JP2007156480A - 光干渉装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】 より効果的に構成された装置を提供する。
【解決手段】 干渉されるべき光を少なくとも部分的に通過させることが可能なレンズ手段の第1アレイと、光の位相変換が可能な位相変換手段の第1アレイであって、レンズ手段の第1アレイの各レンズ手段を通過して入射される第1アレイと、位相変換手段によって位相変換された光を、少なくとも部分的に入射させることが可能なレンズ手段の第2アレイであって、干渉されるべき光の拡散方向において、レンズ手段の第2アレイの領域に、干渉されるべき光の複数の強度極大が生じ得るように該装置に設けられる第2アレイと、レンズ手段の第1アレイとレンズ手段の第2アレイとの間に設けられる第1レンズ手段とを有し、第2レンズ手段を有し、第1レンズ手段とレンズ手段の第2アレイとの間に設けられ、位相変換手段の第1アレイは第1レンズ手段と第2レンズ手段との間に設けられる光干渉装置。
【選択図】 図8

Description

本発明は、請求項1の上位概念に従う光干渉装置、その利用、装置請求項31の上位概念に従う光干渉方法に関する。
定義:干渉されるべき光の拡散方向において、光の中間的拡散方向とは、特に、光がまったく平らな波でないとき、または少なくとも部分的に発散するときを意味する。
本明細書冒頭において述べた方式の装置は、特許文献1から知られる。これに記載される装置の場合、位相変換手段の第1アレイは、レンズ手段の第1アレイの後段のそれに近接したところ、特に、ほぼその出射側焦点面に設けられる。さらにまた、第2位相変換手段が、レンズ手段の第2アレイの後段のそれに近接したところ、特に、ほぼその入射側焦点面に設けられる。両凸レンズとして形成されるレンズ手段の第1アレイによって、第1位相変換手段平面の強度分布の位相変換手段の第2アレイの平面へのフーリエ変換が行われる。かかる装置によって、光線は非常に速やかに、比較的大きな角度で偏向させることが可能であり、これは、位相変換によってレンズ手段に対して横に容易にシフトされるレンズ手段の第2アレイの前段に強度極大が生じるからである。このシフトは、レンズ手段に対して非常に近接するので、大きな角度の回折を生じさせる。
米国特許第6341136号明細書
かかる装置の場合、たとえば半導体レーザのような広帯域のレーザ光源を利用することができないという欠点がある。これは、レンズ手段の第1アレイによる位相変換手段の第1アレイの面への像形成は、利用される光の波長に依存するからである。半導体レーザの場合などのように、明らかに互いに異なった波長の光の場合、第2位相変換手段の面に変換された、互いに異なる波長についての強度分布は、それぞれ異なったところに強度極大を有し、したがって、それぞれ異なった波長についての光の回折はそれぞれ異なった方向に行われる。
本発明の基礎にある課題は、冒頭で述べた方式の、より効果的に構成された装置を提供することである。さらにまた、その装置の利用および光を干渉させるための方法を提供することである。
本発明は、光干渉装置であって、
干渉されるべき光を少なくとも部分的に通過させることが可能なレンズ手段の第1アレイと、
光の位相を変えることが可能である位相変換手段の第1アレイであって、レンズ手段の第1アレイの各レンズ手段を通過して入射される第1アレイと、
位相変換手段の第1アレイを通過して入射される光を、少なくとも部分的に入射させることが可能であるレンズ手段の第2アレイであって、レンズ手段の第2アレイは、干渉されるべき光の拡散方向において、レンズ手段の第2アレイの前段、またはレンズ手段の第2アレイの領域に、干渉されるべき光の複数の強度極大が生じ得るように該装置に設けられる第2アレイと、
レンズ手段の第1アレイとレンズ手段の第2アレイとの間に設けられる第1レンズ手段とを有する光干渉装置において、
位相変換手段の第1アレイは、干渉されるべき光の拡散方向において、第1レンズ手段の後段に設けられることを特徴とする光干渉装置である。
本発明において、第2レンズ手段を有し、該レンズ手段は、第1レンズ手段とレンズ手段の第2アレイとの間に設けられ、位相変換手段の第1アレイは、第1レンズ手段と第2レンズ手段との間に設けられることを特徴とする。
本発明において、第1レンズ手段および/または第2レンズ手段は、干渉されるべき光がフーリエ変換可能であるように装置に設けられることを特徴とする。
本発明において、位相変換手段の第1アレイは、第1レンズ手段の出射側フーリエ面もしくはその領域および/または第2レンズ手段の入射側フーリエ面もしくはその領域に設けられることを特徴とする。
本発明において、レンズ手段の第1アレイの出射側焦点面は、第1レンズ手段の入射側フーリエ面に相当し、または第1レンズ手段の入射側フーリエ面の領域に設けられることを特徴とする。
本発明において、レンズ手段の第2アレイの入射側焦点面は、第2レンズ手段の出射側フーリエ面に相当し、または第2レンズ手段の出射側フーリエ面の領域に設けられることを特徴とする。
本発明において、第1レンズ手段および第2レンズ手段は、望遠鏡または望遠鏡状構造を形成することを特徴とする。
本発明において、第1レンズ手段および第2レンズ手段は、テレセントリック系を形成することを特徴とする。
本発明において、第1レンズ手段および第2レンズ手段は、第1レンズ手段の出射側焦点面および第2レンズ手段の入射側焦点面が互いに対応する、または同一の領域に設けられるように配置されることを特徴とする。
本発明において、第1レンズ手段および/または第2レンズ手段は、複数のレンズを有することを特徴とする。
本発明において、レンズ手段の第1アレイおよび/またはレンズ手段の第2アレイは、第1および第2光学機能境界面を示し、干渉されるべき光の拡散方向において、相互に間隔をあけ、各境界面上にレンズ要素のアレイが形成されることを特徴とする。
本発明において、干渉されるべき光の拡散方向における、レンズ手段の第1アレイおよび/またはレンズ手段の第2アレイの第1および第2光学機能境界面間の距離は、第1および/または第2光学機能境界面のレンズ要素の焦点距離に相当することを特徴とする。
本発明において、装置は位相変換手段の第2アレイを有し、該第2アレイは、干渉されるべき光の拡散方向において、レンズ手段の第2アレイの前段もしくは後段、またはレンズ手段の第2アレイの領域に設けられることを特徴とする。
本発明において、位相変換手段の第1および/または第2アレイの異なる位相変換手段を介して通過して入射される干渉されるべき光の一部は、位相変換手段において相互に異なる位相変換を受けることを特徴とする。
本発明において、位相変換手段の第1アレイは、干渉されるべき光の拡散方向において、レンズ手段の第1アレイの両光学機能境界面間に設けられ、かつ/または位相変換手段の第2アレイは、干渉されるべき光の拡散方向において、レンズ手段の第2アレイの両光学機能境界面間に設けられることを特徴とする。
本発明において、装置はレンズ手段のさらなる1つのアレイを少なくとも有し、該さらなるアレイを介して、レンズ手段の第2アレイを介して通過して入射される光が少なくとも部分的に通過して入射することが可能であり、干渉されるべき光の拡散方向において、レンズ手段のさらなる少なくとも1つのアレイの前段、またはレンズ手段のさらなる少なくとも1つのアレイの領域に、干渉されるべき光の複数の強度極大を生じ得るように、レンズ手段のさらなる少なくとも1つのアレイが装置に設けられ、または装置が構成されることを特徴とする。
本発明において、装置はさらなるレンズ手段を有し、レンズ手段の第2アレイとレンズ手段のさらなる少なくとも1つのアレイとの間に設けられることを特徴とする。
本発明において、レンズ手段の第2アレイの出射側焦点面は、さらなるレンズ手段の入射側焦点面もしくはフーリエ面に相当し、またはさらなるレンズ手段の入射側焦点面もしくはフーリエ面の領域に設けられることを特徴とする。
本発明において、装置は位相変換手段のさらなる少なくとも1つのアレイを有し、干渉されるべき光の拡散方向において、レンズ手段のさらなる少なくとも1つのアレイの前段もしくは後段、またはレンズ手段のさらなる少なくとも1つのアレイの領域に設けられることを特徴とする。
本発明において、装置はレンズ手段を有し、干渉されるべき光の拡散方向において、レンズ手段の第2アレイの後段、またはレンズ手段のさらなる少なくとも1つのアレイの後段に設けられることを特徴とする。
本発明において、装置は望遠鏡を有し、干渉されるべき光の拡散方向において、レンズ手段の第2アレイの後段、またはレンズ手段のさらなる少なくとも1つのアレイの後段に設けられることを特徴とする。
本発明において、レンズ手段の第1アレイのレンズ手段、および/またはレンズ手段の第2アレイのレンズ手段、および/またはレンズ手段のさらなる少なくとも1つのアレイのレンズ手段は、シリンドリカルレンズとして形成されることを特徴とする。
本発明において、レンズ手段の第1アレイ、および/またはレンズ手段の第2アレイ、および/またはレンズ手段のさらなる少なくとも1つのアレイの、第1および第2光学機能境界面上に設けられるレンズ要素の軸線は、相互に直交もしくは平行に設けられることを特徴とする。
本発明において、レンズ手段のアレイのうちの1または複数、および/または位相変換手段のアレイのうちの1または複数、および/またはレンズ手段のうちの1または複数は、一体的な光学素子として形成されることを特徴とする。
本発明において、レンズ手段のアレイのうちの1または複数のレンズ手段は、測地レンズとして形成されることを特徴とする。
本発明において、位相変換手段のアレイのうちの1または複数の位相変換手段は、電気光学変調器もしくは音響光学変調器として、または液晶変調器として形成されることを特徴とする。
本発明は、装置は光ビーム回折装置として使用されることを特徴とする上述の光干渉装置の使用である。
本発明において、装置は、レーザテレビジョンの分野において使用されることを特徴とする。
本発明において、装置は、データ格納の分野において使用されることを特徴とする。
本発明は、装置はコミュテータとして使用されることを特徴とする上述の光干渉装置の使用である。
本発明は、特に、上述の光干渉装置を使用して、光を干渉させる方法であって、
光をレンズ手段の第1アレイを介して少なくとも部分的に通過させて入射させ、
レンズ手段の第1アレイの各レンズ手段を介して通過して入射される光の位相を少なくとも部分的な範囲で変え、
干渉されるべき光の拡散方向において、レンズ手段の第2アレイの前段に、干渉されるべき光の複数の強度極大を生じさせ、
光を少なくとも部分的に、レンズ手段の第2アレイを介して通過させて入射させる方法において、
光をレンズ手段の第1アレイに入射させ通過させた後、フーリエ変換する第1レンズ手段を通過させて入射させて、
フーリエ変換された光の位相を少なくとも部分的な範囲で変えることを特徴とする光を干渉させる方法である。
本発明に従えば、これは、装置については、請求項1および/または11および/または11および/または16および/または22の特徴を有する、冒頭にて述べた方式の装置によって達成され、その利用については、請求項27および/または30に従った利用によって達成され、方法については、請求項31に従った方法によって達成される。従属請求項は本発明の好ましい実施形態に相当する。
本発明に従う装置は、特に、非常に速やかに、たとえば10-10秒の範囲において行うことが可能である、分解能の高い光の回折を行うことが可能である。それによって、たとえば光学式データ格納およびレーザテレビジョンの分野など、多様な用途が生まれる。
請求項1に従えば、位相変換手段の第1アレイは、干渉されるべき光の拡散方向において、第1レンズ手段の後段に設けられる。この場合、かかる装置は、第1レンズ手段との間に設けられる第2レンズ手段であって、第1レンズ手段と第2レンズ手段との間に第1位相変換手段が設けられる第2レンズ手段を有することが可能となる。特に、第1と第2レンズ手段によって、干渉させられるべき光のフーリエ変換が2回行われる。この場合、第1位相変換手段アレイは、実質的に、第1レンズ手段の出射側フーリエ面の範囲内および第2レンズ手段の入射側フーリエ面の範囲内に設けられる。これによって、たとえば、半導体レーザなどの帯域幅の比較的大きなレーザ光源の利用も可能となる。
本発明のさらなる特徴および利点は、添付の図面を参照して、以下に記載される好適な実施形態によって明確になる。
図中、より説明を分かりやすくするために、デカルト座標系が記載されている。
図1〜図4に図示された光を干渉させるための装置の実施形態は、第1レンズ手段2のアレイ1を有する。このレンズ手段2においては、Y方向に向けられた軸を有する、X方向に順に並んで設けられたシリンドリカルレンズとすることができる。このシリンドリカルレンズは、両凸レンズまたは平凸レンズとして形成することが可能である。さらにまた、それぞれ互いに対応する平凸レンズが形成される2つの基板を設けることが可能である。シリンドリカルレンズの代わりに球面レンズを利用することも可能である。
本発明に従う装置の図1〜図4に図示された実施形態は、さらにまた、位相変換手段4の第1アレイ3を有する。位相変換手段4は、X方向に順に並んで設けられる。図示された実施形態において、位相変換手段4の数は、レンズ手段2の数に対応する。位相変換手段4は、レンズ手段2の出射側焦点面に設けられ、したがって、光の拡散方向Zにおいて、レンズ手段2のそれぞれが、位相変換手段4のそれぞれと一列に並ぶ。X方向におけるレンズ手段2のそれぞれの幅、または位相変換手段4のそれぞれの幅は、図1においては、参照符号P1が付されている。レンズ手段2の第1アレイ1のX方向における幅は、同様にN11であって、この場合、N1はレンズ手段2の数である。
位相変換手段4は、たとえば電気光学変調器として、音響光学変調器として、または液晶変調器として形成することが可能である。
位相変換手段4の第1アレイ3の後段の光の拡散方向Zに、フーリエ変換要素として機能する第1レンズ手段5が設けられる。この第1レンズ手段5は、図示された実施形態においては、両凸レンズとして形成される。第1アレイ1のレンズ手段2の焦点面とフーリエ変換要素として機能するレンズ手段5との間の間隔は、レンズ手段5の焦点距離に相当する。レンズ手段2の第1アレイ1と第1レンズ手段5との間の距離も、F+f1となり、f1は第1アレイ1のレンズ手段2の焦点距離である。
装置上にZ方向に生じる光は、参照符号6が付されている。この光は、たとえば、正確にZ方向に伝播する平面波として形成することが可能である。しかしながら、レンズ手段2の第1アレイ1に、異なる方向からの1つまたは複数の波が生じる可能性もある。
光6は、レンズ手段2の第1アレイ1を通過した後、その焦点面において、複数のX方向に互いに離間された複数の部分光ビームに分割され、それらの部分光ビームは、そのX方向における広がりが、各位相変換手段4の幅よりも小さいビームくびれを有する。したがって、部分光ビームの位相変換手段4の通過が保証される。フーリエ変換要素として機能する第1レンズ手段5のアレイZ方向における出射側焦点面に、干渉されるべき光の、複数の、X方向に互いに間隔をあけた強度の極大値が生じる。図1において、第1レンズ手段5の出射側焦点面に、それぞれ対応する強度の最大値を有する部分光ビーム7,8が図示されている。
図1〜図4に図示された、かかる装置の実施形態は、さらにまた、レンズ手段10の第2アレイ9、および位相変換手段12の第2アレイ11を有している。その場合、レンズ手段10の第2アレイ9は、それぞれのレンズ要素15,16上の2つの基板13,14によって2段階構成をなし、平凸シリンドリカルレンズとして形成される。両凸レンズまたは凹凸シリンドリカルレンズとして形成することも可能である。異なる基板13,14上のZ方向におけるシリンドリカルレンズ15,16の距離は、光の拡散方向Zにおける第2基板14上のそれの焦点距離f2に相当してもよい。レンズ手段10の第2アレイ9は、ただ1つの基板を有してもよく、その場合、シリンドリカルレンズは、両凸レンズ、または平凸レンズ、または凹凸レンズとして形成することが可能である。
図1〜図4に従う実施形態において、2つの基板13,14には、互いにZ方向において間隔が設けられている。それらの間には、位相変換手段12の第2アレイ11が設けられている。また、位相変換手段12の第2アレイ11は、レンズ手段10の第2アレイ9の前段または後段に設けてもよい。
このレンズ手段10の場合、Y方向に向けられる軸線を有する、X方向において順に並んで設けられるシリンドリカルレンズとすることも可能である。
図示された実施形態において、位相変換手段12の数は、レンズ手段10の数に相当する。位相変換手段12は、光の拡散方向Zにおいて、レンズ手段10のそれぞれが位相変換手段12と列になるように設けられる。レンズ手段10のそれぞれ、または、位相変換手段12のそれぞれのX方向における幅は、図1においては、参照符号P2が付されている。したがって、レンズ手段10の第2アレイ9のX方向における幅は、N22であり、この場合N2は、第2アレイ9のレンズ手段10の数である。
フーリエ変換要素として機能する第1レンズ手段5を介して入射する強度極大の光が、Z方向において、レンズ手段10の第2アレイの少し前に生じる。この強度極大の光と第2アレイとの間の距離は、第1基板13上のレンズ要素15の焦点距離にほぼ相当してもよく、またはそれよりもいくらか小さくてもよく、または大きくてもよい。
図2〜図4において、同じ部分については図1と同じ参照符号が付されている。図2から明らかなように、入射光6として平らにZ方向に伝播する波と、活性化されない位相変換手段4,12の第1および第2アレイ3,11の場合、強度極大17は、レンズ手段10の第2アレイ9のレンズ手段10のレンズ要素15,16の頂点の前に拡散方向Zにおいて一列に設けられ、したがって、光は、概略的に図示された波面18がX方向に平行である、Z方向において平らな波として第2アレイ9を離れる。位相変換手段4,12は活性化されないので、光はフラウンホーファ領域においては回折されず、さらにまたZ方向正の方向に伝播される。
図3において、第1位相変換手段4は、電気光学変調器として形成され活性化される。位相変換手段4の後段には、図3においては、たとえば電気光学変調器に設けられる電位Uが示されている。図3において左最外縁に設けられた変調器には、電位が与えられず、右最外縁に設けられた変調器には比較的大きな電位が与えられる。これら両縁間に設けられた変調器は、左から右に段階的に電位が増大していく。
さらにまた、図3において、電位Uλ/2が記されているが、これは変調器によって生じる半波長λ分の光の電位に相当する。変調器として形成される位相変換手段4に印加される電位は、Uλ/2よりも小さいことを示しており、したがって、位相変換手段4によって作用する位相変化はλ/2よりも小さい。
位相変換手段4に印加される電位は、アレイ3から光がZ方向に対してある角度で出射する干渉効果に基づいて作用する。それに対応して、図に従えば、第1レンズ手段5によって、強度極大18は、図2に記された状態に対して左方に変位し、したがってそれはもはやレンズ要素15の頂点と一列にならない。この相対的に小さな変位によって、第2アレイ9のレンズ手段10の大きさが小さいために、または焦点距離が小さいために、レンズ手段10の第2アレイから出射する光とZ方向との間に比較的大きな角φが生じる。もっとも、出射する光の波面の順に隣接する各部は、位相差δl=(δφ/2π)λを有する(図3参照)。この位相差δlによって、光の各部分間の構造的干渉が生じる一定の方向においてのみ光がレンズ手段10の第2アレイ9から出射することができることになる。この状態は、格子の出口のところに似ている。
図4に示された状態の場合、さらに、位相変換手段12の第2アレイ11も活性化される。ここで、最大電位Uは右縁にあり、最低電位は左縁にある。これによって誘導される位相シフトによって、出射する光の波面の隣接する各部分は、同じ位相を示すことになり、したがって出射する光を任意の方向に回折させることができる。
図5〜図7は、電気光学変調器として実施される位相変換手段4,12のアレイ3,11の実施形態の1つを示す。図5に従う実施形態の場合、図5における変調器の後段側には、共通電極19が設けられ、前段側には複数の電極20が設けられている。電場はそれらの間にY方向に形成される。
図6に従う実施形態の場合、X方向外側の面上であって、2つの変調器要素間に、それぞれ電極21が設けられる。電場は、これらの電極間にX方向に形成される。
図7に従う実施形態は、電極20はZ方向に順に移動させて設けられていることを除いて、図5の実施形態に相当する。
図8〜図12および図14〜図16において、図1〜図4と同じ部分は同じ参照符号が付されている。同じ参照符号が付された部分は、図1〜図4と同じまたは似た方法で装置に設けられ、同じまたは似た機能を果たすことができる。
図8に従う装置の実施形態の場合、位相変換手段4の第1アレイ3は、レンズ手段2の第1アレイ1の領域に設けられるのではなく、フーリエ変換要素として機能する第1レンズ手段5の出射側焦点面に設けられる。かかる装置は、フーリエ変換要素として機能する第2レンズ手段22を有し、かかるレンズ手段22は、図1〜図4に従う実施形態における第1レンズ手段5と同じ距離をレンズ手段10の第2アレイ9に対して有している。位相変換手段4の第1アレイ3は、第2レンズ手段22の入射側焦点面に設けられる。
第1レンズ手段5の入射側焦点面は、レンズ手段2の第1アレイ1の出射側焦点面と一致する。図8において、たとえば両凸レンズとして実施される第1レンズ手段5の対応する焦点距離は、F1で示される。第1レンズ手段5の出射側焦点面は、第2レンズ手段22の入射側焦点面と一致する。図8においては、たとえば両凸レンズとして実施される第2レンズ手段22の対応する焦点距離は、F2で示されている。焦点距離F1とF2は、同じであってもよく、または互いに異なってもよい。
2次元の、第1レンズ手段5の入射側焦点面にある、干渉されるべき光の強度分布は、第1レンズ手段によってフーリエ変換される。第1レンズ手段5の入射側焦点面は、対象物面としても、対象物面における強度分布は対象物としてみることも可能である。入射側強度分布のフーリエ変換は、第1レンズ手段5の出射側焦点面で行われる。この出射側焦点面は、フーリエ変換要素として機能する第1レンズ手段5のフーリエ面に相当する。第1レンズ5によって、第1レンズ手段5の入射側焦点面における空間的強度分布が、フーリエ面における角度分布に変換される。これは、Z方向に関して、入射側焦点面または対象物面において同じ角度を示す部分光ビームが、フーリエ面において同じ箇所で重なり合うことを意味している。
フーリエ面における対象物のフーリエ変換は、第2レンズ手段22によってもう一度フーリエ変換され、したがって、第2レンズ手段22の出射側焦点面において、対象物の2度のフーリエ変換があり、したがって、対象物の像を示すことができる2次元強度分布がある。第2レンズ手段22の出射側焦点面は像面として表すことも可能である。
位相変換手段4の第1アレイ3は、図8に従う実施形態の場合、フーリエ面に正確に位置しており、したがって、位相変換手段4は、フーリエ変換の位相に直接的影響を及ぼすことができる。フーリエ変換が角度分布としてみなされるときには、位相変換手段4が、フーリエ変換の少なくとも個々の部分領域の拡散方向Zに対する角度を変えることが可能である。しかしながら、第2レンズ手段22の出射側焦点面に生じる強度分布に対する干渉が適切にされる。
フーリエ面における位相変換手段4の第1アレイ3をこのように配置することによって、干渉されるべき光について、たとえば、半導体レーザなどのような、比較的広帯域のレーザ光源の利用を可能にする。これは、レンズ手段5,22による2度のフーリエ変換とフーリエ面における位相干渉とによって、レンズ手段10の第2アレイ9の前段における強度極大17の、干渉されるべき光の波長には依存しない、または依存しても許容範囲内である正確な位置決めを保証することができることに基づいてもいる。
レンズ手段5および/またはレンズ手段22は、個々の両凸レンズとしてではなく、複数のレンズとして形成することが可能である。たとえば、互いに近接して並んで設けられる2つのレンズを利用することが可能である。このように順に並んで設けられるレンズは、フーリエ変換に関して、シングルレンズと同じ機能を果たすことが可能である。また、よく知られているように、レンズを二重にすることによって、像欠陥を回避することが可能である。
また、代わりに、レンズ手段を構成する各両凸レンズを、互いの間隔が、それらの焦点距離よりもいくらか小さい2つの同じレンズで代用することも可能であり、そのように追加してもよい。そうすることによって、フーリエ変換を行うことが可能なレンズシステムであって、フーリエ面が互いに近接した、すなわち、各レンズに直接隣接したレンズシステムが提供される。かかるレンズシステムについて、以下において、図10を参照して、詳細に説明する。
図9Aおよび図9Bに従う実施形態は、2回のフーリエ変換に関して、図8に従う実施形態に相当する。
しかしながら、図9Aおよび図9Bに従う実施形態の場合、レンズ手段の2つの第1アレイ1a,1bが設けられている。レンズ手段の第1アレイ1a,1bの図9Aおよび図9B左のアレイ1aは、その入射面とその出射面にそれぞれ1つのシリンドリカルレンズアレイを有し、それらシリンドリカルレンズの軸線はX方向に延びている。
さらにまた、図9Aおよび図9Bに従う実施形態の場合、レンズ手段の4つの第2アレイ9a1,9a2,9b1,9b2が設けられている。レンズ手段の第2アレイ9a1,9a2,9b1,9b2の内、図9Aおよび図9B左のアレイ9a1,9a2は、2つの互いに間隔をあけて設けられた光学的に機能する面上に、それぞれシリンドリカルレンズアレイがあり、それらシリンドリカルレンズの軸線はY方向に延びる。レンズ手段の第2アレイ9a1,9a2,9b1,9b2の内、図9Aおよび図9B右のアレイ9b1,9b2は、2つの互いに間隔をあけて設けられた光学的に機能する面上に、それぞれシリンドリカルレンズアレイがあり、それらシリンドリカルレンズの軸線はX方向に延びる。
さらにまた、図9Aおよび図9Bに従う実施形態の場合、位相変換手段の2つの第1アレイ3a,3bも設けられている。位相変換手段の第1アレイ3a,3bの内、図9Aおよび図9B左のアレイ3aは、干渉されるべき光の位相を、X方向に関して変えることが可能である。位相変換手段の第1アレイ3a,3bの内、図9Aおよび図9B右のアレイ3bは、干渉されるべき光の位相を、Y方向に関して変えることが可能である。
さらにまた、図9Aおよび図9Bに従う実施形態の場合、位相変換手段の2つの第2アレイ11a,11bも設けられている。位相変換手段の第1アレイ11a,11bの内、図9Aおよび図9B左のアレイ11aは、干渉されるべき光の位相を、X方向に関して変えることが可能である。位相変換手段の第1アレイ11a,11bの内、図9Aおよび図9B右のアレイ11bは、干渉されるべき光の位相を、Y方向に関して変えることが可能である。
レンズ手段の第2アレイ9a1と第2アレイ9a2との間およびレンズ手段の第2アレイ9b1と第2アレイ9b2との間に、位相変換手段の第2アレイ11a,11bのそれぞれが設けられている。これらの態様は、図10に従う実施例と関連させて、もう一度詳細に説明する。
図9Aおよび図9Bに従う実施形態における各光学構成部品の配置は、レンズ手段5,22によって、X方向に関して2回のフーリエ変換を、Y方向に関して2回のフーリエ変換を行うことが可能であるように選択される。第1レンズ手段5とレンズ手段の第1アレイ1a,1bとの間の距離はレンズ手段5の焦点距離Fに正確に一致するのではなく、左アレイ1aについてはF+Δx、右アレイ1bについてはF−Δyとなる。さらにまた、第2レンズ手段22とレンズ手段の第2アレイ9a1,9a2,9b1,9b2との間の距離はレンズ手段22の焦点距離Fに正確に一致するのではなく、アレイ9a1についてはF−Δx、アレイ9b1についてはF+Δyとなる。この場合、ΔxおよびΔyはFよりも小さい。
図10に従う実施形態は、フーリエ変換に関しては、図8、図9A、図9Bに従う実施形態に相当する。
図8、図9A、図9Bに従う実施形態と異なり、図10に従う実施形態の場合、レンズ手段5,22はレンズ群として実施される。特に、レンズ手段5は、それぞれ4つのレンズ5a,5b,5c,5d;22a,22b,22c,22dを有する。これらのレンズ5a,5b,5c,5d;22a,22b,22c,22dは、それぞれ順に直接並んだ5a,5b;5c,5d;22a,22b;22c,22dの組となっている。これらの組によって、各レンズに対向する同じ箇所における結像欠陥が回避される。さらにまた、2組のレンズはそれぞれ比較的互いに離れて設けられ、すなわち、たとえばレンズ5a,5bはレンズ5c,5dから離れている。レンズ組5a,5bとレンズ組5c,5dとの間の距離は、レンズ手段5のフーリエ面が、レンズ手段5,22の外側であって、レンズ手段5に近接して設けられるように選択される。これについては以下においてもう一度詳細に説明する。
さらにまた、図10にはレーザ48が示されている。このレーザから出射される光は、2つのミラー49,50を介して光学エキスパンション51に反射される。この光学エキスパンションは、レーザ48のレーザビームを、たとえば係数6だけ延ばすことができる。光学エキスパンション51に続いて、光は、たとえば25mmの円形状開口を有するアパーチャ絞り52を通り、レンズ手段の4つのアレイ(1a1,1a2,1b1,1b2)に入射する。これらのアレイ(1a1,1a2,1b1,1b2)は、図9Aおよび図9Bに従う実施形態の第2アレイ9a1,9a2,9b1,9b2に似て形成される。図10に従う実施形態の場合、アレイ1a1,1a2は、複数のシリンドリカルレンズを有し、これらのシリンドリカルレンズの軸線は、X方向に延びる。光の拡散方向においてそれに続くアレイ1b1,1b2には、複数のシリンドリカルレンズが設けられ、それらの軸線はY方向に延びる。
レンズ手段5の入射側フーリエ面は、たとえばアレイ1b1に設けられる。レンズ5a,5bを通過した後、光は、レンズ5c,5d上のミラー53,54によって反射される。レンズ5dの出射面に続いて、位相変換手段の2つの第1アレイ3a,3bの一方がある。これらのアレイ3aは、X方向に関して光の位相を変えることが可能である。位相変換手段の2つの第1アレイ3a,3bの該一方と、位相変換手段の2つの第1アレイ3a,3bの他方との間にλ/2板(二分の一波長板)55が設けられ、これは光の極性を90°回転させることが可能である。なぜなら位相変換手段アレイは極性依存性とすることが可能であるからである。位相変換手段の2つの第1アレイ3a,3bの該他方アレイ3bは、Y方向に関して、光の位相を変更可能である。レンズ5の出射側フーリエ面は、たとえばλ/2板55に設けられる。
λ/2板55には、第2レンズ手段22の入射側フーリエ面も設けられ、これは、光の拡散方向においてアレイ3bに続く。レンズ手段5の場合のように、レンズ手段22の場合、光は、レンズ22a,22bを通過した後、レンズ22c,22d上の2つのミラー56,57によって反射する。レンズ手段22に続いて、レンズ手段の第2アレイ9a1,9a2,9b1,9b2と、位相変換手段の第2アレイ11a,11bがあり、これらは、図9Aおよび図9Bに従う実施形態におけるように実施される。この場合、アレイ9a1,9a2には複数のシリンドリカルレンズが設けられ、該シリンドリカルレンズの軸線は、X方向に延びる。光の拡散方向においてそれに続くアレイ9b1,9b2には、複数のシリンドリカルレンズが設けられ、該シリンドリカルレンズの軸線は、Y方向に延びる。レンズ手段の第2アレイ9a1と第2アレイ9a2との間およびレンズ手段の第2アレイ9b1と第2アレイ9b2との間には、位相変換手段の第2アレイ11a,11bの一方がそれぞれ設けられている。さらにまた、アレイ9b1,9b2間には、λ/2板58が設けられ、該λ/2板58は光の極性を90°回転させる。レンズ手段22の出射側フーリエ面は、このλ/2板58に設けられる。
レンズ手段5,22による2回のフーリエ変換によって、X方向に関して、アレイ1b2の出射面の領域にある対象物面から、アレイ9b1の出射面の領域に設けられる像面に結像される。レンズ手段5,22による2回のフーリエ変換によって、Y方向に関して、アレイ1a2の出射面の領域にある対象物面から、アレイ9a1の出射面の領域に設けられる像面に結像される。
さらなるアパーチャ絞り59を通過した後、光は光学減衰器60に到達し、該光学減衰器は、干渉される光ビーム61の直径をたとえば係数6で減衰させることができる。光学減衰器60から出射した光ビームは、本発明に従う装置によって、たとえば±10°まで回折させることができる。
比較的大きな回折が所望されるとき、または、比較的高い分解能が所望されるときには、2またはそれ以上の装置を順に並べて配置される。
図11に従う装置は、さらなるレンズ手段23を有し、該レンズ手段23は、レンズ手段10の第2アレイ9の後段に設けられ、入射光を作動面に集光させることができる。この作動面には、たとえば、レーザテレビジョン用投影面または光学データ格納用記憶媒体が配置される。本発明に従う装置の分解能は、両アレイ1,9におけるレンズ手段2,10の数N1とN2との積となる。
図12は、レンズ手段2の第1アレイ1もレンズ手段10の第2アレイ9も2段方式で実施される構成を示す。この場合、たとえば、第1基板上のレンズ要素のシリンダ軸線は、第2基板上のレンズ要素のシリンダ軸線に垂直に設けることが可能である。さらにまた、一方基板上にシングルシリンドリカルレンズのみを設けることも可能であり、その場合、他方基板上にはシリンドリカルレンズアレイが設けられる。
図13は、一体的光学物としてのかかる装置の構成を示す。導波層を有する基板25上には、位相変換手段の第1および第2アレイ26,30が、たとえば電気光学変調器として形成される。レンズ手段の第1および第2アレイ27,29は、レンズ手段として、測地レンズを有する。フーリエ変換要素として機能する第1レンズ手段28も測地レンズとして形成される。
図14は、レンズ手段の第1および第2アレイ31,34上に互いに交差するシリンドリカルレンズを有する装置の斜視図である。特に、アレイ31,34のそれぞれの入射面上にY方向シリンドリカルレンズ軸線が延び、アレイ31,34のそれぞれの出射面上にX方向シリンドリカルレンズ軸線が延びる。位相変換手段のアレイ32,33は変調器の2次元配置として形成される。
図15に従う実施形態は、図1〜図4に従う実施形態とは異なって、レンズ手段10の第2アレイ9の後段に、光ビームをその横断面に関して小さくするために、望遠鏡35が設けられている。
図16に従う実施形態は、図11に従う装置のように、さらなるレンズ手段24を有し、該レンズ手段24は、レンズ手段10の第2アレイ9の後段に設けられている。図11に従う実施形態と異なって、図16に従う実施形態の場合、レンズ手段24の焦点面の後段にそれに近接してレンズ手段の第3アレイ37が設けられ、このアレイは、第1および/または第2アレイ1,9と同様に形成することが可能である。さらにまた、この領域に位相変換手段の第3アレイ38も設けられ、かかるアレイも第1および/または第2アレイ3,11と同様に形成することが可能である。さらにまた、位相変換手段の第1アレイ3に隣接して、位相変換手段のさらなるアレイ36を設けることも可能であり、かかるアレイは、個々の位相変換手段を通過して入射する光の強度に影響を及ぼすことが可能である。さらにまた、レンズ手段の第3アレイ37の後段に、出射する光の集光領域40への集光に寄与することができるさらなるレンズ手段を任意に設けてもよい。
レンズ手段の第3アレイ37と位相変換手段の第3アレイ38によって、2つの順に配設された装置について図10を用いてすでに説明したように、回折または回折の分解能を高めることが可能である。以下の説明においては、簡略化のために、レンズ手段の第1アレイ1と位相変換手段の第1アレイ3とは、第1段として、レンズ手段の第2アレイ9と位相変換手段の第2アレイ11とは第2段として、レンズ手段の第3アレイ37と位相変換手段の第3アレイ38とは、第3段として記載されている。
たとえば、レンズ手段の第1アレイ1は、開口数NA=0.01であって、ピッチが0.5mmである10のレンズを有することが可能である。フーリエレンズとして機能する第1レンズ手段5は、焦点距離を0.5mとすることが可能である。レンズ手段の第2アレイ9は、開口数NA=0.1であって、ピッチが0.5mmである10のレンズを有することが可能である。フーリエレンズとして機能する第2レンズ手段24は、焦点距離を0.05mとすることが可能である。レンズ手段の第3アレイ37は、開口数NA=0.1であって、ピッチが0.5mmである10のレンズを有することが可能である。
たとえば、波長0.5μm、直径5mmの平面波として形成される、第1段に入射する光ビームは、第1段を介して、拡散差1mradの10の平面波に分割される。第2段の出射部には、拡散差10mradの10の平面波がある。第3段がこれらの平面波を再び捉え、従って、第3段の出射部にて、直径5mm、回折限界ダイバージェンス0.1mradの光ビームが出射する。光ビームを回折することが可能である領域は、100mradに達する。この領域において分解される拡散方向の数は1000である。さらなる第3段によって、したがって、一方では最大回折角が高くすることが可能であり、かつ/または他方では回折分解能を高くすることが可能である。
本発明に従えば、さらに回折角を大きくし、かつ/または分解能を高めるために、3段以上にすることも可能である。
さらにまた、段の数を多くすることによって、位相変換手段のアレイの制御信号についてのS/N比に対する要件を低下させることが可能である。たとえば、多段装置の場合、1つの段を2つの段で置き換えることも可能である。1つの段において、100の異なる回折角間で切替えを行う場合、S/N比は100:1としなければならない。しかしながら、これを2段に分割すれば、各段において10の異なる回折角間での切替えが必要となり、したがって、必要なS/N比は10:1に低下される。
図16に従う実施形態の場合においても、図8、図9A、図9B、図10に従う実施形態と同様に、たとえば第1段および/または第2段および/または第3段において、少なくとも2つの、フーリエ変換要素として機能するレンズ手段を、レンズ手段の各アレイ間に設けることも可能であり、その場合、これらのレンズ手段の共通のフーリエ面の領域には、少なくとも1つの、位相変換手段のアレイを設けることが可能である。図8、図9A、図9B、図10から明らかなフーリエ変換要素として機能するレンズ手段の配置は、3段よりも多い場合でも可能である。
図16に従う装置の場合、強度極大48の間隔は、レンズ手段の第3アレイ37の前段にて変更することが可能である。この方法においては、装置からの焦点領域40の距離は変更することが可能である。したがって、たとえば、大容量のデータ格納または3次元レーザテレビジョンを可能とすることができる。
たとえば図8にある装置のように、本発明に従う2つの装置を順に設けることも可能であり、その場合、一方装置に対して他方装置は90°回転されている。したがって、光6の干渉または回折がまずX方向において可能となり、次いで、Y方向において可能となる。
さらにまた、1つの平面波の代わりに、異なる方向からの複数の平面波を、本発明に従う装置に入射させ、互いに独立して干渉させることも可能である。
図17は、双方向コミュテータとして、または、2つの複数チャンネルの光学データ伝送路間の双方向結合器としての利用を示す。電気光学変調器または各チャンネル42,46の強度干渉のためのポッケルセルは、参照符号41が付されている。本発明に従う装置の適切な実施形態は、参照符号44が付されている。装置44への、または、各チャンネル42,46への光のカップリングは、レンズ手段43,45を介して行われる。
光干渉装置を示す概略図である。 装置から出た光の概略的に描かれた波面とともに図1に従う装置を示す概略図である。 動作中の位相変換手段の第1アレイを有する図2に従う図である。 動作中の位相変換手段の第1および第2アレイを有する図2に従う図である。 位相変換手段のアレイの第1実施形態を示す概略図である。 位相変換手段のアレイの第2実施形態を示す概略図である。 位相変換手段のアレイの第3実施形態を示す概略図である。 装置から出た光の概略的に描かれた波面とともに本発明に従う装置の第1実施形態を示す概略図である。 本発明に従う装置の第2実施形態を示す概略図である。 図9Aに従う第2実施形態を90°回転させた図である。 本発明に従う装置の第3実施形態を示す概略図である。 光干渉装置の他の実施形態を示す概略図である。 光干渉装置の他の実施形態を示す概略図である。 光干渉装置の他の実施形態を示す概略図である。 光干渉装置の他の実施形態を示す概略図である。 光干渉装置の他の実施形態を示す概略図である。 光干渉装置の他の実施形態を示す概略図である。 2つの光伝送路を結合するための構成を示す概略図である。
符号の説明
1,1a,1b,1a1,1a2,1b1,1b2 レンズ手段の第1アレイ
2 レンズ手段
3,3a,3b 位相変換手段の第1アレイ
4 位相変換手段
5 第1レンズ手段
5a,5b,5c,5d レンズ
6 光
9,9a,9b,9a1,9a2,9b1,9b2 レンズ手段の第2アレイ
10 レンズ手段
11,11a,11b 位相変換手段の第2アレイ
12 位相変換手段
22 第2レンズ手段
22a,22b,22c,22d レンズ
23 レンズ手段
24 さらなるレンズ手段
35 望遠鏡
37 レンズ手段の第3アレイ
38 位相変換手段の第3アレイ
39 さらなるレンズ手段

Claims (31)

  1. 光干渉装置であって、
    干渉されるべき光(6)を少なくとも部分的に通過させることが可能なレンズ手段(2)の第1アレイ(1,1a,1b,1a1,1a2,1b1,1b2)と、
    光の位相を変えることが可能である位相変換手段(4)の第1アレイ(3,3a,3b)であって、レンズ手段(2)の第1アレイ (1,1a,1b,1a1,1a2,1b1,1b)の各レンズ手段(2)を通過して入射される第1アレイ(3,3a,3b)と、
    位相変換手段(4)の第1アレイ(3,3a,3b)を通過して入射される光を、少なくとも部分的に入射させることが可能であるレンズ手段(10)の第2アレイ(9,9a,9b,9a1,9a2,9b1,9b2)であって、レンズ手段(10)の第2アレイ(9,9a,9b,9a1,9a2,9b1,9b2)は、干渉されるべき光(6)の拡散方向(Z)において、レンズ手段(10)の第2アレイ(9,9a,9b,9a1,9a2,9b1,9b2)の前段、またはレンズ手段(10)の第2アレイ(9,9a,9b,9a1,9a2,9b1,9b2)の領域に、干渉されるべき光(6)の複数の強度極大(17)が生じ得るように該装置に設けられる第2アレイ(9,9a,9b,9a1,9a2,9b1,9b2)と、
    レンズ手段(2)の第1アレイ(1,1a,1b,1a1,1a2,1b1,1b2)とレンズ手段(10)の第2アレイ(9,9a,9b,9a1,9a2,9b1,9b2)との間に設けられる第1レンズ手段(5)とを有する光干渉装置において、
    位相変換手段(4)の第1アレイ(3,3a,3b)は、干渉されるべき光(6)の拡散方向(Z)において、第1レンズ手段(5)の後段に設けられることを特徴とする光干渉装置。
  2. 第2レンズ手段(22)を有し、該レンズ手段(22)は、第1レンズ手段(5)とレンズ手段(10)の第2アレイ(9,9a,9b,9a1,9a2,9b1,9b2)との間に設けられ、位相変換手段(4)の第1アレイ(3,3a,3b)は、第1レンズ手段(5)と第2レンズ手段(22)との間に設けられることを特徴とする請求項1記載の光干渉装置。
  3. 第1レンズ手段(5)および/または第2レンズ手段(22)は、干渉されるべき光(6)がフーリエ変換可能であるように装置に設けられることを特徴とする請求項1または2記載の光干渉装置。
  4. 位相変換手段(4)の第1アレイ(3,3a,3b)は、第1レンズ手段(5)の出射側フーリエ面もしくはその領域および/または第2レンズ手段(22)の入射側フーリエ面もしくはその領域に設けられることを特徴とする請求項3記載の光干渉装置。
  5. レンズ手段(2)の第1アレイ(1,1a,1b,1a1,1a2,1b1,1b2)の出射側焦点面は、第1レンズ手段(5)の入射側フーリエ面に相当し、または第1レンズ手段(5)の入射側フーリエ面の領域に設けられることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の光干渉装置。
  6. レンズ手段(10)の第2アレイ(9,9a,9b,9a1,9a2,9b1,9b2)の入射側焦点面は、第2レンズ手段(22)の出射側フーリエ面に相当し、または第2レンズ手段(22)の出射側フーリエ面の領域に設けられることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の光干渉装置。
  7. 第1レンズ手段(5)および第2レンズ手段(22)は、望遠鏡または望遠鏡状構造を形成することを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の光干渉装置。
  8. 第1レンズ手段(5)および第2レンズ手段(22)は、テレセントリック系を形成することを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の光干渉装置。
  9. 第1レンズ手段(5)および第2レンズ手段(22)は、第1レンズ手段(5)の出射側焦点面および第2レンズ手段(22)の入射側焦点面が互いに対応する、または同一の領域に設けられるように配置されることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の光干渉装置。
  10. 第1レンズ手段(5)および/または第2レンズ手段(22)は、複数のレンズ(5a,5b,5c,5d;22a,22b,22c,22d)を有することを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の光干渉装置。
  11. レンズ手段(2)の第1アレイ(1,1a,1b,1a1,1a2,1b1,1b2)および/またはレンズ手段(10)の第2アレイ(9,9a,9b,9a1,9a2,9b1,9b2)は、第1および第2光学機能境界面を示し、干渉されるべき光(6)の拡散方向(Z)において、相互に間隔をあけ、各境界面上にレンズ要素のアレイが形成されることを特徴とする請求項1〜10のいずれか1項に記載の光干渉装置。
  12. 干渉されるべき光(6)の拡散方向(Z)における、レンズ手段(2)の第1アレイ(1,1a,1b,1a1,1a2,1b1,1b2)および/またはレンズ手段(10)の第2アレイ(9,9a,9b,9a1,9a2,9b1,9b2)の第1および第2光学機能境界面間の距離は、第1および/または第2光学機能境界面のレンズ要素の焦点距離(f1)に相当することを特徴とする請求項11記載の光干渉装置。
  13. 装置は位相変換手段(12)の第2アレイ(11,11a,11b)を有し、該第2アレイは、干渉されるべき光(6)の拡散方向(Z)において、レンズ手段(10)の第2アレイ(9,9a,9b,9a1,9a2,9b1,9b2)の前段もしくは後段、またはレンズ手段(10)の第2アレイ(9,9a,9b,9a1,9a2,9b1,9b2)の領域に設けられることを特徴とする請求項1〜12のいずれか1項に記載の光干渉装置。
  14. 位相変換手段(4;12)の第1および/または第2アレイ(3,3a,3b;11,11a,11b)の異なる位相変換手段(4;12)を介して通過して入射される干渉されるべき光(6)の一部は、位相変換手段(4;12)において相互に異なる位相変換を受けることを特徴とする請求項1〜13のいずれか1項に記載の光干渉装置。
  15. 位相変換手段(4)の第1アレイ(3,3a,3b)は、干渉されるべき光(6)の拡散方向(Z)において、レンズ手段(2)の第1アレイ(1,1a,1b,1a1,1a2,1b1,1b2)の両光学機能境界面間に設けられ、かつ/または位相変換手段(12)の第2アレイ(11,11a,11b)は、干渉されるべき光(6)の拡散方向(Z)において、レンズ手段(10)の第2アレイ(9,9a,9b,9a1,9a2,9b1,9b2)の両光学機能境界面間に設けられることを特徴とする請求項11〜14のいずれか1項に記載の光干渉装置。
  16. 装置はレンズ手段のさらなる1つのアレイ(37)を少なくとも有し、該さらなるアレイを介して、レンズ手段(10)の第2アレイ(9,9a,9b,9a1,9a2,9b1,9b2)を介して通過して入射される光が少なくとも部分的に通過して入射することが可能であり、干渉されるべき光(6)の拡散方向(Z)において、レンズ手段のさらなる少なくとも1つのアレイ(37)の前段、またはレンズ手段のさらなる少なくとも1つのアレイ(37)の領域に、干渉されるべき光(6)の複数の強度極大(48)を生じ得るように、レンズ手段のさらなる少なくとも1つのアレイ(37)が装置に設けられ、または装置が構成されることを特徴とする請求項1〜15のいずれか1項に記載の光干渉装置。
  17. 装置はさらなるレンズ手段(24)を有し、レンズ手段(10)の第2アレイ(9,9a,9b,9a1,9a2,9b1,9b2)とレンズ手段のさらなる少なくとも1つのアレイ(37)との間に設けられることを特徴とする請求項16記載の光干渉装置。
  18. レンズ手段(10)の第2アレイ(9,9a,9b,9a1,9a2,9b1,9b2)の出射側焦点面は、さらなるレンズ手段(24)の入射側焦点面もしくはフーリエ面に相当し、またはさらなるレンズ手段(24)の入射側焦点面もしくはフーリエ面の領域に設けられることを特徴とする請求項17記載の光干渉装置。
  19. 装置は位相変換手段のさらなる少なくとも1つのアレイ(38)を有し、干渉されるべき光(6)の拡散方向(Z)において、レンズ手段のさらなる少なくとも1つのアレイ(37)の前段もしくは後段、またはレンズ手段のさらなる少なくとも1つのアレイ(37)の領域に設けられることを特徴とする請求項16〜18のいずれか1項に記載の光干渉装置。
  20. 装置はレンズ手段(23,39)を有し、干渉されるべき光(6)の拡散方向(Z)において、レンズ手段(10)の第2アレイ(9,9a,9b,9a1,9a2,9b1,9b2)の後段、またはレンズ手段のさらなる少なくとも1つのアレイ(37)の後段に設けられることを特徴とする請求項1〜19のいずれか1項に記載の光干渉装置。
  21. 装置は望遠鏡(35)を有し、干渉されるべき光(6)の拡散方向(Z)において、レンズ手段(10)の第2アレイ(9,9a,9b,9a1,9a2,9b1,9b2)の後段、またはレンズ手段のさらなる少なくとも1つのアレイ(37)の後段に設けられることを特徴とする請求項1〜20のいずれか1項に記載の光干渉装置。
  22. レンズ手段(2)の第1アレイ(1,1a,1b,1a1,1a2,1b1,1b2)のレンズ手段(2)、および/またはレンズ手段(10)の第2アレイ(9,9a,9b,9a1,9a2,9b1,9b2)のレンズ手段、および/またはレンズ手段のさらなる少なくとも1つのアレイ(37)のレンズ手段は、シリンドリカルレンズとして形成されることを特徴とする請求項1〜21のいずれか1項に記載の光干渉装置。
  23. レンズ手段(2)の第1アレイ(1,1a,1b,1a1,1a2,1b1,1b2)、および/またはレンズ手段(10)の第2アレイ(9,9a,9b,9a1,9a2,9b1,9b2)、および/またはレンズ手段のさらなる少なくとも1つのアレイ(37)の、第1および第2光学機能境界面上に設けられるレンズ要素の軸線は、相互に直交もしくは平行に設けられることを特徴とする請求項22記載の光干渉装置。
  24. レンズ手段のアレイ(27,29)のうちの1または複数、および/または位相変換手段のアレイ(26,30)のうちの1または複数、および/またはレンズ手段(28)のうちの1または複数は、一体的な光学素子として形成されることを特徴とする請求項1〜23のいずれか1項に記載の光干渉装置。
  25. レンズ手段のアレイ(27,29)のうちの1または複数のレンズ手段(28)は、測地レンズとして形成されることを特徴とする請求項1〜24のいずれか1項に記載の光干渉装置。
  26. 位相変換手段のアレイ(3,3a,3b,11,11a,11b)のうちの1または複数の位相変換手段(4,12)は、電気光学変調器もしくは音響光学変調器として、または液晶変調器として形成されることを特徴とする請求項1〜25のいずれか1項に記載の光干渉装置。
  27. 装置は光ビーム回折装置として使用されることを特徴とする請求項1〜26のいずれか1項に記載の光干渉装置の使用。
  28. 装置は、レーザテレビジョンの分野において使用されることを特徴とする請求項27記載の使用。
  29. 装置は、データ格納の分野において使用されることを特徴とする請求項27記載の使用。
  30. 装置は、コミュテータとして使用されることを特徴とする請求項1〜26のいずれか1項に記載の光干渉装置の使用。
  31. 特に、請求項1〜26のいずれか1項に記載の光干渉装置を使用して、光(6)を干渉させる方法であって、
    光(6)をレンズ手段(2)の第1アレイ(1,1a,1b,1a1,1a2,1b1,1b2)を介して少なくとも部分的に通過させて入射させ、
    レンズ手段(2)の第1アレイ(1,1a,1b,1a1,1a2,1b1,1b2)の各レンズ手段を介して通過して入射される光の位相を少なくとも部分的な範囲で変え、
    干渉されるべき光(6)の拡散方向(Z)において、レンズ手段(10)の第2アレイ(9,9a,9b,9a1,9a2,9b1,9b2)の前段に、干渉されるべき光(6)の複数の強度極大(17)を生じさせ、
    光を少なくとも部分的に、レンズ手段(10)の第2アレイ(9,9a,9b,9a1,9a2,9b1,9b2)を介して通過させて入射させる方法において、
    光をレンズ手段(2)の第1アレイ(1,1a,1b,1a1,1a2,1b1,1b2)に入射させ通過させた後、フーリエ変換する第1レンズ手段(3,3a,3b)を通過させて入射させて、
    フーリエ変換された光の位相を少なくとも部分的な範囲で変えることを特徴とする光を干渉させる方法。
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