JP2007218754A - アライメントずれ検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】櫛歯より形成が容易な単純な位置合わせマークを用いて、アライメントずれを容易に、且つ、定量的、高精度に評価する。
【解決手段】位置合わせ対象の一方(24)に、位置合わせ方向に垂直な一対のエッジを持つ位置合わせマーク(46)を設けると共に、位置合わせ対象の他方(28)に、前記エッジによって一部が遮蔽される一対の受光素子(42a、42b)(42c、42d)を設ける。
【選択図】図5
【解決手段】位置合わせ対象の一方(24)に、位置合わせ方向に垂直な一対のエッジを持つ位置合わせマーク(46)を設けると共に、位置合わせ対象の他方(28)に、前記エッジによって一部が遮蔽される一対の受光素子(42a、42b)(42c、42d)を設ける。
【選択図】図5
Description
本発明は、アライメントずれ検査装置に係り、特に、スケールと検出ヘッドの相対変位を検出するための光電式エンコーダの受光素子と検出基板や検出ヘッドとスケールのアライメントずれを評価する際に用いるのに好適な、アライメントずれ検査装置に関する。
スケール10と検出ヘッド20の相対変位を検出するための光電式エンコーダのうち、図1に示すような3格子の反射型エンコーダ構成では、光源22で発生され、COG(Chip On Glass)基板等の検出基板24上の第1格子26、及び、スケール10上の第2格子(スケール格子とも称する)12の作用を受けた光を受光するための、第3格子29が一体的に形成された受光素子アレイ(PDA)チップ28を検出基板24に実装している。又、図2に示す如く、第1格子26は、検出基板24上のパターンとして形成されている。従って、第1格子26とPDAチップ28の相対位置は、実装の位置精度に応じて、図3に示す如くX、Y、θがずれる。
PDAチップ28と第1格子26の相対角度がずれた場合は、図3に示したようにPDAチップ28の端では信号量が低下又は他相の信号が入ることによって、直流成分が増加し、精度が劣化する。スケール目盛ピッチが微細になる程、位置ずれの影響は大きく、例えば明縞と暗縞が共に4μmの4/4μmスケールでは、モアレ方向(θ)に0.2°の回転誤差が生じると、長さ1mm当たり約3.5μmの傾斜が生じ、特性上無視できない位置ずれが発生する。従って、格子の位置合わせは非常に重要である。
一方、光電式エンコーダではないが、特許文献1や2には、櫛歯状マークを用いた露光用マスクの位置合わせ技術が記載されている。
しかしながら、位置合わせマークが複雑な櫛歯状であったため、形成が容易でないという問題点を有していた。
なおX、Y方向のずれは、図4に示すパッド部30の重なり度合で評価することもできるが、回転方向を定量的に判断するためには、複数点のずれ量を測定しなければならない。
更に、図4のように、検出基板24とPDAチップ28の間には半田バンプ32があり、数十μm離れているため、高倍率の顕微鏡では両方に同時にピントを合わせることが難しく、逆に低倍率では読み取りの分解能が悪く、調整量を決めるための正確な位置誤差を求めることが難しいという問題点も有していた。
本発明は、前記従来の問題点を解消するべくなされたもので、櫛歯より形成が容易な単純な位置合わせマークを用いて、アライメントずれを、容易に且つ、定量的、高精度に評価できるようにすることを課題とする。
本発明は、位置合わせ対象の一方に設けられた、位置合わせ方向に垂直な一対のエッジを持つ位置合わせマークと、位置合わせ対象の他方に設けられた、前記エッジによって一部が遮蔽される一対の受光素子と、該一対の受光素子の出力差により位置ずれ量を求める手段と、を備えたことを特徴とするアライメントずれ検査装置により、前記課題を解決したものである。
又、前記位置合わせ方向を直交する2方向とし、前記受光素子を二対設けて、平面におけるアライメントずれを検出可能としたものである。
更に、前記位置合わせマークを矩形としたものである。
本発明は、又、前記のアライメントずれ検査装置を備えたことを特徴とする光電式エンコーダを提供するものである。
本発明によれば、受光素子の出力差から位置ずれ量が分かるので、櫛歯より形成が容易な単純な位置合わせマークを用いて、高精度で定量的な測定が容易に可能となる。
更に、検出基板等に実装した状態で直ぐ測定できるので、チップ実装装置等のオフセット測定が電気的に行なわれていれば、装置の条件設定に容易にフィードバックすることができる。
以下図面を参照して、本発明の実施形態を詳細に説明する。
本発明の第1実施形態は、図5に示す如く、PDAチップ28に、XYの両方向に対になった検査用フォトダイオード(PD)42a〜42d、及び、これらの半分の面積を持つ参照用フォトダイオード(PD)44を配置すると共に、検出基板24上に、前記検査用PD42a〜42dそれぞれと均等に重なる正方形の遮蔽パターン46を位置合わせマークとして配線パターンで形成したものである。
従って、図5(A)に示す如く位置ずれが生じていない場合には、全PD42a〜42dの出力が均等で、参照用PD44の出力と同じになるが、X又はYのいずれかの方向に位置ずれが生じた場合には、図5(B)に示す如く、PD42aと42b(X方向)、PD42cと42d(Y方向)上でパターン46が遮光する領域が変化する。従って、これに光源50及びコリメータレンズ52から照明光を照射すると、端子からX方向、Y方向それぞれ対になるPD42aと42b、42cと42d間の光電流の出力に差が出るので、位置ずれ量を知ることができる。
今、図5に示すように、フォトダイオードが1辺がL0の正方形の場合
PD42a〜42dの面積Apd=L0^2
PD44の面積Aref=1/2*L0^2
となり、
位置ずれ量とL0との関係は、L0=ΔL1+ΔL2=ΔL3+ΔL4
X方向位置ずれ量(検出基板基準)は、ΔLx=(ΔL2−ΔL1)/2
Y方向位置ずれ量(検出基板基準)は、ΔLy=(ΔL4−ΔL3)/2
となる。
PD42a〜42dの面積Apd=L0^2
PD44の面積Aref=1/2*L0^2
となり、
位置ずれ量とL0との関係は、L0=ΔL1+ΔL2=ΔL3+ΔL4
X方向位置ずれ量(検出基板基準)は、ΔLx=(ΔL2−ΔL1)/2
Y方向位置ずれ量(検出基板基準)は、ΔLy=(ΔL4−ΔL3)/2
となる。
各PDの電流出力I1〜I4は、それぞれの受光面積に比例するので、位置ずれ量は電流Ix、Iyとして以下のようになる。
Ix=(ΔLx*L0−1/2L0^2)*S*P
=(ΔL2−ΔL1−L0)*L0*S*P/2 …(1)
Iy=(ΔLy*L0−1/2L0^2)*S*P
=(ΔL4−ΔL3−L0)*L0*S*P/2 …(2)
=(ΔL2−ΔL1−L0)*L0*S*P/2 …(1)
Iy=(ΔLy*L0−1/2L0^2)*S*P
=(ΔL4−ΔL3−L0)*L0*S*P/2 …(2)
ここで、Sは受光素子の放射感度、Pは照明光の単位面積当たりの入射光量である。
従って、参照用PD44の出力Irefとの比から算出する回路を設けて、次式のように位置ずれ量を算出することができる。
Ix/Iref=(ΔL2/L0−ΔL1/L0−1) …(3)
Iy/Iref=(ΔL4/L0−ΔL3/L0−1) …(4)
Iy/Iref=(ΔL4/L0−ΔL3/L0−1) …(4)
実際の測定は、図6に示す如く、PDAチップ28を検出基板24に実装した後、受光面側から平行光を照射した状態で、検査用PD42a〜42d及び参照用PD44の出力信号を出力パッド56及びプローブ58等でIV(電流/電圧)変換アンプ59を介して評価回路60に取り出し、差動アンプ62a〜62dで処理・計算させる。
回転量θの検出が必要な場合は、チップの中に複数個挿入する。
検出基板内の複数チップをモニタすれば、個々のずれに加えて、全体的な傾向が分かり、測定精度も向上する。
なお、検出基板29がガラス等の透明体でない場合は、遮蔽パターン46を透明窓に代えてもよい。形状も正方形に限定されず、長方形でも良い。パターンと受光素子の配置も逆でも良い。
前記実施形態においては、本発明が、光電式エンコーダの検出基板24とPDAチップ28のアライメント検査に適用されていたが、本発明の適用対象はこれに限定されず、図7に示す第2実施形態の如く、2個所に設けて、スケール10と検出ヘッド20のアライメント検査に適用することもできる。
又、前記実施形態においては、本発明が3格子の反射型エンコーダに適用されていたが、2格子型や透過型エンコーダにも同様に適用できる。
更に、液晶等透明基板とICの組立に応用したり、通常のICでもPN接合により容易にPDをIC内に作り込むことができるので、受光デバイスでないICの場合でも、本発明を適用可能であり、対向する素子のアライメント全般に同様に適用できる。
10…スケール
20…検出ヘッド
22…光源
24…検出基板
28…受光素子アレイ(PDA)チップ
42a〜42d…検査用フォトダイオード(PD)
44…参照用フォトダイオード(PD)
46…遮蔽パターン(位置合わせマーク)
58…プローブ
60…評価回路
20…検出ヘッド
22…光源
24…検出基板
28…受光素子アレイ(PDA)チップ
42a〜42d…検査用フォトダイオード(PD)
44…参照用フォトダイオード(PD)
46…遮蔽パターン(位置合わせマーク)
58…プローブ
60…評価回路
Claims (4)
- 位置合わせ対象の一方に設けられた、位置合わせ方向に垂直な一対のエッジを持つ位置合わせマークと、
位置合わせ対象の他方に設けられた、前記エッジによって一部が遮蔽される一対の受光素子と、
該一対の受光素子の出力差により位置ずれ量を求める手段と、
を備えたことを特徴とするアライメントずれ検査装置。 - 前記位置合わせ方向が直交する2方向であり、前記受光素子が二対設けられていることを特徴とする請求項1に記載のアライメントずれ検査装置。
- 前記位置合わせマークが矩形であることを特徴とする請求項2に記載のアライメントずれ検査装置。
- 請求項1乃至3のいずれかに記載のアライメントずれ検査装置を備えたことを特徴とする光電式エンコーダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006040159A JP2007218754A (ja) | 2006-02-17 | 2006-02-17 | アライメントずれ検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006040159A JP2007218754A (ja) | 2006-02-17 | 2006-02-17 | アライメントずれ検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007218754A true JP2007218754A (ja) | 2007-08-30 |
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ID=38496219
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006040159A Pending JP2007218754A (ja) | 2006-02-17 | 2006-02-17 | アライメントずれ検査装置 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP2007218754A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016070830A (ja) * | 2014-09-30 | 2016-05-09 | リコー光学株式会社 | 測定装置及び測定方法 |
DE102020116790A1 (de) | 2020-06-25 | 2021-12-30 | Bundesrepublik Deutschland, Vertreten Durch Das Bundesministerium Für Wirtschaft Und Energie, Dieses Vertreten Durch Den Präsidenten Der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt | Verfahren zum Bestimmen einer Fehlausrichtung und Ausrichtvorrichtung zum Ausrichten zweier flacher Objekte relativ zueinander |
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2006
- 2006-02-17 JP JP2006040159A patent/JP2007218754A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2016070830A (ja) * | 2014-09-30 | 2016-05-09 | リコー光学株式会社 | 測定装置及び測定方法 |
DE102020116790A1 (de) | 2020-06-25 | 2021-12-30 | Bundesrepublik Deutschland, Vertreten Durch Das Bundesministerium Für Wirtschaft Und Energie, Dieses Vertreten Durch Den Präsidenten Der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt | Verfahren zum Bestimmen einer Fehlausrichtung und Ausrichtvorrichtung zum Ausrichten zweier flacher Objekte relativ zueinander |
DE102020116790B4 (de) | 2020-06-25 | 2022-01-13 | Bundesrepublik Deutschland, Vertreten Durch Das Bundesministerium Für Wirtschaft Und Energie, Dieses Vertreten Durch Den Präsidenten Der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt | Verfahren zum Bestimmen einer Fehlausrichtung und Ausrichtvorrichtung zum Ausrichten zweier flacher Objekte relativ zueinander |
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