JP2007258575A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 光源からの光束で被照明面を照明する照明装置であって、
   第１位相板と第２位相板とを含む、前記光束の偏光状態を変更する偏光変更部を有し、
   前記光束の波長をλ、前記第１位相板に入射する光束の入射角度をθ、前記第１位相板の複屈折量をΔｎとすると、前記第１位相板の厚さｄは、
   を満足し、
   前記第２位相板は、前記第１位相板及び前記第２位相板を通過する光の互いに垂直な方向に振動する直線偏光成分間に所定の位相差を与えるように、前記第１位相板の厚さとの差分を有することを特徴とする照明装置。
2. 前記偏光変更部は、前記照明装置の瞳に配置されることを特徴とする請求項１記載の照明装置。
3. 前記偏光変更部は、
   前記光束の偏光状態を第１の偏光状態に変更する第１の偏光変更部と、
   前記光束の偏光状態を前記第１の偏光状態とは異なる第２の偏光状態に変更する第２の偏光変更部とを有し、
   前記第１の偏光変更部及び前記第２の偏光変更部は、前記光束の光路内に挿脱可能であることを特徴とする請求項１記載の照明装置。
4. 前記光束の偏光状態を解消する偏光解消板を更に有し、
   前記偏光変更部は、前記偏光解消板と切り替え可能であることを特徴とする請求項１記載の照明装置。
5. 複数の光学素子と、
   前記被照明面を照明するための有効光源を形成する有効光源形成手段とを更に有し、
   前記複数の光学素子のうち中心の厚さが５ｍｍ以下の光学素子に用いる硝材の複屈折量は１０［ｎｍ／ｃｍ］以下であり、
   前記複数の光学素子のうち前記有効光源形成手段よりも前記光源側の配置された光学素子に用いる硝材の複屈折量は５［ｎｍ／ｃｍ］以下であり、
   前記複数の光学素子のうち前記有効光源形成手段よりも前記被照明面側に配置された光学素子に用いられる硝材の複屈折量は２［ｎｍ／ｃｍ］以下であり、
   前記硝材は、（１ １ １）又は（１ ０ ０）の結晶軸が光軸方向に向くように配置されることを特徴とする請求項１記載の照明装置。
6. 反射膜を有するミラーと、
   透過膜を有するレンズとを更に有し、
   前記反射膜のＳ偏光とＰ偏光との間の反射位相差は、前記光束が前記ミラーに入射する角度内において、±１０°以下であり、
   前記透過膜のＳ偏光とＰ偏光との間の位相差は、前記光束が前記レンズに入射する角度内において、±５°以下であることを特徴とする請求項１記載の照明装置。
7. レチクルを照明する照明装置と、
   前記レチクルのパターンを被処理体に投影する投影光学系とを有し、
   前記照明装置は、請求項１乃至６のうちいずれか一項記載の照明装置であることを特徴とする露光装置。
8. 請求項７記載の露光装置を用いて被処理体を露光するステップと、
   露光された前記被処理体を現像するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。