JP2007127152A

JP2007127152A - Ball screw unit, electronic component transferring device, surface mounting machine, and ic handler

Info

Publication number: JP2007127152A
Application number: JP2005318309A
Authority: JP
Inventors: Shizuo Atsumi; 静男渥美; Kojiro Suzuki; 幸次郎鈴木
Original assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Current assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Priority date: 2005-11-01
Filing date: 2005-11-01
Publication date: 2007-05-24

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a ball screw unit which has small vibrations and noises when balls are rolled in a screw groove. <P>SOLUTION: Two guide passages for connecting both ends of a ball rolling passage (screw groove 7) and a ball return hole 5, are arranged in a ball nut 32. At least one of two steps formed between both ends 7a and 7a and a center 7b of the screw groove 7 is mounted on a slider 24 so that the ball nut 32 is located under a horizontal surface which passes through the axis of a ball screw shaft 33. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、エンドキャップ式のボールナットを使用したボールねじ装置、このボールねじ装置を使用した部品移載装置、表面実装機およびＩＣハンドラーに関するものである。 The present invention relates to a ball screw device using an end cap type ball nut, a component transfer device using the ball screw device, a surface mounter, and an IC handler.

従来、工業用ロボットなどにおいて、ワークまたはツールを平行に移動させるための装置としてボールねじ装置がある。従来のボールねじ装置は、モータによって回転駆動されるボールねじ軸と、このボールねじ軸に螺合するとともにスライダなどの被移動部材に取付けられたボールナットとから構成されている。 Conventionally, in an industrial robot or the like, there is a ball screw device as a device for moving a workpiece or a tool in parallel. A conventional ball screw device includes a ball screw shaft that is rotationally driven by a motor, and a ball nut that is screwed to the ball screw shaft and attached to a moving member such as a slider.

従来のボールナットとしては、例えば特許文献１〜特許文献３に記載されたものがある。これらの特許文献に示されたボールナットは、ボールねじ軸が貫通する貫通孔の孔壁面に螺旋状のねじ溝が形成されている。このねじ溝は、ボールねじ軸の外周部に形成された螺旋状のねじ溝と協働して螺旋状のボール転動路を構成している。前記ボールナットは、このボール転動路内に装填されたボールを介してボールねじ軸に回転自在に支持されている。すなわち、ボールナットに加えられられたワークやツールの重量は、ボールナットから前記ボールを介してボールねじ軸に伝達されることになる。 Examples of conventional ball nuts include those described in Patent Documents 1 to 3. In the ball nuts disclosed in these patent documents, a helical thread groove is formed on the hole wall surface of the through hole through which the ball screw shaft passes. This thread groove forms a spiral ball rolling path in cooperation with a spiral thread groove formed on the outer periphery of the ball screw shaft. The ball nut is rotatably supported by a ball screw shaft via a ball loaded in the ball rolling path. In other words, the weight of the work or tool applied to the ball nut is transmitted from the ball nut to the ball screw shaft via the ball.

また、前記ボールナットには、前記ボール転動路の一端から他端へボールを移動させるためのボール戻し通路が設けられている。
特許文献１および特許文献２に示されているボールナットのボール戻し通路は、ボールナットの両端部に前記ボール転動路からボールねじ軸の径方向の外側へ延びるように形成された一対のガイド通路と、これらのガイド通路の延在側端部にそれぞれ接続されてボールナット内をボールねじ軸と平行に延びるボール戻し孔とから構成されている。特許文献３に示されているボールナットの前記ボール戻し通路は、ボール転動路内に端部が臨むパイプによって構成されている。 The ball nut is provided with a ball return passage for moving the ball from one end to the other end of the ball rolling path.
The ball return passages of the ball nuts shown in Patent Literature 1 and Patent Literature 2 are a pair of guides formed at both ends of the ball nut so as to extend outward in the radial direction of the ball screw shaft from the ball rolling path. A passage and a ball return hole connected to the extending side end portions of these guide passages and extending in parallel with the ball screw shaft in the ball nut are configured. The ball return passage of the ball nut shown in Patent Document 3 is constituted by a pipe whose end faces the ball rolling path.

特許文献１，２に示されている前記ガイド通路は、ボールナットの本体部分（以下、この部材をボールナット本体という）に形成された断面半円状のガイド溝と、ボールナット本体の両端部に取付けられた通路形成用部材に前記ガイド溝と対向するように形成された断面半円状のガイド溝とから構成されている。特許文献１に示すボールナットに用いられている前記通路形成用部材は、複数の部材を組み合わせることによって構成され、特許文献２に示すボールナットに用いられている前記通路形成用部材は、ボールナット本体の両端部にそれぞれ取付けられたエンドキャップによって構成されている。 The guide passages shown in Patent Documents 1 and 2 include a guide groove having a semicircular cross section formed in a main body portion of the ball nut (hereinafter, this member is referred to as a ball nut main body), and both end portions of the ball nut main body. And a guide groove having a semicircular cross section formed so as to be opposed to the guide groove. The passage forming member used in the ball nut shown in Patent Document 1 is configured by combining a plurality of members, and the passage forming member used in the ball nut shown in Patent Document 2 is a ball nut. It is comprised by the end cap attached to the both ends of a main body, respectively.

この種の従来のボールナットの製造方法を図１２ないし図１７によって説明する。
図１２は鍛造後のボールナット本体を示す図で、同図（ａ）は正面図、同図（ｂ）は（ａ）図におけるＢ−Ｂ線断面図である。図１３は孔開け加工後のボールナット本体を示す図で、同図（ａ）は正面図、同図（ｂ）は（ａ）図におけるＢ−Ｂ線断面図である。図１４は溝加工後のボールナット本体を示す図で、同図（ａ）は正面図、同図（ｂ）は（ａ）図におけるＢ−Ｂ線断面図である。図１５はねじ溝の研磨後のボールナット本体の断面図である。図１６はエンドキャップをボールナット本体に取付けた組立状態の断面図で、同図は図１４（ａ）における組立状態でのXVI−XVI線断面図である。図１７は図１６におけるXVII−XVII線断面図である。 This type of conventional ball nut manufacturing method will be described with reference to FIGS.
12A and 12B are views showing the ball nut body after forging. FIG. 12A is a front view, and FIG. 12B is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. FIGS. 13A and 13B are views showing the ball nut body after drilling, where FIG. 13A is a front view and FIG. 13B is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 14A and 14B are views showing the ball nut body after the groove processing, in which FIG. 14A is a front view, and FIG. 14B is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. FIG. 15 is a cross-sectional view of the ball nut body after the thread groove is polished. FIG. 16 is a cross-sectional view of the assembled state in which the end cap is attached to the ball nut body, and FIG. 16 is a cross-sectional view taken along the line XVI-XVI in the assembled state of FIG. 17 is a cross-sectional view taken along line XVII-XVII in FIG.

従来のボールナットのボールナット本体を製造するためには、先ず、図１２（ａ），（ｂ）に示すように、ボールナット本体１を鍛造によって所定の形状に形成する。このボールナット本体１には、円柱２とフランジ３とが一体に形成されている。次に、ボールナット本体１の外表面を所定の寸法、形状となるように切削し、図１３に示すように、ボールナット本体１に貫通孔４と、ボール戻し孔５およびフランジ３の取付孔６とをそれぞれ切削加工により穿設する。 In order to manufacture a ball nut body of a conventional ball nut, first, as shown in FIGS. 12 (a) and 12 (b), the ball nut body 1 is formed into a predetermined shape by forging. The ball nut body 1 is integrally formed with a column 2 and a flange 3. Next, the outer surface of the ball nut body 1 is cut so as to have a predetermined size and shape, and as shown in FIG. 13, the through hole 4, the ball return hole 5, and the mounting hole for the flange 3 are formed in the ball nut body 1. 6 are respectively drilled by cutting.

その後、図１４に示すように、前記貫通孔４の孔壁面に螺旋状のねじ溝７を切削加工により形成するとともに、このねじ溝７の両端部と前記ボール戻し孔５とを接続するためのガイド溝８を切削加工により形成する。
前記ねじ溝７におけるガイド溝８に接続する前記両端部７ａは、図１４（ｂ）に示すように、ボールナット本体１の内側に位置する中央部７ｂに較べて谷径（貫通孔４の軸心からねじ溝７の底までの距離）が相対的に大きくなるように形成されている。 After that, as shown in FIG. 14, a spiral thread groove 7 is formed in the hole wall surface of the through hole 4 by cutting, and both ends of the thread groove 7 and the ball return hole 5 are connected. The guide groove 8 is formed by cutting.
As shown in FIG. 14B, the both end portions 7a connected to the guide groove 8 in the screw groove 7 have a valley diameter (the axis of the through hole 4) as compared with the central portion 7b located inside the ball nut body 1. The distance from the center to the bottom of the thread groove 7) is relatively large.

また、ねじ溝７の前記中央部７ｂは、後述する研磨工程において研磨するときの研磨代が残るように、言い換えれば、最終的な溝形状より浅くなるように、すなわちねじ溝７の谷径が相対的に小さくなるように形成されている。
前記ガイド溝８は、図１６に示すように、ボールナット本体１の両端部に取付けられたエンドキャップ９のガイド溝１０と協働して前記ガイド通路１１を構成している。このガイド通路１１と、前記ボール戻し孔５とによって、ボール戻し通路１２が構成されている。 Further, the central portion 7b of the screw groove 7 has a polishing allowance when polishing in a polishing process described later, in other words, is shallower than the final groove shape, that is, the valley diameter of the screw groove 7 is reduced. It is formed to be relatively small.
As shown in FIG. 16, the guide groove 8 constitutes the guide passage 11 in cooperation with the guide groove 10 of the end cap 9 attached to both ends of the ball nut body 1. The guide passage 11 and the ball return hole 5 constitute a ball return passage 12.

このように孔開け加工や切削加工が施されたボールナット本体１は、浸炭や窒化などの熱処理が施され、熱処理後にねじ溝７の仕上加工が施される。この仕上加工は、貫通孔４内に嵌合させたラッピング治具（図示せず）を回転させながら軸線方向に移動させることによって行われる。このラッピングにより、ねじ溝７の中央部７ｂが研磨され、その谷径と溝幅とが拡げられて最終的な形状、寸法に形成される。 The ball nut body 1 that has been subjected to drilling and cutting in this manner is subjected to heat treatment such as carburizing and nitriding, and the finishing of the thread groove 7 is performed after the heat treatment. This finishing process is performed by moving a lapping jig (not shown) fitted in the through hole 4 in the axial direction while rotating. By this lapping, the central portion 7b of the thread groove 7 is polished, the valley diameter and the groove width are expanded, and the final shape and dimensions are formed.

すなわち、上述した従来のボールナットにおいて、ねじ溝７は、図１５に示すように、ボールナット本体１の両端部にガイド溝８に接続するように研削によって形成された研削溝１３と、これらの研削溝１３，１３どうしの間に研磨によって形成された研磨溝１４とから構成されている。
ボールナット本体１は、上述したように各種の溝加工や研磨が終了した後、図１６に示すように、エンドキャップ９が取付けられ、図示していないボールねじ軸に組付けられるとともにボール１５が装填される。
特開２００５−７６８４４号公報特開２００３−１１３９２２号公報特開２００５−２３３４１６号公報 That is, in the conventional ball nut described above, as shown in FIG. 15, the thread groove 7 includes grinding grooves 13 formed by grinding so as to be connected to the guide grooves 8 at both ends of the ball nut body 1, and these A polishing groove 14 is formed between the grinding grooves 13 and 13 by polishing.
After the various groove processing and polishing are completed as described above, the ball nut body 1 is attached with an end cap 9 and assembled to a ball screw shaft (not shown) as shown in FIG. Loaded.
Japanese Patent Laid-Open No. 2005-76844 JP 2003-113922 A JP 2005-233416 A

上述したように構成された従来のボールナットにおいては、図１７に示すように、ねじ溝７の研削溝１３と研磨溝１４との境界部分に段差部１６が形成されてしまうという問題があった。この段差部１６は、前記研磨溝１４の谷径ｄ１（図１４参照）より前記研削溝１３の谷径ｄ２が大きくなることに起因して生じたものである。 In the conventional ball nut configured as described above, there is a problem that a step 16 is formed at the boundary portion between the grinding groove 13 and the polishing groove 14 of the thread groove 7 as shown in FIG. . The step portion 16 is caused by the fact that the trough diameter d2 of the grinding groove 13 is larger than the trough diameter d1 of the polishing groove 14 (see FIG. 14).

ボールナット本体１のねじ溝７は、ボール１５が荷重を受けながら転動する部分である。このため、従来のボールナットのようにねじ溝７に段差部１６が形成されているため、ボール１５が段差部１６を通過するときにボールナットに振動や騒音が発生するおそれがある。 The thread groove 7 of the ball nut body 1 is a portion where the ball 15 rolls while receiving a load. For this reason, since the step part 16 is formed in the screw groove 7 like the conventional ball nut, when the ball | bowl 15 passes the step part 16, there exists a possibility that a vibration and noise may generate | occur | produce in a ball nut.

このように構成されたボールナットを有するボールねじ装置によって例えば電子部品を平行移動させる構成の電子部品移載装置においては、ボールナットに生じる振動が減衰されていない状態で電子部品を移載させると、電子部品を移載する位置の精度が低下するおそれがある。 In an electronic component transfer device configured to translate, for example, an electronic component by a ball screw device having a ball nut configured as described above, when the electronic component is transferred in a state where vibration generated in the ball nut is not damped. The accuracy of the position where the electronic component is transferred may be reduced.

本発明はこのような問題を解消するためになされたもので、ボールがねじ溝を転動するときの振動や騒音が小さいボールねじ装置を提供することを第１の目的とし、このボールねじ装置を使用することにより精度の向上が図られた電子部品移載装置、表面実装機およびＩＣハンドラーを提供することを第２の目的とする。 The present invention has been made in order to solve such problems, and a first object of the present invention is to provide a ball screw device that is small in vibration and noise when the ball rolls in the thread groove. A second object of the present invention is to provide an electronic component transfer device, a surface mounter, and an IC handler in which the accuracy is improved by using the.

この目的を達成するために、本発明に係るボールねじ装置は、ボールねじ軸と、このボールねじ軸を水平状態としてその軸線方向への移動が規制されるように回転自在に支持するフレームと、前記ボールねじ軸を回転させる駆動装置と、前記ボールねじ軸にボールを介して装着されたボールナットと、このボールナットが取付けられたスライダとを備えたボールねじ装置において、前記ボールナットに、ボールねじ軸が挿通される貫通孔およびボール戻し孔とが形成されたボールナット本体と、前記貫通孔の孔壁面に形成され、前記ボールねじ軸のねじ溝と協働して螺旋状のボール転動路を形成するナット側ねじ溝と、前記ボールナット本体の両端部に取付けられたエンドキャップと、このエンドキャップと前記ボールナット本体とに形成され前記ボール転動路と前記ボール戻し孔とを連通するガイド通路とを備えさせ、ボールナットを、前記ナット側ねじ溝の両端部と中央部との間に形成された２箇所の段差部のうち少なくとも一方の段差部がボールねじ軸の軸心を通る水平面より下方に位置付けられるようにスライダに取付けたものである。 To achieve this object, a ball screw device according to the present invention includes a ball screw shaft, a frame that rotatably supports the ball screw shaft in a horizontal state so that movement in the axial direction is restricted, and A ball screw device comprising: a driving device for rotating the ball screw shaft; a ball nut mounted on the ball screw shaft via a ball; and a slider to which the ball nut is attached. A ball nut body formed with a through hole and a ball return hole through which the screw shaft is inserted, and a spiral ball rolling formed in the hole wall surface of the through hole and in cooperation with the thread groove of the ball screw shaft A nut-side thread groove forming a path, end caps attached to both ends of the ball nut body, and the end cap and the ball nut body. A guide passage that communicates the ball rolling path and the ball return hole, and the ball nut is formed of two step portions formed between both end portions and a central portion of the nut-side screw groove. At least one step portion is attached to the slider so as to be positioned below a horizontal plane passing through the axis of the ball screw shaft.

請求項２に記載した発明に係るボールねじ装置は、請求項１に記載したボールねじ装置において、フレームに、ボールねじ軸を側方から囲む一対の縦壁と、これらの縦壁間においてボールねじ軸と平行に延びる開口部とを設け、ボールナットに、ボールナット本体の外面に取付けられたグリースニップルからボール転動路側へグリースを供給する給油構造を備えさせ、前記グリースニップルを、前記開口部の下方に位置付けたものである。 A ball screw device according to a second aspect of the present invention is the ball screw device according to the first aspect, wherein the frame includes a pair of vertical walls surrounding the ball screw shaft from the side, and a ball screw between the vertical walls. An opening extending in parallel with the shaft is provided, and the ball nut is provided with an oil supply structure for supplying grease from the grease nipple attached to the outer surface of the ball nut body to the ball rolling path, and the grease nipple is connected to the opening. It is located below.

請求項３に記載した発明に係る電子部品移載装置は、請求項１または請求項２に記載したボールねじ装置を水平に支持する基台と、前記ボールねじ装置のスライダに支持されたヘッドユニットと、このヘッドユニットに昇降可能に設けられ、下端部に吸着ノズルを有する吸着ヘッドとを備えているものである。 An electronic component transfer apparatus according to a third aspect of the invention includes a base that horizontally supports the ball screw device according to the first or second aspect, and a head unit that is supported by a slider of the ball screw device. And a suction head which is provided in the head unit so as to be movable up and down and has a suction nozzle at the lower end.

請求項４に記載した発明に係る表面実装機は、請求項３に記載した電子部品移載装置によって電子部品をプリント配線板に移載するものである。 According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a surface mounter for transferring an electronic component onto a printed wiring board by the electronic component transfer apparatus according to the third aspect.

請求項５に記載した発明に係るＩＣハンドラーは、請求項３に記載した電子部品移載装置によって検査用電子部品を検査用ソケットに装填するものである。 According to a fifth aspect of the present invention, there is provided an IC handler for loading an inspection electronic component into an inspection socket by the electronic component transfer device according to the third aspect.

本発明に係るボールねじ装置において、スライダの荷重のうちボールねじ軸によって支えられる荷重は、ボールねじ軸の軸心より上側に位置するボールを介してボールナットからボールねじ軸に伝達される。
したがって、本発明によれば、ボールナットのねじ溝の両端部と中央部との間に形成されている２箇所の段差部のうち少なくとも一方の段差部には、前記荷重が伝達されることがなくなる。このため、本発明に係るボールねじ装置は、２箇所の前記段差部に前記荷重がそれぞれ伝達される構造のボールねじ装置に較べて、ボールがボールナット内で転動するときに生じる振動や騒音を低減することができる。 In the ball screw device according to the present invention, the load supported by the ball screw shaft among the loads of the slider is transmitted from the ball nut to the ball screw shaft via a ball located above the axis of the ball screw shaft.
Therefore, according to the present invention, the load is transmitted to at least one step portion of the two step portions formed between the both end portions and the center portion of the thread groove of the ball nut. Disappear. For this reason, the ball screw device according to the present invention has vibration and noise generated when the ball rolls in the ball nut, compared to a ball screw device having a structure in which the load is transmitted to the two step portions. Can be reduced.

請求項２記載の発明によれば、グリースニップルがフレームの開口部の下方に露出することになるから、グリースを補給するに当ってグリースガンをフレームの開口部を通してグリースニップルに接続することができる。したがって、本発明によれば、グリースの補給を容易に行うことができるボールねじ装置を提供することができる。 According to the invention described in claim 2, since the grease nipple is exposed below the opening of the frame, the grease gun can be connected to the grease nipple through the opening of the frame when replenishing the grease. . Therefore, according to the present invention, it is possible to provide a ball screw device capable of easily replenishing grease.

請求項３記載の発明によれば、ボールナットの動作時の振動が小さいボールねじ装置によってヘッドユニットが駆動されるから、電子部品を移載するときの位置ずれが発生し難い電子部品移載装置を提供することができる。しかも、この電子部品移載装置は、動作時の騒音が小さいボールねじ装置を使用しているから、電子部品を静かに移動させることができる。 According to the invention described in claim 3, since the head unit is driven by the ball screw device with small vibration during operation of the ball nut, the electronic component transfer device is less likely to be displaced when the electronic component is transferred. Can be provided. In addition, since the electronic component transfer device uses a ball screw device with low noise during operation, the electronic component can be moved gently.

請求項４記載の発明によれば、電子部品を高い精度で位置決めしてプリント配線板に実装ができるとともに動作時の騒音が小さい表面実装機を提供することができる。 According to the fourth aspect of the present invention, it is possible to provide a surface mounter that can position electronic components with high accuracy and can be mounted on a printed wiring board while reducing noise during operation.

請求項５記載の発明によれば、電子部品を高い精度で位置決めして検査用ソケットに装填できるとともに動作時の騒音が小さいＩＣハンドラーを提供することができる。 According to the fifth aspect of the present invention, it is possible to provide an IC handler that can position an electronic component with high accuracy and load the electronic component in an inspection socket, and has low noise during operation.

（第１の実施の形態）
以下、本発明に係るボールナットの一実施の形態を図１ないし図８によって詳細に説明する。ここでは本発明に係るボールねじ装置を単軸ロボットに装備する場合について説明する。
図１は本発明に係るボールねじ装置を装備した単軸ロボットの平面図、図２は図１におけるII−II線断面図、図３は図１におけるIII−III線断面図である。図４はボールナットの側面図、図５はボールナット本体の背面図、図６は同じく側面図、図７は同じく正面図、図８は図５におけるボールナット本体のVIII−VIII線断面図である。 (First embodiment)
Hereinafter, an embodiment of a ball nut according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS. Here, the case where the single-axis robot is equipped with the ball screw device according to the present invention will be described.
1 is a plan view of a single-axis robot equipped with a ball screw device according to the present invention, FIG. 2 is a sectional view taken along line II-II in FIG. 1, and FIG. 3 is a sectional view taken along line III-III in FIG. 4 is a side view of the ball nut, FIG. 5 is a rear view of the ball nut body, FIG. 6 is a side view of the ball nut, FIG. 7 is a front view of the ball nut body, and FIG. is there.

これらの図において、符号２１で示すものは、この実施の形態によるボールねじ装置２２を装備した単軸ロボットを示す。この単軸ロボット２１は、図１〜図３に示すように、上方に向けて解放する断面コ字状のフレーム２３と、このフレーム２３の上に移動自在に支持されたスライダ２４と、このスライダ２４を駆動するボールねじ装置２２とから構成されている。 In these drawings, the reference numeral 21 indicates a single-axis robot equipped with the ball screw device 22 according to this embodiment. As shown in FIGS. 1 to 3, the single-axis robot 21 includes a frame 23 having a U-shaped cross section that is released upward, a slider 24 supported movably on the frame 23, and the slider And a ball screw device 22 for driving 24.

前記フレーム２３は、図３に示すように、後述するボールねじ装置２２を側方から囲む一対の縦壁部材２５，２５と、これらの縦壁部材２５，２５どうしを接続する底部材２６とから構成され、水平方向（後述するボールねじ装置２２の軸線方向）に延びるように形成されている。また、このフレーム２３には、図１および図２に示すように、前記縦壁部材２５，２５間においてボールねじ装置２２の軸線方向に延びる開口部２７が形成されている。 As shown in FIG. 3, the frame 23 includes a pair of vertical wall members 25 and 25 that surround a ball screw device 22 to be described later, and a bottom member 26 that connects the vertical wall members 25 and 25 to each other. It is comprised and it is formed so that it may extend in a horizontal direction (the axial direction of the ball screw apparatus 22 mentioned later). Further, as shown in FIGS. 1 and 2, the frame 23 is formed with an opening 27 extending in the axial direction of the ball screw device 22 between the vertical wall members 25, 25.

前記２つの縦壁部材２５の上端面には、ガイドレール２８がそれぞれ設けられている。
前記スライダ２４は、前記一対のガイドレール２８にスライド部材２９を介してそれぞれ移動自在に支持されたテーブル３０と、このテーブル３０の移動方向の一端部に下方に延びるように設けられたブラケット３１とから構成されている。このブラケット３１は、板状に形え成されており、図２に示すように、その一方の主面３１ａがテーブル３０の一端面３０ａと同一平面上に位置するようにテーブル３０に取付けられている。 Guide rails 28 are provided on the upper end surfaces of the two vertical wall members 25, respectively.
The slider 24 includes a table 30 movably supported by the pair of guide rails 28 via a slide member 29, and a bracket 31 provided to extend downward at one end of the table 30 in the moving direction. It is composed of The bracket 31 is formed in a plate shape, and is attached to the table 30 so that one main surface 31a thereof is located on the same plane as the one end surface 30a of the table 30, as shown in FIG. Yes.

前記ボールねじ装置２２は、前記ブラケット３１に取付けられたボールナット３２と、このボールナット３２に螺合するボールねじ軸３３と、このボールねじ軸３３の一端部に接続された回転駆動用モータ３４と、前記ボールねじ軸３３の他端部を回転自在に支持する軸受部材３５とから構成されている。前記モータ３４と軸受部材３５とは、前記フレーム２３の底部材２６に固定されている。 The ball screw device 22 includes a ball nut 32 attached to the bracket 31, a ball screw shaft 33 screwed into the ball nut 32, and a rotation drive motor 34 connected to one end of the ball screw shaft 33. And a bearing member 35 that rotatably supports the other end of the ball screw shaft 33. The motor 34 and the bearing member 35 are fixed to the bottom member 26 of the frame 23.

前記ボールナット３２は、前記図１２〜図１７に示したボールナットとは後述するように給油構造が異なる他は同じ構造となるように形成されている。このため、この実施の形態によるボールナット３２において、図１２〜図１７に示したボールナットと同一または同等の部材については、同一符号を付し詳細な説明は省略する。 The ball nut 32 is formed to have the same structure as the ball nut shown in FIGS. 12 to 17 except that the oil supply structure is different as will be described later. For this reason, in the ball nut 32 according to this embodiment, the same or equivalent members as those of the ball nut shown in FIGS.

この実施の形態によるボールナット３２のフランジ３は、図５および図７に示すように、ボールねじ軸３３の軸線方向から見て長方形の板状であって、ボール戻し孔５が対角線の近傍に位置するように形成されている。なお、フランジ３には、図５および図７に示すように、エンドキャップ９をボールナット本体１に取付けるためのねじ孔３６と、エンドキャップ９を位置決めするためのピン孔３７とが穿設されている。 As shown in FIGS. 5 and 7, the flange 3 of the ball nut 32 according to this embodiment has a rectangular plate shape when viewed from the axial direction of the ball screw shaft 33, and the ball return holes 5 are located in the vicinity of the diagonal line. It is formed to be located. As shown in FIGS. 5 and 7, the flange 3 is provided with a screw hole 36 for attaching the end cap 9 to the ball nut body 1 and a pin hole 37 for positioning the end cap 9. ing.

前記フランジ３におけるボール戻し孔５とは反対側に位置する側面３ａには、グリースニップル４１が取付けられている。このグリースニップル４１内の油路（図示せず）は、フランジ３内に穿設された油孔４２によって貫通孔４に接続されている。このグリースニップル４１のフランジ３に対する取付角度は、図６に示すように、先端部の注油口４１ａがボールナット本体１における大径円筒部１ａとは反対側を指向するように設定されている。このようにグリースニップル４１が取付けられたボールナット３２においては、図７に示すように、グリースニップル４１を有するフランジ３の側面３ａと直交する中心線Ｃに対して、一方側（図７においては右側）にボール戻し孔５と、ねじ溝７の一方の端部７ａと中央部７ｂとの間に形成された一方の段差部１６（図１７参照）とが位置し、他方側にねじ溝７の他端部７ａと中央部７ｂとの間に形成された他方の段差部１６が位置するようになる。 A grease nipple 41 is attached to a side surface 3 a located on the opposite side of the flange 3 from the ball return hole 5. An oil passage (not shown) in the grease nipple 41 is connected to the through hole 4 by an oil hole 42 formed in the flange 3. The mounting angle of the grease nipple 41 with respect to the flange 3 is set so that the oil inlet 41a at the tip is directed to the opposite side of the large-diameter cylindrical portion 1a in the ball nut body 1 as shown in FIG. In the ball nut 32 to which the grease nipple 41 is attached in this manner, as shown in FIG. 7, one side (in FIG. 7, the center line C perpendicular to the side surface 3a of the flange 3 having the grease nipple 41). On the right side), the ball return hole 5 and one stepped portion 16 (see FIG. 17) formed between one end 7a and the central portion 7b of the thread groove 7 are located, and the thread groove 7 is located on the other side. The other stepped portion 16 formed between the other end portion 7a and the central portion 7b is positioned.

前記フランジ３は、図１〜図３に示すように、前記スライダ２４のブラケット３１におけるモータ３４と対向する前記主面３１ａに取付けられている。フランジ３をブラケット３１に取付けるときの角度は、図３に示すように、前記グリースニップル４１がフランジ３から水平方向に突出するとともに、ボール戻し孔５が上に位置するように設定されている。 As shown in FIGS. 1 to 3, the flange 3 is attached to the main surface 31 a facing the motor 34 in the bracket 31 of the slider 24. As shown in FIG. 3, the angle when the flange 3 is attached to the bracket 31 is set so that the grease nipple 41 protrudes horizontally from the flange 3 and the ball return hole 5 is positioned above.

このようにフランジ３をブラケット３１に取付けることにより、図１に示すように、上方から見てグリースニップル４１がフレーム２３の開口部２７内に露出することになる。また、このようにブラケット３１に取付けられたボールナット３２においては、ボール戻し孔５と、ねじ溝７の一方の端部７ａと中央部７ｂとの間（切削溝１３と研磨溝１４との境界部）に形成された一方の段差部１６とがボールねじ軸３３の軸心を通る水平面より上に位置し、ねじ溝７の他端部７ａと中央部７ｂとの間に形成された他方の段差部１６が前記水平面より下に位置することになる。 By attaching the flange 3 to the bracket 31 in this manner, the grease nipple 41 is exposed in the opening 27 of the frame 23 as viewed from above, as shown in FIG. Further, in the ball nut 32 attached to the bracket 31 in this way, between the ball return hole 5 and one end portion 7a and the central portion 7b of the thread groove 7 (the boundary between the cutting groove 13 and the polishing groove 14). And the other step formed between the other end portion 7a and the central portion 7b of the screw groove 7 is positioned above a horizontal plane passing through the axis of the ball screw shaft 33. The step portion 16 is positioned below the horizontal plane.

このように構成されたボールねじ装置２２において、スライダ２４の荷重のうちボールねじ軸３３によって支えられる荷重は、ボールねじ軸３３の軸心より上側に位置するボールを介してボールナット３２からボールねじ軸３３に伝達される。
したがって、このボールねじ装置２２によれば、ボールナット３２のねじ溝７の両端部７ａ，７ａと中央部７ｂとの間に形成された２箇所の段差部１６，１６のうち一方の段差部１６がボールねじ軸３３の軸心より下に位置しているから、前記２箇所の段差部１６，１６のうち少なくとも一方の段差部１６には、前記荷重が伝達されることがなくなる。このため、このボールねじ装置２２は、２箇所の前記段差部１６，１６に前記荷重がそれぞれ伝達される構造のボールねじ装置に較べて、ボール１５がボールナット３２内で転動するときに生じる振動や騒音を低減することができる。 In the ball screw device 22 configured as described above, the load supported by the ball screw shaft 33 among the loads of the slider 24 is transferred from the ball nut 32 to the ball screw via the ball located above the axis of the ball screw shaft 33. It is transmitted to the shaft 33.
Therefore, according to this ball screw device 22, one stepped portion 16 of the two stepped portions 16, 16 formed between the both end portions 7 a, 7 a of the screw groove 7 of the ball nut 32 and the central portion 7 b. Is located below the axis of the ball screw shaft 33, the load is not transmitted to at least one of the two stepped portions 16, 16. Therefore, the ball screw device 22 is generated when the ball 15 rolls in the ball nut 32 as compared with a ball screw device having a structure in which the load is transmitted to the two step portions 16 and 16 respectively. Vibration and noise can be reduced.

また、この実施の形態によるボールねじ装置２２においては、グリースニップル４１がフレーム２３の開口部２７の下方に露出することになるから、グリースを補給するに当ってグリースガン（図示せず）をフレーム２３の開口部２７を通してグリースニップル４１に接続することができる。このため、このボールねじ装置２２においては、グリースの補給を容易に行うことができる。 In the ball screw device 22 according to this embodiment, since the grease nipple 41 is exposed below the opening 27 of the frame 23, a grease gun (not shown) is attached to the frame when replenishing the grease. 23 can be connected to the grease nipple 41 through the opening 27. For this reason, in this ball screw device 22, replenishment of grease can be performed easily.

（第２の実施の形態）
第１の実施の形態で示したボールねじ装置を用いる表面実装機の一実施の形態を図９によって詳細に説明する。
図９は表面実装機の平面図である。同図において、前記図１〜図８によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し詳細な説明は適宜省略する。 (Second Embodiment)
An embodiment of a surface mounter using the ball screw device shown in the first embodiment will be described in detail with reference to FIG.
FIG. 9 is a plan view of the surface mounter. In this figure, the same or equivalent members as described with reference to FIGS. 1 to 8 are given the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted as appropriate.

図８に示す表面実装機５１は、基台５２と、この基台５２の上にＸ方向（図９においては左右方向）に延びるように設けられたコンベア５３と、基台５２のＹ方向（図９においては上下方向）の端部に装着された多数のテープフィーダー５４と、このテープフィーダー５４からコンベア５３上のプリント配線板５５に電子部品（図示せず）を移載するための電子部品移載装置５６などを備えている。 A surface mounter 51 shown in FIG. 8 includes a base 52, a conveyor 53 provided on the base 52 so as to extend in the X direction (left and right in FIG. 9), and the Y direction of the base 52 ( 9, a number of tape feeders 54 mounted on the ends in the vertical direction) and electronic components for transferring electronic components (not shown) from the tape feeders 54 to the printed wiring board 55 on the conveyor 53. A transfer device 56 and the like are provided.

前記電子部品移載装置５６は、前記図１〜図３に示した単軸ロボット２１と同じ構造の単軸ロボットを３台装備している。すなわち、この電子部品移載装置５６は、Ｙ方向に延びるように形成されて基台５２のＸ方向の両端部に設けられた一対のＹ方向駆動装置５７，５７（単軸ロボット）と、これらのＹ方向駆動装置５７，５７どうしの間に横架された支持部材５８と、この支持部材５８にＸ方向へ移動可能に支持されたヘッドユニット５９と、このヘッドユニット５９をＸ方向に移動させるＸ方向駆動装置６０（単軸ロボット）と、前記ヘッドユニット５９に昇降可能かつ上下方向の軸線回りに回転可能に設けられ、下端部に吸着ノズル（図示せず）を有する複数の吸着ヘッド６１とから構成されている。 The electronic component transfer device 56 is equipped with three single-axis robots having the same structure as the single-axis robot 21 shown in FIGS. That is, the electronic component transfer device 56 includes a pair of Y-direction drive devices 57 and 57 (single-axis robots) formed to extend in the Y direction and provided at both ends of the base 52 in the X direction, and these Support member 58 laid horizontally between the Y-direction drive devices 57, 57, a head unit 59 supported by the support member 58 so as to be movable in the X direction, and this head unit 59 is moved in the X direction. An X-direction drive device 60 (single-axis robot), and a plurality of suction heads 61 provided on the head unit 59 so as to be movable up and down and rotatable about a vertical axis, and having suction nozzles (not shown) at the lower end portions It is composed of

前記Ｙ方向駆動装置５７は、基台５２に回転自在に支持されたボールねじ軸３３と、このボールねじ軸３３に螺合するとともに支持部材５８の両端部に固定されたボールナット３２と、前記ボールねじ軸３３を回転させるモータ６２などによって構成されている。前記Ｘ方向駆動装置６０は、支持部材５８に回転自在に支持されたボールねじ軸３３と、このボールねじ軸３３に螺合するとともにヘッドユニット５９に固定されたボールナット３２と、前記ボールねじ軸３３を回転させるモータ６３などによって構成されている。 The Y-direction drive device 57 includes a ball screw shaft 33 that is rotatably supported by the base 52, a ball nut 32 that is screwed to the ball screw shaft 33 and is fixed to both ends of the support member 58, and The motor 62 etc. which rotate the ball screw shaft 33 are comprised. The X-direction drive device 60 includes a ball screw shaft 33 rotatably supported by a support member 58, a ball nut 32 screwed to the ball screw shaft 33 and fixed to a head unit 59, and the ball screw shaft. The motor 63 that rotates the motor 33 is used.

このように構成された電子部品移載装置５６を備えた表面実装機５１によれば、動作時の振動が小さいボールねじ装置２２を有するＹ方向駆動装置５７とＸ方向駆動装置６０とによってヘッドユニット５９が駆動されるから、電子部品をプリント配線板５５に高い精度で位置決めして実装することができる。また、この表面実装機５１は、動作時の騒音が小さいボールねじ装置２２を使用しているから実装時の動作音が小さいものとなる。 According to the surface mounter 51 provided with the electronic component transfer device 56 configured as described above, the head unit is constituted by the Y-direction drive device 57 and the X-direction drive device 60 having the ball screw device 22 having a small vibration during operation. Since 59 is driven, the electronic component can be positioned and mounted on the printed wiring board 55 with high accuracy. In addition, since the surface mounting machine 51 uses the ball screw device 22 with low noise during operation, the operation noise during mounting is low.

（第３の実施の形態）
第１の実施の形態で示したボールねじ装置を用いるＩＣハンドラーの一実施の形態を図１０によって詳細に説明する。
図１０はＩＣハンドラーの平面図である。同図において、前記図１〜図８によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し詳細な説明は適宜省略する。 (Third embodiment)
One embodiment of an IC handler using the ball screw device shown in the first embodiment will be described in detail with reference to FIG.
FIG. 10 is a plan view of the IC handler. In this figure, the same or equivalent members as described with reference to FIGS. 1 to 8 are given the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted as appropriate.

図１０に示すＩＣハンドラー７１は、基台７２の一端部に設けられた検査用ソケット７３と、基台７２に設けられた４台のパレット用昇降テーブル７４〜７７と、これらの昇降テーブル７４〜７７と前記検査用ソケット７３との間に設けられた部品認識カメラ７８と、前記パレット用昇降テーブル上のパレット７９と前記検査用ソケット７３との間で電子部品を移動させるための電子部品移載装置８０と、パレット用昇降テーブル間でパレット７９を移動させるための吸着式パレット移載装置８１とを備えている。 An IC handler 71 shown in FIG. 10 includes an inspection socket 73 provided at one end of a base 72, four pallet lifting tables 74 to 77 provided on the base 72, and these lifting tables 74 to 77. 77 and a component recognition camera 78 provided between the inspection socket 73 and an electronic component transfer for moving the electronic component between the pallet 79 on the pallet lifting table and the inspection socket 73. The apparatus 80 and the adsorption | suction type pallet transfer apparatus 81 for moving the pallet 79 between the raising / lowering tables for pallets are provided.

前記検査用ソケット７３は、電子部品（図示せず）に対して電気的な検査を行うためのもので、電子部品が一つ装填されるように構成されている。
前記パレット用昇降テーブル７４〜７７は、多数の電子部品を収納した複数のパレット７９を上下方向に重ねた状態で支持するとともに、これらのパレット７９を昇降させることができるように構成されている。
前記部品認識カメラ７８は、電子部品を下方から撮像し、後述する電子部品移載装置８０の吸着ノズル（図示せず）に対する電子部品の位置を画像処理によって検出するためのものである。 The inspection socket 73 is for performing an electrical inspection on an electronic component (not shown), and is configured to be loaded with one electronic component.
The pallet elevating tables 74 to 77 are configured to support a plurality of pallets 79 storing a large number of electronic components in a vertically stacked state and to raise and lower these pallets 79.
The component recognition camera 78 captures an image of the electronic component from below and detects the position of the electronic component with respect to a suction nozzle (not shown) of the electronic component transfer device 80 described later by image processing.

前記電子部品移載装置８０は、図１〜図３に示した単軸ロボット２１と同じ構造の単軸ロボットを３台装備し、パレット移載装置８１は、前記単軸ロボットを２台装備している。前記電子部品移載装置８０は、基台７２上にＹ方向に延びるように設けられた一対のＹ方向駆動装置８２，８２（単軸ロボット）と、これらのＹ方向駆動装置８２，８２どうしの間に横架された支持部材８３と、この支持部材８３にＸ方向へ移動可能に支持されたヘッドユニット８４と、このヘッドユニット８４をＸ方向に移動させるＸ方向駆動装置８５（単軸ロボット）と、前記ヘッドユニット８４に昇降可能かつ上下方向の軸線回りに回転可能に設けられ、下端部に吸着ノズル（図示せず）を有する吸着ヘッド８６とから構成されている。 The electronic component transfer device 80 is equipped with three single-axis robots having the same structure as the single-axis robot 21 shown in FIGS. 1 to 3, and the pallet transfer device 81 is equipped with two single-axis robots. ing. The electronic component transfer device 80 includes a pair of Y-direction drive devices 82 and 82 (single-axis robots) provided on the base 72 so as to extend in the Y direction, and the Y-direction drive devices 82 and 82. A support member 83 laid across the head, a head unit 84 supported by the support member 83 so as to be movable in the X direction, and an X-direction drive device 85 (single-axis robot) for moving the head unit 84 in the X direction And a suction head 86 provided on the head unit 84 so as to be movable up and down and rotatable about a vertical axis, and having a suction nozzle (not shown) at the lower end.

前記パレット移載装置８１は、一対のＹ方向駆動装置９１，９１（単軸ロボット）と、これらのＹ方向駆動装置９１，９１間に横架された支持部材９２と、この支持部材９２に昇降可能に設けられるとともに下端部に吸着ノズル（図示せず）が設けられたパレット用吸着ヘッド９３などによって構成されている。
この実施の形態においては、前記Ｙ方向駆動装置８２，９１とＸ方向駆動装置８５とに本発明に係るボールねじ装置２２が装備されている。 The pallet transfer device 81 includes a pair of Y-direction drive devices 91 and 91 (single-axis robot), a support member 92 laid across the Y-direction drive devices 91 and 91, and ascending and descending to the support member 92. The pallet suction head 93 is provided with a suction nozzle (not shown) provided at the lower end portion.
In this embodiment, the Y-direction drive devices 82 and 91 and the X-direction drive device 85 are equipped with the ball screw device 22 according to the present invention.

このように構成された電子部品移載装置を備えたＩＣハンドラー７１によれば、動作時の振動が小さいボールねじ装置２２を有するＹ方向駆動装置８２とＸ方向駆動装置８５とによってヘッドユニット８４が駆動されるから、電子部品を検査用ソケット７３に高い精度で位置決めし装填することができる。また、このＩＣハンドラー７１は、動作時の騒音が小さいボールねじ装置２２を使用しているから電子部品を移動させるときの動作音が小さいものとなる。 According to the IC handler 71 provided with the electronic component transfer device configured as described above, the head unit 84 is configured by the Y-direction drive device 82 and the X-direction drive device 85 having the ball screw device 22 that has a small vibration during operation. Since it is driven, the electronic component can be positioned and loaded in the inspection socket 73 with high accuracy. Further, since the IC handler 71 uses the ball screw device 22 with low noise during operation, the operation noise when moving the electronic component is low.

（第４の実施の形態）
ボールナットは図１１に示すように形成することができる。
図１１はボールナット本体の正面図である。同図において、前記図１〜図８および図１２〜図１７によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し詳細な説明は適宜省略する。 (Fourth embodiment)
The ball nut can be formed as shown in FIG.
FIG. 11 is a front view of the ball nut body. In the figure, the same or equivalent members as those described with reference to FIGS. 1 to 8 and FIGS. 12 to 17 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted as appropriate.

図１１に示すボールナット本体１のボール戻し孔５は、ボールナット３２をスライダ２４（図３参照）に取付けた状態で貫通孔４の中心線の直下に位置するように形成されている。また、このボールナット本体１のねじ溝７の両端部７ａ，７ａは、スライダ２４に取付けられた状態における水平方向の中心線Ｃより下に位置付けられている。 The ball return hole 5 of the ball nut main body 1 shown in FIG. 11 is formed so as to be located immediately below the center line of the through hole 4 with the ball nut 32 attached to the slider 24 (see FIG. 3). Further, both end portions 7 a and 7 a of the thread groove 7 of the ball nut body 1 are positioned below the horizontal center line C in the state where the screw nut 7 is attached to the slider 24.

このように構成されたボールナット本体１を有するボールねじ装置２２においては、ボールナット３２の動作時に生じる振動や騒音をほとんどなくすことができる。 In the ball screw device 22 having the ball nut body 1 configured as described above, vibration and noise generated when the ball nut 32 is operated can be almost eliminated.

本発明に係るボールねじ装置を装備した単軸ロボットの平面図である。1 is a plan view of a single-axis robot equipped with a ball screw device according to the present invention. 図１におけるII−II線断面図である。It is the II-II sectional view taken on the line in FIG. 図１におけるIII−III線断面図である。It is the III-III sectional view taken on the line in FIG. ボールナットの側面図である。It is a side view of a ball nut. ボールナット本体の背面図である。It is a rear view of a ball nut main part. ボールナット本体の側面図である。It is a side view of a ball nut main part. ボールナット本体の正面図である。It is a front view of a ball nut main part. 図５におけるボールナット本体のVIII−VIII線断面図である。It is the VIII-VIII sectional view taken on the line of the ball nut main body in FIG. 表面実装機の平面図である。It is a top view of a surface mounter. ＩＣハンドラーの平面図である。It is a top view of an IC handler. ボールナット本体の正面図である。It is a front view of a ball nut main part. 鍛造後のボールナット本体を示す図である。It is a figure which shows the ball nut main body after forge. 孔開け加工後のボールナット本体を示す図である。It is a figure which shows the ball nut main body after a drilling process. 溝加工後のボールナット本体を示す図である。It is a figure which shows the ball nut main body after a groove process. ねじ溝の研磨後のボールナット本体の断面図である。It is sectional drawing of the ball nut main body after grinding | polishing of a thread groove. エンドキャップをボールナット本体に取付けた組立状態の断面図である。It is sectional drawing of the assembly state which attached the end cap to the ball nut main body. 図１５におけるXVII−XVII線断面図である。It is the XVII-XVII sectional view taken on the line in FIG.

Explanation of symbols

１…ボールナット本体、５…ボール戻し孔、７…ねじ溝、７ａ…端部、８…ガイド溝、１２…ボール戻し通路、１３…研削溝、１４…研磨溝、１５…ボール、２１…単軸ロボット、２３…フレーム、２４…スライダ、３２…ボールナット、３３…ボールねじ軸、４１…グリースニップル、５１…表面実装機、５６，８０…電子部品移載装置、５７，８２，９１…Ｙ方向駆動装置、５９，８４…ヘッドユニット、６０，８５…Ｘ方向駆動装置、６１，８６…吸着ヘッド、７１…ＩＣハンドラー、７３…検査用ソケット。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Ball nut main body, 5 ... Ball return hole, 7 ... Screw groove, 7a ... End part, 8 ... Guide groove, 12 ... Ball return path, 13 ... Grinding groove, 14 ... Polishing groove, 15 ... Ball, 21 ... Single Axis robot, 23 ... frame, 24 ... slider, 32 ... ball nut, 33 ... ball screw shaft, 41 ... grease nipple, 51 ... surface mounter, 56, 80 ... electronic component transfer device, 57, 82, 91 ... Y Direction drive device, 59, 84... Head unit, 60, 85... X direction drive device, 61, 86... Suction head, 71.

Claims

A ball screw shaft;
A frame that rotatably supports the ball screw shaft in a horizontal state so that movement in the axial direction is restricted;
A driving device for rotating the ball screw shaft;
A ball nut mounted on the ball screw shaft via a ball;
In a ball screw device including a slider to which the ball nut is attached,
The ball nut is
A ball nut body formed with a through hole and a ball return hole through which the ball screw shaft is inserted;
A nut-side thread groove that is formed in the hole wall surface of the through-hole and forms a spiral ball rolling path in cooperation with the thread groove of the ball screw shaft;
End caps attached to both ends of the ball nut body;
Formed on the end cap and the ball nut body, and having two guide passages communicating the both ends of the ball rolling path and the ball return hole,
The ball nut is positioned so that at least one of the two step portions formed between both end portions and the center portion of the nut-side screw groove is positioned below a horizontal plane passing through the axis of the ball screw shaft. The ball screw device is attached to a slider.

The ball screw device according to claim 1, wherein
The frame has a pair of vertical walls surrounding the ball screw shaft from the side, and an opening extending in parallel with the ball screw shaft between the vertical walls,
The ball nut has an oil supply structure that supplies grease from the grease nipple attached to the outer surface of the ball nut body to the ball rolling path side.
The grease nipple is a ball screw device positioned below the opening.

A base for horizontally supporting the ball screw device according to claim 1 or 2,
A head unit supported by a slider of the ball screw device;
An electronic component transfer apparatus provided with a suction head provided at the lower end of the head unit so as to be movable up and down.

A surface mounter for transferring an electronic component onto a printed wiring board by the electronic component transfer device according to claim 3.

An IC handler for loading an inspection electronic component into an inspection socket by the electronic component transfer apparatus according to claim 3.