JP2007179718A - Stamper, reproduction only optical disk, and manufacturing method of this disk - Google Patents

Stamper, reproduction only optical disk, and manufacturing method of this disk Download PDF

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秀宜 高橋
Masatake Yagi
聖武 八木
Kiyoshi Takii
潔 滝井
Shinji Minegishi
慎治 峰岸
Shinsuke Kishi
信介 岸
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent occurrence of pit deviation in molding a reproduction only high density optical disk. <P>SOLUTION: A stamper is provided with an irregular pattern which forms a dummy irregular shape (outer periphery dummy area Odm) such as a dummy pit at least on the outer periphery side of the disk as an area excepting for an information area of the disk. In addition it is possible to form a dummy irregular shape (inner periphery dummy area Idm) on the inner periphery side of the disk. By manufacturing a disk substrate as the reproduction only optical disk using the stamper like this, the reproduction only optical disk where pit deviation never occurs as a pit in the information area is manufactured. The surface of the molding die of the disk substrate is made pearskin finished as to finish the label surface side of the disk substrate to be pearskin like. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、再生専用光ディスクの製造に用いるスタンパと、製造される再生専用光ディスク、及び再生専用光ディスクの製造方法に関し、特に高密度光ディスクに好適な技術に関する。   The present invention relates to a stamper used for manufacturing a read-only optical disc, a read-only optical disc to be manufactured, and a method for manufacturing a read-only optical disc, and more particularly to a technique suitable for a high-density optical disc.

特開2003−109252号公報JP 2003-109252 A 特開2002−304775号公報JP 2002-304775 A

一般に再生専用光ディスクでは、基準単位時間であるクロックに同期して再生信号のHigh Level(H)とLow Level(L)が切り替わり、このHとLの長さの組み合わせにより情報が記録されている。再生専用光ディスクでは、このHとLは、通常、トラック上に並ぶピット列により表現される。即ち、ピットと、ピット間のランド部分によるピット列がレーザ光によって再生走査されることで、再生信号としてのHとLが得られる。
いわゆるエンボスピットによるピット列が形成された再生専用光ディスクについては、マスタリング工程として、記録データに応じたピット列を形成するために、レーザによる露光を行い、ディスク原盤が製造される。そしてディスク原盤からスタンパが作成され、スタンパを用いて光ディスクが大量に製造される。
In general, in a read-only optical disc, a high level (H) and a low level (L) of a reproduction signal are switched in synchronization with a clock that is a reference unit time, and information is recorded by a combination of the lengths of H and L. In a read-only optical disc, H and L are usually represented by a pit row arranged on a track. That is, the pits and the pit rows formed by the land portions between the pits are reproduced and scanned by the laser beam, so that H and L as reproduction signals are obtained.
For a read-only optical disc on which a so-called embossed pit row is formed, as a mastering process, in order to form a pit row according to recorded data, laser exposure is performed to produce a master disc. A stamper is created from the master disc, and a large number of optical discs are manufactured using the stamper.

CD(Compact Disc)やDVD(Digital Versatile Disc)の記録ピット形成には、スタンパのピットパターンの正確な転写が要求され、高精度の成形技術が必要とされる。
ここで近年開発されている、より高密度の光ディスクであるブルーレイディスク(Blu-ray Disc(登録商標))では、ピット列のトラックピッチが0.32μmと、DVDの約半分となっており、ピットの幅、長さ、深さも小さくなっているが、その為、スタンパを用いてディスク基板を成形するときに、成形基板上でのピット変形(以下ピットずれと記載)が発生しやすく、また僅かなピットずれであっても、再生信号に大きな影響を与えてしまう。
For recording pit formation of CD (Compact Disc) and DVD (Digital Versatile Disc), accurate transfer of stamper pit patterns is required, and high-precision molding technology is required.
Here, in the Blu-ray Disc (registered trademark), which is a higher density optical disc developed recently, the track pitch of the pit row is 0.32 μm, which is about half that of a DVD. The width, length, and depth of the plate are also small. Therefore, when a disc substrate is molded using a stamper, pit deformation (hereinafter referred to as pit deviation) on the molded substrate is likely to occur, and a slight amount Even a slight pit shift will greatly affect the reproduction signal.

ピットずれの様子を図14に示す。図14(a)は、スタンパを用いてディスク基板を製造した際に、正常にピット1が形成されている例を示している。
ところが、特にディスク内周側では、図14(b)のように内周側にピット1が流れたような形状となるピットずれが生じたり、またディスク外周側の図14(c)のように外周側にピット1が流れたような形状となるピットずれが生じやすい。
The state of pit shift is shown in FIG. FIG. 14A shows an example in which pits 1 are normally formed when a disc substrate is manufactured using a stamper.
However, especially on the inner circumference side of the disc, a pit shift occurs in such a shape that the pit 1 flows on the inner circumference side as shown in FIG. 14B, or as shown in FIG. 14C on the outer circumference side of the disc. A pit shift is likely to occur as if the pit 1 flowed on the outer peripheral side.

このピットずれは、成形時のスタンパとディスク基板との密着性に依存する。例えばスタンパとディスク基板の密着が弱いと、金型内で樹脂が冷却される際の収縮や、型締め力の脱圧時にピットずれが発生しやすい。逆に、密着が強すぎると、スタンパからのディスク基板剥離時に、ピットずれが発生しやすい。
よって、適度な密着性が必要となるが、ブルーレイディスクなどの高密度光ディスクのように、ピット自体のサイズが小さくなると、成形時のスタンパとディスク基板との十分な密着性を得られにくく、ピットずれが発生しやすくなっているものである。
This pit shift depends on the adhesion between the stamper and the disk substrate during molding. For example, if the adhesion between the stamper and the disk substrate is weak, pit displacement tends to occur when the resin is cooled in the mold and when the clamping force is released. On the other hand, if the adhesion is too strong, pit deviation is likely to occur when the disk substrate is peeled from the stamper.
Therefore, moderate adhesion is required. However, if the size of the pit itself is reduced as in a high-density optical disk such as a Blu-ray disc, it is difficult to obtain sufficient adhesion between the stamper and the disk substrate during molding. Deviation tends to occur.

そこで本発明は、特に高密度光ディスクとしての再生専用光ディスクにおいても、このようなピットずれが生じないようにし、再生性能の良い光ディスクを提供することを目的とする。   SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide an optical disc having good reproduction performance by preventing such a pit shift even in a read-only optical disc as a high-density optical disc.

本発明のスタンパは、再生専用光ディスクを製造するためのスタンパである。そしてこのスタンパを用いてピット転写が行われて製造される再生専用光ディスクの情報記録用の領域として設定されているインフォメーションエリアに相当する範囲に、記録情報に基づいたエンボスピットを形成するための凹凸パターンが形成されているとともに、上記インフォメーションエリアよりもディスク外周側に相当する位置に、ダミー凹凸形状を形成するための凹凸パターンが形成されているものである。
さらに、上記インフォメーションエリアよりディスク内周側に相当する位置にも、ダミー凹凸形状を形成するための凹凸パターンが形成されているようにもする。
また、上記再生専用光ディスクに形成する上記ダミー凹凸形状は、ダミーピット列であり、上記ダミーピット列の各ダミーピットは、上記インフォメーションエリアに形成されているエンボスピットよりも深いエンボスピットであるとともに、上記ダミーピット列のトラックピッチは、上記インフォメーションエリアに形成されているエンボスピット列のトラックピッチより広いトラックピッチとされるように、上記凹凸パターンが形成されている。
或いは、上記再生専用光ディスクに形成する上記ダミー凹凸形状は、ダミーピット列であり、上記ダミーピット列の各ダミーピットは、所定以上のピット長のみのエンボスピットとされるように、上記凹凸パターンが形成されている。
或いは上記再生専用光ディスクに形成する上記ダミー凹凸形状は、ダミーの連続溝とされるように上記凹凸パターンが形成されている。
The stamper of the present invention is a stamper for manufacturing a read-only optical disc. Then, unevenness for forming embossed pits based on recorded information in a range corresponding to an information area set as an information recording area of a read-only optical disc manufactured by performing pit transfer using this stamper A pattern is formed, and a concavo-convex pattern for forming a dummy concavo-convex shape is formed at a position corresponding to the outer peripheral side of the disc with respect to the information area.
Furthermore, a concave / convex pattern for forming a dummy concave / convex shape is also formed at a position corresponding to the inner peripheral side of the disc from the information area.
Further, the dummy uneven shape formed on the read-only optical disc is a dummy pit row, and each dummy pit of the dummy pit row is an emboss pit deeper than an emboss pit formed in the information area, The concave / convex pattern is formed so that the track pitch of the dummy pit row is wider than the track pitch of the embossed pit row formed in the information area.
Alternatively, the dummy concavo-convex shape formed on the read-only optical disc is a dummy pit row, and the concavo-convex pattern is formed so that each dummy pit of the dummy pit row is an embossed pit having a pit length not less than a predetermined length. Is formed.
Or the said uneven | corrugated shape formed in the said read-only optical disk has the said uneven | corrugated pattern formed so that it may become a dummy continuous groove | channel.

本発明の再生専用光ディスクは、情報記録用の領域として設定されているインフォメーションエリア内に、エンボスピットにより情報が記録された再生専用光ディスクであって、上記インフォメーションエリアよりもディスク外周側に、ダミー凹凸形状が形成されていることを特徴とする。
さらに、上記インフォメーションエリアよりディスク内周側にも、ダミー凹凸形状が形成されているようにもする。
また上記ダミー凹凸形状は、ダミーピット列で形成され、上記ダミーピット列の各ダミーピットは、上記インフォメーションエリアに形成されているエンボスピットよりも深いエンボスピットであるとともに、上記ダミーピット列のトラックピッチは、上記インフォメーションエリアに形成されているエンボスピット列のトラックピッチより広いトラックピッチとされている。
或いは、上記ダミー凹凸形状は、ダミーピット列で形成され、上記ダミーピット列の各ダミーピットは、所定以上のピット長のみのエンボスピットであるとする。
或いは、上記ダミー凹凸形状は、ダミーの連続溝で形成されている。
また再生専用光ディスクは、ディスク基板の一方の面に上記エンボスピット及びダミー凹凸形状が形成されるとともに、他方の面は梨地状の面とされ、上記ディスク基板の上記一方の面に反射膜と光透過層(カバー層)とが形成され、上記ディスク基板の上記他方の面に印刷層が形成されて成る。この場合、上記ディスク基板の上記他方の面における梨地の最大粗さは0.5μm〜5μmであるとする。
The read-only optical disc of the present invention is a read-only optical disc in which information is recorded by embossed pits in an information area set as an information recording area. A shape is formed.
Further, a dummy uneven shape is also formed on the inner peripheral side of the disc from the information area.
The dummy concavo-convex shape is formed of a dummy pit row, and each dummy pit of the dummy pit row is an emboss pit deeper than the emboss pit formed in the information area, and the track pitch of the dummy pit row. The track pitch is wider than the track pitch of the embossed pit rows formed in the information area.
Alternatively, the dummy concavo-convex shape is formed by a dummy pit row, and each dummy pit of the dummy pit row is an embossed pit having a predetermined pit length or more.
Alternatively, the dummy uneven shape is formed by a dummy continuous groove.
The read-only optical disk has the embossed pits and dummy irregularities formed on one surface of the disk substrate, and the other surface is a matte surface. The reflective film and the light are formed on the one surface of the disk substrate. A transmission layer (cover layer) is formed, and a printing layer is formed on the other surface of the disk substrate. In this case, it is assumed that the maximum roughness of the matte surface on the other surface of the disk substrate is 0.5 μm to 5 μm.

本発明の再生専用光ディスクの製造方法は、再生専用光ディスクの情報記録用の領域として設定されているインフォメーションエリアに相当する範囲に、記録情報に基づいたエンボスピットの凹凸パターンを形成し、さらに上記インフォメーションエリアよりもディスク外周側に相当する位置に、ダミー凹凸形状を形成するための凹凸パターンを形成してディスク原盤を生成する原盤生成ステップと、上記ディスク原盤を用いてスタンパを製造するスタンパ製造ステップと、上記スタンパを用いて再生専用光ディスクを製造するディスク製造ステップとを備える。
また上記ディスク製造ステップでは、一方の内面に上記スタンパ製造ステップで製造した上記スタンパが配置されるとともに他方の内面が梨地状の面とされた金型を用いてディスク基板を製造した後、上記ディスク基板において、上記エンボスピット及びダミー凹凸形状が形成された一方の面に反射膜と光透過層(カバー層)とを形成し、また上記ディスク基板において、梨地状に形成された他方の面に印刷層を形成する。
この場合、上記金型の上記他方の内面における梨地の最大粗さは0.5μm〜5μmであるとする。
The method for manufacturing a read-only optical disc according to the present invention forms an embossed pit uneven pattern based on recorded information in a range corresponding to an information area set as an information recording area of the read-only optical disc. A master generating step for generating a master disc by forming a concave / convex pattern for forming a dummy concave / convex shape at a position corresponding to the outer peripheral side of the disc from the area; and a stamper manufacturing step for manufacturing a stamper using the disc master. And a disc manufacturing step of manufacturing a read-only optical disc using the stamper.
In the disk manufacturing step, the disk substrate is manufactured using a mold in which the stamper manufactured in the stamper manufacturing step is arranged on one inner surface and the other inner surface is a matte surface, and then the disk is manufactured. On the substrate, a reflective film and a light transmission layer (cover layer) are formed on one surface on which the embossed pits and dummy irregularities are formed, and printing is performed on the other surface of the disk substrate formed in a satin shape. Form a layer.
In this case, the maximum roughness of the matte surface on the other inner surface of the mold is 0.5 μm to 5 μm.

これらの本発明では、再生専用光ディスクのインフォメーションエリア以外の領域、つまり通常ピット等が形成されない領域において、ダミーピット等のダミー凹凸パターンを形成するものである。
インフォメーションエリアとは、主データ(オーディオ/ビデオコンテンツ、各種ファイル、プログラム等)を記録したり、これらの主データの管理情報やディスクの物理情報、識別情報等を記録するために規定された領域である。また外周側のリードアウトや、内周側のBCA(Burst Cutting Area)など光ディスク再生装置にとって何らかの意味のある領域もインフォメーションエリアに含まれる。
つまりインフォメーションエリア以外とは、通常は、光ディスク記録再生装置の記録動作、再生動作に対して特に意味のあるピットやグルーブ(連続溝)が形成されない領域である。
本発明では、このインフォメーションエリア以外の領域としての、少なくともディスク外周側にダミー凹凸形状を形成するような凹凸パターンを備えたスタンパを製造する。また加えてディスク内周側にもダミー凹凸形状を形成するようにしてもよい。このようなスタンパを用いた場合、再生専用光ディスクとしてのディスク基板を製造する際に、スタンパとディスク基板の間に適度な密着性が得られることが確認された。
In the present invention, dummy uneven patterns such as dummy pits are formed in areas other than the information area of the read-only optical disk, that is, areas where normal pits are not formed.
The information area is an area defined for recording main data (audio / video contents, various files, programs, etc.) and recording management information of these main data, physical information of discs, identification information, and the like. is there. The information area also includes an area that has some meaning for the optical disc reproducing apparatus, such as an outer peripheral lead-out and an inner peripheral BCA (Burst Cutting Area).
That is, the area other than the information area is usually an area where pits and grooves (continuous grooves) that are particularly meaningful for the recording operation and the reproducing operation of the optical disc recording / reproducing apparatus are not formed.
In the present invention, a stamper having a concavo-convex pattern that forms a dummy concavo-convex shape at least on the outer periphery side of the disk as an area other than the information area is manufactured. In addition, a dummy uneven shape may also be formed on the inner peripheral side of the disk. When such a stamper was used, it was confirmed that an appropriate adhesion was obtained between the stamper and the disk substrate when manufacturing a disk substrate as a read-only optical disk.

さらに本発明では、ディスク基板においてエンボスピット及びダミー凹凸形状が形成された一方の面に対する他方の面は、梨地状の面となるようにしている。例えばディスク基板を製造する際には、上記の凹凸パターンを備えたスタンパを金型に配置して、ディスク基板の一方の面にエンボスピット及びダミー凹凸形状が形成されるようにするが、金型の反対側の内面は梨地状の面とし、ディスク基板の他方の面が梨地状になるようにする。金型の他方の内面が梨地状とされていることによっても、金型及びスタンパによってディスク基板を成型する際に適度な密着性が得られ、金型内で樹脂が冷却される際の収縮や、型締め力の脱圧時にピットずれが生じないようにする作用が得られることが確認された。
なお「梨地」とはJIS(Japan Industrial Standard)における定義(「梨地仕上げ」)のように、表面に機械的又は科学的処理によって微細な凹凸を均一に形成させた状態をいう。
梨地の最大粗さは0.5μm〜5μmとするが、0.5μmは、ピットずれ防止効果を得るための最低限の粗さであり、また、5μmは、印刷工程を経た後のレーベル面の美観を維持する最大限の粗さである。
Furthermore, in the present invention, the other surface of the disk substrate on which the embossed pits and the dummy irregularities are formed is a matte surface. For example, when manufacturing a disk substrate, the stamper having the above-described uneven pattern is arranged in a mold so that embossed pits and dummy uneven shapes are formed on one surface of the disk substrate. The inner surface on the opposite side is a matte surface, and the other surface of the disk substrate is matte. Even when the other inner surface of the mold is satin-like, moderate adhesion is obtained when the disk substrate is molded by the mold and the stamper, and shrinkage when the resin is cooled in the mold It was confirmed that the effect of preventing the occurrence of pit deviation at the time of releasing the mold clamping force was obtained.
“Nashiji” refers to a state in which fine irregularities are uniformly formed on the surface by mechanical or scientific treatment as defined in JIS (Japan Industrial Standard) (“pear finish”).
The maximum roughness of the satin is 0.5 μm to 5 μm, but 0.5 μm is the minimum roughness to obtain the effect of preventing pit shift, and 5 μm is the label surface after the printing process. It is the maximum roughness that maintains aesthetics.

本発明によれば、ピットサイズが微小でトラックピッチも狭い高密度光ディスクの基板の成形時に、スタンパとディスク基板の間で適度な密着性が得られ、これによってインフォメーションエリアにおけるピットずれの発生が防止できピット転写精度が向上される。このため製造される再生専用光ディスクは正常なエンボスピットが形成でき、安定した再生信号特性の得られる光ディスクとすることができる。   According to the present invention, when forming a substrate of a high-density optical disk having a small pit size and a narrow track pitch, appropriate adhesion can be obtained between the stamper and the disk substrate, thereby preventing occurrence of pit deviation in the information area. Pit transfer accuracy is improved. Therefore, the manufactured read-only optical disk can form normal embossed pits, and can be an optical disk that provides stable reproduction signal characteristics.

以下、本発明の実施の形態について説明する。
まず図6を参照して、再生専用光ディスクの製造工程を述べる。
図6(a)はディスク原盤を構成する基板100を示している。先ず、この基板100の上に、スパッタリング法により例えば無機系のレジスト材料からなるレジスト層102を均一に成膜する(レジスト層形成工程、図6(b))。後に、ディスク原盤を製造するマスタリング工程として、無機系のレジスト材料を用いたPTMマスタリングについて説明するが、この場合、レジスト層102に提供される材料としては、遷移金属の不完全酸化物が用いられ、具体的な遷移金属としては、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Nb、Cu、Ni、Co、Mo、Ta、W、Zr、Ru、Ag等が挙げられる。
なお、レジスト層102の露光感度の改善のために基板100とレジスト層102との間に所定の中間層101を形成しても良く、図6(b)ではその状態を示している。レジスト層102の膜厚は任意に設定可能であるが、10nm〜80nmの範囲内が好ましい。
Embodiments of the present invention will be described below.
First, with reference to FIG. 6, the manufacturing process of the read-only optical disk will be described.
FIG. 6A shows a substrate 100 constituting a disc master. First, a resist layer 102 made of, for example, an inorganic resist material is uniformly formed on the substrate 100 by a sputtering method (resist layer forming step, FIG. 6B). Later, PTM mastering using an inorganic resist material will be described as a mastering process for manufacturing a disk master. In this case, an incomplete oxide of a transition metal is used as a material provided for the resist layer 102. Specific examples of the transition metal include Ti, V, Cr, Mn, Fe, Nb, Cu, Ni, Co, Mo, Ta, W, Zr, Ru, and Ag.
Note that a predetermined intermediate layer 101 may be formed between the substrate 100 and the resist layer 102 in order to improve the exposure sensitivity of the resist layer 102, and FIG. 6B shows the state. The thickness of the resist layer 102 can be arbitrarily set, but is preferably in the range of 10 nm to 80 nm.

次に、後述する原盤製造装置を利用してレジスト層102に信号パターンとしてのピット列に対応した選択的な露光を施し感光させる(レジスト層露光工程、図6(c))。そしてレジスト層102を現像することによって所定の凹凸パターン(ピット列)が形成されたディスク原盤103が生成される(レジスト層現像工程、図6(d))。
続いて、上記のように生成したディスク原盤103の凹凸パターン面上に金属ニッケル膜を析出させ(図6(e))、これを原盤103から剥離させた後に所定の加工を施し、原盤103の凹凸パターンが転写された成型用のスタンパ104を得る(図6(f))。
そのスタンパ104を用いて射出成型法によって熱可塑性樹脂であるポリカーボネートからなる樹脂製ディスク基板105を成形する(図6(g))。
その後、スタンパ104を剥離し(図6(h))、その樹脂製ディスク基板の凹凸面にAg合金などの反射膜106(図6(i))と、膜厚0.1mm程度の光透過層(カバー層)107とを形成する。さらに光透過層107にハードコート108を施し、また反対側のレーベル面側に印刷層109を形成する。以上で、光ディスクが製造される(図6(j))。なお、ハードコート108を施さない場合もある。
Next, the resist layer 102 is subjected to selective exposure corresponding to a pit row as a signal pattern using a master manufacturing apparatus described later (resist layer exposure step, FIG. 6C). Then, by developing the resist layer 102, the master disc 103 on which a predetermined uneven pattern (pit row) is formed is generated (resist layer developing step, FIG. 6D).
Subsequently, a metallic nickel film is deposited on the concave / convex pattern surface of the disk master 103 generated as described above (FIG. 6 (e)), and after peeling this from the master 103, a predetermined process is performed. A molding stamper 104 to which the uneven pattern is transferred is obtained (FIG. 6F).
Using the stamper 104, a resin disc substrate 105 made of polycarbonate which is a thermoplastic resin is formed by injection molding (FIG. 6G).
Thereafter, the stamper 104 is peeled off (FIG. 6H), a reflective film 106 such as an Ag alloy (FIG. 6I) is formed on the uneven surface of the resin disk substrate, and a light transmission layer having a film thickness of about 0.1 mm. (Cover layer) 107 is formed. Further, a hard coat 108 is applied to the light transmission layer 107, and a printing layer 109 is formed on the opposite label surface side. Thus, the optical disc is manufactured (FIG. 6 (j)). In some cases, the hard coat 108 is not applied.

このような光ディスク製造工程において、本例では、以下のような再生専用光ディスクが製造される。
図1に本例の再生専用光ディスクの領域構成を示している。
例えば図1はブルーレイディスクフォーマットの直径12cmの光ディスクであり、ディスク中心の直径15mmはセンターホールとされる。
そして直径42mmから直径117mmの円環状の領域がインフォメーションエリアとして規定されている。
インフォメーションエリア内においては、例えば内周側からBCA、リードインエリア、データエリア、リードアウトエリアが形成される。BCAは、ピットを半径方向に並べて形成することで放射型のバーコード状のパターンが形成される領域であり、例えばディスク識別情報等が記録される。リードインエリアには、ディスクの物理情報、再生装置の動作の推奨情報、領域情報、コンテンツデータやファイルデータの管理情報などが記録される。データエリアには、主データであるコンテンツデータやファイル等が記録される。リードアウトエリアは、外周側のバッファエリアとして用いられる。
In such an optical disc manufacturing process, in the present example, the following read-only optical disc is manufactured.
FIG. 1 shows the area configuration of the read-only optical disk of this example.
For example, FIG. 1 shows an optical disk having a diameter of 12 cm in the Blu-ray Disc format, and a diameter of 15 mm at the center of the disk is a center hole.
An annular area having a diameter of 42 mm to 117 mm is defined as an information area.
In the information area, for example, a BCA, a lead-in area, a data area, and a lead-out area are formed from the inner peripheral side. The BCA is an area where a radial barcode pattern is formed by forming pits arranged in the radial direction, and for example, disc identification information is recorded. In the lead-in area, physical information on the disc, recommended information on the operation of the playback device, area information, management information on content data and file data, and the like are recorded. In the data area, content data and files that are main data are recorded. The lead-out area is used as a buffer area on the outer peripheral side.

ブルーレイディスクフォーマットでは、インフォメーションエリア以外は、ディスクの厚み等は、規格で規定されているが、ピット形成については、特に規定されていない。
ここで本例の場合、インフォメーションエリアより外周側に、外周ダミーエリアOdmが形成される。また、インフォメーションエリアより内周側に、内周ダミーエリアIdmが形成される。
この外周ダミーエリアOdm、内周ダミーエリアIdmは、ダミーピットやダミーグルーブとしてダミー凹凸形状が形成された領域である。
これらのダミー凹凸形状は、ディスク基板成型時のピットずれを回避するための凹凸パターンがスタンパ104に形成されていることで、製造後の再生専用光ディスクに形成されたものとなる。
In the Blu-ray Disc format, the thickness of the disc is defined by the standard except for the information area, but the pit formation is not particularly defined.
In this example, an outer peripheral dummy area Odm is formed on the outer peripheral side of the information area. Further, an inner peripheral dummy area Idm is formed on the inner peripheral side from the information area.
The outer periphery dummy area Odm and the inner periphery dummy area Idm are regions where dummy irregularities are formed as dummy pits and dummy grooves.
These dummy concavo-convex shapes are formed on a read-only optical disc after manufacture by forming a concavo-convex pattern on the stamper 104 for avoiding pit shift during molding of the disc substrate.

以下、具体例を2例述べる。
第1の具体例として、スタンパ104には、成形するディスク基板の直径38mm〜41mmの範囲、及び、直径117.5mm〜120.0mmの範囲に、ダミーピットが形成される凹凸パターンを形成した。つまり再生専用光ディスクの直径38mm〜41mmの範囲を図1の内周ダミーエリアIdm、直径117.5mm〜120.0mmの範囲を外周ダミーエリアOdmとするようなスタンパ104を用いてディスク基板105を成形する。
スタンパ104の凹凸パターンにより形成されるダミーピットは次のようにする。
Two specific examples will be described below.
As a first specific example, the stamper 104 was formed with a concave / convex pattern in which dummy pits were formed in a diameter range of 38 mm to 41 mm and a diameter range of 117.5 mm to 120.0 mm. That is, the disc substrate 105 is formed using the stamper 104 in which the read-only optical disc has a diameter of 38 mm to 41 mm as the inner dummy area Idm in FIG. 1 and a diameter of 117.5 mm to 120.0 mm as the outer dummy area Odm. To do.
The dummy pit formed by the uneven pattern of the stamper 104 is as follows.

・ダミーピットのピット長、信号パターンはブルーレイディスク規格準拠の2T〜8Tのピット列パターン(Tはチャンネルクロック周期)とする。
・ダミーピット列のトラックピッチは0.64μmとする。なおブルーレイディスクのインフォメーションエリアに形成されるピット列の通常のトラックピッチは0.32μmである。
・ダミーピットのピット深さは70nmとする。なおブルーレイディスクのインフォメーションエリアに形成される通常のピットの深さは50nmである。
The pit length and signal pattern of the dummy pits are 2T to 8T pit row patterns (T is a channel clock cycle) conforming to the Blu-ray Disc standard.
• The track pitch of the dummy pit row is 0.64 μm. The normal track pitch of the pit row formed in the information area of the Blu-ray disc is 0.32 μm.
-The pit depth of the dummy pit is 70 nm. The normal pit depth formed in the information area of the Blu-ray disc is 50 nm.

図2に、形成されるピットの様子を示す。図2(a)の通常ピットとは、インフォメーションエリアに形成されるエンボスピットのことであり、つまりブルーレイディスクフォーマットに応じて、トラックピッチが0.32μmで、記録データの変調信号に応じた2T〜8Tのピット長のピット1によるピット列が形成されている。ピット深さは50nmである。
一方図2(b)は外周ダミーエリアOdm、内周ダミーエリアIdmに形成されるダミーピット2のピット列を示している。上記のようにトラックピッチは0.64μm、ピット深さは70nmである。
なお、ダミーピット2として通常ピット1より深いピットを形成する場合、後述するがディスク原盤の露光の際にレーザーパワーを上昇させる。これにより、ピット深さが深くなると共にダミーピット2の幅PW2は通常ピット1の幅PW1より広くなっている。これにより、ダミーエリアOdm、Idmにおいては十分なピット容積が確保される。
FIG. 2 shows how the pits are formed. The normal pits in FIG. 2 (a) are embossed pits formed in the information area. That is, the track pitch is 0.32 μm according to the Blu-ray disc format, and 2T˜ according to the modulation signal of the recording data. A pit row of pits 1 having a pit length of 8T is formed. The pit depth is 50 nm.
On the other hand, FIG. 2B shows a pit row of dummy pits 2 formed in the outer periphery dummy area Odm and the inner periphery dummy area Idm. As described above, the track pitch is 0.64 μm and the pit depth is 70 nm.
In the case where a pit deeper than the normal pit 1 is formed as the dummy pit 2, the laser power is increased during the exposure of the disc master as will be described later. As a result, the pit depth is increased and the width PW2 of the dummy pit 2 is wider than the width PW1 of the normal pit 1. Thereby, a sufficient pit volume is secured in the dummy areas Odm and Idm.

図3は、このような通常ピット1とダミーピット2を有するディスク基板105と、これを形成するスタンパ104とを模式的に示している。スタンパ104にダミーピット2を形成するための凹凸パターン6と、通常ピット1を形成するための凹凸パターン5が形成されていることで、図2(a)(b)のようなピット列が形成された再生専用光ディスクが生成される。   FIG. 3 schematically shows a disk substrate 105 having such normal pits 1 and dummy pits 2 and a stamper 104 for forming the disk substrate 105. The concavo-convex pattern 6 for forming the dummy pit 2 and the concavo-convex pattern 5 for forming the normal pit 1 are formed on the stamper 104, thereby forming a pit row as shown in FIGS. The read-only optical disc is generated.

このようにして成形された再生専用光ディスクでは、それを再生させてジッターを計測したところ、ディスク全周で5.7%以下と良好な結果が得られた。つまりインフォメーションエリアにおける通常ピット1において、ピットずれによる再生信号特性の悪化は認められなかった。
さらに成形安定性を確認する上で、10000枚連続成形した中で、抜き取り評価を行った場合も、ジッターの悪化は見られなかった。
With the read-only optical disc formed in this way, when it was reproduced and jitter was measured, good results were obtained with 5.7% or less over the entire circumference of the disc. That is, in the normal pit 1 in the information area, the reproduction signal characteristics were not deteriorated due to the pit deviation.
Further, in order to confirm the molding stability, even when 10000 sheets were continuously molded, the jitter was not deteriorated even when the sampling evaluation was performed.

次に第2の具体例としては、スタンパ104には、成形するディスク基板の直径22mm〜38mmの範囲、及び、直径117.5mm〜120.0mmの範囲に、ダミーピットが形成される凹凸パターンを形成した。つまり再生専用光ディスクの直径22mm〜38mmの範囲を図1の内周ダミーエリアIdm、直径117.5mm〜120.0mmの範囲を外周ダミーエリアOdmとするようなスタンパ104を用いてディスク基板105を成形する。
スタンパ104の凹凸パターンにより形成されるダミーピットは次のようにする。
Next, as a second specific example, the stamper 104 is provided with a concavo-convex pattern in which dummy pits are formed in a diameter range of 22 mm to 38 mm and a diameter range of 117.5 mm to 120.0 mm of the disk substrate to be formed. Formed. That is, the disc substrate 105 is formed using the stamper 104 in which the read-only optical disc has a diameter of 22 mm to 38 mm as the inner dummy area Idm in FIG. 1 and a diameter of 117.5 mm to 120.0 mm as the outer dummy area Odm. To do.
The dummy pit formed by the uneven pattern of the stamper 104 is as follows.

・ダミーピットは、ピット長が8Tのみのピット列とする。つまりブルーレイディスク規格準拠の2T〜8Tのピットのうち最長ピットのみのピット列とする。
・ダミーピット列のトラックピッチは0.32μm、ピット深さは50nmとする。つまりインフォメーションエリアに形成される通常ピット列のトラックピッチ及びピット深さと同様とする。
・ The dummy pit is a pit string with a pit length of only 8T. That is, a pit row of only the longest pit among 2T to 8T pits conforming to the Blu-ray Disc standard is used.
The track pitch of the dummy pit row is 0.32 μm and the pit depth is 50 nm. That is, the same as the track pitch and pit depth of the normal pit row formed in the information area.

図4に、形成されるピットの様子を示す。図4(a)にインフォメーションエリアに形成される通常ピットを示し、図4(b)に外周ダミーエリアOdm、内周ダミーエリアIdmに形成されるダミーピット2のピット列を示している。
この場合、図4(a)(b)を比較してわかるように、ダミーピット列は通常ピット列と同様のトラックピッチ、ピット幅、ピット深さである。但し、ダミーピット2のピット長は全て通常ピット列における最長ピットの8Tのピットであることで、ダミーエリアOdm、Idmにおいては十分なピット容積が確保される。
FIG. 4 shows a state of pits to be formed. 4A shows normal pits formed in the information area, and FIG. 4B shows pit rows of dummy pits 2 formed in the outer periphery dummy area Odm and the inner periphery dummy area Idm.
In this case, as can be seen by comparing FIGS. 4A and 4B, the dummy pit row has the same track pitch, pit width, and pit depth as the normal pit row. However, since the pit lengths of the dummy pits 2 are all 8T pits, which is the longest pit in the normal pit row, a sufficient pit volume is secured in the dummy areas Odm and Idm.

このようにして成形された再生専用光ディスクについても、それを再生させてジッターを計測したところ、ディスク全周で5.7%以下と良好な結果が得られ、インフォメーションエリアにおける通常ピット1において、ピットずれによる再生信号特性の悪化は認められなかった。
さらに成形安定性を確認する上で、10000枚連続成形した中で、抜き取り評価を行った場合も、ジッターの悪化は見られなかった。
The reproduction-only optical disk thus formed was also reproduced and measured for jitter. As a result, a good result of 5.7% or less over the entire circumference of the disk was obtained. No deterioration of the reproduction signal characteristics due to the shift was observed.
Further, in order to confirm the molding stability, even when 10000 sheets were continuously molded, the jitter was not deteriorated even when the sampling evaluation was performed.

これら第1,第2の具体例として示したように、スタンパ104にダミーピット用の凹凸パターンを形成し、このスタンパ104によってインフォメーションエリア外にダミーピット2が形成される再生専用光ディスクを製造したところ、ピットずれにより再生信号品質が悪化することは防止できた。   As shown in these first and second specific examples, when a concave / convex pattern for dummy pits is formed on the stamper 104 and a dummy pit 2 is formed outside the information area by the stamper 104, a read-only optical disk is manufactured. It was possible to prevent the reproduction signal quality from deteriorating due to the pit shift.

なお比較例として、ブルーレイディスク成型用のスタンパの、直径38mm〜41mmの範囲(上記内周ダミーエリアIdmに相当する領域)に、ダミーピットとして、ブルーレイディスク規格準拠の信号パターン、ピット(トラックピッチ0.32μm、深さ50nm)のダミーピットを入れた場合について述べておく。
ここで入れたダミーピットは、スタンパの品番確認用の文字やバーコードを、ピット部とミラー部とのコントラストで表現する為に入れたものである。
また、インフォメーションエリアより外周側にはダミーピットは形成しないものとした。
このようなスタンパで成形した再生専用光ディスクのジッターは、ディスク中周部で5.7%以下と良好であったが、インフォメーションエリア内の内周側、及び外周側で、ジッターが不安定となり、悪化が顕著な場合は10%を超える場合もあった。その為、成形条件のマージンが少なく、安定生産が困難であった。また、ジッター悪化部のピット状態をSEM(Scanning Electron Microscope:走査型電子顕微鏡)で観察したところ、その部分のピットずれが確認された。
As a comparative example, a signal pattern and pit (track pitch 0) conforming to the Blu-ray disc standard are used as dummy pits in a diameter range of 38 mm to 41 mm (an area corresponding to the inner peripheral dummy area Idm) of a Blu-ray disc molding stamper. The case where a dummy pit having a thickness of .32 μm and a depth of 50 nm is inserted will be described.
The dummy pits entered here are used to express the characters and bar codes for confirming the part number of the stamper in order to express the contrast between the pit part and the mirror part.
In addition, dummy pits are not formed on the outer peripheral side from the information area.
The jitter of the read-only optical disk molded with such a stamper was good at 5.7% or less in the middle part of the disk, but the jitter became unstable on the inner and outer circumferences in the information area. When the deterioration was remarkable, it sometimes exceeded 10%. Therefore, there is little margin for molding conditions and stable production is difficult. Further, when the pit state of the jitter deteriorated portion was observed with an SEM (Scanning Electron Microscope), the pit shift of the portion was confirmed.

以上の結果より、上記具体例に示したように、適したダミーピットが形成されるようにスタンパ104を製造することで、ディスク基板成形時のピットずれを抑え、成形起因による信号特性の悪化を抑えることができることが確認された。また少なくとも、インフォメーションエリアよりも外周側に外周ダミーエリアOdmが形成されるようにすることが有効であることや、ダミーピットとしては、ピット容積が或る程度十分に確保できるようにすることが有効であることがわかった。例えば上記第1,第2の具体例の場合、外周ダミーエリアOdmにダミーピット2が形成されている。また第1の具体例ではダミーピット2は、通常ピット1よりも深く、ピット幅も広いことで、通常ピット1に比べて容積の広いエンボスピット領域となっている。また、第2の具体例の場合は、ダミーピット2は、ピット幅やピット深さは通常ピット1と同様であるが、すべてピット長が8Tのピット(通常ピットにおける最長ピット)とされることで、十分な容積が確保されている。   From the above results, as shown in the above specific example, by manufacturing the stamper 104 so that suitable dummy pits are formed, the pit deviation at the time of forming the disk substrate is suppressed, and the signal characteristics are deteriorated due to the forming. It was confirmed that it can be suppressed. In addition, it is effective that at least the outer periphery dummy area Odm is formed on the outer periphery side of the information area, and it is effective that the dummy pits can ensure a sufficient pit volume. I found out that For example, in the case of the first and second specific examples, the dummy pit 2 is formed in the outer peripheral dummy area Odm. In the first specific example, the dummy pit 2 is an embossed pit region having a larger volume than the normal pit 1 because the dummy pit 2 is deeper and wider than the normal pit 1. In the case of the second specific example, the dummy pit 2 has the same pit width and pit depth as the normal pit 1, but all the pits have a pit length of 8T (the longest pit in the normal pit). Thus, a sufficient volume is secured.

また、ピットずれを防止することのできるようなダミー凹凸形状は、上記第1,第2の具体例におけるダミーピット2に限られない。
例えばダミーピット2に代えて、ダミーグルーブ(連続溝)としてもよい。
図5(a)(b)に、インフォメーションエリアの通常ピット1と、外周ダミーエリアOdm、又は外周ダミーエリアOdmと内周ダミーエリアIdmの両方に形成するダミーグルーブ4を示した。ダミーグルーブ4は、例えば上記第2の具体例の8Tのダミーピット2のピット長を著しく長くしたものと考えることができる。従って、第2の具体例と同様に、0.32μmのトラックピッチでダミーグルーブ4を形成するようにすること、つまり、ダミーグルーブ4の形成のための凹凸パターンをスタンパ104に形成することでも、同様の効果が得られる。
また、ダミーピット2やダミーグルーブ4などのダミー凹凸形状を形成するダミーエリアOdm、Idmの具体的な範囲は、上記例に限られない。
また、以上の実施の形態はブルーレイディスクでの実例として示したが、本発明は、他の種の光ディスクにも適用可能である。特に高密度光ディスクに好適である。
Moreover, the dummy uneven shape capable of preventing the pit shift is not limited to the dummy pit 2 in the first and second specific examples.
For example, a dummy groove (continuous groove) may be used instead of the dummy pit 2.
5A and 5B show the dummy groove 4 formed in the normal pit 1 of the information area and the outer dummy area Odm, or both the outer dummy area Odm and the inner dummy area Idm. For example, the dummy groove 4 can be considered to have a significantly longer pit length than the 8T dummy pit 2 of the second specific example. Therefore, as in the second specific example, the dummy groove 4 is formed with a track pitch of 0.32 μm, that is, the concave / convex pattern for forming the dummy groove 4 is formed on the stamper 104. Similar effects can be obtained.
In addition, the specific ranges of the dummy areas Odm and Idm that form dummy uneven shapes such as the dummy pit 2 and the dummy groove 4 are not limited to the above example.
Moreover, although the above embodiment was shown as an example of a Blu-ray disc, the present invention can also be applied to other types of optical discs. It is particularly suitable for high density optical discs.

ところで図6で説明したように、スタンパ104はディスク原盤103を用いて製造される。つまり、上記のようなダミー凹凸形状を形成するための凹凸パターンを有するスタンパ104を製造する場合、ディスク原盤103の製造時に、当該凹凸パターンの露光も行われることになる。
以下では、上記第1の具体例で示したスタンパ104及び光ディスクを製造する際のマスタリング工程(原盤製造工程)について説明する。
Incidentally, as described with reference to FIG. 6, the stamper 104 is manufactured using the disc master 103. That is, when manufacturing the stamper 104 having the concavo-convex pattern for forming the dummy concavo-convex shape as described above, the concavo-convex pattern is also exposed when the disc master 103 is manufactured.
Hereinafter, a mastering process (master disk manufacturing process) in manufacturing the stamper 104 and the optical disk shown in the first specific example will be described.

なおCD(Compact Disc)方式やDVD(Digital Versatile Disc)方式などのROMディスクを製造する際には、まずフォトレジストを塗布したディスク原盤を用意し、マスタリング装置(原盤露光装置)によってディスク原盤上にガスレーザ等の光源からレーザーを照射し、ピットに応じた露光パターンを形成していった。この場合、連続発振レーザーであるレーザ光源からのレーザ光を、例えばAOM(Acousto-Optical Modulator)で光強度変調し、強度変調されたレーザ光を光学系によってディスク原盤に導き、露光する。即ち、AOMにはピット変調信号である例えばNRZ(Non Return to Zero)変調信号を与え、このAOMによってレーザ光がピットパターンに対応した強度変調を受けることで、原盤上ではピット部分のみが露光されていく。
例えば図8(b)には1つのピット形状を示しているが、AOMで変調されたレーザ発光強度は図8(c)のようになる。原盤上のフォトレジストの露光はいわゆる光記録であるため、図8のようなレーザにより露光された部分が、そのままピットとなる。
When manufacturing ROM discs such as CD (Compact Disc) and DVD (Digital Versatile Disc), first prepare a master disc coated with photoresist, and use a mastering device (master exposure device) on the master disc. A laser was irradiated from a light source such as a gas laser to form an exposure pattern corresponding to the pit. In this case, laser light from a laser light source that is a continuous wave laser is modulated by, for example, an AOM (Acousto-Optical Modulator), and the laser light subjected to the intensity modulation is guided to a disk master by an optical system and exposed. That is, a pit modulation signal such as an NRZ (Non Return to Zero) modulation signal is given to the AOM, and the laser light is subjected to intensity modulation corresponding to the pit pattern by this AOM, so that only the pit portion is exposed on the master. To go.
For example, FIG. 8B shows one pit shape, and the laser emission intensity modulated by AOM is as shown in FIG. Since the exposure of the photoresist on the master disk is so-called optical recording, the portion exposed by the laser as shown in FIG. 8 becomes a pit as it is.

一方、近年、PTM(Phase Transition Mastering)として知られているように、無機レジストを塗布した原盤に対して、半導体レーザからのレーザ光を照射し、熱記録を行う露光方式が開発されている。
この場合、レーザ照射による熱の蓄積を抑圧してピット幅の均一化を計るために、通常図8(a)に示すようなパルス光で露光する。即ちこの場合には、一般にクロックに同期したNRZ変調信号が、そのHレベルの長さに応じてクロック周期より短い時間幅のパルス信号へ変換され、変換されたパルス変調信号に同期して直接変調可能な半導体レーザーへ電力供給される。これによって図8(a)のような与熱用のパルス発光Ppと、ピット長に応じた加熱用のパルス発光P1〜Pnとしてのレーザ出力が行われる。
On the other hand, in recent years, as known as PTM (Phase Transition Mastering), an exposure method has been developed in which a master disk coated with an inorganic resist is irradiated with laser light from a semiconductor laser to perform thermal recording.
In this case, in order to suppress the accumulation of heat due to laser irradiation and to make the pit width uniform, exposure is usually performed with pulsed light as shown in FIG. That is, in this case, in general, the NRZ modulation signal synchronized with the clock is converted into a pulse signal having a time width shorter than the clock cycle according to the length of the H level, and directly modulated in synchronization with the converted pulse modulation signal. Power is supplied to possible semiconductor lasers. As a result, the laser output as the pulse light emission Pp for heating as shown in FIG. 8A and the pulse light emission P1 to Pn for heating corresponding to the pit length is performed.

本発明に関しては、いずれの露光方式であってもよいが、ここでは一例として、PTM方式でマスタリングを行う場合を述べる。
図7は原盤製造装置の構成例を示している。この原盤製造装置は、上述のように無機レジストを塗布した原盤103に対してレーザ照射による熱記録動作により、ピットパターンの露光を行う。
In the present invention, any exposure method may be used. Here, as an example, a case where mastering is performed by the PTM method will be described.
FIG. 7 shows a configuration example of the master disc manufacturing apparatus. This master production apparatus exposes a pit pattern by a thermal recording operation by laser irradiation on the master 103 coated with an inorganic resist as described above.

半導体レーザとしてのレーザ光源11は、例えば波長405nmのレーザーを出力するものとされる。このレーザ光源11には、例えばRLL(1−7)pp等のNRZ変調信号が図8(a)のようにパルス変調信号に変換されたレーザ駆動信号DL1が供給され、このレーザ駆動信号DL1に則って発光する。
レーザ光源11から出射したレーザー光は、コリメータレンズ12で平行光とされた後、ビームスプリッタ19に達する。ビームスプリッタ19において、透過光成分と反射光成分が分離され、透過光成分は、レンズ20を介してフォトディテクタ21に照射される。
フォトディテクタ21では、受光した光量レベル(光強度)に応じた光強度モニタ信号SM1を出力する。
The laser light source 11 as a semiconductor laser outputs a laser with a wavelength of 405 nm, for example. The laser light source 11 is supplied with a laser drive signal DL1 obtained by converting an NRZ modulation signal such as RLL (1-7) pp into a pulse modulation signal as shown in FIG. In accordance with the light emission.
The laser light emitted from the laser light source 11 is collimated by the collimator lens 12 and then reaches the beam splitter 19. In the beam splitter 19, the transmitted light component and the reflected light component are separated, and the transmitted light component is irradiated to the photodetector 21 through the lens 20.
The photodetector 21 outputs a light intensity monitor signal SM1 corresponding to the received light amount level (light intensity).

ビームスプリッタ19で反射された反射光成分はダイクロイックミラー25に達する。この場合、ダイクロイックミラー25は405nmを含む波長域の光を反射し、680nmを含む波長域の光を透過するものとされている。従ってビームスプリッタ19を反射したレーザ光は、ダイクロイックミラー25で反射され、無限系の対物レンズ26を介して原盤103の無機レジスト面に照射される。つまり、レーザ光源11からのレーザ光による熱記録で、ピット列としての露光パターンが原盤103上に形成されていく。   The reflected light component reflected by the beam splitter 19 reaches the dichroic mirror 25. In this case, the dichroic mirror 25 reflects light in a wavelength region including 405 nm and transmits light in a wavelength region including 680 nm. Accordingly, the laser beam reflected by the beam splitter 19 is reflected by the dichroic mirror 25 and is irradiated onto the inorganic resist surface of the master 103 via the infinite system objective lens 26. That is, an exposure pattern as a pit row is formed on the master 103 by thermal recording with laser light from the laser light source 11.

一方、レーザ光源22は、離軸法によるフォーカス制御用のためのレーザ光を出力するレーザ光源とされ、例えば波長680nmのレーザ光を出力する半導体レーザとされる。このレーザ光源22はレーザ駆動信号DL2に基づいてレーザ光を連続発光する。
出力された波長680nmのレーザ光は、レンズ32,偏光ビームスプリッタ(PBS)23を通過し、さらにλ/4波長板24を介してダイクロイックミラー25に達する。そしてダイクロイックミラー25を通過し、対物レンズ26から原盤103に照射される。
原盤103からの戻り光は、対物レンズ26,ダイクロイックミラー25、λ/4波長板24を通過して偏光ビームスプリッタ23に達する。この場合、λ/4波長板24を往路と復路で2回通過していることで偏光面が90°回転されており、偏光ビームスプリッタ23で反射されることになる。偏光ビームスプリッタ23で反射された戻り光はポジションセンサダイオード27に受光される。
ポジションセンサダイオード27は、フォーカスオン、つまり対物レンズ26が正しいフォーカス位置に制御されている場合に、戻り光がその中心に照射されるように設定されているとともに、その受光位置の情報となる信号SM2を出力する。つまりこのポジションセンサダイオード27上の受光位置の中心からのズレ量を示す信号SM2は、それがフォーカスエラー信号となる。ポジションセンサダイオード27は、そのフォーカスエラー信号をフォーカス制御回路28に供給する。
フォーカス制御回路28は、フォーカスエラー信号としての信号SM2に基づいて、対物レンズ26をフォーカス方向に移動可能に保持しているアクチュエータ29のサーボ駆動信号FSを生成する。そしてアクチュエータ29がサーボ駆動信号FSに基づいて、対物レンズ26を原盤103に対して接離する方向に駆動することで、フォーカスサーボが実行される。
このとき、上記のように対物レンズ29を介して原盤103に照射される波長405nmのレーザ光源11からの露光用レーザービームは、露光原盤103上で焦点を結ぶことになる。原盤103はシリコンウェハー上に金属酸化物からなる無機レジストを成膜したもので、405nmのレーザービームを吸収することで、照射部の特に中心付近の高温に加熱された部分が多結晶化する。そして図6(d)で述べたように、露光された原盤をNMD3等のアルカリ現像液で現像することにより、露光した部分のみが溶出し、所望のピット形状が形成される。
一方フォーカス制御用のレーザ光は、露光感度を持たない例えば波長680nmとされているため、露光に関する影響はない。
On the other hand, the laser light source 22 is a laser light source that outputs laser light for focus control by an off-axis method, and is, for example, a semiconductor laser that outputs laser light having a wavelength of 680 nm. The laser light source 22 continuously emits laser light based on the laser drive signal DL2.
The output laser light having a wavelength of 680 nm passes through the lens 32 and the polarization beam splitter (PBS) 23, and further reaches the dichroic mirror 25 via the λ / 4 wavelength plate 24. Then, the light passes through the dichroic mirror 25 and is irradiated from the objective lens 26 to the master 103.
The return light from the master 103 passes through the objective lens 26, the dichroic mirror 25, and the λ / 4 wavelength plate 24 and reaches the polarization beam splitter 23. In this case, the polarization plane is rotated by 90 ° by passing through the λ / 4 wavelength plate 24 twice in the forward path and the return path, and is reflected by the polarization beam splitter 23. The return light reflected by the polarization beam splitter 23 is received by the position sensor diode 27.
The position sensor diode 27 is set to irradiate the center of the return light when the focus is on, that is, when the objective lens 26 is controlled to the correct focus position, and a signal that is information on the light receiving position. Outputs SM2. That is, the signal SM2 indicating the amount of deviation from the center of the light receiving position on the position sensor diode 27 becomes a focus error signal. The position sensor diode 27 supplies the focus error signal to the focus control circuit 28.
The focus control circuit 28 generates a servo drive signal FS of the actuator 29 that holds the objective lens 26 movably in the focus direction based on the signal SM2 as a focus error signal. Then, the actuator 29 drives the objective lens 26 in the direction in which the objective lens 26 comes in contact with and separates from the master 103 based on the servo drive signal FS, whereby focus servo is executed.
At this time, the exposure laser beam from the laser light source 11 having a wavelength of 405 nm irradiated onto the master 103 through the objective lens 29 as described above is focused on the exposure master 103. The master 103 is formed by depositing an inorganic resist made of a metal oxide on a silicon wafer. By absorbing a 405 nm laser beam, a portion heated to a high temperature near the center of the irradiated portion is polycrystallized. Then, as described in FIG. 6D, by developing the exposed master with an alkaline developer such as NMD3, only the exposed portion is eluted and a desired pit shape is formed.
On the other hand, the laser beam for focus control has no exposure sensitivity, for example, has a wavelength of 680 nm, and thus has no influence on exposure.

レーザ光源11に対するレーザ駆動信号DL1は、記録データ生成部43,レーザ駆動パルス発生部42、レーザドライバ41により生成される。
記録データ生成部43は、原盤103にピット露光パターンとして記録するデータDT1を出力する。例えば主データとして映像信号や音声信号、さらには物理情報、管理情報等のデータを出力する。またダミーピット2としてのピット露光パターンを形成するためのデータも出力する。
データDT1は、レーザ駆動パスル発生部42に供給される。レーザ駆動パスル発生部42は、データDT1に基づいて、実際にレーザ光源11をパルス発光駆動するためのレーザ駆動パルスを生成する。即ち図8(a)に示したように、形成するピット長に応じて、予熱用パルスPpとパルスP1〜Pnとしてのタイミング及び光強度でレーザ発光が行われるようにするためのパルス波形を生成する。
このレーザ駆動パルスはレーザドライバ41に供給される。レーザドライバ41は、レーザ駆動パスルに基づいてレーザ光源11としての半導体レーザに対して駆動電流を印加する。これによって、レーザ駆動パルスに応じた発光強度でのレーザのパルス発光が行われることになる。
またフォトディテクタ21から得られた光強度モニタ信号SM1は、レーザドライバ41に供給される。レーザドライバ41は、光強度モニタ信号SM1を基準値と比較することでレーザ発光強度を所定レベルに保つ制御を行う。
The laser drive signal DL1 for the laser light source 11 is generated by a recording data generation unit 43, a laser drive pulse generation unit 42, and a laser driver 41.
The recording data generation unit 43 outputs data DT1 to be recorded on the master 103 as a pit exposure pattern. For example, video signals, audio signals, physical information, management information, and other data are output as main data. Data for forming a pit exposure pattern as the dummy pit 2 is also output.
The data DT1 is supplied to the laser drive pulse generator 42. The laser drive pulse generator 42 generates a laser drive pulse for actually driving the laser light source 11 to emit pulses based on the data DT1. That is, as shown in FIG. 8A, a pulse waveform for generating laser light emission at the timing and light intensity as the preheating pulse Pp and the pulses P1 to Pn is generated according to the pit length to be formed. To do.
This laser driving pulse is supplied to the laser driver 41. The laser driver 41 applies a driving current to the semiconductor laser as the laser light source 11 based on the laser driving pulse. As a result, laser light emission is performed at a light emission intensity corresponding to the laser drive pulse.
The light intensity monitor signal SM1 obtained from the photodetector 21 is supplied to the laser driver 41. The laser driver 41 performs control to maintain the laser emission intensity at a predetermined level by comparing the light intensity monitor signal SM1 with a reference value.

ディスク原盤103は、スピンドルモータ44によって回転駆動される。スピンドルモータ44は、スピンドルサーボ/ドライバ47によって回転速度が制御されながら回転駆動される。これによってディスク原盤103は一定線速度で回転される。
スライダ45は、スライドドライバ48によって駆動され、ディスク原盤103が積載された、スピンドル機構を含む基台全体を移動させる。即ち、スピンドルモータ44で回転されている状態のディスク原盤103は、スライダ45で半径方向に移動されながら上記光学系によって露光されていくことで、露光されるピット列によるトラックがスパイラル状に形成されていくことになる。
スライダ45による移動位置、即ちディスク原盤103の露光位置(ディスク半径位置)はセンサ46によって検出される。センサ46による位置検出情報SSはコントローラ40に供給される。
The disc master 103 is rotationally driven by a spindle motor 44. The spindle motor 44 is rotationally driven while the rotational speed is controlled by the spindle servo / driver 47. As a result, the disc master 103 is rotated at a constant linear velocity.
The slider 45 is driven by a slide driver 48 and moves the entire base including the spindle mechanism on which the disc master 103 is loaded. That is, the disk master 103 rotated by the spindle motor 44 is exposed by the optical system while being moved in the radial direction by the slider 45, so that a track by the exposed pit row is formed in a spiral shape. It will follow.
The movement position by the slider 45, that is, the exposure position (disk radial position) of the disk master 103 is detected by the sensor 46. The position detection information SS from the sensor 46 is supplied to the controller 40.

コントローラ40は、このマスタリング装置の全体を制御する。即ち、記録データ生成部43からのデータ発生動作の指示、レーザ駆動パルス発生部42での処理の制御、レーザドライバ41に対してのレーザパワー設定、スピンドルサーボ/ドライバ47によるスピンドル回転動作制御、スライドドライバ48によるスライダ45の移動動作の制御等を行う。   The controller 40 controls the entire mastering apparatus. That is, an instruction for data generation operation from the recording data generation unit 43, control of processing in the laser drive pulse generation unit 42, laser power setting for the laser driver 41, spindle rotation operation control by the spindle servo / driver 47, slide The movement operation of the slider 45 by the driver 48 is controlled.

上述した第1の具体例のスタンパ104及び光ディスクの製造の際には、コントローラ40は図9の制御処理を行ってマスタリングを実行することになる。
マスタリングを開始する際には、コントローラ40はステップF101で、スピンドルサーボ/ドライバ47によりスピンドルモータ44を起動させ、所定線速度の回転に制定させる。またスライドドライバ48に、上述したダミーピット列用のトラックピッチ(0.64μm)に相当する速度でスライダ45がスライド移動を開始するように指示する。
コントローラ40はステップF102では、センサ46からの位置検出情報SSを監視しており、露光位置のスライド移動が内周ダミーエリアIdmとしての位置、つまり直径38.0mmの位置に到達したか否かを判別する。
When manufacturing the stamper 104 and the optical disc of the first specific example described above, the controller 40 performs mastering by performing the control process of FIG.
When starting mastering, the controller 40 activates the spindle motor 44 by the spindle servo / driver 47 in step F101 to establish rotation at a predetermined linear velocity. Further, the slide driver 48 is instructed so that the slider 45 starts sliding at a speed corresponding to the above-described dummy pit row track pitch (0.64 μm).
In step F102, the controller 40 monitors the position detection information SS from the sensor 46, and determines whether or not the slide movement of the exposure position has reached the position as the inner peripheral dummy area Idm, that is, the position having a diameter of 38.0 mm. Determine.

そして内周ダミーエリアIdmに相当する位置に達したら、ステップF103に進んで、ダミーピット形成処理を行う。即ちこの場合コントローラ40は、記録データ生成部43からダミーピット用のデータを発生させる。発生させるデータは、例えばブルーレイディスク規格に対応した2T〜8Tピットを形成するためのランダムデータなどでよい。また、レーザードライバ41には、通常よりもハイパワーのレーザ駆動を実行させる。
これにより、ディスク原盤103上には、図2(b)のダミーピット列に相当する露光パターンが形成されていく。
このダミーピット形成処理の間、コントローラ40はステップF104で位置検出情報を監視する。そしてスライダ45による移動が内周ダミーエリアIdmの終了位置、つまり直径41.0mmに位置に達したことが検出されたら、ダミーピット形成処理を終え、ステップF105に進む。
When the position corresponding to the inner peripheral dummy area Idm is reached, the process proceeds to step F103 to perform dummy pit formation processing. That is, in this case, the controller 40 generates dummy pit data from the recording data generation unit 43. The generated data may be, for example, random data for forming 2T to 8T pits corresponding to the Blu-ray Disc standard. Further, the laser driver 41 is caused to execute laser driving with higher power than usual.
As a result, an exposure pattern corresponding to the dummy pit row in FIG. 2B is formed on the master disc 103.
During this dummy pit formation process, the controller 40 monitors the position detection information in step F104. When it is detected that the movement by the slider 45 has reached the end position of the inner periphery dummy area Idm, that is, the position reaching the diameter of 41.0 mm, the dummy pit forming process is finished, and the process proceeds to Step F105.

ステップF105では、コントローラ40はスライドドライバ48に、インフォメーションエリアのピット列用のトラックピッチ(0.32μm)に相当する速度でスライダ45がスライド移動を行うように指示する。即ちスライド移動速度を低下させる。
そしてコントローラ40はステップF106で、センサ46からの位置検出情報SSを監視し、露光位置のスライド移動がインフォメーションエリアとしての位置、つまり直径42mmの位置に到達したか否かを判別する。
インフォメーションエリアに相当する位置に達したら、ステップF107に進んで、通常のピット形成処理を行う。即ちこの場合コントローラ40は、記録データ生成部43からリードイン領域の物理情報、管理情報としての記録データや、主データたる映像/音声情報としての記録データ、リードアウトエリアのピットパターンデータなど、記録すべきデータを順次発生させる。また、レーザードライバ41には、通常パワーのレーザ駆動を実行させる。
これにより、ディスク原盤103上には、図2(a)の通常ピット列に相当する露光パターンが形成されていく。
In Step F105, the controller 40 instructs the slide driver 48 to slide the slider 45 at a speed corresponding to the track pitch (0.32 μm) for the pit row in the information area. That is, the slide moving speed is reduced.
In step F106, the controller 40 monitors the position detection information SS from the sensor 46, and determines whether or not the slide movement of the exposure position has reached the position as the information area, that is, the position having a diameter of 42 mm.
When the position corresponding to the information area is reached, the process proceeds to step F107 to perform normal pit formation processing. That is, in this case, the controller 40 records the physical data of the lead-in area, the recording data as management information, the recording data as video / audio information as main data, the pit pattern data of the lead-out area, etc. Data to be generated is generated sequentially. Further, the laser driver 41 is caused to execute normal power laser driving.
As a result, an exposure pattern corresponding to the normal pit row in FIG. 2A is formed on the disc master 103.

この通常のピット形成処理の間、コントローラ40はステップF108で位置検出情報を監視する。そしてスライダ45による移動がインフォメーションエリアの終了位置、つまり直径117mmに位置に達したことが検出されたら、通常のピット形成処理を終え、ステップF109に進む。
ステップF109では、コントローラ40はスライドドライバ48に、ダミーピット列用のトラックピッチ(0.64μm)に相当する速度でスライダ45がスライド移動を行うように指示する。即ちスライド移動速度を上昇させる。
そしてコントローラ40はステップF110で、センサ46からの位置検出情報SSを監視し、露光位置のスライド移動が外周ダミーエリアOdmとしての位置、つまり直径117.5mmの位置に到達したか否かを判別する。
During this normal pit formation process, the controller 40 monitors the position detection information in step F108. When it is detected that the movement by the slider 45 has reached the end position of the information area, that is, the position having a diameter of 117 mm, the normal pit formation processing is finished and the routine proceeds to step F109.
In step F109, the controller 40 instructs the slide driver 48 to slide the slider 45 at a speed corresponding to the track pitch (0.64 μm) for the dummy pit row. That is, the slide moving speed is increased.
In step F110, the controller 40 monitors the position detection information SS from the sensor 46, and determines whether or not the slide movement of the exposure position has reached the position as the outer peripheral dummy area Odm, that is, the position having a diameter of 117.5 mm. .

外周ダミーエリアOdmに相当する位置に達したら、ステップF111に進んで、ダミーピット形成処理を行う。この場合コントローラ40は、記録データ生成部43からダミーピット用のデータ、例えばランダムデータを発生させる。また、レーザードライバ41には、通常よりもハイパワーのレーザ駆動を実行させる。
これにより、ディスク原盤103上には、図2(b)のダミーピット列に相当する露光パターンが形成されていく。
このダミーピット形成処理の間、コントローラ40はステップF112で位置検出情報を監視する。そしてスライダ45による移動が外周ダミーエリアOdmの終了位置、つまり直径120mmに位置に達したことが検出されたら、ダミーピット形成処理を終え、ステップF113に進む。ステップF113では、スピンドルモータ44,スライダ45、レーザ出力を停止させ、マスタリング処理を終了させる。
When the position corresponding to the outer periphery dummy area Odm is reached, the process proceeds to step F111 to perform dummy pit formation processing. In this case, the controller 40 generates dummy pit data, for example, random data, from the recording data generation unit 43. Further, the laser driver 41 is caused to execute laser driving with higher power than usual.
As a result, an exposure pattern corresponding to the dummy pit row in FIG. 2B is formed on the master disc 103.
During this dummy pit formation process, the controller 40 monitors the position detection information in step F112. When it is detected that the movement by the slider 45 has reached the end position of the outer periphery dummy area Odm, that is, the position reaching the diameter of 120 mm, the dummy pit formation process is finished, and the process proceeds to Step F113. In step F113, the spindle motor 44, slider 45, and laser output are stopped, and the mastering process is terminated.

以上のようなマスタリングが行われて生成されたディスク原盤103から、図6(d)(e)(f)で説明したようにスタンパ104が成形される。そしてそのスタンパ104から製造される光ディスクは、上記第1の具体例として説明したものとなる。
この場合の図6(g)〜(j)の工程で製造される光ディスクについて、図10、図11に示す。
図10(a)は、図6(g)の工程としてスタンパ104を用いてディスク基板105を成型する際の金型を模式的に示している。
ディスク基板105の成形は、ポリカーボネート樹脂の射出成形で行う。図10(a)に示す金型は、下キャビティ120と上キャビティ121から成り、下キャビティ120の内面にはスタンパ104が配置される。
上記のマスタリング処理によって製造されたディスク原盤103から製造されたスタンパ104は、インフォメーションエリアに相当する領域に通常ピット1を形成するための凹凸パターン5が形成されているとともに、外周ダミーエリアOdm及び内周ダミーエリアIdmに相当する位置にダミーピット2を形成するための凹凸パターン6が形成されたものとなっている。
The stamper 104 is formed from the master disc 103 generated by performing the mastering as described above, as described in FIGS. 6 (d), 6 (e), and 6 (f). The optical disk manufactured from the stamper 104 is the one described as the first specific example.
FIGS. 10 and 11 show the optical disk manufactured in the steps of FIGS. 6G to 6J in this case.
FIG. 10A schematically shows a mold for molding the disk substrate 105 using the stamper 104 as the step of FIG.
The disk substrate 105 is molded by injection molding of a polycarbonate resin. The mold shown in FIG. 10A includes a lower cavity 120 and an upper cavity 121, and a stamper 104 is disposed on the inner surface of the lower cavity 120.
The stamper 104 manufactured from the master disc 103 manufactured by the above mastering process has a concave / convex pattern 5 for forming the normal pit 1 in an area corresponding to the information area, and the outer peripheral dummy area Odm and the inner dummy area Odm. The concave / convex pattern 6 for forming the dummy pit 2 is formed at a position corresponding to the circumferential dummy area Idm.

このような金型を用いて射出成形でディスク基板105を成形するが、成形されるディスク基板105は図10(b)のようになる。
即ちポリカーボネート樹脂によるディスク基板105は、その中心はセンターホールとされるとともに、一方の面(情報読出面側)には、スタンパ104に形成された凹凸パターン5,6が転写された通常ピット1及びダミーピット2が形成される。
このように形成されたディスク基板105は、図6(i)(j)の工程として層構造形成が行われる。図11(a)及び図11(b)の拡大図で示す。
まず図11(b)に示すように、通常ピット1及びダミーピット2が形成された信号読出面側に例えばAg合金の反射膜106を形成する。
次に図11(a)(b)に示すように、ポリカーボネートフィルムの貼付又は紫外線硬化レジンによるスピンコートなどの手法で光透過層107を形成する。そして信号読出面側の表面処理としてハードコート層108を形成する。
その後、ディスク基板105の他方の面(レーベル面側)に、図11(c)のように印刷層109が形成される。例えばオフセット印刷として、レーベル面側の全面に、ホワイトコートを施した上に例えばカラー印刷を行って印刷層109を形成する。
以上で光ディスクが完成することになる。この光ディスクは、図2のような通常ピット1とダミーピット2を有するものとなる。
The disk substrate 105 is formed by injection molding using such a mold, and the formed disk substrate 105 is as shown in FIG.
In other words, the center of the disk substrate 105 made of polycarbonate resin is a center hole, and the normal pit 1 and the pits and bumps 5 and 6 formed on the stamper 104 are transferred to one surface (information reading surface side). A dummy pit 2 is formed.
The disk substrate 105 thus formed is formed with a layer structure as the steps of FIGS. 6 (i) and 6 (j). This is shown in the enlarged views of FIGS. 11 (a) and 11 (b).
First, as shown in FIG. 11B, a reflective film 106 made of, for example, an Ag alloy is formed on the signal reading surface side where the normal pits 1 and the dummy pits 2 are formed.
Next, as shown in FIGS. 11A and 11B, a light transmission layer 107 is formed by a technique such as application of a polycarbonate film or spin coating with an ultraviolet curable resin. Then, a hard coat layer 108 is formed as a surface treatment on the signal readout surface side.
Thereafter, a printed layer 109 is formed on the other surface (label surface side) of the disk substrate 105 as shown in FIG. For example, as offset printing, a white coat is applied to the entire surface on the label surface side, and color printing is performed, for example, to form the print layer 109.
Thus, the optical disc is completed. This optical disc has normal pits 1 and dummy pits 2 as shown in FIG.

なお、図4に示した上記第2の具体例のスタンパ104及び光ディスクの製造の際には、上記図9のマスタリング処理を次のように変形すればよい。
第2の具体例の場合、ダミーエリアIdm、Odmでのトラックピッチ、ピット深さ、ピット幅はインフォメーションエリアの通常ピットと同様である。従って、ステップF101から開始させるスライド移動は、マスタリング終了までトラックピッチ0.32μmに相当する速度とし、ステップF105,F109の速度変更は不要である。
またステップF103,F111のダミーピット形成処理の際には、8Tピット列が形成されるようなデータを発生させればよいとともに、レーザパワーを上昇させる制御も不要となる。
When manufacturing the stamper 104 and the optical disc of the second specific example shown in FIG. 4, the mastering process of FIG. 9 may be modified as follows.
In the case of the second specific example, the track pitch, pit depth, and pit width in the dummy areas Idm and Odm are the same as those in the normal pits in the information area. Accordingly, the slide movement started from step F101 is performed at a speed corresponding to a track pitch of 0.32 μm until the end of mastering, and the speed change in steps F105 and F109 is unnecessary.
Further, in the dummy pit formation process in steps F103 and F111, it is only necessary to generate data for forming an 8T pit row, and control for increasing the laser power is not necessary.

さらに図5に示したダミーグルーブを形成する場合は、上記第2の具体例の場合と同様に、スライダ移動速度の変更制御やレーザーパワーの切換は不要であり、ダミーエリアIdm、Odmにおいて連続的に露光を行っていくようにすればよい。   Further, when the dummy groove shown in FIG. 5 is formed, the slider moving speed change control and the laser power switching are not required as in the case of the second specific example, and the dummy grooves Idm and Odm are continuously changed. It is only necessary to perform exposure.

続いて、他の実施の形態を説明する。以下に述べる実施の形態では、上記のようにダミーピット2(或いはダミーグルーブ)を形成することは同様であるが、ディスク基板105の他方の面(レーベル面側)の全面を梨地状に成形するものとする。
ディスク原盤103の製造のためのマスタリング処理、及び製造されるスタンパ104については、上記実施の形態と同様である。
この場合の図6(g)〜(j)の工程で製造される光ディスクについて、図12、図13に示す。
図12(a)は、図6(g)の工程としてスタンパ104を用いてディスク基板105を成型する際の金型を模式的に示している。
上記の実施の形態と同様、ディスク基板105の成形は、ポリカーボネート樹脂の射出成形で行い、図12(a)に示すように、金型の下キャビティ120の内面にはスタンパ104が配置される。
一方、上キャビティ121は、レーベル面の形成部分が梨地面123とされている。
この梨地面123は、エッチングや、或いはプラスチックビーズ、ガラスビーズ等を衝突させるブラスター法などより形成することができる。
梨地面123の梨地は、図12(b)に示すように、その凹凸の最も高低差のある部分のサイズとしての最大粗さは、例えば0.5μm〜5μmの範囲とする。実際には2〜3μmとすることが実施上、好適である。
Subsequently, another embodiment will be described. In the embodiment described below, the formation of the dummy pits 2 (or dummy grooves) is the same as described above, but the entire other surface (label surface side) of the disk substrate 105 is formed into a satin finish. Shall.
The mastering process for manufacturing the disc master 103 and the stamper 104 to be manufactured are the same as in the above embodiment.
FIG. 12 and FIG. 13 show the optical disk manufactured in the steps of FIGS. 6G to 6J in this case.
FIG. 12A schematically shows a mold for molding the disk substrate 105 using the stamper 104 as the step of FIG. 6G.
Similar to the above embodiment, the disk substrate 105 is molded by injection molding of a polycarbonate resin. As shown in FIG. 12A, a stamper 104 is disposed on the inner surface of the lower cavity 120 of the mold.
On the other hand, in the upper cavity 121, the label surface forming part is a matte surface 123.
The pear ground 123 can be formed by etching or a blaster method in which plastic beads, glass beads or the like collide.
As shown in FIG. 12B, the pear surface of the pear ground 123 has a maximum roughness as the size of the most uneven portion of the unevenness, for example, in the range of 0.5 μm to 5 μm. In practice, the thickness is preferably 2 to 3 μm.

このような金型を用いた射出成形で成形されるディスク基板105は図12(c)のようになる。
即ちポリカーボネート樹脂によるディスク基板105は、その中心はセンターホールとされるとともに、情報読出面側は、スタンパ104に形成された凹凸パターン5,6が転写された通常ピット1及びダミーピット2が形成される。
またディスク基板105のレーベル面側は、その全面が金型の梨地面123が転写された梨地面110となる。即ちレーベル面側は、例えば最大粗さが0.5μm〜5μm(例えば2〜3μm)の梨地面110となる。
A disk substrate 105 formed by injection molding using such a mold is as shown in FIG.
That is, the center of the disc substrate 105 made of polycarbonate resin is a center hole, and the normal pit 1 and the dummy pit 2 to which the uneven patterns 5 and 6 formed on the stamper 104 are transferred are formed on the information reading surface side. The
Further, the entire surface of the disc substrate 105 on the label surface side becomes a pear ground 110 to which a mold pear ground 123 is transferred. That is, the label surface side is a pear ground 110 having a maximum roughness of 0.5 μm to 5 μm (eg, 2 to 3 μm), for example.

このように形成されたディスク基板105は、図6(i)(j)の工程として層構造形成が行われる。図13(a)及び図13(b)の拡大図で示す。
まず図13(b)に示すように、通常ピット1及びダミーピット2が形成された信号読出面側に例えばAg合金の反射膜106を形成する。
次に図13(a)(b)に示すように、ポリカーボネートフィルムの貼付又は紫外線硬化レジンによるスピンコートなどの手法で光透過層107を形成する。そして信号読出面側の表面処理としてハードコート層108を形成する。
その後、ディスク基板105の他方の面(レーベル面側)に、図13(c)のように印刷層109が形成される。例えばオフセット印刷として、梨地状とされたレーベル面側の全面に、ホワイトコートを施して平坦化した上に例えばカラー印刷を行い、印刷層109を形成する。これにより、印刷後のレーベル面側は梨地が表出しない、平坦な印刷面となる。
以上で光ディスクが完成することになる。この光ディスクは、図2のような通常ピット1とダミーピット2を有するものとなる。
The disk substrate 105 thus formed is formed with a layer structure as the steps of FIGS. 6 (i) and 6 (j). This is shown in the enlarged views of FIGS. 13 (a) and 13 (b).
First, as shown in FIG. 13B, a reflective film 106 made of, for example, an Ag alloy is formed on the signal reading surface side where the normal pits 1 and the dummy pits 2 are formed.
Next, as shown in FIGS. 13A and 13B, a light transmission layer 107 is formed by a technique such as affixing a polycarbonate film or spin coating with an ultraviolet curable resin. Then, a hard coat layer 108 is formed as a surface treatment on the signal readout surface side.
Thereafter, a printed layer 109 is formed on the other surface (label surface side) of the disk substrate 105 as shown in FIG. For example, as offset printing, a white coat is applied to the entire surface of the satin-like label surface, and then, for example, color printing is performed to form a printing layer 109. Thereby, the label surface side after printing becomes a flat printing surface in which no satin is exposed.
Thus, the optical disc is completed. This optical disc has normal pits 1 and dummy pits 2 as shown in FIG.

上述したように、スタンパ104にダミーピット2を形成するための凹凸パターン6を設けることで、ディスク基板105をスタンパ104から剥離し、金型から取り出すときにピットずれが生ずることを防止できた。
この図12,図13に示した例では、さらに金型の上キャビティ121の梨地面123により、ディスク基板105のレーベル面側が梨地状となるようにしているが、これも、ピットずれの防止に有効である。即ち、金型の上キャビティ121の内面を梨地面123とすることによっても、金型及びスタンパ104によってディスク基板を成型する際に適度な密着性が得られ、金型内で樹脂が冷却される際の収縮や、型締め力の脱圧時にピットずれが生じないようにする作用が得られる。
実際の製造で確認した結果、梨地の最大粗さは0.5μm以上とすることが、ピットずれの防止効果を発揮できることがわかった。
As described above, by providing the stamper 104 with the concave / convex pattern 6 for forming the dummy pits 2, it is possible to prevent the pit deviation from occurring when the disk substrate 105 is peeled from the stamper 104 and taken out from the mold.
In the example shown in FIGS. 12 and 13, the label surface side of the disk substrate 105 is further shaped like a textured surface by the textured surface 123 of the upper cavity 121 of the mold. This also prevents pit deviation. It is valid. That is, even when the inner surface of the upper cavity 121 of the mold is the matte surface 123, appropriate adhesion can be obtained when the disk substrate is molded by the mold and the stamper 104, and the resin is cooled in the mold. It is possible to prevent the pits from being displaced during the contraction or the depressurization of the clamping force.
As a result of confirmation by actual production, it was found that the maximum roughness of the satin texture is 0.5 μm or more, and the effect of preventing pit shift can be exhibited.

この図12,図13で説明した例では、信号読取面側のダミーピット2(スタンパ104の凹凸パターン6)によるピットずれ防止効果と、レーベル面側の梨地面110(上キャビティ121の梨地面123)によるピットずれ防止効果が相乗的に発揮されることになり、より安定したディスク製造が可能となる。
このようにして成形された再生専用光ディスクでは、それを再生させてジッターを計測したところ、ディスク全周で5.5%以下と良好な結果が得られた。つまりインフォメーションエリアにおける通常ピット1において、ピットずれによる再生信号特性の悪化は認められなかった。さらに成形安定性を確認する上で、10000枚連続成形した中で、抜き取り評価を行った場合も、ジッターの悪化は見られなかった。
In the example described with reference to FIGS. 12 and 13, the effect of preventing the pit shift by the dummy pit 2 on the signal reading surface side (uneven pattern 6 of the stamper 104) and the pear ground 110 on the label surface side (the pear ground 123 of the upper cavity 121). ), The effect of preventing pit deviation is synergistically exhibited, and more stable disc production becomes possible.
With the read-only optical disc formed in this way, when it was reproduced and jitter was measured, a good result of 5.5% or less over the entire circumference of the disc was obtained. That is, in the normal pit 1 in the information area, the reproduction signal characteristics were not deteriorated due to the pit deviation. Further, in order to confirm the molding stability, even when 10000 sheets were continuously molded, the jitter was not deteriorated even when the sampling evaluation was performed.

なお、例えばダミーピット2を形成せずに、レーベル面側の梨地面110(上キャビティ121の梨地面123)を形成するようにしても、ダミーピット2を形成する場合と同等のピットずれ防止効果が得られることが確認された。   For example, even if the pear ground 110 on the label surface side (the pear ground 123 of the upper cavity 121) is formed without forming the dummy pit 2, the same pit deviation prevention effect as that when the dummy pit 2 is formed is used. It was confirmed that

また梨地面110とされているレーベル面には、印刷工程において、ホワイトコートで梨地面110を平坦化することで、印刷の際に、レーベル面側が梨地状とされた影響はなく、通常のディスク基板と同様、平坦な印刷面による美観を維持できるため、商品価値を損なうことはない。
特に梨地の最大粗さは2〜3μm程度(少なくとも5μm以下)とされていることで、ホワイトコートによるレーベル面側の平坦化は容易に可能である。
なお、ホワイトコートは、印刷時のインクの良好な発色性や定着性を得るためなどに、通常の印刷工程でも実施されているもので、特に本例の梨地面を埋めるために特別に実行するものではない。つまり本例において印刷工程における処理の手間が増加するものではない。
In addition, the label surface, which is the pear surface 110, is flattened with a white coat in the printing process, so that the label surface side is not affected by the pear surface at the time of printing. As with the substrate, the aesthetic appearance of the flat printed surface can be maintained, so that the commercial value is not impaired.
In particular, since the maximum roughness of the satin is about 2 to 3 μm (at least 5 μm or less), the label surface side can be easily flattened with a white coat.
The white coat is also carried out in the normal printing process in order to obtain good color developability and fixability of the ink at the time of printing, and is particularly executed to fill the pear ground in this example. It is not a thing. That is, in this example, the labor of the printing process is not increased.

以上、本発明の実施の形態を説明してきたが、本発明は、記録層が2層以上の多層ディスクにおいても適用できる。
またブルーレイディスク、DVD(Digital Versatile Disc)方式のディスク、CD(Compact Disc)方式のディスクなど、多様なディスクに本発明を適用できる。
Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention can also be applied to a multilayer disc having two or more recording layers.
Further, the present invention can be applied to various discs such as a Blu-ray disc, a DVD (Digital Versatile Disc) disc, and a CD (Compact Disc) disc.

本発明の実施の形態の再生専用光ディスクの領域構成の説明図である。It is explanatory drawing of the area | region structure of the read-only optical disk of embodiment of this invention. 実施の形態の第1の具体例の通常ピット及びダミーピットの説明図である。It is explanatory drawing of the normal pit and dummy pit of the 1st specific example of embodiment. 実施の形態のスタンパとディスク基板の説明図である。It is explanatory drawing of the stamper and disk substrate of embodiment. 実施の形態の第2の具体例の通常ピット及びダミーピットの説明図である。It is explanatory drawing of the normal pit and dummy pit of the 2nd specific example of embodiment. 実施の形態の通常ピットとダミーグルーブの説明図である。It is explanatory drawing of the normal pit and dummy groove of embodiment. 実施の形態のディスク製造工程の説明図である。It is explanatory drawing of the disc manufacturing process of embodiment. 実施の形態の原盤製造装置の構成の説明図である。It is explanatory drawing of a structure of the original disc manufacturing apparatus of embodiment. 原盤製造装置のレーザ発光波形の説明図である。It is explanatory drawing of the laser emission waveform of an original disc manufacturing apparatus. 実施の形態のマスタリング処理のフローチャートである。It is a flowchart of the mastering process of embodiment. 実施の形態のディスク基板成形の説明図である。It is explanatory drawing of disk board | substrate shaping | molding of embodiment. 実施の形態の光ディスクの層形成の説明図である。It is explanatory drawing of the layer formation of the optical disk of embodiment. 他の実施の形態のディスク基板成形の説明図である。It is explanatory drawing of disk board | substrate shaping | molding of other embodiment. 他の実施の形態の光ディスクの層形成の説明図である。It is explanatory drawing of the layer formation of the optical disk of other embodiment. ピットずれの説明図である。It is explanatory drawing of a pit shift | offset | difference.

符号の説明Explanation of symbols

1 通常ピット、2 ダミーピット、4 ダミーグルーブ、5,6 凹凸パターン、11,22 レーザ光源、40 コントローラ、41 レーザドライバ、42 レーザ駆動パルス発生部、43 記録データ生成部、44 スピンドルモータ、45 スライダ、46 センサ、103 ディスク原盤、104 スタンパ、105 ディスク基板、110 梨地面、121 上キャビティ、123 梨地面   1 Normal pit, 2 Dummy pit, 4 Dummy groove, 5,6 Uneven pattern, 11, 22 Laser light source, 40 Controller, 41 Laser driver, 42 Laser drive pulse generator, 43 Recording data generator, 44 Spindle motor, 45 Slider 46 sensor, 103 disc master, 104 stamper, 105 disc substrate, 110 pear ground, 121 upper cavity, 123 pear ground

Claims (15)

再生専用光ディスクを製造するためのスタンパであって、
再生専用光ディスクの情報記録用の領域として設定されているインフォメーションエリアに相当する範囲に、記録情報に基づいたエンボスピットを形成するための凹凸パターンが形成されているとともに、
上記インフォメーションエリアよりもディスク外周側に相当する位置に、ダミー凹凸形状を形成するための凹凸パターンが形成されていることを特徴とするスタンパ。
A stamper for manufacturing a read-only optical disc,
An uneven pattern for forming embossed pits based on recorded information is formed in a range corresponding to an information area set as an information recording area of a read-only optical disc, and
A stamper, wherein a concave / convex pattern for forming a dummy concave / convex shape is formed at a position corresponding to the outer peripheral side of the disc with respect to the information area.
さらに、上記インフォメーションエリアよりディスク内周側に相当する位置にも、ダミー凹凸形状を形成するための凹凸パターンが形成されていることを特徴とする請求項1に記載のスタンパ。   2. The stamper according to claim 1, wherein a concave / convex pattern for forming a dummy concave / convex shape is formed at a position corresponding to the inner peripheral side of the disc from the information area. 上記再生専用光ディスクに形成する上記ダミー凹凸形状は、ダミーピット列であり、
上記ダミーピット列の各ダミーピットは、上記インフォメーションエリアに形成されているエンボスピットよりも深いエンボスピットであるとともに、上記ダミーピット列のトラックピッチは、上記インフォメーションエリアに形成されているエンボスピット列のトラックピッチより広いトラックピッチとされるように、上記凹凸パターンが形成されていることを特徴とする請求項1に記載のスタンパ。
The dummy uneven shape formed on the read-only optical disc is a dummy pit row,
Each dummy pit of the dummy pit row is an emboss pit deeper than the emboss pit formed in the information area, and the track pitch of the dummy pit row is the same as that of the emboss pit row formed in the information area. The stamper according to claim 1, wherein the uneven pattern is formed so as to have a track pitch wider than the track pitch.
上記再生専用光ディスクに形成する上記ダミー凹凸形状は、ダミーピット列であり、
上記ダミーピット列の各ダミーピットは、所定以上のピット長のみのエンボスピットとされるように、上記凹凸パターンが形成されていることを特徴とする請求項1に記載のスタンパ。
The dummy uneven shape formed on the read-only optical disc is a dummy pit row,
2. The stamper according to claim 1, wherein each of the dummy pits in the dummy pit row is formed with the concave / convex pattern so as to be an embossed pit having a pit length not less than a predetermined length.
上記再生専用光ディスクに形成する上記ダミー凹凸形状は、ダミーの連続溝とされるように上記凹凸パターンが形成されていることを特徴とする請求項1に記載のスタンパ。   2. The stamper according to claim 1, wherein the concave / convex pattern formed on the read-only optical disc has the concave / convex pattern formed so as to form a dummy continuous groove. 3. 情報記録用の領域として設定されているインフォメーションエリア内に、エンボスピットにより情報が記録された再生専用光ディスクであって、
上記インフォメーションエリアよりもディスク外周側に、ダミー凹凸形状が形成されていることを特徴とする再生専用光ディスク。
A read-only optical disc in which information is recorded by embossed pits in an information area set as an information recording area,
A read-only optical disc, wherein a dummy concavo-convex shape is formed on the outer peripheral side of the disc from the information area.
さらに、上記インフォメーションエリアよりディスク内周側にも、ダミー凹凸形状が形成されていることを特徴とする請求項6に記載の再生専用光ディスク。   7. The read-only optical disc according to claim 6, wherein a dummy uneven shape is also formed on the inner peripheral side of the disc from the information area. 上記ダミー凹凸形状は、ダミーピット列で形成され、
上記ダミーピット列の各ダミーピットは、上記インフォメーションエリアに形成されているエンボスピットよりも深いエンボスピットであるとともに、
上記ダミーピット列のトラックピッチは、上記インフォメーションエリアに形成されているエンボスピット列のトラックピッチより広いトラックピッチとされていることを特徴とする請求項6に記載の再生専用光ディスク。
The dummy uneven shape is formed by a dummy pit row,
Each dummy pit in the dummy pit row is an emboss pit deeper than the emboss pit formed in the information area,
7. The read-only optical disc according to claim 6, wherein the track pitch of the dummy pit row is wider than the track pitch of the embossed pit row formed in the information area.
上記ダミー凹凸形状は、ダミーピット列で形成され、
上記ダミーピット列の各ダミーピットは、所定以上のピット長のみのエンボスピットであることを特徴とする請求項6に記載の再生専用光ディスク。
The dummy uneven shape is formed by a dummy pit row,
7. The read-only optical disc according to claim 6, wherein each dummy pit in the dummy pit row is an embossed pit having only a predetermined pit length or more.
上記ダミー凹凸形状は、ダミーの連続溝で形成されていることを特徴とする請求項6に記載の再生専用光ディスク。   7. The read-only optical disc according to claim 6, wherein the dummy uneven shape is formed by a dummy continuous groove. ディスク基板の一方の面に上記エンボスピット及びダミー凹凸形状が形成されるとともに、他方の面は梨地状の面とされ、
上記ディスク基板の上記一方の面に反射膜と光透過層とが形成され、
上記ディスク基板の上記他方の面に印刷層が形成されて成ることを特徴とする請求項6に記載の再生専用光ディスク。
The embossed pits and dummy irregularities are formed on one surface of the disk substrate, and the other surface is a matte surface,
A reflective film and a light transmission layer are formed on the one surface of the disk substrate,
7. The read-only optical disc according to claim 6, wherein a printed layer is formed on the other surface of the disc substrate.
上記ディスク基板の上記他方の面における梨地の最大粗さは0.5μm〜5μmであることを特徴とする請求項11に記載の再生専用光ディスク。   The read-only optical disc according to claim 11, wherein the maximum roughness of the matte surface on the other surface of the disc substrate is 0.5 µm to 5 µm. 再生専用光ディスクの情報記録用の領域として設定されているインフォメーションエリアに相当する範囲に、記録情報に基づいたエンボスピットの凹凸パターンを形成し、さらに上記インフォメーションエリアよりもディスク外周側に相当する位置に、ダミー凹凸形状を形成するための凹凸パターンを形成してディスク原盤を生成する原盤生成ステップと、
上記ディスク原盤を用いてスタンパを製造するスタンパ製造ステップと、
上記スタンパを用いて再生専用光ディスクを製造するディスク製造ステップと、
を備えたことを特徴とする再生専用光ディスクの製造方法。
An uneven pattern of emboss pits based on the recorded information is formed in a range corresponding to the information area set as the information recording area of the read-only optical disc, and further at a position corresponding to the outer circumference side of the disc from the information area. , A master generating step for generating a disk master by forming a concave / convex pattern for forming a dummy concave / convex shape;
A stamper manufacturing step for manufacturing a stamper using the above-mentioned disc master,
A disc manufacturing step of manufacturing a read-only optical disc using the stamper;
A method for manufacturing a read-only optical disc, comprising:
上記ディスク製造ステップでは、
一方の内面に上記スタンパ製造ステップで製造した上記スタンパが配置されるとともに他方の内面が梨地状の面とされた金型を用いてディスク基板を製造した後、
上記ディスク基板において、上記エンボスピット及びダミー凹凸形状が形成された一方の面に反射膜と光透過層とを形成し、
また上記ディスク基板において、梨地状に形成された他方の面に印刷層を形成することを特徴とする請求項13に記載の再生専用光ディスクの製造方法。
In the above disk manufacturing step,
After manufacturing the disk substrate using a mold in which the stamper manufactured in the stamper manufacturing step is arranged on one inner surface and the other inner surface is a matte surface,
In the disk substrate, a reflective film and a light transmission layer are formed on one surface on which the embossed pits and the dummy irregularities are formed,
14. The method for manufacturing a read-only optical disk according to claim 13, wherein a printed layer is formed on the other surface of the disk substrate formed in a satin shape.
上記金型の上記他方の内面における梨地の最大粗さは0.5μm〜5μmであることを特徴とする請求項14に記載の再生専用光ディスクの製造方法。   The method for producing a read-only optical disc according to claim 14, wherein the maximum roughness of the matte surface on the other inner surface of the mold is 0.5 µm to 5 µm.
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