JP2007209927A - Vibrator for ultrasonic cleaning - Google Patents
Vibrator for ultrasonic cleaning Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007209927A JP2007209927A JP2006034190A JP2006034190A JP2007209927A JP 2007209927 A JP2007209927 A JP 2007209927A JP 2006034190 A JP2006034190 A JP 2006034190A JP 2006034190 A JP2006034190 A JP 2006034190A JP 2007209927 A JP2007209927 A JP 2007209927A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inclined surface
- rod
- vibrator
- shaped horn
- ultrasonic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Abstract
Description
本発明は、圧電体振動子からの超音波を棒状ホーン内に形成された中空部によって、超音波が傾斜面の中心に集中しないように構成した超音波洗浄用振動子に関するものである。 The present invention relates to an ultrasonic cleaning vibrator configured such that ultrasonic waves from a piezoelectric vibrator are not concentrated on the center of an inclined surface by a hollow portion formed in a rod-shaped horn.
従来、図3及び図4に示すように、棒状ホーン1の一端が斜めに切断されて、傾斜面1aが形成され、棒状ホーン1の他端に膨大部1bが構成されて、この膨大部1bに圧電体振動子2が装着され、この圧電体振動子2を覆うように振動子ケース3が棒状ホーン1の膨大部1bにパッキン4を介してネジ6で固定され、振動子ケース3の端部をケーブル5が貫通し、ケーブル5のコード5aが圧電体振動子2に接続された超音波洗浄装置が提案されている。
Conventionally, as shown in FIGS. 3 and 4, one end of the rod-
このように構成した従来の超音波洗浄装置では、棒状ホーン1の傾斜面1aを基板等の被洗浄体9と微小間隙を開けて対向して装着し、棒状ホーン1の傾斜面1aと被洗浄体9の微小間隙の間に洗浄液流入口10から洗浄液11を流入して、図示しない発振器から発振出力を圧電体振動子2に印加すると、圧電体振動子2から照射された超音波は棒状ホーン1の傾斜面1aに伝達され、この傾斜面1aから被洗浄体9との間に流入された洗浄液11を介して被洗浄体9の表面に付着している汚物や汚れを洗浄することができる。
In the conventional ultrasonic cleaning apparatus configured as described above, the inclined surface 1a of the rod-
この従来の超音波洗浄装置の棒状ホーン1では、図5に示すように、圧電体振動子2から照射され、棒状ホーン1の伝達体中を伝播する超音波Aの収束位置より長い位置に棒状伝達体の中心軸と超音波放射面の中心との交点になるようにし、傾斜面1aの角度を100度〜170度となるように構成することによって、傾斜面1aに均一に、かつソフトな強度の超音波を発生することができるが、傾斜面1aに発生する超音波の均一性が不十分であり、中心部分の強度が大きいため、この超音波の強度では、45nm及び65nmの微細パターンの被洗浄物ではダメージが発生するという問題があった。
解決しようとする問題点は、従来の超音波洗浄装置の棒状ホーンでは、傾斜面に発生する超音波が不均一であるので、微細パターンの被洗浄物にダメージが発生するという問題がある。 The problem to be solved is that the conventional horn of a ultrasonic cleaning apparatus has a problem that the ultrasonic wave generated on the inclined surface is not uniform, so that the object to be cleaned having a fine pattern is damaged.
本発明では、取付端部は一端に圧電体振動子が装着され、傾斜面が他端に超音波を放射する面として形成され、棒状ホーンは圧電体振動子と傾斜面との間の中心軸上に形成された中空部を設けた超音波伝播体によって形成されてなり、圧電体振動子から照射された超音波が中空部によって傾斜面に分散照射され、傾斜面を微細パターンの被洗浄体に対向して微小間隔を保って装着し、傾斜面の側部から洗浄液を流入して、被洗浄体を洗浄するものである。 In the present invention, the attachment end portion is attached with a piezoelectric vibrator at one end, the inclined surface is formed as a surface that emits ultrasonic waves at the other end, and the rod-shaped horn is a central axis between the piezoelectric vibrator and the inclined surface. It is formed by an ultrasonic wave propagating body provided with a hollow portion formed above, and ultrasonic waves irradiated from the piezoelectric vibrator are dispersedly irradiated onto the inclined surface by the hollow portion, and the inclined surface is cleaned with a fine pattern. The object to be cleaned is washed by flowing a cleaning liquid from the side of the inclined surface.
本発明の超音波洗浄装置では、棒状ホーンの中心軸上に中空部を形成し、棒状ホーンの焦点位置より遠い位置に傾斜面を作り、圧電体振動子から照射された超音波が中空部で分散されて傾斜面で分散照射され、傾斜面の中央部に発生する超音波をより低減でき、傾斜面での超音波が均一になるようにすることにより、被洗浄体に対してダメージを与えないという利点がある。 In the ultrasonic cleaning apparatus of the present invention, a hollow portion is formed on the central axis of the rod-shaped horn, an inclined surface is formed at a position far from the focal position of the rod-shaped horn, and the ultrasonic wave irradiated from the piezoelectric vibrator is the hollow portion. Dispersed and distributedly irradiated on the inclined surface, ultrasonic waves generated at the center of the inclined surface can be further reduced, and the ultrasonic wave on the inclined surface is made uniform, thereby damaging the object to be cleaned. There is no advantage.
本発明では、棒状ホーンの取付端部に圧電体振動子を装着し、棒状ホーンの中心軸上に中空部を形成することにより、圧電体振動子から照射された超音波を分散して照射することにより、棒状ホーンの他端の傾斜面に照射される超音波の強度分布を均一にして、被洗浄体に対してダメージを与えないようにする。 In the present invention, a piezoelectric vibrator is attached to the attachment end of the rod-shaped horn, and a hollow portion is formed on the central axis of the rod-shaped horn, thereby dispersing and irradiating ultrasonic waves emitted from the piezoelectric vibrator. As a result, the intensity distribution of the ultrasonic wave applied to the inclined surface at the other end of the rod-shaped horn is made uniform so that the object to be cleaned is not damaged.
図1は本発明の実施例の超音波洗浄用振動子の側面図で、棒状ホーン7の一端に膨大部7aが構成され、この膨大部7aに、圧電体振動子8が装着され、棒状ホーン7の焦点位置より遠い位置で、この棒状ホーン7の一端が斜めに切断されて傾斜面7bが形成され、棒状ホーン7の圧電体振動子8と傾斜面7bの間の棒状ホーン7の中心軸上の適宜の位置に中空部7cが形成されている。
FIG. 1 is a side view of an ultrasonic cleaning vibrator according to an embodiment of the present invention. A huge portion 7a is formed at one end of a rod-
このように構成された本実施例の超音波洗浄用振動子では、圧電体振動子8から照射される超音波は、図2に示すように、中空部から外れた超音波振動子8から放射される超音波B1及びB2は傾斜面7bに直線状に照射され、圧電体振動子8の中心部から僅かに外れた部分から放射される超音波B3は、棒状ホーン7の中空部7cで反射され、又、棒状ホーン7の側面で反射されて、傾斜面7bの端部に照射され、さらに、中空部7cで反射された超音波B3の一部の超音波B4は中空部7cより上部で反射されて棒状ホーン7の膨大部7aに照射され、圧電体振動子8の比較的中心部で放射された超音波B5、B6は棒状ホーン7の中空部7cの近傍の側面で反射されて傾斜面7cに照射されて傾斜面7bに照射されるというように、圧電体振動子8aから放射される超音波B1〜B6は傾斜面7bに分散照射されるので、傾斜面7bの中央部に発生する超音波をより低減でき、傾斜面7bでの超音波の均一性を向上することにより、被洗浄体に対してダメージを与えないという利点がある。
In the ultrasonic cleaning vibrator of this embodiment configured as described above, the ultrasonic wave emitted from the piezoelectric vibrator 8 is radiated from the ultrasonic vibrator 8 that is out of the hollow portion as shown in FIG. The ultrasonic waves B <b> 1 and B <b> 2 are irradiated linearly on the inclined surface 7 b, and the ultrasonic wave B <b> 3 radiated from a portion slightly deviated from the central portion of the piezoelectric vibrator 8 is reflected by the
このように構成された本実施例の超音波洗浄装置では、棒状ホーン7の傾斜面7bを基板等の被洗浄体に微小間隙を開けて対向して装着し、棒状ホーン7の傾斜面7bと被洗浄体の微小間隙の間に洗浄液を流入して、図示しない発振器から発振出力を複数個の圧電体振動子8にそれぞれ印加すると、圧電体振動子8から照射された超音波は棒状ホーン7の傾斜面7bに伝達され、この傾斜面7bから被洗浄体との間に流入された洗浄液を介して被洗浄体の表面に付着している汚物や汚れを洗浄することができる。
In the ultrasonic cleaning apparatus of this embodiment configured as described above, the inclined surface 7b of the rod-
なお、上記実施例において、棒状ホーン7に形成された中空部は球状の中空部でも良いし、楕円形状の中空部出も良い。
In the above embodiment, the hollow portion formed in the rod-
7 棒状ホーン
7a 膨大部
7b 傾斜面
7c 中空部
8 圧電体振動子
7 Bar-shaped horn 7a Enlarged part 7b Inclined
Claims (4)
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006034190A JP2007209927A (en) | 2006-02-10 | 2006-02-10 | Vibrator for ultrasonic cleaning |
US11/441,270 US7744016B2 (en) | 2005-05-26 | 2006-05-25 | Ultrasonic washing apparatus |
KR1020060047072A KR101069457B1 (en) | 2005-05-26 | 2006-05-25 | Ultrasonic washing apparatus |
CN 200610089927 CN1868613B (en) | 2005-05-26 | 2006-05-26 | Ultrasonic washing apparatus |
EP06010819A EP1726374A3 (en) | 2005-05-26 | 2006-05-26 | Ultrasonic washing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006034190A JP2007209927A (en) | 2006-02-10 | 2006-02-10 | Vibrator for ultrasonic cleaning |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007209927A true JP2007209927A (en) | 2007-08-23 |
Family
ID=38488795
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006034190A Pending JP2007209927A (en) | 2005-05-26 | 2006-02-10 | Vibrator for ultrasonic cleaning |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007209927A (en) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61125387A (en) * | 1984-11-22 | 1986-06-13 | 三菱重工業株式会社 | Rotary number control method and apparatus washing machine |
JPH06218337A (en) * | 1993-01-25 | 1994-08-09 | Kaijo Corp | Ultrasonic cleaning machine |
JP2005074241A (en) * | 2003-08-29 | 2005-03-24 | Toshiba Corp | Ultrasonic processing apparatus and substrate processing method |
-
2006
- 2006-02-10 JP JP2006034190A patent/JP2007209927A/en active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61125387A (en) * | 1984-11-22 | 1986-06-13 | 三菱重工業株式会社 | Rotary number control method and apparatus washing machine |
JPH06218337A (en) * | 1993-01-25 | 1994-08-09 | Kaijo Corp | Ultrasonic cleaning machine |
JP2005074241A (en) * | 2003-08-29 | 2005-03-24 | Toshiba Corp | Ultrasonic processing apparatus and substrate processing method |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR20100098525A (en) | Composite transducer apparatus and system for processing a substrate and method of constructing the same | |
US20170036251A1 (en) | Ultrasonic cleaner | |
JP4324653B2 (en) | Ultrasonic cleaning equipment | |
KR101688455B1 (en) | An ultrasonic transmitter having piezoelectric element capable of transverse prevention and ultrasonic cleaning device including the same | |
JP5780890B2 (en) | Ultrasonic cleaning method and apparatus | |
KR200427508Y1 (en) | multichannel ultrasonic cleaning device | |
JP5453582B2 (en) | Ultrasonic cleaning equipment | |
JP2007209927A (en) | Vibrator for ultrasonic cleaning | |
KR101069457B1 (en) | Ultrasonic washing apparatus | |
JP4862172B2 (en) | Ultrasonic cleaning vibrator | |
JP2007209928A (en) | Vibrator for ultrasonic cleaning | |
KR101662287B1 (en) | Ultrasonic cleaning apparatus | |
JP2008086898A (en) | Ultrasonic cleaning device | |
KR101033815B1 (en) | Ultra-sonic vibrator and cleansing device using ultra-sonic and cleansing method thereof | |
JP5592734B2 (en) | Ultrasonic cleaning apparatus and ultrasonic cleaning method | |
JP2007216179A (en) | Ultrasonic cleaning oscillator | |
JP2789178B2 (en) | Ultrasonic cleaning equipment | |
JP2005525920A (en) | Configurations for ultrasonic cleaning of several strand-like products (such as strandformer, strands, strands, and strings) that move parallel to each other, such as wires, profiles, and pipes | |
JP2009208005A (en) | Ultrasonic washing apparatus | |
JP2010260016A (en) | Ultrasonic cleaning device | |
JP2001358108A (en) | Substrate-processing apparatus | |
Gaete-Garreton et al. | Nonlinear problems in the generation, propagation and measurement of high intensity ultrasonic waves in air | |
RU2746823C1 (en) | Ultrasonic device for washing clothes | |
JP4547580B2 (en) | Ultrasonic irradiation device | |
JP2002233837A (en) | Ultrasonic cleaning method and equipment of the same |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090209 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20101021 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20101027 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20110309 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |