JP2007174475A - Diaphragm for capacitor microphone and manufacturing method thereof - Google Patents
Diaphragm for capacitor microphone and manufacturing method thereof Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007174475A JP2007174475A JP2005371733A JP2005371733A JP2007174475A JP 2007174475 A JP2007174475 A JP 2007174475A JP 2005371733 A JP2005371733 A JP 2005371733A JP 2005371733 A JP2005371733 A JP 2005371733A JP 2007174475 A JP2007174475 A JP 2007174475A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- support ring
- thin film
- adhesive
- condenser microphone
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Diaphragms For Electromechanical Transducers (AREA)
- Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)
Abstract
Description
本発明は、コンデンサマイクロホン用振動板およびその製造方法に関し、さらに詳しく言えば、振動板の端部が支持リングから剥離し難いようにしたコンデンサマイクロホン用振動板およびその製造方法に関するものである。 The present invention relates to a diaphragm for a condenser microphone and a method for manufacturing the same, and more particularly to a diaphragm for a condenser microphone in which an end portion of the diaphragm is difficult to peel from a support ring and a method for manufacturing the same.
コンデンサマイクロホンは、音波により振動する振動板と固定極とをスペーサを介して対向的に配置してなる電気音響変換器を備え、音波を静電容量に変換して音声信号として出力する。したがって、振動板はコンデンサマイクロホンの特性を支配する重要な構成要素である。 The condenser microphone includes an electroacoustic transducer in which a diaphragm that vibrates by sound waves and a fixed pole are disposed to face each other via a spacer, and converts sound waves into capacitance and outputs the sound signals. Therefore, the diaphragm is an important component that governs the characteristics of the condenser microphone.
図4に示すように、コンデンサマイクロホンの振動板1は、薄膜フィルムからなる振動板素材10を金属製である円形の支持リング20の片側面に適切な張力を付与した状態で接着材30を介して貼着することにより構成され、振動板素材10がスペーサを介して固定極と対向的に配置される。
As shown in FIG. 4, the
実際の製造工程では、図5に示すように、支持リング20よりも大きなマザーの薄膜フィルム11から振動板1が多数個取りされる。マザーの薄膜フィルム11には、通常、厚さが1.2〜16μm程度であって、片面にコンデンサの一方の極となる金属蒸着膜12を有するプラスチックフィルムが用いられる。
In the actual manufacturing process, as shown in FIG. 5, a large number of
マザーの薄膜フィルム11に所定の張力を加えた状態で、その金属蒸着膜12側に支持リング20を接着材30を介して貼着し、接着材30を硬化させたのち、マザーの薄膜フィルム11を図5の矢印で示す支持リング20の外径に沿って切断することにより、マザーの薄膜フィルム11から振動板1を取り出す(切り出す)。
In a state where a predetermined tension is applied to the mother
ところで、支持リング20はプレスなどにより円形のリング状に作成され、平坦性が要求される場合には平面研磨が行われる。そして、防錆のためにメッキが施される。このメッキ工程では、もっぱら生産性の観点から、ガラメッキと称するメッキ処理が行われる。
By the way, the
すなわち、ガラメッキでは、多数の支持リング20をメッキかごに入れ、メッキむらが生じないようにするため、そのメッキかごをメッキ液中で回転させたり揺動させるようにしている。その際、支持リング同士の接触やメッキかごとの接触により、図6に示すように、支持リング20の角部20aに丸みが付けられる。この丸みはほとんどの支持リングに付けられる。
That is, in glass plating, a large number of
この丸みが付けられた支持リング20が接着材30を介してマザーの薄膜フィルム11に貼着されるのであるが、安価な携帯電話機用途などのコンデンサマイクロホンの場合、振動板素材10には比較的厚みのある例えば4〜16μm程度のフィルムが用いられ、このフィルムに高い張力をかけた状態(振動板の共振周波数にして10kHz〜20kHz程度)で、支持リング20を貼着するようにしている。
The
この場合、振動板素材10の張力が高いため、接着材30の厚さも厚くするようにしているが、上記した用途の安価なコンデンサマイクロホンの場合、特性を劣化させるおそれはない。また、接着材30の収縮による振動板素材10の変位についても、振動板素材10の張力が高いことから、余り問題とはならない。
In this case, since the tension of the
また、マザーの薄膜フィルム11を切断して振動板1を取り出す場合においても、振動板素材10が厚いこと,接着材30の層厚が厚いこと,支持リング20に機械的応力が加わってもマイクロホンとしての特性変化が少ないことから、プレスによる切断を適用することができる。
Further, when the
その際、上記したように、メッキ処理工程で支持リング20の角部20aに丸みがつけられていても、接着材30の層厚が厚いため、振動板素材10の周縁が支持リング20から剥がれてしまうことはほとんどない。
At this time, as described above, even if the
しかしながら、例えば単一指向性コンデンサマイクロホンでは、振動板素材10に1.2〜4μm程度のきわめて薄いフィルムが用いられ、低い張力で支持リング20に貼着するようにしている。また、接着材30の層厚も薄くされる。
However, for example, in a unidirectional condenser microphone, a very thin film of about 1.2 to 4 μm is used for the
このように、振動板1が例えば単一指向性コンデンサマイクロホン用途の場合、振動板素材10がきわめて薄いこと,接着材30の層厚も薄いこと,振動板素材10の張力も低いこと,これに加えて上記したように支持リング20の角部20aに丸みを付けられていることから、マザーの薄膜フィルム11から振動板1を取り出すにあたって、プレスによりマザーの薄膜フィルム11を切断すると、切断後に図示しないプレス型を初期位置に戻す際、図7に示すように、そのプレス型に引き連れられて振動板素材10の周縁10aが支持リング20から剥がれてしまうことがある。
Thus, when the
図7(a)は振動板素材10の周縁10aが剥がされた振動板1を示す平面図,図7(b)はその剥がされた部分を拡大して示す断面図であり、多くの場合、図7(a)に示すように、振動板素材10の周縁10aの一部分が三日月状に剥がされる。
FIG. 7A is a plan view showing the
プレスではなく、カッターを用いて切断する場合にも、カッターに引き連れられて同様な剥離が生ずることがある。また、仮に振動板素材10を剥離が生じないように切断し得たとしても、例えば搬送工程での他の部品との接触や、マイクユニットケースへの組み込み時のケース内面との接触などにより、振動板素材10の周縁10aが剥がされてしまうこともある。
Even in the case of cutting using a cutter instead of a press, the same peeling may occur with the cutter. Further, even if the
この剥離部分が支持リング20の内側にまで達すると、振動板素材10の張力を維持することができなくなるため、電気音響変換器を組み立てた場合、その周波数応答に不具合が発生する。また、剥離部分が折り返されるようにしてマイクユニットケース内に組み込んだ場合、そのフィルム厚により振動板と固定極との距離が変化してしまうため、設計どおりの周波数応答が得られなくなる。
When the peeled portion reaches the inside of the
そればかりでなく、折り返された部分の金属蒸着膜と固定極間の沿面距離が減少するため、漏洩電流が発生しやすくなる。この漏洩電流はマイクロホンに雑音を発生させるため、好ましくない。とりわけ、高湿時には固定極を支持する絶縁座の表面抵抗が低下することから大きな問題となる。 In addition, the creeping distance between the metal vapor deposition film and the fixed electrode in the folded portion is reduced, so that a leakage current is likely to occur. Since this leakage current causes noise in the microphone, it is not preferable. In particular, when the humidity is high, the surface resistance of the insulating seat supporting the fixed electrode is lowered, which is a serious problem.
したがって、本発明の課題は、薄膜フィルムからなる振動板素材を支持リングに所定の張力を付与した状態で接着材により貼着してなるコンデンサマイクロホン用振動板において、振動板素材の周縁部が支持リングから簡単には剥がれないようにすることにある。 Accordingly, an object of the present invention is to provide a diaphragm for a condenser microphone in which a diaphragm material made of a thin film is pasted with an adhesive in a state where a predetermined tension is applied to a support ring. The purpose is to prevent it from being easily removed from the ring.
上記課題を解決するため、請求項1に記載の発明は、薄膜フィルムからなる振動板素材が、支持リングの片側面に接着材を介して貼着されているコンデンサマイクロホン用振動板において、上記振動板素材の周縁部が全周にわたって、上記支持リングの外径端よりも内側に配置されていることを特徴としている。
In order to solve the above problems, the invention according to
また、請求項2に記載の発明は、薄膜フィルムからなる振動板素材を支持リングの片側面に接着材を介して貼着してなるコンデンサマイクロホン用振動板の製造方法において、所定の張力が付与された上記薄膜フィルムに上記接着材を介して上記支持リングを貼着したのち、上記薄膜フィルムを所定の切断手段にて上記支持リングの内径側の上方から外径端にかけて上記接着材の一部分を含めて斜めに切除することを特徴としている。 According to a second aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing a diaphragm for a condenser microphone in which a diaphragm material made of a thin film is adhered to one side of a support ring via an adhesive, and a predetermined tension is applied. Affixing the support ring to the thin film film through the adhesive, a portion of the adhesive is applied from above the inner diameter side to the outer diameter end of the support ring by a predetermined cutting means. It is characterized by oblique removal.
上記請求項2で使用する上記切断手段は、切断作業を容易に行ううえで、請求項3に記載されているように、回転切断刃をその回転軸と直交する方向に微振動させる振動型切断工具を用いることが好ましい。 The cutting means used in the second aspect of the present invention is a vibration-type cutting that makes the rotary cutting blade slightly vibrate in a direction orthogonal to the rotation axis as described in the third aspect in order to facilitate the cutting operation. It is preferable to use a tool.
請求項1に記載の発明によれば、振動板素材の周縁部が全周にわたって支持リングの外径端よりも内側に配置されていることにより、振動板の搬送時や、振動板のマイクユニットケース内への組み込み時に、振動板素材の周縁部が周辺の他の部材と接触することがなく、したがって、振動板素材の周縁部の剥離現象がほとんど生ずることがない。 According to the first aspect of the present invention, the peripheral portion of the diaphragm material is arranged on the inner side of the outer diameter end of the support ring over the entire circumference, so that the diaphragm microphone unit can be used during conveyance of the diaphragm. At the time of incorporation into the case, the peripheral edge portion of the diaphragm material does not come into contact with other peripheral members, and therefore the peeling phenomenon of the peripheral edge portion of the diaphragm material hardly occurs.
また、請求項2に記載の発明によれば、所定の張力が付与された薄膜フィルムに接着材を介して支持リングを貼着したのち、薄膜フィルムを所定の切断手段にて支持リングの内径側の上方から外径端にかけて接着材の一部分を含めて斜めに切除する、という簡単な作業により、請求項1に記載の振動板を得ることができる。
According to the invention described in claim 2, after attaching the support ring to the thin film to which a predetermined tension is applied via the adhesive, the thin film is attached to the inner diameter side of the support ring by a predetermined cutting means. The diaphragm according to
なお、請求項2に記載の発明は、所定の張力が付与されたマザーの薄膜フィルムに接着材を介して支持リングを貼着し、別の切断手段(例えばプレス)によってそのマザーの薄膜フィルムから取り出された振動板に適用されてもよい。 In the invention according to claim 2, the support ring is attached to the mother thin film to which a predetermined tension is applied via an adhesive, and the mother thin film is separated from the mother thin film by another cutting means (for example, press). It may be applied to the extracted diaphragm.
次に、図1ないし図3により、本発明の実施形態について説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。図1,図2は本発明による振動板の製造工程を説明するための要部拡大断面図、図3は本発明によって得られた振動板を示す平面図である。なお、先の従来例で説明した構成要素と変更を要しない構成要素については同じ参照符号を用いる。 Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 3, but the present invention is not limited to this. 1 and 2 are enlarged cross-sectional views of main parts for explaining the manufacturing process of the diaphragm according to the present invention, and FIG. 3 is a plan view showing the diaphragm obtained by the present invention. The same reference numerals are used for the constituent elements described in the previous example and the constituent elements that do not need to be changed.
まず、図1に示すように、マザーの薄膜フィルム11に所定の張力を加えた状態で、支持リング20を接着材30を介して貼着する。マザーの薄膜フィルム11には、例えばPET(ポリエチレンテレフタレート)などの合成樹脂フィルムが用いられる。フィルムの厚さは、単一指向性コンデンサマイクロホン用途の場合には1.2〜4μm程度,例えば安価な携帯電話機用途の場合には4〜16μm程度のものが選択される。
First, as shown in FIG. 1, the
支持リング20には、プレスにより円形に打ち抜かれた金属リングが用いられる。支持リング20は、必要に応じて平面研磨が行われ、防錆のためにメッキが施される。このメッキは、上記したようにガラメッキと称するメッキ処理が適用されるため、支持リング20の角部20aには丸みが付けられている。接着材30は、例えばエポキシ系接着材などであってよい。
As the
接着材30を硬化させたのち、マザーの薄膜フィルム11から振動板を取り出すにあたって、本発明では、図1の一点鎖線Cで示すように、マザーの薄膜フィルム11を所定の切断手段にて支持リング20の内径側の上方から外径端の角部20aにかけて接着材30の一部分を含めて斜めに切除する。
When the diaphragm is taken out of the mother
図2に切除後の状態を示し、図3にマザーの薄膜フィルム11から取り出された本発明の振動板1Aを示すが、この振動板1Aにおいては、上記したようにマザーの薄膜フィルム11を斜めに切断することにより、振動板素材10の周縁部10eがその全周にわたって支持リング20の外径端面20bよりも内側にある。
FIG. 2 shows the state after excision, and FIG. 3 shows the
これにより、搬送時や組み立て時などでの振動板同士もしくは他の部品との接触による振動板素材10の周縁部10eの剥がれやめくれを大幅に少なくすることができる。このことは、振動板組立体に起因するコンデンサマイクロホンの周波数応答,感度,S/Nなどの性能劣化の発生を防止できることを意味し、不良品が減少するため、全体としてコスト低減につながる。
Thereby, peeling and turning-up of the
なお、支持リング20の外径端面20bに対する図1の一点鎖線Cで示す仮想切断線の交差角θは、平行の場合を0゜として、0゜<θ<90゜の範囲内で任意に決められてよいが、小さくしすぎると、振動板素材10の周縁部10eが支持リング20の外径端面20bに近づくため、他の部品との接触により剥離が発生し易くなり、他方、大きくしすぎると、接着材30の削り取り量が多くなり、接着力が低下することになりかねない。したがって、上記交差角θの好ましい角度は3〜10゜,より好ましくは7゜程度である。
1 is arbitrarily determined within the range of 0 ° <θ <90 °, where 0 ° is the parallel angle and 0 ° <θ <90 ° with respect to the outer
また、使用する切断手段は、ナイフのような刃物であってもよいが、接着材30の一部分を含めてきれいに、かつ、手際よく削り取るには、回転切断刃をその回転軸と直交する方向に微振動させる振動型切断工具を使用することが好ましい。この種の振動型切断工具には、例えばキソパワーツール社のPROXXONルーター(商品名)がある。 The cutting means to be used may be a blade such as a knife. However, in order to scrape cleanly and carefully including a part of the adhesive 30, the rotary cutting blade is set in a direction perpendicular to the rotation axis. It is preferable to use a vibration type cutting tool that vibrates slightly. As this type of vibration-type cutting tool, for example, there is a PROXXON router (trade name) manufactured by Kiso Power Tool.
以上、図示の例に基づいて本発明を説明したが、本発明の製造方法は、上記従来例で説明したように、所定の張力が付与されたマザーの薄膜フィルムに接着材を介して支持リングを貼着し、プレスによってそのマザーの薄膜フィルムから取り出された振動板に適用されてもよい。 As described above, the present invention has been described based on the illustrated example. However, as described in the above-described conventional example, the manufacturing method of the present invention supports a mother thin film to which a predetermined tension is applied via a support material via an adhesive. May be applied to the diaphragm taken out from the mother thin film by pressing.
1A 振動板
10 振動板素材
10e 周縁部
11 マザーの薄膜フィルム
20 支持リング
20b 外径端面
30 接着材
DESCRIPTION OF
Claims (3)
上記振動板素材の周縁部が全周にわたって、上記支持リングの外径端よりも内側に配置されていることを特徴とするコンデンサマイクロホン用振動板。 In a diaphragm for a condenser microphone in which a diaphragm material made of a thin film is attached to one side of a support ring via an adhesive,
A diaphragm for a condenser microphone, characterized in that a peripheral portion of the diaphragm material is disposed inside the outer diameter end of the support ring over the entire circumference.
所定の張力が付与された上記薄膜フィルムに上記接着材を介して上記支持リングを貼着したのち、上記薄膜フィルムを所定の切断手段にて上記支持リングの内径側の上方から外径端にかけて上記接着材の一部分を含めて斜めに切除することを特徴とするコンデンサマイクロホン用振動板の製造方法。 In the method for manufacturing a diaphragm for a condenser microphone, in which a diaphragm material made of a thin film is adhered to one side of a support ring via an adhesive,
After sticking the support ring to the thin film to which a predetermined tension has been applied via the adhesive, the thin film is applied to the outer diameter end from above the inner diameter side of the support ring by a predetermined cutting means. A method of manufacturing a diaphragm for a condenser microphone, characterized in that a part of the adhesive material is cut off obliquely.
3. The method for manufacturing a diaphragm for a condenser microphone according to claim 2, wherein a vibration type cutting tool that finely vibrates the rotary cutting blade in a direction perpendicular to the rotation axis is used as the cutting means.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005371733A JP4740734B2 (en) | 2005-12-26 | 2005-12-26 | Diaphragm for condenser microphone and manufacturing method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005371733A JP4740734B2 (en) | 2005-12-26 | 2005-12-26 | Diaphragm for condenser microphone and manufacturing method thereof |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007174475A true JP2007174475A (en) | 2007-07-05 |
JP4740734B2 JP4740734B2 (en) | 2011-08-03 |
Family
ID=38300414
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005371733A Expired - Fee Related JP4740734B2 (en) | 2005-12-26 | 2005-12-26 | Diaphragm for condenser microphone and manufacturing method thereof |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4740734B2 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011004116A (en) * | 2009-06-18 | 2011-01-06 | Audio Technica Corp | Condenser microphone unit and condenser microphone |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60189400A (en) * | 1984-03-08 | 1985-09-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Taking out device of thin film ring |
JP2001177899A (en) * | 1999-12-20 | 2001-06-29 | Hosiden Corp | Manufacturing method for vibration film for electrostatic type electroacoustic transducer element, the vibrating film and electrostatic type electroacoustic transducer element provided with the vibration film |
-
2005
- 2005-12-26 JP JP2005371733A patent/JP4740734B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60189400A (en) * | 1984-03-08 | 1985-09-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Taking out device of thin film ring |
JP2001177899A (en) * | 1999-12-20 | 2001-06-29 | Hosiden Corp | Manufacturing method for vibration film for electrostatic type electroacoustic transducer element, the vibrating film and electrostatic type electroacoustic transducer element provided with the vibration film |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011004116A (en) * | 2009-06-18 | 2011-01-06 | Audio Technica Corp | Condenser microphone unit and condenser microphone |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4740734B2 (en) | 2011-08-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20160330549A1 (en) | Speaker Diaphragms and Speakers with the Same | |
JP2008054068A (en) | Piezoelectric electroacoustic transducer | |
US20150086058A1 (en) | Microphone having a microphone capsule, dynamic sound transducer for headphones, earphones or headsets and method for producing a microphone capsule or a sound transducer | |
WO2016176999A1 (en) | Speaker vibration assembly and assembly method thereof | |
US20140087133A1 (en) | Compound membrane and acoustic device using same | |
JP4740734B2 (en) | Diaphragm for condenser microphone and manufacturing method thereof | |
US20140087148A1 (en) | Compound membrane and acoustic device using same | |
JP5116297B2 (en) | Manufacturing method of diaphragm assembly, electret condenser microphone unit, and electret condenser microphone | |
US20140087132A1 (en) | Compound membrane and acoustic device using same | |
US8950545B2 (en) | Compound membrane and acoustic device using same | |
US11477555B2 (en) | Acoustic transducers having non-circular perimetral release holes | |
US20130257551A1 (en) | Oscillator device and electronic instrument | |
US8925675B2 (en) | Compound membrane and acoustic device using same | |
JP2004335583A (en) | Wafer dicing method | |
US20110293114A1 (en) | Condenser microphone unit and method of manufacturing diaphragm assembly of condenser microphone | |
JP2003009291A (en) | Structure for diaphragm for optoacoustic transducer | |
JP6214401B2 (en) | Electrostatic electroacoustic transducer and manufacturing method thereof | |
JP5130560B2 (en) | Fixed pole assembly and manufacturing method thereof | |
JP2007043631A (en) | Speaker using cone-type piezoelectric diaphragm | |
JP5911085B2 (en) | Manufacturing method of vibration member | |
JP2009218688A (en) | Electrostatic electroacoustic transducer, method of manufacturing the same and capacitor microphone | |
JP2003336687A (en) | Vibration damping member, its manufacturing method and suspension device with vibration damping member | |
JP2004072235A (en) | Electret capacitor microphone and manufacturing method of diaphragm thereof | |
KR101445655B1 (en) | Method for manufacturing diaphragm assembly for piezoelectric speaker | |
JP2004221790A (en) | Piezoelectric sounding element and manufacturing method thereof |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081117 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100728 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100927 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110406 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110502 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4740734 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140513 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |