JP2007187601A - 高性能加速度計のための懸架機構 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】懸架ダイアフラム(16)が、精密な変換器(14)を容器(12)内で支持するように構成される。懸架ダイアフラム(16)は、下にある可撓性のプリフォーム(152)と、容器(12)の開口の周縁部に沿って配置される環状の混成支持体(16B)とによって強化される。変換器(14)は、可撓性のプリフォーム(152)および固定チャネル(120)内の剛性のエポキシを用いて懸架ダイアフラム(16)に固定される。環状の混成支持体(16B)は、容器(12)の外部に固定される。
【選択図】図1
Description
Claims (10)
- 開口およびフランジを有する容器と、
変換器と、
ダイアフラムおよび前記開口の周縁部に沿って配置された環状の混成支持体を有する懸架アセンブリと
を備え、前記環状混成支持体が前記フランジに固定され、前記ダイアフラムが前記開口の全体に亘って跨り前記変換器を前記容器の内面から離して支持する、装置。 - 前記懸架アセンブリがさらに、前記ダイアフラムに固定された可撓性のプリフォームを備える、請求項1に記載の装置。
- 管路を前記変換器と前記容器の外部の間に通すように前記アセンブリが構成される、請求項2に記載の装置。
- 前記懸架アセンブリが、前記管路を通すための、前記ダイアフラムおよび前記プリフォームを貫通する少なくとも1つの管路チャネルを有する、請求項3に記載の装置。
- 前記ダイアフラムが、前記プリフォーム内に配置された少なくとも1つの固定チャネルによって前記プリフォームに固定され、前記固定チャネルがさらに、ある平面構成で配置された複数の固定チャネルを含む、請求項2に記載の装置。
- 加速度計を製作する方法であって、
容器に開口を形成するステップと、
前記開口の下の前記容器内部に、取付区画を有する変換器を配置するステップと、
チャネルを有する可撓性のプリフォームと、第1の複数の穴とを、前記容器の前記開口および前記取付区画に係合させるステップと、
ダイアフラムおよび環状の支持体を有する懸架装置を、第2の複数の穴を有するプリフォームに、前記第2の複数の穴が前記第1の複数の穴と整列するように係合させるステップと、
前記ダイアフラムを、前記チャネルによって前記プリフォームに固定するステップと、
前記懸架装置を前記開口上に跨って広がるようにするステップと、
前記変換器を前記広げられた懸架装置に固定するステップと、
前記整列された第1および第2の複数の穴を通して管路を前記変換器へと通すステップと、
前記管路を前記変換器に結合するステップと、
前記跨って広げられた懸架装置を、前記環状の支持体によって前記容器に固定するステップとを含み、
前記変換器が前記容器内で保持され、前記変換器と前記容器の前記内面との間に置かれた空間によって取り囲まれる、方法。 - 前記プリフォームが電気的に非伝導性である、請求項6に記載の方法。
- 前記プリフォームが熱伝導性を有する、請求項7に記載の方法。
- 前記ダイアフラムが、前記プリフォーム内に配置された前記チャネルに接着剤を適用することによって、前記プリフォームに固定される、請求項6に記載の方法。
- 前記環状支持体を固定することが、前記容器の前記外部に溶接することによる、請求項6に記載の方法。
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JPH01318935A (ja) * | 1988-06-20 | 1989-12-25 | Nagoya I Ii C Kk | 圧力検出装置 |
JPH03162676A (ja) * | 1989-08-28 | 1991-07-12 | Mitsubishi Electric Corp | 液体封止半導体装置 |
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JP2004251742A (ja) * | 2003-02-20 | 2004-09-09 | Denso Corp | センサ装置 |
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