JP2007232474A - 格子パターン投影型表面形状計測装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 格子パターンを投影する格子パターン投影手段1と撮像手段4と、物体を一軸方向に連続移動させるX軸直動テーブル9とにより構成し、撮像手段4の視野を移動軸方向にN分割し、正確に1/N視野移動する毎に画像を取得するようにする。このようにすることで、ある1/N視野の領域は連続したN視野でN回撮像されることになるが、N回それぞれの画像で格子パターンの位相がシフトされているようにすることで位相シフト演算が可能になる。
【選択図】 図1
Description
電磁波を電気信号に変換する電磁波電気変換素子を2次元状に配置した2次元撮像素子と、
前記2次元撮像素子の変換面上に対象物体の像を結像させる結像手段とよりなる撮像手段と、
前記撮像手段の撮像方向とは異なる角度から対象物に格子状の陰影パターンを投影する格子パターン投影手段とよりなる画像入力系と、
前記画像入力系からの画像信号を処理する画像処理装置と、
前記格子パターン投影手段の光軸と前記撮像手段の光軸とを含む平面内に移動軸を有し、対象物体と前記画像入力系との位置関係を相対的に変化させる一軸の直動ステージとにより構成され、
前記直動ステージにより定間隔移動する毎に、前記直動ステージを停止させることなく画像を取得し、連続する少なくとも3枚画像を用いて、それらの画像に共通して撮像されている対象物の領域部分に対して、その領域内の画素毎に格子パターンの初期位相を求めることで物体の表面形状を計測するようにする。
より一般的に、Nステップ位相シフト法で位相シフト量がψ=2π/Nの場合、初期位相φは、
φ(x,y)=arctan[-ΣIi(x,y)sin(iψ)/ΣIi(x,y)cos(iψ)]
(i=0,1,…,N-1)
と求めることができる。
I2のように撮像される。さらに、同一時間後(すなわち、さらに格子間隔の4/3移動した後)シャッター露光により画像を取得すると図4 I3が得られる。その後も同一時間間隔でシャッター露光し画像を次々と取得していく。
2 実格子
3 投影光学系
4 撮像手段
5 CCDエリアセンサ
6 結像レンズ
7 画像入力系
8 物体
9 X軸直動ステージ
10 Y軸直動ステージ
11 画像処理装置
12 リニアエンコーダ
88 物体面
100 像面
101,102,103 リニアセンサ
Claims (1)
- 電磁波を電気信号に変換する電磁波電気変換素子を2次元状に配置した2次元撮像素子と、
前記2次元撮像素子の変換面上に対象物体の像を結像させる結像手段とよりなる撮像手段と、
前記撮像手段の撮像方向とは異なる角度から対象物に格子状の陰影パターンを投影する格子パターン投影手段とよりなる画像入力系と、
前記画像入力系からの画像信号を処理する画像処理装置と、
前記格子パターン投影手段の光軸と前記撮像手段の光軸とを含む平面内に移動軸を有し、対象物体と前記画像入力系との位置関係を相対的に変化させる一軸の直動ステージとにより構成され、
前記直動ステージにより定間隔移動する毎に、前記直動ステージを停止させることなく画像を取得し、連続する少なくとも3枚画像を用いて、それらの画像に共通して撮像されている対象物の領域部分に対して、その領域内の画素毎に格子パターンの初期位相を求めることで物体の表面形状を計測することを特徴とする格子パターン投影型表面形状計測装置。
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JP2006052542A JP2007232474A (ja) | 2006-02-28 | 2006-02-28 | 格子パターン投影型表面形状計測装置 |
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JP2006052542A JP2007232474A (ja) | 2006-02-28 | 2006-02-28 | 格子パターン投影型表面形状計測装置 |
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2006
- 2006-02-28 JP JP2006052542A patent/JP2007232474A/ja active Pending
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