JP2007258487A - Soldering device, and cooling device therefor - Google Patents

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Tetsuya Shimada
哲也 嶋田
Hirokazu Tanaka
浩和 田中
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a soldering device which can perform reflow soldering operation with a high quality and without fluctuations in quality, and to provide a cooling device for the soldering device. <P>SOLUTION: The soldering device 1 is arranged to cool in the cooling device 10 a substrate W heated in a heating furnace 2 to solidify solder. The cooling device 10 has a plurality of nozzles 16 capable of blowing a gas on the substrate W. The cooling device 1 has a temperature distribution detecting means 13 which can detect a temperature distribution in the substrate W. The amount of gas blown from each nozzle 16 is adjusted on the basis of a detection result of the temperature distribution detecting means 13. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、ハンダ付けに好適に使用可能なハンダ付け装置用冷却装置、並びに、ハンダ付け装置に関するものである。   The present invention relates to a cooling device for a soldering device that can be suitably used for soldering, and a soldering device.

従来より、下記特許文献1,2に開示されているようなハンダ付け装置用冷却装置や、ハンダ付け装置がハンダ付けに使用されている。
特開2003−179341号公報 特開2004−235381号公報
Conventionally, a soldering device cooling device and a soldering device as disclosed in Patent Documents 1 and 2 below have been used for soldering.
JP 2003-179341 A Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-235381

上記特許文献1に開示されている従来技術では、ハンダ付け装置の加熱炉から取り出され、コンベア装置上を流れる基板側に冷却器で冷やした気体を緩やかに吹き付け、基板を冷却する構成が採用されている。   In the prior art disclosed in the above-mentioned Patent Document 1, a configuration is adopted in which the substrate is cooled by gently blowing a gas cooled by a cooler onto the substrate side taken out from the heating furnace of the soldering device and flowing on the conveyor device. ing.

また、上記特許文献2に開示されている従来技術では、まずファンを作動させて発生する緩やかな気流の下にハンダ付け装置の加熱炉から取り出された基板をさらし、その後エアノズルから勢いよく出る冷気によって基板を冷却する構成が採用されている。   In the prior art disclosed in Patent Document 2, the substrate taken out from the heating furnace of the soldering device is first exposed to a gentle air flow generated by operating the fan, and then the cold air that is vigorously discharged from the air nozzle. The structure which cools a board | substrate is employ | adopted.

上記特許文献1,2に開示されているような従来技術のハンダ付け装置用冷却装置やハンダ付け装置では、ハンダ付け装置の加熱炉で加熱された基板やハンダを冷却することにより、ハンダの固化を促進して定着させ、電気部品や電子部品等の部品を基板に取り付けることができる。   In the prior art soldering apparatus cooling apparatus and soldering apparatus as disclosed in Patent Documents 1 and 2, the solder is solidified by cooling the substrate and solder heated in the heating furnace of the soldering apparatus. Can be promoted and fixed, and components such as electric components and electronic components can be attached to the substrate.

ここで、基板に部品を取り付ける際は、基板に対する部品の配置や密度が均一でなかったり、各部品の熱容量が異なるなどしていることが多い。そのため、従来技術の構成では、仮に加熱炉から取り出した基板に対して略均一に気体を吹き付けることができたとしても、部位によって冷却の具合が異なり、ハンダ付けの品質がばらついたり、ハンダ付け不良が起こる可能性があった。   Here, when components are attached to the substrate, the arrangement and density of the components with respect to the substrate are often not uniform, and the heat capacities of the components are often different. Therefore, in the configuration of the prior art, even if the gas can be blown substantially uniformly to the substrate taken out from the heating furnace, the cooling condition varies depending on the part, the soldering quality varies, or the soldering is poor. Could happen.

そこで、かかる課題を解決すべく、本発明は、加熱状態にある基板やハンダを部位によらず略均一に冷却し、高品質なハンダ付けを実施可能なハンダ付け装置用冷却装置、並びに、ハンダ付け装置の提供を目的とする。   Accordingly, in order to solve such a problem, the present invention provides a cooling device for a soldering apparatus, which can cool a substrate or solder in a heated state substantially uniformly regardless of a part and can perform high-quality soldering, and solder. The purpose is to provide an attaching device.

そこで、かかる知見に基づいて提供される請求項1に記載の発明は、基板及び/又は当該基板に対して加熱され溶融した状態で付着しているハンダを冷却するためのハンダ付け装置用冷却装置であって、冷却手段と、基板における温度分布を検知可能な温度分布検知手段とを有し、前記冷却手段が、基板側に向けて気体を吹き付けることによって基板及び/又は当該基板に付着しているハンダを冷却するものであり、基板側に向けて供給される気体の供給状態を、温度分布検知手段によって検知された温度分布に応じて調整可能であることを特徴とするハンダ付け装置用冷却装置である。   Therefore, the invention according to claim 1 provided based on such knowledge is a cooling device for a soldering apparatus for cooling a substrate and / or solder attached to the substrate in a heated and molten state. And a cooling means and a temperature distribution detecting means capable of detecting a temperature distribution in the substrate, wherein the cooling means adheres to the substrate and / or the substrate by blowing a gas toward the substrate side. The soldering apparatus cooling is characterized in that the supply state of the gas supplied toward the substrate side can be adjusted according to the temperature distribution detected by the temperature distribution detecting means. Device.

かかる構成によれば、基板に対する部品の配置や密度、各部品の熱容量が異なるなどしていても、基板やハンダを部位によらず略均一に冷却することができる。従って、本発明のハンダ付け装置用冷却装置によれば、ハンダ付けを高品質で、品質のばらつきのない状態で実施することができる。   According to such a configuration, even if the arrangement and density of components with respect to the substrate and the heat capacities of the components are different, the substrate and the solder can be cooled substantially uniformly regardless of the part. Therefore, according to the cooling device for a soldering apparatus of the present invention, it is possible to perform soldering with high quality and without quality variation.

ここで、一般的にハンダ付けの品質を向上させるためには、加熱溶融状態にあるハンダをできるだけ早く冷却することが望ましい。一方、ハンダの固化を早めるべく、加熱溶融状態にあるハンダに一度に大量の気体を吹き付けると、ハンダが変形したり飛び散ってしまい、ハンダ付けの品質が却って低下してしまうおそれがある。   Here, in general, in order to improve the soldering quality, it is desirable to cool the solder in a heated and melted state as soon as possible. On the other hand, when a large amount of gas is blown at once to solder in a heated and melted state in order to accelerate the solidification of the solder, the solder may be deformed or scattered, and the soldering quality may be deteriorated.

そこで、かかる知見に基づいて提供される請求項2に記載の発明は、基板及び/又は当該基板に対して加熱され溶融した状態で付着しているハンダを冷却可能な予冷手段を有し、当該予冷手段によって冷却されたハンダ及び/又は基板を冷却手段によってさらに冷却可能であることを特徴とする請求項1に記載のハンダ付け装置用冷却装置である。   Therefore, the invention according to claim 2 provided based on such knowledge has precooling means capable of cooling the substrate and / or solder attached to the substrate in a heated and molten state, The soldering apparatus cooling device according to claim 1, wherein the solder and / or the substrate cooled by the pre-cooling means can be further cooled by the cooling means.

本発明のハンダ付け装置用冷却装置では、冷却手段によって加熱溶融状態のハンダ及び/又は当該ハンダが付着した基板を予冷し、ハンダがある程度固化して安定した状態になった後、冷却手段によってハンダや基板をさらに冷却し、ハンダをさらに固化させることができる。すなわち、本発明のハンダ付け装置用冷却装置では、予冷手段および冷却手段によって基板やこれに付着しているハンダを段階的に冷却することができる。そのため、本発明のハンダ付け装置用冷却装置によれば、上記したようなハンダの変形等に伴うハンダ付けの品質低下を抑制し、ハンダ付けの品質をより一層向上させることができる。   In the cooling device for a soldering apparatus according to the present invention, the solder in the heated and melted state and / or the substrate to which the solder is attached is pre-cooled by the cooling means, and after the solder is solidified to a certain degree to be in a stable state, And the substrate can be further cooled to further solidify the solder. That is, in the cooling device for a soldering apparatus according to the present invention, the precooling means and the cooling means can cool the substrate and the solder attached thereto in a stepwise manner. Therefore, according to the cooling device for a soldering apparatus of the present invention, it is possible to suppress the deterioration of the soldering quality accompanying the solder deformation as described above, and to further improve the soldering quality.

ここで、上記したように、ハンダ付けをする際は、一般的に基板全体が加熱炉などの加熱手段内に収容され加熱される。そのため、基板が前記した加熱手段から取り出された直後は、基板の略全体において温度分布が比較的小さいものと想定される。しかし、基板を加熱手段から取り出してしばらく除熱すると、基板に取り付けられている部品の数や密度、熱容量等の影響により、基板の各部における温度分布が顕著になる傾向にある。本発明者らは、かかる現象に着目し、基板を加熱手段から取り出してある程度冷却された後もそのまま基板全体を略均一に冷却すると、基板上の各部における冷却具合の差異が顕著となり、ハンダ付けの品質にばらつきが生じたり、ハンダ付けの品質を維持できなくなる可能性があることを見いだした。   Here, as described above, when soldering, the entire substrate is generally accommodated in a heating means such as a heating furnace and heated. For this reason, immediately after the substrate is taken out from the heating means described above, it is assumed that the temperature distribution is relatively small over substantially the entire substrate. However, when the substrate is taken out of the heating means and removed for a while, the temperature distribution in each part of the substrate tends to become remarkable due to the influence of the number, density, heat capacity, etc. of the components attached to the substrate. The present inventors pay attention to such a phenomenon, and even after the substrate is taken out of the heating means and cooled to some extent, if the entire substrate is cooled as it is, the difference in the cooling degree in each part on the substrate becomes remarkable, and soldering is performed. It has been found that there is a possibility that the quality of solder may vary and the soldering quality may not be maintained.

そこで、かかる知見に基づいて提供される請求項3に記載の発明は、温度分布検知手段が、予冷手段によって冷却された基板における温度分布を検知可能なものであり、冷却手段が、当該温度分布検知手段によって検知された予冷手段によって冷却された基板における温度分布に基づいて気体の供給状態を調整可能であることを特徴とする請求項2に記載のハンダ付け装置用冷却装置である。   Accordingly, the invention according to claim 3 provided based on such knowledge is such that the temperature distribution detecting means can detect the temperature distribution in the substrate cooled by the pre-cooling means, and the cooling means includes the temperature distribution. 3. The cooling device for a soldering apparatus according to claim 2, wherein the gas supply state can be adjusted based on the temperature distribution in the substrate cooled by the pre-cooling means detected by the detecting means.

本発明のハンダ付け装置用冷却装置では、予冷手段である程度冷却された後における基板の温度分布を検知し、これに基づいて冷却手段の冷却能力が調整される。そのため、本発明によれば、基板に取り付けられている部品の数や密度、熱容量等によらず、ハンダ付けの状態を高品質なものとすることが可能なハンダ付け装置用冷却装置を提供できる。   In the cooling device for a soldering apparatus according to the present invention, the temperature distribution of the substrate after being cooled to some extent by the pre-cooling means is detected, and the cooling capacity of the cooling means is adjusted based on this. Therefore, according to the present invention, it is possible to provide a cooling device for a soldering apparatus capable of achieving a high quality soldering state regardless of the number, density, heat capacity, etc. of components attached to the substrate. .

ここで、一般的にハンダは、冷却速度が速いほど結晶粒が細かくなり、強度や硬度が高くなり、粒界における割れ等が発生しにくくなる傾向にある。そのため、ハンダ付けの品質を向上するためには、溶融状態にあるハンダをなるべく早く冷却することが望ましい。   Here, generally, the solder has a tendency that the faster the cooling rate, the finer the crystal grains, the higher the strength and hardness, and the less likely the cracks at the grain boundaries occur. Therefore, in order to improve the soldering quality, it is desirable to cool the solder in a molten state as soon as possible.

そこで、かかる知見に基づいて提供される請求項4に記載の発明は、冷却手段が、圧縮状態とされた気体を基板側に噴出可能なものであることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のハンダ付け装置用冷却装置である。   Accordingly, the invention according to claim 4 provided based on such knowledge is characterized in that the cooling means is capable of injecting the compressed gas to the substrate side. The soldering device cooling device according to any one of the above.

かかる構成によれば、基板やこれにハンダ付けされた部品等が熱容量のばらつきを有していてもハンダの冷却速度を向上させ、ハンダ付けの品質をより一層向上させることができる。   According to such a configuration, even if the substrate or the components soldered thereto have variations in heat capacity, the cooling rate of the solder can be improved, and the soldering quality can be further improved.

ここで、上記請求項1〜4のいずれかに記載のハンダ付け装置用冷却装置は、冷却手段が、基板に向けて供給される気体の供給量を調整することにより気体の供給状態を調整可能なものであってもよい。(請求項5)   Here, in the cooling device for a soldering apparatus according to any one of the first to fourth aspects, the cooling unit can adjust the gas supply state by adjusting the supply amount of the gas supplied toward the substrate. It may be anything. (Claim 5)

かかる構成とすることによっても、基板やこれに付着しているハンダをムラ無く冷却し、ハンダ付けの品質を向上させることができる。   Even with this configuration, it is possible to cool the substrate and the solder adhering to the substrate without unevenness and improve the soldering quality.

請求項6に記載の発明は、冷却手段および温度分布検知手段に対して相対移動する基板及び/又は当該基板に対して加熱され溶融した状態で付着しているハンダを冷却するものであり、冷却手段が、所定の平面上を通過する基板に向けて気体を供給可能な気体供給口を複数有し、当該複数の気体供給口から選ばれる一又は一群の気体供給口における気体の供給状態を、当該複数の気体供給口から選ばれる他の一又は一群の気体供給口における気体の供給状態と異なるように調整可能なものであり、気体供給口が、冷却手段に対する基板の相対移動方向及び/又は当該相対移動方向に対して交差する方向に複数設けられていることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のハンダ付け装置用冷却装置である。   The invention according to claim 6 is for cooling the substrate that moves relative to the cooling means and the temperature distribution detecting means and / or solder that is attached to the substrate while being heated and melted. The means has a plurality of gas supply ports capable of supplying gas toward a substrate passing on a predetermined plane, and the gas supply state in one or a group of gas supply ports selected from the plurality of gas supply ports, The gas supply port can be adjusted so as to be different from the gas supply state in another one or a group of gas supply ports selected from the plurality of gas supply ports, and the gas supply port is a relative movement direction of the substrate with respect to the cooling means and / or 6. The soldering device cooling device according to claim 1, wherein a plurality of the cooling devices are provided in a direction intersecting the relative movement direction.

本発明のハンダ付け装置用冷却装置では、冷却手段が複数の気体供給口を持ち、各気体供給口における気体の供給状態を一又は一群毎に調整可能な構成とされている。そのため、本発明のハンダ付け装置用冷却装置によれば、基板の温度分布に応じてハンダの凝固に適した状態で基板側に気体を供給することができる。従って、本発明のハンダ付け装置用冷却装置によれば、高品質なハンダ付けを実施できる。   In the cooling device for a soldering apparatus of the present invention, the cooling means has a plurality of gas supply ports, and the gas supply state at each gas supply port can be adjusted for each or one group. Therefore, according to the cooling device for a soldering apparatus of the present invention, gas can be supplied to the substrate side in a state suitable for solder solidification according to the temperature distribution of the substrate. Therefore, according to the cooling device for a soldering apparatus of the present invention, high-quality soldering can be performed.

なお、本発明において、気体供給口は、2つ以上の複数、あるいは、2群以上の複数設けられていればよく、気体供給口の数量は2つや2群に限定されるものではない。また、本発明において「他の一又は一群の気体供給口」は、「一又は一群の気体供給口」を除く全てであっても、「一又は一群の気体供給口」を除く複数あるいは複数群の気体供給口から選ばれる一又は一群の気体供給口であってもよい。   In the present invention, the number of gas supply ports may be two or more, or a plurality of two or more groups, and the number of gas supply ports is not limited to two or two groups. Further, in the present invention, the “other one or group of gas supply ports” may be a plurality or a plurality of groups excluding “one or a group of gas supply ports” even if they are all except “one or a group of gas supply ports”. One or a group of gas supply ports selected from these gas supply ports may be used.

請求項7に記載の発明は、冷却手段に対して相対移動する基板及び/又は当該基板に対して加熱され溶融した状態で付着しているハンダを冷却するものであり、温度分布検知手段が、冷却手段に対する基板の相対移動方向に並ぶ複数の気体供給口から選ばれる一又は複数の気体供給口よりも基板の通過方向上流側において基板における温度分布を検知可能であり、前記温度分布検知手段によって検知される温度分布に基づいて、前記一又は複数の気体供給口及び/又は当該一又は複数の気体供給口よりも基板の相対移動方向下流側に存在する気体供給口における気体の供給状態が調整されることを特徴とする請求項6に記載のハンダ付け装置用冷却装置である。   The invention according to claim 7 is to cool the substrate that moves relative to the cooling means and / or the solder that is attached to the substrate while being heated and melted. The temperature distribution in the substrate can be detected on the upstream side in the passage direction of the substrate with respect to one or a plurality of gas supply ports selected from the plurality of gas supply ports arranged in the relative movement direction of the substrate with respect to the cooling unit, and the temperature distribution detection unit Based on the detected temperature distribution, the gas supply state is adjusted at the one or more gas supply ports and / or the gas supply port that is located downstream of the one or more gas supply ports in the relative movement direction of the substrate. The soldering device cooling device according to claim 6, wherein the soldering device cooling device is a soldering device cooling device.

かかる構成によれば、基板の温度分布に基づいて冷却手段の冷却能力をハンダの凝固に適切な状態に調整できる。   According to such a configuration, the cooling capacity of the cooling means can be adjusted to a state suitable for the solidification of the solder based on the temperature distribution of the substrate.

請求項8に記載の発明は、冷却手段が、温度分布検知手段によって高温であると検知された部位に、低温であると検知された部位よりも多くの気体を供給することにより気体の供給状態を調整可能であることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載のハンダ付け装置用冷却装置である。   In the invention according to claim 8, the cooling means supplies a gas to the part detected as being high temperature by the temperature distribution detecting means by supplying more gas than the part detected as being low temperature. The soldering device cooling device according to claim 1, wherein the soldering device cooling device can be adjusted.

かかる構成によれば、基板における温度分布にあわせて冷却手段の冷却能力を適切に調整し、基板やこれに付着しているハンダを全域において略均一に冷却することができる。そのため、本発明のハンダ付け装置用冷却装置によれば、ハンダ付けの品質を向上させることができる。   According to such a configuration, the cooling capacity of the cooling means is appropriately adjusted according to the temperature distribution in the substrate, and the substrate and the solder attached thereto can be cooled substantially uniformly throughout the entire area. Therefore, according to the cooling device for a soldering apparatus of the present invention, the quality of soldering can be improved.

請求項9に記載の発明は、基板に付着しているハンダを加熱して溶融した状態とする加熱手段と、請求項1〜8のいずれかに記載のハンダ付け装置用冷却装置とを備えていることを特徴とするハンダ付け装置である。   Invention of Claim 9 is equipped with the heating means which heats the solder adhering to a board | substrate, and makes it the molten state, The cooling device for soldering apparatuses in any one of Claims 1-8 A soldering apparatus characterized by comprising:

本発明のハンダ付け装置は、上記請求項1〜8のいずれかに記載のハンダ付け装置用冷却装置を備えたものであるため、ハンダ付けの品質のばらつきや品質の低下を抑制することができる。   Since the soldering apparatus of the present invention includes the cooling device for a soldering apparatus according to any one of the first to eighth aspects, it is possible to suppress variations in soldering quality and deterioration in quality. .

本発明によれば、ハンダ付けを高品質で品質のばらつきがない状態で実施可能なハンダ付け装置用冷却装置、並びに、ハンダ付け装置を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the cooling device for soldering apparatuses and the soldering apparatus which can implement soldering in the state which does not have quality variation and quality variation can be provided.

続いて、本発明の一実施形態にかかるハンダ付け装置、並びに、ハンダ付け装置用冷却装置の一例として、リフローハンダ付けを実施するためのハンダ付け装置と、これに用いる冷却装置について図面を参照しながら詳細に説明する。図1において、1は本実施形態のハンダ付け装置であり、10はハンダ付け装置用冷却装置(以下、単に冷却装置と称する)である。ハンダ付け装置1は、一般的にクリームハンダと称されるようなハンダを用い、基板Wに搭載された電機部品や電子部品等の部品を基板Wに対してリフローハンダ付けを行うための装置である。   Subsequently, as an example of a soldering apparatus according to an embodiment of the present invention and a soldering apparatus cooling apparatus, refer to the drawings regarding a soldering apparatus for performing reflow soldering and a cooling apparatus used therefor. However, it explains in detail. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a soldering apparatus according to the present embodiment, and reference numeral 10 denotes a soldering apparatus cooling apparatus (hereinafter simply referred to as a cooling apparatus). The soldering apparatus 1 is an apparatus for reflow soldering parts such as electric parts and electronic parts mounted on the board W to the board W by using solder generally called cream solder. is there.

ハンダ付け装置1は、基板Wを加熱してハンダを溶融状態にするための加熱炉2(加熱手段)に加えて、基板Wの搬送用のコンベア3や制御手段5、冷却装置10を備えた構成とされている。加熱炉2は、ハンダが溶融する温度よりも高温の温度まで昇温可能なものである。さらに具体的には、加熱炉2は、内部の雰囲気温度を200℃〜250℃程度の高温に維持することができる。コンベア3は、基板Wを加熱炉2側から冷却装置10側に向けて所定の速度で搬送可能なものである。また、冷却装置10は、加熱炉2において加熱された基板Wやこれに付着しているハンダを冷却するためのものである。   The soldering apparatus 1 includes a conveyor 3 for transporting the substrate W, a control unit 5, and a cooling device 10 in addition to a heating furnace 2 (heating unit) for heating the substrate W to bring the solder into a molten state. It is configured. The heating furnace 2 can raise the temperature to a temperature higher than the temperature at which the solder melts. More specifically, the heating furnace 2 can maintain the internal atmospheric temperature at a high temperature of about 200 ° C. to 250 ° C. The conveyor 3 can transport the substrate W from the heating furnace 2 side to the cooling device 10 side at a predetermined speed. The cooling device 10 is for cooling the substrate W heated in the heating furnace 2 and the solder adhering thereto.

さらに詳細に説明すると、ハンダ付け装置1において、コンベア3は、例えばローラコンベアやチェーンコンベア、ベルトコンベア等、従来公知のコンベアによって構成されており、搬送面3aに基板Wを搭載することにより、これを加熱炉2内に通過させて加熱し、冷却装置10に到達するように搬送することができる構成とされている。すなわち、ハンダ付け装置1は、コンベア3に搭載されたものを冷却装置10に対して相対移動させることが可能な構成とされている。   More specifically, in the soldering apparatus 1, the conveyor 3 is configured by a conventionally known conveyor such as a roller conveyor, a chain conveyor, a belt conveyor, and the like. It is set as the structure which can be conveyed so that it may pass through the heating furnace 2 and heat and may reach | attain the cooling device 10. That is, the soldering device 1 is configured to be able to move the one mounted on the conveyor 3 relative to the cooling device 10.

図1に示すように、冷却装置10は、大別して予冷手段11と冷却手段12と温度分布検知手段13とを備えた構成とされている。予冷手段11は、従来公知のファン等によって構成されており、加熱炉2に対してコンベア3によって搬送される基板Wの搬送方向下流側に隣接した位置に設けられている。冷却装置10は、予冷手段11を作動させることにより、コンベア3の搬送面3a上に搭載された基板W側に向かう気流を発生させ、この気流に基板Wをさらして冷却することができる。予冷手段11は、作動に伴い発生する気流が、コンベア3の搬送面3a上に搭載された基板Wに対して、部位によらず略均一に当たる構成とされている。   As shown in FIG. 1, the cooling device 10 is roughly configured to include a pre-cooling unit 11, a cooling unit 12, and a temperature distribution detection unit 13. The pre-cooling means 11 is configured by a conventionally known fan or the like, and is provided at a position adjacent to the downstream side in the transport direction of the substrate W transported by the conveyor 3 with respect to the heating furnace 2. The cooling device 10 can activate the pre-cooling means 11 to generate an air flow toward the substrate W mounted on the transport surface 3a of the conveyor 3, and cool the substrate W by exposing the air flow to the substrate W side. The pre-cooling means 11 is configured such that the airflow generated by the operation substantially uniformly strikes the substrate W mounted on the transport surface 3a of the conveyor 3 regardless of the part.

図1に示すように、冷却手段12は、本体部15を有し、これにノズル16と気体圧縮手段17とを接続した構成とされている。冷却手段12の本体部15は、コンベア3の搬送面3aよりも上方に設置されている。図1に示すように、本体部15には、気体圧縮手段17が接続管18を介して接続されている。そのため、冷却手段12は、気体圧縮手段17において圧縮された気体(本実施形態では空気)を、接続管18を通じて本体部15に供給することができる。本実施形態では、常温下において、0.3MPa〜0.6MPa程度に圧縮された気体を本体部15側に供給可能な構成とされている。   As shown in FIG. 1, the cooling means 12 includes a main body portion 15, and a nozzle 16 and a gas compression means 17 are connected to the main body portion 15. The main body 15 of the cooling means 12 is installed above the transport surface 3 a of the conveyor 3. As shown in FIG. 1, a gas compression means 17 is connected to the main body portion 15 via a connecting pipe 18. Therefore, the cooling unit 12 can supply the gas compressed in the gas compression unit 17 (air in this embodiment) to the main body 15 through the connection pipe 18. In this embodiment, it is set as the structure which can supply the gas compressed to about 0.3 MPa-about 0.6 MPa to the main-body part 15 side at normal temperature.

また、図3に示すように、本体部15には、ノズル16が9つ接続されている。ノズル16は、それぞれ流量調整弁20を有し、これを制御手段5から発信される制御信号に基づいて開閉したり、開度を調整することができる。ノズル16は、流量調整弁20を開閉することにより、本体部15に圧縮状態で供給された気体(空気)を先端に設けられた噴出口21(気体供給口)から、本体部15の下方、すなわちコンベア3の搬送面3a側に向けて噴出可能な構成とされている。そのため、ノズル16から噴出する気流は、予冷手段11を作動させることにより発生する気流よりも強い。   As shown in FIG. 3, nine nozzles 16 are connected to the main body portion 15. Each of the nozzles 16 has a flow rate adjusting valve 20, which can be opened and closed and the opening degree thereof can be adjusted based on a control signal transmitted from the control means 5. The nozzle 16 opens and closes the flow rate adjusting valve 20, thereby allowing the gas (air) supplied in a compressed state to the main body portion 15 from the jet port 21 (gas supply port) provided at the tip thereof, below the main body portion 15, That is, it is set as the structure which can be ejected toward the conveyance surface 3a side of the conveyor 3. FIG. Therefore, the airflow ejected from the nozzle 16 is stronger than the airflow generated by operating the precooling means 11.

また、各ノズル16に設けられた流量調整弁20は、それぞれ独立的に開度調整可能な構成とされている。そのため、冷却手段12は、制御手段5から発信される制御信号に基づいて各ノズル16の流量調整弁20の開度を独立的に調整することにより、コンベア3側に吹き付けられる空気の流量分布を任意に調整することができる。   Further, the flow rate adjustment valve 20 provided in each nozzle 16 is configured such that the opening degree can be adjusted independently. Therefore, the cooling means 12 adjusts the flow rate distribution of the air blown to the conveyor 3 side by independently adjusting the opening degree of the flow rate adjusting valve 20 of each nozzle 16 based on the control signal transmitted from the control means 5. It can be adjusted arbitrarily.

図2や図3に示すように、ノズル16は、3行3列にわたって略等間隔に配置されている。すなわち、各ノズル16は、コンベア3の搬送面3aの進行方向(搬送面3aに搭載された基板Wの搬送方向)に3行にわたって並べて配置されており、基板Wの搬送方向に対して略直交する方向にも3列にわたって並べて配置されている。さらに詳細には、ノズル16は、図2や図3に示すようにマトリックス状(行列状)に並べて配置されている。   As shown in FIGS. 2 and 3, the nozzles 16 are arranged at substantially equal intervals over 3 rows and 3 columns. That is, the nozzles 16 are arranged in three rows in the traveling direction of the transport surface 3a of the conveyor 3 (the transport direction of the substrate W mounted on the transport surface 3a), and are substantially orthogonal to the transport direction of the substrate W. It is also arranged side by side over three rows. More specifically, the nozzles 16 are arranged in a matrix form (matrix form) as shown in FIGS.

ここで、図4(a)に示すように、搬送面3aの進行方向に対して交差する方向(搬送面3aの幅方向)に並ぶ3つのノズル16を1つのグループとして分類し、これらのグループを搬送面3aの進行方向上流側から順にX,Y,Z列目のノズル群とすると、X,Y,Z列目のノズル群は、それぞれ搬送面3aの進行方向に等間隔に配置されている。また、各X,Y列目のノズル群の間およびY,Z列目のノズル群の間には、温度分布検知手段13がX,Y,Z列目のノズル群を構成するノズル16が並ぶ方向に沿って配置されている。   Here, as shown in FIG. 4A, the three nozzles 16 arranged in the direction intersecting the traveling direction of the transport surface 3a (the width direction of the transport surface 3a) are classified as one group, and these groups Are the nozzle groups in the X, Y, and Z rows in order from the upstream side in the traveling direction of the transport surface 3a, the nozzle groups in the X, Y, and Z rows are arranged at equal intervals in the traveling direction of the transport surface 3a. Yes. Further, between the nozzle groups of the X and Y rows and between the nozzle groups of the Y and Z rows, the temperature distribution detecting means 13 is arranged with the nozzles 16 constituting the nozzle groups of the X, Y, and Z rows. Arranged along the direction.

また、図4(b)に示すように、搬送面3aの進行方向に並ぶ3つのノズル16を1つのグループとして分類し、これらのグループを搬送面3aの幅方向一端側にあるものから順にx,y,z行目のノズル群と定義すると、x,y,z行目のノズル群は、それぞれ搬送面3aの幅方向に等間隔に配置されている。また、図2に示すように、x,y,z行目のノズル群を構成する各ノズル16(以下、必要に応じてそれぞれをノズル16a,16b,16cと称す)は、それぞれ搬送面3aの進行方向に沿って延びる仮想線L1,L2,L3上に並ぶように配置されている。   Further, as shown in FIG. 4B, the three nozzles 16 arranged in the traveling direction of the transport surface 3a are classified as one group, and these groups are arranged in order from the one on the one end side in the width direction of the transport surface 3a. , Y, z row nozzle groups are defined, the x, y, z row nozzle groups are arranged at equal intervals in the width direction of the transport surface 3a. Further, as shown in FIG. 2, each of the nozzles 16 (hereinafter, referred to as nozzles 16a, 16b, and 16c as necessary) constituting the nozzle group in the x, y, and z rows is respectively provided on the transport surface 3a. It arrange | positions so that it may line up on the virtual lines L1, L2, L3 extended along the advancing direction.

図1に示すように、温度分布検知手段13は、コンベア3の進行方向、すなわちコンベア3を作動させた際に搬送面3aに搭載されている基板Wが移動する方向に4つ設けられている。温度分布検知手段13は、図2や図3に示すように前記進行方向に対して交差する方向(略直交する方向)に3つの温度センサ25(25a〜25c)を有している。温度センサ25は、いわゆる非接触式温度計や赤外線温度計によって構成されており、温度センサ25の略垂直下方の温度を検知し、この検知データを制御手段5に送信することができる構成とされている。そのため、制御手段5は、所定の時点において温度分布検知手段13を構成する各温度センサ25a〜25cによって検知された温度を確認することにより、コンベア3に搭載され、温度分布検知手段13の直下を通過している基板Wにおいて、コンベア3の幅方向、すなわちコンベア3やこれに搭載された基板Wの進行方向に対して略直交する方向にどのような温度分布が形成されているかを検知することができる。   As shown in FIG. 1, four temperature distribution detectors 13 are provided in the direction of travel of the conveyor 3, that is, the direction in which the substrate W mounted on the transport surface 3a moves when the conveyor 3 is operated. . The temperature distribution detection means 13 has three temperature sensors 25 (25a to 25c) in a direction intersecting (substantially orthogonal to) the traveling direction as shown in FIGS. The temperature sensor 25 is configured by a so-called non-contact thermometer or infrared thermometer, and can detect a temperature substantially below the temperature sensor 25 and transmit the detected data to the control means 5. ing. Therefore, the control means 5 is mounted on the conveyor 3 by checking the temperatures detected by the temperature sensors 25a to 25c constituting the temperature distribution detection means 13 at a predetermined time, and immediately below the temperature distribution detection means 13. In the passing substrate W, it is detected what temperature distribution is formed in the width direction of the conveyor 3, that is, in a direction substantially orthogonal to the traveling direction of the conveyor 3 and the substrate W mounted thereon. Can do.

ここで、図2に示すように、各温度分布検知手段13は、温度センサ25a〜25cのそれぞれが、上記したx,y,z行目のノズル群を構成する各ノズル16が並ぶ仮想線L1,L2,L3上に並ぶように配置されている。そのため、搬送面3a上に搭載され、搬送される基板Wにおいてx行目のノズル群を構成する各ノズル16の下方を通過する部位の温度は、温度センサ25aによって検知することができる。また同様に、搬送面3a上に搭載され、搬送される基板Wにおいてy,z行目のノズル群を構成する各ノズル16の下方を通過する部位の温度は、温度センサ25b,25cによって検知することができる。   Here, as shown in FIG. 2, each temperature distribution detection means 13 includes a virtual line L <b> 1 in which the temperature sensors 25 a to 25 c are arranged with the nozzles 16 constituting the nozzle group in the x, y, and z rows described above. , L2 and L3 are arranged side by side. Therefore, the temperature sensor 25a can detect the temperature of the portion that is mounted on the transport surface 3a and passes below the nozzles 16 constituting the x-th nozzle group on the transported substrate W. Similarly, the temperature of the part mounted on the transport surface 3a and passing below each nozzle 16 constituting the nozzle group in the y and z rows on the transported substrate W is detected by the temperature sensors 25b and 25c. be able to.

図1や図2に示すように、温度分布検知手段13は、コンベア3の搬送面3aの進行方向(基板Wの進行方向)に複数設けられている。温度分布検知手段13は、いずれも各温度センサ25a〜25cがコンベア3の搬送面3aの進行方向に対して交差(本実施形態では略直交)する方向に並ぶように設定されている。   As shown in FIGS. 1 and 2, a plurality of temperature distribution detecting means 13 are provided in the traveling direction of the conveyor surface 3 a of the conveyor 3 (the traveling direction of the substrate W). The temperature distribution detection means 13 is set so that each of the temperature sensors 25a to 25c is arranged in a direction intersecting (substantially orthogonal in the present embodiment) with respect to the traveling direction of the transport surface 3a of the conveyor 3.

温度分布検知手段13のうち、最もコンベア3の搬送面3aの進行方向上流側にあるものは、加熱炉2の出口2bに隣接し、予冷手段11よりもコンベア3の搬送面3aの進行方向(基板Wの進行方向)上流側の位置に設けられている。また、温度分布検知手段13は、予冷手段11に対して下流側の位置にも設けられている。すなわち、温度分布検知手段13は、予冷手段11と冷却手段12に搬送面3aの進行方向に対して交差する方向に設けられたX列目のノズル群との間の位置、X列目のノズル群とY列目のノズル群との間の位置、並びに、Y列目のノズル群とZ列目のノズル群との間の位置に設けられている。換言すれば、本実施形態では、予冷手段11およびX,Y,Z列目のノズル群に対して搬送面3aの進行方向上流側に隣接する位置に温度分布検知手段13(以下、それぞれを必要に応じて搬送面3aの進行方向上流側から順に温度分布検知手段13a〜13dと称する)が設けられた構成とされている。   Among the temperature distribution detection means 13, the one located most upstream in the traveling direction of the conveying surface 3 a of the conveyor 3 is adjacent to the outlet 2 b of the heating furnace 2, and the traveling direction of the conveying surface 3 a of the conveyor 3 than the pre-cooling means 11 ( It is provided at a position upstream of the traveling direction of the substrate W). Further, the temperature distribution detection means 13 is also provided at a position downstream of the precooling means 11. That is, the temperature distribution detection means 13 is a position between the pre-cooling means 11 and the cooling means 12 and the X-th row nozzle group provided in the direction intersecting the traveling direction of the transport surface 3a, the X-th row nozzle. And a position between the nozzle group of the Y-th row and a position between the nozzle group of the Y-th row and the nozzle group of the Z-th row. In other words, in the present embodiment, the temperature distribution detection means 13 (hereinafter, each is required) at a position adjacent to the pre-cooling means 11 and the nozzle group in the X, Y, and Z rows on the upstream side in the traveling direction of the transport surface 3a. The temperature distribution detecting means 13a to 13d are sequentially provided from the upstream side in the traveling direction of the transport surface 3a.

本実施形態では、予冷手段11を構成するファンの回転数や、X,Y,Z列目のノズル群を構成する各ノズル16の流量調整弁20の開度が、予冷手段11やX,Y,Z列目のノズル群に対して上流側に隣接する位置に設けられた温度分布検知手段13a〜13dによって検知された情報に基づいて調整される。すなわち、予冷手段11や各ノズル16に設けられた流量調整弁20の開度は、温度分布検知手段13a〜13dの検知情報に基づいてフィードバック制御される。   In the present embodiment, the rotation speed of the fan constituting the precooling means 11 and the opening degree of the flow rate adjusting valve 20 of each nozzle 16 constituting the nozzle group in the X, Y, Z rows are determined by the precooling means 11 and the X, Y. , And are adjusted based on information detected by temperature distribution detection means 13a to 13d provided at positions adjacent to the upstream side of the nozzle group in the Z-th row. That is, the opening degree of the flow rate adjusting valve 20 provided in the precooling means 11 and each nozzle 16 is feedback-controlled based on the detection information of the temperature distribution detection means 13a to 13d.

続いて、本実施形態のハンダ付け装置1および冷却装置10の動作について詳細に説明する。ハンダ付け装置1は、加熱炉2の上流側(図1及び図2において右端側)においてコンベア3の搬送面3aに基板Wを搭載すると、これを加熱炉2内に導入することができる。また、加熱炉2は、内部の雰囲気温度をハンダの融解温度よりも高温とすることができる。そのため、基板Wを電機部品や電子部品等の部品を実装すると共に未融解状態のハンダを付着させた状態(実装状態)として準備すると共に、加熱炉2の内部雰囲気温度をハンダの融解温度よりも高温にした状態とし、作動状態にあるコンベア3の搬送面3a上に実装状態とされた基板Wを搭載すると、この基板Wが入口2aから加熱炉2内に導入される。これにより、基板Wに付着されたハンダが融解した状態になる。   Subsequently, operations of the soldering apparatus 1 and the cooling apparatus 10 of the present embodiment will be described in detail. When the substrate W is mounted on the transport surface 3a of the conveyor 3 on the upstream side (the right end side in FIGS. 1 and 2) of the heating furnace 2, the soldering apparatus 1 can be introduced into the heating furnace 2. Moreover, the heating furnace 2 can make internal atmospheric temperature higher than the melting temperature of solder. For this reason, the substrate W is prepared as a state in which components such as electric parts and electronic parts are mounted and unmelted solder is attached (mounted state), and the internal atmosphere temperature of the heating furnace 2 is set to be higher than the melting temperature of the solder. When the substrate W in a mounted state is mounted on the transport surface 3a of the conveyor 3 in an operating state, the substrate W is introduced into the heating furnace 2 from the inlet 2a. As a result, the solder attached to the substrate W is melted.

コンベア3がさらに作動すると、加熱炉2内において加熱された基板Wが加熱炉2の出口2bから出てくる。加熱炉2から基板Wが出てくると、この基板Wの温度が出口2bに隣接する位置に設けられた温度分布検知手段13aの各温度センサ25a〜25cによって検知され、この検知信号が制御手段5に向けて発信される。制御手段5は、温度分布検知手段13aによって検知された基板Wの温度に基づき、予冷手段11を構成するファンの回転数を調整する。すなわち、温度分布検知手段13aの検知温度が高温であれば予冷手段11を構成するファンの回転数が高くなるように制御され、温度分布検知手段13aの検知温度が低温であれば予冷手段11を構成するファンの回転数が低くなるように制御される。これにより、基板Wやこの上で溶融状態になっているハンダが冷却され、ハンダがある程度凝固した状態になる。   When the conveyor 3 further operates, the substrate W heated in the heating furnace 2 comes out from the outlet 2b of the heating furnace 2. When the substrate W comes out of the heating furnace 2, the temperature of the substrate W is detected by the temperature sensors 25a to 25c of the temperature distribution detection means 13a provided at a position adjacent to the outlet 2b, and this detection signal is controlled by the control means. 5 is sent. The control means 5 adjusts the rotational speed of the fan constituting the pre-cooling means 11 based on the temperature of the substrate W detected by the temperature distribution detection means 13a. That is, if the detected temperature of the temperature distribution detecting means 13a is high, the rotational speed of the fan constituting the precooling means 11 is controlled to be high. If the detected temperature of the temperature distribution detecting means 13a is low, the precooling means 11 is controlled. Control is performed so that the rotational speed of the constituent fan is lowered. Thereby, the substrate W and the solder in a molten state on the substrate W are cooled, and the solder is solidified to some extent.

コンベア3がさらに作動し、基板Wが予冷手段11よりも下流側に移動すると、温度分布検知手段13(13b〜13d)を構成する各温度センサ25a〜25cにより、基板Wのうち温度分布検知手段13(13b〜13d)の下方に位置する部分の温度が検知され、この検知結果が制御手段5に送信される。これにより、制御手段5によって、基板Wのうち、温度分布検知手段13(13b〜13d)の直下に位置する部分が、搬送面3aの幅方向(進行方向に対して略直交する方向)にどのような温度分布を形成しているかが把握される。   When the conveyor 3 further operates and the substrate W moves downstream of the pre-cooling means 11, the temperature distribution detecting means of the substrate W is detected by the temperature sensors 25a to 25c constituting the temperature distribution detecting means 13 (13b to 13d). The temperature of the part located below 13 (13b-13d) is detected, and the detection result is transmitted to the control means 5. As a result, the control unit 5 determines which portion of the substrate W is located immediately below the temperature distribution detection unit 13 (13b to 13d) in the width direction of the transport surface 3a (a direction substantially orthogonal to the traveling direction). It is grasped whether such a temperature distribution is formed.

制御手段5は、温度分布検知手段13(13b〜13d)によって検知された検知温度に基づき、この温度分布検知手段13(13b〜13d)に対して搬送面3aの進行方向下流側に隣接した位置にあるX,Y,Z列目のノズル群のうち、いずれかを構成する各ノズル16の流量調整弁20の開度を制御する。また、流量調整弁20の開度調整のタイミングは、温度分布検知手段13(13b〜13d)と、これに隣接した位置に設けられたX,Y,Z列目のノズル群のいずれかを構成する各ノズル16の設置位置との間隔(搬送面3aの進行方向の間隔)、並びに、コンベア3による基板Wの搬送速度に基づき、温度分布検知手段13(13b〜13d)によって検知された温度分布となっている基板Wの部位が搬送方向下流側に隣接するX,Y,Z列目のノズル群の下方に到達すると想定されるタイミングに基づいて調整される。   Based on the detected temperature detected by the temperature distribution detection means 13 (13b to 13d), the control means 5 is located adjacent to the temperature distribution detection means 13 (13b to 13d) on the downstream side in the traveling direction of the transport surface 3a. The degree of opening of the flow rate adjustment valve 20 of each nozzle 16 constituting any one of the nozzle groups in the X, Y, and Z rows is controlled. Moreover, the timing of the opening degree adjustment of the flow rate adjustment valve 20 constitutes the temperature distribution detection means 13 (13b to 13d) and any one of the nozzle groups in the X, Y, and Z rows provided at positions adjacent thereto. Temperature distribution detected by the temperature distribution detection means 13 (13b-13d) based on the interval between the nozzles 16 to be installed (interval in the traveling direction of the transfer surface 3a) and the transfer speed of the substrate W by the conveyor 3. Is adjusted based on the timing at which it is assumed that the portion of the substrate W that has become the lower side of the nozzle group in the X, Y, and Z rows adjacent to the downstream side in the transport direction.

さらに詳細には、例えば図5(a)に示すように温度分布検知手段13(13b〜13d)の下方に基板Wが到来すると、各温度センサ25a〜25cによって基板Wの温度が検知される。この結果、仮に温度分布検知手段13の下方を通過する基板Wが、搬送面3の幅方向に、図5(b)に示すような温度分布を有していた場合は、この温度分布検知手段13に対して基板Wの搬送方向下流側(図5(a)の矢印方向)に隣接する位置にあるX,Y,Z列目のノズル群を構成するノズル16a,16b,16c用の流量調整弁20,20,20の開度が図5(c)のように調整される。すなわち、図5(b)のように、搬送面3aの幅方向略中央部に設置された温度センサ25bの検知温度が最も高く、温度センサ25cの検知温度が最も低く、温度センサ25aの検知温度がこれらの中間程度であった場合は、ノズル16b用の流量調整弁20が最も大きな開度に調整され、ノズル16c用の流量調整弁20が最も小さな開度に調整される。また、ノズル16a用の流量調整弁20の開度は、ノズル16b,16c用の流量調整弁20,20の開度の中間となるように調整される。   More specifically, for example, as shown in FIG. 5A, when the substrate W arrives below the temperature distribution detection means 13 (13b to 13d), the temperature of the substrate W is detected by the temperature sensors 25a to 25c. As a result, if the substrate W passing under the temperature distribution detection means 13 has a temperature distribution as shown in FIG. 5B in the width direction of the transport surface 3, this temperature distribution detection means. 13, the flow rate adjustment for the nozzles 16 a, 16 b, and 16 c constituting the nozzle groups in the X, Y, and Z rows located adjacent to the downstream side of the substrate W in the transport direction (the arrow direction in FIG. 5A). The opening degree of the valves 20, 20, 20 is adjusted as shown in FIG. That is, as shown in FIG. 5B, the detected temperature of the temperature sensor 25b installed at the approximate center in the width direction of the transport surface 3a is the highest, the detected temperature of the temperature sensor 25c is the lowest, and the detected temperature of the temperature sensor 25a. Is about the middle of these, the flow rate adjustment valve 20 for the nozzle 16b is adjusted to the largest opening degree, and the flow rate adjustment valve 20 for the nozzle 16c is adjusted to the smallest opening degree. Further, the opening degree of the flow rate adjusting valve 20 for the nozzle 16a is adjusted to be intermediate between the opening degree of the flow rate adjusting valves 20 and 20 for the nozzles 16b and 16c.

上記したように、本実施形態のハンダ付け装置1において採用されている冷却装置10では、冷却手段12を構成する各ノズル16から基板Wに対して吹き付けられる気体(空気)の量が、各ノズル16に対して基板Wの搬送方向上流側にある温度分布検知手段13によって検知された基板Wにおける温度分布に基づいて調整される。すなわち、基板Wが高温である部分には、低温である部分よりも多くの気体が吹き付けられる。そのため、本実施形態のハンダ付け装置1では、冷却装置10において基板Wやこれに付着しているハンダの冷却が略均一に進行する。よって、本実施形態のハンダ付け装置1によれば、基板Wに装着される部品の配置密度(分布)や、部品を取り付けた状態(実装状態)での基板Wにおける熱容量の分布等によらず、加熱炉2において熱処理された基板Wやこれに付着しているハンダを略均一に冷却し、凝固を促進することができる。従って、ハンダ付け装置1によれば、品質のばらつきが少なく高品質なリフローハンダ付けを実施することができる。   As described above, in the cooling device 10 employed in the soldering apparatus 1 of the present embodiment, the amount of gas (air) blown from the nozzles 16 constituting the cooling unit 12 to the substrate W is determined by the nozzles. 16 is adjusted based on the temperature distribution on the substrate W detected by the temperature distribution detecting means 13 on the upstream side in the transport direction of the substrate W. That is, more gas is blown to the portion where the substrate W is hot than the portion where the substrate W is low. Therefore, in the soldering apparatus 1 of the present embodiment, the cooling of the substrate W and the solder adhering thereto in the cooling apparatus 10 proceeds substantially uniformly. Therefore, according to the soldering apparatus 1 of the present embodiment, the arrangement density (distribution) of components to be mounted on the substrate W, the heat capacity distribution on the substrate W in a state in which the components are mounted (mounted state), and the like. The substrate W that has been heat-treated in the heating furnace 2 and the solder adhering thereto can be cooled substantially uniformly to promote solidification. Therefore, according to the soldering apparatus 1, high-quality reflow soldering can be performed with little variation in quality.

上記実施形態のハンダ付け装置1は、基板Wの移動方向に並んだX,Y,Z列目のノズル群に対して上流側に隣接する位置に設けられた温度分布検知手段13b,13c,13dによって逐一これらの下方を通過する基板Wの温度分布を部分的に検知し、この結果に応じて、各ノズル16の流量調整弁20の開度を調整するものである。そのため、基板Wが下流側に移動するにつれて温度分布が変わったとしても、その変化を逐一反映して各ノズル16において吹き出す気体の量を調整し、基板Wを略均一に冷却することができる。   In the soldering apparatus 1 of the above embodiment, the temperature distribution detecting means 13b, 13c, 13d provided at positions adjacent to the upstream side with respect to the nozzle groups of the X, Y, Z rows arranged in the moving direction of the substrate W. Thus, the temperature distribution of the substrate W passing below these is partially detected, and the opening degree of the flow rate adjusting valve 20 of each nozzle 16 is adjusted according to this result. Therefore, even if the temperature distribution changes as the substrate W moves downstream, the amount of gas blown out at each nozzle 16 is adjusted to reflect the change and the substrate W can be cooled substantially uniformly.

上記実施形態では、温度分布検知手段13b,13c,13dの検知結果に基づいてこれらに対して下流側に隣接するX,Y,Z列目のノズル群を構成する各ノズル16の流量調整弁20の開度をフィードバック制御する構成を例示したが、本発明はこれに限定されるものではない。さらに具体的には、上記実施形態のハンダ付け装置1および冷却装置10は、加熱炉2から基板Wが出てから各ノズル16が設けられた位置に到達するまでの間に予め基板W全体の温度分布を検知しておき、この結果に応じてX,Y,Z列目のノズル群を構成する各ノズル16の流量調整弁20の開度を調整する構成としてもよい。かかる構成とした場合は、上記実施形態のように基板Wの温度変化を逐一把握することはできないが、基板Wの略全体を基板Wやハンダをハンダの固化に最適な状態で冷却させることができる。   In the above embodiment, based on the detection results of the temperature distribution detection means 13b, 13c, and 13d, the flow rate adjustment valves 20 of the nozzles 16 constituting the nozzle group in the X, Y, and Z rows adjacent to the downstream side of these. However, the present invention is not limited to this. More specifically, the soldering apparatus 1 and the cooling apparatus 10 according to the above-described embodiment are preliminarily applied to the entire substrate W before the position where each nozzle 16 is provided after the substrate W comes out of the heating furnace 2. The temperature distribution may be detected, and the opening degree of the flow rate adjustment valve 20 of each nozzle 16 constituting the nozzle group in the X, Y, and Z rows may be adjusted according to the result. In the case of such a configuration, it is impossible to grasp the temperature change of the substrate W one by one as in the above embodiment, but it is possible to cool the substrate W and the solder in an optimal state for solidification of the solder. it can.

上記実施形態では、各ノズル16をX,Y,Zからなる3列のノズル群に分類し、これに基づいて各ノズル16から噴出する気体の量を調整する構成を例示したが、本発明はこれに限定されるものではない。すなわち、各ノズル16を上記した行あるいは列による分類以外の方法で分類し、これに基づいて各ノズル16から噴出する気体の量を調整する構成としてもよい。   In the above embodiment, each nozzle 16 is classified into three rows of nozzle groups consisting of X, Y, and Z, and the configuration in which the amount of gas ejected from each nozzle 16 is adjusted based on this is illustrated. It is not limited to this. That is, it is good also as a structure which classifies each nozzle 16 by methods other than the classification by the above-mentioned row | line | column or column, and adjusts the quantity of the gas ejected from each nozzle 16 based on this.

上記実施形態のハンダ付け装置1では、冷却装置10に予冷手段11が設けられており、加熱炉2において熱処理された直後の基板Wをある程度冷却(予冷)してから冷却手段12で冷却する構成とされている。そのため、ハンダ付け装置1によってリフローハンダ付けを実施すれば、溶融状態にあるハンダの冷却時にこれが変形したり、飛び散るといったような不具合が起こらない。   In the soldering apparatus 1 of the above embodiment, the cooling device 10 is provided with the pre-cooling means 11, and the substrate W immediately after the heat treatment in the heating furnace 2 is cooled to some extent (pre-cooling) and then cooled by the cooling means 12. It is said that. For this reason, if reflow soldering is performed by the soldering apparatus 1, there is no problem that the solder is deformed or scattered when the solder in the molten state is cooled.

また、上記実施形態では、予冷手段11である程度冷却された後に温度分布検知手段13によって基板Wにおける温度分布を検知し、この検知結果に基づいて下流側に配置された各ノズル16から噴出する気体の量を調整する構成とされている。そのため、ハンダ付け装置1では、ある程度冷却された状態の基板Wにおける温度分布を的確に把握し、温度分布によらず基板W全体の温度が略均一となるように冷却することができる。よって、ハンダ付け装置1によれば、基板Wに装着された部品の密度や熱容量等のばらつき等があっても、基板W全体を略均一に冷却できる。従って、ハンダ付け装置1によれば、高品質でばらつきの少ないリフローハンダ付けを実施することができる。   In the above embodiment, the temperature distribution on the substrate W is detected by the temperature distribution detection means 13 after being cooled to some extent by the pre-cooling means 11, and the gas ejected from each nozzle 16 arranged on the downstream side based on the detection result The amount is adjusted. Therefore, the soldering apparatus 1 can accurately grasp the temperature distribution in the substrate W that has been cooled to some extent, and can cool the entire substrate W so that the temperature is substantially uniform regardless of the temperature distribution. Therefore, according to the soldering apparatus 1, the entire substrate W can be cooled substantially uniformly even if there are variations in the density and heat capacity of the components mounted on the substrate W. Therefore, according to the soldering apparatus 1, it is possible to perform reflow soldering with high quality and little variation.

なお、上記実施形態では、予冷手段11を設け、これによって加熱炉2において加熱された直後の基板Wを冷却可能な構成を例示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、予冷手段11を持たない構成としてもよい。かかる構成とした場合は、上記したハンダの変形や飛散の抑制効果等が薄れるおそれがあるが、上記実施形態のハンダ付け装置1と同様に品質のばらつきが少なく高品質なリフローハンダ付けを実施することができる。   In the above embodiment, the pre-cooling means 11 is provided, and the configuration in which the substrate W immediately after being heated in the heating furnace 2 can be cooled by this is exemplified. However, the present invention is not limited to this, and the pre-cooling means is provided. It is good also as a structure which does not have 11. In the case of such a configuration, there is a possibility that the above-described solder deformation and scattering suppression effect, etc. may be diminished. However, as with the soldering apparatus 1 of the above embodiment, high quality reflow soldering is performed with little variation in quality. be able to.

上記したように、本実施形態では、冷却手段12において各ノズル16から高圧の空気を基板W側に向けて吹き付けることが可能な構成とされている。そのため、本実施形態のハンダ付け装置1では、冷却手段12における基板Wの冷却効果が高く、基板Wやハンダを素早く冷却することができる。そのため、本実施形態のハンダ付け装置1によれば、リフローハンダ付けの品質をより一層向上させることができる。   As described above, in this embodiment, the cooling unit 12 is configured to be able to blow high-pressure air from each nozzle 16 toward the substrate W side. Therefore, in the soldering apparatus 1 of this embodiment, the cooling effect of the board | substrate W in the cooling means 12 is high, and the board | substrate W and solder can be cooled quickly. Therefore, according to the soldering apparatus 1 of this embodiment, the quality of reflow soldering can be further improved.

上記実施形態では、全てのノズル16に圧縮状態とされた気体を供給し、これを基板W側に吹き付けることが可能な構成を例示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば冷却手段12を構成するノズル16のうち、一部のものだけが圧縮状態とされた気体を吹き付け可能な構成としたり、基板Wに向けて吹き付けられる気体の圧力が各ノズル16毎に異なるものであってもよい。   In the above embodiment, the configuration in which the compressed gas is supplied to all the nozzles 16 and can be sprayed on the substrate W side is illustrated, but the present invention is not limited to this, for example, Among the nozzles 16 constituting the cooling means 12, only a part of the nozzles 16 can be compressed, or the pressure of the gas blown toward the substrate W is different for each nozzle 16. There may be.

また、上記実施形態では、ノズル16から吹き出す気体の量を流量調整弁20で調整可能な構成を例示したが、これは本発明の一実施形態に過ぎず、ハンダ付け装置1は別の構成を採用したものであってもよい。さらに具体的には、上記実施形態では、各ノズル16が本体部15に対して固定されたものであったが、ノズル16を自由に移動可能な構成とし、基板Wにおける温度分布に応じてノズル16の配置が変更される構成としてもよい。すなわち、基板Wにおいて高温である部分の上方に低温である部分よりも多くのノズル16を集め、気体を基板Wに向けて吹き付ける構成としてもよい。かかる構成とする場合は、ノズル16の動作機構等が必要となるが、上記実施形態の場合と同様に基板Wの温度分布に応じて基板W側に吹き付けられる気体の量の分布を調整し、基板W全体を略均一に冷却できる。   Moreover, in the said embodiment, although the structure which can adjust the quantity of the gas which blows off from the nozzle 16 with the flow regulating valve 20 was illustrated, this is only one Embodiment of this invention, and the soldering apparatus 1 has another structure. It may be adopted. More specifically, in the above-described embodiment, each nozzle 16 is fixed with respect to the main body portion 15. However, the nozzle 16 is configured to be freely movable, and the nozzle is set according to the temperature distribution on the substrate W. It is good also as a structure by which arrangement | positioning of 16 is changed. That is, a configuration may be adopted in which more nozzles 16 are collected above the portion having a high temperature in the substrate W than the portion having a low temperature and the gas is blown toward the substrate W. In the case of such a configuration, an operation mechanism of the nozzle 16 is required, but the distribution of the amount of gas blown to the substrate W side is adjusted according to the temperature distribution of the substrate W as in the above embodiment, The entire substrate W can be cooled substantially uniformly.

上記実施形態では、コンベア3の搬送面3aが冷却装置10に対して移動する構成を例示したが、本発明はこれに限定されるものではない。さらに具体的には、ハンダ付け装置1や冷却装置10は、例えば予冷手段11や冷却手段12が基板Wに対して移動する構成、すなわち予冷手段11や冷却手段12が基板Wに対して相対移動する構成であればいかなる構成であってもよい。   In the said embodiment, although the structure which the conveyance surface 3a of the conveyor 3 moves with respect to the cooling device 10 was illustrated, this invention is not limited to this. More specifically, the soldering apparatus 1 and the cooling apparatus 10 are configured such that, for example, the precooling means 11 and the cooling means 12 move relative to the substrate W, that is, the precooling means 11 and the cooling means 12 move relative to the substrate W. Any configuration can be used.

上記実施形態のハンダ付け装置1は、外部から供給された空気等の気体を気体圧縮手段17において圧縮して供給し、ノズル16から基板Wに向けて吹き出す構成であったが、本発明はこれに限定されるものではなく気体を冷却可能な冷却手段を別途設け、この冷却手段で冷却された気体をノズル16から吹き出す構成としてもよい。かかる構成によれば、基板Wやハンダの冷却効果がさらに向上し、リフローハンダ付けの品質をさらに向上させることができる。   The soldering apparatus 1 of the above embodiment has a configuration in which a gas such as air supplied from the outside is compressed and supplied by the gas compression means 17 and blown out from the nozzle 16 toward the substrate W. However, the present invention is not limited thereto, and a cooling unit capable of cooling the gas may be separately provided, and the gas cooled by the cooling unit may be blown out from the nozzle 16. According to such a configuration, the cooling effect of the substrate W and the solder can be further improved, and the quality of reflow soldering can be further improved.

上記実施形態では、ノズル16を複数設けた構成を例示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば冷却用の気体を供給するための冷却気体供給手段を設けると共に、この冷却気体供給手段に気体噴出用の開口を複数設け、この開口の開口面積を適宜変更可能な構成としてもよい。かかる構成とすれば、上記実施形態において各ノズル16に対応して設けられた流量調整弁を調整する代わりに気体噴出用の開口の開口面積を調整することにより、基板W側に向けて噴出される気体の量を調整することができ、上記実施形態に示したものと同様の作用効果が得られる。   In the above-described embodiment, the configuration in which a plurality of nozzles 16 are provided has been exemplified. However, the present invention is not limited to this, and for example, a cooling gas supply means for supplying a cooling gas is provided and the cooling gas is provided. A plurality of gas ejection openings may be provided in the supply means, and the opening area of the openings may be appropriately changed. With this configuration, instead of adjusting the flow rate adjusting valve provided corresponding to each nozzle 16 in the above embodiment, the opening area of the gas jetting opening is adjusted, so that the jetting is performed toward the substrate W side. The amount of gas to be adjusted can be adjusted, and the same effects as those shown in the above embodiment can be obtained.

本発明の一実施形態にかかるハンダ付け装置およびハンダ付け装置用冷却装置の構成を模式的に示す正面図である。It is a front view showing typically composition of a soldering device and a cooling device for soldering devices concerning one embodiment of the present invention. 図1のA方向矢視図である。It is an A direction arrow directional view of FIG. 図1に示すハンダ付け装置用冷却装置を下方側から観察した状態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the state which observed the cooling device for soldering apparatuses shown in FIG. 1 from the downward side. (a),(b)は、図1に示すハンダ付け装置用冷却装置におけるノズルと温度分布検知手段の位置関係を模式的に示す概念図である。(A), (b) is a conceptual diagram which shows typically the positional relationship of the nozzle and temperature distribution detection means in the cooling device for soldering apparatuses shown in FIG. (a)は、図1に示すハンダ付け装置用冷却装置におけるノズルと温度分布検知手段の位置関係を示す概念図であり、(b)は温度分布手段によって検知される温度分布の様子の一例を示すグラフ、(c)は流量調整弁の開度の一例を示すグラフである。(A) is a conceptual diagram which shows the positional relationship of the nozzle and temperature distribution detection means in the cooling device for soldering apparatuses shown in FIG. 1, (b) is an example of the state of the temperature distribution detected by the temperature distribution means. The graph which shows, (c) is a graph which shows an example of the opening degree of a flow regulating valve.

符号の説明Explanation of symbols

1 ハンダ付け装置
2 加熱炉(加熱手段)
3 コンベア
3a 搬送面
10 ハンダ付け装置用冷却装置(冷却装置)
11 予冷手段
12 冷却手段
13 温度分布検知手段
16 ノズル
17 気体圧縮手段
20 流量調整弁
1 Soldering equipment 2 Heating furnace (heating means)
3 Conveyor 3a Conveying surface 10 Soldering device cooling device (cooling device)
11 Precooling means 12 Cooling means 13 Temperature distribution detecting means 16 Nozzle 17 Gas compression means 20 Flow rate adjusting valve

Claims (9)

基板及び/又は当該基板に対して加熱され溶融した状態で付着しているハンダを冷却するためのハンダ付け装置用冷却装置であって、
冷却手段と、基板における温度分布を検知可能な温度分布検知手段とを有し、
前記冷却手段が、基板側に向けて気体を吹き付けることによって基板及び/又は当該基板に付着しているハンダを冷却するものであり、基板側に向けて供給される気体の供給状態を、温度分布検知手段によって検知された温度分布に応じて調整可能であることを特徴とするハンダ付け装置用冷却装置。
A cooling device for a soldering apparatus for cooling a substrate and / or solder adhered to the substrate while being heated and melted,
A cooling means and a temperature distribution detecting means capable of detecting the temperature distribution in the substrate;
The cooling means cools the substrate and / or the solder adhering to the substrate by blowing gas toward the substrate side, and the supply state of the gas supplied toward the substrate side is determined by temperature distribution. A cooling device for a soldering apparatus, which can be adjusted according to a temperature distribution detected by a detection means.
基板及び/又は当該基板に対して加熱され溶融した状態で付着しているハンダを冷却可能な予冷手段を有し、
当該予冷手段によって冷却されたハンダ及び/又は基板を冷却手段によってさらに冷却可能であることを特徴とする請求項1に記載のハンダ付け装置用冷却装置。
Having a pre-cooling means capable of cooling the substrate and / or solder adhered to the substrate while being heated and melted;
The soldering device cooling apparatus according to claim 1, wherein the solder and / or the substrate cooled by the precooling means can be further cooled by the cooling means.
温度分布検知手段が、予冷手段によって冷却された基板における温度分布を検知可能なものであり、
冷却手段が、当該温度分布検知手段によって検知された予冷手段によって冷却された基板における温度分布に基づいて気体の供給状態を調整可能であることを特徴とする請求項2に記載のハンダ付け装置用冷却装置。
The temperature distribution detecting means can detect the temperature distribution in the substrate cooled by the pre-cooling means,
3. The soldering apparatus according to claim 2, wherein the cooling means is capable of adjusting a gas supply state based on a temperature distribution in the substrate cooled by the pre-cooling means detected by the temperature distribution detecting means. Cooling system.
冷却手段が、圧縮状態とされた気体を基板側に噴出可能なものであることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のハンダ付け装置用冷却装置。   The cooling device for a soldering apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein the cooling means is capable of ejecting a compressed gas to the substrate side. 冷却手段が、基板に向けて供給される気体の供給量を調整することにより気体の供給状態を調整可能であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のハンダ付け装置用冷却装置。   The cooling for a soldering apparatus according to any one of claims 1 to 4, wherein the cooling means is capable of adjusting a supply state of the gas by adjusting a supply amount of the gas supplied toward the substrate. apparatus. 冷却手段および温度分布検知手段に対して相対移動する基板及び/又は当該基板に対して加熱され溶融した状態で付着しているハンダを冷却するものであり、
冷却手段が、所定の平面上を通過する基板に向けて気体を供給可能な気体供給口を複数有し、当該複数の気体供給口から選ばれる一又は一群の気体供給口における気体の供給状態を、前記複数の気体供給口から選ばれる他の一又は一群の気体供給口における気体の供給状態と異なるように調整可能なものであり、
気体供給口が、冷却手段に対する基板の相対移動方向及び/又は当該相対移動方向に対して交差する方向に複数設けられていることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のハンダ付け装置用冷却装置。
The substrate that moves relative to the cooling means and the temperature distribution detection means and / or the solder that is attached to the substrate while being heated and melted is cooled.
The cooling means has a plurality of gas supply ports capable of supplying gas toward the substrate passing on a predetermined plane, and the gas supply state in one or a group of gas supply ports selected from the plurality of gas supply ports The gas supply state can be adjusted to be different from the gas supply port of the other one or a group selected from the plurality of gas supply ports,
Soldering according to any one of claims 1 to 5, wherein a plurality of gas supply ports are provided in a direction of relative movement of the substrate with respect to the cooling means and / or in a direction crossing the direction of relative movement. Cooling device for equipment.
冷却手段に対して相対移動する基板及び/又は当該基板に対して加熱され溶融した状態で付着しているハンダを冷却するものであり、
温度分布検知手段が、冷却手段に対する基板の相対移動方向に並ぶ複数の気体供給口から選ばれる一又は複数の気体供給口よりも基板の通過方向上流側において基板における温度分布を検知可能であり、
前記温度分布検知手段によって検知される温度分布に基づいて、前記一又は複数の気体供給口及び/又は当該一又は複数の気体供給口よりも基板の相対移動方向下流側に存在する気体供給口における気体の供給状態が調整されることを特徴とする請求項6に記載のハンダ付け装置用冷却装置。
The substrate that moves relative to the cooling means and / or the solder that is heated and melted with respect to the substrate is cooled.
The temperature distribution detection means can detect the temperature distribution in the substrate on the upstream side in the passage direction of the substrate from one or more gas supply ports selected from the plurality of gas supply ports arranged in the relative movement direction of the substrate with respect to the cooling means,
Based on the temperature distribution detected by the temperature distribution detecting means, the one or more gas supply ports and / or the gas supply port existing on the downstream side in the relative movement direction of the substrate with respect to the one or more gas supply ports. The cooling device for a soldering apparatus according to claim 6, wherein a supply state of the gas is adjusted.
冷却手段が、温度分布検知手段によって高温であると検知された部位に、低温であると検知された部位よりも多くの気体を供給することにより気体の供給状態を調整可能であることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載のハンダ付け装置用冷却装置。   The cooling means is capable of adjusting the gas supply state by supplying more gas to the part detected as high temperature by the temperature distribution detecting means than the part detected as low temperature. The cooling device for a soldering apparatus according to any one of claims 1 to 7. 基板に付着しているハンダを加熱して溶融した状態とする加熱手段と、請求項1〜8のいずれかに記載のハンダ付け装置用冷却装置とを備えていることを特徴とするハンダ付け装置。   A soldering apparatus comprising: heating means for heating the solder attached to the substrate to a molten state; and the cooling device for a soldering apparatus according to any one of claims 1 to 8. .
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