JP2007156182A - Spacer arranging method and liquid crystal display device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a spacer arranging method in which a plurality of predetermined single spacers are arranged at respective places on a substrate, and also to provide a liquid crystal display device by the same. <P>SOLUTION: The spacer arranging method includes a sticking stage of sticking spacer-containing liquid 20 which contains coupling spacers 230 formed by previously coupling a plurality of single spacers and a fixing stage of fixing the coupling spacers 230 in the stuck spacer-containing liquid on the substrate 100. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、スペーサ配置方法及び液晶表示装置に関する。   The present invention relates to a spacer arrangement method and a liquid crystal display device.

液晶ディスプレイ等の製造において、ヘッド容器内のスペーサ含有液をそのヘッド容器の開口から液滴として吐出し、基板の所望の場所に付着させるスペーサ配置方法が知られている。液滴付着後にこの液滴を乾燥させることにより、液滴中のスペーサが基板上に固着される。   In manufacturing a liquid crystal display or the like, a spacer arrangement method is known in which a spacer-containing liquid in a head container is ejected as droplets from the opening of the head container and adhered to a desired location on a substrate. By drying the droplets after the droplets are attached, the spacers in the droplets are fixed on the substrate.

このようにしてスペーサを基板上に配置する場合には、吐出される液滴中のスペーサの個数を、例えば、1個等の予め定められた個数とし、その予め定められた個数のスペーサを基板上の所望の場所に配置させることが望まれる。   When the spacers are arranged on the substrate in this way, the number of spacers in the ejected droplets is set to a predetermined number, for example, one, and the predetermined number of spacers is set to the substrate. It is desirable to place it in the desired location above.

従来は、スペーサ含有液中に単一スペーサを均一に分散させると共に、スペーサ含有液中の単一スペーサの濃度等を適切に調節することにより、ヘッド容器の開口から吐出される液滴中の単一スペーサの個数をほぼ1個程度に調節していた。
特開2004−145101号公報
Conventionally, a single spacer is uniformly dispersed in a spacer-containing liquid, and the concentration of the single spacer in the spacer-containing liquid is appropriately adjusted, whereby a single spacer in a droplet discharged from the opening of the head container is used. The number of one spacer was adjusted to about one.
JP 2004-145101 A

ところで、最近では、基板上の1つの場所に、例えば、2個、3個、4個、5個、6個程度の予め定められた複数個の単一スペーサを配置することが要求される場合がある。この場合、吐出される一つの液滴中に予め定められた複数個の単一スペーサを含有させることが必要となる。   By the way, recently, when it is required to arrange a plurality of predetermined single spacers, for example, 2, 3, 4, 5, 6 in one place on the substrate. There is. In this case, it is necessary to include a plurality of predetermined single spacers in one discharged droplet.

しかしながら、液滴中に予め定められた複数個の単一スペーサを高精度に含ませることは困難であった。例えば、単一スペーサが分散したスペーサ含有液中のスペーサ濃度を、1つの液滴中に平均4個の単一スペーサが含まれるような濃度に調整しても、単一スペーサを4個含まない液滴、例えば、単一スペーサを1個又は0個含む液滴等がかなりの確率で生成されてしまう。したがって、基板上の1つの場所に所定の複数個の単一スペーサを配置することが困難であった。   However, it has been difficult to accurately include a plurality of predetermined single spacers in a droplet. For example, even if the spacer concentration in the spacer-containing liquid in which single spacers are dispersed is adjusted to a concentration such that an average of four single spacers are included in one droplet, four single spacers are not included. Droplets, such as those containing one or zero single spacers, are generated with considerable probability. Therefore, it is difficult to arrange a predetermined plurality of single spacers at one place on the substrate.

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、予め定められた複数個の単一スペーサを基板上の各場所に配置できるスペーサ配置方法及びこれにより得られる液晶表示装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and provides a spacer arrangement method capable of arranging a plurality of predetermined single spacers at various locations on a substrate, and a liquid crystal display device obtained thereby. Objective.

本発明に係るスペーサの配置方法は、複数の単一スペーサを予め結合してなる結合スペーサを含むスペーサ含有液を基板上に付着させる付着工程と、付着したスペーサ含有液中の結合スペーサを基板に固着させる固着工程と、を備える。   The spacer arrangement method according to the present invention includes an adhesion step of adhering a spacer-containing liquid containing a bonding spacer formed by previously bonding a plurality of single spacers onto a substrate, and the bonding spacer in the adhering spacer-containing liquid on the substrate. An adhering step for adhering.

本発明によれば、複数の単一スペーサを予め結合してなる結合スペーサがスペーサ含有液中に含まれるので、固着工程によりこの結合スペーサがそのまま基板に固着することとなる。したがって、結合スペーサにおける単一スペーサの個数を適切に調節することにより、所定の複数個の単一スペーサを基板上の各場所に容易に配置することができる。   According to the present invention, since the bonding spacer formed by previously bonding a plurality of single spacers is included in the spacer-containing liquid, the bonding spacer is directly fixed to the substrate by the fixing process. Therefore, by appropriately adjusting the number of single spacers in the coupling spacer, a predetermined plurality of single spacers can be easily arranged at each location on the substrate.

ここで、付着工程では、スペーサ含有液の液滴を形成し、当該液滴を基板上に付着させることが好ましい。   Here, in the attaching step, it is preferable to form droplets of the spacer-containing liquid and attach the droplets onto the substrate.

スペーサ含有液においては、結合スペーサがそれぞれあたかも1つの粒子として振舞う。したがって、スペーサ含有液中における結合スペーサ濃度を適切に調整することにより、形成される液滴中に1つの結合スペーサを含有させることは、結合せずに分散する単一スペーサを液滴中に所定の複数個含有させることよりもはるかに容易である。   In the spacer-containing liquid, each binding spacer behaves as one particle. Therefore, by appropriately adjusting the concentration of the combined spacer in the spacer-containing liquid, including one combined spacer in the formed droplets allows a single spacer to be dispersed without being bonded in the droplet. It is much easier than containing a plurality of these.

特に、付着工程では、基板に対して相対的に移動可能なヘッド容器の開口から基板に向かって液滴を吐出することが好ましい。   In particular, in the attaching step, it is preferable to discharge droplets toward the substrate from the opening of the head container that can move relative to the substrate.

これによれば、基板上の所望の各場所に容易にスペーサ含有液の液滴を配置できる。   According to this, it is possible to easily dispose the spacer-containing liquid droplets at each desired location on the substrate.

一方、付着工程では、基板に対して前記スペーサ含有液の液滴を噴霧してもよい。また、付着工程では、スペーサ含有液の液膜を基板上に形成してもよい。   On the other hand, in the attaching step, the spacer-containing liquid droplets may be sprayed on the substrate. In the attaching step, a liquid film of the spacer-containing liquid may be formed on the substrate.

これらによれば、簡易にスペーサ含有液の液膜や液滴を基板上に付着させられる。   According to these, the liquid film or droplet of the spacer-containing liquid can be easily attached on the substrate.

また、固着工程ではスペーサ含有液を乾燥させることが好ましい。   Moreover, it is preferable to dry the spacer containing liquid in the fixing step.

スペーサ含有液を乾燥させると、スペーサ含有液中の結合スペーサを基板に容易に固着させられる。   When the spacer-containing liquid is dried, the bonding spacer in the spacer-containing liquid can be easily fixed to the substrate.

特に、結合スペーサの表面が樹脂により形成されている、又は、結合スペーサの表面に基板と結合可能な官能基が結合されていると、スペーサ周りの液体を乾燥させることによって極めて良好にスペーサを基板に対して固着できる。   In particular, when the surface of the bonding spacer is formed of a resin, or when the functional group capable of bonding to the substrate is bonded to the surface of the bonding spacer, the spacer is very well formed by drying the liquid around the spacer. It can be fixed against.

一方、結合スペーサの表面が光の照射により硬化する樹脂により形成されている場合には、固着工程において、スペーサ含有液中の結合スペーサを基板の表面と接触させた状態で、結合スペーサに対して光を照射することも好ましい。   On the other hand, when the surface of the bonding spacer is formed of a resin that is cured by light irradiation, in the fixing process, the bonding spacer in the spacer-containing liquid is in contact with the surface of the substrate with respect to the bonding spacer. It is also preferable to irradiate light.

これによれば、スペーサ含有液中において基板と接触している結合スペーサの表面が光により硬化するので、スペーサ含有液を乾燥させること無く結合スペーサを基板に固着させることができる。   According to this, since the surface of the coupling spacer in contact with the substrate in the spacer-containing liquid is cured by light, the coupling spacer can be fixed to the substrate without drying the spacer-containing liquid.

また、固着工程では、基板の一部のみにマスクを介して光を照射することにより基板の一部の上に存在するスペーサ含有液中の結合スペーサを基板に固着させることもできる。   Further, in the fixing step, only the part of the substrate is irradiated with light through the mask, so that the bonding spacer in the spacer-containing liquid existing on the part of the substrate can be fixed to the substrate.

これによれば、基板の一部、すなわち、所望の場所の上に存在するスペーサ含有液中の結合スペーサを選択的に基板に固着させられて好ましい。この場合、赤外光により液滴を乾燥させてもよく、また、結合スペーサ硬化用の光により結合スペーサを硬化させて固着させてもよい。   According to this, it is preferable that a part of the substrate, that is, the bonding spacer in the spacer-containing liquid existing on a desired place is selectively fixed to the substrate. In this case, the droplets may be dried by infrared light, or the coupling spacer may be cured and fixed by light for curing the coupling spacer.

また、結合スペーサが、単一スペーサ同士を熱可塑性のバインダにより予め結合したものである場合や、各単一スペーサの表面が熱可塑性樹脂により形成されており、結合スペーサは、単一スペーサの表面同士を予め加熱により直接結合させたものであることが好ましい。このような結合スペーサは製造が容易である。   In addition, when the coupling spacer is a single spacer previously bonded with a thermoplastic binder, or the surface of each single spacer is formed of a thermoplastic resin, and the bonding spacer is a surface of the single spacer. It is preferable that they are directly bonded together by heating. Such a coupling spacer is easy to manufacture.

また、このような結合スペーサを用いた場合には、固着工程の後に、基板上に結合スペーサを介して他の基板を重ねる、重ね工程をさらに備え、重ね工程において結合スペーサを加熱することができる。   In addition, when such a coupling spacer is used, after the fixing process, another substrate is stacked on the substrate via the coupling spacer, and the coupling spacer can be heated in the stacking process. .

この場合、結合スペーサが加熱される事により各結合スペーサにおける単一スペーサの再配列が可能となるので、特に、4つ以上の単一スペーサを結合した立体的な結合スペーサを基板に固着させた場合でも、一対の基板間において結合スペーサの各単一スペーサが一層分の厚みに再配置させられ、基板間、例えば、カラーフィルタと駆動基板との間の間隔の均一化が容易に行える。   In this case, since the bonding spacers are heated, the single spacers in each bonding spacer can be rearranged. In particular, a three-dimensional bonding spacer in which four or more single spacers are bonded is fixed to the substrate. Even in this case, the single spacers of the coupling spacers are rearranged to a thickness corresponding to one layer between the pair of substrates, so that the distance between the substrates, for example, the color filter and the driving substrate can be easily made uniform.

本発明に係る液晶表示装置は、画素電極を有する液晶駆動基板と、液晶駆動基板と対向配置されたカラーフィルタと、液晶駆動基板とカラーフィルタとの間に配置されたスペーサと、を備え、スペーサは単一スペーサを複数結合してなる結合スペーサである。   A liquid crystal display device according to the present invention includes a liquid crystal driving substrate having pixel electrodes, a color filter disposed opposite to the liquid crystal driving substrate, and a spacer disposed between the liquid crystal driving substrate and the color filter. Is a coupling spacer formed by coupling a plurality of single spacers.

このような液晶表示装置は、結合スペーサを有するので、スペーサが移動しにくく、さらに、局部加圧によるスペーサのつぶれも起り難くなる。   Since such a liquid crystal display device has a coupling spacer, the spacer is difficult to move, and further, the spacer is not easily crushed by local pressure.

本発明によれば、予め定められた複数個の単一スペーサを基板上の各場所に配置でき、優れた液晶表示装置が実現可能である。   According to the present invention, a plurality of predetermined single spacers can be arranged at various locations on the substrate, and an excellent liquid crystal display device can be realized.

以下、本発明に係るスペーサの配置方法及び液晶表示装置の好適な実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、図面の説明においては、同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。また、図面においては、寸法比率は説明のものとは必ずしも一致していない。   Hereinafter, preferred embodiments of a spacer arranging method and a liquid crystal display device according to the present invention will be described with reference to the drawings. In the description of the drawings, the same elements are denoted by the same reference numerals, and redundant descriptions are omitted. In the drawings, the dimensional ratio does not necessarily match that described.

(第1実施形態)
本発明においては、複数の単一スペーサを結合してなる結合スペーサを作成し、結合スペーサを含有するスペーサ含有液をヘッドの開口から液滴として吐出してカラーフィルタ上に付着させ、液滴を乾燥させ、その後、カラーフィルタ上にTFT基板を載せる。以下、詳細に説明する。
(First embodiment)
In the present invention, a combined spacer formed by combining a plurality of single spacers is prepared, and a spacer-containing liquid containing the combined spacer is ejected as droplets from the opening of the head and adhered onto the color filter. Then, the TFT substrate is placed on the color filter. Details will be described below.

(結合スペーサ作成工程)
まず、図1の(a)に示すように、単一スペーサ220を用意する。単一スペーサ220の材料は特に限定されないが、例えば、シリカ等の珪素酸化物粒子や、シリコン変性ポリマー等のプラスチック粒子等を使用できる。また、単一スペーサ220の粒径も特に限定されず、例えば、粒径1〜7μm程度とすることができる。
(Bonding spacer creation process)
First, as shown in FIG. 1A, a single spacer 220 is prepared. The material of the single spacer 220 is not particularly limited, and for example, silicon oxide particles such as silica, plastic particles such as silicon modified polymer, and the like can be used. Further, the particle size of the single spacer 220 is not particularly limited, and can be, for example, about 1 to 7 μm.

なお、単一スペーサ220の表面がポリマー等の樹脂により形成されている、又は、単一スペーサの表面に、TFT基板表面に形成され液晶を配向させる配向膜や、カラーフィルタ(特に配向膜)に対して結合可能な官能基、例えば、エポキシ基、グリシジル基、オキセタン基、酸無水物基、ラクトン基、アミド基、カルボキシル基等が結合されているとカラーフィルタとの固着力を強くできて好ましい。   In addition, the surface of the single spacer 220 is formed of a resin such as a polymer, or an alignment film formed on the surface of the TFT substrate on the surface of the single spacer to align liquid crystal, or a color filter (particularly an alignment film). It is preferable that a functional group that can be bonded to, for example, an epoxy group, a glycidyl group, an oxetane group, an acid anhydride group, a lactone group, an amide group, a carboxyl group, or the like can be bonded to the color filter to increase the adhesion. .

例えば、単一スペーサ220の表面が樹脂により形成されていると、後述する乾燥時の熱等により単一スペーサとカラーフィルタやTFT基板表面の配向膜との固着性をより高められる。樹脂としては、例えば、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、及び、光の照射により硬化する樹脂、例えば、可視光線硬化樹脂、紫外線硬化性樹脂、赤外線硬化樹脂等が挙げられる。ここで、単一スペーサ全体が樹脂から形成されていても、表層のみが樹脂から形成されていてもよい。また、単一スペーサの表面に上述の官能基がついていても、官能基とカラーフィルタやTFT基板表面の配向膜との化学的結合等により単一スペーサ220とカラーフィルタやTFT基板表面の配向膜との固着性を高められる。さらに、光の照射により硬化する樹脂の場合には、当該光の照射によりカラーフィルタやTFT基板表面の配向膜と固着させることも可能である。   For example, when the surface of the single spacer 220 is formed of resin, the adhesion between the single spacer and the color filter or the alignment film on the surface of the TFT substrate can be further enhanced by heat or the like during drying described later. Examples of the resin include a thermoplastic resin, a thermosetting resin, and a resin that is cured by light irradiation, such as a visible light curable resin, an ultraviolet curable resin, and an infrared curable resin. Here, even if the whole single spacer is formed from resin, only the surface layer may be formed from resin. Even if the surface of the single spacer has the above-mentioned functional group, the single spacer 220 and the alignment film on the surface of the color filter or TFT substrate are formed by chemical bonding between the functional group and the alignment film on the surface of the color filter or TFT substrate. It can improve the adhesion. Further, in the case of a resin that is cured by light irradiation, it can be fixed to the color filter or the alignment film on the surface of the TFT substrate by the light irradiation.

続いて、複数の単一スペーサ220を結合して図1の(b)〜(f)に示すように、結合スペーサ230を作成する。結合スペーサ230が含む単一スペーサ220の個数は、複数であれば良く、例えば、2個、3個、4個、6個等である。   Subsequently, a plurality of single spacers 220 are combined to form a combined spacer 230 as shown in FIGS. The number of the single spacers 220 included in the coupling spacer 230 may be plural, for example, 2, 3, 4, 6, etc.

結合スペーサ230の製造方法は特に限定されないが、公知の造粒方法が使用できる。具体的には、例えば、皿型造粒機や、流動層造粒コーティング装置、スプレードライヤーを応用した造粒装置等を用いることができる。また、液中に分散剤を溶解させ、固着用の樹脂(溶解させてもスペーサより小さく分散させてもよい)とスペーサ(スペーサに固着剤が化学的に処理されていてもよい)を分散させた後、溶液の溶解度パラメータを変化させ造粒してもよい。また、上記溶液を乾燥(凍結乾燥でもよい)させた後、粉砕し分級して大きさをそろえてもよい。   Although the manufacturing method of the joint spacer 230 is not specifically limited, A well-known granulation method can be used. Specifically, for example, a dish type granulator, a fluidized bed granulation coating apparatus, a granulation apparatus using a spray dryer, or the like can be used. Also, a dispersing agent is dissolved in the liquid, and a fixing resin (which may be dissolved or dispersed smaller than the spacer) and a spacer (the fixing agent may be chemically treated in the spacer) are dispersed. Then, the solubility parameter of the solution may be changed and granulated. Alternatively, the solution may be dried (may be freeze-dried), and then pulverized and classified to obtain the same size.

特に、バインダを使用することにより、単一スペーサ220の材質を問わず結合スペーサ230を好適に形成することができる。バインダは特に限定されないが、特に、熱可塑性バインダを用いることが好ましい。熱可塑性バインダとしては、例えば、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエーテル樹脂、ポリオレフィンワックス、ポリビニルピロリドン、酢酸ビニル樹脂、ポリビニルエーテル樹脂等、スペーサ含有液に対して殆ど(LCDの信頼性に影響を与えない程度)又は全く溶解しない樹脂等が挙げられる。また、このような樹脂に対して、熱を加えることにより粒子と反応するような官能基を付与したり、液晶の配向乱れを防止するような官能基を持たせてもよい。バインダ235により3つの単一スペーサ220同士を結合した結合スペーサ230の例を図1の(b)に示す。   In particular, by using a binder, the coupling spacer 230 can be suitably formed regardless of the material of the single spacer 220. The binder is not particularly limited, but it is particularly preferable to use a thermoplastic binder. As thermoplastic binder, for example, acrylic resin, polyester resin, polyether resin, polyolefin wax, polyvinyl pyrrolidone, vinyl acetate resin, polyvinyl ether resin, etc., almost no spacer-containing liquid (does not affect LCD reliability) Degree) or a resin that does not dissolve at all. Further, such a resin may be provided with a functional group that reacts with particles by applying heat, or a functional group that prevents alignment disorder of the liquid crystal. An example of a coupling spacer 230 in which three single spacers 220 are coupled by a binder 235 is shown in FIG.

また、バインダを用いないで結合スペーサ230を形成することもできる。例えば、単一スペーサ220の表面が熱可塑性樹脂により形成されている場合には、これらの単一スペーサ220を加熱しながら攪拌する等によって単一スペーサ220の表面同士を直接結合させることができ、バインダを使用しないでも結合スペーサ230の生成が可能である。   Further, the coupling spacer 230 can be formed without using a binder. For example, when the surfaces of the single spacers 220 are formed of a thermoplastic resin, the surfaces of the single spacers 220 can be directly bonded to each other by stirring the single spacers 220 while heating, The coupling spacer 230 can be generated without using a binder.

バインダ235を用いずに単一スペーサ220同士を結合してなる結合スペーサ230の例を図1の(c)〜(f)に示す。図1の(b)及び(d)は3個の単一スペーサ220を結合した結合スペーサ230、図1の(c)は2個の単一スペーサ220を結合した結合スペーサ230、図1の(e)は4個の単一スペーサ220を結合した結合スペーサ230、図1の(f)は6個の単一スペーサ220を結合した結合スペーサ230の一例である。   Examples of the coupling spacer 230 formed by coupling the single spacers 220 without using the binder 235 are shown in FIGS. 1 (b) and 1 (d) are coupling spacers 230 in which three single spacers 220 are coupled, FIG. 1 (c) is a coupling spacer 230 in which two single spacers 220 are coupled, and FIG. e) is an example of a coupling spacer 230 in which four single spacers 220 are coupled, and FIG. 1F is an example of a coupling spacer 230 in which six single spacers 220 are coupled.

ここで、上述の如き造粒方法により形成した結合スペーサ230の集合物において、各結合スペーサ230が有する単一スペーサ220の数はそれほど均一にはならないので、造粒後の結合スペーサ230の集合物を分級することが好ましい。分級方法は特に限定されないが、例えば、液中でのマルチサイクロンや静置等の比重差による造粒粒子の沈降を利用した分級方法や、ハイドロダイナミッククロマトグラフィーなどを利用した分級方法、メッシュ、篩、メンブラン等を利用した分級方法が挙げられ、これにより、所定の複数個の単一スペーサ220を結合してなる結合スペーサ230を高い割合で含む結合スペーサ230の集合物を得ることができる。   Here, in the aggregate of the coupling spacers 230 formed by the granulation method as described above, the number of the single spacers 220 included in each coupling spacer 230 is not so uniform, so the aggregate of the coupling spacers 230 after granulation. Is preferably classified. The classification method is not particularly limited. For example, a classification method using sedimentation of granulated particles due to a specific gravity difference such as multi-cyclone or standing in liquid, a classification method using hydrodynamic chromatography, mesh, sieve And a classification method using a membrane or the like. By this, it is possible to obtain an aggregate of coupling spacers 230 including a high proportion of coupling spacers 230 formed by coupling a plurality of predetermined single spacers 220.

具体的には、例えば、個数基準において、全結合スペーサ230中に、予め定められた複数個の単一スペーサ220を結合してなる結合スペーサ230が90%以上、好ましくは95%以上含むようなシャープな分布を示す結合スペーサ230の集合物を作成することが好ましい。   Specifically, for example, on a number basis, the total number of coupling spacers 230 including a plurality of predetermined single spacers 220 is 90% or more, preferably 95% or more. It is preferable to create an aggregate of coupling spacers 230 that exhibits a sharp distribution.

そして、このようにして得られた結合スペーサ230の集合物を、スペーサキャリア液中に分散させ、結合スペーサ230が分散したスペーサ含有液を得る。ここでは、結合スペーサ230をあたかも1つの粒子として液中に分散させる。なお、スペーサ含有液中における結合スペーサ230の濃度は、ヘッド容器の開口(詳しくは後述)から吐出される液滴の体積V中に概ね1つの結合スペーサ230が含まれるような濃度に調節する。本実施形態では、図1の(d)の如き3つのスペーサが結合した結合スペーサを含むスペーサ含有液を使った場合について説明する。   And the aggregate | assembly of the coupling spacer 230 obtained in this way is disperse | distributed in a spacer carrier liquid, and the spacer containing liquid in which the coupling spacer 230 was disperse | distributed is obtained. Here, the coupling spacer 230 is dispersed in the liquid as if it were one particle. Note that the concentration of the coupling spacer 230 in the spacer-containing liquid is adjusted to a concentration such that one coupling spacer 230 is included in the volume V of the liquid droplets ejected from the opening (described later in detail) of the head container. In the present embodiment, a case will be described in which a spacer-containing liquid including a combined spacer in which three spacers are combined as shown in FIG.

なお、結合スペーサ230が分散されるスペーサキャリア液11としては、例えば、水とIPAの混合液等が利用できる。また、必要に応じて分散剤を用いることもできる。   As the spacer carrier liquid 11 in which the bonding spacer 230 is dispersed, for example, a mixed liquid of water and IPA can be used. Moreover, a dispersing agent can also be used as needed.

(配置工程)
続いて、図2に示すようなスペーサ配置装置1を用いて、スペーサ含有液12から液滴200を形成し、この液滴をカラーフィルタ100の表面に付着させる。
(Arrangement process)
Subsequently, a droplet 200 is formed from the spacer-containing liquid 12 using the spacer arrangement device 1 as shown in FIG. 2, and the droplet is attached to the surface of the color filter 100.

まず、スペーサ配置装置1及びカラーフィルタ100の実施例について説明する。   First, examples of the spacer arrangement device 1 and the color filter 100 will be described.

(スペーサ配置装置)
このスペーサ配置装置1は、ヘッド装置41から上方のカラーフィルタ100に対してスペーサ含有液をそれぞれ噴射して、カラーフィルタ100の下面にスペーサ含有液の液滴を付着させる装置である。
(Spacer placement device)
The spacer arrangement device 1 is a device that ejects a spacer-containing liquid from the head device 41 to the upper color filter 100 and attaches droplets of the spacer-containing liquid to the lower surface of the color filter 100.

スペーサ配置装置1は、主として、スペーサ含有液12を攪拌する攪拌槽20と、攪拌槽20内から供給されるスペーサ含有液12を上方のカラーフィルタ100に向けて液滴200として噴射するヘッド装置41と、カラーフィルタ100をヘッド装置41の上方で移動させる基板移動ユニット80と、ヘッド装置41や基板移動ユニット80等を制御するコントローラ90と、を主として備えている。   The spacer arrangement device 1 mainly includes a stirring tank 20 that stirs the spacer-containing liquid 12, and a head device 41 that ejects the spacer-containing liquid 12 supplied from the stirring tank 20 toward the upper color filter 100 as droplets 200. And a substrate moving unit 80 that moves the color filter 100 above the head device 41 and a controller 90 that controls the head device 41, the substrate moving unit 80, and the like.

ヘッド装置41は、カラーフィルタ100の幅方向に延在した箱状をなすヘッド容器42を有している。ヘッド容器42の上面には開口37が所定のピッチ37Pで多数一列に並んで形成されている。開口37の配列方向はカラーフィルタの幅方向と平行であり、カラーフィルタの移動方向と垂直である。   The head device 41 has a box-like head container 42 extending in the width direction of the color filter 100. A large number of openings 37 are formed in a row at a predetermined pitch 37P on the upper surface of the head container. The arrangement direction of the openings 37 is parallel to the width direction of the color filter and is perpendicular to the moving direction of the color filter.

ここで、開口37の径は、例えば、10〜50μm程度とすることができる。また、開口37のピッチ37Pは、例えば、100μm程度とすることができる。   Here, the diameter of the opening 37 can be, for example, about 10 to 50 μm. Further, the pitch 37P of the openings 37 can be set to, for example, about 100 μm.

ヘッド容器42内には上から順にハンマー52及びピエゾ素子54が設けられている。ピエゾ素子54の底部はヘッド容器42の底部に固定されている。また、ピエゾ素子54は、コントローラ90に接続されており、コントローラ90からの信号に応じて上下に伸縮する。ハンマー52はピエゾ素子54上に固定されている。ハンマー52の上面は各開口37に対して下から対向すると共に各開口37に対して所定間隔離間している。   A hammer 52 and a piezo element 54 are provided in the head container 42 in order from the top. The bottom of the piezo element 54 is fixed to the bottom of the head container 42. The piezo element 54 is connected to the controller 90 and expands and contracts in accordance with a signal from the controller 90. The hammer 52 is fixed on the piezo element 54. The upper surface of the hammer 52 faces each opening 37 from below and is spaced apart from each opening 37 by a predetermined distance.

そして、ピエゾ素子54が、コントローラ90からの信号により上方に伸びると、ハンマー52が上方に動く。したがって、開口37近傍のスペーサ含有液12がハンマー52の上端面52dによって開口37から押し出され、上方に向かってスペーサ含有液12の液滴200が噴射される。   When the piezo element 54 extends upward in response to a signal from the controller 90, the hammer 52 moves upward. Accordingly, the spacer-containing liquid 12 in the vicinity of the opening 37 is pushed out of the opening 37 by the upper end surface 52d of the hammer 52, and the droplet 200 of the spacer-containing liquid 12 is ejected upward.

攪拌槽20はモータ17aにより回転する攪拌翼17を備え、前述の結合スペーサ230が分散しているスペーサ含有液12を攪拌して結合スペーサ230をスペーサキャリア液11中に分散させる。なお、攪拌強度は、結合スペーサ230の結合が破壊されないような強度とする。   The agitation tank 20 includes an agitation blade 17 rotated by a motor 17a, and agitates the spacer-containing liquid 12 in which the above-described coupling spacer 230 is dispersed to disperse the coupling spacer 230 in the spacer carrier liquid 11. The stirring strength is set to a strength that does not break the bonding of the bonding spacer 230.

ヘッド容器42の一端はラインL1により攪拌槽20と接続されている。また、ヘッド容器42の他端は、循環ポンプ70を備えるラインL2により攪拌槽20と接続されている。循環ポンプ70は、ヘッド容器42内のスペーサ含有液を吸引し攪拌槽20内に排出する。これに対応して、攪拌槽20内のスペーサ含有液12がラインL1を介してヘッド容器42内に供給される。   One end of the head container 42 is connected to the stirring tank 20 by a line L1. The other end of the head container 42 is connected to the agitation tank 20 by a line L2 including a circulation pump 70. The circulation pump 70 sucks the spacer-containing liquid in the head container 42 and discharges it into the stirring tank 20. Correspondingly, the spacer-containing liquid 12 in the stirring tank 20 is supplied into the head container 42 via the line L1.

基板移動ユニット80は、基板吸引部82と基板移動部84とを有している。基板吸引部82は、ヘッド装置41の上方でカラーフィルタ100を静電気や減圧等によって吸引してカラーフィルタ100を支持する。ここでは、カラーフィルタ100の上膜160(詳しくは後述)の窪み部160aが下向きかつ開口37の配列方向と平行となるように基板吸引部82がカラーフィルタ100を支持する。   The substrate moving unit 80 includes a substrate suction unit 82 and a substrate moving unit 84. The substrate suction unit 82 supports the color filter 100 by sucking the color filter 100 above the head device 41 by static electricity or reduced pressure. Here, the substrate suction unit 82 supports the color filter 100 so that the depressions 160 a of the upper film 160 (described later in detail) of the color filter 100 are directed downward and parallel to the arrangement direction of the openings 37.

また、基板移動部84は、カラーフィルタ100を吸引した基板吸引部82をカラーフィルタ移動方向、すなわち、カラーフィルタの幅方向と直交する方向に水平に移動させる。すなわち、カラーフィルタ100とヘッド装置41の開口37とは、カラーフィルタ100の表面に沿って、相対的に移動することとなる。また、基板移動部84は、カラーフィルタ100をカラーフィルタの幅方向にも所定距離動かせるようになっており、カラーフィルタ100のアラインメントが可能となっている。基板移動部84としては、カラーフィルタ100を高精度に移動可能なリニアモータ式のものが好ましい。   The substrate moving unit 84 horizontally moves the substrate suction unit 82 that has sucked the color filter 100 in the color filter moving direction, that is, the direction orthogonal to the width direction of the color filter. That is, the color filter 100 and the opening 37 of the head device 41 move relatively along the surface of the color filter 100. Further, the substrate moving unit 84 can move the color filter 100 in the width direction of the color filter by a predetermined distance so that the color filter 100 can be aligned. The substrate moving unit 84 is preferably a linear motor type that can move the color filter 100 with high accuracy.

コントローラ90は、予め定められたプログラムに基づいて処理を行うコンピュータ装置であり、基板移動ユニット80、ピエゾ素子54、循環ポンプ70、及び、モータ17aに接続され、これらの駆動を制御する。   The controller 90 is a computer device that performs processing based on a predetermined program. The controller 90 is connected to the substrate moving unit 80, the piezo element 54, the circulation pump 70, and the motor 17a, and controls the driving thereof.

(カラーフィルタ)
続いて、液滴が付着されるべき基板としてのカラーフィルタの一例について図3を参照して説明する。液滴200が配置されるべきカラーフィルタ100は、透明基板110、ブラックマトリクス120、赤色着色部130R、緑色着色部130G、青色着色部130B、上膜160を備えている。
(Color filter)
Next, an example of a color filter as a substrate to which droplets are to be attached will be described with reference to FIG. The color filter 100 in which the droplet 200 is to be disposed includes a transparent substrate 110, a black matrix 120, a red coloring portion 130R, a green coloring portion 130G, a blue coloring portion 130B, and an upper film 160.

透明基板110は、ガラス等から形成された透明な平板である。   The transparent substrate 110 is a transparent flat plate made of glass or the like.

ブラックマトリクス120は、可視光を遮光する材料からなる膜である。ブラックマトリクス120の材料としては、例えば、クロム、クロム/酸化クロム等の金属系材料や、樹脂材料等が挙げられる。このブラックマトリクス120は格子形状又はストライプ形状をなし、多数の開口120pを形成している。ブラックマトリクスの幅120Wは、例えば、5〜30μm程度とすることができる。また、ブラックマトリクスの高さ120Hは、例えば0.1〜2μm程度とすることができる。   The black matrix 120 is a film made of a material that blocks visible light. Examples of the material of the black matrix 120 include metal materials such as chromium and chromium / chromium oxide, and resin materials. The black matrix 120 has a lattice shape or a stripe shape, and has a large number of openings 120p. The width 120W of the black matrix can be set to about 5 to 30 μm, for example. The height 120H of the black matrix can be set to about 0.1 to 2 μm, for example.

赤色着色部130R、緑色着色部130G、青色着色部130Bは、それぞれ、ブラックマトリクス120の各開口120p内に順に配置されている。赤色着色部130R、緑色着色部130G、青色着色部130Bは、それぞれ、各色の可視光を選択的に透過可能な透明着色材料からなり、例えば、透明着色樹脂を使用できる。各着色部130R,130G,130Bの幅130Wは、例えば、5〜100μmとすることができる。各着色部130R,130G,130Bの高さ130Hは、例えば、1〜2μmとすることができる。   The red coloring portion 130 </ b> R, the green coloring portion 130 </ b> G, and the blue coloring portion 130 </ b> B are sequentially arranged in each opening 120 p of the black matrix 120. Each of the red coloring portion 130R, the green coloring portion 130G, and the blue coloring portion 130B is made of a transparent coloring material that can selectively transmit visible light of each color. For example, a transparent coloring resin can be used. The width 130W of each coloring part 130R, 130G, 130B can be 5-100 micrometers, for example. The height 130H of each coloring part 130R, 130G, 130B can be set to 1 to 2 μm, for example.

ここで、各着色部130R,130G,130Bの高さ130Hは、ブラックマトリクス120の高さ120Hよりも十分に高くされている。   Here, the height 130H of the colored portions 130R, 130G, and 130B is sufficiently higher than the height 120H of the black matrix 120.

そして、これらの各着色部130R,130G,130B及びブラックマトリクス120上に亘って上膜160が形成されている。この上膜160は、透明基板110側から順に、必要に応じて設けられる透明平坦化膜(不図示)、透明電極膜140、及び配向膜150等を有する積層体である。   An upper film 160 is formed over the colored portions 130R, 130G, and 130B and the black matrix 120. The upper film 160 is a laminated body having a transparent flattening film (not shown), a transparent electrode film 140, an alignment film 150, and the like that are provided in order from the transparent substrate 110 side.

透明電極膜140は、液晶ディスプレイ駆動用の液晶駆動基板の画素電極(詳しくは後述)に対向配置されるべき共通電極であり、ITO等の透明な導電材料により形成される。透明電極膜140の厚みは、例えば、約0.1μm程度である。   The transparent electrode film 140 is a common electrode that should be disposed facing a pixel electrode (described later in detail) of a liquid crystal driving substrate for driving a liquid crystal display, and is formed of a transparent conductive material such as ITO. The thickness of the transparent electrode film 140 is, for example, about 0.1 μm.

配向膜150は、液晶を所望の方向に配向させるものであり、例えば、ポリイミド等の樹脂材料等により形成できる。配向膜150の厚みは、例えば、約0.1μm程度である。   The alignment film 150 aligns the liquid crystal in a desired direction, and can be formed of, for example, a resin material such as polyimide. The thickness of the alignment film 150 is, for example, about 0.1 μm.

そして、ブラックマトリクス120の上面と、各着色部130R,130G,130Bの上面と、の段差に対応して、カラーフィルタ100の表面、すなわち、上膜160の表面においては、ブラックマトリクス120上に窪み部160aが形成されている。ブラックマトリクス120は格子状又はストライプ状であり、この窪み部160aは、ブラックマトリクス120に沿う溝形状となっている。また、各着色部130R,130G,130Bのブラックマトリクス120側の端部はそれぞれ盛り上がっている。   Then, corresponding to the level difference between the upper surface of the black matrix 120 and the upper surfaces of the colored portions 130R, 130G, and 130B, the surface of the color filter 100, that is, the surface of the upper film 160 is depressed on the black matrix 120. A portion 160a is formed. The black matrix 120 has a lattice shape or a stripe shape, and the recessed portion 160 a has a groove shape along the black matrix 120. Further, the end portions of the colored portions 130R, 130G, and 130B on the black matrix 120 side are raised.

このようなカラーフィルタ100は、例えば、透明基板110上に、フォトリソグラフィー法等によってブラックマトリクス120を形成した後、ブラックマトリクス120の開口120pに、フォトリソグラフィー法等によって順次各着色部130R,130G,130Bをブラックマトリクス120よりもそれぞれ高くなるように形成し、その後、ブラックマトリクス120及び各着色部130R,130G,130B上にスパッタリング法や蒸着法等によって所定の厚みの透明電極膜140を形成し、透明電極膜140の上にさらにポリイミド樹脂等の配向膜材料を所定の厚み塗布して固化し、その表面をラビングして配向膜150とすることにより容易に得られる。   For example, such a color filter 100 is formed by forming the black matrix 120 on the transparent substrate 110 by a photolithography method or the like and then sequentially forming the colored portions 130R, 130G, and the like in the openings 120p of the black matrix 120 by the photolithography method or the like. 130B is formed to be higher than the black matrix 120, and then a transparent electrode film 140 having a predetermined thickness is formed on the black matrix 120 and the colored portions 130R, 130G, and 130B by a sputtering method, a vapor deposition method, and the like. Further, an alignment film material such as polyimide resin is applied on the transparent electrode film 140 to a predetermined thickness to be solidified, and the surface thereof is rubbed to form the alignment film 150.

(液滴吐出及び付着)
続いて、液滴の吐出及び付着工程について説明する。本実施形態では、図2に示すように、カラーフィルタ100をカラーフィルタ移動方向に移動させつつ、ヘッド容器42の各開口37から液滴200を繰り返し吐出し、複数の液滴200からなる行(ライン)を基板表面に繰り返し付着(図3参照)させることにより、図4及び図5に示すように、カラーフィルタ100の表面に複数の液滴200をマトリクス状に付着させる。
(Droplet ejection and adhesion)
Next, the droplet ejection and adhesion process will be described. In the present embodiment, as shown in FIG. 2, while moving the color filter 100 in the color filter moving direction, the droplet 200 is repeatedly ejected from each opening 37 of the head container 42, and the rows (a plurality of droplets 200 ( By repeatedly attaching (line) to the substrate surface (see FIG. 3), as shown in FIGS. 4 and 5, a plurality of droplets 200 are attached to the surface of the color filter 100 in a matrix.

ここでは、基板移動ユニット80及びピエゾ素子54を制御することにより、上膜160の表面のうちの窪み部160a上に液滴200が付着するようにカラーフィルタ100の移動を制御する。各窪み部160a上における液滴200のピッチ37Pは、ヘッド容器42の開口37のピッチ37Pに対応する。   Here, the movement of the color filter 100 is controlled by controlling the substrate moving unit 80 and the piezo element 54 so that the droplet 200 adheres to the depression 160a in the surface of the upper film 160. The pitch 37 </ b> P of the droplets 200 on each recess 160 a corresponds to the pitch 37 </ b> P of the openings 37 of the head container 42.

カラーフィルタ100上における液滴200の径は、例えば、50〜100μm程度とすることができる。したがって、液滴200の体積Vは、例えば、10〜100pL程度となる。ここで、前述のとおり、ヘッド容器42内のスペーサ含有液12中の結合スペーサ230の濃度は、液滴200の体積V中に結合スペーサ230が概ね1つ、例えば、0.9〜1.1個程度含まれる濃度とされている。したがって、ヘッド容器42の開口37から吐出される液滴200の殆どには、図3〜図5に示すように、結合スペーサ230を1つのみ含んでいる。   The diameter of the droplet 200 on the color filter 100 can be, for example, about 50 to 100 μm. Therefore, the volume V of the droplet 200 is, for example, about 10 to 100 pL. Here, as described above, the concentration of the coupling spacer 230 in the spacer-containing liquid 12 in the head container 42 is approximately one coupling spacer 230 in the volume V of the droplet 200, for example, 0.9 to 1.1. The concentration is about one. Therefore, most of the droplets 200 discharged from the opening 37 of the head container 42 include only one coupling spacer 230 as shown in FIGS.

そして、各結合スペーサ230は、所望の複数個の単一スペーサ220を結合したものであるため、所定の複数個の単一スペーサ220がカラーフィルタ上の所望の場所に配置されることとなる。   Since each coupling spacer 230 is a combination of a desired plurality of single spacers 220, a predetermined plurality of single spacers 220 are arranged at desired locations on the color filter.

ここで、液滴200中に結合スペーサが概ね1つ含まれることについて図6を参照して詳しく説明する。図6は、スペーサ含有液12中に結合スペーサ230を単一粒子として分散させ、この結合スペーサ230の濃度を、A:液滴の体積V中に約1個、及び、B:液滴の体積V中に約3個となるように設定した場合に、それぞれ、実際に吐出される1つの液滴200中に含まれる結合スペーサ230の個数の頻度分布を示すグラフの一例である。また、このグラフは、スペーサ含有液12中に単一スペーサ220を単一粒子として分散させ、この単一スペーサ220の濃度を、A:液滴の体積V中に約1個、及び、B:液滴の体積V中に約3個となるように設定した場合に、それぞれ、実際に吐出される1つの液滴200中に含まれる単一スペーサ220の個数の頻度分布を示すグラフでもある。   Here, the fact that approximately one coupling spacer is included in the droplet 200 will be described in detail with reference to FIG. FIG. 6 shows a case where the bonding spacer 230 is dispersed as a single particle in the spacer-containing liquid 12, and the concentration of the bonding spacer 230 is approximately 1 in A: the volume V of the droplet, and B: the volume of the droplet. FIG. 6 is an example of a graph showing the frequency distribution of the number of coupling spacers 230 included in one droplet 200 that is actually ejected when it is set to be about three in V. FIG. Further, this graph shows that the single spacer 220 is dispersed as a single particle in the spacer-containing liquid 12, and the concentration of the single spacer 220 is about 1 in A: the volume V of the droplet, and B: It is also a graph showing the frequency distribution of the number of single spacers 220 included in one droplet 200 that is actually ejected when the number of droplets is set to about 3 in the volume V of the droplet.

従来のようにスペーサ含有液12中に単一スペーサ220を単一粒子として分散させた場合には、図6のBのように、スペーサ含有液12中の単一スペーサ220の濃度を、液滴の体積V中に3個の単一スペーサ220が含まれる濃度に設定しても、液滴200中の単一スペーサ220の個数の頻度分布はブロードになってしまい、液滴200中の単一スペーサ220の数は大きくばらつきやすくなる。   When the single spacer 220 is dispersed as a single particle in the spacer-containing liquid 12 as in the prior art, the concentration of the single spacer 220 in the spacer-containing liquid 12 is determined as a droplet as shown in FIG. Even if the concentration is set so that three single spacers 220 are included in the volume V of the liquid, the frequency distribution of the number of single spacers 220 in the droplet 200 becomes broad and the single in the droplet 200 is single. The number of spacers 220 tends to vary greatly.

ところが、本実施形態のように、予め定められた複数個の単一スペーサ220を結合してなる結合スペーサ230を単一粒子としてスペーサ含有液12に分散させた場合には、この結合スペーサ230があたかも1つの粒子として振舞う。そして、スペーサ含有液12中における結合スペーサ230の濃度を、液滴の体積V中に結合スペーサ230が概ね1つ含まれる濃度に設定すると、図6のAに示すように、吐出される液滴200中にかなりの確率で結合スペーサ230を1つのみ含有させることができる。これは、スペーサ含有液12中に単一スペーサ220を単一粒子として分散させ、単一スペーサ220の濃度を液滴の体積V中に単一スペーサ220が1つ含有する濃度に設定すると、比較的高精度に液滴200中に1つの単一スペーサ220が含まれるようになることと共通する。   However, when the bonding spacer 230 formed by combining a plurality of predetermined single spacers 220 as a single particle is dispersed in the spacer-containing liquid 12 as in this embodiment, the bonding spacer 230 is It behaves as if it is one particle. When the concentration of the coupling spacer 230 in the spacer-containing liquid 12 is set to a concentration at which one coupling spacer 230 is contained in the volume V of the droplet, as shown in FIG. Only one coupling spacer 230 can be included in the 200 with considerable probability. This is because when the single spacer 220 is dispersed as a single particle in the spacer-containing liquid 12 and the concentration of the single spacer 220 is set to a concentration of one single spacer 220 in the droplet volume V, the comparison is made. This is in common with the fact that one single spacer 220 is included in the droplet 200 with high accuracy.

したがって、本実施形態によれば、所定の複数個の単一スペーサ220を含む液滴200をカラーフィルタ100上の各場所に配置できる。   Therefore, according to the present embodiment, the droplet 200 including a predetermined plurality of single spacers 220 can be arranged at each location on the color filter 100.

(固着工程)
続いて、このような液滴200中の結合スペーサ230をカラーフィルタ100に固着させる。固着方法は特に限定されず、例えば、赤外線ランプ等による加熱や、送風等による乾燥法が挙げられる。液滴200を乾燥させると、図7に示すように、液滴200中の結合スペーサ230がカラーフィルタ100上に固着する。このときに、通常、結合スペーサ230の各単一スペーサ220間の結合はほとんど破壊されない。
(Fixing process)
Subsequently, the coupling spacer 230 in the droplet 200 is fixed to the color filter 100. The fixing method is not particularly limited, and examples thereof include heating with an infrared lamp and the like, and drying methods such as blowing. When the droplet 200 is dried, the coupling spacer 230 in the droplet 200 is fixed on the color filter 100 as shown in FIG. At this time, normally, the coupling between the single spacers 220 of the coupling spacer 230 is hardly broken.

ここで、図4に点線で示すように、意図しない場所に液滴200Aが付着してしまった場合等に、意図しない場所へ結合スペーサ230Aが固着することを防止すべく、図8に示すように、窪み部160aやブラックマトリクス120に対応する部分が開口OPとされたマスクMを介してカラーフィルタ100に対して赤外線を照射すると好ましい。そうすると、図9に示すように、開口OPに対応する部分上の液体が乾燥し当該場所において選択的に結合スペーサ230が固着する一方、赤外線が照射されない液滴200Aは乾燥しないので、カラーフィルタ100における意図したところ以外に結合スペーサ230Aが固着することを極めて効率よく抑制できる。この場合、所望の結合スペーサ230を固着させた後に、図10に示すように、カラーフィルタの表面にノズル480から液体、例えば、スペーサ含有液の溶媒等を流下させると、固着しなかった結合スペーサ230Aのみをカラーフィルタ上から除去することができる。なお、ガス等により吹き飛ばすことや、液中に浸漬することにより、未固着の結合スペーサ230Aを除去してもよい。   Here, as shown by a dotted line in FIG. 4, in order to prevent the coupling spacer 230 </ b> A from adhering to an unintended place when the droplet 200 </ b> A adheres to an unintended place, as shown in FIG. 8. In addition, it is preferable to irradiate the color filter 100 with infrared rays through a mask M in which portions corresponding to the depressions 160a and the black matrix 120 are openings OP. Then, as shown in FIG. 9, the liquid on the portion corresponding to the opening OP is dried and the coupling spacer 230 is selectively fixed at the place, while the droplet 200 </ b> A that is not irradiated with infrared rays is not dried. It is possible to extremely effectively prevent the coupling spacer 230A from being fixed other than intended. In this case, after the desired coupling spacer 230 is fixed, as shown in FIG. 10, when a liquid such as a solvent of a spacer-containing liquid is caused to flow down from the nozzle 480 to the surface of the color filter, the coupling spacer that has not been fixed. Only 230A can be removed from the color filter. Note that the non-fixed coupling spacer 230A may be removed by blowing off with a gas or the like or immersing in a liquid.

なお、乾燥により固着させる過程において、液滴200が上向きの様態で行っても下向きの状態で行っても、最終的に、結合スペーサ230の各単一スペーサ220がカラーフィルタ100に接触することとなる。本実施形態では、特に、3つの単一スペーサを結合した結合スペーサ230を用いており、通常、乾燥後に、結合スペーサ230のいずれの単一スペーサ220ともカラーフィルタ100の表面に接触する、すなわち、固着時には、結合スペーサ230の高さは単一スペーサ220の高さと同じとなる。   In the process of fixing by drying, regardless of whether the droplet 200 is in an upward state or a downward state, each single spacer 220 of the coupling spacer 230 finally comes into contact with the color filter 100. Become. In the present embodiment, in particular, a coupling spacer 230 in which three single spacers are coupled is used. Usually, after drying, any single spacer 220 of the coupling spacer 230 contacts the surface of the color filter 100, that is, At the time of fixing, the height of the coupling spacer 230 is the same as the height of the single spacer 220.

また、乾燥以外の方法により結合スペーサを固着させることもできる。たとえば、結合スペーサ230の表面が光の照射により硬化する樹脂、例えば、可視光線硬化樹脂、紫外線硬化樹脂、赤外線硬化樹脂等である場合には、液滴200中の結合スペーサ230がカラーフィルタ100の表面に接触した状態で、当該樹脂を硬化させる光を照射することにより、結合スペーサ230をカラーフィルタ10上に固着できる。この場合は、乾燥は必ずしも必要はない。また、意図しないところへ結合スペーサ230Aが固着することを抑制すべく、マスクMを介して光を照射することが好ましい。また、未固着の結合スペーサ230Aは前述のようにして除去すればよい。   Also, the bonding spacer can be fixed by a method other than drying. For example, when the surface of the coupling spacer 230 is a resin that is cured by light irradiation, such as a visible light curable resin, an ultraviolet curable resin, an infrared curable resin, or the like, the coupling spacer 230 in the droplet 200 is the color filter 100. The coupling spacer 230 can be fixed onto the color filter 10 by irradiating light that cures the resin in contact with the surface. In this case, drying is not always necessary. Further, it is preferable to irradiate light through the mask M in order to prevent the coupling spacer 230A from adhering to an unintended place. Further, the unfixed coupling spacer 230A may be removed as described above.

なお、硬化による固着と同時、又は、硬化による固着の後に、マスクMを介してカラーフィルタ100に対して赤外線を照射し、結合スペーサ230G周りの液体を乾燥させて結合スペーサ230Gとカラーフィルタ100との固着力を増加させることも可能である。   At the same time as fixing by curing, or after fixing by curing, the color filter 100 is irradiated with infrared rays through the mask M, and the liquid around the coupling spacer 230G is dried to bond the coupling spacer 230G and the color filter 100. It is also possible to increase the fixing force.

(駆動基板の重ね工程)
つづいて、図11に示すように、カラーフィルタ100上に、結合スペーサ230を介して画素電極402(例えばTFT素子等)を有する液晶駆動基板400を載せる。液晶駆動基板400は、ガラス基板401上に、画素電極402や配向膜403等を設けたものである。
(Drive substrate stacking process)
Subsequently, as shown in FIG. 11, a liquid crystal driving substrate 400 having a pixel electrode 402 (for example, a TFT element) is mounted on the color filter 100 via a coupling spacer 230. The liquid crystal driving substrate 400 is obtained by providing a pixel electrode 402, an alignment film 403, and the like on a glass substrate 401.

そして、カラーフィルタ100液晶駆動基板400との間が、従来のように、1つの単一スペーサ220によるのではなく、より精度良く数がコントロールされた複数の単一スペーサ220の集合体である結合スペーサ230によりそれぞれ支持されることになるので、パネルGAPが均一になり表示がきれいになる。また、集合体であるため、スペーサが移動しにくくなり、また、局部加圧によりスペーサがつぶれることも起りにくい。   In addition, the connection between the color filter 100 and the liquid crystal driving substrate 400 is not a single spacer 220 as in the prior art, but a combination of a plurality of single spacers 220 whose number is controlled with higher accuracy. Since they are respectively supported by the spacers 230, the panel GAP becomes uniform and the display becomes clean. Moreover, since it is an aggregate | assembly, it becomes difficult to move a spacer, and it is hard to occur that a spacer is crushed by local pressurization.

この後、液晶駆動基板400とカラーフィルタ100との間に液晶を充填すれば液晶表示装置300が完成する。なお、カラーフィルタ100上に液晶駆動基板400を載せる前にカラーフィルタ100上に液晶を滴下してもよい。   Thereafter, if the liquid crystal is filled between the liquid crystal driving substrate 400 and the color filter 100, the liquid crystal display device 300 is completed. Note that the liquid crystal may be dropped on the color filter 100 before the liquid crystal driving substrate 400 is placed on the color filter 100.

上述のように、本実施形態によれば、複数の単一スペーサ220を結合してなる結合スペーサ230を含むスペーサ含有液12を用いているので、スペーサ含有液12においては、結合スペーサ230がそれぞれあたかも1つの粒子として振舞う。そして、スペーサ含有液12中における結合スペーサ230の濃度を調整することにより、吐出される液滴200中におおむね1つの結合スペーサ230を含有させることが容易である。したがって、従来に比して、高精度に、所定の複数個の単一スペーサ220がカラーフィルタの所望の場所に配置される。   As described above, according to the present embodiment, the spacer-containing liquid 12 including the coupling spacer 230 formed by coupling a plurality of single spacers 220 is used. It behaves as if it is one particle. Then, by adjusting the concentration of the coupling spacer 230 in the spacer-containing liquid 12, it is easy to contain one coupling spacer 230 in the discharged droplet 200. Therefore, the predetermined plurality of single spacers 220 are arranged at desired positions of the color filter with higher accuracy than in the past.

(第2実施形態)
続いて、第2実施形態について説明する。本実施形態では、図1における(e)のように4つの結合スペーサが立体的に結合した結合スペーサ230を用いる。この場合、上述のような液滴の付着及び乾燥後に、図12に示すような状態となる。そして、その後、カラーフィルタ100上にカラーフィルタ100を重ね、カラーフィルタ100と液晶駆動基板400とで結合スペーサ230を挟むことにより結合スペーサ230に対して所定の応力を与え、結合スペーサ230の各単一スペーサ220間の結合を解除させて、結合スペーサ230を構成していた各単一スペーサ220を1層に再配列させる。これにより、図11のように、カラーフィルタ100と液晶駆動基板400との距離が単一スペーサ220の高さによって規定されることとなる。
(Second Embodiment)
Next, the second embodiment will be described. In the present embodiment, as shown in FIG. 1E, a coupling spacer 230 in which four coupling spacers are sterically coupled is used. In this case, the state shown in FIG. 12 is obtained after the droplets are attached and dried as described above. After that, the color filter 100 is overlaid on the color filter 100, and the coupling spacer 230 is sandwiched between the color filter 100 and the liquid crystal driving substrate 400, thereby applying a predetermined stress to the coupling spacer 230. The bonds between the single spacers 220 are released, and the single spacers 220 constituting the combined spacers 230 are rearranged into one layer. As a result, as shown in FIG. 11, the distance between the color filter 100 and the liquid crystal drive substrate 400 is defined by the height of the single spacer 220.

ここで、結合スペーサ230が、単一スペーサ220同士を熱可塑性のバインダ235を介して結合したものである場合や、各単一スペーサ220の表面が熱可塑性樹脂により形成されており、結合スペーサ230が単一スペーサ220の表面同士を加熱により直接結合させたものである場合には、この重ね工程において赤外線ランプ等により結合スペーサ230を加熱することにより、比較的弱い応力で、単一スペーサ220を容易に再配列させることができ、また、再配列した状態で熱可塑性樹脂により再び単一スペーサ220を結合させて再配列した結合スペーサとすることができる。   Here, when the coupling spacer 230 is a unit in which the single spacers 220 are coupled to each other via a thermoplastic binder 235, or the surface of each single spacer 220 is formed of a thermoplastic resin. In the case where the surfaces of the single spacers 220 are directly bonded to each other by heating, the single spacers 220 are heated with a relatively weak stress by heating the bonding spacer 230 with an infrared lamp or the like in this overlapping step. The spacers can be easily rearranged, and the single spacers 220 can be bonded again by the thermoplastic resin in the rearranged state to form the combined spacers.

(第3実施形態)
続いて、本発明に係る第3実施形態について説明する。第3実施形態では、図13に示すように、第1実施形態及び第2実施形態のようなスペーサ配置装置1でなく、液滴噴霧ノズル202を有する噴霧装置2を用いてカラーフィルタ100上に多数の液滴200を噴霧により付着させる。
(Third embodiment)
Subsequently, a third embodiment according to the present invention will be described. In the third embodiment, as shown in FIG. 13, the spray device 2 having the droplet spray nozzle 202 is used on the color filter 100 instead of the spacer arrangement device 1 as in the first embodiment and the second embodiment. A large number of droplets 200 are deposited by spraying.

液滴噴霧ノズル202としては、例えば、2流体ノズル等を利用できる。この液滴噴霧ノズル202には、ラインL20を介してブロア204が接続されていると共に、ラインL22を介してポンプ206及び第1実施形態と同様の攪拌槽20が接続されている。そして、ポンプ206によりスペーサ含有液12が液滴噴霧ノズル202に供給されると共に、ブロア204によりエアーが液滴噴霧ノズル202に供給され、液滴噴霧ノズル202からスペーサ含有液の液滴200が多数形成される。この多数の液滴200は、液滴噴霧ノズル202に対向して配置されるカラーフィルタ100の表面に付着する。なお、液滴噴霧ノズル202のオリフィス径、スペーサ含有液やエアーの圧力等の噴霧条件は、液滴の径が所望の大きさとなるように設定される。なお、各液滴200は、それぞれ結合スペーサ230を好ましくは1個含んでいる。   For example, a two-fluid nozzle can be used as the droplet spray nozzle 202. A blower 204 is connected to the droplet spray nozzle 202 via a line L20, and a pump 206 and a stirring tank 20 similar to the first embodiment are connected via a line L22. The pump 206 supplies the spacer-containing liquid 12 to the droplet spray nozzle 202, and the blower 204 supplies air to the droplet spray nozzle 202, so that a large number of spacer-containing liquid droplets 200 are output from the droplet spray nozzle 202. It is formed. The large number of droplets 200 adheres to the surface of the color filter 100 arranged to face the droplet spray nozzle 202. Note that the spray conditions such as the orifice diameter of the droplet spray nozzle 202, the spacer-containing liquid and the air pressure are set so that the droplet diameter has a desired size. Each droplet 200 preferably includes one coupling spacer 230.

このような噴霧法では、カラーフィルタ100上における液滴200の付着位置を第1実施形態のように制御することは困難であり、図14に示すように、結合スペーサ230を含む液滴200はカラーフィルタ100上にほぼランダムに配置されることとなる。そして、液滴200中の結合スペーサ230は、ブラックマトリクス120上に配置される結合スペーサ230Gと、ブラックマトリクス120以外の部分の上に配置される結合スペーサ230Hとに区別される。   In such a spraying method, it is difficult to control the attachment position of the droplet 200 on the color filter 100 as in the first embodiment, and the droplet 200 including the coupling spacer 230 is, as shown in FIG. The color filter 100 is arranged almost randomly. The coupling spacer 230 in the droplet 200 is classified into a coupling spacer 230G arranged on the black matrix 120 and a coupling spacer 230H arranged on a portion other than the black matrix 120.

続いて、図8に示すようなマスクM、すなわち、カラーフィルタ100のブラックマトリクス120の部分に対応する部分が開口OPとされ、他の部分が遮光部とされたストライプ状のマスクMを介してカラーフィルタ100のブラックマトリクス120に対して光を照射する。そうすると、ブラックマトリクス120上にある結合スペーサ230Gがブラックマトリクス120上に固着する一方、ブラックマトリクス120以外の部分には光が照射されないので、ブラックマトリクス120以外の部分の上にある結合スペーサ230Hはカラーフィルタ100と固着しない。   Subsequently, through a mask M as shown in FIG. 8, that is, a striped mask M in which the portion corresponding to the black matrix 120 of the color filter 100 is an opening OP and the other portion is a light shielding portion. Light is applied to the black matrix 120 of the color filter 100. Then, while the coupling spacer 230G on the black matrix 120 is fixed on the black matrix 120, no light is irradiated on the portion other than the black matrix 120, so the coupling spacer 230H on the portion other than the black matrix 120 is colored. It does not adhere to the filter 100.

固着方法としては、第1実施形態の如く、例えば、赤外線により液体を乾燥させる方法や、結合スペーサを硬化させる光を照射する等の方法が挙げられる。   Examples of the fixing method include a method of drying a liquid with infrared rays and a method of irradiating light for curing the bonding spacer, as in the first embodiment.

そして、ブラックマトリクス120上の結合スペーサ230Gをカラーフィルタに固着させた後に、第1実施形態等と同様に、流水等により未固着結合スペーサ230Hをカラーフィルタ表面から除去すれば、図15に示すように、ブラックマトリクス120上に選択的に結合スペーサ230Gを配置することができる。   Then, after the coupling spacer 230G on the black matrix 120 is fixed to the color filter, the unfixed coupling spacer 230H is removed from the color filter surface by running water or the like, as in the first embodiment, as shown in FIG. In addition, the coupling spacer 230G can be selectively disposed on the black matrix 120.

その後、第1実施形態又は第2実施形態と同様に重ね工程を行えばよい。   Thereafter, an overlapping process may be performed as in the first embodiment or the second embodiment.

(第4実施形態)
本実施形態では、図16及び図17に示すように、液滴200でなく、スペーサ含有液12の液膜210をカラーフィルタ100上に付着させる。具体的には、公知の種々の塗布装置を用いてスペーサ含有液12の液膜210をカラーフィルタ100上に形成できる。例えば、図16に示すダイコータ3等を用いて、液膜210の形成が可能である。また、第3実施形態のようなスプレーノズルによる液滴の噴霧を十分長時間行うことによっても液膜210の形成は可能である。
(Fourth embodiment)
In this embodiment, as shown in FIGS. 16 and 17, not the droplet 200 but the liquid film 210 of the spacer-containing liquid 12 is attached on the color filter 100. Specifically, the liquid film 210 of the spacer-containing liquid 12 can be formed on the color filter 100 using various known coating apparatuses. For example, the liquid film 210 can be formed using the die coater 3 shown in FIG. The liquid film 210 can also be formed by spraying droplets with a spray nozzle as in the third embodiment for a sufficiently long time.

このような液膜210を形成すると、図16及び図17に示すように、液膜210中において、結合スペーサ230はカラーフィルタ100上にほぼランダムに配置される。ここで、ブラックマトリクス120上に配置された結合スペーサを230Gとし、ブラックマトリクス120以外の部分の上に配置された結合スペーサを230Hとする。   When such a liquid film 210 is formed, as shown in FIGS. 16 and 17, the coupling spacers 230 are arranged almost randomly on the color filter 100 in the liquid film 210. Here, it is assumed that the coupling spacer disposed on the black matrix 120 is 230G, and the coupling spacer disposed on the portion other than the black matrix 120 is 230H.

その後、第3実施形態と同様に、マスクMを介して光を照射すればよい。赤外線によりブラックマトリクス120上の結合スペーサ230G周りの液体を乾燥させることにより結合スペーサ230Gをカラーフィルタ100に固着させても良く、また、光により結合スペーサ230Gの表面を硬化させて結合スペーサ230Gとカラーフィルタ100とを固着させてもよい。そして、固着後に、未固着の結合スペーサ230Hを洗浄等により除去すればよい。これにより、図15のように、ブラックマトリクス120上に選択的に結合スペーサ230が配置されることとなる。 その後、第1実施形態又は第2実施形態と同様に重ね工程を行えばよい。   Thereafter, light may be irradiated through the mask M as in the third embodiment. The coupling spacer 230G may be fixed to the color filter 100 by drying the liquid around the coupling spacer 230G on the black matrix 120 with infrared rays, and the surface of the coupling spacer 230G is cured with light to bond the coupling spacer 230G and the color. The filter 100 may be fixed. Then, after fixing, the unfixed coupling spacer 230H may be removed by washing or the like. As a result, as shown in FIG. 15, the coupling spacer 230 is selectively disposed on the black matrix 120. Thereafter, an overlapping process may be performed as in the first embodiment or the second embodiment.

なお、本発明は上記実施形態に限定されず様々な変形態様が可能である。例えば、各結合スペーサ230が有する単一スペーサ220の個数は複数であれば特に制限は無く、2個でも良いし、また、開口37からの吐出に支障が無ければ数十個等でも良い。   In addition, this invention is not limited to the said embodiment, A various deformation | transformation aspect is possible. For example, the number of single spacers 220 included in each coupling spacer 230 is not particularly limited as long as it is plural, and may be two, or may be several tens if there is no problem in discharging from the opening 37.

また、上記実施形態では、ヘッド容器42の開口37から液滴200を上向きに吐出しているが、下向きや横向きに吐出してもよい。   In the above embodiment, the droplet 200 is discharged upward from the opening 37 of the head container 42, but may be discharged downward or sideways.

また、マスクMの開口OPの幅と、結合スペーサ230を配置させたい場所(例えば、ブラックマトリクス)の幅との関係は、概ね同等の関係とすればよく、光の種類(紫外線/可視光線/赤外線:種類によって直線性が異なる)、マスクとカラーフィルタとの距離、カラーフィルタの凹凸の程度、光源からカラーフィルタまで光がどのように到達するか(平行光か収束光か)等の性質に応じて、開口OPの幅OPW(図8参照)と、スペーサを配置させたい場所の幅(例えば、図3の120W)との関係は任意好適に設定できる。通常は、(開口の幅)≦(スペーサを配置させたい場所の幅)とすればよい。   In addition, the relationship between the width of the opening OP of the mask M and the width of the place (for example, the black matrix) where the coupling spacer 230 is to be disposed may be approximately the same, and the type of light (ultraviolet / visible light / Infrared: Linearity varies depending on the type), distance between mask and color filter, degree of unevenness of color filter, how light reaches from color source to color filter (parallel light or convergent light) Accordingly, the relationship between the width OPW of the opening OP (see FIG. 8) and the width of the place where the spacer is to be disposed (for example, 120 W in FIG. 3) can be arbitrarily set appropriately. Usually, (the width of the opening) ≦ (the width of the place where the spacer is to be disposed) may be satisfied.

また、カラーフィルタ以外の製造の際、例えば、TFT基板、また、球状スペーサによるセルギャップを必要とする液晶表示素子、さらにはギャップ制御を必要とするマルチモード光導波路やコネクターなどの光学デバイスなどを製造する際に、基板等に対してスペーサを配置するのに上記各実施形態の方法を用いることももちろん可能である。   In manufacturing other than color filters, for example, TFT substrates, liquid crystal display elements that require cell gaps with spherical spacers, optical devices such as multimode optical waveguides and connectors that require gap control, etc. Of course, it is possible to use the method of each of the above-described embodiments to arrange the spacers on the substrate or the like during manufacturing.

このように、本発明によれば、所望の複数個の単一スペーサを基板上に配置できるので、より高機能の液晶ディスプレイ等の製造が可能となる。   Thus, according to the present invention, since a desired plurality of single spacers can be arranged on the substrate, it is possible to manufacture a liquid crystal display or the like having higher functions.

図1は、単一スペーサ、及び単一スペーサを結合してなる結合スペーサを説明する模式図である。FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a single spacer and a coupling spacer formed by coupling a single spacer. 図2は、本実施形態で使用するスペーサ散布装置の一例の概略構成図である。FIG. 2 is a schematic configuration diagram of an example of a spacer spraying device used in the present embodiment. 図3は、本実施形態で使用するカラーフィルタの一例の断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of an example of a color filter used in the present embodiment. 図4は、カラーフィルタ上に液滴が散布された状態を示す上面図である。FIG. 4 is a top view showing a state in which droplets are dispersed on the color filter. 図5は、図4のV−V矢視図である。5 is a VV arrow view of FIG. 図6は、スペーサ含有液中の単一スペーサ又は結合スペーサの濃度が、A:液滴体積中に約一個、及び、B:液滴体積中に約3個とした場合に、実際に1つの液滴中に含まれる単一スペーサ又は結合スペーサの個数の頻度分布を示すグラフである。FIG. 6 shows that when the concentration of the single spacer or the combined spacer in the spacer-containing liquid is A: about 1 in the droplet volume and B: about 3 in the droplet volume, It is a graph which shows the frequency distribution of the number of the single spacer contained in a droplet, or a coupling spacer. 図7は、図4のカラーフィルタの液滴を乾燥させた状態を示す断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view showing a state where the droplets of the color filter of FIG. 4 are dried. 図8は、開口OPを有するマスクMを示す上面図である。FIG. 8 is a top view showing the mask M having the opening OP. 図9は、図4のカラーフィルタに対してマスクMを介して光を照射することにより乾燥させた後の状態を示す矢視図であり、その場所は図4のVIII−VIII面に対応する。9 is an arrow view showing a state after the color filter of FIG. 4 is dried by irradiating light through the mask M, and the location corresponds to the VIII-VIII plane of FIG. . 図10は、図9の状態のカラーフィルタ上から未固着の結合スペーサを除去する状態を示す断面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view showing a state in which the unfixed coupling spacer is removed from the color filter in the state shown in FIG. 図11は、カラーフィルタ上に液晶駆動基板を載置舌状態を示す断面図である。FIG. 11 is a cross-sectional view showing a state where the liquid crystal driving substrate is placed on the color filter. 図12は、カラーフィルタ上に4個の単一スペーサを結合した結合スペーサを固着させた状態を示す断面図である。FIG. 12 is a cross-sectional view showing a state in which a coupling spacer obtained by coupling four single spacers is fixed on the color filter. 図13は、第3実施形態に係るスペーサ含有液滴散布方法を示す概念図である。FIG. 13 is a conceptual diagram showing a spacer-containing droplet spraying method according to the third embodiment. 図14は、カラーフィルタ上に液滴が付着した状態を示す平面図である。FIG. 14 is a plan view showing a state in which droplets adhere on the color filter. 図15は、ブラックマトリクス上に選択的に結合スペーサが固着した状態を示す平面図である。FIG. 15 is a plan view showing a state where the coupling spacer is selectively fixed on the black matrix. 図16は、第4実施形態に係るスペーサ含有液膜形成方法を示す概念断面図である。FIG. 16 is a conceptual cross-sectional view showing a spacer-containing liquid film forming method according to the fourth embodiment. 図17は、カラーフィルタ上に液膜が付着した状態を示す平面図である。FIG. 17 is a plan view showing a state in which a liquid film is attached on the color filter.

符号の説明Explanation of symbols

12…スペーサ含有液、37…開口、42…ヘッド容器、100…カラーフィルタ(基板)、200…液滴(スペーサ含有液)、202…画素電極、210…液膜(スペーサ含有液)、220…単一スペーサ、230…結合スペーサ、300…液晶表示装置、400…液晶駆動基板(他の基板)。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 12 ... Spacer containing liquid, 37 ... Opening, 42 ... Head container, 100 ... Color filter (substrate), 200 ... Droplet (spacer containing liquid), 202 ... Pixel electrode, 210 ... Liquid film (spacer containing liquid), 220 ... Single spacer 230... Binding spacer 300. Liquid crystal display device 400. Liquid crystal driving substrate (other substrate).

Claims (13)

複数の単一スペーサを予め結合してなる結合スペーサを含むスペーサ含有液を基板上に付着させる付着工程と、
前記付着したスペーサ含有液中の結合スペーサを前記基板に固着させる固着工程と、を備えるスペーサの配置方法。
An adhesion step of adhering a spacer-containing liquid containing a bonding spacer formed by previously bonding a plurality of single spacers onto the substrate;
An adhering step of adhering the bonded spacer in the adhering spacer-containing liquid to the substrate.
前記付着工程では、前記スペーサ含有液の液滴を形成し、当該液滴を前記基板上に付着させる請求項1に記載のスペーサの配置方法。   The spacer placement method according to claim 1, wherein in the attaching step, droplets of the spacer-containing liquid are formed and the droplets are attached on the substrate. 前記付着工程では、前記基板に対して相対的に移動可能なヘッド容器の開口から前記基板に向かって前記液滴を吐出する請求項2に記載のスペーサの配置方法。   The spacer placement method according to claim 2, wherein, in the attaching step, the droplets are ejected toward the substrate from an opening of a head container that is movable relative to the substrate. 前記付着工程では、前記基板に対して前記スペーサ含有液の液滴を噴霧する請求項2に記載のスペーサの配置方法。   The spacer placement method according to claim 2, wherein in the attaching step, droplets of the spacer-containing liquid are sprayed on the substrate. 前記付着工程では、前記スペーサ含有液の液膜を前記基板上に形成する請求項1に記載のスペーサの配置方法。   The spacer arrangement method according to claim 1, wherein in the attaching step, a liquid film of the spacer-containing liquid is formed on the substrate. 前記固着工程では前記スペーサ含有液を乾燥させる請求項1〜5のいずれかに記載のスペーサの配置方法。   The spacer arrangement method according to claim 1, wherein the spacer-containing liquid is dried in the fixing step. 前記結合スペーサの表面が樹脂により形成されている、又は、前記結合スペーサの表面に基板と結合可能な官能基が結合されている請求項6に記載のスペーサ配置方法。   The spacer arrangement | positioning method of Claim 6 by which the surface of the said coupling spacer is formed with resin, or the functional group which can be couple | bonded with a board | substrate is couple | bonded with the surface of the said coupling spacer. 前記結合スペーサの表面が光の照射により硬化する樹脂により形成されており、
前記固着工程では、前記スペーサ含有液中の結合スペーサを前記基板の表面と接触させた状態で、前記結合スペーサに対して前記光を照射する請求項1〜5のいずれかに記載のスペーサ配置方法。
The surface of the coupling spacer is formed of a resin that is cured by light irradiation,
6. The spacer arrangement method according to claim 1, wherein, in the fixing step, the light is applied to the bonding spacer in a state where the bonding spacer in the spacer-containing liquid is in contact with the surface of the substrate. .
前記固着工程では、前記基板の一部のみにマスクを介して光を照射することにより前記基板の一部の上に存在するスペーサ含有液中の結合スペーサを前記基板に固着させる請求項1〜8のいずれかに記載のスペーサの配置方法。   In the fixing step, only a part of the substrate is irradiated with light through a mask to fix a bonding spacer in a spacer-containing liquid existing on the part of the substrate to the substrate. The spacer arrangement method according to any one of the above. 前記結合スペーサは、前記単一スペーサ同士を熱可塑性のバインダにより予め結合したものである請求項1〜9のいずれかに記載のスペーサの配置方法。   The spacer arrangement method according to any one of claims 1 to 9, wherein the coupling spacer is obtained by previously coupling the single spacers with a thermoplastic binder. 前記各単一スペーサの表面は熱可塑性樹脂により形成されており、前記結合スペーサは、前記単一スペーサの表面同士を予め加熱により直接結合させたものである請求項1〜10のいずれかに記載のスペーサの配置方法。   The surface of each single spacer is formed of a thermoplastic resin, and the bonding spacer is obtained by directly bonding the surfaces of the single spacers in advance by heating. Spacer placement method. 前記固着工程の後に、前記基板上に前記結合スペーサを介して他の基板を重ねる、重ね工程をさらに備え、
前記重ね工程において前記結合スペーサを加熱する請求項10又は11に記載のスペーサの配置方法。
After the fixing step, further comprising a stacking step of stacking another substrate on the substrate via the coupling spacer,
The spacer arrangement method according to claim 10 or 11, wherein the coupling spacer is heated in the overlapping step.
画素電極を有する液晶駆動基板と、前記液晶駆動基板と対向配置されたカラーフィルタと、前記液晶駆動基板と前記カラーフィルタとの間に配置されたスペーサと、を備え、
前記スペーサは単一スペーサを複数結合してなる結合スペーサである液晶表示装置。
A liquid crystal driving substrate having a pixel electrode, a color filter disposed opposite to the liquid crystal driving substrate, and a spacer disposed between the liquid crystal driving substrate and the color filter,
The liquid crystal display device, wherein the spacer is a combined spacer formed by combining a plurality of single spacers.
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