JP2007263594A - 可干渉な波動による観察技術 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】可干渉性を有する複数の波動を発生し、この複数の波動の干渉させることにより観察対象に作用する波動の強度を観察対象の位置における波動の平均強度の2分の1以下とする。この観察対象から焦点をはずすことによって、観察対象と相互作用した波動から観察対象のホログラムを含む焦点はずし像を観察面に形成する。そして、観察面に形成された焦点はずし像から、観察対象の位置における波動を再生する。
【選択図】図3
Description
A.第1実施例:
B.第2実施例:
C.第3実施例:
D.変形例:
図2は、第1実施例における透過電子顕微鏡10aの構成図である。この透過電子顕微鏡10aは、図1に示す従来の透過電子顕微鏡10と同様に、観察対象である試料SPC2に電子線を照射する電子線照射装置100aと、試料SPC2と相互作用した電子線から試料SPC2の像を観察面に形成する結像部200と、観察面に形成された像を取得する撮像装置310と、を備えている。電子線照射装置100aは、電子源110と集束レンズ120とを備え、結像部200は、対物レンズ210と投影レンズ220とを備えている。
図8は、第2実施例における試料の観察装置1000bの機能的な構成を示す機能ブロック図である。第2実施例は、解析表示部400bがサイドバンド除去部430を有している点で、第1実施例と異なっている。他の点は、第1実施例と同じであるので、ここではその説明を省略する。なお、解析表示部400bの再生演算部410とサイドバンド除去部430とは、併せて、一連の演算を行い試料面での電子線の波動を再生する「演算部」とも呼ぶことができる。
図13は、第3実施例における観察装置1000cの機能的構成を示す機能ブロック図である。第3実施例は、透過電子顕微鏡10aに換えて光学顕微鏡10cを観察装置1000cに使用している点で、第1実施例と異なっている。他の点は、第1実施例と同じである。
なお、この発明は上記の実施例や実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能であり、例えば次のような変形も可能である。
上記第2実施例では、フーリエ変換・逆変換とフーリエ像のマスキング処理によりサイドバンドの除去を行っているが、サイドバンドの除去は、他の方法により実行することも可能である。具体的には、焦点ずらし像と正焦点像との2つの像の差分を取ることにより、焦点ずらし像からサイドバンドを除去することも可能である。このようにすることにより、撮像装置310(図2)の感度ムラや観察対象以外の夾雑物等、焦点ずらし像と正焦点像との両方の像に共通して現れるノイズが再生される試料の画像に対する影響をより少なくすることができる。
上記第3実施例では、観察面に形成された焦点はずし像から試料の像の生成・表示を行っているが、第2実施例と同様に焦点はずし像からサイドバンド除去像を生成し、サイドバンド除去像から試料の像の生成・表示を行うものとしても良い。このようにすれば、第2実施例と同様に、試料の像をより明瞭に観察することが可能となる。
上記各実施例では、試料面における波動を再生し、再生した波動から試料面での波動の状態を表す試料画像を生成しているが、試料画像の生成を省略することも可能である。この場合、試料の観察は、試料の拡大像が形成可能なホログラムを生成し、生成されたホログラムに可干渉光を照射することにより行うことができる。
上記各実施例では、観察対象に作用させる波動を2つとしているが、観察対象に作用させる波動を2以上の任意の数とすることができる。このようにしても、複数の波動の干渉により、観察対象に作用する波動の強度が観察対象の位置における波動の平均強度の2分の1以下とできるので、観察対象に作用する波動の影響を低減することができる。
上記各実施例では、観察対象に作用させる波動として、電子線および光線を用いているが、結像可能で干渉性を有する波動であれば本発明の観察装置および観察方法に適用できる。例えば、陽子線やイオン線等を使用することも可能である。また、上記各実施例では電磁波として光線とを用いているが、結像可能な波長であれば本発明の観察装置および観察方法に適用できる。例えば、紫外線、可視光線、赤外線のいずれもが本発明の観察装置および観察方法に使用可能である。
10c…光学顕微鏡
12,12c…試料台
100,100a…電子線照射装置
100c…光線源
110…電子源
110c…レーザ
120…集束レンズ
130…電子線プリズム
140…干渉装置
142,148…半透鏡
144,146…鏡
146…反射鏡
200,200c…結像部
210,210c…対物レンズ
220…投影レンズ
310,310c…撮像装置
400,400b…解析表示部
410…再生演算部
420…表示部
430…サイドバンド除去部
432…フーリエ変換処理部
434…マスキング処理部
436…フーリエ逆変換処理部
1000,1000b,1000c…観察装置
Claims (8)
- 観察対象である物体もしくは場に波動を作用させて前記観察対象を観察する観察装置であって、
可干渉性を有する複数の波動を発生し、この際、前記複数の波動の干渉により前記観察対象に作用する波動の強度を前記観察対象の位置における波動の平均強度の2分の1以下とするように前記複数の波動を発生する波動源と、
前記観察対象と相互作用した波動から、観察面に画像を形成する結像部と、
前記観察対象から焦点をはずすことにより前記観察面に形成される前記観察対象のホログラムを含む焦点はずし像から、前記観察対象の位置における波動を再生する演算部と、
を備える、観察装置。 - 請求項1記載の観察装置であって、
前記演算部は、前記焦点はずし像に含まれ前記複数の波動の干渉により形成される干渉縞であるサイドバンドを前記焦点はずし像から除去して、サイドバンド除去像を生成するサイドバンド除去部を有する、観察装置。 - 請求項2記載の観察装置であって、
前記サイドバンド除去部は、
前記焦点はずし像をフーリエ変換してフーリエ変換像を生成するフーリエ変換処理部と、
前記フーリエ変換処理部により生成されたフーリエ変換像から、前記サイドバンドに相当するスペクトル成分を含む領域をマスキングして除去するマスキング処理部と、
マスキングされたフーリエ変換像をフーリエ逆変換することにより、前記サイドバンド除去像を生成するフーリエ逆変換処理部と、
を有する、観察装置。 - 請求項2記載の観察装置であって、
前記サイドバンド除去部は、前記焦点はずし像と、前記観察対象に焦点を合わせることにより前記観察面に形成される正焦点像と、の差分を取ることにより前記サイドバンド除去像を生成する、観察装置。 - 請求項1ないし4のいずれか記載の観察装置であって、
前記演算部は、再生された前記観察対象の位置における波動の振幅と位相との少なくとも一方に基づいて前記観察対象を表す画像を生成する、観察装置。 - 請求項1ないし5のいずれか記載の観察装置であって、
前記波動源は、可干渉性の1つの電子線を発生する電子源と、前記電子線の経路に設置され前記電子線を進行方向の異なる複数の電子線に分割する電子線プリズムとを備え、
前記結像部は、前記観察対象を透過した電子線を前記観察面に結像させ得る結像レンズを備える、観察装置。 - 請求項1ないし5のいずれか記載の観察装置であって、
前記波動源は、可干渉性の1つの光線を発生するレーザと、前記光線の経路に設置され前記光線を進行方向の異なる複数の光線に分割する光線分割部とを備え、
前記結像部は、前記観察対象を透過した光線を前記観察面に結像させ得る結像レンズを備える、観察装置。 - 観察対象である物体もしくは場に波動を作用させて前記観察対象を観察する観察方法であって、
可干渉性を有する複数の波動を発生し、前記複数の波動の干渉させて前記観察対象に作用する波動の強度を前記観察対象の位置における波動の平均強度の2分の1以下とする工程と、
前記観察対象と相互作用した波動から、観察面に画像を形成する工程と、
前記観察対象から焦点をはずすことにより前記観察面に形成される前記観察対象のホログラムを含む焦点はずし像から、前記観察対象の位置における波動を再生する工程と、
を備える、観察方法。
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JPH05323859A (ja) * | 1992-05-26 | 1993-12-07 | Res Dev Corp Of Japan | 電子線ホログラフィ実時間位相計測方法及び装置 |
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JP2005106472A (ja) * | 2003-09-26 | 2005-04-21 | Japan Fine Ceramics Center | 可干渉な波動による観察技術 |
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