JP2007206421A - Photosensitive resin composition - Google Patents

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Nobuaki Otsuki
信章 大槻
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive resin composition which can satisfy both alkali developability and photocurability and which will not cause warpage of a substrate at curing, because of small shrinkage due to curing. <P>SOLUTION: The photosensitive resin composition capable of forming an alkali developable film contains an acid modified vinyl ester, having a bisphenol S skeleton and an alkylene glycol chain. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、画像形成用として有用な感光性樹脂組成物に関するものである。 The present invention relates to a photosensitive resin composition useful for image formation.

画像形成用感光性樹脂組成物は、写真法(フォトリソグラフィー)の原理を応用することによって微細加工が可能な上に、物性に優れた硬化物を与えて画像を形成できることから、電子部品関係の各種レジスト材料や印刷版等の用途に多用されている。この画像形成用感光性樹脂組成物には溶剤現像型とアルカリ現像型があるが、近年では、環境対策の点から希薄な弱アルカリ水溶液で現像できるアルカリ現像型が主流になっており、例えば、プリント配線基板製造、液晶表示板製造、あるいは印刷製版等においても、アルカリ現像型の感光性樹脂組成物が用いられている。   The photosensitive resin composition for image formation is capable of microfabrication by applying the principle of photolithography (photolithography) and can form an image by giving a cured product having excellent physical properties. It is widely used for various resist materials and printing plates. There are a solvent development type and an alkali development type in this photosensitive resin composition for image formation, but in recent years, an alkali development type that can be developed with a dilute weak alkaline aqueous solution has become mainstream from the viewpoint of environmental measures. Alkali-developable photosensitive resin compositions are also used in printed wiring board production, liquid crystal display board production, printing plate making and the like.

画像形成用感光性樹脂組成物を、例えば液状現像型ソルダーレジスト用樹脂組成物として写真法(フォトリソグラフィー)の工程に用いる場合には、先ず基板上に樹脂組成物を塗布し、続いて加熱乾燥を行って塗膜を形成させた後、この塗膜にパターン形成用フィルムを装着し、露光して、現像するという一連の工程が採用されている。このような工程において、加熱乾燥後の塗膜に粘着性が残存していると、剥離後のパターン形成用フィルムに一部のレジストが付着して正確なパターンの再現ができなくなったり、あるいはパターン形成用フィルムが剥離できない、といった問題があった。このため、塗膜形成後のタックフリー性は液状現像型レジストの重要な要求特性である。   When the photosensitive resin composition for image formation is used in a photolithography process as a resin composition for a liquid development type solder resist, for example, the resin composition is first applied on a substrate, and then dried by heating. A series of steps is employed in which after forming a coating film, a film for forming a pattern is attached to the coating film, exposed, and developed. In such a process, if adhesiveness remains in the coating film after drying by heating, a part of the resist adheres to the pattern forming film after peeling, and an accurate pattern cannot be reproduced. There was a problem that the forming film could not be peeled off. For this reason, tack-free property after coating film formation is an important required characteristic of a liquid development type resist.

また、露光時の光感度や露光後の現像性も重要な要求特性である。すなわち、ファインパターンを高い信頼性で再現性良く形成させるためには、現像時においては、露光により硬化した部分は現像液に浸食されてはならないし、逆に未露光部分は現像の際に速やかに除去されなければならない。   In addition, photosensitivity during exposure and developability after exposure are also important required characteristics. That is, in order to form a fine pattern with high reliability and good reproducibility, during development, a portion cured by exposure must not be eroded by the developer, and conversely, an unexposed portion can be promptly developed during development. Must be removed.

さらに、硬化部分については、その後に控える高温条件での処理工程(ソルダーレジストの場合、半田付け工程等)に絶え得る耐熱性や、耐水性、耐湿性等の長期信頼性に関わる特性が求められている。   Furthermore, for the cured part, characteristics related to long-term reliability such as heat resistance, water resistance, moisture resistance, etc. that can withstand high processing conditions (soldering process in the case of solder resist, etc.) are required. ing.

上記各特性をある程度満足するものとして、エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸を反応させて得られるエポキシ(メタ)アクリレートに酸無水物を反応させてカルボキシル基を導入したカルボキシル基含有エポキシ(メタ)アクリレートが知られている(例えば特許文献1および2)。このカルボキシル基含有エポキシ(メタ)アクリレートは、タックフリー性、光感度、現像性といった相反する特性をバランス良く満足している上に、硬化物に求められる耐熱性や耐水性等の重要特性も比較的良好である。しかしながら、技術の進歩に伴ってさらにハイレベルな特性、例えば、パターンの微細化や電子機器の小型軽量化・高機能化に伴って、プリント配線基板に対する多層化しながら全体の厚みは薄く、という要求に対応することが求められている。   Carboxyl group-containing epoxy (meth) acrylate in which a carboxyl group is introduced by reacting an acid anhydride with an epoxy (meth) acrylate obtained by reacting an epoxy resin with (meth) acrylic acid to satisfy the above characteristics to some extent. Is known (for example, Patent Documents 1 and 2). This carboxyl group-containing epoxy (meth) acrylate satisfies a balanced balance of tack-free properties, photosensitivity, and developability, and compares important properties such as heat resistance and water resistance required for cured products. Good. However, with the advancement of technology, higher-level characteristics, for example, as the pattern becomes finer and the electronic devices become smaller, lighter, and more functional, there is a demand for a thinner overall thickness while multilayering the printed circuit board. It is required to respond to.

ソルダーレジストの場合、前記したように、現像後の硬化部分に対して高温でのアフターキュアーや半田付けといった工程が施されるが、基板が薄くなると、このような高温処理時に、ソルダーレジストの硬化収縮によって基板全体が反る、という問題がある。
上記のエポキシ(メタ)アクリレートの場合、耐熱性等の硬化塗膜物性に優れ、比較的厚めの基板に用いた場合は問題がないが、薄板に対しての適用は困難であった。一方、硬化時の反りが小さいソルダーレジストとしては、フレキシブルプリント配線板に使用できるとされている、ビスフェノールFやビスフェノールA型の多官能エポキシ化合物と不飽和モノカルボン酸の反応生成物に、多塩基酸無水物を付加した酸変性エポキシアクリレートからなるソルダーレジストが提案されている(特許文献3)。しかしながら、この場合は耐熱性等の点において改善の余地があった。さらには、ビスフェノール型のカルボキシル基含有エポキシ(メタ)アクリレートとノボラック型のカルボキシル基含有エポキシ(メタ)アクリレートとの混合物を用いる手法も開示されている(特許文献4)が、フレキシブル配線基板にも適用できるとされているように柔軟性に重きが置かれており、やはり耐熱性等の点においては改善の余地があった。
In the case of a solder resist, as described above, a process such as after-curing or soldering at a high temperature is performed on a cured portion after development. However, when the substrate is thinned, the solder resist is cured during such high-temperature processing. There is a problem that the entire substrate is warped by shrinkage.
In the case of the above-mentioned epoxy (meth) acrylate, the cured coating film properties such as heat resistance are excellent, and there is no problem when used for a relatively thick substrate, but application to a thin plate is difficult. On the other hand, as a solder resist with a small warp at the time of curing, it can be used for a flexible printed wiring board, a reaction product of polyfunctional epoxy compound of bisphenol F or bisphenol A type and unsaturated monocarboxylic acid, polybasic A solder resist made of an acid-modified epoxy acrylate to which an acid anhydride has been added has been proposed (Patent Document 3). However, in this case, there is room for improvement in terms of heat resistance and the like. Furthermore, a technique using a mixture of a bisphenol-type carboxyl group-containing epoxy (meth) acrylate and a novolac-type carboxyl group-containing epoxy (meth) acrylate is also disclosed (Patent Document 4), but is also applied to a flexible wiring board. There was room for improvement in terms of heat resistance, etc., as much as possible.

特開昭61−243869号公報JP-A 61-243869 特開昭63−258975号公報JP 63-258975 A 特開平5−32746号公報JP-A-5-32746 特開2000−109541号公報JP 2000-109541 A

そこで本発明では、露光時の感度とアルカリ現像性を両立させることができ、さらに、パターン形成後の熱処理工程において硬化収縮が小さく、ソルダーレジストのように基材に塗布して用いる場合、基材の反りを引き起こさない硬化物を与える画像形成用感光性樹脂を提供することを課題として掲げた。   Therefore, in the present invention, the sensitivity at the time of exposure and the alkali developability can be made compatible, and further, the shrinkage in curing is small in the heat treatment step after pattern formation, and the substrate is used when applied to a substrate like a solder resist. An object of the present invention is to provide a photosensitive resin for image formation that gives a cured product that does not cause warping.

上記課題を解決した本発明は、ビスフェノールS骨格とアルキレングリコール鎖とを有する酸変性ビニルエステルを含有することを特徴とする感光性樹脂組成物であることを第1の要旨とする。次に、この酸変性ビニルエステルが、二官能エポキシ化合物と、二官能フェノール化合物と、不飽和一塩基酸および/またはフェノール性ヒドロキシル基と反応し得る官能基を有する不飽和単量体と、多塩基酸無水物とから合成されるものであって、二官能エポキシ化合物あるいは二官能フェノール化合物の少なくとも一部にビスフェノールS骨格を有するものを用いたものであることを第2の要旨とし、さらに、二官能エポキシ化合物の少なくとも一部にアルキレングリコール鎖を有するものを用いたものであることを第3の要旨とする。
以下に本発明を詳述する。
This invention which solved the said subject makes it 1st summary to be the photosensitive resin composition characterized by containing the acid modified vinyl ester which has bisphenol S frame | skeleton and an alkylene glycol chain | strand. Next, the acid-modified vinyl ester comprises a bifunctional epoxy compound, a bifunctional phenol compound, an unsaturated monomer having a functional group capable of reacting with an unsaturated monobasic acid and / or a phenolic hydroxyl group, A second gist is that synthesized from a basic acid anhydride and using a bifunctional epoxy compound or a bifunctional phenol compound having a bisphenol S skeleton as at least a part thereof. The third gist is that at least a part of the bifunctional epoxy compound has an alkylene glycol chain.
The present invention is described in detail below.

本発明の感光性樹脂組成物は、ビスフェノールS骨格とアルキレングリコール鎖とを有する酸変性ビニルエステルを含有する。この酸変性ビニルエステルは、二官能エポキシ化合物と二官能フェノール化合物と、不飽和一塩基酸および/またはフェノール性ヒドロキシル基と反応し得る官能基を有する不飽和単量体と、多塩基酸無水物とから合成され、二官能エポキシ化合物あるいは二官能フェノール化合物の少なくとも一部に、ビスフェノールS骨格を有するものを用いること、二官能エポキシ化合物の少なくとも一部にアルキレングリコール鎖を有するものを用いることにより得られる。   The photosensitive resin composition of the present invention contains an acid-modified vinyl ester having a bisphenol S skeleton and an alkylene glycol chain. The acid-modified vinyl ester includes a bifunctional epoxy compound, a bifunctional phenol compound, an unsaturated monomer having a functional group capable of reacting with an unsaturated monobasic acid and / or a phenolic hydroxyl group, and a polybasic acid anhydride. Obtained by using a bifunctional epoxy compound or a bifunctional phenol compound having a bisphenol S skeleton, and a bifunctional epoxy compound having an alkylene glycol chain in at least a part. It is done.

通常、ビニルエステルは、エポキシ化合物中のエポキシ基に不飽和一塩基酸のカルボキシル基を反応させて得られ、この反応によって硬化時に架橋点となる二重結合が導入される。これに対して、本発明では、出発原料のエポキシ化合物のエポキシ基間距離よりも長い二重結合間距離を有するビニルエステルを合成し、このビニルエステルを感光性樹脂組成物の一組成として用いるものである。二重結合間距離を長くすると、硬化物に可撓性を付与できる反面、架橋密度低下によりガラス転移温度が低下して耐熱性が損なわれる懸念があるが、本発明ではビニルエステル中にビスフェノールS骨格を導入することで、分子間相互作用による凝集効果により耐熱性が損なわれず、アルキレングリコール鎖の存在により、良好なアルカリ現像性を示す。このような相反する特性をハイレベルで両立させるのに加え、驚くべきことに、ビスフェノールS骨格とアルキレングリコール鎖の両方を有することで、熱処理時の硬化塗膜の収縮が極めて小さく、基板に薄板を使用しても反りが低減し得ることを見い出した。   Usually, a vinyl ester is obtained by reacting a carboxyl group of an unsaturated monobasic acid with an epoxy group in an epoxy compound, and this reaction introduces a double bond that becomes a crosslinking point at the time of curing. In contrast, in the present invention, a vinyl ester having a double bond distance longer than the distance between epoxy groups of the starting epoxy compound is synthesized, and this vinyl ester is used as one composition of the photosensitive resin composition. It is. If the distance between the double bonds is increased, flexibility can be imparted to the cured product, but there is a concern that the glass transition temperature is lowered and the heat resistance is impaired due to a decrease in the crosslinking density, but in the present invention, bisphenol S is contained in the vinyl ester. By introducing the skeleton, heat resistance is not impaired by the aggregation effect due to intermolecular interaction, and good alkali developability is exhibited by the presence of the alkylene glycol chain. In addition to reconciling these conflicting properties at a high level, surprisingly, by having both the bisphenol S skeleton and the alkylene glycol chain, the shrinkage of the cured coating during heat treatment is extremely small, and the substrate is thin. It has been found that the warpage can be reduced even when using.

すなわち、本発明における酸変性ビニルエステルは、ビスフェノールS骨格とアルキレングリコール鎖とを有するものであり、二官能エポキシ化合物と二官能フェノール化合物と、不飽和一塩基酸および/またはフェノール性ヒドロキシル基と反応し得る官能基を有する不飽和単量体とから合成され、二官能エポキシ化合物あるいは二官能フェノール化合物の少なくとも一部にビスフェノールS骨格を有するものを用いること、二官能エポキシ化合物の少なくとも一部にアルキレングリコール鎖を有するものを用いることにより得られるものである。   That is, the acid-modified vinyl ester in the present invention has a bisphenol S skeleton and an alkylene glycol chain, and reacts with a bifunctional epoxy compound, a bifunctional phenol compound, an unsaturated monobasic acid and / or a phenolic hydroxyl group. A difunctional epoxy compound or a bifunctional phenol compound having a bisphenol S skeleton, and an alkylene in at least a part of the bifunctional epoxy compound. It is obtained by using one having a glycol chain.

先ず、本発明におけるビニルエステルの第1の原料として、二官能フェノール化合物について説明する。   First, a bifunctional phenol compound will be described as a first raw material for the vinyl ester in the present invention.

本発明の酸変性ビニルエステルを得る際、二官能エポキシ化合物あるいは二官能フェノール化合物の少なくともいずれかには、少なくとも一部にビスフェノールS骨格を有するものを用いることが必須となる。従って、二官能エポキシ化合物としてビスフェノールS骨格を有さないもののみを用いる場合は、二官能フェノール化合物として、少なくとも一部にビスフェノールS骨格を有するものを用いることとなる。このようなビスフェノールS骨格を有するフェノール化合物としては、ビスフェノールS、テトラブロモビスフェノールS、テトラメチルビスフェノールS等が挙げられ、1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。これらの中でも、入手し易いという点から、ビスフェノールSが好ましい。
また、二官能フェノール化合物としてビスフェノールS骨格を有さない公知のフェノール化合物を併用しても良く、このようなフェノール化合物としては、ビスフェノールA、ビスフェノールF、9,9−ビス(4−ヒドロキシフェニル)フルオレン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)スルフィド等のビスフェノールSを除く公知のビスフェノール類や、ビフェノール等が挙げられる。さらに、三官能以上のフェノール化合物を一部併用しても良く、これらの例として、ノボラック樹脂、1,1,1−トリス(4−ヒドロキシフェニル)エタン等が挙げられる。
ここで、ビスフェノールS骨格を有さないフェノール化合物を併用する場合の使用量は、フェノール化合物全体を100モル%としたとき、75モル%以下とすることが好ましい。75モル%を越えて使用した場合、ビスフェノールS骨格に由来する凝集効果が不足し、硬化物の耐熱性が十分に得られない場合がある。ビスフェノールS骨格を有さないフェノール化合物のより好ましい使用量は50モル%以下、さらに好ましい使用量は25モル%以下である。
次に、本発明における酸変性ビニルエステルの第2の原料として二官能エポキシ化合物について説明する。
When obtaining the acid-modified vinyl ester of the present invention, it is essential to use at least one of a bifunctional epoxy compound or a bifunctional phenol compound having a bisphenol S skeleton at least in part. Accordingly, when only the bifunctional epoxy compound having no bisphenol S skeleton is used, the bifunctional phenol compound having at least a part of the bisphenol S skeleton is used. Examples of the phenol compound having such a bisphenol S skeleton include bisphenol S, tetrabromobisphenol S, tetramethylbisphenol S and the like, and one or a combination of two or more can be used. Among these, bisphenol S is preferable because it is easily available.
Moreover, you may use together the well-known phenolic compound which does not have bisphenol S frame | skeleton as a bifunctional phenolic compound, As such a phenolic compound, bisphenol A, bisphenol F, 9,9-bis (4-hydroxyphenyl) Known bisphenols excluding bisphenol S such as fluorene and bis (4-hydroxyphenyl) sulfide, biphenols and the like can be mentioned. Furthermore, a trifunctional or higher functional phenol compound may be used in combination, and examples thereof include novolak resin and 1,1,1-tris (4-hydroxyphenyl) ethane.
Here, when the phenol compound not having a bisphenol S skeleton is used in combination, the amount used is preferably 75 mol% or less when the entire phenol compound is 100 mol%. When it exceeds 75 mol%, the aggregation effect derived from the bisphenol S skeleton is insufficient, and the heat resistance of the cured product may not be sufficiently obtained. The more preferable usage amount of the phenol compound having no bisphenol S skeleton is 50 mol% or less, and the more preferable usage amount is 25 mol% or less.
Next, a bifunctional epoxy compound will be described as a second raw material for the acid-modified vinyl ester in the present invention.

上記のフェノール化合物についてと同様、二官能フェノール化合物としてビスフェノールS骨格を有さないもののみを用いる場合は、二官能エポキシ化合物として、少なくとも一部にビスフェノールS骨格を有するものを用いることとなる。このようなビスフェノールS骨格を有するエポキシ化合物としては、前述したビスフェノールS骨格を有するフェノール化合物にエピクロロヒドリンやエピブロモヒドリンといったエピハロヒドリンを公知の条件で反応させたものや、前述のビスフェノールS骨格を有するフェノール化合物にエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを反応させた後にエピハロヒドリンを反応させたもの(ビスフェノールS骨格とアルキレングリコール鎖の両方を有する)を用いることができ、これらの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。これらの中でも、入手し易いという点から、ビスフェノールSとエピクロロヒドリンとを反応させて得られるビスフェノールS型エポキシが好ましい。   As in the case of the above-mentioned phenol compound, when only a bifunctional phenol compound having no bisphenol S skeleton is used, a bifunctional epoxy compound having at least a part of the bisphenol S skeleton is used. Examples of such an epoxy compound having a bisphenol S skeleton include those obtained by reacting a phenol compound having the bisphenol S skeleton with an epihalohydrin such as epichlorohydrin or epibromohydrin under known conditions, or the bisphenol S skeleton described above. It is possible to use a compound obtained by reacting an ethylene oxide or propylene oxide with a phenol compound having an epihalohydrin (having both a bisphenol S skeleton and an alkylene glycol chain), and combining one or more of these Can be used. Among these, bisphenol S type epoxy obtained by reacting bisphenol S and epichlorohydrin is preferable because it is easily available.

また、二官能エポキシ化合物としてビスフェノールS骨格は有するがアルキレングリコール鎖は有さないものを用いる場合は、ビスフェノールS骨格を有さない二官能エポキシ化合物の少なくとも一部として、アルキレングリコール鎖を有するものを必須に用いることとなる。このようなアルキレングリコール鎖を有するエポキシ化合物としては、前述したビスフェノールS骨格を有さない公知のフェノール化合物にエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを反応させた後にエピハロヒドリンを反応させたものや、これらの水添物、あるいは多価アルコールのジグリシジルエーテル型エポキシ樹脂等が挙げられる。   When using a bifunctional epoxy compound having a bisphenol S skeleton but no alkylene glycol chain, at least part of the bifunctional epoxy compound having no bisphenol S skeleton has an alkylene glycol chain. It will be used indispensable. Examples of such an epoxy compound having an alkylene glycol chain include those obtained by reacting a known phenol compound having no bisphenol S skeleton with ethylene oxide or propylene oxide and then reacting with epihalohydrin, or hydrogenated products thereof. Or a diglycidyl ether type epoxy resin of a polyhydric alcohol.

これらの中でも、耐熱性等の硬化塗膜の特性が良好であることから、フェノール化合物にエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを反応させた後にエピハロヒドリンを反応させたものを用いることが好ましい。   Among these, since the characteristics of the cured coating film such as heat resistance are good, it is preferable to use a phenol compound obtained by reacting an ethylene oxide or propylene oxide with an epihalohydrin.

また、二官能エポキシ化合物としてビスフェノールS骨格もアルキレングリコール鎖も有さない公知のエポキシ化合物を併用しても良く、このようなエポキシ化合物としては、ビスフェノールA型、テトラブロモビスフェノールA型、ビスフェノールF型等のビスフェノール型エポキシ樹脂;脂環式エポキシ樹脂;ジグリシジルエステル型エポキシ樹脂;ジグリシジルアミン型エポキシ樹脂;ビフェニル型エポキシ樹脂;フェニレン型エポキシ樹脂等が挙げられる。
さらに、三官能以上のエポキシ化合物を一部併用しても良く、これらの例として、テトラグリシジルアミノジフェニルメタン等の多官能性グリシジルアミン樹脂;テトラフェニルグリシジルエーテルエタン等の多官能性グリシジルエーテル樹脂;フェノールノボラック型エポキシ樹脂やクレゾールノボラック型エポキシ樹脂;フェノール、o−クレゾール、m−クレゾール、ナフトール等のフェノール化合物と、フェノール性ヒドロキシル基を有する芳香族アルデヒドとの縮合反応により得られるポリフェノール化合物と、エピクロルヒドリンとの反応物;フェノール化合物とジビニルベンゼンやジシクロペンタジエン等のジオレフィン化合物との付加反応により得られるポリフェノール化合物と、エピクロルヒドリンとの反応物;4−ビニルシクロヘキセン−1−オキサイドの開環重合物を過酸でエポキシ化したもの;トリグリシジルイソシアヌレート等の複素環を有するエポキシ樹脂;等公知のエポキシ化合物が挙げられる。
ここで、ビスフェノールS骨格もアルキレングリコール鎖も有さないエポキシ化合物を併用する場合の使用量は、エポキシ化合物全体を100モル%としたとき、75モル%以下とすることが好ましい。75モル%を越えて使用した場合、ビスフェノールS骨格やアルキレングリコール鎖に由来する効果が不足し、耐熱性やアルカリ現像性が損なわれたり、反り低減効果が発現しない場合がある。ビスフェノールS骨格もアルキレングリコール鎖も有さないエポキシ化合物のより好ましい使用量は50モル%以下、さらに好ましい使用量は25モル%以下である。
本発明における酸変性ビニルエステルの第3の原料となる不飽和一塩基酸とフェノール性ヒドロキシル基と反応し得る官能基を有する不飽和単量体は、ビニルエステル中にラジカル重合性の不飽和二重結合を導入するために用いられ、エポキシ基に反応させる場合は不飽和一塩基酸を、フェノール性ヒドロキシル基に反応させる場合はフェノール性ヒドロキシル基と反応し得る官能基を有する不飽和単量体を用いる。
Further, a known epoxy compound having neither a bisphenol S skeleton nor an alkylene glycol chain may be used in combination as the bifunctional epoxy compound. Examples of such an epoxy compound include bisphenol A type, tetrabromobisphenol A type, and bisphenol F type. Bisphenol type epoxy resins; alicyclic epoxy resins; diglycidyl ester type epoxy resins; diglycidyl amine type epoxy resins; biphenyl type epoxy resins; phenylene type epoxy resins.
Furthermore, a trifunctional or higher functional epoxy compound may be used in combination. Examples thereof include polyfunctional glycidylamine resins such as tetraglycidylaminodiphenylmethane; polyfunctional glycidyl ether resins such as tetraphenylglycidyl ether ethane; phenol A novolak-type epoxy resin or a cresol novolak-type epoxy resin; a polyphenol compound obtained by a condensation reaction of a phenol compound such as phenol, o-cresol, m-cresol, or naphthol with an aromatic aldehyde having a phenolic hydroxyl group; and epichlorohydrin, A reaction product of a phenol compound and a polyphenol compound obtained by addition reaction of a diolefin compound such as divinylbenzene or dicyclopentadiene with epichlorohydrin; 4-vinyl Those obtained by epoxidizing a ring-opening polymerization of cyclohexene-1-oxide with a peracid; epoxy resin having a heterocyclic ring such as triglycidyl isocyanurate; etc known epoxy compounds.
Here, when the epoxy compound having neither a bisphenol S skeleton nor an alkylene glycol chain is used in combination, the amount used is preferably 75 mol% or less when the entire epoxy compound is 100 mol%. When it exceeds 75 mol%, the effects derived from the bisphenol S skeleton and the alkylene glycol chain are insufficient, and the heat resistance and alkali developability may be impaired, and the warp reduction effect may not be exhibited. The more preferable usage amount of the epoxy compound having neither the bisphenol S skeleton nor the alkylene glycol chain is 50 mol% or less, and the more preferable usage amount is 25 mol% or less.
An unsaturated monomer having a functional group capable of reacting with an unsaturated monobasic acid and a phenolic hydroxyl group, which is the third raw material of the acid-modified vinyl ester in the present invention, is a radically polymerizable unsaturated diester in the vinyl ester. Unsaturated monomer used to introduce a heavy bond and having a functional group capable of reacting with an unsaturated monobasic acid when reacting with an epoxy group and reacting with a phenolic hydroxyl group when reacting with a phenolic hydroxyl group Is used.

エポキシ基に対して反応させる不飽和一塩基酸とは、1個のカルボキシル基と1個以上のラジカル重合性不飽和結合を有する一塩基酸である。具体例としてはアクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、ケイヒ酸、β−アクリロキシプロピオン酸、1個のヒドロキシル基と1個の(メタ)アクリロイル基を有するヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートと二塩基酸無水物との反応物、1個のヒドロキシル基と2個以上の(メタ)アクリロイル基を有する多官能(メタ)アクリレートと二塩基酸無水物との反応物、これらの一塩基酸のカプロラクトン変性物等が挙げられ、1種または2種以上を用いることができる。中でも好ましいものは、アクリル酸、メタクリル酸等の(メタ)アクリロイル基を有するものである。   The unsaturated monobasic acid to be reacted with the epoxy group is a monobasic acid having one carboxyl group and one or more radically polymerizable unsaturated bonds. Specific examples include acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, cinnamic acid, β-acryloxypropionic acid, hydroxyalkyl (meth) acrylate having one hydroxyl group and one (meth) acryloyl group, and dibasic acid anhydride. Reaction products, reaction products of polyfunctional (meth) acrylates having two hydroxyl groups and two or more (meth) acryloyl groups with dibasic acid anhydrides, caprolactone modified products of these monobasic acids, etc. 1 type, or 2 or more types can be used. Among them, preferred are those having a (meth) acryloyl group such as acrylic acid and methacrylic acid.

フェノール性ヒドロキシル基に対して反応させる単量体とは、1個のフェノール性ヒドロキシル基と反応し得る官能基と1個以上のラジカル重合性不飽和結合を有する化合物である。フェノール性ヒドロキシル基と反応し得る官能基としては、イソシアネート基、ビニルエーテル基、エポキシ基、オキサゾリン基、アジリジン基、オキセタニル基等が挙げられ、単量体の具体例としては、イソシアネートエチル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸2−(ビニロキシエトキシ)エチル、グリシジル(メタ)アクリレート、アリルグリシジルエーテル、2−イソプロペニル−2−オキサゾリン、N−(メタ)アクリロイルアジリジン等が挙げられ、これらのうち1種または2種以上を用いることができる。   The monomer reacted with a phenolic hydroxyl group is a compound having a functional group capable of reacting with one phenolic hydroxyl group and one or more radically polymerizable unsaturated bonds. Examples of functional groups capable of reacting with phenolic hydroxyl groups include isocyanate groups, vinyl ether groups, epoxy groups, oxazoline groups, aziridine groups, oxetanyl groups, and specific examples of monomers include isocyanate ethyl (meth) acrylate. , (Meth) acrylic acid 2- (vinyloxyethoxy) ethyl, glycidyl (meth) acrylate, allyl glycidyl ether, 2-isopropenyl-2-oxazoline, N- (meth) acryloylaziridine, etc. Species or two or more can be used.

本発明のビニルエステル(多塩基酸無水物との反応前)の合成反応は、
・二官能フェノール化合物、二官能エポキシ化合物、不飽和一塩基酸および/またはフェノール性ヒドロキシル基と反応し得る官能基を有する不飽和単量体を一気に仕込み、一括して合成する方法、
・二官能フェノール化合物と二官能エポキシ化合物による鎖延長反応を先に行い、次いで不飽和一塩基酸および/またはフェノール性ヒドロキシル基と反応し得る官能基を有する不飽和単量体を反応させる方法、
・二官能フェノール化合物、二官能エポキシ化合物および不飽和一塩基酸の反応を先に行い、次いで残存するフェノール性ヒドロキシル基に対してフェノール性ヒドロキシル基と反応し得る官能基を有する不飽和単量体を反応させる方法、または、二官能フェノール化合物、二官能エポキシ化合物およびフェノール性ヒドロキシル基と反応し得る官能基を有する不飽和単量体の反応を先に行い、次いで残存するエポキシ基に対して不飽和一塩基酸を反応させる方法、
等が挙げられ、いずれの方法を採用してもよい。
The synthesis reaction of the vinyl ester of the present invention (before reaction with polybasic acid anhydride)
-A method of synthesizing a batch of unsaturated monomers having a functional group capable of reacting with a bifunctional phenolic compound, a bifunctional epoxy compound, an unsaturated monobasic acid and / or a phenolic hydroxyl group,
A method in which a chain extension reaction with a bifunctional phenol compound and a bifunctional epoxy compound is performed first, and then an unsaturated monomer having a functional group capable of reacting with an unsaturated monobasic acid and / or a phenolic hydroxyl group is reacted;
Unsaturated monomer having a functional group capable of reacting with a phenolic hydroxyl group with respect to the remaining phenolic hydroxyl group after first reacting the bifunctional phenolic compound, the bifunctional epoxy compound and the unsaturated monobasic acid Or a reaction of an unsaturated monomer having a functional group capable of reacting with a bifunctional phenol compound, a bifunctional epoxy compound and a phenolic hydroxyl group, and then reacting with the remaining epoxy group. A method of reacting a saturated monobasic acid,
Any method may be adopted.

これらいずれの方法を採用する場合でも、二官能エポキシ化合物中のエポキシ基、または、エポキシ化合物中のエポキシ基とフェノール性ヒドロキシル基と反応し得る官能基を有する不飽和単量体中の官能基の合計1当量に対し、二官能フェノール化合物中のフェノール性ヒドロキシル基、または、フェノール化合物中のフェノール性ヒドロキシル基と不飽和一塩基酸中のカルボキシル基の合計が0.8〜1.2当量となるように仕込んで反応させることが好ましい。
上記の方法で得られる本発明におけるビニルエステルの二重結合当量(ラジカル重合性二重結合1化学当量当たりの分子量)は、450g/eq以上7000g/eq以下とすることが好ましい。450g/eqよりも小さい場合は、架橋点間距離が短すぎるために反り低減効果が十分に発現しない恐れがある。より好ましい下限は600g/eq、さらに好ましい下限は750g/eqである。また、7000g/eqを越えて大きい場合は分子量が大きくなりすぎるため、後述のラジカル重合性モノマーや溶媒といった希釈剤の存在下でも十分な流動性が得られず、製造時や塗布作業時に取り扱いが困難となる場合がある。より好ましいは6000g/eq、さらに好ましい上限は5000g/eqである。
In any of these methods, the functional group in the unsaturated monomer having an epoxy group in the bifunctional epoxy compound or a functional group capable of reacting with the epoxy group in the epoxy compound and the phenolic hydroxyl group is used. The total of phenolic hydroxyl groups in the bifunctional phenolic compound or phenolic hydroxyl groups in the phenolic compound and carboxyl groups in the unsaturated monobasic acid is 0.8 to 1.2 equivalents per 1 equivalent in total. It is preferable to prepare and react as described above.
The double bond equivalent of the vinyl ester obtained by the above method (molecular weight per chemical equivalent of radical polymerizable double bond) is preferably 450 g / eq or more and 7000 g / eq or less. If it is lower than 450 g / eq, the distance between cross-linking points is too short, and the warp reduction effect may not be sufficiently exhibited. A more preferred lower limit is 600 g / eq, and a more preferred lower limit is 750 g / eq. On the other hand, when the molecular weight exceeds 7000 g / eq, the molecular weight becomes too large, so that sufficient fluidity cannot be obtained even in the presence of a diluent such as a radical-polymerizable monomer or solvent described later, and handling is difficult during manufacturing and coating operations. It can be difficult. More preferably, it is 6000 g / eq, and a more preferable upper limit is 5000 g / eq.

ビニルエステル合成反応条件は特に限定されないが、後述のラジカル重合性モノマーや溶媒といった希釈剤の存在下あるいは非存在下で、ハイドロキノンや酸素等の重合禁止剤、およびトリエチルアミン等の三級アミン、トリエチルベンジルアンモニウムクロライド等の4級アンモニウム塩、2−エチル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾール化合物、トリフェニルホスフィン等の三級ホスフィン、ベンジルトリフェニルホスホニウムブロマイド等の4級ホスホニウム塩、金属の有機酸または無機塩あるいはキレート化合物等の反応触媒の共存下、通常80〜150℃で行えばよい。   Vinyl ester synthesis reaction conditions are not particularly limited, but in the presence or absence of diluents such as radical polymerizable monomers and solvents described below, polymerization inhibitors such as hydroquinone and oxygen, tertiary amines such as triethylamine, and triethylbenzyl Quaternary ammonium salts such as ammonium chloride, imidazole compounds such as 2-ethyl-4-methylimidazole, tertiary phosphines such as triphenylphosphine, quaternary phosphonium salts such as benzyltriphenylphosphonium bromide, metal organic acids or inorganic salts Or what is necessary is just to perform at 80-150 degreeC normally in coexistence of reaction catalysts, such as a chelate compound.

上記により、ビスフェノールS骨格とアルキレングリコール鎖とを有するビニルエステルが得られるが、このビニルエステルは、二官能エポキシ化合物あるいはフェノール性ヒドロキシル基と反応し得る官能基としてエポキシ基を有する不飽和単量体を用いた場合、これらが有するエポキシ基とフェノール性ヒドロキシル基や不飽和一塩基酸との反応により開環して生成したアルコール性ヒドロキシル基を有している。これらのヒドロキシル基に、本発明における酸変性ビニルエステルの第4の原料である多塩基酸無水物を付加反応させてカルボキシル基を導入した酸変性ビニルエステルとすることにより、アルカリ現像が可能な本発明の感光性樹脂が得られる。多塩基酸無水物としては、無水フタル酸、無水コハク酸、オクテニル無水コハク酸、ペンタドデセニル無水コハク酸、無水マレイン酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、3,6−エンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸、メチルエンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸、テトラブロモ無水フタル酸、9,10−ジヒドロ−9−オキサ−10−フォスファフェナントレン−10−オキシドと無水イタコン酸あるいは無水マレイン酸との反応物等の二塩基酸無水物;無水トリメリット酸;ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、ブタンテトラカルボン酸二無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、無水ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物等の脂肪族あるいは芳香族四塩基酸二無水物等が挙げられ、これらのうち1種または2種以上を用いることができる。   According to the above, a vinyl ester having a bisphenol S skeleton and an alkylene glycol chain is obtained. This vinyl ester is an unsaturated monomer having an epoxy group as a functional group capable of reacting with a bifunctional epoxy compound or a phenolic hydroxyl group. Is used, it has an alcoholic hydroxyl group produced by ring-opening by reaction of an epoxy group of these with a phenolic hydroxyl group or an unsaturated monobasic acid. A book that can be alkali-developed by making an acid-modified vinyl ester in which a carboxyl group is introduced by addition reaction of these hydroxyl groups with a polybasic acid anhydride that is the fourth raw material of the acid-modified vinyl ester in the present invention. The photosensitive resin of the invention is obtained. Polybasic acid anhydrides include phthalic anhydride, succinic anhydride, octenyl succinic anhydride, pentadodecenyl succinic anhydride, maleic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, 3,6- Reaction of endomethylenetetrahydrophthalic anhydride, methylendomethylenetetrahydrophthalic anhydride, tetrabromophthalic anhydride, 9,10-dihydro-9-oxa-10-phosphenanthrene-10-oxide with itaconic anhydride or maleic anhydride Dibasic acid anhydrides such as products; trimellitic anhydride; biphenyl tetracarboxylic dianhydride, naphthalene tetracarboxylic dianhydride, diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, butane tetracarboxylic dianhydride, cyclopentane tetracarbo Acid dianhydride, pyromellitic acid anhydride, aliphatic such as benzophenone tetracarboxylic acid dianhydride or aromatic tetracarboxylic acid dianhydride and the like, may be used alone or two or more of them.

付加反応時の溶媒としては特に限定されず、ビニルエステル合成に用いることのできる溶媒がいずれも使用可能である。工業的には、ビニルエステル合成に引き続いて、反応溶液中に多塩基酸無水物を添加して付加反応を行うのが簡便である。   The solvent for the addition reaction is not particularly limited, and any solvent that can be used for vinyl ester synthesis can be used. Industrially, following the synthesis of vinyl ester, it is convenient to carry out an addition reaction by adding a polybasic acid anhydride to the reaction solution.

上記付加反応には必要に応じて触媒を使用してもよい。具体的な触媒としては、トリエチルアミン等の三級アミン、トリエチルベンジルアンモニウムクロライド等の4級アンモニウム塩、2−エチル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾール化合物、トリフェニルフォスフィンやテトラフェニルホスホニウムブロマイド等のリン化合物、酢酸リチウム等のカルボン酸金属塩、炭酸リチウム等の無機金属塩等が挙げられる。   A catalyst may be used in the addition reaction as necessary. Specific catalysts include tertiary amines such as triethylamine, quaternary ammonium salts such as triethylbenzylammonium chloride, imidazole compounds such as 2-ethyl-4-methylimidazole, phosphorus such as triphenylphosphine and tetraphenylphosphonium bromide. Examples thereof include a compound, a carboxylic acid metal salt such as lithium acetate, and an inorganic metal salt such as lithium carbonate.

多塩基酸無水物は、ビニルエステル中のヒドロキシル基1化学当量に対して、多塩基酸無水物中の酸無水物基が0.1〜1.1モルとなるように反応させることが好ましく、より好ましくは0.2〜0.9モルである。弱アルカリ水溶液でも良好なアルカリ現像性を発現させるためには、酸変性ビニルエステルの酸価が30mgKOH/g以上であることが好ましく、より好ましい下限は50mgKOH/gである。また、好ましい上限は150mgKOH/g、より好ましい上限は120mgKOH/gである。反応温度については、好ましくは60〜150℃で、より好ましくは80〜120℃である。   The polybasic acid anhydride is preferably reacted so that the acid anhydride group in the polybasic acid anhydride is 0.1 to 1.1 mol with respect to 1 chemical equivalent of the hydroxyl group in the vinyl ester. More preferably, it is 0.2-0.9 mol. In order to develop good alkali developability even in a weak alkaline aqueous solution, the acid value of the acid-modified vinyl ester is preferably 30 mgKOH / g or more, and a more preferred lower limit is 50 mgKOH / g. Moreover, a preferable upper limit is 150 mgKOH / g, and a more preferable upper limit is 120 mgKOH / g. About reaction temperature, Preferably it is 60-150 degreeC, More preferably, it is 80-120 degreeC.

本発明では、酸変性ビニルエステルと後述のエポキシアクリレート等のラジカル重合性化合物等と共に構成した樹脂組成物をアルカリ現像型の画像形成用感光性樹脂組成物として用いることができるが、酸変性ビニルエステルが有するヒドロキシル基および/またはカルボキシル基に対して、これらの基と反応し得る官能基を有する単量体を反応させて得た、ラジカル重合性不飽和結合が増量された酸変性ビニルエステルを用いることもできる。   In the present invention, a resin composition constituted with an acid-modified vinyl ester and a radical polymerizable compound such as epoxy acrylate described later can be used as an alkali-developable photosensitive resin composition for image formation. An acid-modified vinyl ester having an increased amount of radical-polymerizable unsaturated bonds, obtained by reacting a hydroxyl group and / or carboxyl group possessed by a monomer having a functional group capable of reacting with these groups, is used. You can also.

ヒドロキシル基および/またはカルボキシル基と反応し得る官能基としては、イソシアネート基、ビニルエーテル基、エポキシ基、オキサゾリン基、アジリジン基、オキセタニル基等が挙げられ、単量体の具体例としては、イソシアネートエチル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸2−(ビニロキシエトキシ)エチル、グリシジル(メタ)アクリレート、アリルグリシジルエーテル、2−イソプロペニル−2−オキサゾリン、N−(メタ)アクリロイルアジリジン等が挙げられ、これらのうち1種または2種以上を用いることができる。
ヒドロキシル基と単量体を反応させる場合は、多塩基酸無水物との反応の前後で、あるいは同時に、任意の段階で行うことができる。ヒドロキシル基および/またはカルボキシル基と単量体との反応条件は、各々の官能基について、公知の手法で触媒、反応温度を適宜選択して行えばよい。
Examples of the functional group capable of reacting with a hydroxyl group and / or a carboxyl group include an isocyanate group, a vinyl ether group, an epoxy group, an oxazoline group, an aziridine group, and an oxetanyl group. Specific examples of the monomer include isocyanate ethyl ( (Meth) acrylate, (meth) acrylic acid 2- (vinyloxyethoxy) ethyl, glycidyl (meth) acrylate, allyl glycidyl ether, 2-isopropenyl-2-oxazoline, N- (meth) acryloylaziridine, etc. 1 type (s) or 2 or more types can be used.
When the hydroxyl group and the monomer are reacted, the reaction can be performed at any stage before or after the reaction with the polybasic acid anhydride. The reaction conditions between the hydroxyl group and / or carboxyl group and the monomer may be determined by appropriately selecting the catalyst and reaction temperature for each functional group by a known method.

ヒドロキシル基および/またはカルボキシル基に対する単量体の使用量は、単量体中のこれらと反応し得る官能基が0.9モル以下、より好ましくは0.8モル以下となるように反応させることが好ましい。   The amount of the monomer used relative to the hydroxyl group and / or carboxyl group should be such that the functional group capable of reacting with these in the monomer is 0.9 mol or less, more preferably 0.8 mol or less. Is preferred.

また、酸変性ビニルエステルが有するカルボキシル基に対して単量体を反応させる場合は、カルボキシル基が消費されるので、得られるラジカル重合性不飽和結合が増量された酸変性ビニルエステルの酸価が30mgKOH/g以上(より好ましくは50mgKOH/g以上)、150mgKOH/g以下(より好ましくは120mgKOH/g以下)となるよう、酸変性ビニルエステルの組成や単量体の使用量を調整することが好ましい。   In addition, when the monomer is reacted with the carboxyl group of the acid-modified vinyl ester, the carboxyl group is consumed, so that the acid value of the acid-modified vinyl ester obtained by increasing the amount of the radical polymerizable unsaturated bond is It is preferable to adjust the composition of the acid-modified vinyl ester and the amount of monomer used so that it is 30 mgKOH / g or more (more preferably 50 mgKOH / g or more) and 150 mgKOH / g or less (more preferably 120 mgKOH / g or less). .

本発明では、酸変性ビニルエステルと公知のラジカル重合性化合物とを混合して感光性樹脂組成物として用いる。このようなラジカル重合性化合物には、ラジカル重合性樹脂とラジカル重合性モノマーとがある。ラジカル重合性樹脂としては、不飽和ポリエステル、エポキシアクリレート、ウレタンアクリレート、ポリエステルアクリレート等が使用できる。これらのラジカル重合性樹脂を用いる場合、本発明の感光性樹脂組成物の成分として用いられる酸変性ビニルエステルに由来するアルカリ現像性向上や反り低減効果を有効に発揮させるために、樹脂固形分(酸変性ビニルエステルと上記ラジカル重合性樹脂固形分との総量)を100質量%としたとき、ラジカル重合性樹脂を90質量%以下で使用することが好ましい。より好ましい上限値は80質量%、さらに好ましい上限値は70質量%である。   In the present invention, an acid-modified vinyl ester and a known radical polymerizable compound are mixed and used as a photosensitive resin composition. Such radically polymerizable compounds include radically polymerizable resins and radically polymerizable monomers. As the radical polymerizable resin, unsaturated polyester, epoxy acrylate, urethane acrylate, polyester acrylate, or the like can be used. When these radical polymerizable resins are used, in order to effectively exhibit the alkali developability improvement and the warp reduction effect derived from the acid-modified vinyl ester used as a component of the photosensitive resin composition of the present invention, resin solids ( When the total amount of the acid-modified vinyl ester and the solid content of the radical polymerizable resin is 100% by mass, the radical polymerizable resin is preferably used at 90% by mass or less. A more preferable upper limit value is 80% by mass, and a further preferable upper limit value is 70% by mass.

ラジカル重合性モノマーとしては、単官能(ラジカル重合可能な二重結合が1個)モノマーと多官能モノマー(ラジカル重合可能な二重結合が2個以上)のいずれも使用可能である。ラジカル重合性モノマーは光重合に関与し、得られる硬化物の特性を改善する上に、感光性樹脂組成物の粘度を調整することもできる。ラジカル重合性モノマーを使用する場合の好ましい使用量は、樹脂固形分(本発明の酸変性ビニルエステルとラジカル重合性樹脂固形分との総量)100質量部に対し、5〜500質量部(より好ましくは10〜100質量部)である。   As the radical polymerizable monomer, either a monofunctional (one radical polymerizable double bond) monomer or a polyfunctional monomer (two or more radical polymerizable double bonds) can be used. The radical polymerizable monomer is involved in photopolymerization, and can improve the properties of the resulting cured product and can also adjust the viscosity of the photosensitive resin composition. The preferred use amount when using the radical polymerizable monomer is 5 to 500 parts by mass (more preferably) with respect to 100 parts by mass of the resin solid content (total amount of the acid-modified vinyl ester of the present invention and the radical polymerizable resin solid content). Is 10 to 100 parts by mass).

ラジカル重合性モノマーの具体例としては、N−フェニルマレイミド、N−(2−メチルフェニル)マレイミド、N−(4−メチルフェニル)マレイミド、N−(2,6−ジエチルフェニル)マレイミド、N−(2−クロロフェニル)マレイミド、N−メチルマレイミド、N−エチルマレイミド、N−イソプロピルマレイミド、N−ラウリルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、N−フェニルメチルマレイミド、N−(2,4,6−トリブロモフェニル)マレイミド、N−[3−(トリエトキシシリル)プロピル]マレイミド、N−オクタデセニルマレイミド、N−ドデセニルマレイミド、N−(2−メトキシフェニル)マレイミド、N−(2,4,6−トリクロロフェニル)マレイミド、N−(4−ヒドロキシフェニル)マレイミド等のN−置換マレイミド基含有単量体;スチレン、α−メチルスチレン、α−クロロスチレン、ビニルトルエン、p−ヒドロキシスチレン、ジビニルベンゼン、ジアリルフタレート、ジアリルベンゼンホスホネート等の芳香族ビニル系単量体;酢酸ビニル、アジピン酸ビニル等のビニルエステルモノマー;(メタ)アクリル酸、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、N−ヒドロキシメチル(メタ)アクリルアミド、ペンタエリスリトールモノ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールモノ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンモノ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールモノ(メタ)アクリレート、グリセロールモノ(メタ)アクリレート、(ジ)エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、トリス[2−(メタ)アクリロイルオキシエチル]トリアジン等の(メタ)アクリル系単量体;n−プロピルビニルエーテル、イソプロピルビニルエーテル、n−ブチルビニルエーテル、イソブチルビニルエーテル、n−ヘキシルビニルエーテル、シクロヘキシルビニルエーテル、2−エチルヘキシルビニルエーテル、4−ヒドロキシブチルビニルエーテル等の(ヒドロキシ)アルキルビニル(チオ)エーテル;(メタ)アクリル酸2−(ビニロキシエトキシ)エチル、(メタ)アクリル酸2−(イソプロペノキシエトキシエトキシ)エチル、(メタ)アクリル酸2−(イソプロペノキシエトキシエトキシエトキシ)エチル、(メタ)アクリル酸2−(イソプロペノキシエトキシエトキシエトキシエトキシ)エチル等のラジカル重合性二重結合を有するビニル(チオ)エーテル;無水マレイン酸等の酸無水物基含有単量体あるいはこれをアルコール類、アミン類、水等により酸無水物基を開環変性した単量体;N−ビニルピロリドン、N−ビニルオキサゾリドン等のN−ビニル系単量体;アリルアルコール、トリアリルシアヌレート等、ラジカル重合可能な二重結合を1個以上有する化合物が挙げられる。これらは、樹脂組成物の用途や要求特性に応じて適宜選択され、1種または2種以上を混合して用いることができる。   Specific examples of the radical polymerizable monomer include N-phenylmaleimide, N- (2-methylphenyl) maleimide, N- (4-methylphenyl) maleimide, N- (2,6-diethylphenyl) maleimide, N- ( 2-chlorophenyl) maleimide, N-methylmaleimide, N-ethylmaleimide, N-isopropylmaleimide, N-laurylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, N-phenylmethylmaleimide, N- (2,4,6-tribromophenyl) Maleimide, N- [3- (triethoxysilyl) propyl] maleimide, N-octadecenylmaleimide, N-dodecenylmaleimide, N- (2-methoxyphenyl) maleimide, N- (2,4,6 -Trichlorophenyl) maleimide, N- (4-hydroxyphenyl) maleimi N-substituted maleimide group-containing monomers such as styrene, α-methylstyrene, α-chlorostyrene, vinyltoluene, p-hydroxystyrene, divinylbenzene, diallyl phthalate, diallylbenzene phosphonate, etc. Vinyl ester monomers such as vinyl acetate and vinyl adipate; (meth) acrylic acid, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 3-hydroxypropyl (Meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate, N-hydroxymethyl (meth) acrylamide, pentaerythritol mono (meth) acrylate, dipentaerythritol mono (Meth) acrylate, trimethylolpropane mono (meth) acrylate, 1,6-hexanediol mono (meth) acrylate, glycerol mono (meth) acrylate, (di) ethylene glycol di (meth) acrylate, propylene glycol di (meth) acrylate , Trimethylolpropane di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, tris [2- (meth) acryloyloxyethyl] triazine, etc. (Meth) acrylic monomers: n-propyl vinyl ether, isopropyl vinyl ether, n-butyl vinyl ether, isobutyl vinyl ether, n-hexyl vinyl ether, (Hydroxy) alkyl vinyl (thio) ethers such as rohexyl vinyl ether, 2-ethylhexyl vinyl ether, 4-hydroxybutyl vinyl ether; 2- (vinyloxyethoxy) ethyl (meth) acrylate, 2- (isopropeno) Radical polymerizable double bonds such as 2- (isopropenoxyethoxyethoxyethoxy) ethyl (meth) acrylate, 2- (isopropenoxyethoxyethoxyethoxy) ethyl (meth) acrylate, etc. Vinyl (thio) ether; monomers containing acid anhydride groups such as maleic anhydride or monomers obtained by ring-opening modification of acid anhydride groups with alcohols, amines, water, etc .; N-vinylpyrrolidone, N -N-vinyl monomers such as vinyl oxazolidone; Examples thereof include compounds having one or more double bonds capable of radical polymerization, such as alcohol and triallyl cyanurate. These are appropriately selected according to the use and required characteristics of the resin composition, and can be used alone or in combination of two or more.

本発明の感光性樹脂組成物を基材に塗布する際の作業性等の観点から、組成物中に溶媒を配合してもよい。溶媒としては、トルエン、キシレン等の炭化水素類;セロソルブ、ブチルセロソルブ等のセロソルブ類;カルビトール、ブチルカルビトール等のカルビトール類;セロソルブアセテート、カルビトールアセテート、(ジ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、グルタル酸(ジ)メチル、コハク酸(ジ)メチル、アジピン酸(ジ)メチル等のエステル類;メチルイソブチルケトン、メチルエチルケトン等のケトン類;(ジ)エチレングリコールジメチルエーテル等のエーテル類等が挙げられ、これらの溶媒は1種または2種以上を混合して用いることができる。   From the viewpoint of workability and the like when applying the photosensitive resin composition of the present invention to a substrate, a solvent may be blended in the composition. Solvents include hydrocarbons such as toluene and xylene; cellosolves such as cellosolve and butylcellosolve; carbitols such as carbitol and butylcarbitol; cellosolve acetate, carbitol acetate, (di) propylene glycol monomethyl ether acetate, glutar Examples include esters such as acid (di) methyl, succinic acid (di) methyl, and adipic acid (di) methyl; ketones such as methyl isobutyl ketone and methyl ethyl ketone; (di) ethers such as ethylene glycol dimethyl ether, and the like. These solvents can be used alone or in combination of two or more.

本発明の感光性樹脂組成物は公知の熱重合開始剤を使用することにより熱硬化も可能であるが、フォトリソグラフィーにより微細加工や画像形成するには、光重合開始剤を添加して光硬化させることが好ましい。   The photosensitive resin composition of the present invention can be thermally cured by using a known thermal polymerization initiator. However, for fine processing and image formation by photolithography, a photopolymerization initiator is added and photocuring is performed. It is preferable to make it.

光重合開始剤としては公知のものが使用でき、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル等のベンゾインとそのアルキルエーテル類;アセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、1,1−ジクロロアセトフェノン、4−(1−t−ブチルジオキシ−1−メチルエチル)アセトフェノン等のアセトフェノン類;2−メチルアントラキノン、2−アミルアントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノン等のアントラキノン類;2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン、2−クロロチオキサントン等のチオキサントン類;アセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタール等のケタール類;ベンゾフェノン、4−(1−t−ブチルジオキシ−1−メチルエチル)ベンゾフェノン、3,3',4,4'−テトラキス(t−ブチルジオキシカルボニル)ベンゾフェノン等のベンゾフェノン類;2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノ−プロパン−1−オンや2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン−1;アシルホスフィンオキサイド類およびキサントン類等が挙げられる。   Known photopolymerization initiators can be used such as benzoin such as benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether and alkyl ethers thereof; acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 1,1-dichloroacetophenone. Acetophenones such as 4- (1-t-butyldioxy-1-methylethyl) acetophenone; anthraquinones such as 2-methylanthraquinone, 2-amylanthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, 1-chloroanthraquinone; 2,4 -Thioxanthones such as dimethylthioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone and 2-chlorothioxanthone; Ketals such as acetophenone dimethyl ketal and benzyldimethyl ketal; Benzophenone, 4- (1- -Benzophenones such as butyldioxy-1-methylethyl) benzophenone and 3,3 ', 4,4'-tetrakis (t-butyldioxycarbonyl) benzophenone; 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl]- Examples include 2-morpholino-propan-1-one and 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1; acylphosphine oxides and xanthones.

これらの光重合開始剤は1種または2種以上の混合物として使用され、樹脂固形分(本発明における酸変性ビニルエステルとラジカル重合性樹脂固形分との総量)と必要により用いることのできるラジカル重合性モノマーの合計100質量部に対し、0.5〜30質量部含まれていることが好ましい。光重合開始剤の量が0.5質量部より少ない場合には、光照射時間を増やさなければならなかったり、光照射を行っても重合が起こりにくかったりするため、適切な表面硬度が得られなくなる。なお、光重合開始剤を30質量部を越えて配合しても、多量に使用するメリットはない。   These photopolymerization initiators are used as one type or a mixture of two or more types, and the resin solid content (total amount of acid-modified vinyl ester and radical polymerizable resin solid content in the present invention) and radical polymerization that can be used as necessary. It is preferable that 0.5-30 mass parts is contained with respect to a total of 100 mass parts of an ionic monomer. When the amount of the photopolymerization initiator is less than 0.5 parts by mass, it is necessary to increase the light irradiation time or it is difficult for polymerization to occur even if light irradiation is performed, so that an appropriate surface hardness can be obtained. Disappear. In addition, even if it mixes photopolymerization initiator exceeding 30 mass parts, there is no merit which uses it in large quantities.

本発明の感光性樹脂組成物には、一分子中に2個以上のカルボキシル基と反応し得る官能基を有する化合物を配合してもよい。このことにより、光と熱とを併用して硬化させることで、より強固な硬化塗膜を得ることができる。画像形成に用いる場合は、光照射、アルカリ現像後に熱処理することで、硬化塗膜中のカルボキシル基を消費させつつ架橋度を上げることができ、より耐久性等の物性を向上させることができる。   The photosensitive resin composition of the present invention may contain a compound having a functional group capable of reacting with two or more carboxyl groups in one molecule. Thus, a stronger cured coating film can be obtained by curing using light and heat in combination. When used for image formation, heat treatment after light irradiation and alkali development can increase the degree of crosslinking while consuming carboxyl groups in the cured coating film, and can improve physical properties such as durability.

このような一分子中に2個以上のカルボキシル基と反応し得る官能基を有する化合物として、エポキシ化合物、オキサゾリン化合物、オキセタン化合物等が挙げられる。具体的には、エポキシ化合物としてはノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノール型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、トリグリシジルイソシアルレート等が、オキサゾリン化合物としては1,3−フェニレンビスオキサゾリン等が挙げられる。好ましい使用量は、樹脂固形分(本発明の酸変性ビニルエステルとラジカル重合性樹脂固形分との総量)と必要により用いることのできるラジカル重合性モノマーの合計100質量部に対し、5〜70質量部、より好ましい使用量は10〜50質量部である。このとき、ジシアンジアミド、イミダゾール化合物等の硬化剤を併用してもよい。   Examples of such a compound having a functional group capable of reacting with two or more carboxyl groups in one molecule include an epoxy compound, an oxazoline compound, and an oxetane compound. Specifically, examples of the epoxy compound include novolak type epoxy resin, bisphenol type epoxy resin, alicyclic epoxy resin, triglycidyl isosialate, and the like, and examples of the oxazoline compound include 1,3-phenylenebisoxazoline. A preferable amount of use is 5 to 70 mass with respect to a total of 100 mass parts of the resin solid content (total amount of the acid-modified vinyl ester of the present invention and the radical polymerizable resin solid content) and the radical polymerizable monomer that can be used if necessary. Parts, more preferably 10 to 50 parts by mass. At this time, a curing agent such as dicyandiamide or an imidazole compound may be used in combination.

本発明の感光性樹脂組成物には、さらに必要に応じて、タルク、クレー、硫酸バリウム等の充填材、着色用顔料、消泡剤、カップリング剤、レベリング剤、増感剤、離型剤、滑剤、可塑剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、難燃剤、重合抑制剤、増粘剤等の公知の添加剤を添加してもよい。さらに、各種強化繊維を補強用繊維として用い、繊維強化複合材料とすることができる。   If necessary, the photosensitive resin composition of the present invention may further include a filler such as talc, clay, barium sulfate, a coloring pigment, an antifoaming agent, a coupling agent, a leveling agent, a sensitizer, and a release agent. Well-known additives such as lubricants, plasticizers, antioxidants, ultraviolet absorbers, flame retardants, polymerization inhibitors, thickeners, and the like may be added. Furthermore, various reinforcing fibers can be used as reinforcing fibers to form a fiber-reinforced composite material.

本発明の感光性樹脂組成物を画像形成用として使用する場合、基材に塗布し、露光して硬化塗膜を得た後、未露光部分を、前記した溶媒やトリクロロエチレン等のハロゲン系溶媒等を用いて溶剤現像することもできるが、カルボキシル基が導入されており未露光部分がアルカリ水溶液に溶解することから、アルカリ現像を行うことが好ましい。使用可能なアルカリの具体例としては、例えば炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等のアルカリ金属化合物;水酸化カルシウム等のアルカリ土類金属化合物;アンモニア;モノメチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、モノエチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、モノプロピルアミン、ジメチルプロピルアミン、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、エチレンジアミン、ジエチレントリアミン、ジメチルアミノエチルメタクリレート、ポリエチレンイミン等の水溶性有機アミン類が挙げられ、これらの1種または2種以上を使用することができる。   When the photosensitive resin composition of the present invention is used for image formation, it is applied to a substrate, exposed to obtain a cured coating film, and then an unexposed portion is formed by using a solvent such as the above-described solvent or trichloroethylene-based solvent. However, it is preferable to perform alkali development since a carboxyl group is introduced and an unexposed portion is dissolved in an alkaline aqueous solution. Specific examples of usable alkali include alkali metal compounds such as sodium carbonate, potassium carbonate, sodium hydroxide and potassium hydroxide; alkaline earth metal compounds such as calcium hydroxide; ammonia; monomethylamine, dimethylamine and trimethylamine Water-soluble organic amines such as monoethylamine, diethylamine, triethylamine, monopropylamine, dimethylpropylamine, monoethanolamine, diethanolamine, triethanolamine, ethylenediamine, diethylenetriamine, dimethylaminoethyl methacrylate, and polyethyleneimine. 1 type (s) or 2 or more types can be used.

本発明の感光性樹脂組成物は、液状で直接基材に塗布する方法以外にも、予めポリエチレンテレフタレート等のフィルムに塗布して乾燥させたドライフィルムの形態で使用することもできる。この場合、ドライフィルムを基材に積層し、露光前または露光後にフィルムを剥離すればよい。   The photosensitive resin composition of the present invention can be used in the form of a dry film that is applied in advance to a film of polyethylene terephthalate or the like and dried in addition to the method of applying the photosensitive resin composition directly to a substrate in a liquid state. In this case, a dry film may be laminated on a substrate, and the film may be peeled off before or after exposure.

また、印刷製版分野で最近多用されているCTP(Computer To Plate)システム、すなわち、露光時にパターン形成用フィルムを使用せず、デジタル化されたデータによってレーザー光を直接塗膜上に走査・露光して描画する方法を採用することができる。   In addition, the CTP (Computer To Plate) system, which has been widely used in the printing plate making field, that is, the pattern forming film is not used at the time of exposure, and laser light is directly scanned and exposed on the coating film by digitized data. The drawing method can be adopted.

本発明の感光性樹脂組成物は、アルカリ現像性と光硬化性を両立させることができ、さらに、硬化収縮が小さいため、硬化の際、基材の反りを低減することができた。従って、本発明の感光性樹脂組成物は、アルカリ現像可能な画像形成用感光性樹脂組成物として、例えば、プリント配線基板用ソルダーレジスト、エッチングレジスト、無電解メッキレジスト、ビルドアップ法プリント配線板の絶縁層、液晶表示板製造用、印刷製版等の各種の用途に好適に使用できる。   The photosensitive resin composition of the present invention can achieve both alkali developability and photocurability, and furthermore, since the shrinkage of curing is small, the warpage of the substrate can be reduced during curing. Therefore, the photosensitive resin composition of the present invention is an alkali-developable photosensitive resin composition for image formation, such as a solder resist for printed wiring boards, an etching resist, an electroless plating resist, and a build-up method printed wiring board. It can be suitably used for various applications such as an insulating layer, liquid crystal display plate production, and printing plate making.

以下、実施例によって本発明をさらに詳述するが、下記実施例は本発明を制限するものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で変更実施をすることは全て本発明の技術的範囲に包含される。なお、以下の説明では特に断らない限り、「部」は「質量部」を、「%」は「質量%」を表す。また、以下の実施例における各物性値の測定方法は次の通りである。
[現像性]
酸変性ビニルエステル溶液の固形分に対し、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(多官能モノマー)を10%、イルガキュアー907(商品名;チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製の光重合開始剤)を5%添加して均一溶液とし、銅板上に乾燥後の膜厚が約30μmとなるように塗布した後、90℃で30分間加熱した。その後、30℃の1%炭酸ナトリウム水溶液中に3分間浸漬し、塗膜の残存度合いにより、現像性(アルカリ溶解性)を評価した。
[光硬化性]
現像性評価と同様にして得た乾燥塗膜に対し、紫外線露光装置を用いて2J/cmの露光を行った後、30℃の1%炭酸ナトリウム水溶液中に3分間浸漬し、塗膜の残存度合いによって光硬化性を評価した。
[硬化時の反り]
酸変性ビニルエステル溶液の固形分に対し、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(多官能モノマー)を10%、イルガキュアー907(商品名;チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製の光重合開始剤)を5%添加して均一溶液とし、125μ厚、60mm×30mmのポリエチレンテレフタレートフィルムに乾燥後の膜厚が約100μmになるように塗布した後、90℃で30分間加熱した。次いで、紫外線露光装置を用いて2J/cmの露光を行った後、さらに、160℃で1時間加熱した。試験片を室温まで冷却して、反りの度合いを下記基準で評価した。
Hereinafter, the present invention will be described in more detail by way of examples. However, the following examples are not intended to limit the present invention, and all modifications made without departing from the spirit of the present invention are within the technical scope of the present invention. Is included. In the following description, “part” represents “part by mass” and “%” represents “% by mass” unless otherwise specified. Moreover, the measuring method of each physical property value in the following examples is as follows.
[Developability]
10% dipentaerythritol hexaacrylate (polyfunctional monomer) and 5% Irgacure 907 (trade name; photopolymerization initiator manufactured by Ciba Specialty Chemicals) are added to the solid content of the acid-modified vinyl ester solution. A uniform solution was applied on the copper plate so that the film thickness after drying was about 30 μm, and then heated at 90 ° C. for 30 minutes. Thereafter, the film was immersed in a 1% aqueous sodium carbonate solution at 30 ° C. for 3 minutes, and the developability (alkali solubility) was evaluated based on the remaining degree of the coating film.
[Photocurability]
The dried coating film obtained in the same manner as in the evaluation of developability was exposed to 2 J / cm 2 using an ultraviolet exposure device, and then immersed in a 1% aqueous sodium carbonate solution at 30 ° C. for 3 minutes. Photocurability was evaluated according to the degree of remaining.
[Warpage during curing]
10% dipentaerythritol hexaacrylate (polyfunctional monomer) and 5% Irgacure 907 (trade name; photopolymerization initiator manufactured by Ciba Specialty Chemicals) are added to the solid content of the acid-modified vinyl ester solution. The solution was applied to a polyethylene terephthalate film having a thickness of 125 μ and 60 mm × 30 mm so that the thickness after drying was about 100 μm, and then heated at 90 ° C. for 30 minutes. Next, after performing exposure at 2 J / cm 2 using an ultraviolet exposure device, it was further heated at 160 ° C. for 1 hour. The specimen was cooled to room temperature, and the degree of warpage was evaluated according to the following criteria.

塗布面を上にして(下に凸の弓形となるように)置いたとき
○−−−−中心部と端部との高低差が5mm未満(ほとんど反っていない)
△−−−−中心部と端部との高低差が5〜10mm(やや反っている)
×−−−−中心部と端部との高低差が10mm以上(著しく反っている)
実施例1、2及び比較例1、2
実施例1
1)酸変性ビニルエステル(A−1)の合成
撹拌装置、温度計、還流冷却器、ガス導入管を備えた容器に、二官能エポキシ化合物としてビスフェノールAプロピレンオキサイド付加物のジグリシジルエーテル化物(商品名「EP−4000」;旭電化製;エポキシ当量324)324部、二官能フェノール化合物としてビスフェノールS94部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート300部、反応触媒としてベンジルトリエチルアンモニウムクロライド0.5部を加え、140℃で10時間反応させてフェノール性ヒドロキシル基の消失を確認した。次いで、アクリル酸18部、エステル化触媒としてベンジルトリフェニルホスホニウムクロライド1.3部、重合禁止剤としてメチルハイドロキノン0.6部を仕込み、120℃で20時間反応させた。次に、カルボキシル基導入反応として、テトラヒドロ無水フタル酸121部を仕込み、100℃で10時間反応させた。その結果、酸価が82mgKOH/gの酸変性ビニルエステル(A−1)を65%含むプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液が得られた。
2)感光性樹脂組成物の現像性、光硬化性、硬化時の反り評価
前記酸変性ビニルエステル(A−1)の溶液を用いた感光性樹脂組成物で、前記した方法で現像性、光硬化性、硬化時の反りを評価した。
現像性に関しては、3分間浸漬によって塗膜は溶解除去されていた。光硬化性に関しては、露光後の硬化塗膜は炭酸ナトリウム水溶液に3分間浸漬した後も変化が認められなかった。硬化時の反りの状態は○(ほとんど反っていない)であった。
実施例2
1)酸変性ビニルエステル(A−2)の合成
撹拌装置、温度計、還流冷却器、ガス導入管を備えた容器に、二官能エポキシ化合物として前記したEP−4000、259.2部とビスフェノールA型エポキシ樹脂(商品名「YD−127」;東都化成製;エポキシ当量183.7)、36.7部との混合物を用い、二官能フェノール化合物としてビスフェノールS94部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート280部、反応触媒としてベンジルトリエチルアンモニウムクロライド0.4部を加え、140℃で10時間反応させてフェノール性ヒドロキシル基の消失を確認した。次いで、アクリル酸18部、エステル化触媒としてベンジルトリフェニルホスホニウムクロライド1.2部、重合禁止剤としてメチルハイドロキノン0.5部を仕込み、120℃で20時間反応させた。次に、カルボキシル基導入反応として、テトラヒドロ無水フタル酸113部を仕込み、100℃で10時間反応させた。その結果、酸価が83mgKOH/gの酸変性ビニルエステル(A−2)を65%含むプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液が得られた。
2)感光性樹脂組成物の現像性、光硬化性、硬化時の反り評価
前記酸変性ビニルエステル(A−2)の溶液を用いた感光性樹脂組成物で、前記した方法で現像性、光硬化性、硬化時の反りを評価した。
現像性に関しては、3分間浸漬によって塗膜は溶解除去されていた。光硬化性に関しては、露光後の硬化塗膜は炭酸ナトリウム水溶液に3分間浸漬した後も変化が認められなかった。硬化時の反りの状態は○(ほとんど反っていない)であった。
比較例1
1)比較用酸変性ビニルエステル(B−1)の合成
撹拌装置、温度計、還流冷却器、ガス導入管を備えた容器に、二官能エポキシ化合物として前記したYD−127、183.7部を用い、二官能フェノール化合物としてビスフェノールS100部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート206部、反応触媒としてベンジルトリエチルアンモニウムクロライド0.3部を加え、140℃で10時間反応させてフェノール性ヒドロキシル基の消失を確認した。次いで、アクリル酸15部、エステル化触媒としてベンジルトリフェニルホスホニウムクロライド0.9部、重合禁止剤としてメチルハイドロキノン0.4部を仕込み、120℃で20時間反応させた。次に、カルボキシル基導入反応として、テトラヒドロ無水フタル酸83部を仕込み、100℃で10時間反応させた。その結果、酸価が83mgKOH/gの比較用酸変性ビニルエステル(B−1)を65%含むプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液が得られた。
2)感光性樹脂組成物の現像性、光硬化性、硬化時の反り評価
前記比較用酸変性ビニルエステル(B−1)の溶液を用いた感光性樹脂組成物で、前記した方法で現像性、光硬化性、硬化時の反りを評価した。
現像性に関しては、3分間浸漬によっても塗膜は溶解除去されなかった。光硬化性に関しては、未露光塗膜が溶解除去できなかったことから、評価しなかった。硬化時の反りの状態は△(やや反っている)であった。
比較例2
1)比較用酸変性ビニルエステル(B−2)の合成
撹拌装置、温度計、還流冷却器、ガス導入管を備えた容器に、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(商品名「YDCN−703」;東都化成製;エポキシ当量207)207部、アクリル酸73部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを193部、エステル化触媒としてベンジルトリフェニルホスホニウムクロライド0.8部、重合禁止剤としてメチルハイドロキノン0.4部を仕込み、120℃で20時間反応させた。次に、カルボキシル基導入反応として、テトラヒドロ無水フタル酸78部、ベンジルトリエチルアンモニウムクロライド0.2部を加え、100℃で10時間反応させた。その結果、酸価が84mgKOH/gの比較用酸変性ビニルエステル(B−2)を65%含むプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液が得られた。
2)感光性樹脂組成物の現像性、光硬化性、硬化時の反り評価
前記比較用酸変性ビニルエステル(B−2)の溶液を用いた感光性樹脂組成物で、前記した方法で現像性、光硬化性、硬化時の反りを評価した。
現像性に関しては、3分間浸漬によって塗膜は溶解除去されていた。光硬化性に関しては、露光後の硬化塗膜は炭酸ナトリウム水溶液に3分間浸漬した後も変化が認められなかった。硬化時の反りの状態は×(著しく反っている)であった。
When placed with the coated surface up (being a convex arch), the difference in height between the center and the edge is less than 5 mm (almost not warped).
Δ ---- The difference in height between the center and the edge is 5 to 10 mm (slightly warped).
× ---- The height difference between the center and the edge is 10 mm or more (remarkably warped)
Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2
Example 1
1) Synthesis of acid-modified vinyl ester (A-1) Diglycidyl etherified product of bisphenol A propylene oxide adduct as a bifunctional epoxy compound in a vessel equipped with a stirrer, thermometer, reflux condenser, and gas introduction tube (product) Name “EP-4000”; manufactured by Asahi Denka; 324 parts of epoxy equivalent 324), 94 parts of bisphenol S as a bifunctional phenol compound, 300 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate, 0.5 part of benzyltriethylammonium chloride as a reaction catalyst, 140 It was made to react at 10 degreeC for 10 hours, and the loss | disappearance of the phenolic hydroxyl group was confirmed. Next, 18 parts of acrylic acid, 1.3 parts of benzyltriphenylphosphonium chloride as an esterification catalyst, and 0.6 parts of methylhydroquinone as a polymerization inhibitor were charged and reacted at 120 ° C. for 20 hours. Next, as a carboxyl group introduction reaction, 121 parts of tetrahydrophthalic anhydride was charged and reacted at 100 ° C. for 10 hours. As a result, a propylene glycol monomethyl ether acetate solution containing 65% of an acid-modified vinyl ester (A-1) having an acid value of 82 mgKOH / g was obtained.
2) Evaluation of developability, photocurability, and warpage during curing of photosensitive resin composition Photosensitive resin composition using a solution of acid-modified vinyl ester (A-1). The curability and warpage during curing were evaluated.
Regarding developability, the coating film was dissolved and removed by immersion for 3 minutes. Regarding photocurability, the cured coating film after exposure was not changed even after being immersed in an aqueous sodium carbonate solution for 3 minutes. The state of warping at the time of curing was ○ (almost not warped).
Example 2
1) Synthesis of acid-modified vinyl ester (A-2) EP-4000, 259.2 parts and bisphenol A described above as a bifunctional epoxy compound in a vessel equipped with a stirrer, thermometer, reflux condenser, and gas introduction tube Type epoxy resin (trade name “YD-127”; manufactured by Tohto Kasei; epoxy equivalent 183.7), 36.7 parts, bisphenol S 94 parts, propylene glycol monomethyl ether acetate 280 parts as a bifunctional phenol compound, As a reaction catalyst, 0.4 part of benzyltriethylammonium chloride was added and reacted at 140 ° C. for 10 hours to confirm the disappearance of the phenolic hydroxyl group. Next, 18 parts of acrylic acid, 1.2 parts of benzyltriphenylphosphonium chloride as an esterification catalyst, and 0.5 parts of methylhydroquinone as a polymerization inhibitor were charged and reacted at 120 ° C. for 20 hours. Next, as a carboxyl group introduction reaction, 113 parts of tetrahydrophthalic anhydride was charged and reacted at 100 ° C. for 10 hours. As a result, a propylene glycol monomethyl ether acetate solution containing 65% of an acid-modified vinyl ester (A-2) having an acid value of 83 mgKOH / g was obtained.
2) Development of photosensitive resin composition, photocurability, evaluation of warping during curing Photosensitive resin composition using solution of acid-modified vinyl ester (A-2). The curability and warpage during curing were evaluated.
Regarding developability, the coating film was dissolved and removed by immersion for 3 minutes. Regarding photocurability, the cured coating film after exposure was not changed even after being immersed in an aqueous sodium carbonate solution for 3 minutes. The state of warping at the time of curing was ○ (almost not warped).
Comparative Example 1
1) Synthesis of comparative acid-modified vinyl ester (B-1) In a vessel equipped with a stirrer, a thermometer, a reflux condenser, and a gas introduction tube, YD-127 and 183.7 parts described above as a bifunctional epoxy compound were added. Used, 100 parts of bisphenol S as a bifunctional phenol compound, 206 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate and 0.3 part of benzyltriethylammonium chloride as a reaction catalyst were added and reacted at 140 ° C. for 10 hours to confirm the disappearance of the phenolic hydroxyl group. . Next, 15 parts of acrylic acid, 0.9 part of benzyltriphenylphosphonium chloride as an esterification catalyst and 0.4 part of methylhydroquinone as a polymerization inhibitor were charged and reacted at 120 ° C. for 20 hours. Next, as a carboxyl group introduction reaction, 83 parts of tetrahydrophthalic anhydride was charged and reacted at 100 ° C. for 10 hours. As a result, a propylene glycol monomethyl ether acetate solution containing 65% of a comparative acid-modified vinyl ester (B-1) having an acid value of 83 mgKOH / g was obtained.
2) Development of photosensitive resin composition, photocurability, evaluation of warping during curing Photosensitive resin composition using solution of acid-modified vinyl ester (B-1) for comparison, developability by the above-described method. The photocurability and the warpage during curing were evaluated.
Regarding the developability, the coating film was not dissolved and removed even by immersion for 3 minutes. The photocurability was not evaluated because the unexposed film could not be dissolved and removed. The state of warping during curing was Δ (slightly warped).
Comparative Example 2
1) Synthesis of comparative acid-modified vinyl ester (B-2) In a container equipped with a stirrer, thermometer, reflux condenser, and gas introduction tube, a cresol novolac epoxy resin (trade name “YDCN-703”; Toto Kasei) Manufactured; epoxy equivalent 207) 207 parts, acrylic acid 73 parts, propylene glycol monomethyl ether acetate 193 parts, benzyltriphenylphosphonium chloride 0.8 part as an esterification catalyst, methylhydroquinone 0.4 part as a polymerization inhibitor, The reaction was carried out at 120 ° C. for 20 hours. Next, as a carboxyl group introduction reaction, 78 parts of tetrahydrophthalic anhydride and 0.2 part of benzyltriethylammonium chloride were added and reacted at 100 ° C. for 10 hours. As a result, a propylene glycol monomethyl ether acetate solution containing 65% of a comparative acid-modified vinyl ester (B-2) having an acid value of 84 mgKOH / g was obtained.
2) Development of photosensitive resin composition, photo-curability, evaluation of warping during curing The photosensitive resin composition using a solution of the comparative acid-modified vinyl ester (B-2), and developability by the method described above. The photocurability and the warpage during curing were evaluated.
Regarding developability, the coating film was dissolved and removed by immersion for 3 minutes. Regarding photocurability, the cured coating film after exposure was not changed even after being immersed in an aqueous sodium carbonate solution for 3 minutes. The state of warping during curing was x (remarkably warped).

Claims (3)

ビスフェノールS骨格とアルキレングリコール鎖とを有する酸変性ビニルエステルを含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。 A photosensitive resin composition comprising an acid-modified vinyl ester having a bisphenol S skeleton and an alkylene glycol chain. 請求項1に記載の酸変性ビニルエステルが、二官能エポキシ化合物と、二官能フェノール化合物と、不飽和一塩基酸および/またはフェノール性ヒドロキシル基と反応し得る官能基を有する不飽和単量体と、多塩基酸無水物とから合成されるものであって、二官能エポキシ化合物あるいは二官能フェノール化合物の少なくとも一部にビスフェノールS骨格を有するものを用いたものであることを特徴とする請求項1に記載の感光性樹脂組成物。 The acid-modified vinyl ester according to claim 1 is a bifunctional epoxy compound, a bifunctional phenol compound, an unsaturated monomer having a functional group capable of reacting with an unsaturated monobasic acid and / or a phenolic hydroxyl group, 2. A compound synthesized from a polybasic acid anhydride and having a bisphenol S skeleton as at least a part of a bifunctional epoxy compound or a bifunctional phenol compound. The photosensitive resin composition as described in 2. 請求項1または2に記載の酸変性ビニルエステルが、二官能エポキシ化合物と、二官能フェノール化合物と、不飽和一塩基酸および/またはフェノール性ヒドロキシル基と反応し得る官能基を有する不飽和単量体と、多塩基酸無水物とから合成されるものであって、二官能エポキシ化合物の少なくとも一部にアルキレングリコール鎖を有するものを用いたものであることを特徴とする請求項1または2に記載の感光性樹脂組成物。
The acid-modified vinyl ester according to claim 1 or 2, wherein the acid-modified vinyl ester has a functional group capable of reacting with a bifunctional epoxy compound, a bifunctional phenol compound, and an unsaturated monobasic acid and / or a phenolic hydroxyl group. The compound according to claim 1 or 2, wherein the compound is synthesized from a polybasic acid anhydride and a polybasic acid anhydride, and at least a part of the bifunctional epoxy compound has an alkylene glycol chain. The photosensitive resin composition as described.
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