JP2007139606A

JP2007139606A - 膜厚測定装置及び膜厚測定方法

Info

Publication number: JP2007139606A
Application number: JP2005334521A
Authority: JP
Inventors: Tetsuki Suzuki; 哲樹鈴木; Nobuyuki Ichizawa; 信行一澤
Original assignee: Fuji Xerox Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Business Innovation Corp
Priority date: 2005-11-18
Filing date: 2005-11-18
Publication date: 2007-06-07

Abstract

【課題】シート材料の膜厚を非接触、連続的、且つ高精度で測定可能な膜厚測定装置及び膜厚測定方法の提供。
【解決手段】無端ベルト２のＺ方向にレーザー変位センサ１０及び１２が、無端ベルト２を挟むように配設されており、無端ベルト２のＺ方向上部にはレーザー光照射手段１４と、レーザー光照射手段１４から照射されたレーザー光の光軸が基準面に反射したときに得られる反射光軸上に配置された前記レーザー光のスポットを撮像する撮像手段であるＣＣＤカメラ１６と、が配置されている。
【選択図】図２

Description

本発明は、シート材料の膜厚を非接触で連続的に測定できる膜厚測定装置及び膜厚測定方法に関する。

膜厚測定手段には、マイクロメータや、ダイヤルゲージ、リニアゲージ、超音波式膜厚測定器、渦電流式膜厚測定器などがある。膜厚測定手段としてマイクロメータを用いた場合、基準板でゼロ点を合わせ、基準板の上にある測定物の厚みから、測定物の膜厚を算出するが、基準板が上下にふれて移動したりすると、移動量そのものが誤差となる。また計測時に膜厚測定手段と測定物とを接触させる必要があるため、連続して測定することは不可能である。

非接触で測定物の膜厚を計測する手段としては、測定物を計測ローラーに密着させ、ローラー両測端に平行なレーザービームを配置し、ローラーの位置変動成分はローラー頂点部に配置した近接センサーで補正する手段がある。（例えば、特許文献１又は２参照。）。これらの方法では、エアー等を測定面に上から吹き付け等して測定物の浮きを防止させている。しかしながら測定物の厚さが１００μｍ近辺であると空気をかみ込みやすくなりこの影響を除去することは困難である。さらに、ロールと測定物との間に異形物が存在する場合も同様にこの影響を除去することは困難である。

測定物表面の基準位置からの変位を検出する一対の変位検出手段を測定物を間に挟むように配設し、変位検出手段の出力信号に基づいて測定物の厚さを測定する非接触式厚さ測定方法がある（例えば、特許文献３参照。）。しかし、この方法では測定物に傾きが生じた場合に膜厚の測定誤差が生ずる。

上下に変位計を配置し、それぞれの試料面からの距離を元に試料の厚さとして求め、また湾曲および凹凸の影響を複数計測点から算出した最小２乗法で補正する方法がある（例えば、特許文献４参照。）。この方法では、ある程度連続して膜厚を計測する必要があり、またゆるやかな膜厚変動に対して補正することは困難である。
特開平１１―２４８４２４号公報特開平１１―３５１８５６号公報特開２００１―２８０９４６号公報特開２００４―２４５６８７号公報

本発明は上記従来の問題点に鑑みてなされたものであり、シート材料の膜厚を非接触、連続的、且つ高精度で測定可能な膜厚測定装置及び膜厚測定方法を提供することを目的とする。

即ち、本発明は、
＜１＞シート材料の膜厚を非接触で連続的に測定する膜厚測定装置であって、前記シート材料を走行させるシート駆動手段と、前記シート材料の厚さ方向に前記シート材料を挟むように配設され、前記シート材料表面からの距離を検出する一対の距離検出手段と、前記距離検出手段により検出された距離に基づいて前記シート材料の膜厚を算出する膜厚算出手段と、前記シート材料の傾き量の基準となる基準面に対して所定の入射角で前記シート材料表面に前記シート材料の走行方向からレーザー光を照射する第一のレーザー光照射手段と、前記第一のレーザー光照射手段から照射されたレーザー光の光軸が前記基準面に反射したときに得られる反射光軸上に配置された前記レーザー光のスポットを撮像する第一の撮像手段と、前記基準面に対して所定の入射角で前記シート材料表面に前記走行方向と前記厚さ方向とに直交する方向からレーザー光を照射する第二のレーザー光照射手段と、前記第二のレーザー光照射手段から照射されたレーザー光の光軸が前記基準面に反射したときに得られる反射光軸上に配置された前記レーザー光のスポットを撮像する第二の撮像手段と、前記スポットの変位量に基づいて前記シート材料の傾き量を算出する傾き量算出手段と、を有し、前記シート材料の前記基準面に対する傾き量を検出する傾き量検出手段と、前記膜厚算出手段により算出された前記シート材料の膜厚を、前記傾き量検出手段により検出された前記シート材料の前記基準面に対する傾き量に基づいて補正する膜厚補正手段と、を備えた膜厚測定装置である。

＜２＞シート材料の膜厚を非接触で連続的に測定する膜厚測定方法であって、前記シート材料の傾き量の基準となる基準面を設定する基準面設定工程と、前記シート材料をシート駆動手段により走行させながら前記シート材料の厚さ方向に前記シート材料を挟むように配設され、前記シート材料表面からの距離を検出する一対の距離検出手段により検出された距離に基づいて前記シート材料の膜厚を算出する膜厚算出工程と、前記基準面に対して所定の入射角で前記シート材料表面に前記シート材料の走行方向からレーザー光を照射する第一のレーザー光照射手段と、前記第一のレーザー光照射手段から照射されたレーザー光の光軸が前記基準面に反射したときに得られる反射光軸上に配置された前記レーザー光のスポットを撮像する第一の撮像手段と、前記基準面に対して所定の入射角で前記シート材料表面に前記走行方向と前記厚さ方向とに直交する方向からレーザー光を照射する第二のレーザー光照射手段と、前記第二のレーザー光照射手段から照射されたレーザー光の光軸が前記基準面に反射したときに得られる反射光軸上に配置された前記レーザー光のスポットを撮像する第二の撮像手段と、前記スポットの変位量に基づいて前記シート材料の傾き量を算出する傾き量算出手段と、を有する傾き量検出手段により検出された前記シート材料の前記基準面に対する傾き量に基づいて、前記膜厚測定工程において測定された前記シート材料の膜厚を補正する膜厚補正工程と、を有する膜厚測定方法である。

本発明によれば、シート材料の膜厚を非接触、連続的、且つ高精度で測定可能な膜厚測定装置及び膜厚測定方法を提供できる。

以下、本発明の膜厚測定装置及び膜厚測定方法について、図面を参照しながら説明する。なお、同様の機能を有する部材には、全図面を通じて同じ符合を付与し、その説明を省略することがある。

図１及び２は各々本発明の膜厚測定装置の一実施形態に係る平面模式図及び正面模式図を示す。本実施形態に係る膜厚測定装置においては、膜厚測定の対象となるシート材料である無端ベルト２が、無端ベルト２を走行させる駆動手段である駆動ロール４と無端ベルト２の走行に従動する張架ロール６とに張架されている。また、駆動ロール４と張架ロール６との間が平面となるように、無端ベルト２に適度な張力（テンション）を与えるための円筒状の重り８が無端ベルト２の内周面に配置されている。

無端ベルト２の厚さ方向（以下、無端ベルトの厚さ方向を「Ｚ方向」と称することがある。）には、無端ベルト２表面からの距離を検出する距離検出手段である一対のレーザー変位センサ１０及び１２が、無端ベルト２を挟むように配設されている。

無端ベルト２のＺ方向上部には、無端ベルト２の傾き量の基準となる基準面に対して入射角４５°で無端ベルト２表面に無端ベルト２の走行方向（以下、無端ベルトの走行方向を「Ｘ方向」と称することがある。）へレーザー光を照射する第一のレーザー光照射手段１４と、レーザー光照射手段１４から照射されたレーザー光の光軸が前記基準面に反射したときに得られる反射光軸上に配置された前記レーザー光のスポットを撮像する第一の撮像手段であるＣＣＤカメラ１６と、前記基準面に対して入射角４５°で無端ベルト２表面に前記走行方向と前記厚さ方向とに直交する方向（以下、走行方向と厚さ方向とに直交する方向を「Ｙ方向」と称することがある。）へレーザー光を照射する第二のレーザー光照射手段１８と、レーザー光照射手段１８から照射されたレーザー光の光軸が前記基準面に反射したときに得られる反射光軸上に配置された前記レーザー光のスポットを撮像する第二の撮像手段であるＣＣＤカメラ２０と、が配設されている。なお、図２ではレーザー光照射手段１８とＣＣＤカメラ２０とは図示されていない。

駆動ロール４、レーザー変位センサ１０及び１２、レーザー光照射手段１４及び１８並びにＣＣＤカメラ１６及び２０は制御部２２に電気的に接続されている。制御部２２は駆動ロール４並びにレーザー光照射手段１４及び１８の動作を制御すると共に、レーザー変位センサ１０及び１２により検出された無端ベルト２表面からレーザー変位センサまでの距離に基づいて無端ベルト２の膜厚を算出する膜厚算出手段、レーザー光のスポットの変位量に基づいて無端ベルト２の傾き量を算出する傾き量算出手段及び算出された無端ベルト２の傾き量に基づいてその膜厚を補正する膜厚補正手段としても機能する。

次に、レーザー変位センサ１０及び１２を用いた無端ベルト２の膜厚の測定原理について説明する。

図３は無端ベルトの膜厚の測定原理を説明するための図である。図３において無端ベルト２の膜厚ＴはＴ＝Ｃ−Ａ−Ｂで与えられる。ここでＣはレーザー変位センサ１０とレーザー変位センサ１２との間の距離を表し、Ａはレーザー変位センサ１０と無端ベルト２表面との間の距離を表し、Ｂはレーザー変位センサ１２と無端ベルト２表面との間の距離を表す。

ここで距離Ｃの決定は例えば以下のようにしてなされる。すなわち図３において無端ベルト２の代わりに膜厚が既知の基準校正体を配置し、Ｔ＝Ｃ−Ａ−Ｂの関係式を適用する。基準校正体の膜厚は既知であり、一方距離Ａ及び距離Ｂは測定値であることから距離Ｃを決定することができる。

次に、レーザー光照射手段１４及び１８並びにＣＣＤカメラ１６及び２０を用いた無端ベルト２の基準面に対する傾き量の測定原理について説明する。

図４は無端ベルト２の基準面に対するＸ方向の傾き量が０°の場合のレーザー光の光軸２４と光軸２４が無端ベルト２（即ち、基準面）に基準点Ｏで反射したときに得られる反射光軸２６との関係を示し、図５は無端ベルト２の基準面に対するＸ方向の傾き量がθの場合のレーザー光の光軸２４と光軸２４が無端ベルト２に基準点Ｏで反射したときに得られる反射光軸２６との関係を示す。ここで、光軸２４の基準面に対する角度は４５°である。

図４において、ＣＣＤカメラ１６は反射光軸２６上の、Ｘ方向に距離ｂ、Ｚ方向に距離ａ_０の地点に配設されている。

無端ベルト２が基準面に対して図５に示すようにＸ方向にθ（以下、Ｘ方向の傾き量をθ_Ｘと称することがある。）傾くと、基準面に直交する中心線ｐをＸ方向に距離ｂだけ平行移動させた線ｑと反射光軸２６との交点と、線ｑと基準面との交点と、の間の距離はａ_１となる。距離ａ_１は、ａ_１＝ｂ×ｔａｎ（４５−２θ）°の関係を満たすため、光軸２４の基準面に対する角度（図４及び５では４５°）、ａ_１及びｂからθを求めることができる。また、無端ベルト２の基準面に対するＹ方向の傾き（以下、Ｙ方向の傾き量をθ_Ｙと称することがある。）を同様にして求めることができる。

距離ａ_１は、以下のようにして求めることができる。図６は、本実施形態の膜厚測定装置における無端ベルト２表面のレーザー光のスポットが形成された付近を模式的に示す図である。ＣＣＤカメラ１６及び２０には複数のレーザー光のスポットが視野内に入る程度の倍率を有するレンズ２８及び３０が装着されており、レーザー光のスポットが形成された付近を拡大して撮像できるようになっている。なお、本実施形態においてはレーザー光照射手段１４から二本のレーザー光が無端ベルト２表面に照射されてスポットＤ及びＥが形成され、且つレーザー光照射手段１８から二本のレーザー光が無端ベルト２表面に照射されてスポットＦ及びＧが形成されるようにした。本発明においてレーザー光照射手段から照射されるレーザー光が二本以上の場合、いずれか一本のレーザー光の光軸に対する反射光軸上にＣＣＤカメラが配設されていればよい。

レーザー光のスポットが形成される箇所は、レーザー変位センサ１０により無端ベルト２との間の距離が測定される箇所の近傍であることが好ましい。レーザー変位センサ１０と無端ベルト２との間の距離が測定される箇所の近傍にレーザー光のスポットを形成することにより、膜厚測定箇所のより正確な傾きを算出することができ、その結果として正確な膜厚補正が可能となる。

無端ベルト２は、図７のＩ乃至ＩＶのいずれか又はこれらを組み合わせた方向に傾く。無端ベルト２が傾くとスポットＤ乃至Ｇが所定方向に移動する。該スポットの移動距離（変位量）に基づいて無端ベルト２の傾き量が算出される。無端ベルト２がＩ乃至ＩＶのいずれかの方向に傾いた場合にＣＣＤカメラ１６及び２０で観察されるレーザー光のスポットの移動パターンを図８に示す。図８（ａ）は無端ベルト２がＩ方向に傾いたときのＣＣＤカメラ１６で観察されるレーザー光のスポットの移動パターンを示し、図８（ｂ）は無端ベルト２がＩ方向に傾いたときのＣＣＤカメラ２０で観察されるレーザー光のスポットの移動パターンを示し、図８（ｃ）は無端ベルト２がＩＩ方向に傾いたときのＣＣＤカメラ１６で観察されるレーザー光のスポットの移動パターンを示し、図８（ｄ）は無端ベルト２がＩＩ方向に傾いたときのＣＣＤカメラ２０で観察されるレーザー光のスポットの移動パターンを示し、図８（ｅ）は無端ベルト２がＩＩＩ方向に傾いたときのＣＣＤカメラ１６で観察されるレーザー光のスポットの移動パターンを示し、図８（ｆ）は無端ベルト２がＩＩＩ方向に傾いたときのＣＣＤカメラ２０で観察されるレーザー光のスポットの移動パターンを示し、図８（ｇ）は無端ベルト２がＩＶ方向に傾いたときのＣＣＤカメラ１６で観察されるレーザー光のスポットの移動パターンを示し、図８（ｈ）は無端ベルト２がＩＶ方向に傾いたときのＣＣＤカメラ２０で観察されるレーザー光のスポットの移動パターンを示す。なお、図中点線で示されるスポットは無端ベルト２が傾く前のスポット（移動前のスポット）の位置を表す。

図８（ａ）（ｃ）におけるレーザー光のスポットのＰ方向への変位量が図４及び５における距離ａ_０と距離ａ_１との差（ａ_０−ａ_１）に相当する。この値からａ_１を求め、得られたａ_１並びにａ_０及び光軸２４の基準面に対する角度からθ_Ｘが定まる。また、図８（ｆ）（ｈ）におけるＰ方向への変位量に基づき上述と同様にしてθ_Ｙが定まる。

本発明によれば、無端ベルト２の傾き量θをＸ方向における傾き量θ_ＸとＹ方向における傾き量θ_Ｙとに分離して求めることができる。無端ベルト２の傾きが例えばＩ方向とＩＩＩ方向との組み合わせであった場合、ＣＣＤカメラ１６及び２０で観察されるレーザー光のスポットの移動パターンは図８（ａ）及び（ｆ）の組み合わせとなる。同様にしてＩ方向とＩＶ方向との組み合わせ、ＩＩ方向とＩＩＩ方向との組み合わせ及びＩＩ方向とＩＶ方向との組み合わせによる傾き量が抽出可能となる。

次に、無端ベルト２がＺ方向に移動する場合について検討する。図９は無端ベルト２が傾き量０°でＺ方向に移動したときのＣＣＤカメラ１６及び２０で観察されるレーザー光のスポットの移動パターンを示す。図９（ａ）は無端ベルト２がＺ方向上向きに移動したときのＣＣＤカメラ１６で観察されるレーザー光のスポットの移動パターンを示し、図９（ｂ）は無端ベルト２がＺ方向上向きに移動したときのＣＣＤカメラ２０で観察されるレーザー光のスポットの移動パターンを示し、図９（ｃ）は無端ベルト２がＺ方向下向きに移動したときのＣＣＤカメラ１６で観察されるレーザー光のスポットの移動パターンを示し、図９（ｄ）は無端ベルト２がＺ方向下向きに移動したときのＣＣＤカメラ２０で観察されるレーザー光のスポットの移動パターンを示す。図中点線で示されるスポットは無端ベルト２がＺ方向に移動する前のスポットの位置を表す。

無端ベルト２が傾き量０°でＺ方向に移動する例としては、例えば無端ベルト２の膜厚に変動がある場合が挙げられる。

図８及び９からわかるように、ＣＣＤカメラ１６で観察されるスポットＦ及びＧの移動パターンは（１）無端ベルト２がＸ方向に傾くときにはＰ方向に移動する、（２）無端ベルト２がＹ方向に傾くときには移動しない、（３）無端ベルト２がＺ方向に移動するときにはＱ方向に移動する、この３つである。一方、ＣＣＤカメラ２０で観察されるスポットＤ及びＥの移動パターンは、（１）無端ベルト２がＸ方向に傾くときには移動しない、（２）無端ベルト２がＹ方向に傾くときにはＰ方向に移動する、（３）無端ベルト２がＺ方向に移動するときにはＱ方向に移動する、この３つである。

無端ベルト２がＺ方向に移動すると共にＸ方向及び／又はＹ方向に傾いた場合には、スポットの移動方向はＰ方向への変位量（ベクトル）とＱ方向への変位量（ベクトル）との和で表される。そのため、ＣＣＤカメラ１６で観察されたスポットＦ及びＧのＰ方向への変位量に基づいて無端ベルト２のＸ方向の傾き量が求まる。同様に、ＣＣＤカメラ２０で観察されたスポットＤ及びＥのＰ方向への変位量に基づいて無端ベルト２のＹ方向の傾き量が求まる。

各スポットの移動量は、各ＣＣＤカメラで撮影された原画像を２値化する２値化手段と、この２値化手段により２値化された２値画像に基づいてスポットの各重心を求める重心算出手段と、この重心算出手段により求められた重心に基づいてスポットの変位量を求める変位量算出手段とを用いることにより求まる。このようにして求められた各スポットの変位量から無端ベルト２のＸ方向の傾き量及びＹ方向の傾き量を上述のようにして求めることができる。

制御部２２は、上述した２値化手段、重心算出手段及び変位量算出手段としても機能する。

次に、上述のようにして得られた傾き量に基づいて行われる無端ベルト２の膜厚補正の原理について述べる。図１０は膜厚補正の原理を説明するための図である。図１０においては、無端ベルト２の基準面に対する傾き量はαである。

無端ベルト２の基準面に対する傾き量がαの場合、無端ベルト２の真の膜厚Ｔ_０は、Ｔ_０＝Ｔｃｏｓαの関係式を満たす。上述の方法により求められた傾き量θ（θ_Ｘ及びθ_Ｙ）を用いて膜厚Ｔを補正することにより、真の膜厚Ｔ_０を求めることができる。

図４及び５において、例えば光軸の基準面に対する角度を４５°と、ａ_０及びｂを５０ｍｍと、θを１０°とした場合、ａ_１は２３．３ｍｍとなる。また、θ＝１０°の場合、Ｔ_０＝Ｔ×ｃｏｓ１０°＝０．９８５ＴよりＴ_０が求まる。

次に、本発明の膜厚測定方法を図１１に示す測定ルーチンに基づいて説明する。まず、無端ベルト２を駆動ロール４と張架ロール６とに張架すると共に駆動ロール４と張架ロール６との間が平面となるように円筒状の重り８を無端ベルト２の内周面に配置する。この平面が基準面となり、この基準面に対する無端ベルト２の傾き量が以下のステップで検知される。

この状態で膜厚測定指示信号が入力されると、ステップ１００において無端ベルト２の傾き量の基準となる基準面が設定される。

具体的には、レーザー光照射手段１４及び１８からレーザー光が無端ベルト２表面に照射され、レーザー光のスポットＤ乃至Ｇが形成されてその位置が制御部２２に記憶される。これらのスポットの位置を基準として各スポットのＰ方向及び／又はＱ方向の変位量が算出される。

次に、ステップ１０２において無端ベルト２を駆動開始する。

ステップ１０４及び１０６においてレーザー変位センサと無端ベルト表面との間の距離Ａ及びＢを検出する。

ステップ１０８では、ステップ１０４及び１０６により検出された距離Ａ及びＢに基づいて無端ベルト２の膜厚Ｔが算出される。

ステップ１１０では、図８及び９におけるスポットＤ乃至Ｇの変位量が検出される。

ステップ１１０で検出されたスポットＤ乃至Ｇの変位量に基づいて、ステップ１１２において無端ベルト２の基準面に対する傾き量θ（θ_Ｘ及びθ_Ｙ）が算出される。

ステップ１１４では、ステップ１１２で算出された無端ベルト２の基準面に対する傾き量θを用いてステップ１０８で算出された無端ベルト２の膜厚Ｔを補正することにより真の膜厚Ｔ_０が求められる。

ステップ１１６において膜厚測定停止信号の有無が判定され、膜厚測定停止信号無しと判定された場合にはステップ１０４に戻って膜厚測定が継続される。また、ステップ１１６において膜厚測定停止信号有りと判定された場合にはステップ１１８で無端ベルト２の駆動を停止して本ルーチンは終了する。

本発明の膜厚測定装置及び膜厚測定方法は、例えば、電子写真装置に用いられる転写ベルト、定着ベルト等の無端ベルトの膜厚を非接触で連続的に測定するのに好適に用いることができる。

本発明の膜厚測定装置の一実施形態に係る平面模式図を示す。本発明の膜厚測定装置の一実施形態に係る正面模式図を示す。無端ベルトの膜厚の測定原理を説明するための図である。無端ベルト２の基準面に対するＸ方向の傾き量が０°の場合のレーザー光の光軸２４と光軸２４が無端ベルト２に基準点Ｏで反射したときに得られる反射光軸２６との関係を示す図である。無端ベルト２の基準面に対するＸ方向の傾き量がθの場合のレーザー光の光軸２４と光軸２４が無端ベルト２に基準点Ｏで反射したときに得られる反射光軸２６との関係を示す図である。膜厚測定装置における無端ベルト２表面のレーザー光のスポットが形成された付近を模式的に示す図である。無端ベルト２の傾きの方向を説明するための図である。無端ベルト２がＩ乃至ＩＶのいずれかの方向に傾いた場合にＣＣＤカメラ１６及び２０で観察されるレーザー光のスポットの移動パターンを示す図である。無端ベルト２が傾き量０°でＺ方向に移動したときのＣＣＤカメラ１６及び２０で観察されるレーザー光のスポットの移動パターンを示す図である。膜厚補正の原理を説明するための図である。本発明の膜厚測定方法における測定ルーチンを示す図である。

符号の説明

２無端ベルト
４駆動ロール
６張架ロール
８重り
１０、１２レーザー変位センサ
１４、１８レーザー光照射手段
１６、２０ＣＣＤカメラ
２２制御部
２４光軸
２６反射光軸
２８、３０レンズ

Claims

シート材料の膜厚を非接触で連続的に測定する膜厚測定装置であって、
前記シート材料を走行させるシート駆動手段と、
前記シート材料の厚さ方向に前記シート材料を挟むように配設され、前記シート材料表面からの距離を検出する一対の距離検出手段と、
前記距離検出手段により検出された距離に基づいて前記シート材料の膜厚を算出する膜厚算出手段と、
前記シート材料の傾き量の基準となる基準面に対して所定の入射角で前記シート材料表面に前記シート材料の走行方向からレーザー光を照射する第一のレーザー光照射手段と、前記第一のレーザー光照射手段から照射されたレーザー光の光軸が前記基準面に反射したときに得られる反射光軸上に配置された前記レーザー光のスポットを撮像する第一の撮像手段と、前記基準面に対して所定の入射角で前記シート材料表面に前記走行方向と前記厚さ方向とに直交する方向からレーザー光を照射する第二のレーザー光照射手段と、前記第二のレーザー光照射手段から照射されたレーザー光の光軸が前記基準面に反射したときに得られる反射光軸上に配置された前記レーザー光のスポットを撮像する第二の撮像手段と、前記スポットの変位量に基づいて前記シート材料の傾き量を算出する傾き量算出手段と、を有し、前記シート材料の前記基準面に対する傾き量を検出する傾き量検出手段と、
前記膜厚算出手段により算出された前記シート材料の膜厚を、前記傾き量検出手段により検出された前記シート材料の前記基準面に対する傾き量に基づいて補正する膜厚補正手段と、
を備えた膜厚測定装置。
シート材料の膜厚を非接触で連続的に測定する膜厚測定方法であって、
前記シート材料の傾き量の基準となる基準面を設定する基準面設定工程と、
前記シート材料をシート駆動手段により走行させながら前記シート材料の厚さ方向に前記シート材料を挟むように配設され、前記シート材料表面からの距離を検出する一対の距離検出手段により検出された距離に基づいて前記シート材料の膜厚を算出する膜厚算出工程と、
前記基準面に対して所定の入射角で前記シート材料表面に前記シート材料の走行方向からレーザー光を照射する第一のレーザー光照射手段と、前記第一のレーザー光照射手段から照射されたレーザー光の光軸が前記基準面に反射したときに得られる反射光軸上に配置された前記レーザー光のスポットを撮像する第一の撮像手段と、前記基準面に対して所定の入射角で前記シート材料表面に前記走行方向と前記厚さ方向とに直交する方向からレーザー光を照射する第二のレーザー光照射手段と、前記第二のレーザー光照射手段から照射されたレーザー光の光軸が前記基準面に反射したときに得られる反射光軸上に配置された前記レーザー光のスポットを撮像する第二の撮像手段と、前記スポットの変位量に基づいて前記シート材料の傾き量を算出する傾き量算出手段と、を有する傾き量検出手段により検出された前記シート材料の前記基準面に対する傾き量に基づいて、前記膜厚測定工程において測定された前記シート材料の膜厚を補正する膜厚補正工程と、
を有する膜厚測定方法。