JP2007163769A - Rubbing device and liquid crystal display element manufactured by using the same - Google Patents
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Description
本発明は、液晶表示素子の製造プロセスの中のラビング工程で使用するラビング装置およびそれを用いて製造した液晶表示素子に関するものであり、詳しくは、配向膜が塗布されたガラス基板を載置するラビングステージの軽量化、剛性化および平面度の精度向上を図ることによってガラス基板の大型化に対応できるラビングステージを備えたラビング装置およびそれを用いて製造した液晶表示素子に関する。 The present invention relates to a rubbing apparatus used in a rubbing process in a manufacturing process of a liquid crystal display element and a liquid crystal display element manufactured using the rubbing apparatus, and in particular, a glass substrate coated with an alignment film is placed thereon. The present invention relates to a rubbing apparatus equipped with a rubbing stage that can cope with an increase in the size of a glass substrate by reducing the weight and rigidity of the rubbing stage and improving the accuracy of flatness, and a liquid crystal display element manufactured using the rubbing stage.
液晶パネルの製造プロセスの中にラビング工程がある。これは、透明基板(例えば、ガラス基板)の表面に形成された配向膜を布で擦って(ラビング)微細な溝を形成する工程であり、液晶分子の分布を均一に、且つ液晶分子の配向を溝に沿って所定の方向に配列させることによって液晶表示素子の全面に亘って均一な表示を得るようにするためのものである。 There is a rubbing process in the manufacturing process of the liquid crystal panel. This is a process of rubbing an alignment film formed on the surface of a transparent substrate (for example, a glass substrate) with a cloth (rubbing) to form fine grooves, and uniform distribution of liquid crystal molecules and alignment of liquid crystal molecules. Is arranged in a predetermined direction along the groove to obtain a uniform display over the entire surface of the liquid crystal display element.
従って、表示品位の良好な液晶表示素子を製作するためには、配向膜全面を均一な条件下でラビングすることによって配向膜全面に亘って微細な溝を均一に形成することが重要である。 Therefore, in order to manufacture a liquid crystal display element with good display quality, it is important to uniformly form fine grooves over the entire alignment film by rubbing the entire alignment film under uniform conditions.
ガラス基板に形成された配向膜をラビングする一般的な方法は、円筒形状のローラの外周面にパイル(毛)を植設した布(ラビング布)を巻装してラビングローラを構成し、ガラス基板を所定の速度で、所定の方向に移動させながらガラス基板に形成された配向膜を回転するラビングローラのパイルでラビングするものである。 A general method for rubbing an alignment film formed on a glass substrate is to form a rubbing roller by winding a cloth (rubbing cloth) in which a pile (hair) is planted on the outer peripheral surface of a cylindrical roller. The alignment film formed on the glass substrate is rubbed with a pile of a rotating rubbing roller while the substrate is moved in a predetermined direction at a predetermined speed.
この場合、配向膜全面に亘って均一な条件で再現性良くラビングためには、上記ガラス基板に形成された配向膜に対してラビングローラに巻装されたラビング布のパイルの距離あるいは圧力を均一に保持した状態でラビングすることが必要である。 In this case, in order to rub with good reproducibility under uniform conditions over the entire surface of the alignment film, the distance or pressure of the pile of the rubbing cloth wound around the rubbing roller is uniform with respect to the alignment film formed on the glass substrate. It is necessary to perform rubbing while being held in
そこで、非接触式変位センサを使用してラビングローラのローラの表面とガラス基板を載置するラビングステージ表面との平行度を調整できるラビング装置が提案されている。例えば、図3に示すように往復台100がベース101上の長手方向に延びる移動レール102に往復方向に移動自在に搭載され、往復台100の上面には昇降台103が上下方向に移動自在に搭載され、更に昇降台103の上面中央部には昇降台103の上面に平行な面を有する旋回テーブル104が搭載されている。
Therefore, a rubbing apparatus has been proposed that can adjust the parallelism between the surface of the rubbing roller and the surface of the rubbing stage on which the glass substrate is placed using a non-contact displacement sensor. For example, as shown in FIG. 3, the
また、ベース101上に立設された門型の支持枠105の天井に取り付けられた旋回軸受106に支持ブラケット107が旋回可能に装着され、支持ブラケット107にはローラ支持フレーム108が枢支ピン109を介して傾動可能に保持されている。そして、外周面にラビング布が巻装されたラビングローラ110がラビングローラ110の両端の軸芯をローラ支持フレーム108の両端に設けられた支持軸111a、111bによって回転自在に挟持されている。
Further, a
更に、変位センサ112がラビングローラ110の端部周面と対向するように旋回テーブル104の端部の1ヵ所に装着され、変位センサ112がラビングローラ110にレーザビームを照射することによって得られたラビングローラ110までの距離の検知信号を制御装置に転送し、制御装置からのフィードバックによってローラ支持フレーム108を傾動して旋回テーブル104とラビングローラ110の平行度を調整し、その後ガラス基板を旋回テーブル104上に配置して配向膜のラビングを開始するものである(例えば、特許文献1参照。)。
しかしながら、上記ラビング装置は、ラビングローラのローラの表面とガラス基板を載置するラビングステージ表面との平行度を調整することによって、ガラス基板に形成された配向膜全面を均一な条件下でラビングしようとするものであって、平面度の精度を向上させるものではない。 However, the rubbing apparatus is intended to rub the entire alignment film formed on the glass substrate under uniform conditions by adjusting the parallelism between the surface of the rubbing roller and the surface of the rubbing stage on which the glass substrate is placed. However, it does not improve the accuracy of flatness.
ところで、近年、テレビ、ビデオ、DVD、コンピュータ等の液晶モニタに対する大型化のニーズが急激に高まっており、将来に亘って更なる大型化への要求が続くことが予測される。そこでこれを実現するためにはガラス基板の大型化が欠かせないと共に、小型・中型にあっても生産効率を向上させるために多面取りガラス基板の大型化も同様に欠かせないものとなる。 By the way, in recent years, needs for enlargement of liquid crystal monitors such as televisions, videos, DVDs, computers, etc. are rapidly increasing, and it is predicted that demand for further enlargement will continue in the future. Therefore, in order to realize this, it is indispensable to increase the size of the glass substrate, and it is also indispensable to increase the size of the multi-faced glass substrate in order to improve the production efficiency even in the small and medium size.
世代別におけるガラス基板の大きさは、主に装置の処理能力によって限定され、液晶パネルの開発当初を液晶の第1世代とすると約300mm×300mmであったものが、現在の液晶世代である第6世代では約1500mm×1800mmであり、今後の第7世代においては約1800mm×2000mmまでなるであろうと予測される。 The size of the glass substrate by generation is mainly limited by the processing capacity of the device. If the first generation of liquid crystal panel is the first generation of liquid crystal, the size of the glass substrate is about 300 mm x 300 mm. It is estimated that it will be about 1500 mm × 1800 mm in the 6th generation, and will be up to about 1800 mm × 2000 mm in the future 7th generation.
そこで、ラビング装置においても、ガラス基板の大型化に伴ってガラス基板を載置するラビングステージも長大化する必要があるが、従来のラビングステージは一体化した金属材料やセラミックに研磨・ラップ加工を施して表面仕上げを行ったものを使用しており、ガラス基板が第6世代(約1500mm×1800mm)以後の大きさになると、従来の方法では作製することが困難となると共に、平面精度の確保が難しくなる。 Therefore, in the rubbing apparatus, it is necessary to lengthen the rubbing stage on which the glass substrate is placed as the glass substrate becomes larger, but the conventional rubbing stage performs polishing and lapping on an integrated metal material or ceramic. If the glass substrate is 6th generation (approx. 1500mm x 1800mm) or larger, it will be difficult to produce with the conventional method, and plane accuracy will be ensured. Becomes difficult.
そのため、図4(a)に示すように、複数個に分割されたメインステージ30と、一枚あるいはメインステージ30の分割数よりも少く分割されたサブステージ31とを作製し、図4(b)に示すように、サブステージ31上に複数に分割されたメインステージ30を縦横方向に所定の間隔で配置してラビングステージ32としたものがある。更に、サブステージ31の下方に平行度の調整機構を設けたものもある。
Therefore, as shown in FIG. 4A, a
このような構成のラビングステージは、アルミニウムなどの金属材料からなるサブステージ上に従来のような金属材料やセラミックを配設した二重構造になっており、その分、重量が重くなっている。この結果、ラビング時の移動速度およびラビング後の戻り速度に制約が生じ、生産効率を低下させるものである。 The rubbing stage having such a structure has a double structure in which a conventional metal material or ceramic is disposed on a substage made of a metal material such as aluminum, and the weight is increased accordingly. As a result, the moving speed at the time of rubbing and the return speed after rubbing are restricted, and the production efficiency is lowered.
また、重量の重いラビングステージを駆動するために高トルクのモータを使用しなければならず、そのためモータの大型化に伴ってラビング装置も大型化、重量化すると共に、モータの高価格化に伴ってラビング装置も製造コストが上昇する。 In addition, a high-torque motor must be used to drive a heavy rubbing stage. Therefore, the rubbing device becomes larger and heavier as the motor becomes larger, and the motor price increases. As a result, the manufacturing cost of the rubbing device also increases.
本発明は上記問題に鑑みて創案なされたもので、その目的とするところは、配向膜が塗布されたガラス基板を載置してラビング処理を施すラビングステージの、軽量化、高剛性化および平面度の精度向上を実現し、ガラス基板の大型化に対しても生産性、再現性および製造精度が確保できるラビングステージを備えたラビング装置およびそれを用いて製造した液晶表示素子を提供するものである。 The present invention was devised in view of the above problems, and the object thereof is to reduce the weight, increase the rigidity, and provide a flat surface of a rubbing stage on which a glass substrate coated with an alignment film is placed and subjected to a rubbing process. This provides a rubbing apparatus equipped with a rubbing stage that can improve the accuracy of the degree of processing and can ensure productivity, reproducibility and manufacturing accuracy even when the glass substrate is enlarged, and a liquid crystal display element manufactured using the rubbing stage. is there.
上記課題を解決するために、本発明の請求項1に記載された発明は、配向膜が塗布されたガラス基板を載置したラビングステージを所定の速度で移動させながら、回転するラビングローラの外周面に巻装されたラビング布で前記配向膜をラビングするラビング装置であって、前記ラビングステージはサブステージ上に複数のメインステージが縦横方向に所定の間隔で配設されており、前記サブステージは平板形状体を2枚のCFRP板で挟持したサンドイッチ構造であることを特徴とするものである。
In order to solve the above-mentioned problem, the invention described in
また、本発明の請求項2に記載された発明は、請求項1において、前記平板形状体は、金属板および平板形状のアングル構造体のうちの1つであることを特徴とするものである。
The invention described in claim 2 of the present invention is characterized in that, in
また、本発明の請求項3に記載された発明は、請求項1または2の何れか1項において、前記メインステージは金属板およびセラミック板のうちの1つであることを特徴とするものである。
The invention described in claim 3 of the present invention is characterized in that, in any one of
また、本発明の請求項4に記載された発明は、請求項1〜3のいずれか1項に記載のラビング装置を用いて製造したことを特徴とするものである。
Moreover, the invention described in claim 4 of the present invention is characterized by being manufactured using the rubbing apparatus according to any one of
本発明は、配向膜が塗布されたガラス基板を載置したラビングステージを所定の速度で移動させながら、回転するラビングローラの外周面に巻装されたラビング布で前記配向膜をラビングするラビング装置において、ラビングステージを平板形状体を2枚のCFRP板で挟持したサンドイッチ構造のサブステージ上に複数のメインステージを縦横方向に所定の間隔で配設した構造とした。 The present invention provides a rubbing apparatus for rubbing the alignment film with a rubbing cloth wound around an outer peripheral surface of a rotating rubbing roller while moving a rubbing stage on which a glass substrate coated with the alignment film is mounted at a predetermined speed. The rubbing stage has a structure in which a plurality of main stages are arranged at predetermined intervals in the vertical and horizontal directions on a sandwich stage sub-stage in which a flat plate-like body is sandwiched between two CFRP plates.
その結果、ラビングステージの軽量化、高剛性化および平面度の精度向上が実現し、ガラス基板の大型化に対しても生産性、再現性および製造精度が確保できるラビングステージを備えたラビング装置およびそれを用いた液晶表示素子の製造が可能となった。 As a result, a rubbing apparatus equipped with a rubbing stage that realizes weight reduction, high rigidity, and improved flatness accuracy of the rubbing stage, and can ensure productivity, reproducibility, and manufacturing accuracy even when the glass substrate is enlarged, and A liquid crystal display device using the same can be manufactured.
以下、この発明の実施形態を図1および図2を参照しながら、詳細に説明する(同一部分については同じ符号を付し、説明は省略する)。尚、以下に述べる実施形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG. 1 and FIG. 2 (the same reference numerals are given to the same parts, and the description will be omitted). The embodiments described below are preferable specific examples of the present invention, and thus various technically preferable limitations are given. However, the scope of the present invention particularly limits the present invention in the following description. As long as there is no description of the effect, it is not restricted to these aspects.
図1はラビングステージの組立工程を示している。まず、(a)の工程において、CFRPをベースにしたCFRP板1とアルミ板あるいはアングル構造の骨組みのみで構成された平板形状体2とを用意する。
FIG. 1 shows an assembling process of the rubbing stage. First, in the step (a), a
CFRP(Carbon Fiber Reinforced Plastics)は、炭素繊維によって強化されたプラスチック(炭素繊維強化プラスチップ)であり、種々炭素繊維と種々熱硬化樹脂との複合材料である。そして、以下のような特性を有している。 CFRP (Carbon Fiber Reinforced Plastics) is a plastic reinforced by carbon fibers (carbon fiber reinforced plus chip), and is a composite material of various carbon fibers and various thermosetting resins. And it has the following characteristics.
まず、炭素繊維は繊維方向に対し高張力鋼と同程度の引張強度を有し、またチタニウムより高い弾性率を有している。しかも、比重がアルミニウムの60%であるため、高剛性で軽量の材料である。 First, carbon fiber has the same tensile strength as that of high-strength steel in the fiber direction, and has a higher elastic modulus than titanium. Moreover, since the specific gravity is 60% of aluminum, it is a highly rigid and lightweight material.
また、疲労試験において優れた特性を示す。炭素繊維自体は本質的にクリープ(ある温度の下である応力が負荷されると、時間とともに次第に変形して、破壊する現象)がなく、クリープによる永久伸びが無視できため、経年変化が極めて少ない材料である。 In addition, it exhibits excellent characteristics in fatigue tests. The carbon fiber itself is essentially free of creep (a phenomenon that gradually deforms and breaks over time when a certain stress is applied), and the permanent elongation due to creep is negligible. Material.
また、繊維方向の熱膨張係数がほぼ0に等しく、積層方法により熱膨張係数を0にすることができることから熱膨張・熱収縮がほとんどなく、極めて高い寸法精度を維持することができる。 In addition, since the thermal expansion coefficient in the fiber direction is almost equal to 0 and the thermal expansion coefficient can be reduced to 0 by the lamination method, there is almost no thermal expansion / shrinkage, and extremely high dimensional accuracy can be maintained.
更に、繊維と樹脂との相互作用によって金属と比較して振動吸収が大きく、減衰率も大きい。そのため振動吸収性が良好で制振効果が高い。 Furthermore, the vibration absorption and the damping factor are large compared to metals due to the interaction between the fiber and the resin. Therefore, the vibration absorption is good and the vibration damping effect is high.
次に、(b)の工程において、上記特性を有する2枚のCFRP板1で平板形状体2を両側から挟んで支持するように配置したサンドイッチ構造のサブステージ3を構成する。
Next, in the step (b), the sandwich stage sub-stage 3 is configured so that the flat plate-like body 2 is sandwiched and supported by the two
更に、(c)の工程において、サブステージ3の一方のCFRP板1上に、分割された複数のメインステージ4を縦横方向に所定の間隔で配置してラビングステージ5を構成する。
Further, in the step (c), the rubbing
分割されて小型化された個々のメインステージ4は、従来のように金属材料やセラミックに研磨・ラップ加工を施して表面仕上げを行ったものが使用でき、平面精度の確保が可能となる。 As the individual main stages 4 which are divided and miniaturized, those obtained by polishing and lapping a metal material or ceramic as in the past can be used, and planar accuracy can be ensured.
従って、高剛性で軽量化され、極めて高い寸法精度を経年変化を生ずることなく維持するとともに、制振効果の高いサブステージ3に、平面精度の高いメインステージ4を配置することによってラビングステージ5を組み付けたことになる。
Accordingly, the rubbing
その結果、ラビングステージ5においても同様に、軽量化、高平面精度を実現できる。特に、上述のように、ガラス基板が第6世代(約1500mm×1800mm)以後の大きさになると、この効果が有効に発揮されるものとなる。
As a result, the rubbing
なお、本発明では、金属材料からなるサブステージの一部を金属材料よりも極めて比重の小さいCFRP材に替えた構成とした。そのため、サブステージは従来のサブステージに比べて同一面積に対して重量比で約1/4〜1/5程度に低減できる。更に、素材の形状自由度からサイズに制限がないことも特徴である。 In the present invention, a part of the substage made of a metal material is replaced with a CFRP material having a specific gravity much smaller than that of the metal material. Therefore, the substage can be reduced to about 1/4 to 1/5 in weight ratio with respect to the same area as compared with the conventional substage. Further, the size is not limited due to the degree of freedom of shape of the material.
図2は本発明のサブステージ3にメインステージ4を配置したラビングステージ5上に、配向膜が塗布されたガラス基板6を載置し、該ガラス基板6の配向膜をラビングローラ7によってラビンブ処理を施す様子を示している。このラビング方法は従来のサブステージの替わりに本発明のサブステージを使用した以外は従来のラビング方法と同様である。
FIG. 2 shows that a glass substrate 6 coated with an alignment film is placed on a rubbing
1 CFRP板
2 平板形状体
3 サブステージ
4 メインステージ
5 ラビングステージ
6 ガラス基板
7 ラビングローラ
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