JP2007265771A - Socket for semiconductor device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a socket for a semiconductor device composed by reducing the difference between degrees of deformation of contacts adjacent to each other and thereby preventing the contacts adjacent to each other from being short-circuited to each other. <P>SOLUTION: This socket for a semiconductor device is provided with at least a socket body, a floating plate vertically movable with respect to the socket body and having a mounting surface for mounting the semiconductor device thereon, a plurality of contacts each having a horizontally projecting elastic deformation part, and each having a vertically movable contact part contacting with an external contact of the semiconductor device, and a pressing body for depressing the semiconductor device and the floating plate. The floating plate has a plurality of through-holes which the external contacts of the semiconductor device face from the upper side thereof and into which contact parts of the contacts are inserted from the lower side thereof; a first step is formed in each through-hole; a projecting part located below the first step is formed in each of the plurality of contacts; and the distance between the first step and the projecting part is set at a predetermined value. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、半導体装置用ソケットに関し、特に、例えば、くの字形、C字形のような水平方向に突出する弾性変形部を有し、垂直方向に弾性変位可能なコンタクトを備える半導体装置用ソケットに関する。   The present invention relates to a socket for a semiconductor device, and more particularly, to a socket for a semiconductor device having an elastically deforming portion that protrudes in a horizontal direction such as a dogleg shape or a C shape, and a contact that can be elastically displaced in a vertical direction. .

例えば、くの字形、C字形のような水平方向に突出する弾性変形部を有し、垂直方向に弾性変位可能なコンタクトを備える半導体装置用ソケットは、特許文献1及び2などに見られるように、従来から良く知られている。このタイプの半導体装置用ソケットは、ソケット本体に対してか移動可能な半導体装置押し込み用のラッチや蓋で半導体装置を下方に向けて押し込み、ソケット本体に取り付けられているコンタクトを変位させることにより、半導体装置の外部接点である半田ボールとコンタクトとの電気的接触力を得るように構成されている。   For example, as disclosed in Patent Documents 1 and 2 and the like, sockets for semiconductor devices having elastically deforming portions protruding in the horizontal direction, such as a dogleg shape and a C shape, and having contacts that can be elastically displaced in the vertical direction. Well known from the past. This type of semiconductor device socket is a semiconductor device push-in latch or lid that can be moved relative to the socket body, and pushes the semiconductor device downward, thereby displacing the contacts attached to the socket body. An electrical contact force between the solder ball, which is an external contact of the semiconductor device, and the contact is obtained.

特開2002−202344号公報JP 2002-202344 A 特開2003−86315号公報JP 2003-86315 A

このタイプの半導体装置用ソケットは、通常、半導体装置の外部接点である半田ボールの配列に合わせてコンタクトも配列されている。従って、半導体装置用ソケットに搭載される半導体装置の品種が異なるすなわち半導体装置に外部接点の配列が異なるごとに、コンタクトの配列が異なる半導体装置用ソケットを用意する必要があり、半導体装置用ソケットを保管するスペースを用意することも含めて半導体装置用ソケットの製造及び保管にかかるコストを増大させる。また、特に半導体装置のスクリーニングとしてのバーンインテストなどに使用される半導体装置用ソケットにおいては、半導体装置に品種が異なるごとに、半導体装置用ソケットを交換する必要があり、テストにかかる時間を増大させる。   In this type of semiconductor device socket, contacts are usually arranged in accordance with the arrangement of solder balls which are external contacts of the semiconductor device. Therefore, it is necessary to prepare a socket for a semiconductor device with a different arrangement of contacts each time the type of semiconductor device mounted on the socket for a semiconductor device is different, that is, the arrangement of external contacts on the semiconductor device is different. The cost for manufacturing and storing the socket for the semiconductor device is increased including the provision of the storage space. In particular, in a socket for a semiconductor device used for a burn-in test as a screening for a semiconductor device, it is necessary to replace the socket for the semiconductor device every time the type of the semiconductor device is different, which increases the time required for the test. .

そこで、このような問題点を少しでも解消する手段として、少なくとも同じピッチまたは整数倍のピッチで配列される外部接点を有し、該外部接点の数が異なる半導体装置に対して、同じ半導体装置用ソケットを使用することが考えられる。この場合、コンタクトが変位するものと変位しないものとが生じることにより、隣接するコンタクト間で短絡する恐れがある。   Therefore, as means for solving such a problem as much as possible, the semiconductor device having external contacts arranged at least at the same pitch or an integer multiple pitch and having the same number of external contacts is used for the same semiconductor device. It is conceivable to use a socket. In this case, a contact may be displaced and a contact may be displaced, which may cause a short circuit between adjacent contacts.

図8を用いてこの短絡現象について簡単に説明する。図8は、従来の半導体装置用ソケットに半導体装置が装着されたときの要部拡大図である。   This short-circuit phenomenon will be briefly described with reference to FIG. FIG. 8 is an enlarged view of a main part when a semiconductor device is mounted on a conventional semiconductor device socket.

半導体装置500は、半導体装置用ソケットに上下動自在に設けられているフローティングプレート530の上面に載置されると、半導体装置500の外部接点である半田ボール501が、該フローティングプレート530に対応して形成されている貫通孔531に入り込む。その後、図に示されるように、半導体装置500は、半導体装置用ソケットに設けられているラッチや蓋により、フローティングプレート530とともに垂直方向下方に押し下げられる。その結果、半導体装置500の半田ボール501は、半導体装置用ソケットのコンタクト550の接触部551に接触し、コンタクトを垂直方向下方に変位させることで所定の接触圧を持って電気的に接触する。   When the semiconductor device 500 is placed on the upper surface of a floating plate 530 provided in a semiconductor device socket so as to be movable up and down, a solder ball 501 that is an external contact of the semiconductor device 500 corresponds to the floating plate 530. The through hole 531 is formed. Thereafter, as shown in the drawing, the semiconductor device 500 is pushed down in the vertical direction together with the floating plate 530 by a latch and a lid provided in the socket for the semiconductor device. As a result, the solder ball 501 of the semiconductor device 500 comes into contact with the contact portion 551 of the contact 550 of the socket for a semiconductor device, and makes electrical contact with a predetermined contact pressure by displacing the contact vertically downward.

ここで、図に示されるように、真ん中のコンタクト550’に対応する半田ボールが存在しない半導体装置500を想定する。この場合、半田ボール501が存在しないため、これに対応するコンタクト550’の接触部551’は、半導体装置500の本体に当接することで、くの字形の弾性変形部552’は、ほとんど変形しない。これに対して、半田ボール501が存在する左右のコンタクト550においては、その接触部551が半田ボール501に接触し、コンタクト550’の接触部551’に比べて半田ボール501の分下方に大きく変位するため、それにより、弾性変形部552は、屈曲し、変形する。その結果、図に示す例においては、真ん中のコンタクト550’と右側のコンタクト550のそれぞれの弾性変形部552’及び552の変形の度合いの差が大きいことにより、両者は、短絡する。もちろん、コンタクト550の弾性変形部552の変形の度合いの差、言い換えれば、コンタクト550の接触部551の変位の差を小さくすれば、このような短絡減少の発生する確率は小さくなるが、その場合、半導体装置500の半田ボール501とコンタクト550の接触部551との必要とされる接触圧が得られず、安定した電気的接続が得られない恐れが生じる。なお、この短絡現象は、近年の半導体装置に求められる半導体装置の外部接点のピッチが小さくなるほど発生する確率が高い。   Here, as shown in the drawing, a semiconductor device 500 in which there is no solder ball corresponding to the middle contact 550 ′ is assumed. In this case, since the solder ball 501 does not exist, the contact portion 551 ′ of the contact 550 ′ corresponding to the solder ball 501 comes into contact with the main body of the semiconductor device 500, so that the dog-shaped elastic deformation portion 552 ′ hardly deforms. . In contrast, in the left and right contacts 550 where the solder balls 501 are present, the contact portions 551 come into contact with the solder balls 501 and are greatly displaced downward by the solder balls 501 compared to the contact portions 551 ′ of the contacts 550 ′. Therefore, the elastic deformation portion 552 is bent and deformed. As a result, in the example shown in the figure, the difference in the degree of deformation of the elastic deformation portions 552 'and 552 of the middle contact 550' and the right contact 550 is large, so that they are short-circuited. Of course, if the difference in the degree of deformation of the elastic deformation portion 552 of the contact 550, in other words, the difference in displacement of the contact portion 551 of the contact 550 is reduced, the probability of occurrence of such a short-circuit reduction is reduced. The required contact pressure between the solder ball 501 of the semiconductor device 500 and the contact portion 551 of the contact 550 cannot be obtained, and there is a possibility that stable electrical connection cannot be obtained. The short circuit phenomenon is more likely to occur as the pitch of the external contacts of a semiconductor device required for a recent semiconductor device becomes smaller.

本発明の目的は、上述する問題点に鑑み、隣接するコンタクトの変形の度合いの差を小さくし、それにより隣接するコンタクトが短絡することがない半導体装置用ソケットを提供することにある。   In view of the above-described problems, an object of the present invention is to provide a semiconductor device socket in which the difference in the degree of deformation of adjacent contacts is reduced, thereby preventing adjacent contacts from being short-circuited.

上記目的を達成するために、本願発明の半導体装置用ソケットは、ソケット本体と、該ソケット本体に対して上下動可能な、半導体装置が載置される載置面を有するフローティングプレートと、水平方向に突出する弾性変形部を有し、半導体装置の外部接点に接触する接触部が上下可能である複数のコンタクトと、半導体装置及びフローティングプレートを押し下げる押圧体と、を少なくとも備える半導体装置用ソケットであって、前記フローティングプレートには、上方から半導体装置の外部接点が臨み、下方からコンタクトの接触部が挿入される複数の貫通孔が設けられ、各貫通孔には第1の段部が形成され、前記複数のコンタクト各々には、前記第1の段部の下方に位置する突部が形成され、前記段部と突部との間の距離は、前記フローティングプレートの載置面に載置された状態における前記半導体装置の外部接点と前記コンタクトの接触部との間の距離より大きく、前記フローティングプレートの載置面に載置された状態における前記半導体装置の底面と前記コンタクトの接触部との間の距離より小さくなるように設定されることを特徴とする。   In order to achieve the above object, a socket for a semiconductor device according to the present invention includes a socket body, a floating plate having a mounting surface on which a semiconductor device can be moved up and down with respect to the socket body, and a horizontal direction. A socket for a semiconductor device, comprising at least a plurality of contacts that have an elastically deforming portion projecting on the contact portion, and a contact portion that can contact an external contact of the semiconductor device, and a pressing body that pushes down the semiconductor device and the floating plate. The floating plate is provided with a plurality of through holes through which the external contacts of the semiconductor device face from above and into which the contact parts of the contacts are inserted from below, and each through hole is formed with a first step. Each of the plurality of contacts is formed with a protrusion positioned below the first step portion, and the distance between the step portion and the protrusion is determined by the flow. The semiconductor device in a state of being placed on the placement surface of the floating plate that is larger than the distance between the external contact of the semiconductor device and the contact portion of the contact in the state of being placed on the placement surface of the mounting plate It is set so that it may become smaller than the distance between the bottom face of this, and the contact part of the said contact.

さらに、本願発明の半導体装置用ソケットは、前記フローティングプレートには、上方から半導体装置の外部接点が臨み、下方からコンタクトの接触部が挿入される複数の貫通孔が設けられ、各貫通孔には突部が形成され、前記複数のコンタクト各々には、前記突部の下方に位置する第1の段部が形成され、前記突部と段部との間の距離は、前記フローティングプレートの載置面に載置された状態における前記半導体装置の外部接点と前記コンタクトの接触部との間の距離より大きく、前記フローティングプレートの載置面に載置された状態における前記半導体装置の底面と前記コンタクトの接触部との間の距離より小さくなるように設定されてもよい。   Furthermore, in the socket for a semiconductor device of the present invention, the floating plate is provided with a plurality of through holes into which the external contacts of the semiconductor device face from above and the contact portions of the contacts are inserted from below. A protrusion is formed, and each of the plurality of contacts is formed with a first step located below the protrusion, and the distance between the protrusion and the step depends on the mounting of the floating plate The bottom surface of the semiconductor device and the contact in a state of being placed on the placement surface of the floating plate that is larger than the distance between the external contact of the semiconductor device and the contact portion of the contact in the state of being placed on the surface It may be set to be smaller than the distance between the contact portion.

また、この場合における半導体装置用ソケットにおいても、前記複数のコンタクト各々には、前記貫通孔の突部の上方に位置する第2の段部が形成されていることが好ましい。   Also in the semiconductor device socket in this case, it is preferable that each of the plurality of contacts is formed with a second step portion located above the protrusion of the through hole.

本願発明は、特に、フローティングプレートに形成される貫通孔に第1の段部が設けられ、該貫通孔にその接触部が下から挿入されるコンタクトに、貫通孔の第1の段部の下方に位置する突部が形成されるとともに、第1の段部と突部との間の距離を所定の距離とすることで、半導体装置の外部接点の有無により隣り合うコンタクトの変形が異なり、その変形の差によるコンタクト間の短絡を防止することができる。延いては、本願発明における半導体装置用ソケットは、少なくとも同じピッチか整数倍のピッチを有し、外部接点の数が異なる半導体装置に共用することを可能とし、全ての半導体装置に対応して半導体装置用ソケットを用意する必要がなくなる。あるいは、フローティングプレートに形成される貫通孔に突部が設けられ、該貫通孔にその接触部が下から挿入されるコンタクトに、貫通孔の突部の下方に位置する第1の段部が形成されるとともに、第1の段部と突部との間の距離を所定の距離とすることでも同様の作用効果が得られる。   In the present invention, in particular, a first step portion is provided in a through hole formed in the floating plate, and a contact where the contact portion is inserted into the through hole from below is provided below the first step portion of the through hole. The protrusions located at the first protrusion and the protrusions are formed at a predetermined distance, so that the deformation of adjacent contacts varies depending on the presence or absence of external contacts of the semiconductor device. A short circuit between contacts due to a difference in deformation can be prevented. In other words, the socket for a semiconductor device according to the present invention can be used for a semiconductor device having at least the same pitch or an integer multiple pitch and having a different number of external contacts, and is compatible with all semiconductor devices. It is no longer necessary to prepare a device socket. Alternatively, a protrusion is provided in the through hole formed in the floating plate, and a first step portion located below the protrusion of the through hole is formed in the contact into which the contact portion is inserted from below. In addition, a similar effect can be obtained by setting the distance between the first step portion and the protrusion to a predetermined distance.

さらに、本願発明は、第1の段部に対して突部を挟んで第2の段部を設けることで、外部接点の設計誤差により各コンタクト間の変形を小さくすることもできる。   Furthermore, according to the present invention, by providing the second step portion with the protrusion interposed between the first step portion, deformation between the contacts can be reduced due to the design error of the external contact.

以下、図1ないし7を用いて、本願発明の実施態様について詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to FIGS.

図1は、本願発明が適用される半導体装置用ソケットの概略断面図であり、操作部材が押し下げられた状態を示している。図2は、半導体装置用ソケットに半導体装置が装着されていない状態の本願発明の1つの実施例の要部拡大断面図である。図3は、本願発明に係るコンタクトの変形の度合いの差を小さくするための機構を説明するための図であり、(a)は、半導体装置がフローティングプレートの上に載置されてはいるが、まだ下方に押し込まれていないコンタクトがフリーの状態を示す要部拡大断面図であり、(b)は、半導体装置が下方に押し込まれ、コンタクトと所定の接触圧で電気的に接触している状態を示す(a)と同様の要部拡大断面図である。図4は、図3(b)に示される状態におけるコンタクトの変形を示す要部拡大断面図である。図5は、本発明に使用し得るフローティングプレートの製造を説明するための概略斜視図である。図6は、本発明に使用し得る別のフローティングプレートの概略斜視図である。図7は、本発明の別の実施例の要部拡大断面図である。   FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a semiconductor device socket to which the present invention is applied, and shows a state where an operation member is pushed down. FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of a main part of one embodiment of the present invention in a state in which the semiconductor device is not mounted in the semiconductor device socket. FIG. 3 is a diagram for explaining a mechanism for reducing the difference in the degree of contact deformation according to the present invention. FIG. 3A shows a semiconductor device mounted on a floating plate. FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of a main part showing a state in which a contact that has not yet been pushed down is free, and FIG. 4B is a diagram illustrating a state where the semiconductor device is pushed down and is in electrical contact with the contact at a predetermined contact pressure. It is a principal part expanded sectional view similar to (a) which shows a state. FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of the main part showing the deformation of the contact in the state shown in FIG. FIG. 5 is a schematic perspective view for explaining the production of a floating plate that can be used in the present invention. FIG. 6 is a schematic perspective view of another floating plate that can be used in the present invention. FIG. 7 is an enlarged sectional view of a main part of another embodiment of the present invention.

(実施例1)
最初に、本発明が適用される半導体装置用ソケット1の構造について説明する。
Example 1
First, the structure of the semiconductor device socket 1 to which the present invention is applied will be described.

図1に示されるように、半導体装置用ソケット1は、本実施例では、オープントップ型ソケットであり、概略、ソケット本体10、操作部材20、フローティングプレート30、位置決め部材40、複数のコンタクト50及び一対のラッチ60を備えている。半導体装置用ソケット1は、複数のコンタクト50を除いて、実質的に電気的に絶縁性の材料で作られる。   As shown in FIG. 1, the semiconductor device socket 1 is an open-top type socket in this embodiment, and roughly includes a socket body 10, an operation member 20, a floating plate 30, a positioning member 40, a plurality of contacts 50, and A pair of latches 60 are provided. The semiconductor device socket 1 is made of a substantially electrically insulating material except for the plurality of contacts 50.

ソケット本体10は、概略断面矩形状であり、底壁11に形成される貫通孔12を介してコンタクト50を支持するとともに、それぞればね部材(不図示)を介して、操作部材20及びフローティングプレート30をソケット本体10に対して上下動自在に支持している。   The socket body 10 has a substantially rectangular cross section, supports the contacts 50 through the through holes 12 formed in the bottom wall 11, and the operation member 20 and the floating plate 30 via spring members (not shown). Is supported so as to be movable up and down with respect to the socket body 10.

操作部材20は、ソケット本体10の断面形状と同じ断面矩形状をなしており、上述したように、圧縮コイルバネのようなばね部材(不図示)を介してソケット本体10に対して上方に付勢されるとともに、上下動自在に該ソケット本体10に支持されている。操作部材20は、ソケット本体10に対して押し下げられることにより、一対のラッチ60を開き、フローティングプレート30上から後退させる。操作部材20から押し下げ力が解除されると、操作部材20は、介在するばね部材(不図示)により上昇し、元の位置に戻る。それにより、一対のラッチ60は、閉じ、フローティングプレート30上に前進する。   The operation member 20 has the same rectangular cross-sectional shape as that of the socket body 10 and, as described above, is biased upward with respect to the socket body 10 via a spring member (not shown) such as a compression coil spring. At the same time, it is supported by the socket body 10 so as to be movable up and down. When the operation member 20 is pushed down with respect to the socket body 10, the pair of latches 60 are opened and retracted from the floating plate 30. When the push-down force is released from the operation member 20, the operation member 20 is raised by an intervening spring member (not shown) and returns to the original position. Accordingly, the pair of latches 60 are closed and advanced on the floating plate 30.

フローティングプレート30は、その上面に半導体装置100が載置される載置面38を有し、載置される半導体装置100の外部接点である半田ボール101に対応してフローティングプレート30を上下方向に貫通する複数の貫通孔32が形成されている。本願発明の特徴点である貫通孔32は、図5、図6に示されるように、コンタクト50の断面に相似形の断面矩形状であり、また、図2に示されるように、貫通孔32は、上方孔部32a、該上方孔部32aより幅が大きい下方孔部32cを備え、上方孔部32aと下方孔部32cとの間には第1の段部32bが形成されている。そして上方孔部32aには、上方から半導体装置100の半田ボール101が臨み、下方からコンタクト50の接触部51が下方孔部32cを介して挿入されている。   The floating plate 30 has a mounting surface 38 on which the semiconductor device 100 is mounted on the upper surface thereof, and the floating plate 30 is vertically moved in correspondence with the solder ball 101 that is an external contact of the semiconductor device 100 to be mounted. A plurality of through holes 32 penetrating therethrough are formed. As shown in FIGS. 5 and 6, the through hole 32, which is a feature of the present invention, has a rectangular cross section similar to the cross section of the contact 50, and as shown in FIG. 2, the through hole 32. Includes an upper hole portion 32a and a lower hole portion 32c having a larger width than the upper hole portion 32a, and a first step portion 32b is formed between the upper hole portion 32a and the lower hole portion 32c. Then, the solder ball 101 of the semiconductor device 100 faces the upper hole portion 32a from above, and the contact portion 51 of the contact 50 is inserted through the lower hole portion 32c from below.

なお、貫通孔32は、本実施例においては、断面矩形状であるとして説明したが、これに限られるものではなく断面円形であってもよい。この場合であっても、下方孔部32cは、本実施例と同様に矩形断面であることが好ましい。すなわち、このように構成することにより、コンタクト50の上下動をぶれることなく案内することができるからである。   In the present embodiment, the through hole 32 has been described as having a rectangular cross section. However, the through hole 32 is not limited to this and may have a circular cross section. Even in this case, the lower hole portion 32c preferably has a rectangular cross section as in the present embodiment. That is, with this configuration, the vertical movement of the contact 50 can be guided without being shaken.

フローティングプレート30は、また、上述したように、ソケット本体10に対してばね部材(不図示)を介して上方に付勢されるとともに、上下動自在に支持されており、載置面38に半導体装置100が載置され、一対のラッチ60が閉じたとき、該一対のラッチ60に押されて半導体装置100とともに下降し得る。   Further, as described above, the floating plate 30 is biased upward with respect to the socket body 10 via a spring member (not shown) and is supported so as to be movable up and down. When the device 100 is placed and the pair of latches 60 are closed, the pair of latches 60 can be pushed down by the semiconductor device 100.

フローティングプレート30の製造方法は、図5に示されるように、側面に貫通孔32が開放した形の複数の溝32’が形成された板状体31a、31b、31c、31d・・・を重ね合わせ、連結部材33などで一体化するようにしてもよいし、図6に示されるように、金型成形により貫通孔32を備えた形で一体的に製造されてもよい。さらに、図5、図6に示されるように、マトリックス状に配列された複数の貫通孔32を有するブロックを、別途作成されるフローティング部材と組み合わせて、フローティングプレート30としてもよい。   As shown in FIG. 5, the floating plate 30 is manufactured by stacking plate-like bodies 31 a, 31 b, 31 c, 31 d... Having a plurality of grooves 32 ′ having side holes 32 open on the side surfaces. They may be integrated with the connecting member 33 or the like, or may be integrally manufactured with a through hole 32 by molding as shown in FIG. Furthermore, as shown in FIGS. 5 and 6, a block having a plurality of through holes 32 arranged in a matrix may be combined with a separately created floating member to form a floating plate 30.

位置決め部材40は、フローティングプレート30の載置面38上に、通常、載置される半導体装置100の四隅に対応して配置され、半導体装置100を載置面38に案内し、載置面38上における半導体装置100の位置決めする。したがって、位置決め部材40は、半導体装置100を案内すべく、内側に傾斜面41及び垂直面42を有することが好ましい。   The positioning members 40 are usually arranged on the mounting surface 38 of the floating plate 30 corresponding to the four corners of the semiconductor device 100 to be mounted, guide the semiconductor device 100 to the mounting surface 38, and the mounting surface 38. The semiconductor device 100 is positioned above. Therefore, it is preferable that the positioning member 40 has the inclined surface 41 and the vertical surface 42 on the inner side in order to guide the semiconductor device 100.

コンタクト50は、導電性材料からなる薄板を打抜き加工などにより形成される。図2、図3(a)及び図4に示されるように、コンタクト50は、半導体装置100の外部接点である半田ボール101に接触する接触部51、接触部51の上下方向の変位を許容する水平方向に突出する略C字状の弾性変形部52及び電気機器やテストボード(不図示)の外部接点に接続される端子部53を備えている点では従来例の構成と同じである。本願発明において、コネクタ50は、図2、図3(a)及び図4に示されるように、接触部51の弾性変形部52寄りに、該接触部51の左右方向に突出する一対の突部54が形成されている。該突部54は、組み立てられたとき、図3(a)に示されるように、フローティングプレート30の貫通孔32に形成される第1の段部32bより距離Dだけ下方に位置するように設けられる。該突部54は、載置される半導体装置100の対応する半田ボール101が存在しないとき、フローティングプレート30の下降に伴い、フローティングプレート30の貫通孔32に形成されている第1の段部32bに当接し、該突部54が形成されているコンタクト50を強制的に下方に変位させる。   The contact 50 is formed by punching a thin plate made of a conductive material. As shown in FIGS. 2, 3 (a), and 4, the contact 50 allows the contact portion 51 that contacts the solder ball 101, which is an external contact of the semiconductor device 100, and the vertical displacement of the contact portion 51. The configuration is the same as that of the conventional example in that a substantially C-shaped elastic deformation portion 52 that protrudes in the horizontal direction and a terminal portion 53 that is connected to an external contact of an electric device or a test board (not shown) are provided. In the present invention, as shown in FIGS. 2, 3 (a), and 4, the connector 50 has a pair of protrusions protruding in the left-right direction of the contact portion 51 near the elastic deformation portion 52 of the contact portion 51. 54 is formed. As shown in FIG. 3A, the protrusion 54 is provided so as to be positioned below the first step 32b formed in the through hole 32 of the floating plate 30 by a distance D when assembled. It is done. The protrusion 54 is a first step 32 b formed in the through hole 32 of the floating plate 30 as the floating plate 30 descends when the corresponding solder ball 101 of the semiconductor device 100 to be placed does not exist. The contact 50 on which the protrusion 54 is formed is forcibly displaced downward.

一対のラッチ60は、本実施例においては、図1において紙面に垂直方向に設けられており、ソケット本体10に対して回動自在に、それにより各ラッチ60の半導体押圧部61がフローティングプレート30の載置部38に対して前進後退自在(図1において、紙面に対して垂直方向に移動自在)に、すなわち、開閉自在に支持されている(詳細な構成は、特開2004−55407号公報または上記特許文献2など参照)。   In this embodiment, the pair of latches 60 are provided in a direction perpendicular to the paper surface in FIG. 1, and are rotatable with respect to the socket body 10, whereby the semiconductor pressing portions 61 of the respective latches 60 are connected to the floating plate 30. Is supported so as to be able to move forward and backward (movable in a direction perpendicular to the paper surface in FIG. 1), that is, openable and closable (detailed configuration is disclosed in JP-A-2004-55407). Or refer to Patent Document 2 above).

一対のラッチ60は、半導体装置用ソケット1が半導体装置を搭載せず、且つ操作部材20が操作されていないフリーの状態のとき、フローティングプレート30の載置面38上に前進し、閉じた状態にあるように構成される。この時、一対のラッチ60自身も、閉じる方向にばね部材により付勢されていることが好ましい。一対のラッチ60が閉じているとき、各ラッチ60の半導体押圧部61とフローティングプレート30の載置面38との間は、所定の間隔を持って離れているように構成される。該間隔x(不図示)は、コンタクト50との接触圧を決定するものである。一対のラッチ60は、図1に示されるように、操作部材20が押し下げられることにより、開かれ、載置面38から後退し得る。この時、半導体装置100がフローティングプレート30の載置面38上に載置することが可能となる。   The pair of latches 60 are advanced and closed on the mounting surface 38 of the floating plate 30 when the semiconductor device socket 1 is not mounted with a semiconductor device and the operation member 20 is not operated. It is configured to be in At this time, it is preferable that the pair of latches 60 themselves are also urged by the spring member in the closing direction. When the pair of latches 60 are closed, the semiconductor pressing portion 61 of each latch 60 and the mounting surface 38 of the floating plate 30 are configured to be separated from each other with a predetermined interval. The interval x (not shown) determines the contact pressure with the contact 50. As shown in FIG. 1, the pair of latches 60 can be opened and retracted from the mounting surface 38 when the operation member 20 is pushed down. At this time, the semiconductor device 100 can be mounted on the mounting surface 38 of the floating plate 30.

半導体装置100が載置面38上に載置され、操作部材20の押し下げ力を解除すると、一対のラッチ60は、閉じつつ、載置面38上に前進する。それにより、一対のラッチ60の半導体押圧部61は、フローティングプレート30上に載置された半導体装置100をフローティングプレート30と一緒に押し下げ、通常、半導体装置100の半田ボール101を、対応するコンタクト50の接触部51に接触させる。   When the semiconductor device 100 is placed on the placement surface 38 and the push-down force of the operation member 20 is released, the pair of latches 60 move forward on the placement surface 38 while being closed. As a result, the semiconductor pressing portions 61 of the pair of latches 60 push down the semiconductor device 100 placed on the floating plate 30 together with the floating plate 30, and normally the solder balls 101 of the semiconductor device 100 are moved to the corresponding contacts 50. Are brought into contact with the contact portion 51 of the.

これらの説明から理解されるように、本実施例における一対のラッチ60は、フローティングプレート30の載置面38に載置された半導体装置100をフローティングプレート30とともに押し下げる押圧体として機能する。言い換えると、半導体装置100及びフローティングプレート30を同時に押し下げることができるのであれば、押圧体は、本実施例の一対のラッチ60に限られることはなく、例えば2対のラッチであってもよいし、手動により上方から押し下げる押圧体であってもよいし、あるいはクラムシェルタイプのソケットにおける蓋体に取り付けられた押圧体であってもよい。   As can be understood from these descriptions, the pair of latches 60 in this embodiment function as pressing bodies that push down the semiconductor device 100 placed on the placement surface 38 of the floating plate 30 together with the floating plate 30. In other words, as long as the semiconductor device 100 and the floating plate 30 can be pushed down at the same time, the pressing body is not limited to the pair of latches 60 of this embodiment, and may be, for example, two pairs of latches. It may be a pressing body that is manually pushed down from above, or a pressing body that is attached to a lid in a clamshell type socket.

次に、以上のような構成を備える半導体装置用ソケット1において、半導体装置100を装着するときの動作を、図3及び図4を参照して詳細に説明する。なお、図3及び4において示されるように、本実施例においては、真ん中のコンタクト50’に対応する半導体装置100の外部接点である半田ボール101が存在しないものとして説明する。   Next, the operation when mounting the semiconductor device 100 in the semiconductor device socket 1 having the above-described configuration will be described in detail with reference to FIGS. As shown in FIGS. 3 and 4, in this embodiment, it is assumed that there is no solder ball 101 which is an external contact of the semiconductor device 100 corresponding to the middle contact 50 ′.

半導体装置用ソケット1の操作部材20を押し下げ、一対のラッチ60をフローティングプレート30の載置面38から後退させた状態において、半導体装置100を上方からフローティングプレート30の載置面38上に載置する。   In a state where the operation member 20 of the semiconductor device socket 1 is pushed down and the pair of latches 60 are retracted from the mounting surface 38 of the floating plate 30, the semiconductor device 100 is mounted on the mounting surface 38 of the floating plate 30 from above. To do.

半導体装置100は、位置決め部材40に案内され、その外部接点である半田ボール101は、図3(a)に示されるように、対応する貫通孔32に嵌まり込む。この時点では、図にも示されるように、半田ボール101とコンタクト50の接触部51は、隙間Aを有して離れた状態にある。該隙間Aは、半導体装置100を半導体装置用ソケット1から取り外すとき、半田ボール101とコンタクト50とが完全に離脱して後、半導体装置100を容易に取り外すことを可能とすべく設けられているもので、予め設定されている。従って、半田ボール101の半導体装置100の底面102からの突出量をBとすると、真ん中のコンタクト50’の接点部51’は、半導体装置100の底面102から(A+B)だけ離れている。なお、隙間Aは、あることが好ましいが、なくてもよい。   The semiconductor device 100 is guided by the positioning member 40, and the solder ball 101 as an external contact thereof is fitted into the corresponding through hole 32 as shown in FIG. At this time, as shown in the drawing, the contact portion 51 between the solder ball 101 and the contact 50 is in a state of being separated with a gap A. The gap A is provided so that when the semiconductor device 100 is removed from the semiconductor device socket 1, the semiconductor device 100 can be easily removed after the solder balls 101 and the contacts 50 are completely separated. It is preset. Therefore, if the protruding amount of the solder ball 101 from the bottom surface 102 of the semiconductor device 100 is B, the contact portion 51 ′ of the middle contact 50 ′ is separated from the bottom surface 102 of the semiconductor device 100 by (A + B). The gap A is preferably present but may not be present.

この状態から、操作部材20に加えられている押し下げ力を解除すると、操作部材20は、ソケット本体10との間に介在するばね部材により元の位置に上昇する。それにより、一対のラッチ60が閉じ、同様に元の位置に戻る。   When the pressing force applied to the operation member 20 is released from this state, the operation member 20 is raised to the original position by the spring member interposed between the operation member 20 and the socket body 10. As a result, the pair of latches 60 are closed and similarly returned to their original positions.

半田ボール101とコンタクト50の接触部51が所定の電気的接触圧で接触し得るために、半田ボール101に対応するコンタクト50の接触部51が距離hだけ押し下げられる必要があるとすると、半導体装置100は、図3(b)に示されるように、距離(A+h)だけ押し下げられる必要がある。この押し下げ量(A+h)は、(半導体装置100の厚さ−間隔x)であることは当然に理解される。   Assuming that the contact portion 51 of the contact 50 corresponding to the solder ball 101 needs to be pushed down by a distance h so that the contact portion 51 of the solder ball 101 and the contact 50 can be brought into contact with each other with a predetermined electrical contact pressure. 100 needs to be pushed down by a distance (A + h) as shown in FIG. 3 (b). It will be understood that the amount of depression (A + h) is (thickness of semiconductor device 100−interval x).

ここで、本願発明は、従来コンタクト50’が半導体装置100の底面102に当接して変位する場合、隣接するコンタクト50(本実施例では、右隣のコンタクト50)に接触し短絡する恐れがある(図8参照)ことを考慮して、それらの変位の差を小さくすることで、結果として、図4に示されるように、弾性変形部52’と52間で短絡しないようにすることを目的としている。本願発明は、コンタクト50とコンタクト50’の変位の差を小さくすべく、コンタクト50’の変位量を大きくし、コンタクト50の変位に近づけることでこれを達成しようとするものである。そのためには、コンタクト50’の変位に関し、図3(b)において、少なくともコンタクト50’を半導体装置100の底面102に当接させることなく変位させることが必須の要件であることが理解される。言い換えれば、図3(b)に示される場合において、コンタクト50’と半田ボール101との間隔をCとすると、少なくともC>0としようとするものである。そうであるとすると、C=A+B−Dであるから、少なくとも、D<A+Bであるように距離Dを設定すればよいことが理解される。   Here, in the present invention, when the conventional contact 50 ′ is displaced in contact with the bottom surface 102 of the semiconductor device 100, there is a possibility that it contacts the adjacent contact 50 (in this embodiment, the right adjacent contact 50) and short-circuits. (Refer to FIG. 8) In view of the fact that the difference between these displacements is reduced, as a result, as shown in FIG. 4, the object is to prevent a short circuit between the elastically deformable portions 52 ′ and 52. It is said. The present invention seeks to achieve this by increasing the amount of displacement of the contact 50 ′ and bringing it closer to the displacement of the contact 50 in order to reduce the difference in displacement between the contact 50 and the contact 50 ′. For this purpose, it is understood that it is an essential requirement for the displacement of the contact 50 ′ in FIG. 3B to displace at least the contact 50 ′ without contacting the bottom surface 102 of the semiconductor device 100. In other words, in the case shown in FIG. 3B, if the distance between the contact 50 'and the solder ball 101 is C, at least C> 0. If so, since C = A + B−D, it is understood that the distance D should be set so that at least D <A + B.

ところで、上述のように、半導体装置100がA+hだけ押し下げられるとき、半田ボール101が存在しない真ん中のコンタクト50’は、該コンタクト50’の突起54’が貫通孔32の第1の段部32bに当接することで、A+h−Dだけ変位することが理解される。真ん中のコンタクト50’と右隣のコンタクト50との変位量の差は、h−(A+h−D)=D−Aであることから、変位量を少なくするためには、D=Aであること、すなわちC=Bであることが望ましいことになる。しかしながら、接触圧を勘案するとこの距離Dは、少なくともD>Aであるように設定される。   By the way, as described above, when the semiconductor device 100 is pushed down by A + h, the middle contact 50 ′ where the solder ball 101 does not exist has the protrusion 54 ′ of the contact 50 ′ on the first step 32 b of the through hole 32. It is understood that the contact is displaced by A + h−D. Since the difference in displacement amount between the middle contact 50 ′ and the contact 50 on the right is h− (A + h−D) = DA, D = A in order to reduce the displacement amount. That is, it is desirable that C = B. However, considering the contact pressure, the distance D is set so that at least D> A.

以上のことから、第1の段部32bと突部54との間の距離Dは、本実施例の場合、A+B>D>Aの範囲内にあるように設定されることが好ましいことが理解される。このように、本願発明においては、半導体装置100は、その外部接点が異なっていても、従来例のように隣り合うコンタクト50が短絡することなく、同じ半導体装置用ソケット1に装着されることが可能となる。   From the above, it is understood that the distance D between the first step 32b and the protrusion 54 is preferably set so as to be within the range of A + B> D> A in this embodiment. Is done. Thus, in the present invention, even if the external contacts are different, the semiconductor device 100 can be mounted in the same semiconductor device socket 1 without short-circuiting adjacent contacts 50 as in the conventional example. It becomes possible.

なお、装着された半導体装置100を半導体装置用ソケット1から取り外すには、操作部材20を押し込み、一対のラッチ60をフローティングプレート30の載置面38から後退させ、手動あるいは真空吸着などの機械的駆動により半導体装置100を載置面38から取り除けばよい。   In order to remove the mounted semiconductor device 100 from the semiconductor device socket 1, the operation member 20 is pushed in, the pair of latches 60 are retracted from the mounting surface 38 of the floating plate 30, and a manual or a vacuum suction mechanical device is used. The semiconductor device 100 may be removed from the mounting surface 38 by driving.

(実施例2)
次に、図7に本願発明の別の実施例を示す。本実施例は、上記実施例1と比べて、突部と段部の設ける部材が逆になっている点でのみ相違し、その他の構成は全く同じである。すなわち、本実施例においては、フローティングプレート30の貫通孔32内の所定の位置に左右一対の突部34を設け、コンタクト50の接触部51の弾性変形部52寄りに、一対の突部34に対応して左右一対の凹部55が形成される。各凹部55は、突起34に当接する上方に位置する第2の段部57及び下方に位置する第1の段部を56有する。該凹部55の第1の段部56と対応する突部34との距離をDとするとき、DをA+B>D>Aの範囲内にあるように設定すれば、上記実施例と同様に、半導体装置100の外部接点が異なっていても、隣り合うコンタクト50が短絡することなく、同じ半導体装置用ソケット1に装着されることが可能となる。
(Example 2)
Next, FIG. 7 shows another embodiment of the present invention. The present embodiment is different from the first embodiment only in that the members provided with the protrusions and the stepped portions are reversed, and the other configurations are completely the same. That is, in the present embodiment, a pair of left and right protrusions 34 are provided at predetermined positions in the through hole 32 of the floating plate 30, and the pair of protrusions 34 are located near the elastic deformation part 52 of the contact part 51 of the contact 50. Correspondingly, a pair of left and right recesses 55 are formed. Each concave portion 55 includes a second step portion 57 located above and in contact with the protrusion 34 and a first step portion 56 located below. When the distance between the first step portion 56 of the recess 55 and the corresponding projection 34 is D, if D is set to be within the range of A + B>D> A, as in the above embodiment, Even if the external contacts of the semiconductor device 100 are different, the adjacent contacts 50 can be mounted in the same semiconductor device socket 1 without short-circuiting.

以上本願発明は、オープントップ型ソケットについて説明されてきたが、クラムシェル型ソケットにも適用可能である。   Although the present invention has been described with respect to the open top type socket, it can also be applied to a clamshell type socket.

本願発明が適用される半導体装置用ソケットの概略断面図であり、操作部材が押し下げられた状態を示している。It is a schematic sectional drawing of the socket for semiconductor devices to which this invention is applied, and has shown the state by which the operation member was pushed down. 半導体装置用ソケットに半導体装置が装着されていない状態の本願発明の1つの実施例の要部拡大断面図である。It is a principal part expanded sectional view of one Example of this invention of the state in which the semiconductor device is not mounted | worn with the socket for semiconductor devices. 本願発明に係るコンタクトの変形の度合いの差を小さくするための機構を説明するための図であり、(a)は、半導体装置がフローティングプレートの上に載置されてはいるが、まだ下方に押し込まれていないコンタクトがフリーの状態を示す要部拡大断面図であり、(b)は、半導体装置が下方に押し込まれ、コンタクトと所定の接触圧で電気的に接触している状態を示す(a)と同様の要部拡大断面図である。It is a figure for demonstrating the mechanism for reducing the difference of the deformation | transformation degree of the contact which concerns on this invention, (a) is although the semiconductor device is mounted on the floating plate, but still below It is a principal part expanded sectional view which shows the state in which the contact which is not pushed in is free, (b) shows the state which the semiconductor device is pushed down and is in electrical contact with the contact with predetermined contact pressure ( It is a principal part expanded sectional view similar to a). 図3(b)に示される状態におけるコンタクトの変形を示す要部拡大断面図である。FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of a main part showing deformation of the contact in the state shown in FIG. 本発明に使用し得るフローティングプレートの製造を説明するための概略斜視図である。It is a schematic perspective view for demonstrating manufacture of the floating plate which can be used for this invention. 本発明に使用し得る別のフローティングプレートの概略斜視図である。It is a schematic perspective view of another floating plate which can be used for this invention. 本発明の別の実施例の要部拡大断面図である。It is a principal part expanded sectional view of another Example of this invention. 従来の半導体装置用ソケットに半導体装置が装着されたときの要部拡大図である。It is a principal part enlarged view when a semiconductor device is mounted | worn with the conventional socket for semiconductor devices.

符号の説明Explanation of symbols

1 半導体装置用ソケット
10 ソケット本体
20 操作部材
30 フローティングプレート
32 貫通孔
32b 第1の段部
34 突部
40 位置決め装置
50 コンタクト
54 突部
56 第1の段部
57 第2の段部
60 ラッチ(押圧体)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Semiconductor device socket 10 Socket main body 20 Operation member 30 Floating plate 32 Through-hole 32b First step part 34 Projection part 40 Positioning device 50 Contact 54 Projection part 56 First step part 57 Second step part 60 Latch (press) body)

Claims (3)

ソケット本体と、該ソケット本体に対して上下動可能な、半導体装置が載置される載置面を有するフローティングプレートと、水平方向に突出する弾性変形部を有し、半導体装置の外部接点に接触する接触部が上下可能である複数のコンタクトと、半導体装置及びフローティングプレートを押し下げる押圧体と、を少なくとも備える半導体装置用ソケットにおいて、
前記フローティングプレートには、上方から半導体装置の外部接点が臨み、下方からコンタクトの接触部が挿入される複数の貫通孔が設けられ、各貫通孔には第1の段部が形成され、
前記複数のコンタクト各々には、前記第1の段部の下方に位置する突部が形成され、
前記段部と突部との間の距離は、前記フローティングプレートの載置面に載置された状態における前記半導体装置の外部接点と前記コンタクトの接触部との間の距離より大きく、前記フローティングプレートの載置面に載置された状態における前記半導体装置の底面と前記コンタクトの接触部との間の距離より小さくなるように設定されることを特徴とする半導体装置用ソケット。
A socket body, a floating plate that can move up and down relative to the socket body and has a mounting surface on which the semiconductor device is mounted, and an elastically deforming portion that protrudes in the horizontal direction and contacts an external contact of the semiconductor device In a semiconductor device socket comprising at least a plurality of contacts whose contact portions can be moved up and down, and a pressing body that pushes down the semiconductor device and the floating plate,
The floating plate is provided with a plurality of through holes into which the external contacts of the semiconductor device face from above and into which the contact portions of the contacts are inserted from below, and each through hole is formed with a first step.
Each of the plurality of contacts is formed with a protrusion located below the first step.
The distance between the stepped portion and the protrusion is greater than the distance between the external contact of the semiconductor device and the contact portion of the contact in a state of being placed on the placement surface of the floating plate, and the floating plate A socket for a semiconductor device, wherein the socket is set to be smaller than a distance between a bottom surface of the semiconductor device and a contact portion of the contact in a state of being placed on the placement surface.
ソケット本体と、該ソケット本体に対して上下動可能な、半導体装置が載置される載置面を有するフローティングプレートと、水平方向に突出する弾性変形部を有し、半導体装置の外部接点に接触する接触部が上下可能である複数のコンタクトと、半導体装置及びフローティングプレートを押し下げる押圧体と、を少なくとも備える半導体装置用ソケットにおいて、
前記フローティングプレートには、上方から半導体装置の外部接点が臨み、下方からコンタクトの接触部が挿入される複数の貫通孔が設けられ、各貫通孔には突部が形成され、
前記複数のコンタクト各々には、前記突部の下方に位置する第1の段部が形成され、
前記突部と段部との間の距離は、前記フローティングプレートの載置面に載置された状態における前記半導体装置の外部接点と前記コンタクトの接触部との間の距離より大きく、前記フローティングプレートの載置面に載置された状態における前記半導体装置の底面と前記コンタクトの接触部との間の距離より小さくなるように設定されることを特徴とする半導体装置用ソケット。
A socket body, a floating plate that can move up and down relative to the socket body and has a mounting surface on which the semiconductor device is mounted, and an elastically deforming portion that protrudes in the horizontal direction and contacts an external contact of the semiconductor device In a semiconductor device socket comprising at least a plurality of contacts whose contact portions can be moved up and down, and a pressing body that pushes down the semiconductor device and the floating plate,
The floating plate has an external contact of the semiconductor device from above and a plurality of through holes into which contact portions of the contacts are inserted from below, and each through hole has a protrusion,
Each of the plurality of contacts is formed with a first step portion located below the protrusion,
The distance between the projecting portion and the stepped portion is larger than the distance between the external contact of the semiconductor device and the contact portion of the contact in a state of being placed on the placement surface of the floating plate, and the floating plate A socket for a semiconductor device, wherein the socket is set to be smaller than a distance between a bottom surface of the semiconductor device and a contact portion of the contact in a state of being placed on the placement surface.
前記複数のコンタクト各々には、前記貫通孔の突部の上方に位置する第2の段部が形成されることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置用ソケット。
3. The semiconductor device socket according to claim 2, wherein each of the plurality of contacts is formed with a second step portion located above the protrusion of the through hole.
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