JP2007253330A - Positioning control device and image forming apparatus having the same - Google Patents

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JP2007253330A JP2006076503A JP2006076503A JP2007253330A JP 2007253330 A JP2007253330 A JP 2007253330A JP 2006076503 A JP2006076503 A JP 2006076503A JP 2006076503 A JP2006076503 A JP 2006076503A JP 2007253330 A JP2007253330 A JP 2007253330A
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実 高橋
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a stable, highly precise, inexpensive positioning control device by a constitution wherein a position detector is disposed away from a transmission mechanism section in order to suppress a position detection error generated by twist or the like of the transmission mechanism section with respect to a mechanism having a large load in a transmission mechanism system having a low rigidity. <P>SOLUTION: This positioning control device comprises the transmission mechanism section for transmitting a drive force of a motor 201, a movable section driven by the transmitted drive force of the motor, a positioning mechanism having the position detector, and a control mechanism having a driver section for driving the motor according to an output of a control computing section by feeding back the output of the position detector. The position control device performs controlling of positioning to a target position. The position detector is disposed on a position away from a place where the transmission mechanism section is attached to the movable section and the control computing section takes account of a twist characteristic. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

この発明は、剛性が低く、摩擦負荷の大きな機構における高精度な位置決め制御装置に関するものであり、ステップ送りを繰り返す精密送り機構、インクジェットプリンタの副走査の位置決め制御装置、XYステージの位置決め制御装置、ベルト送り機構等に利用することができるものである。   The present invention relates to a highly accurate positioning control device in a mechanism having low rigidity and a large friction load, and includes a precision feeding mechanism that repeats step feed, a sub-scanning positioning control device for an ink jet printer, an XY stage positioning control device, It can be used for a belt feeding mechanism or the like.

この種の超精密位置決め装置に関連する従来技術の一例として特公平7−122830号公報に記載されているものがあり、これは、直動ステージにおいて転がり案内の弾性特性を考慮した粗微動制御により、超精密位置決めを実現したものである。
また、特公平7−117855号公報に移動体の位置決め制御方法が記載されており、このものは、移動距離に応じて弾性特性を考慮して制御ループの伝達関数を変更するものである。
One example of the prior art related to this type of ultra-precision positioning device is described in Japanese Patent Publication No. 7-122830, which is based on coarse / fine motion control in consideration of the elastic characteristics of the rolling guide in a linear motion stage. Realized ultra-precision positioning.
Japanese Patent Publication No. 7-117855 describes a positioning control method for a moving body, which changes a transfer function of a control loop in consideration of elastic characteristics according to a moving distance.

また、特開2002−248822号公報に搬送ローラの回転精度を向上させる発明が記載されており、このものは、タイミングベルトを介して駆動される搬送ローラ軸上にコードホイールを取り付け、センサの読み取り方向が搬送ローラがタイミングベルトから受ける張力の方向と垂直になるように構成し、搬送ローラの回転精度を向上させているものである。   Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-248822 describes an invention for improving the rotation accuracy of a conveyance roller. This is a method in which a code wheel is mounted on a conveyance roller shaft driven via a timing belt and a sensor reading is performed. The direction is configured to be perpendicular to the direction of the tension that the conveyance roller receives from the timing belt, and the rotation accuracy of the conveyance roller is improved.

既に特許出願し、公開されたものとして次のような先行技術がある。
すなわち、分解能の異なる2つのエンコーダを備え、分解能の低いエンコーダを分解能の高いエンコーダで補正する方法であり、その機構を記録紙搬送装置に適用したものである(特開2005−319739号公報)。
The following prior arts have already been filed and published.
In other words, this is a method in which two encoders with different resolutions are provided and an encoder with a low resolution is corrected with an encoder with a high resolution, and the mechanism is applied to a recording paper transport device (Japanese Patent Laid-Open No. 2005-319739).

また、特許出願し、まだ公開されていないものとして、無端ベルトにベルトマークセンサ(リニアエンコーダ)を備え、無端ベルトを支持するローラに回転角度センサ(ロータリエンコーダ)を備えたベルト搬送装置があり(特願2004−344666号)、これは、そのベルト搬送装置をインクジェットプリンタやマルチファンクションプリンタの紙搬送装置に適用したものである。   Further, as a patent application that has not been published yet, there is a belt conveyance device that includes a belt mark sensor (linear encoder) on an endless belt and a rotation angle sensor (rotary encoder) on a roller that supports the endless belt ( Japanese Patent Application No. 2004-344666), in which the belt conveying device is applied to a paper conveying device of an inkjet printer or a multifunction printer.

さらに、伝達系の微小領域の捩れを考慮した制御方法を備えることによって、高精度な位置決めを実現する発明があり(特願2005−258538号)、これはその位置決め装置をインクジェットプリンタやマルチファンクションプリンタの紙搬送装置に適用したものである。   Furthermore, there is an invention that realizes high-accuracy positioning by providing a control method that takes into account the torsion of a minute region of the transmission system (Japanese Patent Application No. 2005-258538), and this positioning device is an inkjet printer or multifunction printer. This is applied to the paper transport apparatus.

〔従来技術の問題点〕
本発明は、ステップ送りを繰り返す精密送り機構の発明であり、特に、低コストを考慮した高精度位置決め機構であるインクジェット記録装置の紙搬送装置の位置決め装置に適用可能な発明であるが、近年、インクジェット記録方式の分野ではインクの耐光性、経時劣化性の改善のためインクが染料系から顔料系に変わり、しかもインク粘度の高粘度化が進んでいる。高粘度化により記録紙へのにじみが激減したが、逆にインク滴の記録紙着弾位置の位置ズレ精度の悪さが見た目に良く分かるようになった(白スジ、黒スジ、バンディング)。特に副走査方向への記録紙搬送時における停止位置精度の寄与率が大きいため、その精度アップが必要不可欠の技術課題となってきた。
[Problems of the prior art]
The present invention is an invention of a precision feed mechanism that repeats step feed, and in particular, is an invention that can be applied to a positioning device of a paper transport device of an inkjet recording apparatus that is a high-precision positioning mechanism considering low cost. In the field of the ink jet recording system, the ink is changed from a dye system to a pigment system in order to improve the light resistance and deterioration with time of the ink, and the viscosity of the ink is increasing. Although the blur on the recording paper has been drastically reduced due to the increase in viscosity, conversely, the poor positioning accuracy of the ink droplet landing position on the recording paper can be clearly seen (white stripes, black stripes, banding). In particular, since the contribution ratio of stop position accuracy during conveyance of recording paper in the sub-scanning direction is large, it has become an indispensable technical problem.

インクジェット記録方式の副走査記録紙搬送機構においては従来、砥石搬送ローラや搬送ベルトによる搬送方法が一般的であり、これら送り量制御には搬送ローラ軸上にコードホイールを設置しこの値をエンコーダセンサで読み取り制御を行う方法が一般的である。例えば、特開2002−248822号公報には、プラテンの上流側と下流側に搬送ローラ及び排出ローラを配置し記録紙を副走査方向に搬送する構成において、搬送ローラ軸上にコードホイールを設置しこの値をエンコーダセンサで読み取って記録紙の搬送を制御するものが開示されている。   In the conventional sub-scanning recording paper transport mechanism of the ink jet recording system, a transport method using a grindstone transport roller or a transport belt has been generally used. For the feed amount control, a code wheel is installed on the transport roller shaft, and this value is measured by an encoder sensor. In general, the reading control is performed by the above method. For example, Japanese Patent Laid-Open No. 2002-248822 discloses a configuration in which a conveyance roller and a discharge roller are arranged on the upstream side and the downstream side of a platen to convey recording paper in the sub-scanning direction, and a code wheel is installed on the conveyance roller shaft. An apparatus that controls the conveyance of recording paper by reading this value with an encoder sensor is disclosed.

インクジェット記録方式の副走査記録紙搬送機構においては、高画質化のため数μmの位置決め精度が要求され、かつ、生産性向上のため改行時間の高速化も要求されている。しかし、安価な製品であるため、駆動系は前記の性能を十分に満足させるだけの剛性を確保することが困難である。加えて、摺動抵抗や弾性変形による非線形特性もあり、一般的な線形制御では、要求精度を達成することができない。   In the sub-scanning recording paper transport mechanism of the ink jet recording system, positioning accuracy of several μm is required for high image quality, and speeding up of the line feed time is also required for improving productivity. However, since it is an inexpensive product, it is difficult for the drive system to ensure sufficient rigidity to satisfy the above performance. In addition, there are nonlinear characteristics due to sliding resistance and elastic deformation, and the required accuracy cannot be achieved by general linear control.

例えば、モータからタイミングベルトとプーリを介して記録紙搬送軸を駆動する機構の場合、記録紙搬送軸上にあり記録紙を搬送する部分(砥石搬送ローラや搬送ベルト)の負荷抵抗が大きいため、プーリおよび記録紙搬送軸のねじれや、軸上のゴム層が弾性変形する現象が発生する。これによりプーリ上にあるエンコーダを使用して位置決めを行っても、記録紙搬送軸上の位置は目標位置にならないという問題がある。
さらに、負荷抵抗が大きく剛性が低い場合、制御系による機械共振が生じやすく、制御系の比例ゲインを大きくすることはできない。そのため、積分器等を使用し定常的な位置偏差を抑圧させる方法が一般的であるが、位置偏差を抑圧する時間がかかってしまうという問題がある。
For example, in the case of a mechanism for driving a recording paper conveyance shaft from a motor via a timing belt and a pulley, the load resistance of a portion (grindstone conveyance roller or conveyance belt) on the recording paper conveyance shaft that conveys the recording paper is large. The twist of a pulley and a recording paper conveyance axis | shaft and the phenomenon in which the rubber layer on an axis | shaft elastically deforms generate | occur | produces. As a result, there is a problem that even if positioning is performed using an encoder on the pulley, the position on the recording paper transport shaft does not become the target position.
Furthermore, when the load resistance is large and the rigidity is low, mechanical resonance due to the control system is likely to occur, and the proportional gain of the control system cannot be increased. For this reason, a method of suppressing a stationary position deviation using an integrator or the like is common, but there is a problem that it takes time to suppress the position deviation.

上記紙搬送装置のほかに、生産装置や検査装置等で使用されている安価なXYステージでは、エンコーダが同軸上に付属する回転モータ、回転モータの駆動力を伝達しキャリッジを移動させるボールねじ、キャリッジおよびキャリッジを拘束する転がり案内から構成されているものが多い。このような構成において、転がり案内とキャリッジ間の負荷が大きく、かつ、駆動伝達部であるボールねじ等の剛性が低い場合、伝達系のねじれと直動ガイド部の弾性変形が生じる。そのため、モータ軸に取り付けられたエンコーダの値をフィードバックする位置決め制御を行い、エンコーダの値が目標位置を示していたとしても、必ずしもキャリッジが目標位置に停止できているとは限らない。   In addition to the paper transport device described above, in an inexpensive XY stage used in a production device, an inspection device, etc., a rotary motor with an encoder attached coaxially, a ball screw that transmits the driving force of the rotary motor and moves the carriage, In many cases, it is composed of a carriage and a rolling guide for restraining the carriage. In such a configuration, when the load between the rolling guide and the carriage is large and the rigidity of the ball screw or the like as the drive transmission unit is low, the transmission system is twisted and the linear motion guide unit is elastically deformed. For this reason, even if positioning control for feeding back the value of the encoder attached to the motor shaft is performed and the value of the encoder indicates the target position, the carriage is not necessarily stopped at the target position.

さらに、インクジェット記録方法の副走査記録紙搬送機構と同様に、負荷抵抗が大きく剛性が低い場合、制御系による機械共振が生じやすく、制御系の比例ゲインを大きくすることはできない。そのため、積分器等を使用し定常的な位置偏差を抑圧させる方法が一般的であるが、位置偏差を抑圧する時間がかかってしまう問題がある。   Further, similarly to the sub-scanning recording paper transport mechanism of the ink jet recording method, when the load resistance is large and the rigidity is low, mechanical resonance due to the control system is likely to occur, and the proportional gain of the control system cannot be increased. For this reason, a method of suppressing a stationary position deviation using an integrator or the like is common, but there is a problem that it takes time to suppress the position deviation.

目標位置に高速高精度で位置決めする発明が、特公平7−122830号公報に記載されており、この発明は、主として半導体製造やレーザ光学等の精密技術用のナノメータオーダの超精密位置決めステージに関するものである。
一般的な超精密位置決めステージは空気軸受けと真空ロックと微動ばねとリニアモータと粗動用コントローラ、微動コントローラから構成されている。これに対し、この特公平7−122830号公報に記載されている超精密位置決め装置では、前記空気軸受けと真空ロックと微動ばねを転がり案内に置き換え、粗動用コントローラと微動コントローラと切換方法を工夫することによって、簡単な構成で高速高精度な精密位置決め装置を実現したものである。
An invention for positioning at a target position with high speed and high accuracy is described in Japanese Patent Publication No. 7-122830, and the present invention mainly relates to a nanometer order ultra-precision positioning stage for precision technology such as semiconductor manufacturing and laser optics. It is.
A typical ultra-precision positioning stage is composed of an air bearing, a vacuum lock, a fine movement spring, a linear motor, a coarse movement controller, and a fine movement controller. On the other hand, in the ultraprecision positioning device described in Japanese Patent Publication No. 7-122830, the air bearing, vacuum lock, and fine movement spring are replaced with rolling guides, and the coarse movement controller, fine movement controller, and switching method are devised. Thus, a high-speed and high-precision precision positioning device with a simple configuration is realized.

上記従来技術では、ステージのキャリッジに直接リニアモータが取り付けられ、かつ、キャリッジに位置検出部を備えることによってキャリッジの位置を直接検出できる構成である。そのため、上記問題の1つである伝達系や可動部の剛性による誤差が発生しない構成である。従って、上記従来技術の発明を、単に剛性の低い伝達系を備えた位置決め装置に適用したのでは、エンコーダの値と可動部の変位量を一致させることはできない。   In the above prior art, the linear motor is directly attached to the carriage of the stage, and the position of the carriage can be directly detected by providing the carriage with a position detection unit. For this reason, an error due to the rigidity of the transmission system and the movable part, which is one of the above problems, does not occur. Therefore, if the invention of the above prior art is simply applied to a positioning device having a transmission system with low rigidity, the value of the encoder and the displacement amount of the movable part cannot be matched.

一般的にエンコーダの値と可動部の変位量を一致させるためには、上記特公平7−122830号公報に記載されたステージのように、キャリッジにリニアモータを備えて直接キャリッジの位置を検出できる構成にするか、負荷やモータの駆動力によって発生する弾性変形に対し十分に伝達機構系の剛性を向上させる必要がある。   In general, in order to make the encoder value coincide with the displacement amount of the movable part, the carriage is equipped with a linear motor as in the stage described in Japanese Patent Publication No. 7-122830, and the position of the carriage can be detected directly. It is necessary to sufficiently improve the rigidity of the transmission mechanism system against the elastic deformation caused by the load or the driving force of the motor.

〔先行技術の問題点〕
また、可動部の位置を正しく検出し高精度位置決めをするために、特願2004−141094号(特開2005−319739号公報)の発明、特願2004−344666号の発明は、無端ベルト上にエンコーダを配置する方法であるが、これらの先行技術は無端ベルトにテープ状のエンコーダを配置するものであり、そのためには、エンコーダをテープ状に加工し、それを高精度に貼り付ける工程が必要であるのでコストアップとなる。また、前記テープが有端である場合には継ぎ目が発生するので、エンコーダの継ぎ目を処理する方法が必要である。無端ベルト上に直接エンコーダパターンを加工する場合においても、無端ベルトの表面処理や、エンコーダパターンを1本ずつ加工する工程が必要となり、コストアップに繋がる。また、検出精度を上げるためにエンコーダパターンとエンコーダセンサの間隔を所定の範囲に保つ必要があるが、ベルトは振れやすいため検出精度が低下する可能性がある。加えて、これらの発明は、2つのエンコーダを使用し無端ベルト上のエンコーダをロータリエンコーダで補完する発明であるので、検出精度が低下する可能性が大きい。
[Problems of the prior art]
In order to correctly detect the position of the movable part and perform high-precision positioning, the invention of Japanese Patent Application No. 2004-141094 (Japanese Patent Laid-Open No. 2005-319739) and the invention of Japanese Patent Application No. 2004-344666 are provided on an endless belt. These encoders are a method of arranging encoders, but these prior arts are to arrange a tape-like encoder on an endless belt, and for that purpose, a process of processing the encoder into a tape and pasting it with high accuracy is required Therefore, the cost increases. Further, since the seam is generated when the tape has an end, a method for processing the seam of the encoder is necessary. Even when the encoder pattern is directly processed on the endless belt, a surface treatment of the endless belt and a process of processing the encoder pattern one by one are required, leading to an increase in cost. Further, in order to increase the detection accuracy, it is necessary to keep the distance between the encoder pattern and the encoder sensor within a predetermined range. However, since the belt is likely to swing, the detection accuracy may be lowered. In addition, since these inventions use two encoders and complement the encoders on the endless belt with the rotary encoders, there is a high possibility that the detection accuracy will decrease.

また、公知ではないが、特願2005−258538号の発明では伝達系の微小領域の捩れを考慮した制御方法によって、高精度な位置決めを実現しようとしたものであるが、位置情報は伝達系にあるエンコーダ、例えばプーリ上のエンコーダを使用するため、最終段である可動部の動きは、予め検出した変位データに基づいて算出している。そのため、温度特性等によって伝達系の剛性等の特性が変化すると、位置決め誤差が発生する可能性がある。
特公平7−122830号公報 特公平7−117855号公報 特開2002−248822号公報 特開2005−319739号公報
Although not known, the invention of Japanese Patent Application No. 2005-258538 is intended to achieve highly accurate positioning by a control method that takes into account the torsion of a minute region of the transmission system. Since a certain encoder, for example, an encoder on a pulley, is used, the movement of the movable part, which is the final stage, is calculated based on displacement data detected in advance. Therefore, if the characteristics such as the rigidity of the transmission system change due to the temperature characteristics or the like, a positioning error may occur.
Japanese Examined Patent Publication No. 7-122830 Japanese Patent Publication No.7-1117855 JP 2002-248822 A JP 2005-319739 A

〔請求項1の発明の課題〕
請求項1の発明の課題は、伝達機構系の剛性が低く負荷の大きな機構に対し、伝達機構部の捩れ等によって発生する位置検出誤差を抑えるために、伝達機構部から位置検出器を離すことにより、安定で高精度、かつ、安価な位置決め制御装置を提供することである。
〔請求項2の発明の課題〕
請求項2の発明の課題は、請求項1の構成を高精度に位置決めするための制御機構を備えた、位置決め制御装置を提供することである。
〔請求項3の発明の課題〕
請求項3の発明の課題は、高精度で安定に位置決めを行うためのコントローラを提供することである。
〔請求項4のは発明の課題〕
請求項4の発明の課題は、安定した第1の制御ステップと第2の制御ステップの切換えを提供することである。
〔請求項5の発明の課題〕
請求項5の発明の課題は、各ステップの演算を上位の演算器に実行させることによって、制御演算部の負荷を減らし、かつ、制御用の安価な演算器を使用できるようにすることである。
〔請求項6の発明の課題〕
請求項6の発明の課題は、各ステップの演算を制御演算部の演算器に実行させることによって、上位演算器の演算負荷を低減できるようにすることである。
〔請求項7の発明の課題〕
請求項1乃至請求項6の位置決め制御装置を搭載することによって、安価で安定で高精度な画像形成装置を提供することである。
[Problems of the invention of claim 1]
The object of the invention of claim 1 is to separate the position detector from the transmission mechanism portion in order to suppress a position detection error caused by torsion or the like of the transmission mechanism portion with respect to a mechanism having a low rigidity of the transmission mechanism system and a large load. Thus, a stable, highly accurate, and inexpensive positioning control device is provided.
[Problem of invention of claim 2]
An object of the invention of claim 2 is to provide a positioning control device provided with a control mechanism for positioning the configuration of claim 1 with high accuracy.
[Problem of invention of claim 3]
An object of the invention of claim 3 is to provide a controller for performing positioning with high accuracy and stability.
[Claim 4 is an object of the invention]
An object of the invention of claim 4 is to provide stable switching between the first control step and the second control step.
[Problem of invention of claim 5]
An object of the invention of claim 5 is to reduce the load on the control operation unit and to use an inexpensive operation unit for control by causing a higher-order operation unit to execute the operation of each step. .
[Problems of invention of claim 6]
An object of the invention of claim 6 is to make it possible to reduce the computation load of the higher-order computing unit by causing the computing unit of the control computing unit to execute the computation of each step.
[Problem to the Invention of Claim 7]
By mounting the positioning control device according to any one of claims 1 to 6, an inexpensive, stable and highly accurate image forming apparatus is provided.

〔請求項1の発明の解決手段〕
請求項1の発明の解決手段は次のとおりである。
単一のモータとモータの駆動力を伝達する伝達機構部と、モータの駆動力が伝達されて駆動される可動部と、位置検出器からなる位置決め機構と、前記位置検出器の出力をフィードバックし、所定の演算を行う制御演算部と、制御演算部の出力に基づいて前記モータを駆動するドライバ部からなる制御機構とから構成され、前記伝達機構部もしくは前記可動部が捩れ特性を示す低剛性な部材から構成されていて、目標位置に位置決め制御を行う位置決め制御装置において、
前記可動部に前記伝達機構部が付随する場所から離れた位置に前記位置検出器を配置し、合わせて、前記捩れ特性を考慮した前記制御演算部を備えたことを特徴とする位置決め制御装置。
なお、上記の「伝達機構部」はギアやプーリやタイミングベルト等からなる減速機構を意味し、「可動部に伝達機構部が付随する場所」とは可動部を回転体とすると回転体を支持する一方の端部を意味し、さらに、「場所から離れた位置」は、当該場所から回転体の軸の方向に離れた位置を意味し、「前記可動部に・・・・・位置検出器を配置し」は、例えば、記録紙搬送装置の静電吸着ベルトの駆動ロールの一方に端にタイミングプーリが固定されているとき、その他方の端に位置検出器が固定されていることを意味する。
[Means for Solving the Invention of Claim 1]
The solving means of the invention of claim 1 is as follows.
A single motor, a transmission mechanism that transmits the driving force of the motor, a movable portion that is driven by transmission of the driving force of the motor, a positioning mechanism that includes a position detector, and an output of the position detector are fed back. A low-stiffness composed of a control calculation unit that performs a predetermined calculation and a control mechanism that includes a driver unit that drives the motor based on the output of the control calculation unit, and the transmission mechanism unit or the movable unit exhibits torsional characteristics In a positioning control device that is configured from a member and performs positioning control at a target position,
A positioning control device comprising: the position calculation unit disposed at a position away from a place where the transmission mechanism unit is attached to the movable unit, and the control calculation unit considering the torsion characteristics.
The above-mentioned “transmission mechanism” means a speed reduction mechanism composed of gears, pulleys, timing belts, etc., and “the place where the transmission mechanism is attached to the movable part” means that the movable part is supported by the rotary part. In addition, “a position away from the place” means a position away from the place in the direction of the axis of the rotating body, and “a position detector on the movable part. For example, when the timing pulley is fixed to one end of the driving roll of the electrostatic adsorption belt of the recording paper transport device, the position detector is fixed to the other end. To do.

〔請求項2の発明の解決手段〕
請求項2の発明の解決手段は次のとおりである。
請求項1の位置決め制御装置において、
可動部が大きく移動するときの特性を考慮した第1のコントローラと、微小領域の特性を考慮した第2のコントローラを備えた前記制御演算部と、
目標位置を設定し、第1のコントローラによって位置決めを行う第1の制御ステップと、目標位置に対して所定の位置偏差に達したとき、第2のコントローラによって位置決めを行う第2の制御ステップを備えたことを特徴とする位置決め制御装置。
なお、上記の第1のコントローラは、可動部を高速で目標位置に近づける粗動動作をするものであり、第2のコントローラは、可動部を目標位置に位置決めする微動動作をするものである。
[Means for Solving the Invention of Claim 2]
The solving means of the invention of claim 2 is as follows.
The positioning control device according to claim 1,
A control controller including a first controller that takes into account characteristics when the movable part largely moves; and a second controller that takes into account characteristics of a minute region;
A first control step for setting a target position and performing positioning by the first controller; and a second control step for performing positioning by the second controller when a predetermined positional deviation is reached with respect to the target position. A positioning control device characterized by that.
The first controller performs a coarse movement operation that brings the movable part close to the target position at a high speed, and the second controller performs a fine movement operation that positions the movable part at the target position.

〔請求項3の発明の解決手段〕
請求項3の発明の解決手段は次のとおりである。
前記第2のコントローラが、前記第1のコントローラよりも制御対象の次数が大きくなることを考慮して構成されていることを特徴とする請求項2の位置決め制御装置。
〔請求項4の発明の解決手段〕
[Solution to Invention of Claim 3]
The solving means of the invention of claim 3 is as follows.
The positioning control device according to claim 2, wherein the second controller is configured in consideration of the fact that the order of the control target is larger than that of the first controller.
[Means for Solving the Invention of Claim 4]

請求項4の発明の解決手段は次の通りである。
前記第1の制御ステップと前記第2の制御ステップの切換えを行う所定の位置偏差にヒステリシスを与えていることを特徴とする請求項2の位置決め制御装置。
〔請求項5の発明の解決手段〕
The solution of the invention of claim 4 is as follows.
The positioning control device according to claim 2, wherein hysteresis is given to a predetermined position deviation for switching between the first control step and the second control step.
[Means for Solving the Invention of Claim 5]

請求項5の発明の解決手段は次のとおりである。
前記第1の制御ステップと前記第2の制御ステップは、上位にある演算器によって切換えられることを特徴とする請求項2の位置決め制御装置。
〔請求項6の発明の解決手段〕
The solving means of the invention of claim 5 is as follows.
3. The positioning control apparatus according to claim 2, wherein the first control step and the second control step are switched by a computing unit at a higher level.
[Means for Solving the Invention of Claim 6]

請求項6の発明の解決手段は次のとおりである。
前記第1の制御ステップと前記第2の制御ステップは前記制御演算部を構成する演算器によって切換えられることを特徴とする請求項2の位置決め制御装置。
〔請求項7の発明の解決手段〕
The solving means of the invention of claim 6 is as follows.
3. The positioning control device according to claim 2, wherein the first control step and the second control step are switched by a calculator that constitutes the control calculation unit.
[Means for Solving the Invention of Claim 7]

請求項7の発明の解決手段は次のとおりである。
請求項1乃至請求項6の位置決め制御装置を備えていることを特徴とする画像形成装置。
The solving means of the invention of claim 7 is as follows.
An image forming apparatus comprising the positioning control device according to claim 1.

本発明の効果は次のとおりである。
〔請求項1に係る発明の効果〕
伝達機構系の剛性が低く負荷の大きな機構に対し、伝達機構部から位置検出器を離すことにより、伝達機構部の捩れ等によって発生する位置検出誤差を含まない可動部の位置を直接測定できるようになる。これによって、安定で高精度、かつ、安価な位置決め制御装置の機構を提供できる。
また、前記伝達機構部もしくは前記可動部が捩れ特性を示す低剛性な部材から構成されていることにより、安価に製作することができる。
さらに、前記捩れ特性を考慮した前記制御演算部を備えたことにより、構成を変更することなく安価な構成で高精度な位置決めをすることができる。
また、従来の位置決め制御装置に対して、低剛性部材の使用と、位置検出器の取り付け位置の変更と、制御演算部のソフトウェア変更等で対応できるため、安価でかつ高精度な位置決め制御装置を提供できる。
The effects of the present invention are as follows.
[Effect of the invention according to claim 1]
By separating the position detector from the transmission mechanism for a mechanism with low transmission mechanism rigidity and large load, it is possible to directly measure the position of the movable part that does not include position detection errors caused by torsion of the transmission mechanism. become. As a result, it is possible to provide a stable, highly accurate and inexpensive positioning control device mechanism.
Further, since the transmission mechanism part or the movable part is composed of a low-rigidity member exhibiting torsional characteristics, it can be manufactured at low cost.
Furthermore, by providing the control calculation unit considering the torsional characteristics, it is possible to perform highly accurate positioning with an inexpensive configuration without changing the configuration.
Compared to the conventional positioning control device, it is possible to cope with the use of low-rigidity members, the change of the position detector mounting position, the software of the control calculation unit, etc. Can be provided.

〔請求項2に係る発明の効果〕
請求項1の構成に2種類のコントローラと、2種類の制御ステップを備えることによって、高精度な位置決めが可能な、位置決め制御装置を提供できる。
[Effect of the invention according to claim 2]
By providing two types of controllers and two types of control steps in the configuration of claim 1, it is possible to provide a positioning control device capable of highly accurate positioning.

〔請求項3に係る発明の効果〕
制御ステップの機械特性に合わせたコントローラを用意することによって、高精度な位置決めが可能となる。
[Effect of the invention according to claim 3]
By preparing a controller that matches the mechanical characteristics of the control step, high-accuracy positioning is possible.

〔請求項4に係る発明の効果〕
第1の制御ステップと第2の制御ステップの切換えポイントにヒステリシスを与えることによって、滑らかで、かつ安定的なステップの切換えが可能となる。
[Effect of the invention according to claim 4]
By providing hysteresis at the switching point between the first control step and the second control step, it is possible to switch the step smoothly and stably.

〔請求項5に係る発明の効果〕
各ステップの演算を上位の演算器に実行させることによって、制御演算部のシーケンス的な動作の負荷を減らすことが可能となる。それにより制御用の安価な演算器を使用できるようになる。加えて、制御演算部をアナログ化することも可能なので、制御演算の高速化や低コスト化も可能となる。
[Effect of the invention according to claim 5]
It is possible to reduce the load of sequence operation of the control operation unit by causing the upper operation unit to execute the operation of each step. As a result, an inexpensive arithmetic unit for control can be used. In addition, since the control calculation unit can be made analog, the control calculation can be speeded up and the cost can be reduced.

〔請求項6に係る発明の効果〕
各ステップの演算を制御演算部の演算器に実行させることによって、上位演算器の演算負荷を低減できる。これによって、上位演算器は画処理やその他の動作演算に特化することが可能となる。
[Effect of the invention according to claim 6]
By causing the calculation unit of the control calculation unit to execute the calculation of each step, the calculation load of the higher-level calculation unit can be reduced. As a result, the high-order computing unit can specialize in image processing and other operation computations.

〔請求項7に係る発明の効果〕
請求項1ないし請求項6の位置決め制御装置を搭載することによって、安価で安定で高精度な画像形成装置を提供することができる。
[Effect of the invention according to claim 7]
By mounting the positioning control device according to the first to sixth aspects, an inexpensive, stable and highly accurate image forming apparatus can be provided.

次いで、図面を参照して実施例を説明する。
図1は、本発明に係る紙搬送装置を備えたインクジェット記録装置の一例を示す断面構成図である。この図に示すインクジェット記録装置100は、プリンタ部50の上方にスキャナ部30を配置し、複写装置として構成されている。スキャナ部30とプリンタ部50の間には排紙部40が形成されている。
スキャナ部30は、コンタクトガラス31の下方に走査手段32が走行可能に配設されており、光源により照明された原稿からの反射光をミラー・レンズ等を介してCCD33に導き、原稿画像の読み取りが行われる。コンタクトガラス31の上方には、圧板34が開閉可能に設けられている。
Next, embodiments will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a cross-sectional configuration diagram showing an example of an ink jet recording apparatus provided with a paper conveying apparatus according to the present invention. The ink jet recording apparatus 100 shown in this figure is configured as a copying apparatus with a scanner unit 30 disposed above a printer unit 50. A paper discharge unit 40 is formed between the scanner unit 30 and the printer unit 50.
The scanner unit 30 is provided with a scanning unit 32 below the contact glass 31 so that the scanning unit 32 can travel. The scanner unit 30 guides reflected light from a document illuminated by a light source to a CCD 33 via a mirror lens or the like, and reads a document image. Is done. A pressure plate 34 is provided above the contact glass 31 so as to be openable and closable.

プリンタ部50において、下方に配置された給紙カセット27から排紙部40に到る記録紙搬送路が図に一点鎖線で示すように形成され、その記録紙搬送路中の所定個所に搬送ローラ25が適宜設置されている。なお、符号24は給紙ローラ、符号26は排紙ローラである。また、手差しトレイ28が装置側面に設けられ、この手差しトレイ28からも給紙ローラ29を介して記録紙が給送される。   In the printer unit 50, a recording paper conveyance path from the paper feeding cassette 27 disposed below to the paper discharge unit 40 is formed as indicated by a one-dot chain line in the drawing, and a conveyance roller is provided at a predetermined position in the recording paper conveyance path. 25 is installed as appropriate. Reference numeral 24 denotes a paper feed roller, and reference numeral 26 denotes a paper discharge roller. A manual feed tray 28 is provided on the side of the apparatus, and recording paper is also fed from the manual feed tray 28 via a paper feed roller 29.

インクジェットエンジン20は記録紙搬送装置1を有しており、本実施形態では静電吸着ベルトを用いて記録紙を副走査方向に搬送するシステムを採用している。静電吸着ベルトによる搬送システムは従来のローラ搬送方式に比べて安定した紙送りが可能である。記録紙搬送装置1の上に位置するキャリッジ21は、印字ヘッド22を搭載して主走査方向(図面に垂直な方向)に往復移動し、印字ヘッド22からインク滴を吐出して印字を行う。この印字ヘッド22はシアン(C),マゼンタ(M),イエロー(Y),ブラック(Bk)の各色毎に1ヘッドの4ヘッド構成である。ただしヘッド数はこれに限らず、2色で1ヘッドの2ヘッド構成等でも良い。また、主走査方向に往復移動しないラインヘッドでも良い。   The ink jet engine 20 includes a recording paper conveyance device 1. In this embodiment, a system for conveying the recording paper in the sub-scanning direction using an electrostatic adsorption belt is employed. The conveyance system using the electrostatic adsorption belt can feed the paper more stably than the conventional roller conveyance system. The carriage 21 positioned on the recording paper transport device 1 is mounted with a print head 22 and reciprocates in the main scanning direction (direction perpendicular to the drawing), and performs printing by ejecting ink droplets from the print head 22. The print head 22 has a four-head configuration of one head for each color of cyan (C), magenta (M), yellow (Y), and black (Bk). However, the number of heads is not limited to this, and a two-head configuration of one head with two colors may be used. Also, a line head that does not reciprocate in the main scanning direction may be used.

この実施例のインクジェット記録装置100は、各色インクカートリッジ23を印字ヘッドとは別に搭載し、このカートリッジ23内のインクが図示しない供給チューブを介して印字ヘッド22に供給される。各色インクカートリッジを印字ヘッドとは別に搭載する方式は、プリントの高速化に伴うインク消費の増大に対応する大容量タイプのカートリッジを使用することが可能であり、ビジネスユーズに適した方式である。ただしインク供給方式は、ヘッドとカートリッジ一体のタイプの構成でも良い。   In the ink jet recording apparatus 100 of this embodiment, each color ink cartridge 23 is mounted separately from the print head, and the ink in the cartridge 23 is supplied to the print head 22 via a supply tube (not shown). A system in which each color ink cartridge is mounted separately from the print head is a system suitable for business use because a large-capacity type cartridge corresponding to an increase in ink consumption accompanying an increase in printing speed can be used. However, the ink supply method may be a configuration in which the head and the cartridge are integrated.

図2は、記録紙搬送装置1の構成を詳しく示す詳細図である。
この図2において、記録紙を副走査方向に搬送する搬送手段としての静電吸着ベルト2は無端ループ状に形成され、搬送ローラ3とテンションローラ4とに掛け渡されている。静電吸着ベルト2に電荷を付与する帯電ローラ5,静電吸着ベルト2を除電するための除電ブラシ6,静電吸着ベルト2をクリーニングするためのクリーニングブレード7が、それぞれ静電吸着ベルト2の外周面に圧接されている。帯電ローラ5,除電ブラシ6及びクリーニングブレード7は、ブラケット16に支持されている。ブラケット16には、クリーニングブレード7により静電吸着ベルト2から除去した紙粉やインク汚れ等を貯留する回収部が設けられている。
FIG. 2 is a detailed view showing the configuration of the recording paper transport apparatus 1 in detail.
In FIG. 2, an electrostatic attraction belt 2 as a conveying means for conveying a recording sheet in the sub-scanning direction is formed in an endless loop shape and is stretched between a conveying roller 3 and a tension roller 4. A charging roller 5 for applying an electric charge to the electrostatic attraction belt 2, a neutralizing brush 6 for neutralizing the electrostatic attraction belt 2, and a cleaning blade 7 for cleaning the electrostatic attraction belt 2, respectively. It is in pressure contact with the outer peripheral surface. The charging roller 5, the charge eliminating brush 6 and the cleaning blade 7 are supported by the bracket 16. The bracket 16 is provided with a collection unit for storing paper dust, ink stains, and the like removed from the electrostatic attraction belt 2 by the cleaning blade 7.

加圧板14に支持された加圧コロ13が、搬送ローラ3に対向して配置されている。加圧板14の先端には先端加圧コロ15が支持されている。この先端加圧コロ15は、静電吸着ベルト2の上辺部の内側に配置されたプラテン10(図3参照)に対し、静電吸着ベルト2を押し付ける働きをする。
搬送ローラ3の側方には入口ガイド部材35が配置されており、給紙部から給送されてきた記録紙を、搬送ローラ3(静電吸着ベルト2)と加圧板14の間に案内する。静電吸着ベルト2の上面に静電的に吸着された記録紙は、図3において反時計回りに回動する静電吸着ベルト2によってその右から左方向、すなわち副走査方向に搬送される。
A pressure roller 13 supported by the pressure plate 14 is disposed to face the conveyance roller 3. A tip pressure roller 15 is supported at the tip of the pressure plate 14. The tip pressurizing roller 15 functions to press the electrostatic attraction belt 2 against the platen 10 (see FIG. 3) disposed inside the upper side portion of the electrostatic attraction belt 2.
An entrance guide member 35 is disposed on the side of the transport roller 3 and guides the recording paper fed from the paper feed unit between the transport roller 3 (electrostatic adsorption belt 2) and the pressure plate 14. . The recording sheet electrostatically attracted to the upper surface of the electrostatic adsorption belt 2 is conveyed from the right to the left, that is, in the sub-scanning direction by the electrostatic adsorption belt 2 that rotates counterclockwise in FIG.

テンションローラ4の下流側には、排紙ローラ17と拍車18からなる排紙ローラ対が設けられている。テンションローラ4部には分離爪19が設けられており、分離爪19によって静電吸着ベルト2から分離された記録紙は、排紙ローラ17と拍車18からなる排紙ローラ対によって下流側に送られる。
搬送ローラ3の軸には、コードホイール8が装着されている。コードホイール8にはスリットが形成されており(図示略)、該スリットを検出するための透過型のエンコーダセンサ9が設けられている。コードホイール8とセンサ9で、ロータリエンコーダを構成する。本例のロータリエンコーダとしては300LPI以上、4800CR以上を使用するのが好ましい。
On the downstream side of the tension roller 4, a paper discharge roller pair including a paper discharge roller 17 and a spur 18 is provided. The tension roller 4 is provided with a separation claw 19, and the recording paper separated from the electrostatic attraction belt 2 by the separation claw 19 is sent downstream by a paper discharge roller pair consisting of a paper discharge roller 17 and a spur 18. It is done.
A code wheel 8 is attached to the shaft of the transport roller 3. A slit is formed in the code wheel 8 (not shown), and a transmission type encoder sensor 9 for detecting the slit is provided. The code wheel 8 and the sensor 9 constitute a rotary encoder. As the rotary encoder of this example, it is preferable to use 300 LPI or more and 4800 CR or more.

図5は上記で説明した記録紙搬送装置にも使用されているベルト搬送機構の伝達機構である。モータ201が発生した駆動力は、モータプーリ202とタイミングベルト204と搬送ローラ3の軸の片端面に取り付けられているプーリ(歯付プーリあるいはタイミングプーリ)203からなる減速機構を介して、搬送ローラ3へと伝達される。前記コードホイール8は、従来は、レイアウトやコストの問題からプーリ203と同軸上に取り付けられていたが、本構成では、プーリ203が取り付けられている搬送ローラ3の軸の片端面とは反対側の片端面に取り付けられている。
この状態を図3−1に示しており、このプーリ203,搬送ローラ3,コードホイール8の配置関係が、請求項1(解決手段1)における、「可動部に前記伝達機構部が付随する場所から離れた位置」に位置検出器が配置されている配置関係に当たる。
FIG. 5 shows a transmission mechanism of a belt conveyance mechanism that is also used in the recording paper conveyance device described above. The driving force generated by the motor 201 is transferred to the conveying roller 3 via a speed reduction mechanism including a motor pulley 202, a timing belt 204, and a pulley (toothed pulley or timing pulley) 203 attached to one end face of the shaft of the conveying roller 3. Is transmitted to. The code wheel 8 is conventionally attached coaxially with the pulley 203 due to layout and cost problems. In this configuration, the code wheel 8 is opposite to one end face of the shaft of the conveying roller 3 to which the pulley 203 is attached. It is attached to one end face of.
This state is shown in FIG. 3-1, and the arrangement relationship of the pulley 203, the conveying roller 3, and the code wheel 8 is as follows. "Place where the transmission mechanism part is attached to the movable part" It corresponds to the arrangement relationship in which the position detector is arranged at “a position away from”.

ここでは、コードホイール8とエンコーダセンサ9が搬送ローラ3のプーリ203とは反対側の片端面に取り付けられているものとしているが、プーリ203と搬送ローラ3の間の捩れが検出される位置データに影響を及ぼすのであり、したがって、モータやタイミングベルトやプーリ上にエンコーダを配置しなければ良いのであるから、分解能や継ぎ目等の問題がなければ静電吸着ベルト2にエンコーダパターンを作成した構成やテンションローラ4にエンコーダを配置した構成にすることもできる。
このようなエンコーダの配置により、直接搬送ローラ3もしくは静電吸着ベルト2の位置を検出するのであるから、プーリ203と搬送ローラ3間の捩れがエンコーダの値として検出されることはなくなり、したがって、エンコーダの値は、記録紙やそれを搬送する静電吸着ベルト2の変位を正確に示すこととなる。
Here, it is assumed that the code wheel 8 and the encoder sensor 9 are attached to one end surface of the conveying roller 3 opposite to the pulley 203, but position data for detecting the twist between the pulley 203 and the conveying roller 3 is assumed. Therefore, if the encoder is not arranged on the motor, the timing belt, or the pulley, the configuration in which the encoder pattern is created on the electrostatic attraction belt 2 if there is no problem in resolution, seam, etc. A configuration in which an encoder is arranged on the tension roller 4 can also be adopted.
Since the position of the conveyance roller 3 or the electrostatic adsorption belt 2 is directly detected by such an arrangement of the encoder, the twist between the pulley 203 and the conveyance roller 3 is not detected as an encoder value. The encoder value accurately indicates the displacement of the recording paper and the electrostatic attraction belt 2 that conveys the recording paper.

図4は工作機械や製造装置や検査装置等に用いられるリニアステージの一例である。リニアステージ110は転がり案内(ローラベアリング)で構成されたリニアガイドと、ボールねじ111と、リニアガイドによって拘束されボールねじ111によって一軸方向へ動くキャリッジ112と、ボールねじ111を駆動するモータ113と、キャリッジ112の位置を検出するリニアエンコーダ114から構成されている。ここでは、モータ駆動回路および制御回路は省略されている。   FIG. 4 is an example of a linear stage used in a machine tool, a manufacturing apparatus, an inspection apparatus, or the like. The linear stage 110 includes a linear guide composed of rolling guides (roller bearings), a ball screw 111, a carriage 112 that is restrained by the linear guide and moves in one axial direction by the ball screw 111, a motor 113 that drives the ball screw 111, The linear encoder 114 detects the position of the carriage 112. Here, the motor drive circuit and the control circuit are omitted.

次に、前記インクジェットエンジン20の記録紙搬送装置1を例にして、負荷が大きく低剛性な機構の微小領域の位置決め特性について説明する。負荷が大きく剛性が問題となる装置であれば前記リニアステージ等でも同様な特性となる。
以下では、モータ201、モータプーリ202、タイミングベルト204、プーリ203からなる伝達機構系の共振周波数は、プーリ203と搬送ローラ3間の共振周波数に対して十分に高いものであるとし、剛体の形で説明する。実際には、この共振周波数も考慮する必要がある。
Next, the positioning characteristics of the micro area of the mechanism having a large load and low rigidity will be described by taking the recording paper conveyance device 1 of the inkjet engine 20 as an example. If the apparatus has a large load and rigidity is a problem, the linear stage or the like has the same characteristics.
In the following, it is assumed that the resonance frequency of the transmission mechanism system including the motor 201, the motor pulley 202, the timing belt 204, and the pulley 203 is sufficiently higher than the resonance frequency between the pulley 203 and the conveying roller 3, and is in the form of a rigid body. explain. In practice, this resonance frequency must also be considered.

粗動領域では(大きい距離を移動する場合)、モータが発生したトルクによって搬送ローラ3の軸もしくは搬送ローラ3の軸に取り付けてあるプーリ203が微小弾性変形する。この弾性変形は、可動部である静電吸着ベルト2が動き出すために必要なトルクと、加速に必要なトルクとの和によって発生する。所定の変形量である前記弾性変形量を伴って、ほぼ慣性系の応答と同等な応答を示す。この応答をばねと質量のモデルで表すと図6(a)のようになる。回転系に対して直動系ではトルク、イナーシャ、角度、角速度、角加速度をそれぞれ、力、質量、位置、速度、加速度と置き換えればよい。このような特性を示す領域をここでは慣性領域という。なお、前記弾性変形は微小量であるため粗動領域では、影響が小さい。   In the coarse movement region (when moving a large distance), the shaft of the transport roller 3 or the pulley 203 attached to the shaft of the transport roller 3 is slightly elastically deformed by the torque generated by the motor. This elastic deformation occurs due to the sum of the torque necessary for the electrostatic attraction belt 2 as a movable part to start moving and the torque necessary for acceleration. A response substantially equivalent to the response of the inertial system is exhibited with the elastic deformation amount being a predetermined deformation amount. This response is represented by a spring and mass model as shown in FIG. In the linear motion system, the torque, inertia, angle, angular velocity, and angular acceleration may be replaced with force, mass, position, velocity, and acceleration, respectively, in the rotation system. A region exhibiting such characteristics is referred to herein as an inertia region. Since the elastic deformation is a minute amount, the influence is small in the coarse movement region.

微動領域では(微小距離を移動する場合)、搬送ローラ3の軸もしくは搬送ローラ3の軸に取り付けてあるプーリの弾性変形に加えて、搬送ローラ表面と静電吸着ベルト2の接触部の特性や、搬送ローラ軸の軸受け部の特性の影響が大きくなる。微動領域では前記接触部や軸受け部の粘弾性特性が影響してくる。微動領域では2種類の特性があることが確認できている。   In the fine movement region (when moving a small distance), in addition to the elastic deformation of the shaft of the transport roller 3 or the pulley attached to the shaft of the transport roller 3, the characteristics of the contact portion between the surface of the transport roller and the electrostatic adsorption belt 2 The influence of the characteristics of the bearing portion of the transport roller shaft is increased. In the fine movement region, the viscoelastic characteristics of the contact portion and the bearing portion are affected. It has been confirmed that there are two types of characteristics in the fine movement region.

1つ目は、プーリ203が弾性変形によって移動距離換算で数μm〜数十μm相当動く領域である(以下、「弾性領域」という)。図7にトルク−変位の応答を示す。モータトルクを大きくしていくと搬送ローラの片端のプーリ203が移動距離換算で数μm〜数十μm相当動き、反対に、トルクを小さくしていくと、プーリ203は弾性復元してほぼ0に戻る。多少のヒステリシスを伴うが、プーリ203はモータトルクに比例した動きを示す。また、搬送ローラに掛けられた静電吸着ベルトは、搬送ローラやプーリが弾性変形や、前記粘弾性特性があるため、プーリ203とは同じ変位を示さないが、しかし、プーリ203の変位の数分の1から数十分の1となる範囲だけ変位し、モータトルクに比例する特性を示す(図7の「静電吸着ベルト表面」の特性)。そして見方を変えると、プーリ203の変位と静電吸着ベルト表面の変位は比例関係となっている。   The first is an area in which the pulley 203 moves by several μm to several tens of μm in terms of movement distance due to elastic deformation (hereinafter referred to as “elastic area”). FIG. 7 shows the torque-displacement response. When the motor torque is increased, the pulley 203 at one end of the transport roller moves corresponding to several μm to several tens of μm in terms of the moving distance. On the contrary, when the torque is decreased, the pulley 203 is elastically restored to almost zero. Return. Although there is some hysteresis, the pulley 203 shows a motion proportional to the motor torque. In addition, the electrostatic adsorption belt hung on the conveyance roller does not exhibit the same displacement as the pulley 203 because the conveyance roller and the pulley have elastic deformation and the viscoelastic characteristics, but the number of displacements of the pulley 203 is not. It is displaced by a range from a fraction of 1 to a few tens of 1 and shows a characteristic proportional to the motor torque (characteristic of “electrostatic attracting belt surface” in FIG. 7). In other words, the displacement of the pulley 203 and the displacement of the electrostatic attraction belt surface have a proportional relationship.

2つ目は、プーリ203が移動距離換算で数十μm〜数百μm相当動く領域であり、この領域ではヒステリシスが大きい(以下、「遷移領域」という)。この領域でのトルク−変位の応答が図8に示されている。モータトルクを大きくしていくと、搬送ローラ3のプーリ203が移動距離換算で数十μm〜数百μm相当動き、慣性領域での動きと違って、モータトルクに応じた変位を生じる。反対に、モータトルクを小さくしていくと、モータトルクが0になってもプーリ203は0に戻りきらず、図8に示すようなヒステリシス特性を示す。また、搬送ローラ3に巻き掛けられた静電吸着ベルト2は、搬送ローラ3やプーリ203の弾性変形や、前記粘弾性特性のため、プーリ203よりも小さい変位を示すのは前記弾性領域におけるのと同様である。しかし、モータトルクを0にすると、プーリ203と同じ変位に収束する。これらの応答をばねと質量のモデルで表すと図6(b)となる。図6(a)との違いは、可動部にばねk2が付加されたことである。前記弾性領域では搬送ローラ軸の軸受けや搬送ローラ表面と静電吸着ベルトの接触部の弾性(ばね特性)の寄与が大きくなっていると考えている。   The second is an area in which the pulley 203 moves by several tens of μm to several hundreds of μm in terms of movement distance, and this area has a large hysteresis (hereinafter referred to as “transition area”). The torque-displacement response in this region is shown in FIG. When the motor torque is increased, the pulley 203 of the transport roller 3 moves corresponding to several tens of μm to several hundreds of μm in terms of the moving distance, and unlike the movement in the inertial region, displacement occurs according to the motor torque. On the contrary, when the motor torque is reduced, the pulley 203 does not return to 0 even when the motor torque becomes 0, and exhibits a hysteresis characteristic as shown in FIG. In addition, the electrostatic attraction belt 2 wound around the transport roller 3 exhibits a smaller displacement than the pulley 203 due to elastic deformation of the transport roller 3 and the pulley 203 and the viscoelastic characteristics in the elastic region. It is the same. However, when the motor torque is set to 0, the same displacement as the pulley 203 is converged. These responses are represented by a spring and mass model as shown in FIG. The difference from FIG. 6A is that a spring k2 is added to the movable part. In the elastic region, it is considered that the contribution of the elasticity (spring characteristics) of the bearing of the conveyance roller shaft and the contact portion between the conveyance roller surface and the electrostatic attraction belt is large.

これに対し、前記遷移領域では、力Fmfが大きくなるにつれて、搬送ローラ軸の軸受けや搬送ローラ3の表面と静電吸着ベルト2との接触部の弾性(ばね特性)領域を越えて、動き出すものと考えている。図では、ばねk2を支える壁が力に応じて動くことを意味する。ばねk2の弾性領域を越えて動いてしまうため、トルクを0にしても変位が戻らないヒステリシスを生じる。また、プーリ203と静電吸着ベルト表面が最終的に一致するのは、伝達機構部の摩擦Fsμ1が十分小さいために力が0となり、ばねk1が開放され可動部が停止した位置に伝達機構部が倣うためと考えられる。   On the other hand, in the transition region, as the force Fmf increases, it moves beyond the elastic (spring characteristic) region of the bearing portion of the conveying roller shaft and the contact portion between the surface of the conveying roller 3 and the electrostatic attraction belt 2. I believe. In the figure, it means that the wall supporting the spring k2 moves according to the force. Since it moves beyond the elastic region of the spring k2, a hysteresis is generated in which the displacement does not return even if the torque is zero. The pulley 203 and the electrostatic adsorption belt surface finally coincide with each other because the force F is zero because the friction Fsμ1 of the transmission mechanism portion is sufficiently small, and the transmission mechanism portion is in a position where the spring k1 is opened and the movable portion is stopped. Is considered to be imitated.

よって、粗動領域用のコントローラ(第1のコントローラ)については、図6(a)中のばねk1の変形が微小であると考えるときは、これによる影響は小さい(無視し得る)ものとして、伝達機構部と可動部のイナーシャもしくは重量を考慮したコントローラとする。
微動領域用のコントローラ(第2のコントローラ)については、伝達機構部と可動部のイナーシャもしくは重量と、ばねk1とばねk2を考慮したコントローラとする。これより、粗動コントローラよりも微動コントローラは次数が高くなる。なお、この構成では、可動部の変位xcをフィードバックする。
また、微動領域では弾性領域や遷移領域のような非線形特性があり、これを補償するために、積分特性を付加する。
Therefore, regarding the controller for the coarse movement region (first controller), when the deformation of the spring k1 in FIG. 6A is considered to be minute, the influence of this is small (can be ignored) A controller that takes into account the inertia or weight of the transmission mechanism and the movable part.
The controller for the fine movement region (second controller) is a controller that takes into account the inertia or weight of the transmission mechanism portion and the movable portion, and the springs k1 and k2. Thus, the order of the fine movement controller is higher than that of the coarse movement controller. In this configuration, the displacement xc of the movable part is fed back.
Further, in the fine movement region, there are nonlinear characteristics such as an elastic region and a transition region, and an integral characteristic is added to compensate for this.

次に、一般的な位置決め制御系を説明する。
図9、図10は一般的な位置決め制御系のブロック線図である。図9は位置のフィードバックループのみからなる位置決め制御系であり、図10は位置と速度のフィードバックループからなる位置決め制御系である。
図9のブロック線図を説明する。制御目標値(目標位置)とフィードバックされた位置情報は比較器116で比較され、その出力が位置偏差として位置補償器117へ入力される。位置補償器117では所定のゲインの乗算や所定のフィルタ処理がされて、電圧指令値もしくは電流指令値として出力され、ドライバ118へ入力される。位置補償器117は、PIDや位相進みや位相遅れ等の古典制御理論や、図示されていないが、制御対象121の状態量をフィードバックする現代制御理論に基づく状態フィードバックや、H∞制御に代表されるロバスト制御理論等のいずれの補償方法によるものでも良い。
Next, a general positioning control system will be described.
9 and 10 are block diagrams of a general positioning control system. FIG. 9 shows a positioning control system consisting of only a position feedback loop, and FIG. 10 shows a positioning control system consisting of a position and speed feedback loop.
The block diagram of FIG. 9 will be described. The control target value (target position) and the fed back position information are compared by the comparator 116, and the output is input to the position compensator 117 as a position deviation. The position compensator 117 performs multiplication of a predetermined gain and predetermined filtering, and outputs it as a voltage command value or a current command value and inputs it to the driver 118. The position compensator 117 is typified by classical control theory such as PID, phase advance and phase lag, and state feedback based on modern control theory that feeds back the state quantity of the control target 121 and H∞ control (not shown). Any compensation method such as robust control theory may be used.

ドライバ118は電圧指令値に応じたモータ電圧を流す電圧制御ドライバもしくは、電流指令値に応じたモータ電流を流す電流制御ドライバから構成される。ここでは、伝達特性が簡単となる電流制御ドライバを使用するものとして説明する。ドライバ(電流制御ドライバ)118によってサーボモータ119は位置補償器117からの指令電流相当のモータ電流で駆動される。モータの駆動力は、伝達機構を介して制御対象121を駆動する。当該制御対象の回転位置もしくは位置は位置検出器120によって検出される。位置検出器120は図4中のリニアエンコーダ114や、図3中のコードホイール8とエンコーダセンサ9によるものである。位置検出器120で検出された位置情報は比較器116へとフィードバックされる。
前記サーボモータ119は、DCブラシ付モータ、DCブラシレスモータ、ACサーボモータ等である。前記サーボモータ119の種類によって、ドライバ118の駆動形式(単相、三相、ホール素子入力等)も変わってくる。
The driver 118 is composed of a voltage control driver for supplying a motor voltage corresponding to the voltage command value or a current control driver for supplying a motor current corresponding to the current command value. Here, a description will be given assuming that a current control driver having a simple transfer characteristic is used. The servo motor 119 is driven by a driver (current control driver) 118 with a motor current corresponding to a command current from the position compensator 117. The driving force of the motor drives the controlled object 121 via the transmission mechanism. The rotational position or position of the control object is detected by the position detector 120. The position detector 120 includes the linear encoder 114 in FIG. 4 and the code wheel 8 and the encoder sensor 9 in FIG. The position information detected by the position detector 120 is fed back to the comparator 116.
The servo motor 119 is a motor with a DC brush, a DC brushless motor, an AC servo motor, or the like. Depending on the type of the servo motor 119, the driving form of the driver 118 (single phase, three phase, Hall element input, etc.) also changes.

図10のブロック線図を説明する。制御目標値(目標位置)とフィードバックされた位置情報は比較器128で比較され、その出力が位置偏差として位置補償器129へ入力される。位置補償器129では所定のゲインの乗算や所定のフィルタ処理がされて、目標速度が出力される。出力された目標速度とフィードバックされる速度情報は比較器130で比較され、その出力が速度偏差として速度補償器131へ入力される。速度補償器131からは所定のゲインの乗算や所定のフィルタ処理がされて電圧指令値もしくは電流指令値として出力され、ドライバ(電流制御ドライバ)118へ入力される。位置補償器129、速度補償器131は、PIDや位相進みや位相遅れ等の古典制御理論や、図示されていないが、制御対象121の状態量をフィードバックする現代制御理論に基づく状態フィードバックや、H∞制御に代表されるロバスト制御理論等のいずれの補償方法によるものでも良い。   The block diagram of FIG. 10 will be described. The control target value (target position) and the fed back position information are compared by the comparator 128, and the output is input to the position compensator 129 as a position deviation. The position compensator 129 performs multiplication of a predetermined gain and predetermined filter processing, and outputs a target speed. The output target speed and the speed information fed back are compared by the comparator 130, and the output is input to the speed compensator 131 as a speed deviation. From the speed compensator 131, a predetermined gain multiplication or a predetermined filter process is performed and output as a voltage command value or a current command value and input to a driver (current control driver) 118. The position compensator 129 and the speed compensator 131 are, for example, a state control based on a classical control theory such as PID, phase advance or phase lag, or a modern control theory that feeds back a state quantity of the controlled object 121, but not shown. Any compensation method such as robust control theory represented by ∞ control may be used.

ドライバ118は電圧指令値に応じたモータ電圧を流す電圧制御ドライバもしくは、電流指令値に応じたモータ電流を流す電流制御ドライバのいずれでもよい。この実施例では、伝達特性が簡単となる電流制御ドライバを使用している。ドライバ(電流制御ドライバ)118によってサーボモータ119は速度補償器131からの指令電流相当のモータ電流で駆動される。モータの駆動力は、伝達機構によって制御対象121を駆動する。エンコーダ(位置検出器)132によって、制御対象121の回転位置もしくは位置は検出される。エンコーダ132は図4中のリニアエンコーダ114や、図3中のコードホイール8とエンコーダセンサ9等によるものである。エンコーダ132で検出された位置情報は比較器128へとフィードバックされる。   The driver 118 may be either a voltage control driver for supplying a motor voltage corresponding to the voltage command value or a current control driver for supplying a motor current corresponding to the current command value. In this embodiment, a current control driver having a simple transfer characteristic is used. The servo motor 119 is driven by a motor (corresponding to a command current from the speed compensator 131) by a driver (current control driver) 118. The driving force of the motor drives the control object 121 by the transmission mechanism. The rotation position or position of the control object 121 is detected by the encoder (position detector) 132. The encoder 132 is based on the linear encoder 114 in FIG. 4, the code wheel 8 and the encoder sensor 9 in FIG. Position information detected by the encoder 132 is fed back to the comparator 128.

また、エンコーダ132によって検出された位置情報は、速度演算部134へ入力され、速度情報へ変換されて比較器130へフィードバックされる。速度演算部では、所定周期毎の位置情報の差分や、位置情報の周期を測定する方法(F/V変換等)によって速度情報を得ることができる。   The position information detected by the encoder 132 is input to the speed calculation unit 134, converted into speed information, and fed back to the comparator 130. In the speed calculation unit, speed information can be obtained by a difference in position information for each predetermined period or a method (F / V conversion or the like) for measuring a period of position information.

前記サーボモータ119は、DCブラシ付モータ、DCブラシレスモータ、ACサーボモータ等である。前記サーボモータ119の種類によって、ドライバ118の駆動形式(単相、三相、ホール素子入力等)も変わってくる。
前記一般的な位置決め制御系に、前記粗動領域と微動領域で説明した特性を上手く動作させる構成及び手法を組み合わせることによって安定で高精度な位置決めが可能な位置決め制御装置を実現する。そのための構成を説明する。
The servo motor 119 is a motor with a DC brush, a DC brushless motor, an AC servo motor, or the like. Depending on the type of the servo motor 119, the driving form of the driver 118 (single phase, three phase, Hall element input, etc.) also changes.
A positioning control device capable of stable and highly accurate positioning is realized by combining the general positioning control system with a configuration and a method for operating the characteristics described in the coarse motion region and the fine motion region. A configuration for this will be described.

図9の位置のフィードバックループのみからなる位置決め制御系の場合、位置補償器117の内部の構成を図11に示すような構成とする。位置補償器の内部には、微動補償器160と粗動補償器161とこれらの切換器162とがある。粗動補償器161には、図6(a)で示されるようなモデルに対応した位置補償器が設計されて実装されている。モデルは伝達機構部と可動部のばねk1を無視し、伝達機構部と可動部の質量もしくはイナーシャを1つのものとして考えた慣性系として設計されたものでも良い。   In the case of the positioning control system including only the position feedback loop of FIG. 9, the internal configuration of the position compensator 117 is as shown in FIG. Inside the position compensator, there are a fine motion compensator 160, a coarse motion compensator 161, and a switcher 162. In the coarse motion compensator 161, a position compensator corresponding to the model shown in FIG. 6A is designed and mounted. The model may be designed as an inertia system that ignores the spring k1 between the transmission mechanism and the movable part, and considers the mass or inertia of the transmission mechanism and the movable part as one.

微動補償器160には、図6(b)で示される伝達機構部と可動部それぞれの質量もしくはイナーシャとばねk1とk2からなるモデルに対応した位置補償器が設計されて実装されている。
図10の位置と速度のフィードバックループからなる位置決め制御系の場合、速度補償器131の内部の構成を図12に示すような構成とする。速度補償器の内部には、微動補償器163と粗動補償器164とこれらの切換器165とがある。粗動補償器164は、図6(a)で示されるようなモデルに対応した速度補償器である。モデルは伝達機構部と可動部のばねk1を無視し、伝達機構部と可動部の質量もしくはイナーシャを1つのものとして考えた慣性系としたものでも良い。
The fine motion compensator 160 is designed and mounted with a position compensator corresponding to a model made up of the mass or inertia of each of the transmission mechanism and the movable part and the springs k1 and k2 shown in FIG.
In the case of the positioning control system comprising the position and speed feedback loop of FIG. 10, the internal structure of the speed compensator 131 is as shown in FIG. Inside the speed compensator, there are a fine motion compensator 163, a coarse motion compensator 164, and a switch 165 thereof. The coarse motion compensator 164 is a speed compensator corresponding to the model as shown in FIG. The model may be an inertia system that ignores the spring k1 of the transmission mechanism and the movable part, and considers the mass or inertia of the transmission mechanism and the movable part as one.

微動補償器163は、図6(b)で示される伝達機構部と可動部それぞれの質量もしくはイナーシャとばねk1とk2からなるモデルに対応した速度補償器である。
位置補償器129の内部は、前記図9の位置補償器117と同様に図11で表される。このときの粗動補償器161および微動補償器160は、速度フィードバックループの粗動補償器164もしくは微動補償器163を使用したときの特性に合わせて、設計される。一般的に外乱は速度フィードバックループで抑圧できると考えるため、単純な比例ゲイン(P)を使用する場合が多い。また、条件により粗動補償器161は所定の位置偏差まで速度プロファイルを生成する演算を行う場合もある。この場合、所定の位置偏差以内になると前記微動補償器160に切換える。
The fine motion compensator 163 is a speed compensator corresponding to a model including the masses or inertias of the transmission mechanism unit and the movable unit shown in FIG. 6B and springs k1 and k2.
The inside of the position compensator 129 is represented in FIG. 11 similarly to the position compensator 117 of FIG. The coarse motion compensator 161 and the fine motion compensator 160 at this time are designed in accordance with the characteristics when the coarse motion compensator 164 or the fine motion compensator 163 of the speed feedback loop is used. Generally, since it is considered that disturbance can be suppressed by the speed feedback loop, a simple proportional gain (P) is often used. Further, depending on conditions, the coarse motion compensator 161 may perform a calculation to generate a speed profile up to a predetermined position deviation. In this case, when it falls within a predetermined position deviation, the fine movement compensator 160 is switched.

上記で説明した図9の位置補償器117、図10の位置補償器129の微動補償器160、粗動補償器161は、PID(比例、積分、微分)や位相進みや位相遅れ等の古典制御理論や、状態量(図示略)をフィードバックする現代制御理論に基づく状態フィードバックや、H∞制御に代表されるロバスト制御理論等のいずれの理論によるものでも良い。   The position compensator 117 of FIG. 9 and the fine motion compensator 160 and the coarse motion compensator 161 of the position compensator 129 of FIG. 10 described above are classical controls such as PID (proportional, integral, differential), phase advance and phase lag. It may be based on any theory such as a theory, a state feedback based on a modern control theory that feeds back a state quantity (not shown), or a robust control theory represented by H∞ control.

実機に搭載する場合の形態について説明する。位置決め制御装置の位置補償器や速度補償器や位置補正部は、アナログ回路やASIC等の専用回路、もしくは、CPUやDSP等の演算器で構成することができる。ここでは位置決め制御装置専用にDSPを使用した例について図13に基づいて説明する。
制御演算専用のDSP139とホストCPU137は目標値の情報や、駆動モード等のデータの授受がホストインタフェース138を介して行われる。ホストインタフェース138はシリアルインタフェース、パラレルインタフェース、共有メモリ、所定のレジスタ等である。DSP139はROM140の演算プログラムに基づいて、制御演算を行う。演算時のデータはRAM141に記憶される。また、制御演算を速くするためにROM140にあるプログラムを初期化時にRAM141にロードしRAM上で実行することもある。
A form when mounted on an actual machine will be described. The position compensator, speed compensator, and position correction unit of the positioning control device can be configured by an analog circuit, a dedicated circuit such as an ASIC, or an arithmetic unit such as a CPU or DSP. Here, an example in which a DSP is used exclusively for the positioning control device will be described with reference to FIG.
The DSP 139 dedicated to the control operation and the host CPU 137 exchange information on target values and data such as drive modes via the host interface 138. The host interface 138 is a serial interface, a parallel interface, a shared memory, a predetermined register, or the like. The DSP 139 performs control calculation based on the calculation program stored in the ROM 140. Data at the time of calculation is stored in the RAM 141. In order to speed up the control calculation, a program in the ROM 140 may be loaded into the RAM 141 at the time of initialization and executed on the RAM.

エンコーダをインクリメンタル型のロータリエンコーダ143とし、エンコーダからはA相B相のパルスが出力されるものとすると、エンコーダからのパルスはカウンタ142によってカウントされる。一般的には、A相B相のパルスを4逓倍した値がカウントされ、A相B相の位相差からアップ/ダウンが判定される。DSP139はカウンタ142から位置情報を読み出し、所定の制御演算の結果に基づいて、指令電流値相当の値をDAC145へ設定する。DAC145は電流値相当の電圧をモータドライバ146へ与え、モータドライバ146はモータを駆動する。ここではモータドライバ146を電流制御ドライバとし、電流制御はドライバ内部で行うものとしたが、検出したモータ駆動電流をADC(図示略)を介してDSPへフィードバックし、DSPによって電流制御を行う構成もある。また、DSP139からDSPのバスを介して直接電圧値を設定できるモータドライバの構成もある。モータドライバの駆動方式も一般的にはPWM方式が主流であるが、精密なステージの場合、リニア方式もある。
エンコーダパルスから速度を検出する場合は、DSP139によって差分演算をする方法や、不図示のF/V変換回路による方法や、基本クロック(図示略)によってパルス間隔を測定する速度カウンタ等の方式がある。
Assuming that the encoder is an incremental rotary encoder 143, and the A-phase and B-phase pulses are output from the encoder, the counter 142 counts the pulses from the encoder. Generally, a value obtained by multiplying the A-phase B-phase pulse by 4 is counted, and the up / down is determined from the phase difference between the A-phase and the B-phase. The DSP 139 reads the position information from the counter 142 and sets a value corresponding to the command current value in the DAC 145 based on the result of a predetermined control calculation. The DAC 145 supplies a voltage corresponding to the current value to the motor driver 146, and the motor driver 146 drives the motor. Here, the motor driver 146 is a current control driver, and the current control is performed inside the driver. However, a configuration in which the detected motor drive current is fed back to the DSP via an ADC (not shown) and the current control is performed by the DSP. is there. There is also a motor driver configuration in which the voltage value can be set directly from the DSP 139 via the DSP bus. In general, the PWM method is the main driving method of the motor driver, but in the case of a precise stage, there is also a linear method.
When detecting the speed from the encoder pulse, there are a method of calculating a difference by the DSP 139, a method using an F / V conversion circuit (not shown), and a method such as a speed counter that measures a pulse interval by a basic clock (not shown). .

次に、本願の位置決め制御装置の動作を説明する(図14参照)。ここでは、位置決め制御に要する各ステップをDSP139が処理するものとし、図10〜図12のブロック線図に基づいて説明する。
ここでは、第1の制御ステップを粗動制御ステップ(S3)、第2の制御ステップを微動制御ステップ(S4)として説明する。加えて、ここでの説明の目標位置は正方向とする。よって、負方向の目標位置の場合は、位置偏差の符号やその大小の判定は変わってくる。正負の符号の問題から位置偏差の判定は、位置偏差の絶対値を用いても良い。
制御専用の演算器DSP139は目標位置xrefの情報をホストCPU137からホストインタフェース138を介して受け取る。DSP139は目標位置と現在位置との位置偏差exが所定の値ex1以上である場合(S2)、粗動制御ステップ(S3)を行う。粗動制御ステップ(S3)においてDSP139は、位置補償器および速度補償器内をそれぞれの粗動補償器に切換える。
Next, the operation of the positioning control device of the present application will be described (see FIG. 14). Here, it is assumed that the DSP 139 processes each step required for positioning control and will be described based on the block diagrams of FIGS.
Here, the first control step will be described as the coarse motion control step (S3), and the second control step will be described as the fine motion control step (S4). In addition, the target position described here is the forward direction. Therefore, in the case of the target position in the negative direction, the sign of the position deviation and the determination of its magnitude change. The absolute value of the position deviation may be used to determine the position deviation due to the sign problem.
The control DSP 139 dedicated to control receives information on the target position xref from the host CPU 137 via the host interface 138. If the position deviation ex between the target position and the current position is equal to or greater than the predetermined value ex1 (S2), the DSP 139 performs a coarse motion control step (S3). In the coarse motion control step (S3), the DSP 139 switches the position compensator and the velocity compensator to the respective coarse motion compensators.

ブロック線図中では、切換器162もしくは切換器165と表しているが、DSP139で処理する場合は、演算パラメータの変更や、呼び出す関数の変更等ソフトウェア的に切換えられる。比較器128では補正目標位置xrefとエンコーダ132からフィードバックされる位置情報が比較され位置偏差exが出力される。前記位置偏差exは位置補償器の粗動補償器161に入力され位置補償の演算が行われる。演算結果は、目標速度として出力されフィードバックされる速度情報と比較器130で比較され速度偏差evが出力される。前記速度偏差evは、速度補償器の粗動補償器164に入力され速度補償の演算が行われる。演算結果は、DAC等を介して目標電流値としてモータドライバ118に渡され、モータドライバ118は、目標電流値に応じた電流をサーボモータ119に流して駆動する。サーボモータが発生したトルクもしくは力は伝達機構部を介して、可動部を駆動する。   In the block diagram, it is expressed as a switch 162 or switch 165. However, when processing is performed by the DSP 139, it is switched by software such as change of calculation parameter or change of function to be called. The comparator 128 compares the corrected target position xref with the position information fed back from the encoder 132 and outputs a position deviation ex. The position deviation ex is input to a coarse motion compensator 161 of a position compensator to perform position compensation calculation. The calculation result is compared with the speed information output and fed back as the target speed by the comparator 130, and the speed deviation ev is output. The speed deviation ev is input to the coarse compensator 164 of the speed compensator, and the speed compensation is calculated. The calculation result is passed to the motor driver 118 as a target current value via a DAC or the like, and the motor driver 118 drives the servo motor 119 by passing a current corresponding to the target current value. Torque or force generated by the servo motor drives the movable part via the transmission mechanism part.

前記可動部にはエンコーダ120が取り付けられており、このエンコーダ120の位置情報と、位置情報から算出された速度情報がフィードバックされる。粗動制御ステップにおける機構モデルは、図6(a)で表される。なお、図9と図10では伝達機構部と可動部を合わせて、制御対象121として表している。
粗動制御ステップによる移動において、所定の位置偏差ex1よりも位置偏差が小さくなった場合(S2)、制御演算専用の演算器DSP139は微動制御ステップ(S4)を行い、位置補償器および速度補償器内をそれぞれの微動補償器に切換える。ブロック線図中では、切換器162もしくは切換器165と表しているが、DSP139で処理する場合は、演算パラメータの変更や、呼び出す関数の変更等ソフトウェア的に切換えられる。
An encoder 120 is attached to the movable part, and position information of the encoder 120 and speed information calculated from the position information are fed back. The mechanism model in the coarse motion control step is shown in FIG. 9 and 10, the transmission mechanism unit and the movable unit are collectively shown as the control object 121.
When the position deviation becomes smaller than the predetermined position deviation ex1 in the movement by the coarse movement control step (S2), the calculator DSP139 dedicated to the control calculation performs the fine movement control step (S4), and the position compensator and the speed compensator The inside is switched to each fine motion compensator. In the block diagram, it is expressed as a switch 162 or switch 165. However, when processing is performed by the DSP 139, it is switched by software such as change of calculation parameter or change of function to be called.

比較器128では補正目標位置xrefとエンコーダ132からフィードバックされる位置情報が比較され位置偏差exが出力される。前記位置偏差は位置補償器の微動補償器160に入力され位置補償の演算が行われる。演算結果は、目標速度として出力されてフィードバックされる速度情報と比較器130で比較され、速度偏差evが出力される。前記速度偏差evは、速度補償器の微動動補償器163に入力され速度補償の演算が行われる。演算結果は、DAC等を介して目標電流値としてモータドライバ118に渡され、モータドライバ118は、目標電流値に応じた電流をサーボモータ119に流し駆動する。サーボモータ119が発生したトルクもしくは力は伝達機構部を介して、可動部を駆動する。前記可動部にはエンコーダが取り付けられており、このエンコーダ132の位置情報と、位置情報から算出された速度情報がフィードバックされる。微動制御ステップにおける機構モデルは、図6(b)で表される。なお、図9と図10では伝達機構部と可動部を合わせて、制御対象121として表している。   The comparator 128 compares the corrected target position xref with the position information fed back from the encoder 132 and outputs a position deviation ex. The position deviation is input to the fine compensation compensator 160 of the position compensator and the position compensation is calculated. The calculation result is compared with the speed information output as the target speed and fed back by the comparator 130, and the speed deviation ev is output. The speed deviation ev is input to the fine motion compensator 163 of the speed compensator to perform speed compensation calculation. The calculation result is passed to the motor driver 118 as a target current value via a DAC or the like, and the motor driver 118 drives the servo motor 119 by passing a current corresponding to the target current value. The torque or force generated by the servo motor 119 drives the movable part via the transmission mechanism part. An encoder is attached to the movable part, and position information of the encoder 132 and speed information calculated from the position information are fed back. The mechanism model in the fine movement control step is shown in FIG. 9 and 10, the transmission mechanism unit and the movable unit are collectively shown as the control object 121.

上記説明では、パルスから位置、電流値から電圧値等の信号変換のための比例ゲインや目標値への追従性を向上させる効果があるフィードフォワードの説明は省略しているが、実機では実装することができる。
また、粗動制御ステップ、微動制御ステップともに図10の位置と速度のフィードバックループを持つ位置決め制御系について説明したが、位置決め制御系は、図9の位置フィードバックのみの位置決め制御系を使用しても良い。さらに、粗動制御ステップ(S3)では、図10の位置と速度のフィードバックループを持つ位置決め制御系を使用し、微動制御ステップ(S4)では、図9の位置フィードバックのみの位置決め制御系を使用しても良い。特に、微動制御ステップ(S4)ではエンコーダの分解能の関係から速度情報が粗くなってしまうので、そのために、位置制御フィードバックのみの位置決め制御系を使用することは有効な手段である。速度検出方法にエンコーダ情報を使用するのではなくタコジェネレータを使用する場合においても、低速領域ではS/Nが悪くなるため上記の方法は有効な手段である。
In the above description, the description of feedforward that has the effect of improving the proportional gain for signal conversion from pulse to position, current value to voltage value, etc. and the followability to the target value is omitted, but it is implemented in the actual machine be able to.
Further, the positioning control system having the position and speed feedback loop of FIG. 10 has been described in both the coarse motion control step and the fine motion control step. However, the positioning control system may use the positioning control system of only the position feedback of FIG. good. Further, in the coarse motion control step (S3), the positioning control system having the position and speed feedback loop of FIG. 10 is used, and in the fine motion control step (S4), the positioning control system of only the position feedback of FIG. 9 is used. May be. In particular, in the fine movement control step (S4), the speed information becomes coarse due to the resolution of the encoder. Therefore, it is an effective means to use a positioning control system with only position control feedback. Even when the tachometer is used instead of the encoder information for the speed detection method, the above method is an effective means because the S / N deteriorates in the low speed region.

上記動作の説明では、粗動コントローラと微動コントローラの切換え、および、粗動制御ステップ、微動制御ステップを制御演算専用のDSP139が行うものとして説明したが、ホストインタフェース138を介して、ホストCPU137とDSP139が目標位置やエンコーダ情報や動作フラグ等のハンドシェークを行うことによって、ホストCPU137が現在位置xを常時管理し、それに応じたステップに切換えることができる。ステップの切換えはホストCPU137内でソフトウェア的に行い、その結果に基づいてホストインタフェースを介し動作フラグ等で動作命令をDSP139に伝達する。この動作命令を受けたDSP139はDSP139内部に構成されている図11や図12に示されるような位置補償器や速度補償器を切換えることが可能となり、これによって、DSP139は制御演算に特化することができる。また、ここでは制御用の演算をDSP139で行う例を説明したが、制御演算の高速化もしくは演算回路の低コスト化のために演算器をアナログ回路とし、ホストCPU137でステップを管理しても良い。この場合、回路の切換えはホストCPU137の指令によってアナログスイッチ等で切換えることができる。   In the above description of the operation, it has been described that the DSP 139 dedicated to control computation performs the switching between the coarse motion controller and the fine motion controller, and the coarse motion control step and the fine motion control step. However, the host CPU 137 and the DSP 139 are connected via the host interface 138. By performing handshaking of the target position, encoder information, operation flag, etc., the host CPU 137 can always manage the current position x and switch to the corresponding step. Step switching is performed by software in the host CPU 137, and an operation command is transmitted to the DSP 139 by an operation flag or the like via the host interface based on the result. Upon receiving this operation command, the DSP 139 can switch the position compensator and the speed compensator as shown in FIG. 11 and FIG. 12 configured in the DSP 139, so that the DSP 139 specializes in control calculation. be able to. Further, here, an example in which the control calculation is performed by the DSP 139 has been described. However, in order to increase the speed of the control calculation or to reduce the cost of the calculation circuit, the calculation unit may be an analog circuit, and the host CPU 137 may manage the steps. . In this case, the circuit can be switched by an analog switch or the like according to a command from the host CPU 137.

上記の説明において、粗動制御ステップ(S3)と微動制御ステップ(S4)との切換えは、位置偏差exの所定の値ex1に対する大小で判断している(S5)が、振動やノイズによって前記ステップの切換えが上手くいかずに不安定化や振動が発生する可能性がある。そこで、切換え基準の値にヒステリシスを持たせることにし、そのために粗動制御ステップから微動制御ステップへの切換え基準を位置偏差ex1とし、微動制御ステップから粗動制御ステップへの切換え基準を位置偏差ex2とし、この基準の位置偏差ex1を位置偏差ex2よりも小さい値とする。
|ex1|<|ex2| (1)
これによって、粗動制御ステップから微動制御ステップへの切換えは滑らかであり、多少の振動等によって微動制御ステップから粗動制御ステップへ切換わってしまうことはない。
切換え基準にヒステリシスを持たせたときの粗動制御ステップと微動制御ステップの切換え動作も図14(フロー図)に示すフローによって行われる。
In the above description, the switching between the coarse motion control step (S3) and the fine motion control step (S4) is determined based on the magnitude of the position deviation ex with respect to the predetermined value ex1 (S5). Switching may not be successful and may cause instability and vibration. Therefore, the switching reference value is provided with hysteresis, and for this purpose, the switching reference from the coarse motion control step to the fine motion control step is the position deviation ex1, and the switching reference from the fine motion control step to the coarse motion control step is the position deviation ex2. The reference position deviation ex1 is set to a value smaller than the position deviation ex2.
| Ex1 | <| ex2 | (1)
As a result, the switching from the coarse motion control step to the fine motion control step is smooth, and there is no switching from the fine motion control step to the coarse motion control step due to some vibration or the like.
The switching operation between the coarse motion control step and the fine motion control step when hysteresis is given to the switching reference is also performed according to the flow shown in FIG. 14 (flow diagram).

上記で説明した本願の位置決め制御装置を、インクジェット記録方式の画像形成装置の副走査記録紙搬送機構に適用するときのその機構は、図1から図3、図5に示すように、また、制御系は、図9ないし図10に示すように構成され、
その位置決め制御装置は図13のように構成され、その切換え動作は図14のフローによって行われる。
As shown in FIGS. 1 to 3 and 5, when the above-described positioning control device of the present application is applied to the sub-scanning recording paper transport mechanism of the image forming apparatus of the ink jet recording system, the control is performed as shown in FIGS. The system is configured as shown in FIGS.
The positioning control device is configured as shown in FIG. 13, and the switching operation is performed according to the flow shown in FIG.

以上、画像形成装置とリニアステージを例に実施例の構成及び動作の説明を行ったが、伝達機構を介して動力を伝達(直動でない)し、対象物の負荷が大きく低剛性な機構を高精度で位置決めするものであれば、本発明を適用できる。
例えば、ベルト搬送機構でベルト上の被対象物を高精度で位置決めする場合等が考えられる。
As described above, the configuration and operation of the embodiment have been described by taking the image forming apparatus and the linear stage as examples. However, a mechanism that transmits power (not linear motion) via the transmission mechanism and has a large load on the object and low rigidity is provided. The present invention can be applied as long as positioning is performed with high accuracy.
For example, a case where the object on the belt is positioned with high accuracy by the belt conveyance mechanism is conceivable.

は、本発明に係る紙搬送装置を備えたインクジェット記録装置の一例を示す断面構成図である。These are cross-sectional block diagrams which show an example of the inkjet recording device provided with the paper conveying apparatus based on this invention. は、図1のインクジェット記録装置における録紙搬送装置1の構成を詳しく示す詳細図である。FIG. 2 is a detailed view showing in detail the configuration of a recording paper transport apparatus 1 in the ink jet recording apparatus of FIG. 1. は、図1のインクジェット記録装置における印字部の拡大側面図である。FIG. 2 is an enlarged side view of a printing unit in the ink jet recording apparatus of FIG. 1. 記録紙搬送装置のプーリと搬送ローラと位置検出器(エンコーダ)と配置関係を示す正面図である。FIG. 3 is a front view illustrating a positional relationship between a pulley, a conveyance roller, and a position detector (encoder) of the recording paper conveyance device. は、工作機械や製造装置や検査装置等に用いられるリニアステージの一例の側面図である。These are side views of an example of a linear stage used in a machine tool, a manufacturing apparatus, an inspection apparatus, or the like. は、記録紙搬送装置にも使用されているベルト搬送機構の伝達機構の側面図であるThese are side views of a transmission mechanism of a belt conveyance mechanism that is also used in a recording paper conveyance device. (a)は、モータ駆動トルクによる慣性系の応答をばねと質量のモデルで表す模式図、(b)は、可動部にバネk2が付加された慣性系の応答をばねと質量のモデルで表す模式図である。(A) is a schematic diagram showing the response of the inertial system due to the motor driving torque as a spring and mass model, and (b) is the response of the inertial system with the spring k2 added to the movable part as a model of the spring and mass. It is a schematic diagram. は、プーリ203が移動距離換算で数μm〜数十μm相当動く領域(弾性領域)でのプーリ静電吸着ベルト表面の変位についての、トルク−変位の応答を示す相関図である。These are the correlation diagrams which show the response of the torque-displacement about the displacement of the pulley electrostatic attraction belt surface in the area | region (elastic area | region) to which the pulley 203 moves equivalent to several micrometers-several tens of micrometers in conversion of movement distance. は、プーリ203が移動距離換算で数十μm〜数百μm相当動く領域(ヒステリシスが大きい遷移領域)でのプーリと静電吸着ベルト表面の変位についてのトルク−変位の応答を示す相関図である。These are correlation diagrams showing the torque-displacement response for the displacement of the pulley and the surface of the electrostatic attraction belt in a region where the pulley 203 moves equivalent to several tens of μm to several hundreds of μm in terms of moving distance (transition region where hysteresis is large). . は、一般的な位置決め制御系のブロック線図であり、位置のフィードバックループのみからなる位置決め制御系のブロック線図である。FIG. 3 is a block diagram of a general positioning control system, and is a block diagram of a positioning control system including only a position feedback loop. は、一般的な位置決め制御系のブロック線図であり、位置と速度のフィードバックループからなる位置決め制御系のブロック線図である。FIG. 3 is a block diagram of a general positioning control system, which is a block diagram of a positioning control system including a position and speed feedback loop. は、図9の位置のフィードバックループのみからなる位置決め制御系、および図10の位置と速度のフィードバックループからなる位置決め制御系の場合における位置補償器117,119の内部の構成の一例を示すブロック線図である。9 is a block line showing an example of the internal configuration of the position compensators 117 and 119 in the case of the positioning control system consisting only of the position feedback loop of FIG. 9 and the positioning control system consisting of the position and velocity feedback loop of FIG. FIG. は、図10の位置と速度のフィードバックループからなる位置決め制御系の場合における速度補償器131の内部の構成の一例を示すブロック線図である。FIG. 11 is a block diagram showing an example of an internal configuration of a speed compensator 131 in the case of a positioning control system including the position and speed feedback loop of FIG. 10. は、位置決め制御装置専用にDSPを使用した例の説明図である。These are explanatory drawings of the example which uses DSP exclusively for a positioning control apparatus. は、位置決め制御装置専用にDSPを使用した例のフローチャートである。These are the flowcharts of the example which uses DSP exclusively for a positioning control apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

1:記録紙搬送装置
2:静電吸着ベルト
3:搬送ローラ
4:テンションローラ
8:コードホイール
9:エンコーダセンサ
10:プラテン
17:排紙ローラ
18:拍車
22:印字ヘッド
111:ボールねじ
112:キャリッジ
113,201:モータ
114:リニアエンコーダ
116、128,130:比較器
117、129:位置補償器
118:ドライバ
119:サーボモータ
120、132:位置検出器(エンコーダ)
121:制御対象
131:速度補償器
160,163:微動補償器
161,164:粗動補償器
162,165:切換器
203:プーリ
204:タイミングベルト
1: recording paper transport device 2: electrostatic adsorption belt 3: transport roller 4: tension roller 8: code wheel 9: encoder sensor 10: platen 17: paper discharge roller 18: spur 22: print head 111: ball screw 112: carriage 113, 201: Motor 114: Linear encoder 116, 128, 130: Comparator 117, 129: Position compensator 118: Driver 119: Servo motor 120, 132: Position detector (encoder)
121: Control target 131: Speed compensator 160, 163: Fine motion compensator 161, 164: Coarse motion compensator 162, 165: Switch 203: Pulley 204: Timing belt

Claims (11)

単一のモータとモータの駆動力を伝達する伝達機構部と、モータの駆動力が伝達されて駆動される可動部と、位置検出器からなる位置決め機構と、前記位置検出器の出力をフィードバックし、所定の演算をおこなう制御演算部と、制御演算部の出力に基づいて前記モータを駆動するドライバ部からなる制御機構とから構成され、前記伝達機構部もしくは前記可動部が捩れ特性を示す低剛性な部材から構成されていて、目標位置に位置決め制御を行う位置決め制御装置において、
前記可動部に前記伝達機構部が付随する場所から離れた位置に前記位置検出器を配置し、合わせて、前記捩れ特性を考慮した前記制御演算部を備えていることを特徴とする位置決め制御装置。
A single motor, a transmission mechanism that transmits the driving force of the motor, a movable portion that is driven by transmission of the driving force of the motor, a positioning mechanism that includes a position detector, and an output of the position detector are fed back. A low-rigidity structure including a control calculation unit that performs a predetermined calculation and a control mechanism that includes a driver unit that drives the motor based on the output of the control calculation unit, and the transmission mechanism unit or the movable unit exhibits torsional characteristics. In a positioning control device that is configured from a member and performs positioning control at a target position,
A positioning control device comprising: the position calculation unit disposed at a position away from a place where the transmission mechanism unit is attached to the movable unit, and the control calculation unit considering the torsion characteristics. .
請求項1の位置決め制御装置において、
可動部が大きく移動するときの特性を考慮した第1のコントローラと、微小領域の特性を考慮した第2のコントローラを備えた前記制御演算部と、
目標位置を設定し、第1のコントローラによって位置決めを行う第1の制御ステップと、目標位置に対して所定の位置偏差に達したとき、第2のコントローラによって位置決めを行う第2の制御ステップを備えていることを特徴とする位置決め制御装置。
The positioning control device according to claim 1,
A control controller including a first controller that takes into account characteristics when the movable part largely moves; and a second controller that takes into account characteristics of a minute region;
A first control step for setting a target position and performing positioning by the first controller; and a second control step for performing positioning by the second controller when a predetermined positional deviation is reached with respect to the target position. A positioning control device characterized by that.
前記第2のコントローラは、前記第1のコントローラよりも制御対象の次数が大きくなることを考慮して構成されていることを特徴とする請求項2の位置決め制御装置。   The positioning control device according to claim 2, wherein the second controller is configured in consideration of the fact that the order of the control target is larger than that of the first controller. 前記第1の制御ステップと前記第2の制御ステップの切換えを行う所定の位置偏差にヒステリシスを与えていることを特徴とする請求項2の位置決め制御装置。   The positioning control device according to claim 2, wherein hysteresis is given to a predetermined position deviation for switching between the first control step and the second control step. 前記第1の制御ステップと前記第2の制御ステップは、上位にある演算器によって切換えられることを特徴とする請求項2の位置決め制御装置。   3. The positioning control apparatus according to claim 2, wherein the first control step and the second control step are switched by a computing unit at a higher level. 前記第1の制御ステップと前記第2の制御ステップは前記制御演算部を構成する演算器によって切換えられることを特徴とする請求項2の位置決め制御装置。   3. The positioning control device according to claim 2, wherein the first control step and the second control step are switched by a calculator that constitutes the control calculation unit. 請求項1乃至請求項6の位置決め制御装置を備えていることを特徴とする画像形成装置。   An image forming apparatus comprising the positioning control device according to claim 1. 制御目標値とフィードバックされた位置情報が比較器で比較され、その出力が位置偏差として位置補償器へ入力され、
上記位置補償器では所定のゲインの乗算や所定のフィルタ処理がされ、電圧指令値もしくは電流指令値として出力され、ドライバへ入力される請求項2の位置決め制御装置。
The control target value and the fed back position information are compared by the comparator, and the output is input as a position deviation to the position compensator.
3. The positioning control device according to claim 2, wherein the position compensator performs multiplication of a predetermined gain and predetermined filtering, and outputs the voltage command value or the current command value to the driver.
上記位置補償器が微動補償器と粗動補償器とこれらの切換器とによって構成されている請求項8の位置決め制御装置。   9. The positioning control device according to claim 8, wherein the position compensator is constituted by a fine motion compensator, a coarse motion compensator, and a switch between them. 制御目標値とフィードバックされた位置情報が比較器で比較され、その出力が位置偏差として位置補償器へ入力され、
上記位置補償器で所定のゲインの乗算や所定のフィルタ処理がされて目標速度が出力され、
出力された目標速度とフィードバックされる速度情報が比較器で比較され、その出力が速度偏差として速度補償器へ入力され、
速度補償器からは所定のゲインの乗算や所定のフィルタ処理がされて電圧指令値もしくは電流指令値が出力され、ドライバへ入力される請求項2の位置決め制御装置。
The control target value and the fed back position information are compared by the comparator, and the output is input as a position deviation to the position compensator.
The position compensator performs a predetermined gain multiplication or a predetermined filter process to output a target speed,
The output target speed and the speed information to be fed back are compared by a comparator, and the output is input as a speed deviation to the speed compensator.
3. The positioning control device according to claim 2, wherein a voltage command value or a current command value is output from the speed compensator by a predetermined gain multiplication or a predetermined filter process and input to the driver.
位置補償器、速度補償器が 微動補償器と粗動補償器とこれらの切換器とによって構成されている請求項10の位置決め制御装置。   11. The positioning control device according to claim 10, wherein the position compensator and the speed compensator are constituted by a fine motion compensator, a coarse motion compensator, and a switch between them.
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