JP2007275763A - Mist removal apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、薬液を使用する各種の装置に付設されて、該装置からの排ガス中に含まれる薬液ミストを除去するためのミスト除去装置に関する。 The present invention relates to a mist removing apparatus that is attached to various apparatuses that use a chemical solution and removes chemical mist contained in exhaust gas from the apparatus.
周知のように、たとえば液晶工場における生産工程では各装置において各種の薬液を使用するが、その薬液のミストが排ガス中に混入することから、排ガスの処理に際しては排ガス中のミストを除去するための工程も必要である。
そのため、従来一般の液晶工場では、たとえば図5に示すように、各生産装置1から発生する排ガスGをダクト2を通して排気ファン3によって排気するための排ガス処理設備に大規模な水スクラバー4を設置しておき、その水スクラバー4によって排ガスGを洗浄処理してミストを吸収し回収してから排ガスGを大気中に放出するとともに、水スクラバー4においてミストを洗浄した洗浄水は水処理施設5において処理したうえで循環再使用することが通常である。
As is well known, for example, in a production process in a liquid crystal factory, various chemical solutions are used in each apparatus. Since the mist of the chemical solution is mixed in the exhaust gas, the mist in the exhaust gas is removed when treating the exhaust gas. A process is also required.
Therefore, in a conventional general liquid crystal factory, for example, as shown in FIG. 5, a large-
また、たとえば特許文献1には、特殊なミスト除去フィルタを備えた薬液ミスト除去回収装置を各生産装置に付設して、そのような装置により各生産装置ごとにミストを回収し除去することも提案されている。
しかし、図5に示すような従来一般の排ガス処理設備によることでは、各生産装置1から発生した様々なミストを含む排ガスを全て混合した状態で一括処理するものであることから、水処理施設5における洗浄水の処理工程が複雑かつ大がかりとならざるを得ない。
また、各生産装置1から水スクラバー4に至るダクト2の経路の総延長が長くなることから、ダクト2中においてミストが再液化してしまうことがあり、そのため、ダクト2の要所には液抜きのためのドレン管を設けたり、ダクト2全体を液密構造としておく必要もあり、そのことが排ガス処理設備全体のコスト増の一因ともなっている。
However, according to the conventional general exhaust gas treatment facility as shown in FIG. 5, since the exhaust gas containing various mist generated from each
Moreover, since the total extension of the path of the
その点、特許文献1に示されるように各生産装置ごとに薬液ミスト除去回収装置を設置して、各生産装置ごとにそこで発生するミストを独立に処理することとすれば、上記のような一括処理を行う場合における問題を軽減できるが、特許文献1に示される薬液ミスト除去回収装置はステンレス製の極めて特殊にして高価なミスト除去フィルタを用いるものであるし、またそれによるミストの回収効率も必ずしも充分ではなく、広く一般に普及するに至っていない。
In that respect, as shown in
上記事情に鑑み、本発明はたとえば液晶工場における生産装置から発生するミストを効率的に回収して除去でき、かつ設備費や運転費を充分に軽減することのできる有効適切なミスト除去装置を提供することを目的とする。 In view of the above circumstances, the present invention provides an effective and appropriate mist removing apparatus capable of efficiently recovering and removing mist generated from a production apparatus in a liquid crystal factory, for example, and sufficiently reducing facility costs and operation costs. The purpose is to do.
本発明は、薬液を使用する各種の装置に付設されて該装置からの排ガス中に含まれる薬液ミストを除去するためのミスト除去装置であって、除去対象のミストを捕集するためのフィルタを有し、該フィルタをポリオレフィン繊維からなる不織布により形成してなることを特徴とする。 The present invention is a mist removing device attached to various devices using a chemical solution to remove chemical mist contained in exhaust gas from the device, and includes a filter for collecting the mist to be removed. And the filter is formed of a nonwoven fabric made of polyolefin fibers.
特に、本発明のミスト除去装置においては、フィルタを排ガスの流通方向に対して直交しかつ鉛直面に沿うように立てた姿勢で配置することにより、該フィルタにより捕集したミストが該フィルタの表面あるいは内部において再液化して該フィルタに沿って自然滴下可能とすることが好ましく、かつ、そのためにフィルタとしての不織布は、左右方向に沿う繊維の密度を上下方向に沿う繊維の密度よりも相対的に低くすることによって、再液化した薬液成分が左右方向の繊維によって阻害されることなく上下方向の繊維に沿って自然滴下するような滴下経路を有しているものとすることが好ましい。 In particular, in the mist removing device of the present invention, the mist collected by the filter is placed on the surface of the filter by arranging the filter in a posture that is perpendicular to the flow direction of the exhaust gas and along the vertical plane. Alternatively, it is preferable that the liquid is reliquefied inside and can be naturally dropped along the filter, and the non-woven fabric as the filter is therefore relatively more dense than the density of the fibers along the vertical direction. It is preferable to have a dropping path that allows the re-liquefied chemical solution component to spontaneously drop along the vertical fibers without being inhibited by the horizontal fibers.
また、フィルタの表面に対して洗浄水を散布することによって、フィルタにより捕集したミストやそのガス状物質を吸収するとともに、ミストから再液化あるいは再結晶化した薬液成分を洗浄水により洗い流すための散水機構を具備することが好ましい。
さらに、その場合には、散水機構として下部周面に多数の散水孔が所定間隔で形成された散水管を用い、該散水管を排ガスの流通方向上流側に面しているフィルタの上部近傍位置に水平に配置すると良い。
In addition, by spraying cleaning water on the surface of the filter, the mist collected by the filter and its gaseous substances are absorbed, and the chemical components reliquefied or recrystallized from the mist are washed away with the cleaning water. It is preferable to provide a watering mechanism.
Further, in that case, a sprinkling pipe having a number of sprinkling holes formed at predetermined intervals on the lower peripheral surface as a sprinkling mechanism, and the position near the upper part of the filter facing the upstream side in the exhaust gas flow direction. It is good to arrange horizontally.
本発明のミスト除去装置によれば、ミスト除去用のフィルタとしてポリオレフィン繊維からなる不織布を用いたので、そのような安価なフィルタ素材によって充分な除去効率が得られ、ミスト除去に係わる設備費および運転費を充分に軽減することが可能である。
特に、フィルタを鉛直面に沿って立てた姿勢で設置するとともに、フィルタとしての不織布の繊維密度に方向性を持たせて再液化した薬液成分が自ずとフィルタに沿って滴下するように構成することにより、薬液成分がフィルタ内に滞留したり下流側へ飛散することを有効に防止でき、除去効率を充分に高めることができる。
また、フィルタに対して洗浄水を散布する散水機構を具備することにより、ミストのみならずガス状物質を吸収でき、かつ再液化あるいは再結晶化した薬液成分を洗浄水により洗い流すことができるので、薬液成分全体に対する除去効率をより一層向上させることができる。
さらに、散水機構として散水孔を所定間隔で形成した散水管を用いることにより、極めて簡単な構成で優れた洗浄効果が得られる。
According to the mist removing apparatus of the present invention, since a nonwoven fabric made of polyolefin fibers is used as a mist removing filter, sufficient removal efficiency can be obtained by such an inexpensive filter material, and the equipment cost and operation for mist removal are obtained. Costs can be reduced sufficiently.
In particular, by installing the filter in an upright position along the vertical plane, and by configuring the liquid component of the nonwoven fabric as a filter to have directionality, the liquid component that has been reliquefied is automatically dropped along the filter. The chemical component can be effectively prevented from staying in the filter or scattered to the downstream side, and the removal efficiency can be sufficiently increased.
In addition, by providing a sprinkling mechanism for spraying cleaning water to the filter, not only mist but also gaseous substances can be absorbed, and re-liquefied or re-crystallized chemical components can be washed away with cleaning water. The removal efficiency with respect to the whole chemical | medical solution component can be improved further.
Furthermore, by using a watering pipe having watering holes formed at predetermined intervals as the watering mechanism, an excellent cleaning effect can be obtained with a very simple configuration.
図1は本発明の実施形態であるミスト除去装置10を備えた排ガス処理設備の全体概略構成図、図2は本実施形態のミスト除去装置10の概略構成図であって(a)は平断面図、(b)は立断面図((a)におけるb−b線視図)、図3はミスト除去装置10におけるフィルタ11としての不織布の繊維密度の方向性を模式的に示す概念図、図4は本実施形態のミスト除去装置10のミスト除去性能を示す図である。
FIG. 1 is an overall schematic configuration diagram of an exhaust gas treatment facility equipped with a
図1に示す排ガス処理設備は液晶工場に適用されるものであって、図5に示した従来のものと同様に各生産装置1からの排ガス中に含まれるミストを一括して処理するための大規模な水スクラバー4を備えているものであるが、それに加えて本実施形態の排ガス処理設備では、それぞれの生産装置1の近傍位置にそれぞれ専用のミスト除去装置10を付設しており、生産装置1から発生したミストを周囲に拡散させることなくまずそのミスト除去装置10に通してそこで殆どのミストを除去し回収することを主眼としている。
The exhaust gas treatment facility shown in FIG. 1 is applied to a liquid crystal factory, and is used for treating mist contained in exhaust gas from each
本実施形態のミスト除去装置10は、図2に示すように、処理対象の排ガスGの入り口および出口を有するケーシング12内を区画して排ガスGの流通経路を蛇行状態で形成し、その途中に排ガスG中のミストを捕集するためのフィルタ11が設置されたものである。
本実施形態におけるフィルタ11は、ケーシング12内の両側部において水平横方向に向かう排ガス流に対して直交するように鉛直面に沿うように立てられた姿勢で配置されており、それらフィルタ11により排ガス中のミストが効率的に捕集されるとともに、捕集したミストがフィルタ11の表面や内部において再液化した場合には、再液化した薬液成分はフィルタ11の表面や内部に留まることなくフィルタ11に沿って自ずと上から下へと自然滴下するものとなっている。
As shown in FIG. 2, the
The
本実施形態におけるフィルタ11は、液晶工場において使用される各種の薬液に対して優れた耐性を有するポリオレフィン樹脂からなる不織布によって形成されたものであって、そのポリオレフィン樹脂の繊維径はたとえば30〜40μm程度とすることが好適である。
そのフィルタ11としての不織布は、捕集したミストから再液化した薬液成分がフィルタに沿って自ずと滴下し易いものとなるように、たとえば図3に示すようにポリオレフィン繊維を主に上下方向に沿うように揃えることによって、左右方向に沿う繊維の密度が上下方向に沿う繊維の密度に比べて相対的に低くなるような繊維密度の方向性を有するものとされている。これにより、再液化した薬液成分の滴下は左右方向の繊維に阻害されることなく自ずと上下方向の繊維に沿って速やかにかつスムーズに滴下することになり、したがって薬液成分がフィルタ11内に滞留したり、その液滴が排ガス流によってフィルタ11を通過して下流側に飛散してしまうようなことを防止でき、優れた除去効率が得られるものである。
換言すると、繊維密度が各方向で完全に均一な不織布や、上記とは逆に左右方向の繊維の密度が上下方向の繊維の密度よりも高い不織布を用いる場合には、左右方向に沿う繊維によって薬液成分の滴下が阻害されてしまって明確な滴下経路が形成されることがなく、フィルタ11の表面や内部で再液化した薬液成分は自ずとそこに留まってしまい、やがては排ガス流によって少なからずフィルタ11を通過して下流側に飛散してしまうことになるので、充分な除去効率は望めるものではない。
The
For example, as shown in FIG. 3, the non-woven fabric as the
In other words, when using a nonwoven fabric in which the fiber density is completely uniform in each direction or a nonwoven fabric in which the density of the fibers in the left-right direction is higher than the density of the fibers in the up-down direction on the contrary, the fibers along the left-right direction The dropping of the chemical component is not obstructed and a clear dropping path is not formed, and the chemical component re-liquefied on the surface or inside of the
また、本実施形態のミスト除去装置10には、上記のように立て姿勢で設置されたフィルタ11の表面に対して洗浄水Wを散布するための散水機構13が備えられている。本実施形態における散水機構13は、塩化ビニールやステンレス等の耐薬品製の素材からなる小径の散水管の下部周面に多数の小径の散水孔(図示せず)を所定間隔で形成したものであり、流量計14を介して洗浄水供給管15から供給される洗浄水Wをフィルタ11の上流側の上部からその表面全体に対して水膜状に散水するものとされている。
Moreover, the
このように、散水機構13によってフィルタ11表面に洗浄水Wを散布することにより、散布された洗浄水Wはフィルタ11表面に沿って流下していき、その際にフィルタ11に捕集されているミストや、ミストからガス化したガス成分が洗浄水に吸収されてしまい、またフィルタ11の表面や内部において再液化したり再結晶化した薬液成分も洗浄水により洗い流されてしまい、それにより薬液成分全体に対する優れた除去効率が得られる。しかも、洗浄水Wがフィルタ11の上流側の表面全体に散布されることによってフィルタ11の目詰まりも有効に防止できるから、圧力損失の増大を防止できるとともに保守頻度も軽減することができる。
勿論、上記のようにフィルタ11には再液化した薬液成分が滴下し易いように繊維密度の方向性が調整されていることから、散布された洗浄水Wも同様にフィルタ11に沿ってスムーズに流下することになり、洗浄水Wがフィルタ11内に滞留したり水滴が下流側に飛散することもない。
Thus, by spraying the cleaning water W on the surface of the
Of course, since the directionality of the fiber density is adjusted so that the re-liquefied chemical component can be easily dropped on the
なお、各ミスト除去装置10に供給された洗浄水Wは、ケーシング12の底部から洗浄水回収管16により回収されて専用の個別水処理施設17(図1参照)に送られ、そこで洗浄水Wから薬液成分を分離除去するための水処理がなされる。したがって、各個別水処理施設17での水処理工程は単独の生産装置1から発生する特定の薬液のみを対象として行えば良く、各生産装置1からの排ガスを全て混合して一括処理する従来の水処理施設5に比べて水処理工程の単純化と処理効率の向上を図ることができる。
The cleaning water W supplied to each
図4は本実施形態のミスト除去装置10の性能確認のための実験結果を示す。実験Case1〜3はいずれもフィルタ寸法が200×250mm、フィルタ面風速1.5〜2.2m/s、散水量0.5L/min(液ガス比0.1〜0.147L/m3)の条件で行ったものである。その結果から、いずれの場合も90%以上の優れた除去率が得られており、特にミストのみならずガス状物質や再液化あるいは再結晶化した成分も含めて薬液成分全体を有効に除去できることから、ミスト重量除去率よりも薬液溶質除去率が高くなっており、大気環境保全上の観点から好ましい結果が得られている。
FIG. 4 shows experimental results for confirming the performance of the
以上で本発明の実施形態を説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものでは勿論なく、装置全体の具体的な構成、たとえばケーシング12の形態や、ケーシング12内における排ガス流通経路の形態、フィルタ11の位置や段数、フィルタ11としての不織布におけるポリオレフィン繊維の繊維径や繊維密度、散水機構13の構成(たとえば水噴霧ノズルの採用も考えられる)、その他については、除去対象のミストの種類や、要求される除去効率、処理するべき排ガス量、その他の諸条件に応じて最適設計を行えば良いことはいうまでもない。
Although the embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiment. Of course, the specific configuration of the entire apparatus, for example, the form of the
また、図1に示した排ガス処理設備では、各生産装置1に付設したミスト除去装置10とそれに対応する個別水処理施設17によってミストを除去し回収することに加えて、従来と同様に全ての排ガスを対象とする水スクラバー4とそのための水処理施設5を備えており、それにより工場全体として充分な処理効率と信頼性が得られるものとなっているが、本発明のミスト除去装置10を各生産装置1に付設することのみで充分な処理効率と充分な信頼性を得ることも勿論可能であるので、その場合には水スクラバー4とそのための水処理施設5を省略することも不可能ではない。
勿論、本発明のミスト除去装置は、液晶工場に限らず、各種の薬品を使用する各種の生産装置を対象として広く適用できることは当然である。
In addition, in the exhaust gas treatment facility shown in FIG. 1, in addition to removing and collecting mist by the
Needless to say, the mist removing apparatus of the present invention is not limited to a liquid crystal factory and can be widely applied to various production apparatuses using various chemicals.
G 排ガス
W 洗浄水
1 生産装置
2 ダクト
3 排気ファン
4 水スクラバー
5 水処理施設
10 ミスト除去装置
11 フィルタ(ポリオレフィン繊維からなる不織布)
12 ケーシング
13 散水機構(散水管)
14 流量計
15 洗浄水供給管
16 洗浄水回収管
17 個別水処理施設
G exhaust gas
12
14
Claims (4)
除去対象のミストを捕集するためのフィルタを有し、該フィルタをポリオレフィン繊維からなる不織布により形成してなることを特徴とするミスト除去装置。 A mist removing device attached to various devices using a chemical solution to remove chemical mist contained in the exhaust gas from the device,
A mist removing device comprising a filter for collecting mist to be removed, wherein the filter is formed of a nonwoven fabric made of polyolefin fibers.
フィルタを排ガスの流通方向に対して直交しかつ鉛直面に沿うように立てた姿勢で配置することにより、該フィルタにより捕集したミストが該フィルタの表面あるいは内部において再液化して該フィルタに沿って自然滴下可能とし、
かつ、フィルタとしての不織布は、左右方向に沿う繊維の密度が上下方向に沿う繊維の密度よりも相対的に低くされていることによって、再液化した薬液成分が左右方向の繊維に阻害されることなく上下方向の繊維に沿って自然滴下するような滴下経路を有していることを特徴とするミスト除去装置。 The mist removing apparatus according to claim 1,
By disposing the filter in an upright posture so as to be perpendicular to the flow direction of the exhaust gas and along the vertical plane, the mist collected by the filter is re-liquefied on the surface or inside of the filter and along the filter. Natural dripping,
And the nonwoven fabric as a filter is that the density of the fiber along the left-right direction is relatively lower than the density of the fiber along the up-down direction, so that the re-liquefied chemical component is inhibited by the fibers in the left-right direction. A mist removing device characterized by having a dropping path that spontaneously drops along a vertical fiber.
フィルタの表面に対して洗浄水を散布することによって、フィルタにより捕集したミストやそのガス状物質を吸収するとともに、ミストから再液化あるいは再結晶化した薬液成分を洗浄水により洗い流すための散水機構を具備してなることを特徴とするミスト除去装置。 The mist removing apparatus according to claim 2,
By spraying cleaning water onto the surface of the filter, the mist collected by the filter and its gaseous substances are absorbed, and the water spray mechanism is used to wash away the chemical components reliquefied or recrystallized from the mist with the cleaning water. The mist removal apparatus characterized by comprising.
散水機構は、下部周面に多数の散水孔が所定間隔で形成された散水管からなり、該散水管を排ガスの流通方向上流側に面しているフィルタの上部近傍位置に水平に配置してなることを特徴とするミスト除去装置。 The mist removing apparatus according to claim 3,
The watering mechanism is composed of a watering pipe having a plurality of watering holes formed at predetermined intervals on the lower peripheral surface, and the watering pipe is horizontally arranged near the upper part of the filter facing the upstream side of the exhaust gas flow direction. A mist removing device characterized by comprising:
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012525258A (en) * | 2010-05-11 | 2012-10-22 | ヨンミン ジョン | Wet air purification device |
CN112316672A (en) * | 2020-11-05 | 2021-02-05 | 中盐昆山有限公司 | Washing tower for filtering tail gas |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5185371A (en) * | 1975-01-20 | 1976-07-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | |
JPS5811339A (en) * | 1981-07-10 | 1983-01-22 | Hitachi Ltd | Ventilating fan |
JPS58158000A (en) * | 1982-03-15 | 1983-09-20 | Toshiba Corp | Electrolytic polishing and decontaminating device |
JPH01236908A (en) * | 1988-03-15 | 1989-09-21 | Asahi Chem Ind Co Ltd | Mist filter |
JPH04273119A (en) * | 1991-02-27 | 1992-09-29 | Oki Electric Ind Co Ltd | Coating apparatus for photoresist |
JPH05245321A (en) * | 1992-03-06 | 1993-09-24 | Nippon Muki Co Ltd | Mist filter and mist collector |
JP2001038124A (en) * | 1999-07-28 | 2001-02-13 | Tennex Corp | Oil mist removing device |
JP2003305322A (en) * | 2002-04-16 | 2003-10-28 | Shimizu Corp | Mist removing filter |
JP2006504526A (en) * | 2002-04-18 | 2006-02-09 | アルパー ハル | Methods for filtering harmful non-gaseous contaminants from air and benign gases |
-
2006
- 2006-04-06 JP JP2006105218A patent/JP4771148B2/en active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5185371A (en) * | 1975-01-20 | 1976-07-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | |
JPS5811339A (en) * | 1981-07-10 | 1983-01-22 | Hitachi Ltd | Ventilating fan |
JPS58158000A (en) * | 1982-03-15 | 1983-09-20 | Toshiba Corp | Electrolytic polishing and decontaminating device |
JPH01236908A (en) * | 1988-03-15 | 1989-09-21 | Asahi Chem Ind Co Ltd | Mist filter |
JPH04273119A (en) * | 1991-02-27 | 1992-09-29 | Oki Electric Ind Co Ltd | Coating apparatus for photoresist |
JPH05245321A (en) * | 1992-03-06 | 1993-09-24 | Nippon Muki Co Ltd | Mist filter and mist collector |
JP2001038124A (en) * | 1999-07-28 | 2001-02-13 | Tennex Corp | Oil mist removing device |
JP2003305322A (en) * | 2002-04-16 | 2003-10-28 | Shimizu Corp | Mist removing filter |
JP2006504526A (en) * | 2002-04-18 | 2006-02-09 | アルパー ハル | Methods for filtering harmful non-gaseous contaminants from air and benign gases |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012525258A (en) * | 2010-05-11 | 2012-10-22 | ヨンミン ジョン | Wet air purification device |
CN112316672A (en) * | 2020-11-05 | 2021-02-05 | 中盐昆山有限公司 | Washing tower for filtering tail gas |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4771148B2 (en) | 2011-09-14 |
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