JP2007181830A - Process and apparatus for cleaning or decontaminating object by ultraviolet laser beam - Google Patents

Process and apparatus for cleaning or decontaminating object by ultraviolet laser beam Download PDF

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− レイモン コステ ジャン
Remy Bernhard
レミィ ベルナール
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ブリアン アラン
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a process and an apparatus for implementing surly and safely cleaning or decontaminating a plastic or metal surface without resoiling the surface after the treatment. <P>SOLUTION: Exfoliation is caused on an object 20 to be treated with the impact of an ultraviolet laser beam 22 emitted by a laser 21 by scanning the laser beam 22 with a mechanical or optical means 30, 31, 32, 41, 51 and 70 so that the surface of a material itself composing the object 20 is removed. It is favorable for a stainless steel that the process is performed in an atmosphere of a reducing gas, particularly an inert fluorinated gas. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、紫外線レーザビームを使って物体の表面を清掃または汚染除去するための方法に関する。それは、上記方法を実施するための装置にも関する。   The present invention relates to a method for cleaning or decontaminating the surface of an object using an ultraviolet laser beam. It also relates to an apparatus for carrying out the above method.

物体の表面を清掃または汚染除去するためにレーザビームを使うことは、多くの刊行物に記載されている。これらの刊行物から以下の文書を引用することができる。   The use of laser beams to clean or decontaminate object surfaces has been described in many publications. The following documents can be cited from these publications:

WO 90/07988は、表面を清掃するためにレーザビームを使用することを開示し、清掃作業中このレーザビームを手動で案内する。レーザビームの出力は、ミクロンオーダの波長で数10mW/cm2のオーダである。この文書が開示する技術は、反復性、精度の欠如、煩雑性およびある材料についての非効率性に関する欠点がある。 WO 90/079888 discloses the use of a laser beam to clean the surface and guides this laser beam manually during the cleaning operation. The output of the laser beam is on the order of several tens of mW / cm 2 at a wavelength on the order of microns. The technique disclosed in this document has drawbacks regarding repeatability, lack of accuracy, complexity, and inefficiencies for certain materials.

FR−A−2525380は、YAGレーザが1.06μmの波長で出す光ビームを使う汚染除去法を記載している。この方法は、放射性元素によって汚染されている金属物体の表面から酸化物の薄膜を除去するために開発された。しかし、この方法は、酸化物層の素地、即ちこの物体の純粋な金属部を処理するために使うことができない。その上、レーザビームの効果が本質的に熱的であり、このためプラスチック物体の汚染除去に不適当である。実際、このレーザビームは、プラスチック物体の表面溶融を生じ、それが汚染物質を最終的にプラスチック材料の中に塗込める効果を有する。これは、要求されるのと反対の効果である。   FR-A-2525380 describes a decontamination method using a light beam emitted by a YAG laser at a wavelength of 1.06 μm. This method was developed to remove a thin oxide film from the surface of a metal object contaminated by radioactive elements. However, this method cannot be used to treat the substrate of the oxide layer, i.e. the pure metal part of the object. Moreover, the effect of the laser beam is inherently thermal and is therefore unsuitable for decontamination of plastic objects. In fact, this laser beam causes the surface melting of the plastic object, which has the effect of finally putting contaminants into the plastic material. This is the opposite effect that is required.

FR−A−2700882で、放射性元素によって汚染された表面の汚染除去は、処理すべき表面上に液体を維持することが条件である。この液体を使うことは、多くの欠点、例えば、この方法の終了後の液体の除去、を有する。   In FR-A-27000882, decontamination of a surface contaminated with radioactive elements is contingent on maintaining the liquid on the surface to be treated. Using this liquid has many disadvantages, such as removal of the liquid after the end of the process.

FR−A−2707877は、紫外線レーザビームと酸素のような反応性ガスを使うことを提案している。実験によると、汚染除去作業中に酸素が存在すると処理した金属上に直ちに酸化物層を再形成することに繋がることを示した。これらの層が汚染物質を再び閉込め、それは所望する結果に反する。この文書は、処理した表面から取出してから放出した粒子の捕獲領域についても触れている。この捕獲領域は、処理した表面から2〜10mmの間にある。この短い距離がこの方法を実施するための欠点である。   FR-A-2707877 proposes to use an ultraviolet laser beam and a reactive gas such as oxygen. Experiments have shown that the presence of oxygen during the decontamination operation leads to immediate re-formation of the oxide layer on the treated metal. These layers re-contain the contaminants, which is contrary to the desired result. This document also mentions the trapping area of particles released after removal from the treated surface. This capture area is between 2 and 10 mm from the treated surface. This short distance is a disadvantage for carrying out this method.

WO 95/13618は、処理すべき金属物体の表面を局部的に溶融するためにレーザビームを使い、この溶融した金属を除去することによって汚染除去を行う方法を記載している。この方法の欠点は、汚染除去すべき表面に接触して作業する必要があることである。更に、金属を溶融することは、表面状態を損傷し、スラグを作り、付近の汚染物質を再び閉込めるので、大きな欠点である。   WO 95/13618 describes a method of decontamination by using a laser beam to locally melt the surface of a metal object to be treated and removing this molten metal. The disadvantage of this method is that it needs to work in contact with the surface to be decontaminated. Furthermore, melting the metal is a major drawback because it damages the surface condition, creates slag, and recloses nearby contaminants.

この様に、従来技術を使う上述の方法は、かなりの数の欠点を有する。   Thus, the above method using the prior art has a considerable number of drawbacks.

それらは、通常スペクトルの赤外または可視部分の波長のレーザビームを使用する。従って、それらは金属材料の表面溶融を生じ、それが重大な欠点をもたらす。   They typically use laser beams with wavelengths in the infrared or visible portion of the spectrum. They therefore cause surface melting of the metallic material, which leads to serious drawbacks.

そのような技術を手動で実施するときは、処理すべき表面の走査が不完全である。これは、小さい未処理の領域を残すことになるか、または繰返し処置段階を実施することが必要になる。放射能除染に関係する場合、もう一つの重大な欠点は、スタッフが電離放射線を浴びる危険があることである。   When such techniques are performed manually, the scan of the surface to be treated is incomplete. This will leave a small unprocessed area or it will be necessary to carry out repeated treatment steps. Another significant drawback when related to radioactive decontamination is the risk of staff being exposed to ionizing radiation.

説明した手順の一つは、補強特性を有する筈の液体の散布と組合わせてレーザビームを使うことに関係する。水性ではあるが、問題の液体は、塗布、除去および取扱いが困難である。その上、本発明の発明者が行った実験によると、各残留液滴の下に微小亀裂ができることを示した。これらの微小亀裂は、表面を多孔質にし、非常に再汚染されやすい。   One of the described procedures involves the use of a laser beam in combination with a spray of soot liquid having reinforcing properties. Although aqueous, the liquid in question is difficult to apply, remove and handle. Moreover, experiments conducted by the inventors of the present invention have shown that microcracks can be formed under each residual droplet. These microcracks make the surface porous and are very susceptible to recontamination.

レーザビームの衝撃によって発生するプラズマ熱またはレーザの衝撃によって生ずる表面剥離は、酸素のような反応性ガスの使用と組合さって、直ちに非常に顕著な表面の再酸化を起す。そのような再酸化は、再汚染を生じかねない。   Plasma heat generated by laser beam bombardment or surface delamination caused by laser bombardment, in combination with the use of a reactive gas such as oxygen, immediately causes very significant surface reoxidation. Such reoxidation can cause recontamination.

本発明は、従来技術の全ての欠点を克服することを意図している。本発明者は、かなりの数の調査を行い、それが思いがけずプラスチックまたは金属表面の遠隔汚染除去または清掃を行うための方法をもたらした。この方法は、容易に自動化でき、事情に依っては、処理すべき表面の最終状態に有利な、例えば、再酸化することなくこの表面を研磨するための、ガスを付加をしてもよい。   The present invention is intended to overcome all the disadvantages of the prior art. The inventor has made a considerable number of investigations that have unexpectedly led to methods for remote decontamination or cleaning of plastic or metal surfaces. This method can be easily automated and, depending on the circumstances, a gas may be added which favors the final state of the surface to be treated, for example to polish this surface without reoxidation.

従って本発明は、紫外線レーザビームの衝撃を使う、金属物体の表面を清掃または汚染除去するための方法に於いて、この金属物体を構成する材料に依存して、紫外線レーザービームが金属物体に剥離を起し、この剥離がこの物体それ自体を構成する材料の表面除去を含むように選んだ条件で紫外線レーザビームを使うことを特徴とする方法に関する。   Accordingly, the present invention provides a method for cleaning or decontaminating the surface of a metal object using the impact of an ultraviolet laser beam, and depending on the material comprising the metal object, the ultraviolet laser beam is peeled off the metal object. And a method characterized by using an ultraviolet laser beam in conditions selected such that this delamination involves the removal of the surface of the material that constitutes the object itself.

もし、上記金属物体の表面に酸化物の層ができたら、上記作業条件は、この酸化物を蒸発し、およびプラズマを生じ、それがこの物体それ自体を構成する材料の表面除去をするようになっている。   If an oxide layer is formed on the surface of the metal object, the working conditions cause the oxide to evaporate and generate a plasma that removes the surface of the material that constitutes the object itself. It has become.

事情に依っては、これらの作業条件が、このレーザビームが上記金属物体へ与える衝撃がこの金属物体を構成する材料に対して不活性である不活性ガスの雰囲気、例えばアルゴン雰囲気の中で起るということを含むのが有利かも知れない。   Depending on the circumstances, these working conditions occur in an inert gas atmosphere, for example an argon atmosphere, in which the impact of the laser beam on the metal object is inert to the material comprising the metal object. It may be advantageous to include that.

このレーザビームが還元状態で上記物体へ衝撃を与えることも有利かも知れない。これらの還元状態は、この不活性ガス雰囲気に対して少なくとも一つの適当な添加剤が存在することによって得てもよい。   It may also be advantageous for this laser beam to impact the object in the reduced state. These reduced states may be obtained by the presence of at least one suitable additive for this inert gas atmosphere.

本発明は、紫外線レーザビームの衝撃を使うことによって容器の内面を清掃または汚染除去するための装置に於いて、物体を構成する材料に依存して、この物体に剥離を起し、この剥離がこの物体それ自体を構成する材料の表面除去を含むように選んだ条件で上記紫外線レーザビームを出すレーザ、このレーザビームを上記内面へ伝達しおよびこのレーザビームをこの容器の内面の領域に導くための鏡を含む手段、並びに上記内面の剥離から生ずる材料を除去するための手段を含み、これらの鏡が、制御装置の作用の下で、清掃または汚染除去すべき全表面を走査するように配置されていることを特徴とする装置にも関する。   The present invention relates to an apparatus for cleaning or decontaminating the inner surface of a container by using the impact of an ultraviolet laser beam, and depending on the material constituting the object, the object is peeled off. A laser that emits the ultraviolet laser beam under conditions selected to include removal of the surface of the material comprising the object itself, to transmit the laser beam to the inner surface and to direct the laser beam to a region on the inner surface of the container Means for removing material resulting from delamination of the inner surface, and these mirrors are arranged to scan the entire surface to be cleaned or decontaminated under the action of the control device It also relates to a device characterized in that

本発明の他の特徴および利点は、以下の説明から更によく理解できるだろう。この説明は、非限定的で、添付の図面を参照する。   Other features and advantages of the present invention will be better understood from the following description. This description is non-limiting and refers to the accompanying drawings.

この発明は、紫外線、即ち、10nm〜400nmの間の波長のレーザビームを使用する。   The present invention uses ultraviolet light, ie a laser beam with a wavelength between 10 nm and 400 nm.

図1に示す実験用装置は、28nsのパルスで308nmの波長の光のビームを出すXeClレーザ1を使用する。この型のレーザは、現在入手できる最も強力なものの一つ、即ち、250Hzラムダフィジーク(Lambda Physik)400mJである。   The experimental apparatus shown in FIG. 1 uses an XeCl laser 1 that emits a beam of light having a wavelength of 308 nm with a pulse of 28 ns. This type of laser is one of the most powerful currently available, namely a 250 Hz Lambda Physik 400 mJ.

図1の装置は、直接像伝達技術を使ってレーザビームを導く。レーザビーム2を最初に鏡3で反射してから第1集束レンズ4に通し;次に鏡5および6によって順次反射してから第2集束レンズ7(焦点距離0.5m)を通して、保護容器9の内部に配置した目標物8に到達させる。ビデオカメラ10を使ってレーザビーム2が目標物8に与える衝撃を監視する。   The apparatus of FIG. 1 uses a direct image transfer technique to direct the laser beam. The laser beam 2 is first reflected by the mirror 3 and then passed through the first focusing lens 4; then sequentially reflected by the mirrors 5 and 6 and then through the second focusing lens 7 (focal length 0.5 m), the protective container 9 To reach the target 8 placed inside. The video camera 10 is used to monitor the impact of the laser beam 2 on the target 8.

この装置を使って、目標物で測定したレーザビームの出力は、パルス当り300mJである。鏡5と6は、回転してレーザビーム2をこの目標物の全表面に向けることができる。   Using this apparatus, the output of the laser beam measured with the target is 300 mJ per pulse. The mirrors 5 and 6 can rotate to direct the laser beam 2 to the entire surface of the target.

次に、本の発明の方法を使った、三つの異なる材料の処理を説明する。これらの例を使えば、本発明を他の材料に適用しようと思う当業者は、特別な発明性を示す必要なしに利用できる技術を使うテストをするだけでよいだろう。これらのテストが、任意の与えられた材料に対して、目標物の表面で必要なレーザビームの出力定格および本発明を実施するために必要な最適条件についての情報を与えるだろう。   Next, the processing of three different materials using the method of the present invention will be described. Using these examples, those skilled in the art who would like to apply the present invention to other materials would only have to test using available techniques without the need to demonstrate special inventiveness. These tests will give information about the laser beam power rating required on the surface of the target and the optimum conditions needed to carry out the invention for any given material.

例I
最初の例は、プラスチック被膜、この例ではエポキシ塗料、の処理に関する。
Example I
The first example concerns the treatment of a plastic coating, in this example an epoxy paint.

単一紫外光子の力が電子準位を有機結合の解離限界に近いかそれより大きく励起するに十分である。このプロセスは、光化学的で、熱的効果が弱い。   The force of a single ultraviolet photon is sufficient to excite the electronic level near or greater than the dissociation limit of the organic bond. This process is photochemical and has a poor thermal effect.

0.5J/cm2で被膜は剥がれず;従ってこの値が剥離限界である。0.7J/cm2で剥離が効きだし、1.8J/cm2で最大効率に至る。250Hzの反復発射率で、30μmの深さに対し、0.5m2/hの剥離速度を達成することができる。レーザビームの入射角の45°までの変動は、剥離効率にほとんど影響を与えないことにも注意すべきである。 At 0.5 J / cm 2 the coating does not peel; this value is therefore the peel limit. 0.7 J / cm 2 in out effectiveness peeling, leading to maximum efficiency in the 1.8 J / cm 2. With a repetition rate of 250 Hz, a peel rate of 0.5 m 2 / h can be achieved for a depth of 30 μm. It should also be noted that fluctuations in the incident angle of the laser beam up to 45 ° have little effect on the stripping efficiency.

プラスチック材料に対して、レーザビームの最大出力定格は、それ以上ではプラスチックが溶けまたは燃え始めるものである。   For plastic materials, the maximum power rating of the laser beam is the one above which the plastic begins to melt or burn.

例II
第2の例では、目標物は、表面が自然に酸化した銅の塊である。
Example II
In the second example, the target is a lump of copper with a naturally oxidized surface.

この酸化物層は、紫外線を非常によく吸収するので、十分に強力なレーザビーム(2J/cm2)がこの銅酸化物層を気化し、プラズマを形成する。プラズマ光発光の分析を使ってそれが作られた材料を構成する元素を決めることができる。 Since this oxide layer absorbs ultraviolet rays very well, a sufficiently strong laser beam ( 2 J / cm 2 ) vaporizes this copper oxide layer and forms a plasma. Plasma light emission analysis can be used to determine the elements that make up the material from which it was made.

図2のグラフの曲線11は、レーザの最初の2発の発光スペクトルを示す。この曲線の510.55nm、515.32nmおよび521.82nmの三つのピークは、実際に、正に剥離した領域からの銅原子の放出に対応する。   Curve 11 in the graph of FIG. 2 shows the first two emission spectra of the laser. The three peaks at 510.55 nm, 515.32 nm and 521.82 nm in this curve actually correspond to the release of copper atoms from the positively debonded region.

3発目のレーザに始って、発光スペクトル(図2のグラフの曲線12)は、最早プラズマが作られないのでもう銅が放出されず、金属の吸収係数が低いことを示す。プラズマを再発するためには、かなり高いレーザ光束を要する。   Starting with the third laser, the emission spectrum (curve 12 in the graph of FIG. 2) shows that the plasma is no longer created, so copper is no longer emitted and the metal absorption coefficient is low. In order to reoccur plasma, a considerably high laser beam is required.

従って、酸化銅の塊を剥がして素地だけにするには、たった2発のパルスしか要らないので、本発明によるプロセスは非常に効率がよく、且つ高度に選択的である。   The process according to the invention is therefore very efficient and highly selective, since only two pulses are required to strip the copper oxide mass and leave it only on the substrate.

プラズマ形成中は音響信号を出すことに気付いた。従って、レーザビームと酸化した表面が相互作用している間、最初の2発に対して音響信号を記録してもよい。3発目のレーザは、非常に低い音響信号を出す。   I noticed that an acoustic signal was emitted during plasma formation. Thus, acoustic signals may be recorded for the first two shots while the laser beam and oxidized surface interact. The third laser emits a very low acoustic signal.

例III
第3の例は、目標物は重量で72%の鉄、18%のクロームおよび10%のニッケルからなるFe/Cr/Niステンレス鋼の塊である。エージングによって、この鋼上に厚さ数10ミクロンの酸化物層ができている。この種の目標物を汚染除去するためには、最初にエージング中にできた酸化物層を破壊することが不可欠であることが分っている。
Example III
In a third example, the target is an ingot of Fe / Cr / Ni stainless steel consisting of 72% iron, 18% chrome and 10% nickel by weight. By aging, an oxide layer having a thickness of several tens of microns is formed on the steel. In order to decontaminate this type of target, it has been found that it is essential to first destroy the oxide layer formed during aging.

2J/cm2の光束が長さ約8mmの非常に明るいプラズマを出しながら、この酸化物層を容易に気化する。このプラズマの突然の膨張が同時にバーンという音を出す。 The oxide layer is easily vaporized while a 2 J / cm 2 luminous flux emits a very bright plasma having a length of about 8 mm. This sudden expansion of the plasma simultaneously makes a burning sound.

この酸化物層を完全に除去するためには、数発で十分であり、この観点からこのプロセスが非常に効率のよいことを示す。その後に、剥離して光沢のある金属素地上に3J/cm2で照射してもプラズマまたはバーンという音を発生することにはならない。しかし、原子力施設の解体の一部としての汚染除去は、金属素地それ自体から材料除去せずには達成できない、高い除染係数を課す。同時に、金属表面を溶かし、処理した表面を再酸化させないように注意しないと、両プロセスが汚染要因物を閉込めることになる。この議論は、ステンレス鋼に必要なよい作業条件を正確に定義することに繋がる。 Several shots are sufficient to completely remove this oxide layer, indicating that this process is very efficient in this respect. Thereafter, even if the peeled and glossy metal substrate is irradiated at 3 J / cm 2 , no sound of plasma or burn is generated. However, decontamination as part of the dismantling of a nuclear facility imposes a high decontamination factor that cannot be achieved without removing material from the metal substrate itself. At the same time, if care is taken not to melt the metal surface and reoxidize the treated surface, both processes will contain the contaminants. This discussion leads to an accurate definition of the good working conditions required for stainless steel.

もし、実際に、鋼の塊の表面のレーザ照射を空気雰囲気中で続け、一旦酸化物層を除去してしまうと、短期間の照射で処理した表面が黒化すること、および長期間の照射が黒化を増すだけでなく、金属とその酸化物の間の熱応力が異なるために、外観を煉瓦酸化物構造にすることも分るだろう。この新しい酸化物層は、レーザ光子を吸収し、続く剥離を遮蔽する効果があるので、望ましくなく;汚染粒子を閉込め、除染係数を下げ、それによって表面状態を劣化する傾向もある。   If the laser irradiation of the surface of the steel ingot is actually continued in an air atmosphere and the oxide layer is removed, the surface treated with short-term irradiation will become blackened, and long-term irradiation will occur. As well as increasing the blackening, it will also be seen that the appearance of the brick oxide structure due to the different thermal stresses between the metal and its oxide. This new oxide layer is undesirable because it has the effect of absorbing laser photons and shielding subsequent delamination; it also tends to confine contaminating particles, lower the decontamination factor, and thereby degrade the surface condition.

これらの現象を克服するために一連の実験をした。これらの実験は、この鋼の多数のサンプルを使い、表面の分析をXPS光電子分光法およびイオンボンバードを使って実施した。この分析法は、サンプルを数nm/min(この実験では2nm/min)の速度で擦り、処理したサンプルの深い物理化学的構造を識別できるようにする。   A series of experiments were conducted to overcome these phenomena. These experiments used multiple samples of this steel and surface analysis was performed using XPS photoelectron spectroscopy and ion bombardment. This analysis method allows the sample to be rubbed at a rate of several nm / min (2 nm / min in this experiment) so that the deep physicochemical structure of the treated sample can be identified.

未処理のサンプル(即ち、その最初の酸化物層を保持するもの)に始り、種々の条件で処理したサンプルに続いて、幾つかのサンプルをこれらの技術を使って調べた。   Starting with an untreated sample (ie, one that retains its initial oxide layer), several samples were examined using these techniques, following samples treated at various conditions.

未処理のサンプルは、次のように構成されている:0.13μmの深さまでは、鉄とクロームが主として酸化物として存在し、一方ニッケルはその金属状態にある。このサンプルの組成は、0.13μmの深さを超えると一定のままで、鉄酸化物が存在する。0.48μmの深さで測定したFe、CrおよびNi相対濃度は、重量でそれぞれ70.9%、21.9%および7.2%である。使用した技術の測定精度を考慮すれば、これらの値は、このサンプルの認証組成、即ち重量で72%、18%および10%とよく一致する。   The untreated sample is structured as follows: At a depth of 0.13 μm, iron and chromium are present mainly as oxides, while nickel is in its metallic state. The composition of this sample remains constant beyond the depth of 0.13 μm and iron oxide is present. The Fe, Cr, and Ni relative concentrations measured at a depth of 0.48 μm are 70.9%, 21.9%, and 7.2% by weight, respectively. Considering the measurement accuracy of the technique used, these values are in good agreement with the certified composition of this sample, ie 72%, 18% and 10% by weight.

上に説明した様に空気中で処理したサンプルは、次のように構成されている:1.1μmの深さまで、少量の金属ニッケルを別にして、このサンプルは、殆ど全て酸素と金属酸化物からなる。1.3μmの深さで、金属鉄に対する鉄酸化物の比は、まだ約50%である。従って、酸化物と酸素の改質が存在する。   The sample treated in air as explained above is structured as follows: apart from a small amount of metallic nickel up to a depth of 1.1 μm, this sample is almost entirely oxygen and metal oxide. Consists of. At a depth of 1.3 μm, the ratio of iron oxide to metallic iron is still about 50%. Thus, there is oxide and oxygen modification.

アルゴンの中で処理したサンプルの組成は、0.4μmの深さまで大体正しい、即ち、重量で鉄70%、クローム20%およびニッケル11%である。このサンプルの表面とこの深さの間は、酸素が空気中での照射に対するより薄いが存在し続ける。   The composition of the sample treated in argon is roughly correct to a depth of 0.4 μm, ie 70% iron, 20% chromium and 11% nickel by weight. Between the surface of this sample and this depth, oxygen remains thinner for irradiation in air.

アルコールが存在する下でアルゴン中で処理したサンプルは、数分の分析後に正しい基本組成が得られ、酸素濃度が非常に低いので、非常にきれいな表面を示す。   Samples treated in argon in the presence of alcohol show a very clean surface because the correct base composition is obtained after a few minutes of analysis and the oxygen concentration is very low.

従って、本発明による剥離を不活性ガスの中で実施することが非常に有利であり、そのガスの中でもアルゴンが最も便利である。窒素は、窒化を起すことがあるので、避けるべきである。現在の汚染除去の条件下では酸素を完全に排除することが困難であるので、添加剤を使用することによって達成される還元状態で作業するのが好ましい。例えば、純アルゴンのジェットを極少量の水素(容積で4%未満)またはエタノール、低分子量の糖若しくはポリアルコールのような炭化水素化合物を含むアルゴンで置換えることができる。これらの状況で、表面が再炭化する危険は、例えば、次のように、現場で発生する一酸化炭素の存在によって減少する:
CH3−CH2−OH→CO+CH4+H2
Therefore, it is very advantageous to carry out the stripping according to the invention in an inert gas, of which argon is the most convenient. Nitrogen should cause nitridation and should be avoided. Since it is difficult to eliminate oxygen completely under current decontamination conditions, it is preferred to work in the reduced state achieved by using additives. For example, a jet of pure argon can be replaced with a very small amount of hydrogen (less than 4% by volume) or argon containing hydrocarbon compounds such as ethanol, low molecular weight sugars or polyalcohols. In these situations, the risk of surface recarbonization is reduced by the presence of carbon monoxide generated in the field, for example:
CH 3 —CH 2 —OH → CO + CH 4 + H 2

そのような添加剤を使用することで、レーザビームによる照射後にきれいな研磨面を作ることができる。小さく、非常に有効なフィルタに閉込めた希薄なエーロゾルは、色が薄茶から非常に深い黒まで変る。   By using such an additive, a clean polished surface can be formed after irradiation with a laser beam. A dilute aerosol confined to a small, very effective filter changes in color from light brown to very deep black.

作業者に危険を与えない弗化物添加剤、例えば六弗化硫黄またはフレオンを使うことによっても、興味ある結果が得られている。酸素を弗素のようなより強力な酸化体で置換えることにより、揮発性金属化合物もプラズマ内にできるかも知れない。SF6が存在すると、剥離が動力学的により迅速であることが分った。 Interesting results have also been obtained by using fluoride additives such as sulfur hexafluoride or freon that do not pose a hazard to the operator. By replacing oxygen with a stronger oxidant such as fluorine, volatile metal compounds may also be formed in the plasma. It has been found that in the presence of SF 6 , delamination is kinetically faster.

これらの有利な条件は、おびただしい数の潜在的汚染物質、例えばアクチニドに適用できるべきである。   These advantageous conditions should be applicable to a large number of potential contaminants, such as actinides.

汚染除去装置
図3は、汚染除去装置を示す。参照番号20は、汚染除去すべき密封式容器で;この容器は、任意の形式のボイラー、管状板付き蒸気発生ユニット、等でもよい。
Decontamination Device FIG. 3 shows a decontamination device. Reference numeral 20 is a sealed container to be decontaminated; this container may be any type of boiler, steam generating unit with a tubular plate, etc.

この装置は、250Hzラムダフィジーク・エクシプレックス(Lambda Physik Exciplex)(XeCl)400mJレーザ21を含む。レーザ21は、光ビーム22を汚染除去すべき容器の内面に向けるために使用する垂直レーザビーム案内アーム23にこのビームを送る。この装置は、更に、このレーザビームの運動を制御するためのユニット24およびガス制御ワゴン25を含む。   The apparatus includes a 250 Hz Lambda Physik Exciplex (XeCl) 400 mJ laser 21. The laser 21 sends this beam to a vertical laser beam guide arm 23 that is used to direct the light beam 22 to the inner surface of the container to be decontaminated. The apparatus further includes a unit 24 and a gas control wagon 25 for controlling the movement of the laser beam.

図4は、案内アーム23の詳細を示す。このアームは、非常に汚染された領域で作動すべきで、信頼性が高く、即ち、単純且つ頑丈でなければならない。これは、この容器の全内面(4πsr)を走査するために二つの回転軸しか使わないことを決めたからである。   FIG. 4 shows the details of the guide arm 23. This arm should operate in a very contaminated area and should be reliable, i.e. simple and robust. This is because it was decided that only two rotation axes would be used to scan the entire inner surface (4πsr) of the container.

レーザビーム22は、水平にこの装置の上端に達し、そこで半透明鏡30がそれを案内アーム23の内部を垂直に方向付け鏡31および32へ送る。鏡31および32は、それぞれ二つの同軸管41および51によって回転されてもよい。   The laser beam 22 reaches the upper end of the device horizontally, where a translucent mirror 30 directs it inside the guide arm 23 vertically to mirrors 31 and 32. The mirrors 31 and 32 may be rotated by two coaxial tubes 41 and 51, respectively.

内管41は、垂直部を含み、その上端は容器20の外側にある。この端のリムは、歯車42であり、それがモータ44によって駆動される歯車43と協働して歯車系を作る。この管の垂直部の下端は、容器20内にあり、垂直方向から45°に傾斜した鏡31を担持する。この管の下端は、小さい部分45によって水平に伸びている。この小さい部分45は、小さい90°のエルボ管55を担持し、それは部分45に関して自由に回転する。小さい管55は、鏡32を担持し、それは垂直方向から45°に傾斜し、鏡31に向いて配置されている。   The inner tube 41 includes a vertical portion, and an upper end thereof is outside the container 20. This end rim is a gear 42 which cooperates with a gear 43 driven by a motor 44 to create a gear system. The lower end of the vertical part of the tube is in the container 20 and carries a mirror 31 inclined at 45 ° from the vertical direction. The lower end of this tube extends horizontally by a small portion 45. This small portion 45 carries a small 90 ° elbow tube 55 that rotates freely with respect to the portion 45. A small tube 55 carries the mirror 32, which is inclined 45 ° from the vertical direction and is arranged towards the mirror 31.

外管51の上端のリムは、歯車52であり、それがモータ54によって駆動される歯車53と係合して、歯車系を作る。管51の下端も歯車56である縁を有し、それが管55と一体である歯車57と整合的に作用する。   The rim at the upper end of the outer tube 51 is a gear 52 that engages with a gear 53 driven by a motor 54 to form a gear system. The lower end of the tube 51 also has an edge, which is a gear 56, which acts in alignment with a gear 57 that is integral with the tube 55.

それで、モータ44および54は、容器20の外側に配置されている。案内アーム23は、予め装置60によって突刺された、容器20のドームに支えられている。装置60は、Oリング61が取付けられていて、それがこの容器20のドームの密封シールとなる。グランド62も設けられていて、外管51を自由に回転できるようにする。管41と51の間に配置されたグランド58は、上記管が互いに自由に回転することを保証する。   Thus, the motors 44 and 54 are disposed outside the container 20. The guide arm 23 is supported by a dome of the container 20 pierced by the device 60 in advance. The device 60 has an O-ring 61 attached, which provides a hermetic seal for the dome of the container 20. A gland 62 is also provided to allow the outer tube 51 to rotate freely. A gland 58 arranged between the tubes 41 and 51 ensures that the tubes rotate freely with respect to each other.

レーザ21が発するレーザビーム22は、案内アーム23の内部の半透明鏡30によって鏡31の方向に反射され、それを鏡31が鏡32の方へ反射し、そこでこのビームが再び反射されて集束レンズ70の方へ向う。   The laser beam 22 emitted by the laser 21 is reflected in the direction of the mirror 31 by the semi-transparent mirror 30 inside the guide arm 23, and the mirror 31 reflects toward the mirror 32, where it is reflected again and converged. Head toward lens 70.

プラズマ放射は騒音を発するので、酸化物層の除去を監視するために、容器のドーム上にマイクロフォンを配置するのが有利である。   Since plasma radiation is noisy, it is advantageous to place a microphone on the dome of the container to monitor the removal of the oxide layer.

鏡30が半透明であるので、ビデオカメラ75を案内アーム23の上に置いて、レーザビームが容器の壁に与える衝撃を同じ光路に沿って観察する。処理面近くで放射されるプラズマからの光も同じ光路に沿って送り、分光光度分析する。従って、この表面からどのイオンを除去し、プラズマ中に存在するかを決めることができる。   Since the mirror 30 is translucent, the video camera 75 is placed on the guide arm 23 and the impact of the laser beam on the container wall is observed along the same optical path. Light from the plasma emitted near the processing surface is also sent along the same optical path for spectrophotometric analysis. Therefore, it is possible to determine which ions are removed from this surface and present in the plasma.

制御ユニット24(図3参照)は、ステッピングモータの制御モジュール、種々の電源ユニットおよびコネクタを含む。これらの制御モジュールとこのプロセスの実施を管理するマイクロコンピュータの間の信号交換は、RS232Cシリアルリンクを介して行ってもよい。これらのモジュール間の対話は、電磁的外乱を受け難い、予め取り決めたディジタル通信プロトコールを使って行う。処理すべき面のレーザビームによる走査を、この装置の制御コンピュータに予めプログラムされた3次元画像と結合してもよい。   The control unit 24 (see FIG. 3) includes a stepping motor control module, various power supply units, and connectors. Signal exchange between these control modules and the microcomputer managing the implementation of this process may occur via an RS232C serial link. The interaction between these modules is not subject to electromagnetic disturbances and is performed using a predetermined digital communication protocol. The scanning of the surface to be processed by the laser beam may be combined with a three-dimensional image preprogrammed in the control computer of the apparatus.

ガス制御ワゴン25は、噴射すべきガス、例えばアルゴン、の瓶、および上に説明したような添加剤を含む。このガスをノズルによってレーザ被曝領域に導く。それは二つの流量調節ポンプも含み、その一つは、電磁フィルタおよび高性能フィルタを通す微粉濾過後に雰囲気ガスを再循環させる。再循環したガスは、レンズ70を吹払うためにも使う。第2のポンプは、放射能除染の分野で知られた技術を使って容器20を負圧に保つ。   The gas control wagon 25 includes a bottle of gas to be injected, such as argon, and an additive as described above. This gas is guided to the laser exposure area by a nozzle. It also includes two flow control pumps, one of which recirculates the ambient gas after fines filtration through an electromagnetic filter and a high performance filter. The recirculated gas is also used to blow off the lens 70. The second pump keeps the container 20 at a negative pressure using techniques known in the field of radioactive decontamination.

この装置は、本発明による方法を自動的に、従って運転員に迷惑を掛けることなく実施するために使うことができる。それは、監視および雰囲気ガスの濾過も行う。   This device can be used to carry out the method according to the invention automatically and thus without disturbing the operator. It also performs monitoring and atmospheric gas filtration.

本発明のために使用する実験装置の概要図である。It is a schematic diagram of the experimental apparatus used for this invention. レーザビームによって酸化した銅表面上に作られたプラズマの発光スペクトルを示す。2 shows the emission spectrum of a plasma produced on a copper surface oxidized by a laser beam. 容器の汚染除去をするために本発明の原理を使用する装置を示す。1 illustrates an apparatus that uses the principles of the present invention to decontaminate a container. 図3に示す装置の詳細図である。FIG. 4 is a detailed view of the apparatus shown in FIG. 3.

符号の説明Explanation of symbols

2 紫外線レーザビーム
8 金属物体
20 金属物体
21 レーザ
22 紫外線レーザビーム
30 鏡
31 鏡
32 鏡
41 同軸管
51 同軸管
75 観察カメラ
2 Ultraviolet laser beam 8 Metal object 20 Metal object 21 Laser 22 Ultraviolet laser beam 30 Mirror 31 Mirror 32 Mirror 41 Coaxial tube 51 Coaxial tube 75 Observation camera

Claims (7)

紫外線レーザビームの衝撃を使うことによって容器(20)の内面を清掃または汚染除去するための装置に於いて、物体を構成する材料に依存して、該物体に剥離を起し、該剥離が該物体それ自体を構成する材料の表面除去を含むように選んだ条件で前記紫外線レーザビーム(22)を出すレーザ(21)、前記レーザビームを前記内面へ伝達しおよび該レーザビーム(22)を前記容器(20)の内面の領域に導くための鏡(30、31、32)を含む手段、並びに前記内面の剥離から生ずる材料を除去するための手段を含み、前記鏡(30、31、32)が、制御装置の作用の下で、清掃または汚染除去すべき全表面を走査するように配置されていることを特徴とする装置。   In an apparatus for cleaning or decontaminating the inner surface of the container (20) by using the impact of an ultraviolet laser beam, depending on the material comprising the object, the object is peeled off, A laser (21) that emits the ultraviolet laser beam (22) under conditions selected to include surface removal of the material that comprises the object itself, transmits the laser beam to the inner surface, and transmits the laser beam (22) to the inner surface; Means including a mirror (30, 31, 32) for directing to a region of the inner surface of the container (20), and means for removing material resulting from delamination of the inner surface, the mirror (30, 31, 32) Is arranged to scan the entire surface to be cleaned or decontaminated under the action of a control device. 請求項1による装置に於いて、前記レーザビームを前記内面へ伝達する手段が二つの鏡(31、32)および二つの同軸管(41、51)から成り、前記各同軸管(41、51)が、前記容器を貫通し、それらの軸上で回転でき、前記鏡(31、32)のうちの一つを動かすことを特徴とする装置。   2. The apparatus according to claim 1, wherein the means for transmitting the laser beam to the inner surface comprises two mirrors (31, 32) and two coaxial tubes (41, 51), each coaxial tube (41, 51). , Which penetrates the container and can be rotated on their axes, moving one of the mirrors (31, 32). 請求項1または請求項2による装置に於いて、前記レーザビーム(22)の衝撃を受ける前記容器の内面に不活性ガスを噴射するための手段も含むことを特徴とする装置。   3. An apparatus according to claim 1 or 2, further comprising means for injecting an inert gas onto the inner surface of the container which is subjected to the impact of the laser beam (22). 請求項1から請求項3までの何れか1項による装置に於いて、前記レーザビーム(22)の衝撃を受ける前記容器の内面に還元添加剤を噴射するための手段も含むことを特徴とする装置。   4. The apparatus according to claim 1, further comprising means for injecting a reducing additive onto the inner surface of the container which is subjected to the impact of the laser beam (22). apparatus. 請求項1から請求項4までの何れか1項による装置に於いて、清掃または汚染除去した面の画像を観察カメラ(75)へ伝達するための手段も含むことを特徴とする装置。   5. The apparatus according to claim 1, further comprising means for transmitting an image of the cleaned or decontaminated surface to the observation camera (75). 請求項1から請求項5までの何れか1項による装置に於いて、前記レーザビーム(22)が前記内面(20)に与える衝撃がプラズマを生成するとき、該プラズマからの光を分光光度分析装置へ伝達するための手段を備えることを特徴とする装置。   6. An apparatus according to claim 1, wherein when the laser beam (22) bombards the inner surface (20) generates a plasma, the light from the plasma is analyzed spectrophotometrically. A device comprising means for communicating to the device. 請求項1から請求項6までの何れか1項による装置に於いて、前記レーザビーム(22)が前記内面(20)に与える衝撃がプラズマを生成するとき、該プラズマの生成を報知するために音響センサを備えることを特徴とする装置。   In an apparatus according to any one of claims 1 to 6, in order to notify the generation of the plasma when the impact of the laser beam (22) on the inner surface (20) generates the plasma. An apparatus comprising an acoustic sensor.
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