JP2007263852A - 欠陥検出装置、欠陥検出方法、及び欠陥検出処理プログラム - Google Patents
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Abstract
【課題】パターンの影響を受けずに精度の高い欠陥検出が可能な欠陥検出装置、欠陥検出方法、及び欠陥検出処理プログラムを提供する。
【課題手段】本発明は、表面上に視認可能に形成されたパターンを有する検査対象物における欠陥であって当該検査対象物の表面から観察される欠陥を検出する欠陥検出装置において、前記検査対象物の表面を撮影した表面画像のデータを取得し、当該表面画像又は当該表面画像に対して所定の補正処理を行った後の表面画像を、少なくとも所定の一方向の長さが、検出対象とすべき欠陥における前記一方向の長さよりも長い領域に分割する領域分割手段と、前記分割された領域毎にコントラスト強調処理を行って前記パターンの影響を除去し前記欠陥を検出する欠陥検出手段と、を備える。
【選択図】図4
【課題手段】本発明は、表面上に視認可能に形成されたパターンを有する検査対象物における欠陥であって当該検査対象物の表面から観察される欠陥を検出する欠陥検出装置において、前記検査対象物の表面を撮影した表面画像のデータを取得し、当該表面画像又は当該表面画像に対して所定の補正処理を行った後の表面画像を、少なくとも所定の一方向の長さが、検出対象とすべき欠陥における前記一方向の長さよりも長い領域に分割する領域分割手段と、前記分割された領域毎にコントラスト強調処理を行って前記パターンの影響を除去し前記欠陥を検出する欠陥検出手段と、を備える。
【選択図】図4
Description
本発明は、表面上に視認可能に形成されたパターンを有する板状の検査対象物における欠陥であって当該検査対象物の表面から観察される欠陥を検出する欠陥検出装置及び方法等の技術分野に関する。
従来から、平板状の製品の表面から観察される欠陥(例えば、気泡等の混入、異物の付着、欠け、キズ等)を検出する方法として、当該製品の表面をカメラ(例えば、ラインセンサカメラやエリアセンサカメラ)により撮影して、その表面画像のデータに対して微分処理及び二値化処理を行って上記欠陥を検出する方法が知られている。
例えば、特許文献1に開示された画像処理装置においては、微分処理により表面画像における欠陥部分の明暗を強調し、二値化処理により当該欠陥部分を検出するようになっている。
特開平10−111925号公報
しかしながら、例えば、表面上に視認可能に形成されたパターン(例えば、所定方向かつ所定間隔で連続する直線状又は曲線状の暗いスジのようなもの)を有するディスプレイ向け製品(例えばフィルムレンチキュラーレンズや、フレネルレンズ及びプラズマディスプレイパネル(PDP)の背面板等)に対して、上述したように表面画像のデータを入力して欠陥検出処理を行う場合、当該パターンの影響により精度の高い欠陥検出を行うことが困難であった。
すなわち、上記欠陥のエッジ(縁)がはっきりしている場合にはこれを微分処理により強調することが可能であるが、当該欠陥のエッジがはっきりしていない場合には検出可能なレベルに強調することは困難である。また、微分処理を行うことで上記パターンのエッジを強調してしまうため、当該パターンそのものを欠陥として検出してしまうこともある。
本発明は、以上の点に鑑みてなされたものであり、上記パターンの影響を受けずに精度の高い欠陥検出が可能な欠陥検出装置、欠陥検出方法、及び欠陥検出処理プログラムを提供することを課題とする。
上記課題を解決するために、請求項1に記載の発明は、表面上に視認可能に形成されたパターンを有する検査対象物における欠陥であって当該検査対象物の表面から観察される欠陥を検出する欠陥検出装置において、前記検査対象物の表面を撮影した表面画像のデータを取得し、当該表面画像又は当該表面画像に対して所定の補正処理を行った後の表面画像を、少なくとも所定の一方向の長さが、検出対象とすべき欠陥における前記一方向の長さよりも長い領域に分割する領域分割手段と、前記分割された領域毎にコントラスト強調処理を行って前記パターンの影響を除去し前記欠陥を検出する欠陥検出手段と、を備えることを特徴とする。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の欠陥検出装置において、前記欠陥検出手段は、前記コントラスト強調処理がなされた表面画像に対して平均化処理を行った後に当該閾値で二値化することにより前記欠陥を検出することを特徴とする。
請求項3に記載の発明は、請求項1又は2に記載の欠陥検出装置において、前記パターンは、所定方向かつ所定間隔で連続する直線状又は曲線状の暗部であって、前記表面画像は、前記パターンに沿って前記領域に分割されることを特徴とする。
請求項4に記載の発明は、請求項3に記載の欠陥検出装置において、前記領域の短手方向の長さは、前記パターンの幅よりも短いことを特徴とする。
請求項5に記載の発明は、請求項1乃至4の何れか一項に記載の欠陥検出装置において、前記所定の補正処理は、前記入力された表面画像全体における濃淡を除去する背景補正処理であることを特徴とする。
請求項6に記載の発明は、請求項5に記載の欠陥検出装置において、前記背景補正処理においては、前記取得された表面画像を、前記濃淡の間隔よりも短い長さを有する領域に分割し、当該領域毎の明暗のレベルを合わせて補正することを特徴とする。
請求項7に記載の欠陥検出処理プログラムの発明は、コンピュータを、請求項1乃至6の何れか一項に記載の欠陥検出装置として機能させることを特徴とする。
請求項8に記載の発明は、表面上に視認可能に形成されたパターンを有する検査対象物における欠陥であって当該検査対象物の表面から観察される欠陥を検出する欠陥検出方法において、前記検査対象物の表面を撮影した表面画像のデータを取得し、当該表面画像又は当該表面画像に対して所定の補正処理を行った後の表面画像を、少なくとも所定の一方向の長さが、検出対象とすべき欠陥における前記一方向の長さよりも長い領域に分割する工程と、前記分割された領域毎にコントラスト強調処理を行って前記パターンの影響を除去し前記欠陥を検出する工程と、を備えることを特徴とする。
本発明によれば、検査対象物の表面を撮影した表面画像のデータを取得し、当該表面画像を、少なくとも所定の一方向の長さが、検出対象とすべき欠陥における一方向の長さよりも長い領域に分割し、当該分割された領域毎にコントラスト強調処理を行ってパターンの影響を除去し当該欠陥を検出するように構成したので、パターンの影響を受けずに精度の高い欠陥検出を行うことができる。
以下、本発明を実施するための最良の実施形態について、図面に基づいて説明する。なお、以下に説明する実施形態は、表面上に視認可能に形成されたパターン(例えば、直線又は環状線が所定方向かつ所定間隔で連続する明暗のパターン)を有する検査対象物における欠陥であって当該検査対象物の表面から観察される欠陥を検出する検査システムに対して本発明を適用した場合の実施形態である。
先ず、図1及び図2を参照して、本実施形態に係る検査システムの構成及び機能について説明する。
図1は、本実施形態に係る検査システムの外観例を示す図であり、図2は、検査システムに含まれる検査端末における機能ブロック例を示す図である。
図1に示す検査システムSは、搬送されるワーク搬送ステージ2上の検査対象物Bの表面に対して照明器3a(例えば、蛍光灯)により光を照射しつつ、ラインセンサカメラ3(エリアセンサカメラでも良い)により当該表面を撮影(撮像)して、その表面画像を画像処理部(例えば、ラインセンサカメラ3を有する筐体内に実装)により取得するようになっている。
ワーク搬送ステージ2の搬送制御は、ステージ制御装置4により行われる。また、図1の例では、ワーク搬送ステージ2上に広げられたウェブ製品である検査対象物Bを、巻き取り方向に巻きとりながら(ロール状に巻き取る)ラインセンサカメラ3により撮影している。なお、検査対象物Bは、枚様製品であっても良く、この場合、当該検査対象物Bの表面は、エリアセンサカメラにより撮影されるようにしても良い。
そして、上記取得された表面画像のデータは、通信ケーブル(図示せず)を介して上記画像処理部から検査端末1に出力される。
検査端末1は、例えば汎用のパーソナルコンピュータを適用可能であり、図1に示すように、上記画像処理部から出力された表面画像のデータを通信ケーブル(図示せず)を介して入力するためのI/F(インターフェース)部11と、上記表面画像のデータ、各種設定データ、OS(オペレーティングシステム)及びアプリケーションプログラム(本発明の欠陥検出処理プログラムを含む)を記憶する記憶部(例えば、ハードディスク、ROM、作業用RAM、ビデオRAM等を備える)12と、CPUを主体として構成され、上記表面画像のデータを取得して各種画像処理を行う処理部13(本発明の領域分割手段及び欠陥検出手段の一例)と、上記表面画像及び検査結果を示す情報等を表示する表示部(例えば、液晶ディスプレイ)14と、検査者(オペレータ)からの操作指示を入力し、その指示信号を処理部13に出力する操作部15(例えば、キーボード、マウス等)と、を含んで構成されている。
そして、処理部13は、記憶部12に記憶されたプログラムを実行することにより、上記表面画像に対して、後述する背景補正処理、コントラスト強調処理、平均化処理、二値化処理、及び判定処理等の画像処理を行う。
次に、図3乃至図10等を参照して、本実施形態に係る検査システムSの動作について説明する。
なお、以下に説明する検査システムSの動作においては、検査対象物Bとして、フィルムレンチキュラーレンズ(以下、「FLL」という)を適用した場合の例について説明する。
図3(A)は、FLLの表面画像の一部分の例を示す図であり、図3(B)は、FLLの表面の構造の一例を示す拡大図である。図4は、検査端末1における画像処理工程を示すフローチャートであり、図5乃至図10は、夫々の画像処理工程における処理の詳細を説明するための図である。なお、各工程において得られる表面画像や検出結果(輝度値の分布)等は、表示部14上に表示可能になっており、これにより、検査者(オペレータ)が目視でも確認も可能になっている。
ここで、FLLの表面上には、図3(A)及び(B)に示すように、横方向かつ、ほぼ一定間隔で連続する直線状の暗部としてのパターン51が視認可能に形成されている。そして、FLLの表面上には、検出対象とすべき欠陥52が観察される。かかる欠陥52は、図3(B)に示すように、各パターン51間に存在する凸部53(当該凸部53がパターン51に比して明るい部分として表れる)の内部に混入された泡53aによって、当該FLLの表面上に暗い部分として表れることなる。
なお、FLLの表面上に観察される擬似欠陥54は、欠陥検出対象外とすべきもの(製品の品質上、あまり影響がない)である。
上記FLLの表面がエリアセンサカメラ3により撮影され、その表面画像のデータが、通信ケーブル等を介して検査端末1に入力されると、検査端末1は、図4に示す処理を開始し、当該入力された図3(A)に示すような表面画像のデータを取得し(ステップS1)、例えばRAMに記憶展開して背景補正処理を行う(ステップS2)。
図3(A)に示す表面画像では、パターン51の幅PWは4画素分あり、欠陥52の横方向の長さDWは2画素分あり、欠陥52の縦方向の長さDHは75画素分ある。また、欠陥52は、パターン51よりも暗く表れている。さらに、図示しないが、表面画像全体には、濃淡(言い換えれば、グラデーション)が、例えば横方向に間隔GWで、縦方向に間隔GHで表れる(かかる濃淡の間隔及びその階調レベルは、製品毎に様々である)。かかる濃淡における濃い部分は、場所によっては、欠陥52と同等の暗さとなり、より精度の高い欠陥52の検出には妨げとなるため、背景補正処理では、かかる濃淡を除去するようになっている。
具体的には、背景補正処理において、検査端末1は、図5(A)に示すように、取得した表面画像を、濃淡の間隔(ここでは、間隔GW及び間隔GH)よりも十分に短い長さ(横方向の長さAW1、縦方向の長さAH1)を有する矩形状の複数の小領域AR1(破線内)に分割(当該小領域AR1をパターン51に沿って(ここでは、平行して))分割)する。ここで、当該背景補正処理により欠陥52が除去されてしまわないように、当該欠陥52の横方向の長さDWよりも小領域AR1の横方向の長さAW1が長く(大きく)設定される必要がある。
図5(A)の例では、各領域AR1の横方向の長さAW1は5画素分に設定(分割設定)され、各領域AR1の縦方向の長さAH1は10画素分に設定されている。なお、各領域AR1の横方向の長さAW1が欠陥52の横方向の長さDWよりも長ければ、AW=AHに設定されても良い。
また、図5(B)の例において、符号55部は、ある1つの領域AR1における画像輝度値曲線(言い換えれば、各(X,Y)座標に対応する画素毎の輝度値の分布)を表しており(図の例では、2次元的に表しているが実際には3次元的で表される)、画像平均輝度値は、当該領域AR1における全画素の平均輝度値を表している。このような画像平均輝度値は、各領域AR1毎に算出されることになる。
そして、検査端末1は、1領域AR1毎に例えば下記(1)式にて表面画像のコントラストを補正する。
補正結果=(127−画像平均輝度値)*補正強度+画像輝度値・・・(1)
ここで、補正強度は、例えば“1”に設定される。
ここで、補正強度は、例えば“1”に設定される。
この(1)式は、各領域AR1の画像平均輝度値が127(階調レベル)に合うように、当該領域AR1の画像輝度値を補正(図5(B)の例では、画像輝度値曲線55が上方に平行移動するように補正)、つまり、暗い部分は明るく、明るい部分は暗くなるように平均輝度値を変化させている。これにより、表示画像全体の濃淡が消えるようになる。
次いで、検査端末1は、上記背景補正処理を行った後(濃淡が除去された後)の表面画像に対してコントラスト強調処理を行う(ステップS3)。
具体的には、検査端末1は、図6に示すように、上記表面画像を、横方向の長さAW2及び縦方向の長さAH2を有する矩形状の複数の小領域AR2に分割(当該小領域AR2をパターン51に沿って(ここでは、平行して))分割)し、当該分割された領域毎にコントラスト強調処理を行う。
ここで、当該小領域AR2の少なくとも一方向(例えば、横方向若しくは縦方向)の長さが、検出対象とすべき欠陥52の一方向(例えば、横方向又は縦方向)の長さよりも長い領域に分割設定される必要がある。これは、当該小領域AR2の全てが欠陥52で占められると、当該小領域AR2におけるコントラスト強調ができず、その結果、欠陥52が除去されてしまうからである。
図6の例では、各領域AR2の横方向の長さAW2は2画素分に設定(分割設定)され、各領域AR2の縦方向の長さAH2は100画素分に設定されており、小領域AR2の縦方向の長さAH2が、欠陥52の縦方向の長さDHよりも長くなっている。これにより、パターン51の影響を除去することができる。
また、図6の例では、小領域AR2の横方向(短手方向)の長さAW2は、パターン51の幅PWよりも短く設定されている。これにより、パターン51の影響をより精度良く除去することができる。
各領域AR2毎のコントラスト強調は例えば下記(2)式にて行われる。
強調結果=(画像輝度値−画像平均輝度値)*強調強度+画像輝度値・・・(2)
ここで、強調強度は、例えば“3”程度に設定される。
ここで、強調強度は、例えば“3”程度に設定される。
図7は、上記(2)式にしたがってコントラスト強調処理が行われる様子を示している。なお、図7の例において、符号57部は、ある1つの領域AR2における画像輝度値曲線(言い換えれば、各(X,Y)座標に対応する画素毎の輝度値の分布)を表しており(図の例では、2次元的に表しているが実際には3次元的で表される)。
こうして、上記各小領域AR2毎のコントラスト強調処理により得られた各小領域AR2(破線で区切られた各領域が対応)の輝度値の分布を、図8に示す。
次いで、検査端末1は、当該コントラスト強調処理がなされた表面画像(全体)に対して、平均化処理を行う(ステップS4)。これは、図8に示すように、コントラスト強調処理により得られた各小領域AR2の輝度値の分布が繋がりがなく、ギザギザ状態になっているものを、図9に示すように、なだらかにするための処理である。この状態は、表示部14上に表示されるようになっており、図9に示すようになだらかにすることで、検査者(オペレータ)が欠陥のおおよその位置を目視で確認しやすくなる。
なお、かかる平均化処理を行わなくても、後の二値化処理により欠陥を検出することはもちろん可能である。
その後、検査端末1は、平均化処理が行われた表面画像に対して、図10に示すように、閾値で二値化する(ステップS5)ことにより表面画像における欠陥を抽出する。
次いで、検査端末1は、抽出された欠陥のうち、縦方向の長さが所定の長さ(製品品質に影響を与える長さ)を有するものを、検査対象の欠陥として判定する長さ判定処理を行い(ステップS6)、かかる判定処理によりNGと判定された(つまり、縦方向の長さが所定の長さ以上であると判定された)欠陥のみを検査対象の欠陥として検出し、かかる欠陥を例えば表示部14に表示して検査者に告知させる。
例えば、図3(A)に示す、縦方向の長さが所定の長さ以上の欠陥52は、検査対象の欠陥として検出され、縦方向の長さが所定の長さに満たない擬似欠陥54は、検査対象の欠陥として検出されないことになる。
なお、上記判定処置において抽出された欠陥の面積を算出し、所定面積以上の欠陥のみを検査対象の欠陥として検出するようにしても良い。
そして、このような欠陥が検出されたFLLは、例えば、取り除かれる。
以上説明したように、上記実施形態によれば、検査対象物BとしてのFLLの表面を撮影した表面画像のデータを取得し、当該表面画像に対して背景補正処理を行った後の表面画像を、少なくとも所定の一方向の長さが、検出対象とすべき欠陥52における一方向の長さよりも長い領域に分割し、当該分割された領域毎にコントラスト強調処理を行ってパターン51の影響を除去し当該欠陥52を検出するように構成したので、パターン51の影響を受けずに精度の高い欠陥検出を行うことができる。
なお、上記実施形態においては、検査対象物Bの表面に縦方向に延びた直線状のパターン51(縦パターン)が形成された場合を例にとって説明したが、例えば、図11(A)に示すような横方向に延びた直線状のパターン(横パターン)が形成された検査対象物B、図12(A)及び図13(A)に示すような斜め方向に延びた直線状のパターン(斜めパターン1及び2)が形成された検査対象物Bにおける欠陥検出に対しても本発明は適用可能である。図11(A)、図12(A)及び図13(A)に示す夫々のパターンの場合における上記背景補正処理及びコントラスト強調処理においては、図11(B)、図12(B)及び図13(B)に示すように、表面画像は、夫々のパターンに沿って(平行して)矩形状の複数の小領域に分割されることになる。
また、分割される小領域は、矩形状に限定されるものではなく、曲線状であっても良く、例えば、図14(A)に示すように、同心円状パターンが形成された検査対象物Bにおける欠陥検出に対しても本発明は適用可能である。図14(A)に示す同心円状パターンの場合における上記背景補正処理及びコントラスト強調処理においては、図14(B)に示すように、表面画像は、同心円状パターンに沿って(平行して)弧状の複数の小領域(例えば、“a”を一定とする)に分割されることになる。この場合、例えば、図14(C)に示すように、曲座標変換を行うことで、上記実施形態と同様に画像処理することが可能である。
また、上記実施形態においては、検査対象物BとしてFLLを例にとって説明したが、フレネルレンズ及びプラズマディスプレイパネル(PDP)の背面板等に対しても、本発明は適用可能であり、例えば当該背面板の表面における欠け欠陥やゴミ付着欠陥等を上記実施形態と同様に検出することができる。
1 検査端末
2 ワーク搬送ステージ
3 エリアセンサカメラ
3a 照明器
4 ステージ制御装置
11 I/F部
12 記憶部
13 処理部
14 表示部
15 操作部
S 検査システム
2 ワーク搬送ステージ
3 エリアセンサカメラ
3a 照明器
4 ステージ制御装置
11 I/F部
12 記憶部
13 処理部
14 表示部
15 操作部
S 検査システム
Claims (8)
- 表面上に視認可能に形成されたパターンを有する検査対象物における欠陥であって当該検査対象物の表面から観察される欠陥を検出する欠陥検出装置において、
前記検査対象物の表面を撮影した表面画像のデータを取得し、当該表面画像又は当該表面画像に対して所定の補正処理を行った後の表面画像を、少なくとも所定の一方向の長さが、検出対象とすべき欠陥における前記一方向の長さよりも長い領域に分割する領域分割手段と、
前記分割された領域毎にコントラスト強調処理を行って前記パターンの影響を除去し前記欠陥を検出する欠陥検出手段と、
を備えることを特徴とする欠陥検出装置。 - 請求項1に記載の欠陥検出装置において、
前記欠陥検出手段は、前記コントラスト強調処理がなされた表面画像に対して平均化処理を行った後に当該閾値で二値化することにより前記欠陥を検出することを特徴とする欠陥検出装置。 - 請求項1又は2に記載の欠陥検出装置において、
前記パターンは、所定方向かつ所定間隔で連続する直線状又は曲線状の暗部であって、
前記表面画像は、前記パターンに沿って前記領域に分割されることを特徴とする欠陥検出装置。 - 請求項3に記載の欠陥検出装置において、
前記領域の短手方向の長さは、前記パターンの幅よりも短いことを特徴とする欠陥検出装置。 - 請求項1乃至4の何れか一項に記載の欠陥検出装置において、
前記所定の補正処理は、前記入力された表面画像全体における濃淡を除去する背景補正処理であることを特徴とする欠陥検出装置。 - 請求項5に記載の欠陥検出装置において、
前記背景補正処理においては、前記取得された表面画像を、前記濃淡の間隔よりも短い長さを有する領域に分割し、当該領域毎の明暗のレベルを合わせて補正することを特徴とする欠陥検出装置。 - コンピュータを、請求項1乃至6の何れか一項に記載の欠陥検出装置として機能させることを特徴とする欠陥検出処理プログラム。
- 表面上に視認可能に形成されたパターンを有する検査対象物における欠陥であって当該検査対象物の表面から観察される欠陥を検出する欠陥検出方法において、
前記検査対象物の表面を撮影した表面画像のデータを取得し、当該表面画像又は当該表面画像に対して所定の補正処理を行った後の表面画像を、少なくとも所定の一方向の長さが、検出対象とすべき欠陥における前記一方向の長さよりも長い領域に分割する工程と、
前記分割された領域毎にコントラスト強調処理を行って前記パターンの影響を除去し前記欠陥を検出する工程と、
を備えることを特徴とする欠陥検出方法。
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---|---|---|---|
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