JP2007262244A - Resin composition and semiconductor device manufactured using the same - Google Patents

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光 大久保
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a die attach paste for semiconductors or a material for the adhesion of heat dissipating members that has particularly a low elastic modulus, exhibits excellent stress relaxation properties and is low viscous, and a semiconductor device excellent particularly in reliabilities such as reflow resistance. <P>SOLUTION: The resin composition comprises a polycarbonate di(meth)acrylate compound (A) which is prepared by causing a polycarbonate diol (A1) obtained by reacting 1,4-cyclohexanedimethanol, 1,6-hexanediol and dimethyl carbonate to react with (meth)acrylic acid or a derivative thereof (A2), and a filler (B). <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、樹脂組成物及び樹脂組成物を使用して作製した半導体装置に関するものである。   The present invention relates to a resin composition and a semiconductor device manufactured using the resin composition.

半導体製品の大容量、高速処理化及び微細配線化に伴い半導体製品作動中に発生する熱の問題が顕著になってきており、半導体製品から熱を逃がす、いわゆるサーマルマネージメントがますます重要な課題となってきている。このため半導体製品にヒートスプレッダー、ヒートシンク等の放熱部材を取り付ける方法等が一般的に採用されているが放熱部材を接着する材料自体の熱伝導率もより高いものが望まれてきている。一方半導体製品の形態によっては半導体素子そのものを金属製のヒートスプレッダーに接着したり、半導体素子を接着したリードフレームのダイパッド部にヒートスプレッダーを接着したり、ダイパッド部がパッケージ表面に露出しており放熱板をかねる場合もあり、さらにはサーマルビア等の放熱機構を有する有機基板等に接着したりする場合もある。この場合も同様に半導体素子を接着する材料に高熱伝導率が要求される。このようにダイアタッチペースト又は放熱部材接着用材料に高熱伝導率が要求されているが、同時に半導体製品の基板搭載時のリフロー処理に耐える必要があり、さらには大面積の接着が要求される場合も多く構成部材間の熱膨張係数の違いによる反り等の発生を抑制するため低応力性も併せ持つ必要がある。   The problem of heat generated during the operation of semiconductor products has become more prominent with the increase in capacity, high-speed processing, and fine wiring of semiconductor products. So-called thermal management, which releases heat from semiconductor products, is an increasingly important issue. It has become to. For this reason, a method of attaching a heat radiating member such as a heat spreader or a heat sink to a semiconductor product is generally adopted, but a material having a higher thermal conductivity has been desired. On the other hand, depending on the form of the semiconductor product, the semiconductor element itself is bonded to a metal heat spreader, or the heat spreader is bonded to the die pad part of the lead frame to which the semiconductor element is bonded, or the die pad part is exposed on the package surface to dissipate heat. In some cases, the plate may be attached, and further, it may be adhered to an organic substrate having a heat dissipation mechanism such as a thermal via. In this case as well, a high thermal conductivity is required for the material to which the semiconductor element is bonded. In this way, high thermal conductivity is required for die attach paste or heat dissipation member bonding material, but at the same time, it is necessary to withstand reflow processing when mounting a semiconductor product on a substrate, and even when large area bonding is required In order to suppress the occurrence of warpage or the like due to the difference in thermal expansion coefficient between the constituent members, it is necessary to have low stress properties.

ここで通常高熱伝導性接着剤には、銀粉、銅粉といった金属フィラーや窒化アルミ、窒化ボロン等のセラミック系フィラー等を有機系のバインダーに高い含有率で添加するが、含有可能な量に限界があり高熱伝導率が得られない場合、多量の溶剤を含有し硬化物単体の熱伝導率は良好だが半導体製品中では硬化物中に溶剤が残存あるいは揮発した後がボイドになり熱伝導率が安定しない場合、高フィラー含有率に基づき低応力性が不十分でかつ粘度の低い場合等満足なものはなかった(例えば特許文献1参照)。
特開平11−43587号公報
Here, metal fillers such as silver powder and copper powder and ceramic fillers such as aluminum nitride and boron nitride are usually added to organic binders at a high content, but the amount that can be contained is limited. When high thermal conductivity cannot be obtained, a large amount of solvent is contained and the cured product itself has good thermal conductivity, but in semiconductor products, after the solvent remains or volatilizes in the cured product, it becomes voids and the thermal conductivity is low. When it is not stable, there is no satisfactory case such as a case where the low stress property is insufficient and the viscosity is low based on the high filler content (see, for example, Patent Document 1).
Japanese Patent Laid-Open No. 11-43587

本発明は、十分な低応力性を有しかつ粘度が低い樹脂組成物及び該樹脂組成物を半導体用ダイアタッチ材料又は放熱部材接着用材料として使用することで信頼性に優れた半導体装置を提供することである。   The present invention provides a resin composition having a sufficiently low stress property and a low viscosity, and a semiconductor device having excellent reliability by using the resin composition as a die attach material for a semiconductor or a material for adhering a heat dissipation member. It is to be.

このような目的は、下記[1]〜[6]に記載の本発明により達成される。
[1]1,4−シクロヘキサンジメタノール、1,6−ヘキサンジオール及び炭酸ジメチルを反応することにより得られるポリカーボネートジオール(A1)と、(メタ)アクリル酸又はその誘導体(A2)とを反応することにより得られるポリカーボネートジ(メタ)アクリレート化合物(A)、並びに充填材(B)を含むことを特徴とする樹脂組成物。
[2]前記ポリカーボネートジオール(A1)が1,4−シクロヘキサンジメタノールと1,6−ヘキサンジオールを重量比20/80〜80/20で炭酸ジメチルと反応したものである[1]項に記載の樹脂組成物。
[3]前記ポリカーボネートジオール(A1)の分子量が400〜2000である[1]又は[2]項に記載の樹脂組成物。
[4]前記充填材(B)が銀粉である[1]〜[3]項のいずれか1項に記載の樹脂組成物。
[5]さらに重合開始剤を含む[1]〜[4]項のいずれか1項に記載の樹脂組成物。
[6][1]〜[5]項のいずれか1項に記載の樹脂組成物をダイアタッチ材料又は放熱部材接続材料として使用し作製した半導体装置。
Such an object is achieved by the present invention described in the following [1] to [6].
[1] Reacting polycarbonate diol (A1) obtained by reacting 1,4-cyclohexanedimethanol, 1,6-hexanediol and dimethyl carbonate with (meth) acrylic acid or its derivative (A2). The resin composition characterized by including the polycarbonate di (meth) acrylate compound (A) obtained by this, and a filler (B).
[2] The polycarbonate diol (A1) according to [1], wherein 1,4-cyclohexanedimethanol and 1,6-hexanediol are reacted with dimethyl carbonate in a weight ratio of 20/80 to 80/20. Resin composition.
[3] The resin composition according to [1] or [2], wherein the polycarbonate diol (A1) has a molecular weight of 400 to 2000.
[4] The resin composition according to any one of [1] to [3], wherein the filler (B) is silver powder.
[5] The resin composition according to any one of items [1] to [4], further including a polymerization initiator.
[6] A semiconductor device produced by using the resin composition according to any one of items [1] to [5] as a die attach material or a heat dissipation member connection material.

本発明の樹脂組成物は、低弾性率で応力緩和特性に優れかつ低粘度であるため、ダイアタッチ材料又は放熱部材接着用材料として使用した場合に作業性(ディスペンス性、印刷性)が良好であり、これらの材料を用いて作製した半導体装置は耐リフロー性に優れており、その結果高信頼性の半導体装置を得ることができる。   Since the resin composition of the present invention has a low elastic modulus, excellent stress relaxation properties and low viscosity, it has good workability (dispensability, printability) when used as a die attach material or a heat radiation member adhesive material. A semiconductor device manufactured using these materials is excellent in reflow resistance, and as a result, a highly reliable semiconductor device can be obtained.

本発明は、1,4−シクロヘキサンジメタノール、1,6−ヘキサンジオール及び炭酸ジメチルを反応することにより得られるポリカーボネートジオールと(メタ)アクリル酸又はその誘導体とを反応することにより得られるポリカーボネートジ(メタ)アクリレート化合物並びに充填材を含むことを特徴とする樹脂組成物で、特に弾性率が低く応力緩和特性に優れかつ粘度の低い樹脂組成物を提供するものである。
以下、本発明について詳細に説明する。
The present invention relates to a polycarbonate diol obtained by reacting a polycarbonate diol obtained by reacting 1,4-cyclohexanedimethanol, 1,6-hexanediol and dimethyl carbonate with (meth) acrylic acid or a derivative thereof. A resin composition comprising a meth) acrylate compound and a filler, and particularly provides a resin composition having a low elastic modulus and excellent stress relaxation properties and a low viscosity.
Hereinafter, the present invention will be described in detail.

本発明では、1,4−シクロヘキサンジメタノール、1,6−ヘキサンジオール及び炭酸ジメチルを反応することにより得られるポリカーボネートジオール(A1)と(メタ)アクリル酸又はその誘導体(A2)とを反応することにより得られるポリカーボネートジ(メタ)アクリレート化合物(A)を使用する。化合物(A)はカーボネート結合を有するがこれは硬化物に柔軟性を与えるために導入され、同様の目的で導入されるポリエーテルやポリエステルに比較して加水分解されにくいため特に高温高湿の条件に長時間曝された後でも劣化が少なく好適である。一般にビスフェノールAを原料としているものがポリカーボネートとして知られているが、ビスフェノール系ポリカーボネートを骨格に有する場合には芳香族環の存在により分子鎖の間の凝集力が高くなり硬化物の弾性率が高くなりすぎるという問題がある。一方脂肪族系のポリカーボネートの場合でも、例えば1,4−シクロヘキサンジメタノールのみを使用してポリカーボネートジ(メタ)アクリレートにした場合や1,6−ヘキサンジオールのみを使用してポリカーボネートジ(メタ)アクリレートにした場合には分子鎖の規則性が高くなりワックス状から固形になり樹脂組成物とした場合に粘度が高く作業性の悪いものとなる。そこで本発明では粘度が低い、すなわち樹脂組成物とした時に良好な作業性(ディスペンス性、印刷性)を示すポリカーボネートジ(メタ)アクリレート化合物を得るために1,4−シクロヘキサンジメタノールと1,6−ヘキサンジオールを予め混合した状態で炭酸ジメチルとエステル交換反応を行ったポリカーボネートジオール(A1)と(メタ)アクリル酸又はその誘導体(A2)と反応する。1,4−シクロヘキサンジメタノールと1,6−ヘキサンジオールの混合比は重量比20/80〜80/20が好ましい。これより1,6−ヘキサンジオールが多くても少なくても得られたポリカーボネートジ(メタ)アクリレートの粘度が高くなりすぎるためである。1,4−シクロヘキサンジメタノールと1,6−ヘキサンジオールと炭酸ジメチルとの反応はエステル交換触媒として一般的に使用される触媒を使用する。例えばジブチル錫オキサイド、ジオクチル錫オキサイド等の有機錫化合物、テトラメチルチタネート、テトライソプロピルチタネート、テトラブチルチタネート等のテトラアルキルチタネート、炭酸カリウム、炭酸カルシウム等の炭酸アルカリ金属塩又は炭酸アルカリ土類金属塩、カリウムメトキシド、ナトリウムメトキシド、カリウムエトキシド、カリウムt−ブトキシド等のアルカリ金属のアルキルアルコキシド、ジメチルアニリン、1,4−ジアザビシクロ(2,2,2)オクタン等の3級アミン、アセチルアセトンハフニウム等のハフニウムの有機金属錯体などである。   In the present invention, the polycarbonate diol (A1) obtained by reacting 1,4-cyclohexanedimethanol, 1,6-hexanediol and dimethyl carbonate is reacted with (meth) acrylic acid or its derivative (A2). The polycarbonate di (meth) acrylate compound (A) obtained by Compound (A) has a carbonate bond, which is introduced to give flexibility to the cured product, and is not easily hydrolyzed as compared to polyether and polyester introduced for the same purpose. Even after being exposed to a long period of time, it is suitable for its deterioration. In general, those using bisphenol A as a raw material are known as polycarbonates. However, when a bisphenol-based polycarbonate is included in the skeleton, the cohesive force between molecular chains is increased due to the presence of an aromatic ring, and the cured product has a high elastic modulus. There is a problem of becoming too much. On the other hand, even in the case of an aliphatic polycarbonate, for example, polycarbonate di (meth) acrylate using only 1,4-cyclohexanedimethanol or polycarbonate di (meth) acrylate using only 1,6-hexanediol. In this case, the regularity of the molecular chain becomes high, and when the resin composition is formed from a waxy state, the viscosity is high and the workability is poor. Therefore, in the present invention, 1,4-cyclohexanedimethanol and 1,6 are used in order to obtain a polycarbonate di (meth) acrylate compound having a low viscosity, that is, good workability (dispensability, printability) when a resin composition is obtained. -React with polycarbonate diol (A1) which transesterified with dimethyl carbonate in the state which mixed hexanediol beforehand, and (meth) acrylic acid or its derivative (A2). The mixing ratio of 1,4-cyclohexanedimethanol and 1,6-hexanediol is preferably 20/80 to 80/20 by weight. This is because the viscosity of the polycarbonate di (meth) acrylate obtained with more or less 1,6-hexanediol becomes too high. The reaction of 1,4-cyclohexanedimethanol, 1,6-hexanediol and dimethyl carbonate uses a catalyst generally used as a transesterification catalyst. For example, organic tin compounds such as dibutyltin oxide and dioctyltin oxide, tetraalkyl titanates such as tetramethyl titanate, tetraisopropyl titanate, tetraalkyl titanates such as tetrabutyl titanate, alkali carbonates or alkaline earth carbonates such as potassium carbonate and calcium carbonate, Alkali metal alkyl alkoxides such as potassium methoxide, sodium methoxide, potassium ethoxide, potassium t-butoxide, dimethylaniline, tertiary amines such as 1,4-diazabicyclo (2,2,2) octane, acetylacetone hafnium, etc. An organometallic complex of hafnium.

ポリカーボネートジオール(A1)の分子量としては400から2000が好ましい。より好ましい分子量は500から1500であり、さらに好ましいのは800から1200である。これよりも低いと(メタ)アクリレート化した後に樹脂組成物とした時硬化物の弾性率が高くなりすぎ、これより高いと(メタ)アクリレート化した状態での粘度が高くなりすぎるためである。
ポリカーボネートジオール(A1)は、(メタ)アクリル酸(A2)とエステル化反応によりポリカーボネートジ(メタ)アクリレートとすることも可能であるし、(メタ)アクリル酸アルキルエステル(A2)とエステル交換反応によりポリカーボネートジ(メタ)アクリレートとすることも可能である。
The molecular weight of the polycarbonate diol (A1) is preferably 400 to 2000. A more preferred molecular weight is 500 to 1500, and an even more preferred value is 800 to 1200. If it is lower than this, the elastic modulus of the cured product becomes too high when the resin composition is made after (meth) acrylate conversion, and if it is higher than this, the viscosity in the (meth) acrylate conversion state becomes too high.
Polycarbonate diol (A1) can be converted to polycarbonate di (meth) acrylate by esterification reaction with (meth) acrylic acid (A2), or by transesterification with (meth) acrylic acid alkyl ester (A2). Polycarbonate di (meth) acrylate can also be used.

本発明では充填材(B)を使用する。充填材(B)としては銀粉、金粉、銅粉、アルミニウム粉、ニッケル粉、パラジウム粉といった金属粉、アルミナ粉末、チタニア粉末、アルミニウムナイトライド粉末、ボロンナイトライド粉末といったセラミック粉末、ポリエチレン粉末、ポリアクリル酸エステル粉末、ポリテトラフルオロエチレン粉末、ポリアミド粉末、ポリウレタン粉末、ポリシロキサン粉末といった高分子粉末を使用可能である。樹脂組成物を使用する際にはノズルを使用して吐出する場合があるので、ノズル詰まりを防ぐために平均粒径は30μm以下が好ましく、ナトリウム、塩素といったイオン性の不純物が少ないことが好ましい。特に導電性、熱伝導性が要求される場合には銀粉を使用することが好ましい。   In the present invention, the filler (B) is used. Filler (B) includes metal powder such as silver powder, gold powder, copper powder, aluminum powder, nickel powder and palladium powder, ceramic powder such as alumina powder, titania powder, aluminum nitride powder and boron nitride powder, polyethylene powder, polyacrylic Polymer powders such as acid ester powder, polytetrafluoroethylene powder, polyamide powder, polyurethane powder, and polysiloxane powder can be used. When the resin composition is used, it may be discharged using a nozzle. Therefore, in order to prevent nozzle clogging, the average particle size is preferably 30 μm or less, and it is preferable that there are few ionic impurities such as sodium and chlorine. In particular, silver powder is preferably used when electrical conductivity and thermal conductivity are required.

通常電子材料用として市販されている銀粉であれば、還元粉、アトマイズ粉等が入手可能で、好ましい粒径としては平均粒径が1μm以上、30μm以下である。下限値以下では樹脂組成物の粘度が高くなりすぎ、上限値以上では上述のようにディスペンス時にノズル詰まりの原因となりうるからであり、電子材料用以外の銀粉ではイオン性不純物の量が多い場合があるので注意が必要である。形状はフレーク状、球状等特に限定されないが、好ましくはフレーク状のものを使用し、通常樹脂組成物中70重量%以上、95重量%以下含まれる。銀粉の割合が下限値より少ない場合には導電性が悪化し、上限値より多い場合には樹脂組成物の粘度が高くなりすぎるためである。   If it is the silver powder currently marketed for electronic materials normally, reduced powder, atomized powder, etc. can be obtained, and as an average particle diameter, an average particle diameter is 1 micrometer or more and 30 micrometers or less. This is because the viscosity of the resin composition becomes too high below the lower limit, and can cause nozzle clogging during dispensing as described above above the upper limit, and silver powder other than for electronic materials may have a large amount of ionic impurities. Because there is, attention is necessary. The shape is not particularly limited, such as flaky shape or spherical shape, but preferably flaky shape is used, and it is usually contained in the resin composition in an amount of 70% by weight to 95% by weight. This is because when the proportion of silver powder is less than the lower limit, the conductivity deteriorates, and when it is higher than the upper limit, the viscosity of the resin composition becomes too high.

本発明では希釈剤を使用することが可能である。なかでも以下に示すような化合物は良好な接着性を得るために好適に使用される。2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、1,2−シクロヘキサンジオールモノ(メタ)アクリレート、1,3−シクロヘキサンジオールモノ(メタ)アクリレート、1,4−シクロヘキサンジオールモノ(メタ)アクリレート、1,2−シクロヘキサンジメタノールモノ(メタ)アクリレート、1,3−シクロヘキサンジメタノールモノ(メタ)アクリレート、1,4−シクロヘキサンジメタノールモノ(メタ)アクリレート、1,2−シクロヘキサンジエタノールモノ(メタ)アクリレート、1,3−シクロヘキサンジエタノールモノ(メタ)アクリレート、1,4−シクロヘキサンジエタノールモノ(メタ)アクリレート、グリセリンモノ(メタ)アクリレート、グリセリンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンモノ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールモノ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールモノ(メタ)アクリレートといった水酸基を有する(メタ)アクリレート化合物、及びこれら水酸基を有する(メタ)アクリレート化合物とジカルボン酸とを反応することで得られたカルボキシ基を有する(メタ)アクリレート化合物。ここで使用可能なジカルボン酸としては、例えばしゅう酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、マレイン酸、フマル酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸及びこれらの誘導体が挙げられ、なかでもこれらジカルボン酸を脱水した酸無水物は水酸基と容易に反応しハーフエステル化物を得ることができるので好適に用いられる。水酸基を有する(メタ)アクリレート化合物及びカルボキシ基を有する(メタ)アクリレート化合物はどちらか一方でも併用しても差し支えなく、それぞれ複数種を使用しても差し支えない。   In the present invention, a diluent can be used. Of these, the following compounds are preferably used for obtaining good adhesion. 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 3-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2-hydroxybutyl (meth) acrylate, 3-hydroxybutyl (meth) acrylate, 4-hydroxybutyl ( (Meth) acrylate, 1,2-cyclohexanediol mono (meth) acrylate, 1,3-cyclohexanediol mono (meth) acrylate, 1,4-cyclohexanediol mono (meth) acrylate, 1,2-cyclohexanedimethanol mono (meta) ) Acrylate, 1,3-cyclohexanedimethanol mono (meth) acrylate, 1,4-cyclohexanedimethanol mono (meth) acrylate, 1,2-cyclohexanediethanol mono (meth) acrylate, 1 3-cyclohexanediethanol mono (meth) acrylate, 1,4-cyclohexanediethanol mono (meth) acrylate, glycerin mono (meth) acrylate, glycerin di (meth) acrylate, trimethylolpropane mono (meth) acrylate, trimethylolpropane di ( (Meth) acrylate, pentaerythritol mono (meth) acrylate, pentaerythritol di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, neopentylglycol mono (meth) acrylate-containing (meth) acrylate compounds, and these hydroxyl groups A (meth) acrylate compound having a carboxy group obtained by reacting a (meth) acrylate compound with a dicarboxylic acid. Examples of the dicarboxylic acid usable here include oxalic acid, malonic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, pimelic acid, suberic acid, azelaic acid, sebacic acid, maleic acid, fumaric acid, phthalic acid, and tetrahydrophthalic acid. Hexahydrophthalic acid and derivatives thereof. Among them, an acid anhydride obtained by dehydrating these dicarboxylic acids is preferably used because it can easily react with a hydroxyl group to obtain a half-esterified product. Either a (meth) acrylate compound having a hydroxyl group or a (meth) acrylate compound having a carboxy group may be used in combination, or a plurality of types may be used.

上記以外にも水酸基又はカルボキシ基を有しない(メタ)アクリレート化合物及びビニル基を有する化合物を使用することも可能である。例えば下記のような化合物が挙げられる。メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、ターシャルブチル(メタ)アクリレート、イソデシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、トリデシル(メタ)アクリレート、セチル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、イソアミル(メタ)アクリレート、イソステアリル(メタ)アクリレート、ベヘニル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、その他のアルキル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、ターシャルブチルシクロヘキシル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、グリシジル(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ジンクモノ(メタ)アクリレート、ジンクジ(メタ)アクリレート、ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート、ジエチルアミノエチル(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコール(メタ)アクリレート、トリフロロエチル(メタ)アクリレート、2,2,3,3−テトラフロロプロピル(メタ)アクリレート、2,2,3,3,4,4−ヘキサフロロブチル(メタ)アクリレート、パーフロロオクチル(メタ)アクリレート、パーフロロオクチルエチル(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、1,9−ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、1,3−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,10−デカンジオールジ(メタ)アクリレート、テトラメチレングリコールジ(メタ)アクリレート、メトキシエチル(メタ)アクリレート、ブトキシエチル(メタ)アクリレート、エトキシジエチレングリコール(メタ)アクリレート、メトキシポリアルキレングリコールモノ(メタ)アクリレート、オクトキシポリアルキレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ラウロキシポリアルキレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ステアロキシポリアルキレングリコールモノ(メタ)アクリレート、アリロキシポリアルキレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシポリアルキレングリコールモノ(メタ)アクリレート、N,N’−メチレンビス(メタ)アクリルアミド、N,N’−エチレンビス(メタ)アクリルアミド、1,2−ジ(メタ)アクリルアミドエチレングリコール、ジ(メタ)アクリロイロキシメチルトリシクロデカン、N−(メタ)アクリロイロキシエチルマレイミド、N−(メタ)アクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタルイミド、N−(メタ)アクリロイロキシエチルフタルイミド、n−ビニル−2−ピロリドン、スチレン誘導体、α−メチルスチレン誘導体。   In addition to the above, it is also possible to use a (meth) acrylate compound having no hydroxyl group or carboxy group and a compound having a vinyl group. For example, the following compounds are mentioned. Methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, isobutyl (meth) acrylate, tertiary butyl (meth) acrylate, isodecyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, tridecyl (meth) Acrylate, cetyl (meth) acrylate, stearyl (meth) acrylate, isoamyl (meth) acrylate, isostearyl (meth) acrylate, behenyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, other alkyl (meth) acrylates, cyclohexyl (Meth) acrylate, tertiary butyl cyclohexyl (meth) acrylate, tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, phenoxyethyl (Meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, glycidyl (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, zinc mono (meth) acrylate, zinc di (meth) acrylate, dimethylaminoethyl (meth) acrylate, diethylaminoethyl (meth) Acrylate, neopentyl glycol (meth) acrylate, trifluoroethyl (meth) acrylate, 2,2,3,3-tetrafluoropropyl (meth) acrylate, 2,2,3,3,4,4-hexafluorobutyl ( (Meth) acrylate, perfluorooctyl (meth) acrylate, perfluorooctylethyl (meth) acrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate, propylene glycol di (meth) acrylate, 1,4- Tandiol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, 1,9-nonanediol di (meth) acrylate, 1,3-butanediol di (meth) acrylate, 1,10-decanediol di ( (Meth) acrylate, tetramethylene glycol di (meth) acrylate, methoxyethyl (meth) acrylate, butoxyethyl (meth) acrylate, ethoxydiethylene glycol (meth) acrylate, methoxypolyalkylene glycol mono (meth) acrylate, octoxypolyalkylene glycol mono (Meth) acrylate, Lauroxy polyalkylene glycol mono (meth) acrylate, Stearoxy polyalkylene glycol mono (meth) acrylate, Allyloxy polyalkylene glycol Rumono (meth) acrylate, nonylphenoxypolyalkylene glycol mono (meth) acrylate, N, N'-methylenebis (meth) acrylamide, N, N'-ethylenebis (meth) acrylamide, 1,2-di (meth) acrylamide ethylene Glycol, di (meth) acryloyloxymethyltricyclodecane, N- (meth) acryloyloxyethyl maleimide, N- (meth) acryloyloxyethyl hexahydrophthalimide, N- (meth) acryloyloxyethyl phthalimide, n -Vinyl-2-pyrrolidone, styrene derivatives, α-methylstyrene derivatives.

本発明では、不飽和結合を反応させる目的で重合開始剤を使用することが好ましい。重合開始剤の種類については特に限定されないが本発明の樹脂組成物は、通常蛍光灯等の照明下で使用されるので光重合開始剤が含まれていると使用中の反応により粘度上昇が観察されるため実質的に光重合開始剤を含有することは好ましくない。実質的にとは、粘度上昇が観察されない程度で光重合開始剤が微量に存在してもよく、好ましくは、含有しないことである。   In the present invention, a polymerization initiator is preferably used for the purpose of reacting an unsaturated bond. The type of the polymerization initiator is not particularly limited, but the resin composition of the present invention is usually used under illumination such as a fluorescent lamp. Therefore, when a photopolymerization initiator is contained, an increase in viscosity is observed due to a reaction during use. Therefore, it is not preferable to substantially contain a photopolymerization initiator. “Substantially” means that a small amount of the photopolymerization initiator may be present to such an extent that no increase in viscosity is observed, and it is preferably not contained.

このため熱ラジカル重合開始剤が好ましく用いられる。通常熱ラジカル重合開始剤として用いられるものであれば特に限定しないが、望ましいものとしては、急速加熱試験(試料1gを電熱板の上にのせ、4℃/分で昇温した時の分解開始温度)における分解温度が40〜140℃となるものが好ましい。分解温度が40℃未満だと、樹脂組成物の常温における保存性が悪くなり、140℃を越えると硬化時間が極端に長くなるため好ましくない。これを満たす熱ラジカル重合開始剤の具体例としては、メチルエチルケトンパーオキサイド、メチルシクロヘキサノンパーオキサイド、メチルアセトアセテートパーオキサイド、アセチルアセトンパーオキサイド、1,1−ビス(t−ブチルパーオキシ)3,3,5−トリメチルシクロヘキサン、1,1−ビス(t−ヘキシルパーオキシ)シクロヘキサン、1,1−ビス(t−ヘキシルパーオキシ)3,3,5−トリメチルシクロヘキサン、1,1−ビス(t−ブチルパーオキシ)シクロヘキサン、2,2−ビス(4,4−ジ−t−ブチルパーオキシシクロヘキシル)プロパン、1,1−ビス(t−ブチルパーオキシ)シクロドデカン、n−ブチル4,4−ビス(t−ブチルパーオキシ)バレレート、2,2−ビス(t−ブチルパーオキシ)ブタン、1,1−ビス(t−ブチルパーオキシ)−2−メチルシクロヘキサン、t−ブチルハイドロパーオキサイド、P−メンタンハイドロパーオキサイド、1,1,3,3−テトラメチルブチルハイドロパーオキサイド、t−ヘキシルハイドロパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、2,5−ジメチル−2,5−ビス(t−ブチルパーオキシ)ヘキサン、α、α’−ビス(t−ブチルパーオキシ)ジイソプロピルベンゼン、t−ブチルクミルパーオキサイド、ジ−t−ブチルパーオキサイド、2,5−ジメチル−2,5−ビス(t−ブチルパーオキシ)ヘキシン−3、イソブチリルパーオキサイド、3,5,5−トリメチルヘキサノイルパーオキサイド、オクタノイルパーオキサイド、ラウロイルパーオキサイド、桂皮酸パーオキサイド、m−トルオイルパーオキサイド、ベンゾイルパーオキサイド、ジイソプロピルパーオキシジカーボネート、ビス(4−t−ブチルシクロヘキシル)パーオキシジカーボネート、ジ−3−メトキシブチルパーオキシジカーボネート、ジ−2−エチルヘキシルパーオキシジカーボネート、ジ−sec−ブチルパーオキシジカーボネート、ジ(3−メチル−3−メトキシブチル)パーオキシジカーボネート、ジ(4−t−ブチルシクロヘキシル)パーオキシジカーボネート、α、α’−ビス(ネオデカノイルパーオキシ)ジイソプロピルベンゼン、クミルパーオキシネオデカノエート、1,1,3,3,−テトラメチルブチルパーオキシネオデカノエート、1−シクロヘキシル−1−メチ−ルエチルパーオキシネオデカノエート、t−ヘキシルパーオキシネオデカノエート、t−ブチルパーオキシネオデカノエート、t−ヘキシルパーオキシピバレート、t−ブチルパーオキシピバレート、2,5−ジメチル−2,5−ビス(2−エチルヘキサノイルパーオキシ)ヘキサン、1,1,3,3−テトラメチルブチルパーオキシ−2−エチルへキサノエート、1−シクロヘキシル−1−メチルエチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート、t−ヘキシルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート、t−ブチルパーオキシイソブチレート、t−ブチルパーオキシマレイックアシッド、t−ブチルパーオキシラウレート、t−ブチルパーオキシ−3,5,5−トリメチルヘキサノエート、t−ブチルパーオキシイソプロピルモノカーボネート、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキシルモノカーボネート、2,5−ジメチル−2,5−ビス(ベンゾイルパーオキシ)ヘキサン、t−ブチルパーオキシアセテート、t−ヘキシルパーオキシベンゾエート、t−ブチルパーオキシ−m−トルオイルベンゾエート、t−ブチルパーオキシベンゾエート、ビス(t−ブチルパーオキシ)イソフタレート、t−ブチルパーオキシアリルモノカーボネート、3,3’,4,4’−テトラ(t−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン等が挙げられるが、これらは単独又は硬化性を制御するため2種類以上を混合して用いることもできる。特に限定されるわけではないが樹脂組成物中0.001重量%以上、2重量%以下含有されるのが好ましい。   For this reason, a thermal radical polymerization initiator is preferably used. Although it is not particularly limited as long as it is normally used as a thermal radical polymerization initiator, it is desirable that a rapid heating test (decomposition start temperature when a sample is placed on an electric heating plate and heated at 4 ° C./min. In which the decomposition temperature is 40 to 140 ° C. If the decomposition temperature is less than 40 ° C., the preservability of the resin composition at normal temperature deteriorates, and if it exceeds 140 ° C., the curing time becomes extremely long, which is not preferable. Specific examples of the thermal radical polymerization initiator satisfying this include methyl ethyl ketone peroxide, methylcyclohexanone peroxide, methyl acetoacetate peroxide, acetylacetone peroxide, 1,1-bis (t-butylperoxy) 3, 3, 5 -Trimethylcyclohexane, 1,1-bis (t-hexylperoxy) cyclohexane, 1,1-bis (t-hexylperoxy) 3,3,5-trimethylcyclohexane, 1,1-bis (t-butylperoxy) ) Cyclohexane, 2,2-bis (4,4-di-t-butylperoxycyclohexyl) propane, 1,1-bis (t-butylperoxy) cyclododecane, n-butyl 4,4-bis (t- Butyl peroxy) valerate, 2,2-bis (t-butylperoxy) Tan, 1,1-bis (t-butylperoxy) -2-methylcyclohexane, t-butyl hydroperoxide, P-menthane hydroperoxide, 1,1,3,3-tetramethylbutyl hydroperoxide, t -Hexyl hydroperoxide, dicumyl peroxide, 2,5-dimethyl-2,5-bis (t-butylperoxy) hexane, α, α'-bis (t-butylperoxy) diisopropylbenzene, t-butyl Cumyl peroxide, di-t-butyl peroxide, 2,5-dimethyl-2,5-bis (t-butylperoxy) hexyne-3, isobutyryl peroxide, 3,5,5-trimethylhexanoyl peroxide , Octanoyl peroxide, lauroyl peroxide, cinnamic acid peroxide m-toluoyl peroxide, benzoyl peroxide, diisopropyl peroxydicarbonate, bis (4-t-butylcyclohexyl) peroxydicarbonate, di-3-methoxybutyl peroxydicarbonate, di-2-ethylhexyl peroxide Carbonate, di-sec-butylperoxydicarbonate, di (3-methyl-3-methoxybutyl) peroxydicarbonate, di (4-t-butylcyclohexyl) peroxydicarbonate, α, α′-bis (neo) Decanoylperoxy) diisopropylbenzene, cumylperoxyneodecanoate, 1,1,3,3-tetramethylbutylperoxyneodecanoate, 1-cyclohexyl-1-methylethylperoxyneodecano Eate, t-hexyl par Xineodecanoate, t-butylperoxyneodecanoate, t-hexylperoxypivalate, t-butylperoxypivalate, 2,5-dimethyl-2,5-bis (2-ethylhexanoylper) Oxy) hexane, 1,1,3,3-tetramethylbutylperoxy-2-ethylhexanoate, 1-cyclohexyl-1-methylethylperoxy-2-ethylhexanoate, t-hexylperoxy-2- Ethyl hexanoate, t-butyl peroxy-2-ethyl hexanoate, t-butyl peroxyisobutyrate, t-butyl peroxymaleic acid, t-butyl peroxylaurate, t-butyl peroxy- 3,5,5-trimethylhexanoate, t-butylperoxyisopropyl monocarbonate, -Butylperoxy-2-ethylhexyl monocarbonate, 2,5-dimethyl-2,5-bis (benzoylperoxy) hexane, t-butylperoxyacetate, t-hexylperoxybenzoate, t-butylperoxy-m -Toluoyl benzoate, t-butyl peroxybenzoate, bis (t-butylperoxy) isophthalate, t-butylperoxyallyl monocarbonate, 3,3 ', 4,4'-tetra (t-butylperoxycarbonyl ) Benzophenone and the like can be mentioned, but these can be used alone or in combination of two or more in order to control curability. Although not particularly limited, it is preferably contained in the resin composition in an amount of 0.001% by weight to 2% by weight.

本発明ではカップリング剤が使用可能である。一般的に使用されるシランカップリング剤、チタン系カップリング剤を使用することができるが、特にS−S結合を有するシランカップリング剤は充填材(B)として銀粉を用いた場合には銀粉表面との結合も生じるため、被着体表面との接着力向上のみならず硬化物の凝集力も向上するため好適に使用することが可能である。具体的には、ビス(トリメトキシシリルプロピル)テトラスルフィド、ビス(トリエトキシシリルプロピル)テトラスルフィド、ビス(トリブトキシシリルプロピル)テトラスルフィド、ビス(ジメトキシメチルシリルプロピル)テトラスルフィド、ビス(ジエトキシメチルシリルプロピル)テトラスルフィド、ビス(ジブトキシメチルシリルプロピル)テトラスルフィド、ビス(トリメトキシシリルプロピル)ジスルフィド、ビス(トリエトキシシリルプロピル)ジスルフィド、ビス(トリブトキシシリルプロピル)ジスルフィド、ビス(ジメトキシメチルシリルプロピル)ジスルフィド、ビス(ジエトキシメチルシリルプロピル)ジスルフィド、ビス(ジブトキシメチルシリルプロピル)ジスルフィドなどが挙げられる。S−S結合を有するシランカップリング剤以外との併用も好ましい。   In the present invention, a coupling agent can be used. Generally used silane coupling agents and titanium-based coupling agents can be used. In particular, when a silane coupling agent having an S—S bond is used as a filler (B), silver powder is used. Since the bonding with the surface also occurs, not only the adhesion strength to the adherend surface but also the cohesive strength of the cured product is improved, so that it can be suitably used. Specifically, bis (trimethoxysilylpropyl) tetrasulfide, bis (triethoxysilylpropyl) tetrasulfide, bis (tributoxysilylpropyl) tetrasulfide, bis (dimethoxymethylsilylpropyl) tetrasulfide, bis (diethoxymethyl) Silylpropyl) tetrasulfide, bis (dibutoxymethylsilylpropyl) tetrasulfide, bis (trimethoxysilylpropyl) disulfide, bis (triethoxysilylpropyl) disulfide, bis (tributoxysilylpropyl) disulfide, bis (dimethoxymethylsilylpropyl) ) Disulfide, bis (diethoxymethylsilylpropyl) disulfide, bis (dibutoxymethylsilylpropyl) disulfide and the like. A combination with other than the silane coupling agent having an S—S bond is also preferred.

本発明の樹脂組成物には、必要により、消泡剤、界面活性剤、各種重合禁止剤、酸化防止剤等の添加剤を用いることができる。
本発明の樹脂組成物は、例えば各成分を予備混合した後、3本ロールを用いて混練した後真空下脱泡することにより製造することができる。
In the resin composition of the present invention, additives such as an antifoaming agent, a surfactant, various polymerization inhibitors, and antioxidants can be used as necessary.
The resin composition of the present invention can be produced, for example, by premixing the components, kneading using three rolls, and degassing under vacuum.

本発明の樹脂組成物を用いて半導体装置を製作する方法は、公知の方法を用いることができる。例えば、市販のダイボンダーを用いて、リードフレームの所定の部位に樹脂組成物をディスペンス塗布した後、チップをマウントし、加熱硬化する。その後、ワイヤーボンディングして、エポキシ樹脂を用いてトランスファー成形することによって半導体装置を製作する。又はフリップチップ接合後アンダーフィル材で封止したフリップチップBGAなどのチップ裏面に樹脂組成物をディスペンスしヒートスプレッダー、リッドといった放熱部品を搭載し加熱硬化するなどといった使用方法も可能である。
以下実施例を用いて本発明を具体的に説明するが、これらに限定されるものではない。配合割合は重量部で示す。
As a method of manufacturing a semiconductor device using the resin composition of the present invention, a known method can be used. For example, using a commercially available die bonder, the resin composition is dispensed on a predetermined portion of the lead frame, and then the chip is mounted and heat-cured. Then, a semiconductor device is manufactured by wire bonding and transfer molding using an epoxy resin. Alternatively, it is possible to use a method in which a resin composition is dispensed on the back side of a chip such as a flip chip BGA sealed with an underfill material after flip chip bonding, and a heat dissipating component such as a heat spreader or lid is mounted and cured.
EXAMPLES The present invention will be specifically described below using examples, but is not limited thereto. The blending ratio is expressed in parts by weight.

[実施例1]
化合物(A)として、1,4−ジメタノールシクロヘキサン/1,6−ヘキサンジオール(=3/1(重量比))と炭酸ジメチルから合成した分子量約900のポリカーボネートジオールにメタクリル酸メチルを反応することにより得られるポリカーボネートジメタクリレート化合物(宇部興産(株)製、UM−90(3/1)DM、以下化合物A1)、充填材(B)として、平均粒径8μm、最大粒径30μmのフレーク状銀粉(以下銀粉)、重合開始剤としてジクミルパーオキサイド(日本油脂(株)製、パークミルD、急速加熱試験における分解温度:126℃、以下重合開始剤)、1,4−シクロヘキサンジメタノールモノアクリレート(日本化成(株)製、CHDMMA、水酸基を有するアクリレート化合物、以下化合物Y1)、2−メタクリロイルオキシエチルコハク酸(共栄社化学(株)製、ライトエステルHO−MS、カルボキシ基を有するメタクリレート化合物、以下化合物Y2)、1,6−ヘキサンジオールジメタクリレート(共栄社化学(株)製、ライトエステル1、6HX、水酸基もカルボキシ基も有しないメタクリレート化合物、以下化合物Y3)、テトラスルフィド結合を有するカップリング剤(日本ユニカー(株)製、A−1289、以下カップリング剤1)、グリシジル基を有するカップリング剤(信越化学工業(株)製、KBM−403E、以下カップリング剤2)を表1のように配合し、3本ロールを用いて混練し、脱泡することで樹脂組成物を得た。配合割合は重量部である。得られた樹脂組成物を以下の方法により評価した。評価結果を表1に示す。
[Example 1]
Reaction of methyl methacrylate with a polycarbonate diol having a molecular weight of about 900 synthesized from 1,4-dimethanolcyclohexane / 1,6-hexanediol (= 3/1 (weight ratio)) and dimethyl carbonate as compound (A). As a filler (B), a flaky silver powder having an average particle size of 8 μm and a maximum particle size of 30 μm is obtained as a polycarbonate dimethacrylate compound (Ube Industries, Ltd., UM-90 (3/1) DM, hereinafter referred to as Compound A1). (Hereinafter referred to as silver powder), dicumyl peroxide (manufactured by NOF Corporation, Park Mill D, decomposition temperature in rapid heating test: 126 ° C., hereinafter referred to as polymerization initiator), 1,4-cyclohexanedimethanol monoacrylate (hereinafter referred to as “polymerization initiator”) Nippon Kasei Co., Ltd., CHDMMA, hydroxyl-containing acrylate compound, hereinafter referred to as compound Y1), 2 -Methacryloyloxyethyl succinic acid (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd., light ester HO-MS, methacrylate compound having a carboxy group, hereinafter compound Y2), 1,6-hexanediol dimethacrylate (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd., light ester) 1, 6HX, methacrylate compound having no hydroxyl group or carboxy group, hereinafter referred to as compound Y3), coupling agent having a tetrasulfide bond (manufactured by Nippon Unicar Co., Ltd., A-1289, hereinafter referred to as coupling agent 1), having a glycidyl group A coupling agent (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., KBM-403E, hereinafter coupling agent 2) is blended as shown in Table 1, kneaded using three rolls, and defoamed to obtain a resin composition. It was. The blending ratio is parts by weight. The obtained resin composition was evaluated by the following methods. The evaluation results are shown in Table 1.

[実施例2〜4、及び比較例1〜4]
表1に示す割合で配合し実施例1と同様に樹脂組成物を得た。
なお、実施例2では1,4−ジメタノールシクロヘキサン/1,6−ヘキサンジオール(=1/3(重量比))と炭酸ジメチルから合成した分子量約900のポリカーボネートジオールにメタクリル酸メチルを反応することにより得られるポリカーボネートジメタクリレート化合物(宇部興産(株)製、UM−90(1/3)DM、以下化合物A2)を、実施例3では、1,4−ジメタノールシクロヘキサン/1,6−ヘキサンジオール(=1/1(重量比))と炭酸ジメチルから合成した分子量約900のポリカーボネートジオールにメタクリル酸メチルを反応することにより得られるポリカーボネートジメタクリレート化合物(宇部興産(株)製、UM−90(1/1)DM、以下化合物A3)を、実施例4では1,4−ジメタノールシクロヘキサン/1,6−ヘキサンジオール(=1/3(重量比))と炭酸ジメチルから合成した分子量約900のポリカーボネートジオールにメタクリル酸メチルを反応することにより得られるポリカーボネートジメタクリレート化合物(宇部興産(株)製、UM−90(1/3)DM、以下化合物A2)と1,4−ジメタノールシクロヘキサン/1,6−ヘキサンジオール(=1/1(重量比))と炭酸ジメチルから合成した分子量約900のポリカーボネートジオールにメタクリル酸メチルを反応することにより得られるポリカーボネートジメタクリレート化合物(宇部興産(株)製、UM−90(1/1)DM、以下化合物A3)を用いた。
[Examples 2 to 4 and Comparative Examples 1 to 4]
The resin composition was obtained in the same manner as in Example 1 by blending at the ratio shown in Table 1.
In Example 2, methyl methacrylate is reacted with polycarbonate diol having a molecular weight of about 900 synthesized from 1,4-dimethanolcyclohexane / 1,6-hexanediol (= 1/3 (weight ratio)) and dimethyl carbonate. In Example 3, a polycarbonate dimethacrylate compound (UME-90 (1/3) DM, hereinafter referred to as Compound A2) manufactured by Ube Industries Co., Ltd. was obtained in Example 3, and 1,4-dimethanolcyclohexane / 1,6-hexanediol. (= 1/1 (weight ratio)) and a polycarbonate dimethacrylate compound obtained by reacting methyl methacrylate with a polycarbonate diol having a molecular weight of about 900 synthesized from dimethyl carbonate (manufactured by Ube Industries, Ltd., UM-90 (1 / 1) DM, hereinafter referred to as compound A3) in Example 4, 1,4-dimethanol Polycarbonate dimethacrylate compound (Ube Industries, Ltd.) obtained by reacting methyl methacrylate with polycarbonate diol having a molecular weight of about 900 synthesized from hexane / 1,6-hexanediol (= 1/3 (weight ratio)) and dimethyl carbonate UM-90 (1/3) DM, hereinafter referred to as Compound A2), 1,4-dimethanolcyclohexane / 1,6-hexanediol (= 1/1 (weight ratio)) and dimethyl carbonate The polycarbonate dimethacrylate compound (Ube Industries, Ltd. make, UM-90 (1/1) DM, the following compound A3) obtained by making methyl methacrylate react with 900 polycarbonate diol was used.

比較例1では1,6−ヘキサンジオールと炭酸ジメチルから合成した分子量約1000ポリカーボネートジオールにメタクリル酸メチルを反応することにより得られるポリカーボネートジメタクリレート化合物(宇部興産(株)製、UH−100DM、以下化合物X1)を、また比較例2では1,4−ジメタノールシクロヘキサンと炭酸ジメチルから合成した分子量約1000のポリカーボネートジオールにメタクリル酸メチルを反応することにより得られるポリカーボネートジメタクリレート化合物(宇部興産(株)製、UC−100DM、以下化合物X2)を、比較例3ではポリテトラメチレングリコールジメタクリレート(日本油脂(株)製、ブレンマーPDT−800、以下化合物X3)を、比較例4では、化合物X1と化合物X2を用いた。
得られた樹脂組成物を以下の方法により評価した。評価結果を表1に示す。
In Comparative Example 1, a polycarbonate dimethacrylate compound obtained by reacting methyl methacrylate with 1,000-hexanediol and dimethyl carbonate and having a molecular weight of about 1000 polycarbonate diol (UH-100DM, UH-100DM, the following compound) X1), and in Comparative Example 2, a polycarbonate dimethacrylate compound obtained by reacting methyl methacrylate with a polycarbonate diol having a molecular weight of about 1000 synthesized from 1,4-dimethanolcyclohexane and dimethyl carbonate (manufactured by Ube Industries, Ltd.) , UC-100DM, hereinafter referred to as Compound X2), in Comparative Example 3, polytetramethylene glycol dimethacrylate (manufactured by NOF Corporation, Blemmer PDT-800, hereinafter referred to as Compound X3), and in Comparative Example 4, Compound X1 and Compound X2 It was used.
The obtained resin composition was evaluated by the following methods. The evaluation results are shown in Table 1.

評価方法
・粘度:E型粘度計(3°コーン)を用い25℃、2.5rpmで測定した。粘度が15〜25Pa・sの範囲内のものを合格とした。粘度の単位はPa・s。
・接着強度:表1に示す樹脂組成物を用いて、6×6mmのシリコンチップをNi−Pd/Auめっきした銅フレームにマウントし、150℃オーブン中30分硬化した。硬化後及び吸湿処理(85℃、85%、72時間)後に自動接着力測定装置を用い260℃での熱時ダイシェア強度を測定した。260℃熱時ダイシェア強度が30N/チップ以上の場合を合格とした。接着強度の単位はN/チップである。
・弾性率:表1に示す樹脂組成物を用いて、4×20×0.1mmのフィルム状の試験片を作製し(硬化条件150℃30分)、動的粘弾性測定機(DMA)にて引っ張りモードでの測定を行った。測定条件は以下の通りである。
測定温度:−100〜300℃
昇温速度:5℃/分
周波数:10Hz
荷重:100mN
25℃における貯蔵弾性率を弾性率とし3000MPa以下の場合を合格とした。弾性率の単位はMPaである。
・耐リフロー性:表1に示す樹脂組成物を用いて、下記のリードフレームとシリコンチップを150℃30分間硬化し接着した。封止材料(スミコンEME−7026、住友ベークライト(株)製)を用い封止し、パッケージを作製した。このパッケージを30℃、相対湿度60%、168時間吸湿処理した後、IRリフロー処理(260℃、10秒、3回リフロー)を行った。処理後のパッケージを超音波探傷装置(透過型)により剥離の程度を測定した。ダイアタッチ部の剥離面積が10%未満の場合を合格とした。剥離面積の単位は%である。
パッケージ:QFP(14×20×2.0mm)
リードフレーム:Ni−Pd/Auめっきした銅フレーム
チップサイズ:6×6mm
樹脂組成物の硬化条件:オーブン中150℃、30分
Evaluation method and viscosity: Measured at 25 ° C. and 2.5 rpm using an E-type viscometer (3 ° cone). The thing with the viscosity in the range of 15-25 Pa.s was set as the pass. The unit of viscosity is Pa · s.
Adhesive strength: Using the resin composition shown in Table 1, a 6 × 6 mm silicon chip was mounted on a Ni—Pd / Au plated copper frame and cured in an oven at 150 ° C. for 30 minutes. After curing and after moisture absorption treatment (85 ° C., 85%, 72 hours), the hot die shear strength at 260 ° C. was measured using an automatic adhesive force measuring apparatus. The case where the die shear strength when heated at 260 ° C. was 30 N / chip or more was regarded as acceptable. The unit of adhesive strength is N / chip.
-Elastic modulus: Using the resin composition shown in Table 1, a 4 × 20 × 0.1 mm film-like test piece was prepared (curing conditions: 150 ° C. for 30 minutes), and the dynamic viscoelasticity measuring machine (DMA) was used. The measurement was performed in the pull mode. The measurement conditions are as follows.
Measurement temperature: -100 to 300 ° C
Temperature increase rate: 5 ° C / min Frequency: 10Hz
Load: 100mN
The storage elastic modulus at 25 ° C. was regarded as the elastic modulus, and the case of 3000 MPa or less was regarded as acceptable. The unit of elastic modulus is MPa.
Reflow resistance: Using the resin composition shown in Table 1, the following lead frame and silicon chip were cured and bonded at 150 ° C. for 30 minutes. Sealing material (Sumicon EME-7026, manufactured by Sumitomo Bakelite Co., Ltd.) was used for sealing to produce a package. This package was subjected to a moisture absorption treatment at 30 ° C. and a relative humidity of 60% for 168 hours, followed by an IR reflow treatment (260 ° C., 10 seconds, 3 times reflow). The degree of peeling of the treated package was measured with an ultrasonic flaw detector (transmission type). The case where the peeling area of the die attach part was less than 10% was regarded as acceptable. The unit of the peeled area is%.
Package: QFP (14 x 20 x 2.0 mm)
Lead frame: Ni-Pd / Au plated copper frame Chip size: 6 x 6 mm
Curing conditions for resin composition: 150 ° C. in oven for 30 minutes

Figure 2007262244
Figure 2007262244

本発明の樹脂組成物は、特に弾性率が低く応力緩和特性に優れるため、半導体用ダイアタッチペースト又は放熱部材接着用材料として好適に用いることができる。
Since the resin composition of the present invention has a particularly low elastic modulus and excellent stress relaxation properties, it can be suitably used as a die attach paste for semiconductors or a material for adhering heat dissipation members.

Claims (6)

1,4−シクロヘキサンジメタノール、1,6−ヘキサンジオール及び炭酸ジメチルを反応することにより得られるポリカーボネートジオール(A1)と、(メタ)アクリル酸又はその誘導体(A2)とを反応することにより得られるポリカーボネートジ(メタ)アクリレート化合物(A)、並びに充填材(B)を含むことを特徴とする樹脂組成物。 Obtained by reacting polycarbonate diol (A1) obtained by reacting 1,4-cyclohexanedimethanol, 1,6-hexanediol and dimethyl carbonate with (meth) acrylic acid or its derivative (A2). A resin composition comprising a polycarbonate di (meth) acrylate compound (A) and a filler (B). 前記ポリカーボネートジオール(A1)が、1,4−シクロヘキサンジメタノールと1,6−ヘキサンジオールを重量比20/80〜80/20で炭酸ジメチルと反応したものである請求項1記載の樹脂組成物。 The resin composition according to claim 1, wherein the polycarbonate diol (A1) is obtained by reacting 1,4-cyclohexanedimethanol and 1,6-hexanediol with dimethyl carbonate in a weight ratio of 20/80 to 80/20. 前記ポリカーボネートジオール(A1)の分子量が、400〜2000である請求項1又は2に記載の樹脂組成物。 The resin composition according to claim 1 or 2, wherein the polycarbonate diol (A1) has a molecular weight of 400 to 2,000. 前記充填材(B)が銀粉である請求項1〜3のいずれか1項に記載の樹脂組成物。 The resin composition according to any one of claims 1 to 3, wherein the filler (B) is silver powder. さらに重合開始剤を含む請求項1〜4のいずれか1項に記載の樹脂組成物。 Furthermore, the resin composition of any one of Claims 1-4 containing a polymerization initiator. 請求項1〜5のいずれか1項に記載の樹脂組成物をダイアタッチ材料又は放熱部材接続材料として使用し作製した半導体装置。
The semiconductor device produced using the resin composition of any one of Claims 1-5 as a die-attach material or a heat radiating member connection material.
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