without a partition of a prior art example used as the background art of this application.

符号の説明Explanation of symbols

1 記録素子基板
2 支持部材
2a 供給流路
2b 隔壁
3 吐出口プレート
3a、303 吐出口
4、304 電気熱変換素子
5 供給口
6、6a 梁
7 溝
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Recording element board | substrate 2 Support member 2a Supply flow path 2b Partition 3 Discharge port plate 3a, 303 Discharge port 4,304 Electrothermal conversion element 5 Supply port 6, 6a Beam 7 Groove

Claims (4)

同種の液体を吐出する複数の隣接した吐出口列と、各吐出口列に対応して形成された、前記同種の液体を供給する複数の液体供給口と、前記吐出口列から前記液体を吐出するための熱エネルギーを発生する電気抵抗素子とを有する記録素子基板と、
前記記録素子基板を支持する部材であって前記記録素子基板の前記複数の液体供給口に液体を供給する供給流路が設けられた支持部材と、を備えた液体吐出ヘッドを用いたインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記支持部材の前記供給流路内に、前記吐出口列と直交する方向にて前記供給流路内の内壁同士を結ぶ形で形成された、前記記録素子基板における隣接する液体供給口同士の間の部分と接する梁を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
A plurality of adjacent ejection port arrays that eject the same type of liquid, a plurality of liquid supply ports that are formed corresponding to each ejection port array and that supply the same type of liquid, and eject the liquid from the ejection port array A recording element substrate having an electrical resistance element that generates thermal energy for
An ink jet recording head using a liquid discharge head comprising: a member that supports the recording element substrate, and a support member provided with a supply flow path for supplying liquid to the plurality of liquid supply ports of the recording element substrate In
Between the liquid supply ports adjacent to each other in the recording element substrate, which is formed in the supply flow channel of the support member so as to connect the inner walls of the supply flow channel in a direction orthogonal to the discharge port array. An ink jet recording head comprising a beam in contact with the portion.
前記供給流路内に前記梁が複数有ることを特徴とする請求項1に記載のインクジェット記録ヘッド。   The inkjet recording head according to claim 1, wherein a plurality of the beams are provided in the supply flow path. 前記梁の前記記録素子基板側の、それぞれの前記液体供給口に対応する部分に凹形状部を有することを特徴とする請求項1または2に記載のインクジェット記録ヘッド。   3. The ink jet recording head according to claim 1, wherein a concave portion is provided in a portion corresponding to each of the liquid supply ports on the recording element substrate side of the beam. 請求項1から3のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドを搭載し、該インクジェット記録ヘッドから記録液滴を記録媒体に吐出することにより記録を行うインクジェット記録装置。   4. An ink jet recording apparatus comprising the ink jet recording head according to claim 1 and performing recording by ejecting recording droplets from the ink jet recording head onto a recording medium.
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