JP2007133032A - Photosensitive resin composition - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive resin composition having good alkali developability and giving a cured object having excellent elastic recovery characteristics, and photo-spacers. <P>SOLUTION: The alkali developable photosensitive resin composition contains a hydrophilic polymer having a carboxyl group and a (meth)acryloyl group, a polyfunctional (meth)acrylate monomer and a photopolymerization initiator, wherein the hydrophilic polymer satisfies all of the following conditions (1)-(4); (1) the polymer is a polymer obtained by reacting a copolymer having an unsaturated polybasic acid anhydride as an essential constituent monomer with a compound having a (meth)acryloyl group and at least one functional group selected from a hydroxyl group, a primary amino group and a secondary amino group in one molecule, (2) the polymer has a low acid value of 100-500 mgKOH/g, (3) the polymer has a (meth)acryloyl group concentration of 2-9 mmol/g, (4) the difference in solubility parameter between the polymer and the polyfunctional (meth)acrylate monomer is -1 to 1. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、活性光線の照射により硬化し、アルカリ現像可能な感光性樹脂組成物と、該組成物を用いて形成した液晶セル内のギャップ保持のために設けられるフォトスペーサに関するものである。   The present invention relates to a photosensitive resin composition that is cured by irradiation with actinic rays and is capable of alkali development, and a photospacer provided for maintaining a gap in a liquid crystal cell formed using the composition.

近年、液晶表示装置が脚光をあびており、その製造プロセスにおいて感光性樹脂が多用されている。例えば、カラーフィルタ上の画素に相当する部分は、着色顔料分散レジストであり、ブラックマトリックスにもレジストが使用されている。そのような部分に使用されるレジストとしては、マスクを通して感光すると、光が照射された部分のみが固まり、現像により未露光部が剥離されるいわゆるネガ型レジストが多用されている。 In recent years, liquid crystal display devices have attracted attention, and photosensitive resins are frequently used in the manufacturing process. For example, the portion corresponding to the pixel on the color filter is a color pigment dispersion resist, and the resist is also used for the black matrix. As a resist used for such a portion, a so-called negative resist is often used in which only a portion irradiated with light is hardened when exposed through a mask and an unexposed portion is peeled off by development.

さて、液晶表示装置技術においては、カラーフィルタ側基板と薄膜トランジスタ(TFT)側基板の両基板間に液晶層の厚みを保つために、スペーサと呼ばれるガラス又は樹脂製の透明球状体粒子(ビーズ)をセル内部に散布している。このスペーサは透明な粒子であることから、画素内に液晶と一諸にスペーサが入っていると、黒色表示時にスペーサ粒子を介して光が漏れてしまい、また、液晶が封入されている両基板間にスペーサ粒子が存在することによって、スペーサ粒子近傍の液晶分子の配向が乱され、この部分で光漏れを生じ、液晶表示装置のコントラストが低下し表示品質に悪影響を及ぼすといった問題を有している。また、例えば、強誘電性液晶のように、両基板間の間隔(液晶層の厚み)が狭い液晶表示装置においては、このスペーサ粒子を用いて両基板間の間隔を均一に精度よく保ことは困難なことである。   Now, in the liquid crystal display device technology, in order to maintain the thickness of the liquid crystal layer between both the color filter side substrate and the thin film transistor (TFT) side substrate, glass or resin transparent spherical particles (beads) called spacers are used. Sprayed inside the cell. Since these spacers are transparent particles, if there is a liquid crystal and a spacer in the pixel, light leaks through the spacer particles during black display, and both substrates in which the liquid crystal is sealed The presence of the spacer particles between them disturbs the orientation of the liquid crystal molecules in the vicinity of the spacer particles, causing light leakage at this portion, resulting in a decrease in the contrast of the liquid crystal display device and adversely affecting the display quality. Yes. Also, for example, in a liquid crystal display device in which the distance between the two substrates (the thickness of the liquid crystal layer) is narrow, such as a ferroelectric liquid crystal, the distance between the two substrates can be maintained uniformly and accurately using this spacer particle. It is difficult.

このような問題を解決する技術として、例えば、感光性樹脂を用い、部分的なパターン露光、現像というフォトリソグラフィー法により、所望の位置、例えば、画素間に位置する格子パターン状のブラックマトリクス上に、柱状の樹脂製スペーサを形成する方法が提案されている。このようなスペーサを以下フォトスペーサという。このフォトスペーサは、画素を避けた位置に形成できるので、上記のような表示品質に悪影響を及ぼすことがなくなり、表示品質の向上が望める。 As a technique for solving such a problem, for example, a photosensitive resin is used and a photolithography method such as partial pattern exposure and development is performed on a black matrix in a lattice pattern located at a desired position, for example, between pixels. A method of forming a columnar resin spacer has been proposed. Such a spacer is hereinafter referred to as a photo spacer. Since the photo spacer can be formed at a position avoiding the pixels, it does not adversely affect the display quality as described above, and the display quality can be improved.

一方、近年、LCD(Liquid Crystal Display)製造のためのマザーガラスが大きくなるに従い、従来の液晶流入方法(真空吸引方式)に代わって滴下方式(ODF:One Drop Fill)が提案されている。ODFでは、所定量の液晶を滴下した後、基板で挟持することによって液晶を注入するため 、従来の真空吸引方式に比べ、工程数および工程時間の短縮が可能である。しかしながら、ODF方式においては、セルギャップから計算して見積もった所定量の液晶を滴下し、狭持するため、その際に掛かる面内での微妙な圧力差に影響しないような弾性特性を有することがフォトスペーサに対して望まれる。   On the other hand, in recent years, a drop method (ODF: One Drop Fill) has been proposed instead of the conventional liquid crystal inflow method (vacuum suction method) as the mother glass for LCD (Liquid Crystal Display) manufacture becomes larger. In ODF, liquid crystal is injected by dropping a predetermined amount of liquid crystal and then sandwiching it with a substrate. Therefore, the number of processes and process time can be reduced as compared with the conventional vacuum suction method. However, in the ODF system, a predetermined amount of liquid crystal calculated from the cell gap is dropped and held, so that it has an elastic characteristic that does not affect the subtle pressure difference applied in the process. Is desired for photo spacers.

すなわち、弾性の回復特性が優れたフォトスペーサが要求される。
このような特性を持たないフォトスペーサではパネル作製持に液晶中に気泡が生じることがあり、セルギャップが均一にならずに液晶表示装置としては表示品質が劣化し、例えば、色むらが顕著なものとなってしまう等の不具合が生じる。
これらの問題点を解決するための提案として、例えば、アルカリ現像性を有するフォトスペーサ用感光性樹脂組成物(特許文献−1)が提案されている。この提案では光重合性を有するモノマー、光重合開始剤とアルカリ現像性及び反応性を有するエポキシ樹脂を併用することで、機械的強度に優れたフォトスペーサを提案している。しかし、このようなエポキシ樹脂とアルカリ現像に必要なカルボン酸成分が共存しているような組成物では、エポキシ基とカルボン酸の間で架橋反応が進行する。その結果、脆くなり弾性回復特性は悪化するという課題があった。
このような不具合を解決する特性を有するフォトスペーサを形成する材料として、近年、さらに新たな提案(特許文献−2)がされている。この提案では、全固形分中の多官能モノマー量を50〜70%にすることによって改良を図っている。しかしながら、多官能モノマーを大量に使用した場合アルカリ現像性が悪化するという問題があった。
特開2001−226449号公報 特開2002−174812号公報
That is, a photo spacer having excellent elastic recovery characteristics is required.
Photo spacers that do not have such characteristics may cause bubbles in the liquid crystal when the panel is produced, and the cell gap is not uniform, and the display quality of the liquid crystal display device deteriorates. For example, color unevenness is noticeable. Inconveniences, such as becoming something, occur.
As a proposal for solving these problems, for example, a photosensitive resin composition for photospacers having an alkali developability (Patent Document 1) has been proposed. This proposal proposes a photospacer with excellent mechanical strength by using a photopolymerizable monomer, a photopolymerization initiator, and an epoxy resin having alkali developability and reactivity in combination. However, in a composition in which such an epoxy resin and a carboxylic acid component necessary for alkali development coexist, a crosslinking reaction proceeds between the epoxy group and the carboxylic acid. As a result, there is a problem that the elastic recovery characteristic is deteriorated due to brittleness.
In recent years, a further new proposal (Patent Document 2) has been made as a material for forming a photospacer having such a characteristic as to solve such a problem. In this proposal, the amount of polyfunctional monomer in the total solid content is improved by 50 to 70%. However, when a large amount of polyfunctional monomer is used, there is a problem that alkali developability deteriorates.
JP 2001-226449 A JP 2002-174812 A

本発明は上記問題を解決するためになされたものであり、アルカリ現像性が良好であり、かつ、その硬化物が優れた弾性回復特性を有する感光性樹脂組成物を提供し、さらに、優れた弾性回復特性を有するフォトスペーサの提供を課題とする。   The present invention has been made in order to solve the above problems, and provides a photosensitive resin composition having good alkali developability and having a cured product with excellent elastic recovery properties, and further excellent. An object is to provide a photo spacer having elastic recovery characteristics.

本発明者らは、上記問題を解決すべく鋭意検討した結果、本発明に到達した。
すなわち本発明は、カルボキシル基及び(メタ)アクリロイル基を有する親水性ポリマー(A)、多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)、並びに光重合開始剤(C)を含有する感光性樹脂組成物であって、親水性ポリマー(A)が下記の(1)〜(4)の全てを満たすポリマーであることを特徴とするアルカリ現像可能な感光性樹脂組成物(Q)である。
(1)不飽和多塩基酸無水物を必須構成単量体とする共重合体(D)と、1分子中に水酸基、1級アミノ基および2級アミノ基から選ばれる少なくとも1種の官能基並びに(メタ)アクリロイル基を有する化合物(e)とを反応させて得られるポリマーである。
(2)100〜500mgKOH/gの弱酸価を有する。
(3)2〜9mmol/gの(メタ)アクリロイル基濃度を有する。
(4)多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)との溶解度パラメーターの差が−1〜1である。
また、本発明は、上記感光性樹脂組成物を硬化させて形成されたフォトスペーサである。
The inventors of the present invention have arrived at the present invention as a result of intensive studies to solve the above problems.
That is, the present invention is a photosensitive resin composition containing a hydrophilic polymer (A) having a carboxyl group and a (meth) acryloyl group, a polyfunctional (meth) acrylate monomer (B), and a photopolymerization initiator (C). The alkali-developable photosensitive resin composition (Q), wherein the hydrophilic polymer (A) is a polymer satisfying all of the following (1) to (4).
(1) Copolymer (D) having an unsaturated polybasic acid anhydride as an essential constituent monomer and at least one functional group selected from a hydroxyl group, a primary amino group and a secondary amino group in one molecule And a polymer obtained by reacting the compound (e) having a (meth) acryloyl group.
(2) It has a weak acid value of 100 to 500 mgKOH / g.
(3) It has a (meth) acryloyl group concentration of 2 to 9 mmol / g.
(4) The difference in solubility parameter from the polyfunctional (meth) acrylate monomer (B) is −1 to 1.
Moreover, this invention is the photo spacer formed by hardening | curing the said photosensitive resin composition.

・本発明の感光性樹脂組成物はアルカリ現像性に優れる。
・本発明の感光性樹脂組成物の硬化物は優れた弾性回復特性を有する。
・本発明の感光性樹脂組成物の硬化物はフォトスペーサとして優れた弾性回復特性を有する。
-The photosensitive resin composition of this invention is excellent in alkali developability.
-The hardened | cured material of the photosensitive resin composition of this invention has the outstanding elastic recovery characteristic.
The cured product of the photosensitive resin composition of the present invention has excellent elastic recovery characteristics as a photo spacer.

本発明における親水性ポリマー(A)(以下、単に(A)と表記する場合がある)は、親水性であって、分子内に平均で少なくとも1個の(メタ)アクリロイル基と平均で少なくとも1個のカルボキシル基を有する。   The hydrophilic polymer (A) in the present invention (hereinafter sometimes simply referred to as (A)) is hydrophilic and has an average of at least 1 (meth) acryloyl group and at least 1 in the molecule. It has 1 carboxyl group.

(A)の親水性の指標はHLBにより規定され、一般にこの数値が大きいほど親水性が高いことを示す。
(A)のHLB値は、(A)の樹脂骨格によって好ましい範囲が異なるが、好ましくは4〜19、さらに好ましくは5〜18、特に好ましくは6〜17である。4以上であればフォトソルダーレジストの現像を行う際に、現像性がさらに良好であり、19以下であれば硬化物の耐水性がさらに良好である。なお、本発明におけるHLBは、小田法によるHLB値であり、親水性−疎水性バランス値のことであり、有機化合物の有機性の値と無機性の値との比率から計算することができる。
HLB≒10×無機性/有機性
また、無機性の値及び有機性の値は、文献「界面活性剤の合成とその応用」(槇書店発行、小田、寺村著)の501頁;または、「新・界面活性剤入門」(藤本武彦著、三洋化成工業株式会社発行)の198頁に詳しく記載されている。
The hydrophilic index of (A) is defined by HLB, and generally, the larger this value, the higher the hydrophilicity.
Although the preferable range of the HLB value of (A) varies depending on the resin skeleton of (A), it is preferably 4 to 19, more preferably 5 to 18, and particularly preferably 6 to 17. When it is 4 or more, developability of the photo solder resist is further improved, and when it is 19 or less, the water resistance of the cured product is further improved. In addition, HLB in this invention is an HLB value by the Oda method, is a hydrophilicity-hydrophobicity balance value, and can be calculated from the ratio of the organic value and inorganic value of an organic compound.
HLB≈10 × Inorganic / Organic In addition, the inorganic value and the organic value are described in the document “Surfactant Synthesis and Applications” (published by Tsuji Shoten, Oda, Teramura), page 501; It is described in detail on page 198 of “Introduction to New Surfactants” (Takehiko Fujimoto, published by Sanyo Chemical Industries, Ltd.).

(A)はカルボキシル基を含有するため弱酸価を有する。(A)の弱酸価は、現像性の観点から通常100〜500mgKOH/g、好ましくは120〜400mgKOH/g、さらに好ましくは150〜300mgKOH/gである。   (A) has a weak acid value because it contains a carboxyl group. The weak acid value of (A) is usually 100 to 500 mgKOH / g, preferably 120 to 400 mgKOH / g, more preferably 150 to 300 mgKOH / g from the viewpoint of developability.

(A)の弱酸価は、100mgKOH/g未満であると、現像性が発揮できず、500mgKOH/gを超えると硬化物の耐水性が悪くなる。   When the weak acid value of (A) is less than 100 mgKOH / g, the developability cannot be exhibited, and when it exceeds 500 mgKOH / g, the water resistance of the cured product is deteriorated.

本発明における弱酸価はアルカリ性滴定溶液を用いた指示薬滴定法により測定できる。
方法は以下の通りである。
(i)試料約1gを精秤して三角フラスコに入れ、続いて中性メタノール・アセトン溶液[アセトンとメタノールを1:1(容量比)で混合したもの]を加え溶解する。
(ii)フェノールフタレイン指示薬数滴を加え、0.1mol/L水酸化カリウム滴定用溶液で滴定する。指示薬の微紅色が30sec続いたときを中和の終点とする。
(iii)次式を用いて決定する。
弱酸価(mgKOH/g)=(A×f×5.61)/S
ただし、A:0.1mol/L水酸化カリウム滴定用溶液のmL数。
f:0.1mol/L水酸化カリウム滴定用溶液の力価
S:試料採取(g)
The weak acid value in the present invention can be measured by an indicator titration method using an alkaline titration solution.
The method is as follows.
(I) About 1 g of a sample is precisely weighed and placed in an Erlenmeyer flask, and then a neutral methanol / acetone solution (a mixture of acetone and methanol at 1: 1 (volume ratio)) is added and dissolved.
(Ii) Add several drops of phenolphthalein indicator and titrate with 0.1 mol / L potassium hydroxide titration solution. The end point of neutralization is defined as the time when the indicator is slightly red for 30 seconds.
(Iii) Determine using the following equation.
Weak acid value (mgKOH / g) = (A × f × 5.61) / S
However, A: The number of mL of 0.1 mol / L potassium hydroxide titration solution.
f: Potency of 0.1 mol / L potassium hydroxide titration solution
S: Sampling (g)

(A)は、該(A)の重量に基づく(メタ)アクリロイル基の濃度が、硬化物の硬度の観点から通常2〜9mmol/g、好ましくは2.5〜8mmol/g、さらに好ましくは3〜7mmol/gである。アクリロイル基濃度が2mmol/g未満であると硬度向上の効果が発現できない。また、9mmol/gを超えると現像性が悪くなる。 In (A), the concentration of the (meth) acryloyl group based on the weight of (A) is usually 2 to 9 mmol / g, preferably 2.5 to 8 mmol / g, more preferably 3 from the viewpoint of the hardness of the cured product. ~ 7 mmol / g. When the acryloyl group concentration is less than 2 mmol / g, the effect of improving the hardness cannot be exhibited. On the other hand, if it exceeds 9 mmol / g, developability deteriorates.

本発明における(メタ)アクリロイル基の濃度は、二重結合へのアミンの付加反応(マイケル付加)を利用した滴定法により測定できる。方法は以下の通りである。
(i)試料約1gを精秤して三角フラスコに入れ、続いてアセトン約10mlを加え溶解する。
(ii)モルホリン標準液[モルホリンとメタノールを1:4(容量比)で混合したもの]10mlを加え、さらに50%酢酸標準液[酢酸とイオン交換水を1:1(容量比)で混合したもの]1.5mlを加えてよく振とうした後、室温で15分間放置する。
(iii)アセトニトリル15ml及び無水酢酸10mlを上記三角フラスコに加えよく振とうする。
(iv)記録式自動滴定装置を用いて、0.5mol/Lの塩酸・メタノール滴定用溶液を用いて滴定する。
(v)同時に空試験を実施し、下式にて決定する。
二重結合濃度(mmol/g) = f × (A−B) / 2S
ただし、A:試料の滴定に要した0.5mol/L塩酸・メタノール滴定用溶液のm L数。
B:空試験に要した0.5mol/L塩酸・メタノール滴定用溶液のmL数。
f:0.5mol/L塩酸・メタノール滴定用溶液の力価。
S:試料採取量(g)
The concentration of the (meth) acryloyl group in the present invention can be measured by a titration method using an amine addition reaction (Michael addition) to a double bond. The method is as follows.
(I) About 1 g of a sample is precisely weighed and placed in an Erlenmeyer flask, and then about 10 ml of acetone is added and dissolved.
(ii) 10 ml of morpholine standard solution [mixed morpholine and methanol at 1: 4 (volume ratio)] was added, and 50% acetic acid standard solution [acetic acid and ion-exchanged water was mixed at 1: 1 (volume ratio). Things] Add 1.5 ml and shake well, then leave at room temperature for 15 minutes.
(iii) Add 15 ml of acetonitrile and 10 ml of acetic anhydride to the above Erlenmeyer flask and shake well.
(iv) Titrate with a 0.5 mol / L hydrochloric acid / methanol titration solution using a recording type automatic titrator.
(v) Conduct a blank test at the same time, and determine with the following formula.
Double bond concentration (mmol / g) = f * (AB) / 2S
However, A: mL number of 0.5 mol / L hydrochloric acid / methanol titration solution required for the titration of the sample.
B: Number of mL of 0.5 mol / L hydrochloric acid / methanol titration solution required for the blank test.
f: The titer of 0.5 mol / L hydrochloric acid / methanol titration solution.
S: Sampling amount (g)

また、(A)のSP値は、現像性の観点から、(A)のSP値から後述する多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)(以下、単に(B)と表記する場合がある)のSP値を引いた差が通常−1〜1、好ましくは−0.8〜0.8、さらに好ましくは−0.6〜0.6、特に好ましくは−0.3〜0.3である。SP値の差が−1〜1の範囲を外れると現像性が悪くなる。
SP値が近いもの同士はお互いに混ざりやすく(分散性が高い)、SP値の差は、この数値が離れているものは混ざりにくいことを表す指標である。
なお、(A)と(B)とのSP値の差が−1〜1であれば、現像工程での(A)と(B)との分離が起こりにくいので、均一な現像ができる(現像液への溶解性が均一である)という効果を発現できるものと推定される。
Moreover, the SP value of (A) is the polyfunctional (meth) acrylate monomer (B) described below from the SP value of (A) from the viewpoint of developability (hereinafter sometimes simply referred to as (B)). The difference obtained by subtracting the SP value is usually −1 to 1, preferably −0.8 to 0.8, more preferably −0.6 to 0.6, and particularly preferably −0.3 to 0.3. If the difference in SP value is out of the range of −1 to 1, the developability deteriorates.
Those with close SP values are likely to be mixed with each other (high dispersibility), and the difference in SP value is an index that indicates that those with different numerical values are difficult to mix.
If the difference in SP value between (A) and (B) is −1 to 1, separation between (A) and (B) in the development process is unlikely to occur, so uniform development can be performed (development). It is presumed that the effect that the solubility in the liquid is uniform) can be exhibited.

また、(A)のSP値は、好ましくは7〜14、さら好ましくは8〜13、特に好ましくは11〜13である。7以上であるとさらに現像性が良好に発揮でき、14以下であると硬化物の耐水性がさらに良好である。   The SP value of (A) is preferably 7 to 14, more preferably 8 to 13, and particularly preferably 11 to 13. When it is 7 or more, the developability can be further improved, and when it is 14 or less, the water resistance of the cured product is further improved.

本発明におけるSP値は、Fedorsらが提案した下記の文献に記載の方法によって計算されるものである。
「POLYMER ENGINEERING AND SCIENCE,FEBRUARY,1974,Vol.14,No.2,ROBERT F.FEDORS.(151〜153頁)」
The SP value in the present invention is calculated by the method described in the following document proposed by Fedors et al.
“POLYMER ENGINEERING AND SCIENCE, FEBRUARY, 1974, Vol. 14, No. 2, ROBERT F. FEDORS. (Pages 151-153)”

本発明の感光性樹脂組成物においては、親水性ポリマー(A)が、上記範囲の弱酸価、上記範囲の(メタ)アクリロイル基濃度を有し、(A)と(B)とのSP値の差が−1〜1である。
ここで、(A)と(B)とのSP値の差が−1〜1であるようにするためには、先ず(B)の組成を設定してSP値を決定し、そのSP値との差が上記範囲になるように(A)の組成を選択してもよく、逆に、先ず(A)の組成を設定してSP値を決定し、そのSP値との差が上記範囲になるような(B)を選択してもよい。
(B)は硬化物の弾性回復特性の観点から組成が選択し易いのでSP値が設定しやすく、かつ、(A)は組成の組み合わせの選択肢が多いという観点から、好ましいのは前者である。
また、SP値の設定と共に、(A)の弱酸価と(メタ)アクリロイル基濃度の設定が必要であるが、これらの設定の順序は、先ずSP値、次に弱酸価、最後に(メタ)アクリロイル基濃度を考慮して(A)の組成を設定するという方法が好ましい。
In the photosensitive resin composition of the present invention, the hydrophilic polymer (A) has a weak acid value in the above range, a (meth) acryloyl group concentration in the above range, and has an SP value of (A) and (B). The difference is −1 to 1.
Here, in order to make the difference in SP value between (A) and (B) be −1 to 1, first, the composition of (B) is set and the SP value is determined. The composition of (A) may be selected so that the difference in the above is within the above range. Conversely, the SP value is determined by first setting the composition in (A), and the difference from the SP value is within the above range. (B) may be selected.
In (B), the composition is easy to select from the viewpoint of the elastic recovery characteristics of the cured product, so that the SP value is easy to set, and (A) is preferable from the viewpoint that there are many combinations of compositions.
In addition to the setting of the SP value, it is necessary to set the weak acid value (A) and the (meth) acryloyl group concentration. The order of these settings is first the SP value, then the weak acid value, and finally (meth). A method of setting the composition (A) in consideration of the acryloyl group concentration is preferable.

(A)の数平均分子量(以下、Mnと略記。ゲルパーミュエーションクロマトグラフィーによる測定値)は、フォトスペーサとなったときの弾性回復特性と現像性の観点から、好ましくは500〜100,000、さらに好ましくは1,000〜30,000、特に好ましくは5,000〜20,000である   The number average molecular weight (hereinafter abbreviated as Mn, measured by gel permeation chromatography) of (A) is preferably 500 to 100,000 from the viewpoint of elastic recovery characteristics and developability when it becomes a photospacer. More preferably, it is 1,000 to 30,000, particularly preferably 5,000 to 20,000.

親水性ポリマー(A)は、不飽和多塩基酸無水物を必須構成単量体とする共重合体(A0)(以下、単にA0と表記する場合がある)中の酸無水物基と、水酸基、1級アミノ基及び2級アミノ基から選ばれる少なくとも1種の官能基及び(メタ)アクリロイル基を有する化合物(e)(以下、単に(e)と表記する場合がある)中の該官能基を反応させて得られるポリマーであり、(A0)中の酸無水物基の一部もしくは全てが(e)中の水酸基等の官能基と反応させて得られるものであるので、分子中にカルボキシル基と酸無水物基、またはカルボキシル基を有する。。 The hydrophilic polymer (A) is a copolymer of an unsaturated polybasic acid anhydride as essential constituent monomer (A 0) and an acid anhydride group (hereinafter, simply there if referred to as A 0) in In the compound (e) having at least one functional group selected from a hydroxyl group, a primary amino group and a secondary amino group and a (meth) acryloyl group (hereinafter sometimes simply referred to as (e)) A polymer obtained by reacting a functional group, which is obtained by reacting a part or all of the acid anhydride group in (A 0 ) with a functional group such as a hydroxyl group in (e). It has a carboxyl group and an acid anhydride group or a carboxyl group. .

(A0)としては、不飽和多塩基酸無水物と、不飽和多塩基酸無水物と共重合可能な1種類以上の他のラジカル重合性モノマーをラジカル重合開始剤を用いて共重合して得られる重合体が挙げられる。 (A 0 ) is obtained by copolymerizing an unsaturated polybasic acid anhydride and one or more other radical polymerizable monomers copolymerizable with the unsaturated polybasic acid anhydride using a radical polymerization initiator. The polymer obtained is mentioned.

不飽和多塩基酸無水物としては、ラジカル重合性の不飽和基を有する2〜3価の多塩基酸無水物が挙げられ、例えば不飽和二塩基酸無水物としては無水マレイン酸および無水イタコン酸など、および不飽和三塩基酸無水物としては無水アコニット酸が挙げられる。これらのうち共重合性の観点から無水マレイン酸が好ましい。   Examples of unsaturated polybasic acid anhydrides include divalent and trivalent polybasic acid anhydrides having radically polymerizable unsaturated groups. Examples of unsaturated dibasic acid anhydrides include maleic anhydride and itaconic anhydride. And unsaturated tribasic acid anhydrides include aconitic anhydride. Of these, maleic anhydride is preferred from the viewpoint of copolymerization.

不飽和多塩基酸無水物と共重合可能な他のラジカル重合性モノマーとしては、重合反応の条件下において酸無水物基と反応しないモノマーであれば特に制限はない。例えばエチレン、プロピレン及びブテン等の炭素数2〜12のオレフィン系炭化水素;スチレン、α−メチルスチレン、クロロメチルスチレン及びビニルフェノール等の芳香族系モノマー;メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート及びブチル(メタ)アクリレート等のアルキル基の炭素数1〜12の(メタ)アクリル酸アルキルエステル系モノマー;(メタ)アクリルアミド及びアルキル置換(メタ)アクリルアミド等のアクリルアミド系モノマー;メチルビニルエーテル等のアルキル基の炭素数1〜8のアルキルビニルエーテル系モノマー;酢酸ビニル等のカルボン酸の炭素数2〜12のカルボン酸ビニルエステル系モノマー等が使用される。これらは単独または2つ以上を同時に使用することができる。これらのうち耐熱性の観点から芳香族モノマーが好ましく、さらに好ましくは共重合性の観点からスチレンである。   The other radical polymerizable monomer copolymerizable with the unsaturated polybasic acid anhydride is not particularly limited as long as it is a monomer that does not react with the acid anhydride group under the polymerization reaction conditions. For example, olefinic hydrocarbons having 2 to 12 carbon atoms such as ethylene, propylene and butene; aromatic monomers such as styrene, α-methylstyrene, chloromethylstyrene and vinylphenol; methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate And (meth) acrylic acid alkyl ester monomers having 1 to 12 carbon atoms of alkyl groups such as butyl (meth) acrylate; acrylamide monomers such as (meth) acrylamide and alkyl-substituted (meth) acrylamide; alkyl groups such as methyl vinyl ether A C 1-8 alkyl vinyl ether monomer; a C 2-12 carboxylic acid vinyl ester monomer of a carboxylic acid such as vinyl acetate. These can be used alone or in combination of two or more. Of these, aromatic monomers are preferable from the viewpoint of heat resistance, and styrene is more preferable from the viewpoint of copolymerization.

不飽和多塩基酸無水物と、これに共重合させる他のラジカル重合性モノマ−の割合は、現像性の観点から好ましくは不飽和多塩基酸無水物1モルに対し、他のラジカル重合性モノマーの合計が0.3〜3モル、さらに好ましくは、0.5〜1.5モルの割合が良好である。   From the viewpoint of developability, the ratio of the unsaturated polybasic acid anhydride and the other radical polymerizable monomer copolymerized therewith is preferably another radical polymerizable monomer relative to 1 mol of the unsaturated polybasic acid anhydride. Is a ratio of 0.3 to 3 mol, more preferably 0.5 to 1.5 mol.

(A0)の製造は、不飽和多塩基酸無水物及び共重合可能な他のラジカル重合性モノマーを、必要により溶剤で希釈した後、ラジカル重合開始剤によって重合を行うことで達成できる。
溶剤としては、グリコールジエーテル類(エチレングリコールジアルキルエーテルおよびプロピレングリコールジアルキルエーテルなど)、ケトン類(アセトン、メチルエチルケトンおよびメチルイソフ゛チルケトンなど)及びハロゲン化炭化水素類(ジクロルエタンなど)が挙げられる。溶剤のうち好ましいのはケトン類である。
溶剤を使用する場合、その使用量は特に限定されないが、モノマーの合計重量に基づいて、通常400重量%以下、好ましくは5〜300%(以下において、%は特に限定しない限り重量%を表す)、特に好ましくは10〜200%である。
ラジカル重合開始剤としては、通常の過酸化物及びアゾ化合物が挙げられ、好ましいものはアゾ化合物である。重合開始剤の使用量は、モノマーの合計重量に基づいて、通常、0.0001〜20%が好ましく、さらに好ましくは0.001〜15%、特に好ましくは0.005〜10%である。反応温度は、ラジカル重合開始剤の種類により適宜決定されるが好ましくは40〜150℃である。
The production of (A 0 ) can be achieved by diluting the unsaturated polybasic acid anhydride and other copolymerizable monomer that can be copolymerized with a solvent, if necessary, and then performing polymerization with a radical polymerization initiator.
Examples of the solvent include glycol diethers (such as ethylene glycol dialkyl ether and propylene glycol dialkyl ether), ketones (such as acetone, methyl ethyl ketone, and methyl isobutyl ketone), and halogenated hydrocarbons (such as dichloroethane). Of the solvents, ketones are preferred.
When a solvent is used, the amount used is not particularly limited, but is usually 400% by weight or less, preferably 5 to 300% based on the total weight of monomers (in the following,% represents weight% unless otherwise specified). Especially preferably, it is 10 to 200%.
Examples of the radical polymerization initiator include normal peroxides and azo compounds, and preferred are azo compounds. The amount of the polymerization initiator used is usually preferably 0.0001 to 20%, more preferably 0.001 to 15%, and particularly preferably 0.005 to 10% based on the total weight of the monomers. The reaction temperature is appropriately determined depending on the type of radical polymerization initiator, but is preferably 40 to 150 ° C.

親水性ポリマー(A)は、(A0)に、さらに(e)を加えて、必要によりさらに溶剤および/または触媒の存在下に、加熱・撹拌することにより得られる。
この反応は、(A0)中の酸無水物基と、(e)中の水酸基、1級アミノ基および/または2級アミノ基が反応して、ハーフエステルおよび/またはハーフアミドを形成する反応である。
The hydrophilic polymer (A) can be obtained by adding (e) to (A 0 ) and heating and stirring in the presence of a solvent and / or a catalyst as necessary.
This reaction is a reaction in which an acid anhydride group in (A 0 ) and a hydroxyl group, primary amino group and / or secondary amino group in (e) react to form a half ester and / or a half amide. It is.

(e)としては、1分子中に1個、2個または3個以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物が挙げられ、以下の(e1)〜(e4)及びこれらの混合物が例示される。   Examples of (e) include compounds having one, two, or three (meth) acryloyl groups in one molecule, and the following (e1) to (e4) and mixtures thereof are exemplified.

1分子中に、水酸基、1級アミノ基もしくは2級アミノ基から選ばれる1個の官能基、及び1個の(メタ)アクリロイル基を有する化合物(e1)としては:
アルキル基の炭素数2〜20のヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート[2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート及び1−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート等];ポリアルキレングリコールモノ(メタ)アクリレート(アルキレン基の炭素数2〜8、重量平均分子量100〜10,000)[ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリエチレン・ポリプロピレングリコール(オキシエチレンの含有量10〜90重量%)モノ(メタ)アクリレート及びポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート等];アルキル基の炭素数2〜20のアミノアルキル(メタ)アクリレート[アミノエチル(メタ)アクリレート、アミノイソプロピル(メタ)アクリレート、アミノブチル(メタ)アクリレート及びアミノヘキシル(メタ)アクリレート等]及びアルキル基の合計の炭素数3〜24のN−アルキルアミノアルキル(メタ)アクリレート[N−メチルアミノエチル(メタ)アクリレート、N−エチルアミノエチル(メタ)アクリレート、N−メチルアミノイソプロピル(メタ)アクリレート、N−メチルアミノブチル(メタ)アクリレート及びN−メチルアミノヘキシル(メタ)アクリレート等]等が挙げられる。
As a compound (e1) having one functional group selected from a hydroxyl group, a primary amino group or a secondary amino group, and one (meth) acryloyl group in one molecule:
C2-C20 hydroxyalkyl (meth) acrylate of alkyl group [2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 3-hydroxypropyl (meth) acrylate and 1-hydroxybutyl (meth) Acrylates, etc.]; polyalkylene glycol mono (meth) acrylate (2 to 8 carbon atoms of alkylene group, weight average molecular weight 100 to 10,000) [polyethylene glycol mono (meth) acrylate, polyethylene / polypropylene glycol (oxyethylene content) 10 to 90% by weight) mono (meth) acrylate and polypropylene glycol mono (meth) acrylate, etc.]; aminoalkyl (meth) acrylate having 2 to 20 carbon atoms in the alkyl group [aminoethyl (meth) acrylate , Aminoisopropyl (meth) acrylate, aminobutyl (meth) acrylate, aminohexyl (meth) acrylate, etc.] and N-alkylaminoalkyl (meth) acrylate having 3 to 24 carbon atoms in total of the alkyl group [N-methylaminoethyl (Meth) acrylate, N-ethylaminoethyl (meth) acrylate, N-methylaminoisopropyl (meth) acrylate, N-methylaminobutyl (meth) acrylate, N-methylaminohexyl (meth) acrylate, etc.]. .

1分子中に、水酸基、1級アミノ基もしくは2級アミノ基から選ばれる1個の官能基、及び2個の(メタ)アクリロイル基を有する化合物(e2)としては:3価アルコールのジ(メタ)アクリレート[グリセリンジ(メタ)アクリレート及びトリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート等]及びN,N−ジ(メタ)アクリロイルエチルアルキレンジアミン[N,N−ジ(メタ)アクリロイルエチルエチレンジアミン等]が挙げられる。 As a compound (e2) having one functional group selected from a hydroxyl group, a primary amino group or a secondary amino group, and two (meth) acryloyl groups in one molecule: ) Acrylates [glycerin di (meth) acrylate and trimethylolpropane di (meth) acrylate etc.] and N, N-di (meth) acryloylethylalkylenediamine [N, N-di (meth) acryloylethylethylenediamine etc.]. .

1分子中に、水酸基、1級アミノ基もしくは2級アミノ基から選ばれる1個の官能基、及び3個以上(好ましくは3〜5個)の(メタ)アクリロイル基を有する化合物(e3)としては:4価アルコールのトリ(メタ)アクリレート[ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジグリセリントリ(メタ)アクリレートおよびソルビタントリ(メタ)アクリレート等];5価アルコールのテトラ(メタ)アクリレート[トリグリセリンテトラ(メタ)アクリレート等];及び6価アルコールのペンタ(メタ)アクリレート[ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート等]が挙げられる。 As a compound (e3) having one functional group selected from a hydroxyl group, a primary amino group or a secondary amino group, and 3 or more (preferably 3 to 5) (meth) acryloyl groups in one molecule Is: tri (meth) acrylate of tetrahydric alcohol [pentaerythritol tri (meth) acrylate, diglycerin tri (meth) acrylate, sorbitan tri (meth) acrylate, etc.]; tetrahydric alcohol tetra (meth) acrylate [triglycerin tetra (Meth) acrylates and the like]; and penta (meth) acrylates of hexavalent alcohols [dipentaerythritol penta (meth) acrylates and the like].

1分子中に、水酸基、1級アミノ基もしくは2級アミノ基から選ばれる1種以上の官能基を2個以上(好ましくは2〜3個)、及び1個以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物(e4)としては;3価アルコールのモノ(メタ)アクリレート[グリセリンモノ(メタ)アクリレート及びトリメチロールプロパンモノ(メタ)アクリレート等];4価アルコールのモノもしくはジ(メタ)アクリレート[ペンタエリスリトールモノ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート及びジグリセリンジ(メタ)アクリレート等];5価アルコールのモノ、ジもしくはトリ(メタ)アクリレート[トリグリセリントリ(メタ)アクリレート等];及び6価アルコールのモノ、ジ、トリもしくはテトラ(メタ)アクリレート[ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート等]が挙げられる。 One molecule has 2 or more (preferably 2 to 3) one or more functional groups selected from a hydroxyl group, a primary amino group or a secondary amino group, and one or more (meth) acryloyl groups. Compound (e4): trivalent alcohol mono (meth) acrylate [glycerin mono (meth) acrylate and trimethylolpropane mono (meth) acrylate, etc.]; tetravalent alcohol mono or di (meth) acrylate [pentaerythritol mono (Meth) acrylate, pentaerythritol di (meth) acrylate and diglycerin di (meth) acrylate, etc.]; monovalent, di- or tri (meth) acrylate of pentavalent alcohol [triglycerin tri (meth) acrylate etc.]; and hexavalent alcohol Mono, di, tri or tetra (meta) acrylate [Dipentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol tetra (meth) acrylate], and.

上記の(e)が含有する水酸基、1級アミノ基および2級アミノ基のうちで好ましいのは
(e)の製造のし易さの観点から水酸基である。
(e)は、(e1)〜(e4)の混合物であってもよく、混合物の場合の混合割合は特に限定されないが、弾性回復特性の観点から好ましいのは、1分子中に上記官能基を1個のみ有する(メタ)アクリレート[(e1)〜(e3)]を50%以上、さらに好ましくは70%以上、特に80%以上含有するものである。
1分子中に上記官能基を1個のみ有する(メタ)アクリレート[(e1)〜(e3)]のうち、さらに好ましいのは(メタ)アクリロイル基を高濃度にできるという観点から(e2)または(e3)、特に(e3)であり、(e3)のうちでも、硬化物が硬くなりすぎないという観点から4価アルコールのトリ(メタ)アクリレート、とりわけペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレートである。
Of the hydroxyl group, primary amino group and secondary amino group contained in (e) above, a hydroxyl group is preferred from the viewpoint of ease of production of (e).
(E) may be a mixture of (e1) to (e4), and the mixing ratio in the case of the mixture is not particularly limited, but from the viewpoint of elastic recovery properties, the functional group is preferably contained in one molecule. One (meth) acrylate [(e1) to (e3)] having only one is 50% or more, more preferably 70% or more, particularly 80% or more.
Among (meth) acrylates [(e1) to (e3)] having only one of the above functional groups in one molecule, (e2) or (e) is more preferable from the viewpoint that the (meth) acryloyl group can be highly concentrated. e3), particularly (e3), and among (e3), tri (meth) acrylates of tetrahydric alcohols, particularly pentaerythritol tri (meth) acrylate, from the viewpoint that the cured product is not too hard.

(A0)と(e)の反応における(e)の仕込量は、目標とする(A)の弱酸価、(メタ)アクリロイル基濃度およびSP値によって適宜選択されるが、(A0)の製造時の不飽和多塩基酸無水物のモル数に対し、好ましくは5〜60モル%、さらに好ましくは10〜50モル%である。この範囲であれば、(A)の弱酸価、(メタ)アクリロイル基濃度およびSP値が前述の範囲に入りやすい。 The charged amount of (e) in the reaction of (A 0 ) and (e) is appropriately selected depending on the target weak acid value of (A), (meth) acryloyl group concentration and SP value, but (A 0 ) Preferably it is 5-60 mol% with respect to the number-of-moles of unsaturated polybasic acid anhydride at the time of manufacture, More preferably, it is 10-50 mol%. Within this range, the weak acid value, (meth) acryloyl group concentration, and SP value of (A) are likely to fall within the above-mentioned ranges.

溶剤としては、上記(A0)の製造の場合と同様のものが例示できる。
触媒としては、ピリジン、トリエチルアミン、2−メチルイミダゾール等の塩基性触媒が挙げられる。触媒は、(A0)の重量に対し、好ましくは0.05〜1%、さらに好ましくは0.1〜0.6%の範囲内で添加する。
反応温度は、通常50〜120℃、好ましくは95〜100℃であり、反応時間は通常0.5〜10時間、好ましくは1〜5時間反応である。
Examples of the solvent are the same as those in the production of (A 0 ).
Examples of the catalyst include basic catalysts such as pyridine, triethylamine, and 2-methylimidazole. The catalyst is added in an amount of preferably 0.05 to 1%, more preferably 0.1 to 0.6%, based on the weight of (A 0 ).
The reaction temperature is usually 50 to 120 ° C., preferably 95 to 100 ° C., and the reaction time is usually 0.5 to 10 hours, preferably 1 to 5 hours.

(A)の具体例としては、
無水マレイン酸/スチレン(46.5/53.5モル比)共重合体100部とペンタエリスリトールトリアクリレート110.3部の反応生成物(弱酸価=128mgKOH/g、アクリロイル基濃度=6.0mmol/g、SP値=11.3、Mn=25,000);
無水マレイン酸/スチレン(46.5/53.5モル比)共重合体100部と2−ヒドロキシエチルメタアクリレート59.7部の反応生成物(弱酸価=177mgKOH/g、アクリロイル基濃度=3.15mmol/g、SP値=10.24、Mn=22,000);等が挙げられる。
As a specific example of (A),
Reaction product of 100 parts of maleic anhydride / styrene (46.5 / 53.5 molar ratio) copolymer and 110.3 parts of pentaerythritol triacrylate (weak acid value = 128 mg KOH / g, acryloyl group concentration = 6.0 mmol / g, SP value = 11.3, Mn = 25,000);
Reaction product of 100 parts of maleic anhydride / styrene (46.5 / 53.5 molar ratio) copolymer and 59.7 parts of 2-hydroxyethyl methacrylate (weak acid value = 177 mgKOH / g, acryloyl group concentration = 3. 15 mmol / g, SP value = 10.24, Mn = 22,000);

本発明の感光性樹脂組成物は、感光性樹脂組成物の固形分に基づいて、(A)を好ましくは3〜50%、さらに好ましくは3〜35%、特に好ましくは3〜29%含有する。
3%以上であればさらに良好に現像性を発揮でき、50%以下であれば硬化物の耐水性がさらに良好になる。
なお、本明細書において「固形分」とは当該組成物から溶剤を除いた成分を意味する。
The photosensitive resin composition of the present invention contains (A) preferably 3 to 50%, more preferably 3 to 35%, and particularly preferably 3 to 29% based on the solid content of the photosensitive resin composition. .
If it is 3% or more, the developability can be further improved, and if it is 50% or less, the water resistance of the cured product is further improved.
In the present specification, the “solid content” means a component obtained by removing the solvent from the composition.

本発明において、感光性樹脂組成物中の1つの成分として用いられる多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)(以下、単に(B)と表記する場合がある)としては、公知の多官能(メタ)アクリレートモノマーであれば、とくに限定されずに用いられ、2官能(メタ)アクリレート(B1)、3官能(メタ)アクリレート(B2)および4〜6官能(メタ)アクリレート(B3)が挙げられる。   In the present invention, the polyfunctional (meth) acrylate monomer (B) (hereinafter sometimes simply referred to as (B)) used as one component in the photosensitive resin composition is a known polyfunctional (meta) The acrylate monomer is not particularly limited, and examples thereof include bifunctional (meth) acrylate (B1), trifunctional (meth) acrylate (B2), and 4-6 functional (meth) acrylate (B3).

2官能(メタ)アクリレート(B1)としては、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、グリセリンジ(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート(メタクリレートのSP値=12.5、アクリレートのSP値=10.3)、1,9−ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、1,10−デカンジオールジ(メタ)アクリレート、3−メチル−1,5−ペンタンジオールジ(メタ)アクリレート、2−ブチル−2−エチル−1,3−プロパンジオールジ(メタ)アクリレート、ジメチロール−トリシクロデカンジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAのエチレンオキサイド付加物のジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAのプロピレンオキサイド付加物のジ(メタ)アクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート等が例示される。 Examples of the bifunctional (meth) acrylate (B1) include ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, propylene glycol di (meth) acrylate, dipropylene glycol di (meth) acrylate, and polyethylene glycol di (meth). Acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, glycerin di (meth) acrylate, 1,4-butanediol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate ( SP value of methacrylate = 12.5, SP value of acrylate = 10.3), 1,9-nonanediol di (meth) acrylate, 1,10-decandiol di (meth) acrylate, 3-methyl-1, -Pentanediol di (meth) acrylate, 2-butyl-2-ethyl-1,3-propanediol di (meth) acrylate, dimethylol-tricyclodecane di (meth) acrylate, di (ethylene oxide adduct of bisphenol A ( Examples include (meth) acrylate, di (meth) acrylate of propylene oxide adduct of bisphenol A, and neopentyl glycol di (meth) acrylate of hydroxypivalate.

3官能(メタ)アクリレート(B2)としては、グリセリントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート(メタクリレートのSP値=12.5、アクリレートのSP値=10.3)、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート(メタクリレートのSP値=12.5、アクリレートのSP値=10.3)、トリメチロールプロパンのエチレンオキサイド付加物のトリ(メタ)アクリレート等が例示される。 As trifunctional (meth) acrylate (B2), glycerin tri (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate (SP value of methacrylate = 12.5, SP value of acrylate = 10.3), pentaerythritol tri Examples include (meth) acrylate (SP value of methacrylate = 12.5, SP value of acrylate = 10.3), tri (meth) acrylate of ethylene oxide adduct of trimethylolpropane, and the like.

4〜6官能(メタ)アクリレート(B3)としては、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート(メタクリレートのSP値=12.5、アクリレートのSP値=10.3)、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート(メタクリレートのSP値=12.5、アクリレートのSP値=10.3)等が例示される。 As the 4- to 6-functional (meth) acrylate (B3), pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate (methacrylate SP value = 12.5, acrylate SP value = 10.3), Examples include dipentaerythritol hexa (meth) acrylate (SP value of methacrylate = 12.5, SP value of acrylate = 10.3).

(B)は、親水性ポリマー(A)とのSP値の差が−1〜1であることが必要であって、その観点および硬化物の弾性回復特性の観点から、これらのうち好ましいものは、(B2)及び(B3)、最も好ましいものは、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートである。市場から容易に入手できる(B)としては、例えば、アロニックスM−101、M−208、M−240、M−305、M−400(以上、東亞合成製)等が挙げられる。 (B) is required to have a difference in SP value from the hydrophilic polymer (A) of −1 to 1, and from these viewpoints and from the viewpoint of the elastic recovery properties of the cured product, preferred are among these , (B2) and (B3), most preferred is dipentaerythritol hexa (meth) acrylate. Examples of (B) that can be easily obtained from the market include Aronix M-101, M-208, M-240, M-305, and M-400 (manufactured by Toagosei Co., Ltd.).

また、本発明における(B)には、その一部に感光性(メタ)アクリルオリゴマー(B4)を含んでいてもよい。(B4)としては、Mnが1,000以下であって、カルボキシル基を含有せず、1分子中に2個以上の(メタ)アクリロイル基を有するウレタン(メタ)アクリレート、ポリエステル(メタ)アクリレートおよびポリエーテル(メタ)アクリレートなどが挙げられる。
(B)中の(B4)の含有量は好ましくは50%以下、さらに好ましくは30%以下である。
Moreover, (B) in this invention may contain the photosensitive (meth) acryl oligomer (B4) in the one part. As (B4), Mn is 1,000 or less, does not contain a carboxyl group, and has two or more (meth) acryloyl groups in one molecule, urethane (meth) acrylate, polyester (meth) acrylate, and Examples include polyether (meth) acrylate.
The content of (B4) in (B) is preferably 50% or less, more preferably 30% or less.

感光性樹脂組成物の固形分の重量に基づく(B)の含有量は、10〜95%が好ましく、さらに好ましくは50〜95%、特に好ましくは70〜95%である。10%以上であれば弾性回復特性が好ましくなり、70%以上であれば弾性回復特性がさらに好ましくなり、95%以下であれば、さらに現像性が良好になる。   The content of (B) based on the weight of the solid content of the photosensitive resin composition is preferably 10 to 95%, more preferably 50 to 95%, and particularly preferably 70 to 95%. If it is 10% or more, the elastic recovery property is preferable, if it is 70% or more, the elastic recovery property is more preferable, and if it is 95% or less, the developability is further improved.

感光性樹脂組成物中の1つの成分として用いられる光重合開始剤(C)(以下、単に(C)と表記する場合がある)としては、光ラジカル重合開始剤が用いられる。例えば、ベンジルジメチルケタール、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、ベンゾフェノン、メチルベンゾイルフォーメート、イソプロピルチオキサントン、4,4−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、3,3−ジメチル−4−メトキシ−ベンゾフェノン、アントラキノン、2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、tert−ブチルアントラキノン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテル、アセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオフェノン、4−イソプロピル−2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオフェノン、2−メチル−1−(4−(メチルチオ)フェニル)−2−モルフォリノ−1−プロパノン、2−クロロチオキサントン、ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、ジイソプロピルチオキサントン、ミヒラーズケトン、ベンジル−2,4,6−(トリハロメチル)トリアジン、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、9−フェニルアクリジン、1,7−ビス(9ーアクリジニル)ヘプタン、1,5−ビス(9−アクリジニル)ペンタン、1,3−ビス(9−アクリジニル)プロパン、ジメチルベンジルケタール、トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド、トリブロモメチルフェニルスルホン及び2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン等が挙げられる。   As the photopolymerization initiator (C) (hereinafter sometimes simply referred to as (C)) used as one component in the photosensitive resin composition, a photoradical polymerization initiator is used. For example, benzyl dimethyl ketal, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, benzophenone, methyl benzoyl formate, isopropyl thioxanthone, 4,4-bis (dimethylamino) benzophenone 3,3-dimethyl-4-methoxy-benzophenone, anthraquinone, 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, tert-butylanthraquinone, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin propyl ether, acetophenone, 2,2- Dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, 2-hydroxy-2-methylpropiophenone, 4-isopropyl-2-hydride Xyl-2-methylpropiophenone, 2-methyl-1- (4- (methylthio) phenyl) -2-morpholino-1-propanone, 2-chlorothioxanthone, diethylthioxanthone, isopropylthioxanthone, diisopropylthioxanthone, Michler's ketone, benzyl- 2,4,6- (trihalomethyl) triazine, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, 9-phenylacridine, 1,7-bis (9-acridinyl) heptane, 1,5- Bis (9-acridinyl) pentane, 1,3-bis (9-acridinyl) propane, dimethylbenzyl ketal, trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, tribromomethylphenylsulfone and 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4 Morpholinophenyl) - butan-1-one, and the like.

(C)は、市販のものが容易に入手することができ、例えばイルガキュア907、イルガキュア369(チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製)等が挙げられる。   As (C), a commercially available product can be easily obtained. Examples thereof include Irgacure 907 and Irgacure 369 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals).

感光性樹脂組成物の固形分の重量に基づく(C)の含有量は、0.0001〜20%が好ましく、さらに好ましくは0.001〜15%、特に好ましくは0.005〜10%である。0.0001%以上であれば弾性回復特性がさらに良好に発揮でき、20%以下であれば現像性がさらに良好に発揮できる。   The content of (C) based on the weight of the solid content of the photosensitive resin composition is preferably 0.0001 to 20%, more preferably 0.001 to 15%, and particularly preferably 0.005 to 10%. . If it is 0.0001% or more, the elastic recovery property can be exhibited more satisfactorily, and if it is 20% or less, the developability can be exhibited more satisfactorily.

感光性樹脂組成物は、必要によりさらにその他の成分(F)を含有していてもよい。
(F)としては、無機微粒子(F1)、増感剤(F2)、重合禁止剤(F3)、溶剤(F4)、並びにその他の添加剤(F5)(例えば、無機顔料、シランカップリング剤、染料、蛍光増白剤、黄変防止剤、酸化防止剤、消泡剤、消臭剤、芳香剤、殺菌剤、防菌剤及び防かび剤等)が挙げられる。
The photosensitive resin composition may further contain other components (F) as necessary.
As (F), inorganic fine particles (F1), sensitizers (F2), polymerization inhibitors (F3), solvents (F4), and other additives (F5) (for example, inorganic pigments, silane coupling agents, Dyes, fluorescent brighteners, yellowing inhibitors, antioxidants, antifoaming agents, deodorants, fragrances, bactericides, antibacterial agents and fungicides, and the like.

無機微粒子(F1)としては、金属酸化物(F11)および金属塩(F12)が使用できる。
(F11)としては、公知のもの、例えば、酸化チタン、酸化ケイ素および酸化アルミニウム等が挙げられる。
(F12)としては、公知のもの、例えば、炭酸カルシウムおよび硫酸バリウム等が挙げられる。
これらのうちで、耐熱性および耐薬品性の観点から、(F11)が好ましく、さらに好ましくは、酸化ケイ素および酸化チタン、特に酸化ケイ素が好ましい。
(F1)は、体積平均一次粒子径が1〜200nm、フォトスペーサとしたときの透明性と弾性復元性の観点から、好ましくは1〜150nm、さらに好ましくは1〜120nm、特に好ましくは5〜20nmのものである。
As the inorganic fine particles (F1), metal oxide (F11) and metal salt (F12) can be used.
Examples of (F11) include known materials such as titanium oxide, silicon oxide, and aluminum oxide.
Examples of (F12) include known ones such as calcium carbonate and barium sulfate.
Among these, from the viewpoint of heat resistance and chemical resistance, (F11) is preferable, and silicon oxide and titanium oxide, particularly silicon oxide is more preferable.
(F1) is preferably 1 to 150 nm, more preferably 1 to 120 nm, and particularly preferably 5 to 20 nm from the viewpoint of transparency and elastic resilience when the volume average primary particle diameter is 1 to 200 nm and a photo spacer is used. belongs to.

感光性樹脂組成物の固形分の重量に基づく(F1)の含有量は、通常0〜50%、好ましくは1〜45%、特に好ましくは2〜40%である。50%以下であれば柔軟性がさらに良好に発揮でき、2〜40%であれば、特に弾性回復特性が優れる。  The content of (F1) based on the weight of the solid content of the photosensitive resin composition is usually 0 to 50%, preferably 1 to 45%, particularly preferably 2 to 40%. If it is 50% or less, the flexibility can be further improved, and if it is 2 to 40%, the elastic recovery property is particularly excellent.

増感剤(F2)としては、ニトロ化合物(例えば、アントラキノン、1,2−ナフトキノン、1,4−ナフトキノン,ベンズアントロン、p,p’−テトラメチルジアミノベンゾフェノン、クロラニル等のカルボニル化合物、ニトロベンゼン、p−ジニトロベンゼン及び2−ニトロフルオレン等)、芳香族炭化水素(例えば、アントラセン及びクリセン等)、硫黄化合物(例えば、ジフェニルジスルフィド等)及び窒素化合物(例えば、ニトロアニリン、2−クロロ−4−ニトロアニリン、5−ニトロ−2−アミノトルエン及びテトラシアノエチレン等)等が用いられる。  As the sensitizer (F2), nitro compounds (for example, anthraquinone, 1,2-naphthoquinone, 1,4-naphthoquinone, benzanthrone, p, p'-tetramethyldiaminobenzophenone, carbonyl compounds such as chloranil, nitrobenzene, p -Dinitrobenzene and 2-nitrofluorene), aromatic hydrocarbons (eg anthracene and chrysene), sulfur compounds (eg diphenyl disulfide etc.) and nitrogen compounds (eg nitroaniline, 2-chloro-4-nitroaniline) , 5-nitro-2-aminotoluene, tetracyanoethylene and the like).

光重合開始剤(C)の重量に基づく増感剤(F2)の含有量は、通常0.1〜100%、好ましくは0.5〜80%、特に好ましくは1〜70%である。  The content of the sensitizer (F2) based on the weight of the photopolymerization initiator (C) is usually 0.1 to 100%, preferably 0.5 to 80%, particularly preferably 1 to 70%.

重合禁止剤(F3)としては、特に限定はなく、通常の反応に使用するものが用いられる。具体的には、ジフェニルヒドラジル、トリ−p−ニトルフェニルメチル、N−(3−N−オキシアニリノ−1,3−ジメチルブチリデン)アニリンオキシド、p−ベンゾキノン、p−tert−ブチルカテコール、ニトロベンゼン、ピクリン酸、ジチオベンゾイルジスルフィド及び塩化銅(II)等が挙げられる。  There is no limitation in particular as a polymerization inhibitor (F3), What is used for normal reaction is used. Specifically, diphenylhydrazyl, tri-p-nitrophenylmethyl, N- (3-N-oxyanilino-1,3-dimethylbutylidene) aniline oxide, p-benzoquinone, p-tert-butylcatechol, nitrobenzene, Examples include picric acid, dithiobenzoyl disulfide, and copper (II) chloride.

感光性樹脂組成物の固形分の重量に基づく重合禁止剤(F3)の含有量は、0〜1.0%が好ましく、さらに好ましくは0.01〜0.5%、特に好ましくは0.02〜0.1%である。  The content of the polymerization inhibitor (F3) based on the weight of the solid content of the photosensitive resin composition is preferably 0 to 1.0%, more preferably 0.01 to 0.5%, particularly preferably 0.02. ~ 0.1%.

溶剤としては、前述の(A)の製造に使用される溶剤(F4)と同様のものが使用できる。溶剤を使用する場合、溶剤の配合量は、特に限定されないが、感光性樹脂組成物の固形分の重量に基づいて、通常50〜1,000%が好ましく、さらに好ましくは70〜900%、特に好ましくは80〜800%である。なお、溶剤の配合量には前述の(A)の製造に使用される溶剤も含まれる。  As the solvent, the same solvent as the solvent (F4) used in the production of the above (A) can be used. When the solvent is used, the amount of the solvent is not particularly limited, but is preferably 50 to 1,000%, more preferably 70 to 900%, particularly based on the weight of the solid content of the photosensitive resin composition. Preferably it is 80 to 800%. In addition, the solvent used for manufacture of above-mentioned (A) is also contained in the compounding quantity of a solvent.

(F)の含有量の合計は、感光性樹脂組成物の重量に基づいて、通常1,000%以下、好ましくは80〜800%である。  The total content of (F) is usually 1,000% or less, preferably 80 to 800%, based on the weight of the photosensitive resin composition.

感光性樹脂組成物は、該感光性樹脂組成物の重量に基づく(メタ)アクリロイル基の濃度が、硬化物の弾性回復特性の観点から好ましくは2mmol/g以上、さらに好ましくは6〜12mmol/g、特に好ましくは7.5〜10mmol/gである。(メタ)アクリロイル基濃度が6mmol/g以上であれば弾性回復特性がさらに良好に発揮でき、12mmol/g以下であればアルカリ現像性がさらに良好に発揮できる。
感光性樹脂組成物中の(メタ)アクリロイル基は(A)および(B)に由来するものである。
In the photosensitive resin composition, the concentration of the (meth) acryloyl group based on the weight of the photosensitive resin composition is preferably 2 mmol / g or more, more preferably 6 to 12 mmol / g, from the viewpoint of the elastic recovery property of the cured product. Particularly preferably, it is 7.5 to 10 mmol / g. If the (meth) acryloyl group concentration is 6 mmol / g or more, the elastic recovery property can be exhibited more satisfactorily, and if it is 12 mmol / g or less, the alkali developability can be exhibited more satisfactorily.
The (meth) acryloyl group in the photosensitive resin composition is derived from (A) and (B).

本発明の感光性樹脂組成物は、例えば、プラネタリーミキサーなどの公知の混合装置により、上記の各成分を混合等することにより得ることができる。
また感光性樹脂組成物は、通常、室温で液状であり、その粘度は、25℃で0.1mPa・s〜10,000mPa・s、好ましくは1mPa・s〜8,000mPa・sである。
The photosensitive resin composition of the present invention can be obtained, for example, by mixing the above-described components with a known mixing device such as a planetary mixer.
The photosensitive resin composition is usually liquid at room temperature and has a viscosity of 0.1 mPa · s to 10,000 mPa · s at 25 ° C., preferably 1 mPa · s to 8,000 mPa · s.

本発明の感光性樹脂組成物は、その硬化物の弾性回復特性に優れているので、特に液晶セル内のギャップ保持のために設けられるフォトスペーサ用の感光性樹脂組成物として適している。 Since the photosensitive resin composition of the present invention is excellent in the elastic recovery property of the cured product, it is particularly suitable as a photosensitive resin composition for a photospacer provided for maintaining a gap in a liquid crystal cell.

以下において本発明のフォトスペーサについて説明する。
本発明のフォトスペーサは、上記の感光性樹脂組成物(Q)を硬化させて形成された液晶セル内のギャップ保持のために設けられるフォトスペーサである。
フォトスペーサは、カラーフィルタ基板とTFT基板とを貼り合わせた時に液晶セルのギャップを決めるものであり、表示品質にとって重要な役割を果たす。フォトスペーサの高さ2〜5μm程度の範囲で一定の高さを持つものであり、その均一性が要求される。また、高さの他、フォトスペーサに要求される形状、大きさ、密度等は液晶表示装置の設計によって適宜決定される。
The photo spacer of the present invention will be described below.
The photospacer of the present invention is a photospacer provided for maintaining a gap in a liquid crystal cell formed by curing the photosensitive resin composition (Q).
The photo spacer determines the gap of the liquid crystal cell when the color filter substrate and the TFT substrate are bonded together, and plays an important role for display quality. The photo spacer has a constant height in the range of about 2 to 5 μm, and its uniformity is required. In addition to the height, the shape, size, density, and the like required for the photo spacer are appropriately determined depending on the design of the liquid crystal display device.

本発明の感光性樹脂組成物(Q)を用いてフォトリソグラフィー法によってフォトスペーサを形成する方法に基づいて説明する。
本発明の(Q)を、基板上にロールコート、スピンコート、スプレーコート、スリットコート等、公知の方法によって均一に塗布し、乾燥させて感光性樹脂組成物層を形成する。塗布装置としては、公知の塗布装置が使用でき、例えば、スピンコーター、エアーナイフコーター、ロールコーター、バーコーター、カーテンコーター、グラビアコーター及びコンマコーター等が挙げられる。
Description will be made based on a method of forming a photo spacer by a photolithography method using the photosensitive resin composition (Q) of the present invention.
(Q) of this invention is uniformly apply | coated by a well-known method, such as a roll coat, a spin coat, a spray coat, a slit coat, on a board | substrate, It is made to dry and the photosensitive resin composition layer is formed. As the coating apparatus, a known coating apparatus can be used, and examples thereof include a spin coater, an air knife coater, a roll coater, a bar coater, a curtain coater, a gravure coater, and a comma coater.

ここでは着色層上にさらに設けられた透明共通電極上に形成する例について説明する。
上記の感光性樹脂組成物層を、必要に応じて熱を加えて乾燥させる(プリベーク)。
乾燥温度としては、10℃以上が好ましく、さらに好ましくは12℃以上、特に好ましくは15℃以上、最も好ましくは20℃以上であり、また100℃未満が好ましく、さらに好ましくは90℃以下、特に好ましくは60℃以下、最も好ましくは50℃以下である。乾燥時間は、30秒以上が好ましく、さらに好ましくは1分以上、特に好ましくは2分以上であり、また10分以下が好ましく、さらに好ましくは8分以下、特に好ましくは5分以下である。乾燥は、減圧、常圧どちらでもよいが、減圧の方が好ましい。また、空気中、不活性ガス中どちらで行ってもよいが、不活性ガス中が好ましい。
Here, an example of forming on a transparent common electrode further provided on the colored layer will be described.
The photosensitive resin composition layer is dried by applying heat as necessary (pre-baking).
The drying temperature is preferably 10 ° C or higher, more preferably 12 ° C or higher, particularly preferably 15 ° C or higher, most preferably 20 ° C or higher, and preferably lower than 100 ° C, more preferably 90 ° C or lower, particularly preferably. Is 60 ° C. or lower, most preferably 50 ° C. or lower. The drying time is preferably 30 seconds or more, more preferably 1 minute or more, particularly preferably 2 minutes or more, and preferably 10 minutes or less, more preferably 8 minutes or less, particularly preferably 5 minutes or less. Drying may be performed under reduced pressure or normal pressure, but reduced pressure is preferred. Moreover, although it may carry out in air or in an inert gas, it is preferably in an inert gas.

次いで、所定のフォトマスクを介して活性光線により、感光性樹脂組成物層の露光を行う。
本発明の感光性樹脂組成物であれば、直径5〜10μm程度(面積20〜100μm2程度)のマスク開口部であっても、精度良く、すなわち直径6〜12μm(面積30〜120μm2)の範囲でパターンを形成することができる。
Next, the photosensitive resin composition layer is exposed with actinic rays through a predetermined photomask.
In the case of the photosensitive resin composition of the present invention, even a mask opening having a diameter of about 5 to 10 μm (area of about 20 to 100 μm 2 ) has high accuracy, that is, a diameter of 6 to 12 μm (area of 30 to 120 μm 2 ). A pattern can be formed in a range.

露光に用いる活性光線としては、可視光線、紫外線、レーザー光線等が挙げられる。光線源としては、太陽光、高圧水銀灯、低圧水銀灯、メタルハライドランプ、半導体レーザー等が挙げられる。
露光量としては、特に限定されないが、好ましくは20〜300mJ/cm2である。
Examples of the active light used for exposure include visible light, ultraviolet light, and laser light. Examples of the light source include sunlight, a high-pressure mercury lamp, a low-pressure mercury lamp, a metal halide lamp, and a semiconductor laser.
Although it does not specifically limit as an exposure amount, Preferably it is 20-300 mJ / cm < 2 >.

続いて未露光部を現像液で除去し、現像を行う。
ここで現像に用いる現像液は、通常、アルカリ水溶液を用いる。現像液として用いることのできるアルカリ水溶液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム等の無機物の水溶液;ヒドロキシテトラメチルアンモニウム、ヒドロキシテトラエチルアンモニウム等の有機物の水溶液が挙げられる。これらを単独又は2種以上組み合わせて用いることもでき、また、アニオン界面活性剤、カチオン界面活性剤、両性界面活性剤、ノニオン界面活性剤等の界面活性剤を添加して用いることもできる。
現像方法としては、ディップ方式とシャワー方式があるが、シャワー方式の方が好ましい。 現像液の温度は、好ましくは25〜40℃で使用される。現像時間は、膜厚や感光性樹脂組成物の溶解性に応じて適宜決定される。
Subsequently, the unexposed portion is removed with a developer, and development is performed.
Here, as the developer used for development, an alkaline aqueous solution is usually used. Examples of the alkaline aqueous solution that can be used as the developer include aqueous solutions of inorganic substances such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, and sodium bicarbonate; aqueous solutions of organic substances such as hydroxytetramethylammonium and hydroxytetraethylammonium. Is mentioned. These can be used alone or in combination of two or more kinds, and a surfactant such as an anionic surfactant, a cationic surfactant, an amphoteric surfactant and a nonionic surfactant can be added and used.
As a developing method, there are a dip method and a shower method, but the shower method is preferable. The temperature of the developer is preferably 25 to 40 ° C. The development time is appropriately determined according to the film thickness and the solubility of the photosensitive resin composition.

硬化をより確実にするために、必要に応じて加熱(ベーク)を行ってもよい。
ベークを行う場合、ベーク温度としては、好ましくは100〜250℃、さらに好ましくは150〜240℃、特に好ましくは180〜230℃である。ベーク時間は5分〜6時間、好ましくは15分〜4時間、特に好ましくは30分〜3時間である。
ベークは、減圧、常圧どちらでもよいが、減圧の方が好ましい。また、空気中、不活性ガス中どちらで行ってもよいが、不活性ガス中が好ましい。
In order to make the curing more reliable, heating (baking) may be performed as necessary.
When baking is performed, the baking temperature is preferably 100 to 250 ° C, more preferably 150 to 240 ° C, and particularly preferably 180 to 230 ° C. The baking time is 5 minutes to 6 hours, preferably 15 minutes to 4 hours, particularly preferably 30 minutes to 3 hours.
The baking may be performed under reduced pressure or normal pressure, but reduced pressure is preferred. Moreover, although it may carry out in air or in an inert gas, it is preferably in an inert gas.

上記のようにして得られた本発明のフォトスペーサは、弾性回復特性に優れたフォトスペーサである。
フォトスペーサの弾性回復特性は、圧力がかかった時の「総変形量」と「塑性変形量」によって評価することができる。総変形量が大きく、かつ、塑性変形量が小さい方が弾性回復特性に優れる。
The photospacer of the present invention obtained as described above is a photospacer excellent in elastic recovery characteristics.
The elastic recovery characteristic of the photospacer can be evaluated by “total deformation amount” and “plastic deformation amount” when pressure is applied. The larger the total deformation amount and the smaller the plastic deformation amount, the better the elastic recovery characteristics.

本発明において、弾性回復特性としては下記の「0.2〜0.8mN/μm2の圧力範囲における弾性回復率」を測定して評価することができる。 In the present invention, the elastic recovery characteristic can be evaluated by measuring the following “elastic recovery rate in a pressure range of 0.2 to 0.8 mN / μm 2 ”.

「弾性回復率(%)」;
25℃において、一定の速度で所定の圧力をかけ、1秒間保持した後、一定の速度で圧力を除荷した時の荷重と変形量とのヒステリシス曲線(図1)から総変形量T0、塑性変形量T1を求め、所定の圧力における弾性回復率を下式で算出する。
弾性回復率(%)=(T0−T1/T0)×100
圧力として、0.2mN/μm2、0.4mN/μm2、0.6mN/μm2および0.8mN/μm2の異なる4種の圧力でヒステリシス曲線を測定し、それぞれにおいて上記弾性回復率を求める。
“Elastic recovery rate (%)”;
At 25 ° C., a predetermined pressure is applied at a constant speed, held for 1 second, and then the total deformation amount T 0 from the hysteresis curve (FIG. 1) between the load and the deformation amount when the pressure is unloaded at a constant speed, The amount of plastic deformation T 1 is obtained, and the elastic recovery rate at a predetermined pressure is calculated by the following equation.
Elastic recovery rate (%) = (T 0 −T 1 / T 0 ) × 100
As pressure, 0.2mN / μm 2, 0.4mN / μm 2, the hysteresis curve measured at four different pressures of 0.6mN / μm 2 and 0.8mN / μm 2, the elastic recovery rate in each Ask.

本発明のフォトスペーサの弾性回復率は、0.2mN/μm2〜0.8mN/μm2のいずれの圧力条件下であっても、好ましくは70%以上、さらに好ましくは75%以上、特に好ましくは80%以上である。弾性回復率が70%以上、特に75%以上であれば液晶セルギャップを保持するスペーサとして実用上問題なく使用できる可能性が高い。 Elastic recovery photo spacer of the present invention may be any pressure conditions of 0.2mN / μm 2 ~0.8mN / μm 2 , preferably 70% or more, more preferably 75% or more, particularly preferably Is 80% or more. If the elastic recovery rate is 70% or more, particularly 75% or more, there is a high possibility that it can be used practically as a spacer for holding the liquid crystal cell gap.

本発明の感光性樹脂組成物(Q)は、上記の様にフォトスペーサ用に好適に使用できるが、その他にも各種のレジスト材料、例えば、感光性レジストフィルム、フォトレジスト、感光性樹脂凸版、スクリーン版、光接着剤、またはハードコート剤の感光層として好適である。
さらに、金属(例えば、鉄、アルミニウム、チタン、銅等)、プラスチック(例えば、ポリカーボネート、ポリエチレンテルフタラート、ポリ(メタ)アクリレート)、紙、ガラス、ゴム及び木材等の各種材料に対するコーティング剤、塗料、印刷インキ及び接着剤とて使用でき、成型材料等としても応用できる。
The photosensitive resin composition (Q) of the present invention can be suitably used for a photospacer as described above, but various other resist materials such as a photosensitive resist film, a photoresist, a photosensitive resin relief plate, It is suitable as a photosensitive layer for screen plates, photoadhesives, or hard coat agents.
Furthermore, coating agents for various materials such as metals (for example, iron, aluminum, titanium, copper, etc.), plastics (for example, polycarbonate, polyethylene terephthalate, poly (meth) acrylate), paper, glass, rubber and wood, paints, It can be used as printing ink and adhesive, and can also be applied as a molding material.

[実施例]
以下、実施例および製造例を以て本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されない。以下、部は重量部を意味する。
[親水性ポリマー(A)の製造]
[Example]
EXAMPLES Hereinafter, although an Example and a manufacture example demonstrate this invention concretely, this invention is not limited to these. Hereinafter, the part means part by weight.
[Production of hydrophilic polymer (A)]

<製造例1>
加熱冷却・撹拌装置、環流冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を備えたガラス製コルベンに、無水マレイン酸150部を仕込み80℃まで加熱した。系内の気相部分を窒素で置換したのち、あらかじめ作成しておいたスチレン150部、アゾビスイソブチロニトリル(V−60:和光純薬製、以下AIBNと称す)5部、及びシクロヘキサノン50部にを混合した溶液205部を、80℃のコルベン中に60分間で滴下し、さらに同温度で6時間反応させた。その後、シクロヘキサノンで樹脂濃度が25重量%となるように希釈し、60℃に温調して、無水マレイン酸/スチレン共重合体(A0)のシクロヘキサノン溶液を得た。このポリマー溶液に、「NKエステルA−TMM−3L」(新中村化学(株)製:主成分ペンタエリスリトールトリアクリレート)361部、シクロヘキサノン1,099部、及びトリメチルアミン5部を仕込み、60℃で2時間反応させ、目的の親水性ポリマー(A1)のシクロヘキサノン溶液を得た(固形分含量は25%)。
<Production Example 1>
Into a glass Kolben equipped with a heating / cooling / stirring device, a reflux condenser, a dropping funnel and a nitrogen introduction tube, 150 parts of maleic anhydride was charged and heated to 80 ° C. After replacing the gas phase part in the system with nitrogen, 150 parts of styrene prepared in advance, 5 parts of azobisisobutyronitrile (V-60: Wako Pure Chemical Industries, Ltd., hereinafter referred to as AIBN), and cyclohexanone 50 205 parts of the mixed solution was dropped into Kolben at 80 ° C. over 60 minutes, and further reacted at the same temperature for 6 hours. Thereafter, the resin was diluted with cyclohexanone so that the resin concentration was 25% by weight, and the temperature was adjusted to 60 ° C. to obtain a cyclohexanone solution of a maleic anhydride / styrene copolymer (A0). To this polymer solution, 361 parts of “NK Ester A-TMM-3L” (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd .: main component pentaerythritol triacrylate), 1,099 parts of cyclohexanone, and 5 parts of trimethylamine were charged at 60 ° C. By reacting for a period of time, a cyclohexanone solution of the desired hydrophilic polymer (A1) was obtained (solid content: 25%).

<製造例2>
製造例1と同様のコルベンで同様にして得られた無水マレイン酸/スチレン共重合体(A0)のシクロヘキサノン溶液に、2−ヒドロキシエチルメタクリレート177部、シクロヘキサノン546部、及びトリメチルアミン5部を仕込み、60℃で2時間反応させ、目的の親水性ポリマー(A2)のシクロヘキサノン溶液を得た(固形分含量は25%)。
<Production Example 2>
A cyclohexanone solution of maleic anhydride / styrene copolymer (A0) obtained in the same manner as Kolben as in Production Example 1 was charged with 177 parts of 2-hydroxyethyl methacrylate, 546 parts of cyclohexanone, and 5 parts of trimethylamine. The mixture was reacted at 0 ° C. for 2 hours to obtain a cyclohexanone solution of the desired hydrophilic polymer (A2) (solid content: 25%).

<比較製造例1>
製造例1と同様のコルベンに、メチルメタクリレート40部(0.40モル部)、2−ヒドロキシエチルメタクリレート40部(0.31モル部)、メタクリル酸20部(0.23モル部)、およびシクロヘキサノン150部を仕込み、80℃まで加熱した。系内の気相部分を窒素で置換したのち、あらかじめ作成しておいたAIBN5部をシクロヘキサノン50部に溶解した溶液55部を、80℃のコルベン中に10分間で滴下し、さらに同温度で3時間反応させた。さらにグリシジルメタアクリレート35部(0.31モル部)、シクロヘキサノン364部、およびヒドロキノン1.1部を仕込み60℃で5時間反応させ、目的の親水性ポリマー(X1)のシクロヘキサノン溶液を得た(樹脂分含量は25%)。
<Comparative Production Example 1>
In the same Kolben as in Production Example 1, methyl methacrylate 40 parts (0.40 mole part), 2-hydroxyethyl methacrylate 40 parts (0.31 mole part), methacrylic acid 20 parts (0.23 mole part), and cyclohexanone 150 parts were charged and heated to 80 ° C. After substituting the gas phase part in the system with nitrogen, 55 parts of a solution prepared by dissolving 5 parts of AIBN prepared in advance in 50 parts of cyclohexanone was dropped into Kolben at 80 ° C. over 10 minutes, and further 3 at the same temperature. Reacted for hours. Furthermore, 35 parts (0.31 mole part) of glycidyl methacrylate, 364 parts of cyclohexanone and 1.1 part of hydroquinone were charged and reacted at 60 ° C. for 5 hours to obtain a cyclohexanone solution of the desired hydrophilic polymer (X1) (resin The content is 25%).

<比較製造例2>
製造例1と同様のコルベンで同様にして得られた無水マレイン酸/スチレン共重合体(A0)のシクロヘキサノン溶液に、2−ヒドロキシエチルメタクリレート40部及びトリメチルアミン5部を仕込み、60℃で2時間反応させ、目的の親水性ポリマー(X2)のシクロヘキサノン溶液を得た(固形分含量は25%)。
<Comparative Production Example 2>
A cyclohexanone solution of maleic anhydride / styrene copolymer (A0) obtained in the same manner as Kolben as in Production Example 1 was charged with 40 parts of 2-hydroxyethyl methacrylate and 5 parts of trimethylamine and reacted at 60 ° C. for 2 hours. To obtain a cyclohexanone solution of the target hydrophilic polymer (X2) (solid content: 25%).

親水性ポリマー(A1)、(A2)、(X1)および(X2)の(メタ)アクリロイル基濃度、酸価、およびMnをそれぞれ前述の測定法で測定した値、並びにSP値およびHLB値を前述の計算法で計算した値を表1に記載した。 The values obtained by measuring the (meth) acryloyl group concentration, acid value, and Mn of the hydrophilic polymers (A1), (A2), (X1), and (X2), respectively, as well as the SP value and the HLB value described above. The values calculated by the calculation method are shown in Table 1.

Figure 2007133032
Figure 2007133032

<実施例1〜3および比較例1〜4>
[感光性樹脂組成物の製造]
表2の配合例に従い、ガラス製の容器に各親水性ポリマーのシクロヘキサノン溶液を仕込み、さらに下記の(B−1)又は(B−2)、(C−1)を仕込み、均一になるまで攪拌し、さらに追加の溶剤(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)を添加して実施例の感光性樹脂組成物(Q1)〜(Q3)、および比較例の感光性樹脂組成物(Y1)〜(Y4)を製造した。
感光性樹脂組成物の固形分の重量に基づく(メタ)アクリロイル基濃度、感光性樹脂組成物の固形分の重量に基づく(B)の含有量、および(A)と(B)とのSP値の差を表3に示す。
<Examples 1-3 and Comparative Examples 1-4>
[Production of photosensitive resin composition]
According to the formulation example of Table 2, the cyclohexanone solution of each hydrophilic polymer is charged into a glass container, and the following (B-1) or (B-2) and (C-1) are further charged and stirred until uniform. Further, an additional solvent (propylene glycol monomethyl ether acetate) was added to obtain the photosensitive resin compositions (Q1) to (Q3) of Examples and the photosensitive resin compositions (Y1) to (Y4) of Comparative Examples. Manufactured.
(Meth) acryloyl group concentration based on weight of solid content of photosensitive resin composition, content of (B) based on weight of solid content of photosensitive resin composition, and SP value of (A) and (B) Table 3 shows the difference.

B−1(多官能(メタ)アクリレート)
:「ネオマーDA−600」(ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエ リスリトールヘキサアクリレートの混合物:三洋化成工業(株)製)
B−2(多官能(メタ)アクリレート)
:「NKエステルA−TMM−3L」(ペンタエリスリトールトリアクリレートとペンタ エリスリトールテトラアクリレートの混合物:新中村化学(株)製)
C−1(光重合開始剤)
:「イルガキュア907」(2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2− モルフォリノプロパン−1−オン:チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)製)
B-1 (Polyfunctional (meth) acrylate)
: "Neomer DA-600" (mixture of dipentaerythritol pentaacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate: manufactured by Sanyo Chemical Industries, Ltd.)
B-2 (Polyfunctional (meth) acrylate)
: "NK ester A-TMM-3L" (mixture of pentaerythritol triacrylate and pentaerythritol tetraacrylate: manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.)
C-1 (photopolymerization initiator)
: “Irgacure 907” (2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one: manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.)

Figure 2007133032
Figure 2007133032

Figure 2007133032
Figure 2007133032

評価例1〜3、比較評価例1〜4
[現像性の測定]
感光性樹脂組成物(Q1)〜(Q3)、および(Y1)〜(Y4)を、それぞれガラス基板上に仕上り膜厚が5μmになるようにスピンコートし、25℃で5分間乾燥し、その後1%炭酸ナトリウム水溶液を用いて30秒間現像を行い、現像性を評価した。結果を表3に示す。評価基準は以下の通りである。
◎:目視により残留物無し。
○:目視により残留物わずかにあり。
△:目視により残留物が多い。
×:現像できない。
Evaluation Examples 1-3, Comparative Evaluation Examples 1-4
[Measurement of developability]
The photosensitive resin compositions (Q1) to (Q3) and (Y1) to (Y4) were each spin-coated on a glass substrate so that the finished film thickness was 5 μm, dried at 25 ° C. for 5 minutes, and then Development was performed for 30 seconds using a 1% aqueous sodium carbonate solution to evaluate the developability. The results are shown in Table 3. The evaluation criteria are as follows.
A: There is no residue visually.
○: There is a slight residue visually.
Δ: There are many residues by visual inspection.
X: Development is not possible.

実施例4〜6、比較例5、6
[フォトスペーサの作製]
感光性樹脂組成物(Q1)〜(Q3)、および(Y3)、(Y4)を、それぞれガラス基板上に、仕上り膜厚が5μmになるようにスピンコートし、25℃で5分間乾燥した。フォトスペーサ形成用のフォトマスクを通して高圧水銀灯の光を100mJ/cm2照射した。尚、フォトマスクと基板との間隔(露光ギャップ)は100μmで露光した。その後1%炭酸ナトリウム水溶液を用いて現像をした。水洗を施したのち、230℃で60分間ポストベークしてフォトスペーサをカラーフィルタ上に形成した。フォトスペーサの上底面積は150μm2、下底面積は400μm2であった。
Examples 4 to 6, Comparative Examples 5 and 6
[Production of photo spacer]
The photosensitive resin compositions (Q1) to (Q3), (Y3), and (Y4) were each spin-coated on a glass substrate so as to have a finished film thickness of 5 μm, and dried at 25 ° C. for 5 minutes. The light of a high pressure mercury lamp was 100 mJ / cm 2 irradiation through a photomask for forming photo spacers. The exposure was performed with a gap (exposure gap) between the photomask and the substrate of 100 μm. Thereafter, development was performed using a 1% aqueous sodium carbonate solution. After washing with water, post-baking was performed at 230 ° C. for 60 minutes to form a photo spacer on the color filter. The upper base area of the photo spacer was 150 μm 2 and the lower base area was 400 μm 2 .

[弾性回復特性の測定]
上記のようにして得られたフォトスペーサの弾性特性をフィッシャースコープH−100(フィッシャーインストルメンツ社製)装置を用いて、前述の弾性回復率の測定法に従って測定した。
なお、断面が正方形の平面圧子(50μm×50μm)の平坦圧子を用いた。結果を表4に示す。
[Measurement of elastic recovery characteristics]
The elastic characteristics of the photospacer obtained as described above were measured using a Fischerscope H-100 (Fischer Instruments) apparatus according to the above-described elastic recovery rate measurement method.
A flat indenter (50 μm × 50 μm) having a square cross section was used. The results are shown in Table 4.

Figure 2007133032
Figure 2007133032

比較例5のフォトスペーサでは、使用された感光性樹脂組成物(Y3)中の親水性ポリマー(X2)が(メタ)アクリロイル基を十分量有していないため反応性が低く、必要とされる架橋反応が十分に進行しない。このような場合、分子間での「ずり」が大きくなるため、弾性回復率が小さくなる。このようなフォトスペーサを用いて液晶パネルを作成すると、セルギャップが均一とならずに表示品質が悪化する。
比較例6のフォトスペーサでは、使用された感光性樹脂組成物(Y5)中の親水性ポリマー(X1)は酸価を十分量有していないため現像性が悪い。
比較例4の感光性樹脂組成物、および比較例6のフォトスペーサでは、使用された感光性樹脂組成物(Y4)中の親水性ポリマー(X1)の含有量を増大させ、現像性を確保したが、感光性樹脂組成物の固形分重量に基づく(メタ)アクリロイル基濃度が低下し弾性回復特性が悪化したものと推定される。
In the photospacer of Comparative Example 5, the hydrophilic polymer (X2) in the used photosensitive resin composition (Y3) does not have a sufficient amount of (meth) acryloyl groups, so the reactivity is low and is required. The crosslinking reaction does not proceed sufficiently. In such a case, since the “shear” between molecules increases, the elastic recovery rate decreases. When a liquid crystal panel is produced using such a photo spacer, the cell gap is not uniform and the display quality is deteriorated.
In the photospacer of Comparative Example 6, the hydrophilic polymer (X1) in the used photosensitive resin composition (Y5) does not have a sufficient amount of acid value, and thus developability is poor.
In the photosensitive resin composition of Comparative Example 4 and the photo spacer of Comparative Example 6, the content of the hydrophilic polymer (X1) in the used photosensitive resin composition (Y4) was increased to ensure developability. However, it is estimated that the (meth) acryloyl group density | concentration based on the solid content weight of the photosensitive resin composition fell, and the elastic recovery characteristic deteriorated.

本発明の感光性樹脂組成物は、フォトスペーサ用に好適に使用できるが、その他にも各種のレジスト材料、例えば、感光性レジストフィルム、フォトレジスト、感光性樹脂凸版、スクリーン版、光接着剤、またはハードコート剤の感光層として好適である。
さらに、金属(例えば、鉄、アルミニウム、チタン、銅等)、プラスチック(例えば、ポリカーボネート、ポリエチレンテルフタラート、ポリ(メタ)アクリレート)、紙、ガラス、ゴム及び木材等の各種材料に対するコーティング剤、塗料、印刷インキ及び接着剤とて使用でき、成型材料等としても応用できる。
The photosensitive resin composition of the present invention can be suitably used for photo spacers, but in addition to various resist materials such as photosensitive resist films, photoresists, photosensitive resin relief plates, screen plates, photoadhesives, Or it is suitable as a photosensitive layer of a hard coat agent.
Furthermore, coating agents for various materials such as metals (for example, iron, aluminum, titanium, copper, etc.), plastics (for example, polycarbonate, polyethylene terephthalate, poly (meth) acrylate), paper, glass, rubber and wood, paints, It can be used as printing ink and adhesive, and can also be applied as a molding material.

荷重と変形量のヒステリシス曲線Hysteresis curve of load and deformation

符号の説明Explanation of symbols

0: 総変形量
1: 塑性変形量
2: 弾性変形量
T 0 : Total deformation amount T 1 : Plastic deformation amount T 2 : Elastic deformation amount

Claims (4)

カルボキシル基及び(メタ)アクリロイル基を有する親水性ポリマー(A)、多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)、並びに光重合開始剤(C)を含有する感光性樹脂組成物であって、親水性ポリマー(A)が下記の(1)〜(4)の全てを満たすポリマーであることを特徴とするアルカリ現像可能な感光性樹脂組成物(Q)。
(1)不飽和多塩基酸無水物を必須構成単量体とする共重合体(D)と、1分子中に水酸基、1級アミノ基および2級アミノ基から選ばれる少なくとも1種の官能基並びに(メタ)アクリロイル基を有する化合物(e)とを反応させて得られるポリマーである。
(2)100〜500mgKOH/gの弱酸価を有する。
(3)2〜9mmol/gの(メタ)アクリロイル基濃度を有する。
(4)多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)との溶解度パラメーターの差が−1〜1である。
A photosensitive resin composition comprising a hydrophilic polymer (A) having a carboxyl group and a (meth) acryloyl group, a polyfunctional (meth) acrylate monomer (B), and a photopolymerization initiator (C), which is hydrophilic A photosensitive resin composition (Q) capable of alkali development, wherein the polymer (A) is a polymer satisfying all of the following (1) to (4).
(1) Copolymer (D) having an unsaturated polybasic acid anhydride as an essential constituent monomer and at least one functional group selected from a hydroxyl group, a primary amino group and a secondary amino group in one molecule And a polymer obtained by reacting the compound (e) having a (meth) acryloyl group.
(2) It has a weak acid value of 100 to 500 mgKOH / g.
(3) It has a (meth) acryloyl group concentration of 2 to 9 mmol / g.
(4) The difference in solubility parameter from the polyfunctional (meth) acrylate monomer (B) is −1 to 1.
感光性樹脂組成物(Q)の固形分の重量に基づく多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)の含有量が70〜95重量%でである請求項1記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the content of the polyfunctional (meth) acrylate monomer (B) based on the weight of the solid content of the photosensitive resin composition (Q) is 70 to 95% by weight. 感光性樹脂組成物(Q)の固形分の重量に基づく(メタ)アクリロイル基濃度が6〜12mmol/gである請求項1又は2いずれか記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the (meth) acryloyl group concentration based on the weight of the solid content of the photosensitive resin composition (Q) is 6 to 12 mmol / g. 請求項1〜3いずれか記載の感光性樹脂組成物を硬化させて形成された液晶セル内のギャップ保持のために設けられたフォトスペーサ。   A photospacer provided for maintaining a gap in a liquid crystal cell formed by curing the photosensitive resin composition according to claim 1.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010041025A (en) * 2008-07-10 2010-02-18 Fujifilm Corp Curable composition for nanoimprint and cured material
JP2015101517A (en) * 2013-11-26 2015-06-04 大日本印刷株式会社 Cover glass and display device with cover glass attached thereto
JP2016160393A (en) * 2015-03-04 2016-09-05 Jsr株式会社 Curable resin composition, cured film for display element, method for forming the same, and display element
JP2020024356A (en) * 2018-07-27 2020-02-13 住友ベークライト株式会社 Photosensitive resin composition, pattern, color filter, black matrix, display device, imaging element, and method for producing display device or imaging element

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63205649A (en) * 1987-02-23 1988-08-25 Toyo Ink Mfg Co Ltd Liquid photo solder resist composition
JPH0223351A (en) * 1988-07-12 1990-01-25 Toyo Ink Mfg Co Ltd Photosolder resist composition
JPH0695384A (en) * 1992-09-11 1994-04-08 Toyo Ink Mfg Co Ltd Photo solder resists composition
JPH06222557A (en) * 1992-11-17 1994-08-12 W R Grace & Co Photosensitive resin composition
JPH06332177A (en) * 1993-05-26 1994-12-02 Nippon Kayaku Co Ltd Polycarboxylic acid resin having unsaturated groups, resin composition containing the same and resin composition for color filter
JPH09255756A (en) * 1996-03-21 1997-09-30 Mitsubishi Rayon Co Ltd Cross-linkable resin composition and method for curing the same
JPH10293402A (en) * 1997-04-21 1998-11-04 Mitsubishi Rayon Co Ltd Photosensitive resin composition, color filter and liquid crystal display device using that, and production of color filter and liquid crystal display device
JP2003173025A (en) * 2001-09-28 2003-06-20 Toagosei Co Ltd Curable resin for forming photosensitive pattern, method for producing the same, curable resin composition, color filter, substrate for liquid crystal panel and liquid crystal panel
JP2004144796A (en) * 2002-10-22 2004-05-20 Mitsui Chemicals Inc Photosensitive resin composition and method for manufacturing printed wiring board by using the composition
JP2004244577A (en) * 2003-02-17 2004-09-02 Teijin Chem Ltd Production method for resin composition

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63205649A (en) * 1987-02-23 1988-08-25 Toyo Ink Mfg Co Ltd Liquid photo solder resist composition
JPH0223351A (en) * 1988-07-12 1990-01-25 Toyo Ink Mfg Co Ltd Photosolder resist composition
JPH0695384A (en) * 1992-09-11 1994-04-08 Toyo Ink Mfg Co Ltd Photo solder resists composition
JPH06222557A (en) * 1992-11-17 1994-08-12 W R Grace & Co Photosensitive resin composition
JPH06332177A (en) * 1993-05-26 1994-12-02 Nippon Kayaku Co Ltd Polycarboxylic acid resin having unsaturated groups, resin composition containing the same and resin composition for color filter
JPH09255756A (en) * 1996-03-21 1997-09-30 Mitsubishi Rayon Co Ltd Cross-linkable resin composition and method for curing the same
JPH10293402A (en) * 1997-04-21 1998-11-04 Mitsubishi Rayon Co Ltd Photosensitive resin composition, color filter and liquid crystal display device using that, and production of color filter and liquid crystal display device
JP2003173025A (en) * 2001-09-28 2003-06-20 Toagosei Co Ltd Curable resin for forming photosensitive pattern, method for producing the same, curable resin composition, color filter, substrate for liquid crystal panel and liquid crystal panel
JP2004144796A (en) * 2002-10-22 2004-05-20 Mitsui Chemicals Inc Photosensitive resin composition and method for manufacturing printed wiring board by using the composition
JP2004244577A (en) * 2003-02-17 2004-09-02 Teijin Chem Ltd Production method for resin composition

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010041025A (en) * 2008-07-10 2010-02-18 Fujifilm Corp Curable composition for nanoimprint and cured material
JP2015101517A (en) * 2013-11-26 2015-06-04 大日本印刷株式会社 Cover glass and display device with cover glass attached thereto
JP2016160393A (en) * 2015-03-04 2016-09-05 Jsr株式会社 Curable resin composition, cured film for display element, method for forming the same, and display element
JP2020024356A (en) * 2018-07-27 2020-02-13 住友ベークライト株式会社 Photosensitive resin composition, pattern, color filter, black matrix, display device, imaging element, and method for producing display device or imaging element
JP7255165B2 (en) 2018-07-27 2023-04-11 住友ベークライト株式会社 Photosensitive resin composition, pattern, color filter, black matrix, display device, imaging device, and method for producing display device or imaging device

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