JP2007237113A - Apparatus for supplying ozone water - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an apparatus for supplying ozone water capable of supplying an intended amount of ozone water of a high ozone concentration. <P>SOLUTION: The apparatus 1 for supplying ozone water equipped with a production apparatus 7 for producing ozone water by dissolving ozone gas into water, a supply pipe 3 for supplying ozone water prepared by the production apparatus 7 of ozone water to a use point, a discharge pipe 4 for discharging ozone water branched from the supply pipe 3 for supplying ozone water, and an on-off valve 10 for opening and closing the discharge pipe 4 for discharging ozone water is constituted in such a manner that the flow rate of the ozone water to be supplied to the use point can be adjusted by adjusting the degree of opening the on-off valve 10. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、高濃度のオゾン水をユースポイントへ供給するオゾン水供給装置に関する。   The present invention relates to an ozone water supply device that supplies high-concentration ozone water to a use point.

オゾン水は、電子部品のウェット洗浄やフォト工程でのレジスト剥離などに従来から使用されている。このオゾン水を製造して、ユースポイントへ供給するオゾン水供給装置としては、例えば、特許文献１に開示されているオゾン水供給装置が知られている。   Ozone water has been conventionally used for wet cleaning of electronic parts and resist removal in a photo process. As an ozone water supply device that manufactures ozone water and supplies it to a use point, for example, an ozone water supply device disclosed in Patent Document 1 is known.

このオゾン水供給装置１００は、図３に示すように、水を供給する水供給管１１８およびオゾンガスを供給するオゾンガス供給管１２８に接続され、水にオゾンガスを溶解させることによりオゾン水を製造するオゾン水製造装置１１３と、オゾン水製造装置１１３により製造されたオゾン水とオゾンガスとを分離する気液分離装置１１７と、オゾン水をユースポイントへ供給するオゾン水供給管１２７とを備えるオゾン水供給装置であって、オゾン水供給管１２７を開閉する開閉弁１１６を備え、開閉弁１１６の開度調整によりユースポイントへ供給するオゾン水の流量を調整可能に構成されている。
特開２００３−２１０９５６号公報 As shown in FIG. 3, the ozone water supply apparatus 100 is connected to a water supply pipe 118 that supplies water and an ozone gas supply pipe 128 that supplies ozone gas, and ozone that produces ozone water by dissolving ozone gas in water. An ozone water supply device comprising a water production device 113, a gas-liquid separation device 117 that separates ozone water and ozone gas produced by the ozone water production device 113, and an ozone water supply pipe 127 that supplies ozone water to a use point. The on-off valve 116 for opening and closing the ozone water supply pipe 127 is provided, and the flow rate of the ozone water supplied to the use point can be adjusted by adjusting the opening degree of the on-off valve 116.
JP 2003-210956 A

しかし、このようなオゾン水供給装置１００では、特に加圧して高濃度オゾン水を造る場合、ユースポイントへ供給するオゾン水の流量を所望の量に調整するために、開閉弁１１６の開度を絞ると、開閉弁１１６での圧力差が大きくなり、開閉弁１１６を通過したオゾン水の圧力が急激に低下する。これにより、オゾン水に溶解していたオゾンガスが気化し、オゾン水のオゾン濃度が大きく低下するので、高濃度のオゾン水をユースポイントへ供給できないという問題があった。   However, in such an ozone water supply device 100, particularly when high-pressure ozone water is produced by pressurization, the opening / closing valve 116 is opened to adjust the flow rate of ozone water supplied to the use point to a desired amount. When throttled, the pressure difference at the on-off valve 116 increases, and the pressure of the ozone water that has passed through the on-off valve 116 suddenly decreases. As a result, the ozone gas dissolved in the ozone water is vaporized and the ozone concentration of the ozone water is greatly reduced, so that there is a problem that high-concentration ozone water cannot be supplied to the use point.

本発明は、上記問題を解決するためになされたものであって、高濃度のオゾン水を所望の流量で供給することができるオゾン水供給装置の提供を目的とする。   The present invention has been made to solve the above problem, and an object thereof is to provide an ozone water supply device capable of supplying high-concentration ozone water at a desired flow rate.

本発明の前記目的は、水にオゾンガスを溶解させることによりオゾン水を製造するオゾン水製造装置と、前記オゾン水製造装置により製造されたオゾン水をユースポイントへ供給するオゾン水供給管とを備えるオゾン水供給装置であって、前記オゾン水供給管から分岐してオゾン水を排出するオゾン水排出管と、前記オゾン水排出管を開閉する開閉弁とを備え、前記開閉弁の開度調整によりユースポイントへ供給するオゾン水の流量を調整可能に構成されているオゾン水供給装置により達成される。   The object of the present invention includes an ozone water production apparatus for producing ozone water by dissolving ozone gas in water, and an ozone water supply pipe for supplying ozone water produced by the ozone water production apparatus to a use point. An ozone water supply device, comprising: an ozone water discharge pipe that branches off from the ozone water supply pipe and discharges ozone water; and an on-off valve that opens and closes the ozone water discharge pipe, and is configured by adjusting an opening of the on-off valve. This is achieved by an ozone water supply device configured to be capable of adjusting the flow rate of ozone water supplied to the use point.

また、上記のオゾン水供給装置は、前記オゾン水排出管を通過するオゾン水の流量を検出する流量検出器と、前記流量検出器での検出値に基づいて前記開閉弁の開度調整を行うことによりユースポイントへ供給するオゾン水の流量を調整する開閉制御手段とを備えることが好ましい。   The ozone water supply device adjusts the opening of the on-off valve based on a flow rate detector that detects the flow rate of the ozone water that passes through the ozone water discharge pipe, and a value detected by the flow rate detector. It is preferable to include an opening / closing control means for adjusting the flow rate of the ozone water supplied to the use point.

また、前記オゾン水供給管は、径の異なる２以上のフッ素樹脂チューブからなることが好ましい。   The ozone water supply pipe is preferably composed of two or more fluororesin tubes having different diameters.

また、前記オゾン水排出管は、前記オゾン水製造装置に接続されており、排出されるオゾン水を前記オゾン水製造装置に供給可能に構成されていることが好ましい。   Moreover, it is preferable that the said ozone water discharge pipe is connected to the said ozone water manufacturing apparatus, and is comprised so that the discharged ozone water can be supplied to the said ozone water manufacturing apparatus.

本発明のオゾン水供給装置によれば、高濃度のオゾン水を所望の流量で供給することができる。   According to the ozone water supply device of the present invention, high-concentration ozone water can be supplied at a desired flow rate.

以下、本発明の実態形態について添付図面を参照して説明する。図１は、本発明の一実施形態に係るオゾン水供給装置１の概略構成図である。このオゾン水供給装置１は、オゾン水を製造するオゾン水製造装置７と、オゾン水をユースポイントへ供給するオゾン水供給管３と、オゾン水を排出するオゾン水排出管４とを備えている。   Hereinafter, actual forms of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an ozone water supply device 1 according to an embodiment of the present invention. The ozone water supply apparatus 1 includes an ozone water production apparatus 7 that produces ozone water, an ozone water supply pipe 3 that supplies ozone water to a use point, and an ozone water discharge pipe 4 that discharges ozone water. .

オゾン水製造装置７としては、純水にオゾンガスを溶解させることによりオゾン水を製造する公知のものを使用することができ、本実施形態では、エゼクタ２６と、加圧ポンプ２７と、気液分離装置２８とを備えている。   As the ozone water production apparatus 7, a known apparatus for producing ozone water by dissolving ozone gas in pure water can be used. In this embodiment, the ejector 26, the pressure pump 27, and the gas-liquid separation are used. Device 28.

エゼクタ２６は、純水を貯留している純水タンク２１から純水を供給する純水供給管８、および、オゾンガスを製造するオゾンガス発生装置２３からオゾンガスを供給するオゾンガス供給管９に接続されており、導入される純水の水流によりオゾンガスを吸引して、純水とオゾンガスとを混合するように構成されている。導入される純水は、公知の純水製造装置により製造することができ、純水製造装置としては、例えば、逆浸透純水製造装置を使用することができ、純度の高い超純水を製造できるように、イオン交換樹脂等のカートリッジを備えることが好ましい。また、オゾンガス発生装置２３としては、例えば、純水を電気分解して高濃度のオゾンガスを発生させる電解法オゾンガス発生装置を使用することができる。純水供給管８およびオゾンガス供給管９は、管路の途中にそれぞれ純水供給弁３１およびオゾンガス供給弁３３を備えており、それぞれの弁の開度調整により供給する純水およびオゾンガスの流量を調整可能に構成されている。   The ejector 26 is connected to a pure water supply pipe 8 that supplies pure water from a pure water tank 21 that stores pure water, and an ozone gas supply pipe 9 that supplies ozone gas from an ozone gas generator 23 that produces ozone gas. In addition, the ozone gas is sucked by the flow of pure water introduced, and the pure water and the ozone gas are mixed. The pure water to be introduced can be produced by a known pure water production apparatus. As the pure water production apparatus, for example, a reverse osmosis pure water production apparatus can be used to produce ultrapure water with high purity. It is preferable to provide a cartridge such as an ion exchange resin so that it can be used. As the ozone gas generator 23, for example, an electrolytic ozone gas generator that electrolyzes pure water to generate high-concentration ozone gas can be used. The pure water supply pipe 8 and the ozone gas supply pipe 9 are respectively provided with a pure water supply valve 31 and an ozone gas supply valve 33 in the middle of the pipelines, and the flow rates of pure water and ozone gas supplied by adjusting the opening of the respective valves are adjusted. It is configured to be adjustable.

加圧ポンプ２７は、エゼクタ２６で生成された純水とオゾンガスとの混合流体を移送する混合管１７に接続されており、移送されてきた混合流体を加圧することによりオゾン水を製造するように構成されている。この加圧ポンプ２７としては、オゾンガスに対する耐性に優れていることから、フッ素樹脂製のベローズポンプを用いることが好ましい。   The pressurizing pump 27 is connected to a mixing pipe 17 that transfers a mixed fluid of pure water and ozone gas generated by the ejector 26, and produces ozone water by pressurizing the transferred mixed fluid. It is configured. As the pressurizing pump 27, it is preferable to use a bellows pump made of a fluororesin because of its excellent resistance to ozone gas.

気液分離装置２８は、加圧ポンプ２７で加圧されたオゾン水を移送する移送管１８に接続されており、内部に配設された液体サイクロンにより、圧送されてきたオゾン水と純水に溶解していない余剰のオゾンガスとを分離可能に構成されている。また、気液分離装置２８は、オゾン水供給管３およびオゾンガス排出管１９に接続されており、分離されたオゾン水をオゾン水供給管３へ送り、余剰のオゾンガスを、オゾンガス排出管１９を介して図示しないオゾンガス分解装置へ移送するように構成されている。オゾンガス分解装置へ移送されたオゾンガスは、酸素に分解される。オゾンガス排出管１９の途中にはオゾンガス排出弁３４が設けられており、オゾンガス排出弁３４の開度調整によりオゾンガス排出管１９から排出されるオゾンガスの流量を調整可能に構成されている。   The gas-liquid separator 28 is connected to a transfer pipe 18 that transfers ozone water pressurized by the pressurizing pump 27. The gas-liquid separation device 28 converts the ozone water and pure water that have been pressure-fed by a liquid cyclone disposed therein. It is configured to be separable from excess ozone gas that has not been dissolved. The gas-liquid separator 28 is connected to the ozone water supply pipe 3 and the ozone gas discharge pipe 19. The separated ozone water is sent to the ozone water supply pipe 3, and surplus ozone gas is passed through the ozone gas discharge pipe 19. Then, it is configured to be transferred to an ozone gas decomposition apparatus (not shown). The ozone gas transferred to the ozone gas decomposing apparatus is decomposed into oxygen. An ozone gas discharge valve 34 is provided in the middle of the ozone gas discharge pipe 19 so that the flow rate of the ozone gas discharged from the ozone gas discharge pipe 19 can be adjusted by adjusting the opening degree of the ozone gas discharge valve 34.

オゾン水供給管３は、図２に示すように、径の異なる２以上のフッ素樹脂チューブ４１、４２からなり、気液分離装置２８からオゾン水供給管３へ送出されたオゾン水が、オゾン水供給管３の圧力損失が気液分離装置２８とユースポイントとの圧力差にほぼ等しくなるような構成を考案することにより、ユースポイントの圧力まで徐々に圧力を下げられ、オゾン水供給管３の先端から吐出されるように構成されている。本実施形態では、オゾン水供給管３は、上流側に大径管４１を備え、下流側に大径管４１より径が小さい小径管４２を備えている。このオゾン水供給管３は、管の途中に弁を設けることなく、大径管４１および小径管４２の長さをそれぞれ変更することにより、管内におけるオゾン水の圧力損失を調整し、ユースポイントへ供給されるオゾン水の圧力を調整できるように構成されている。この場合、径が規格化されている市販品のフッ素樹脂チューブを大径管４１および小径管４２として用い、長さをそれぞれ変更して組み合わせることによりオゾン水供給管３を製造することができる。これにより、製造コストを抑えることができる。   As shown in FIG. 2, the ozone water supply pipe 3 is composed of two or more fluororesin tubes 41 and 42 having different diameters. The ozone water sent from the gas-liquid separator 28 to the ozone water supply pipe 3 is ozone water. By devising a configuration in which the pressure loss of the supply pipe 3 becomes substantially equal to the pressure difference between the gas-liquid separator 28 and the use point, the pressure can be gradually reduced to the pressure of the use point, and the ozone water supply pipe 3 It is comprised so that it may discharge from a front-end | tip. In the present embodiment, the ozone water supply pipe 3 includes a large-diameter pipe 41 on the upstream side and a small-diameter pipe 42 having a smaller diameter than the large-diameter pipe 41 on the downstream side. This ozone water supply pipe 3 adjusts the pressure loss of ozone water in the pipe by changing the lengths of the large diameter pipe 41 and the small diameter pipe 42 without providing a valve in the middle of the pipe, to the use point. It is comprised so that the pressure of the supplied ozone water can be adjusted. In this case, the ozone water supply pipe 3 can be manufactured by using commercially available fluororesin tubes with standardized diameters as the large-diameter pipe 41 and the small-diameter pipe 42 and combining them with different lengths. Thereby, manufacturing cost can be held down.

オゾン水排出管４は、オゾン水供給管３のユースポイントに近い途中の分岐部４５から分岐しており、オゾン水供給管３を通過するオゾン水の一部が分岐してオゾン水排出管４側へ流れるように構成されている。   The ozone water discharge pipe 4 is branched from a branching portion 45 in the middle of the use point of the ozone water supply pipe 3, and a part of the ozone water passing through the ozone water supply pipe 3 is branched and the ozone water discharge pipe 4. It is configured to flow to the side.

また、オゾン水排出管４は、オゾン水排出管４を開閉する開閉弁１０を備えており、開閉弁１０の開度調整は、開閉制御装置１２により行われる。開閉弁１０としては、開度を連続的に変化させることができるニードル弁などを使用することができ、オゾンガスに対する耐性に優れることから、フッ素樹脂製の弁を使用することが好ましい。開閉制御装置１２は、ユースポイントへ供給するオゾン水の流量を入力可能な入力装置１４と、オゾン水排出管４を通過するオゾン水の流量を検出する流量検出器１３とに接続されており、入力装置１４での入力値および流量検出器１３での検出値に基づいて開閉弁１０の開度を調整することにより、ユースポイントへ供給するオゾン水の流量を調整可能に構成されている。   The ozone water discharge pipe 4 includes an opening / closing valve 10 that opens and closes the ozone water discharge pipe 4, and the opening / closing control of the opening / closing valve 10 is performed by an opening / closing control device 12. As the on-off valve 10, a needle valve capable of continuously changing the opening degree can be used, and since it is excellent in resistance to ozone gas, it is preferable to use a fluorine resin valve. The opening / closing control device 12 is connected to an input device 14 capable of inputting the flow rate of ozone water supplied to the use point and a flow rate detector 13 for detecting the flow rate of ozone water passing through the ozone water discharge pipe 4. By adjusting the opening of the on-off valve 10 based on the input value at the input device 14 and the detection value at the flow rate detector 13, the flow rate of the ozone water supplied to the use point can be adjusted.

また、オゾン水排出管４は、純水タンク２１に接続されており、排出されたオゾン水を、純水供給管８を介してエゼクタ２６へ再度供給できるように構成されている。また、オゾン水排出管４は、純水タンク２１を介さずに純水供給管８に接続されており、排出されたオゾン水を、純水タンク２１を経由せずにエゼクタ２６に直接供給する構成であってもよい。オゾン水排出管４には、冷却装置４８が設けられており、この冷却装置４８は、図示しない冷却塔との間で冷却水を循環させることにより、オゾン水排出管４を通過するオゾン水を冷却するように構成されている。冷却装置４８は、純水供給管８の途中に設けられていてもよい。   The ozone water discharge pipe 4 is connected to the pure water tank 21 so that the discharged ozone water can be supplied again to the ejector 26 via the pure water supply pipe 8. The ozone water discharge pipe 4 is connected to the pure water supply pipe 8 without going through the pure water tank 21, and supplies the discharged ozone water directly to the ejector 26 without going through the pure water tank 21. It may be a configuration. The ozone water discharge pipe 4 is provided with a cooling device 48. The cooling device 48 circulates the cooling water between the ozone water discharge pipe 4 and a cooling tower (not shown), so that the ozone water passing through the ozone water discharge pipe 4 is removed. It is configured to cool. The cooling device 48 may be provided in the middle of the pure water supply pipe 8.

次に、以上のように構成されたオゾン水供給装置１を用いてオゾン水をユースポイントへ供給する方法を説明する。   Next, a method for supplying ozone water to a use point using the ozone water supply apparatus 1 configured as described above will be described.

まず、入力装置１４に所望の流量を入力することにより、ユースポイントへ供給するオゾン水の流量を所望の値に設定する。   First, by inputting a desired flow rate to the input device 14, the flow rate of ozone water supplied to the use point is set to a desired value.

次に、純水供給弁３１、オゾンガス供給弁３３およびオゾンガス排出弁３４をいずれも開状態にすることにより、純水タンク２１内の純水およびオゾンガス発生装置２３で生成されたオゾンガスを、それぞれ、純水供給管８およびオゾンガス供給管９を介してエゼクタ２６へ供給する。エゼクタ２６に導入される純水は、高度に精製された超純水であることが好ましい。   Next, the pure water supply valve 31, the ozone gas supply valve 33, and the ozone gas discharge valve 34 are all opened, so that the pure water in the pure water tank 21 and the ozone gas generated by the ozone gas generator 23 are respectively changed. It is supplied to the ejector 26 through the pure water supply pipe 8 and the ozone gas supply pipe 9. The pure water introduced into the ejector 26 is preferably highly purified ultrapure water.

エゼクタ２６に導入された純水およびオゾンガスは、エゼクタ２６および混合管１７を通過する過程で十分に混合されて混合流体となる。その後、この混合流体が加圧装置２７で加圧されることにより、オゾンガスが純水に溶解し、オゾン水が製造される。加圧装置２７では、高濃度のオゾン水を得るために、オゾンガスを０.５〜０.６ＭｐａｓＧまで加圧することが好ましい。   The pure water and ozone gas introduced into the ejector 26 are sufficiently mixed in the process of passing through the ejector 26 and the mixing tube 17 to become a mixed fluid. Thereafter, the mixed fluid is pressurized by the pressurizing device 27, whereby the ozone gas is dissolved in pure water, and ozone water is produced. In the pressurizing device 27, it is preferable to pressurize the ozone gas to 0.5 to 0.6 MpasG in order to obtain high-concentration ozone water.

加圧されたオゾン水は、移送管１８を介して気液分離装置２８へ圧送され、オゾン水と余剰のオゾンガスとに分離される。その後、気液分離装置２８内のオゾン水は、オゾン水供給管３を通じてユースポイント付近まで送られ、一部は、ユースポイントの手前の分岐部４５でオゾン水供給管３から分岐して、オゾン水排出管４側へ流れる。また、残りのオゾン水は、分岐部４５より下流側のオゾン水供給管３からユースポイントへ供給される。   The pressurized ozone water is pumped to the gas-liquid separator 28 via the transfer pipe 18 and separated into ozone water and surplus ozone gas. Thereafter, the ozone water in the gas-liquid separator 28 is sent to the vicinity of the use point through the ozone water supply pipe 3, and a part of the ozone water is branched from the ozone water supply pipe 3 at the branch portion 45 before the use point. It flows to the water discharge pipe 4 side. The remaining ozone water is supplied to the use point from the ozone water supply pipe 3 on the downstream side of the branch portion 45.

この時、ユースポイントへ供給されるオゾン水の流量は、開閉制御装置１２が入力装置１４での入力値および流量検出器１３での検出値に基づいて開閉弁１０の開度を調整することにより、調整される。すなわち、例えば、ユースポイントへ供給されるオゾン水の流量が入力装置１４での入力値より少ない時には、オゾン水供給管３の分岐部４５より下流側におけるオゾン水の流量が少なく、一方、オゾン水排出管４から排出されるオゾン水の流量が多量であり、流量検出器１３での検出値が大きいので、開閉制御装置１２は、流量検出器１３での検出値が小さくなるように、開閉弁１０の開度を絞り、オゾン水排出管４から排出されるオゾン水の流量を減らす。こうして、オゾン水供給管３の分岐部４５より下流側におけるオゾン水の流量を増やし、ユースポイントへ供給するオゾン水の流量を、所望の流量に調整する。また、ユースポイントへ供給されるオゾン水の流量が多い時には、流量検出器１３での検出値が小さいので、開閉制御装置１２は、開閉弁１０の開度を大きくし、オゾン水排出管４から排出されるオゾン水の流量を増やす。こうして、オゾン水供給管３からユースポイントへ供給されるオゾン水の流量を調整する。   At this time, the flow rate of the ozone water supplied to the use point is adjusted by the opening / closing control device 12 adjusting the opening of the opening / closing valve 10 based on the input value at the input device 14 and the detection value at the flow rate detector 13. Adjusted. That is, for example, when the flow rate of ozone water supplied to the use point is smaller than the input value at the input device 14, the flow rate of ozone water is lower on the downstream side than the branching portion 45 of the ozone water supply pipe 3, while the ozone water Since the flow rate of the ozone water discharged from the discharge pipe 4 is large and the detection value at the flow rate detector 13 is large, the open / close control device 12 is configured to switch the open / close valve so that the detection value at the flow rate detector 13 becomes small. The flow rate of ozone water discharged from the ozone water discharge pipe 4 is reduced by reducing the opening degree of 10. In this way, the flow rate of the ozone water on the downstream side of the branch portion 45 of the ozone water supply pipe 3 is increased, and the flow rate of the ozone water supplied to the use point is adjusted to a desired flow rate. Further, when the flow rate of ozone water supplied to the use point is large, the detection value of the flow rate detector 13 is small. Therefore, the open / close control device 12 increases the opening degree of the open / close valve 10, and the ozone water discharge pipe 4 Increase the flow rate of discharged ozone water. In this way, the flow rate of ozone water supplied from the ozone water supply pipe 3 to the use point is adjusted.

オゾン水排出管４側へ流れて排出されたオゾン水は、冷却装置４８により冷却された後、純水タンク２１に収容され、純水と混合されて新たなオゾン水の製造に用いられる。   The ozone water that flows to the ozone water discharge pipe 4 side and is discharged is cooled by the cooling device 48, then stored in the pure water tank 21, mixed with the pure water, and used for producing new ozone water.

本実施形態に係るオゾン水供給装置１によれば、オゾン水排出管４がオゾン水供給管３から分岐しており、オゾン水排出管４に開閉弁１０が設けられているので、オゾン水供給管３からユースポイントへ供給されるオゾン水が弁を通過することがなく、弁の通過によるオゾン水の急激な圧力損失によってオゾン水からオゾンガスが気化することを防止できるので、高濃度のオゾン水をユースポイントへ供給することができる。また、オゾン水排出管４に備えられた開閉弁１０の開度調整によりユースポイントへ供給するオゾン水の流量を調整できるので、オゾン水をオゾン水供給管３から所望の流量でユースポイントへ供給することができる。   According to the ozone water supply apparatus 1 according to the present embodiment, the ozone water discharge pipe 4 is branched from the ozone water supply pipe 3, and the ozone water supply pipe 4 is provided with the opening / closing valve 10, so that the ozone water supply The ozone water supplied from the pipe 3 to the point of use does not pass through the valve, and it is possible to prevent the ozone gas from evaporating from the ozone water due to the rapid pressure loss of the ozone water caused by the passage of the valve. Can be supplied to you points. Moreover, since the flow rate of ozone water supplied to the use point can be adjusted by adjusting the opening of the on-off valve 10 provided in the ozone water discharge pipe 4, ozone water is supplied from the ozone water supply pipe 3 to the use point at a desired flow rate. can do.

また、開閉制御装置１２が入力装置１４での入力値と流量検出器１３での検出値に基づいて開閉弁１０の開閉を行うので、自動でオゾン水の流量を調整することができ、所望の流量のオゾン水を正確かつ容易にユースポイントへ供給することができる。   Further, since the opening / closing control device 12 opens and closes the opening / closing valve 10 based on the input value at the input device 14 and the detection value at the flow rate detector 13, the flow rate of ozone water can be adjusted automatically, A flow rate of ozone water can be accurately and easily supplied to the point of use.

また、オゾン水排出管４から排出されるオゾン水を再度オゾン水製造装置７に供給するので、ユースポイントへ供給されなかったオゾン水を有効利用することができる。   Moreover, since the ozone water discharged | emitted from the ozone water discharge pipe 4 is again supplied to the ozone water manufacturing apparatus 7, the ozone water which was not supplied to a use point can be used effectively.

以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の具体的な態様は、上記実施形態に限定されるものではない。   As mentioned above, although one Embodiment of this invention was described, the specific aspect of this invention is not limited to the said embodiment.

例えば、本実施形態では、開閉制御装置１２が開閉弁１０の開度調整をすることにより、ユースポイントへ供給するオゾン水の流量を調整していたが、ユーザーが手動で開閉弁１０の開度調整をすることにより、ユースポイントへ供給するオゾン水の流量を調整してもよい。   For example, in the present embodiment, the opening / closing control device 12 adjusts the opening degree of the on-off valve 10 to adjust the flow rate of ozone water supplied to the use point. You may adjust the flow volume of the ozone water supplied to a use point by adjusting.

また、本実施形態では、オゾン水製造装置７の構成は、エゼクタ式であったが、この構成に限定されず、例えばフッ素樹脂からなる多孔質管に純水を導入し、この多孔質管の外表面に沿って流れるオゾンガスをエゼクタ式と同様に加圧する構成など、種々の構成を用いることができる。   In this embodiment, the configuration of the ozone water production apparatus 7 is an ejector type, but is not limited to this configuration. For example, pure water is introduced into a porous tube made of a fluororesin, and the porous tube Various configurations such as a configuration in which ozone gas flowing along the outer surface is pressurized in the same manner as the ejector type can be used.

また、本実施形態では、流量検出器１３は、オゾン水排出管４におけるオゾン水の流量を検出していたが、オゾン水供給管３の分岐部４５より下流側におけるオゾン水の流量を検出する構成であってもよい。この場合、流量検出器１３としては、オゾン水供給管３を通過するオゾン水の圧力損失が小さくなるような構成であることが好ましく、例えば、オゾン水の流れ方向に直角な方向に磁界を作用させることにより起電力を生じさせ、この起電力を測定することによりオゾン水の流量を検出する電磁流量計を使用することができる。また、オゾン水供給管３の上流側と下流側にそれぞれ設置された図示しないセンサから交互に超音波を発射し、各々の伝播時間の差から流速を求める超音波流量計であってもよい。このような構成によれば、オゾン水供給管３からユースポイントへ供給するオゾン水の流量を直接検出できるので、所望の流量のオゾン水をより正確に供給することができる。   In the present embodiment, the flow rate detector 13 detects the flow rate of ozone water in the ozone water discharge pipe 4, but detects the flow rate of ozone water downstream from the branch portion 45 of the ozone water supply pipe 3. It may be a configuration. In this case, the flow rate detector 13 is preferably configured such that the pressure loss of the ozone water passing through the ozone water supply pipe 3 is reduced. For example, a magnetic field is applied in a direction perpendicular to the flow direction of the ozone water. Thus, an electromagnetic flow meter that generates an electromotive force and detects the flow rate of ozone water by measuring the electromotive force can be used. Further, an ultrasonic flowmeter that alternately emits ultrasonic waves from sensors (not shown) installed on the upstream side and the downstream side of the ozone water supply pipe 3 and obtains the flow velocity from the difference between the propagation times may be used. According to such a configuration, since the flow rate of ozone water supplied from the ozone water supply pipe 3 to the use point can be directly detected, ozone water having a desired flow rate can be supplied more accurately.

また、オゾン水供給管３には、オゾン水を浄化するフィルターを必要に応じて設置してもよい。このフィルターは、流動抵抗の小さいものが好ましく、また、分岐部４５より上流側に設置されると、オゾン水の流量が多い段階でオゾン水を浄化することができる。   Moreover, you may install in the ozone water supply pipe 3 the filter which purifies ozone water as needed. This filter preferably has a low flow resistance, and when installed on the upstream side of the branch portion 45, the ozone water can be purified at a stage where the flow rate of the ozone water is large.

また、分岐部４５は、オゾン水供給管３の下流側における先端付近に設けられることが好ましい。これにより、オゾン水供給管３におけるオゾン水の流量が下流側の先端付近まで減少しないので、オゾン水がオゾン水製造装置７からユースポイントまで到達する時間を短くすることができる。   Moreover, it is preferable that the branch part 45 is provided in the vicinity of the tip on the downstream side of the ozone water supply pipe 3. Thereby, since the flow volume of the ozone water in the ozone water supply pipe 3 does not decrease to the vicinity of the tip on the downstream side, the time for the ozone water to reach the use point from the ozone water production device 7 can be shortened.

また、本実施形態では、オゾン水供給管３は、１つであったが、ユースポイントの数に応じて、複数にすることもできる。この場合、複数のオゾン水供給管３のそれぞれから、オゾン水排出管４が分岐している。このような構成によれば、複数のオゾン水供給管３のうち、使用しないオゾン水供給管３へのオゾン水の送出を遮断することにより、ユースポイントを選択してオゾン水を供給することができる。   Moreover, in this embodiment, although the ozone water supply pipe | tube 3 was one, it can also be made into multiple according to the number of use points. In this case, the ozone water discharge pipe 4 is branched from each of the plurality of ozone water supply pipes 3. According to such a configuration, it is possible to supply ozone water by selecting a point of use by blocking the sending of ozone water to the unused ozone water supply pipe 3 among the plurality of ozone water supply pipes 3. it can.

本発明の一実施形態に係るオゾン水供給装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the ozone water supply apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. 図１に示すオゾン水供給管の横断面図である。It is a cross-sectional view of the ozone water supply pipe shown in FIG. 従来のオゾン水供給装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the conventional ozone water supply apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

１ オゾン水供給装置
３ オゾン水供給管
４ オゾン水排出管
７ オゾン水製造装置
８ 純水供給管
９ オゾンガス供給管
１０ 開閉弁
１２ 開閉制御装置
１３ 流量検出器
１４ 入力装置
２１ 純水タンク
２３ オゾンガス発生装置
２６ エゼクタ
２７ 加圧ポンプ
２８ 気液分離装置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Ozone water supply apparatus 3 Ozone water supply pipe 4 Ozone water discharge pipe 7 Ozone water production apparatus 8 Pure water supply pipe 9 Ozone gas supply pipe 10 On-off valve 12 Open / close control device 13 Flow rate detector 14 Input device 21 Pure water tank 23 Ozone gas generation Device 26 Ejector 27 Pressure pump 28 Gas-liquid separator

Claims (4)

水にオゾンガスを溶解させることによりオゾン水を製造するオゾン水製造装置と、
前記オゾン水製造装置により製造されたオゾン水をユースポイントへ供給するオゾン水供給管とを備えるオゾン水供給装置であって、
前記オゾン水供給管から分岐してオゾン水を排出するオゾン水排出管と、
前記オゾン水排出管を開閉する開閉弁とを備え、
前記開閉弁の開度調整によりユースポイントへ供給するオゾン水の流量を調整可能に構成されているオゾン水供給装置。 An ozone water production device for producing ozone water by dissolving ozone gas in water;
An ozone water supply device comprising an ozone water supply pipe for supplying ozone water produced by the ozone water production device to a use point,
An ozone water discharge pipe branched from the ozone water supply pipe and discharging ozone water;
An on-off valve for opening and closing the ozone water discharge pipe,
An ozone water supply device configured to be capable of adjusting the flow rate of ozone water supplied to a use point by adjusting the opening of the on-off valve. 前記オゾン水排出管を通過するオゾン水の流量を検出する流量検出器と、
前記流量検出器での検出値に基づいて前記開閉弁の開度調整を行うことによりユースポイントへ供給するオゾン水の流量を調整する開閉制御手段とを備える請求項１に記載のオゾン水供給装置。 A flow rate detector for detecting the flow rate of ozone water passing through the ozone water discharge pipe;
The ozone water supply device according to claim 1, further comprising: an opening / closing control unit that adjusts a flow rate of the ozone water supplied to the use point by adjusting an opening degree of the opening / closing valve based on a detection value of the flow rate detector. . 前記オゾン水供給管は、径の異なる２以上のフッ素樹脂チューブからなる請求項１または２に記載のオゾン水供給装置。   The ozone water supply apparatus according to claim 1 or 2, wherein the ozone water supply pipe is composed of two or more fluororesin tubes having different diameters. 前記オゾン水排出管は、前記オゾン水製造装置に接続されており、排出されるオゾン水を前記オゾン水製造装置に供給可能に構成されている請求項１から３のいずれかに記載のオゾン水供給装置。
The ozone water according to any one of claims 1 to 3, wherein the ozone water discharge pipe is connected to the ozone water production apparatus and is configured to be able to supply discharged ozone water to the ozone water production apparatus. Feeding device.
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