JP2007125846A

JP2007125846A - Screen printing equipment

Info

Publication number: JP2007125846A
Application number: JP2005321972A
Authority: JP
Inventors: Yuzuru Inaba; 譲稲葉; Nariyuki Yoshitomi; 成之吉冨
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2005-11-07
Filing date: 2005-11-07
Publication date: 2007-05-24
Anticipated expiration: 2025-11-07
Also published as: JP4640117B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide screen printing equipment which prevents the damage of a solvent storing vessel and also ensures the degree of freedom of an equipment layout. <P>SOLUTION: The solvent storing vessel 71 which stores a solvent for cleaning to be supplied to a cleaning part 50 which moves under a mask 2 and removes a paste sticking to the mask 2, is disposed inside a housing 1a of the screen printing equipment 1, and also a solvent receptacle 72 which collects the solvent leaking out from the solvent storing vessel 71 is provided inside the housing 1a. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、所定のパターン孔が形成されたマスクに位置合わせされた基板の表面にペーストをパターン印刷する際に前記マスクに付着した前記ペーストを除去するマスクのクリーニング装置を備えたスクリーン印刷装置に関するものである。 The present invention relates to a screen printing apparatus including a mask cleaning device that removes the paste adhered to the mask when pattern printing is performed on the surface of the substrate aligned with the mask in which a predetermined pattern hole is formed. Is.

電子部品の実装工程においては、電子部品を基板に機械的及び電気的に接合して実装するため、ペースト状にした導電性材料（導電性ペースト、以下、単にペーストという。）を基板の表面に供給するスクリーン印刷が多用されている。スクリーン印刷は、所定のパターンで形成されたパターン孔を備えたマスクを基板の表面に面接させた状態でマスクの表面にペーストを供給し、マスクの表面上を摺動するスキージによりペーストをマスクの表面に塗り拡げることにより、パターン孔に滞留したペーストが基板の表面にパターン印刷されるものである。 In the mounting process of the electronic component, in order to mount the electronic component by mechanically and electrically joining the substrate, a paste-like conductive material (conductive paste, hereinafter simply referred to as paste) is applied to the surface of the substrate. Supplying screen printing is often used. In screen printing, a paste having a pattern hole formed in a predetermined pattern is supplied to the surface of the mask in contact with the surface of the substrate, and the paste is applied to the mask by a squeegee that slides on the surface of the mask. By spreading on the surface, the paste staying in the pattern holes is printed on the surface of the substrate.

このペーストとして、例えば粉末状の半田とフラックスを混合した半田クリームが広く用いられている。この半田やフラックスは、スクリーン印刷を繰り返すうちにマスクに形成されたパターン孔の周辺に付着して堆積していくので、定期的にクリーニングを行ってマスクを清浄な状態にする作業が行われる（例えば特許文献１参照）。
特開２００３−１７０５７０号公報 As this paste, for example, a solder cream in which powdered solder and flux are mixed is widely used. Since this solder or flux adheres and accumulates around the pattern holes formed in the mask as screen printing is repeated, an operation to periodically clean the mask by performing cleaning is performed ( For example, see Patent Document 1).
JP 2003-170570 A

特許文献１に開示されたスクリーン印刷装置には、クリーニングペーパーにクリーニング用の溶剤を供給し、この溶剤が供給された部分をマスクの裏面に当接させて摺動させつつクリーニングペーパー側から吸引することにより、マスクに付着した半田やフラックスを除去するクリーニング装置が備えられている。クリーニングペーパーに溶剤を供給する溶剤供給部と、クリーニングペーパーをマスクの裏面で摺動させてクリーニングを行うクリーニング部は一体的に構成されており、マスクに対して相対的に移動することにより摺動するようになっている。溶剤供給部は、溶剤をクリーニングペーパーに塗布するノズルと、このノズルと可撓性の管により連通された溶剤収納容器から構成されている。溶剤収納容器は、溶剤の漏出により電気系や駆動系に悪影響を与えることのないようにスクリーン印刷装置の函体の外側に配置されている。 In the screen printing apparatus disclosed in Patent Document 1, a cleaning solvent is supplied to the cleaning paper, and the portion to which the solvent is supplied is brought into contact with the back surface of the mask and is slid from the cleaning paper side. Thus, a cleaning device for removing solder and flux adhering to the mask is provided. The solvent supply unit that supplies the solvent to the cleaning paper and the cleaning unit that cleans the cleaning paper by sliding it on the back of the mask are configured integrally, and slides by moving relative to the mask. It is supposed to be. The solvent supply unit includes a nozzle for applying the solvent to the cleaning paper, and a solvent storage container communicated with the nozzle by a flexible tube. The solvent storage container is disposed outside the box of the screen printing apparatus so that the leakage of the solvent does not adversely affect the electric system and the drive system.

しかしながら、電子部品の実装現場においては、種々の実装用装置が近接してレイアウトされているため、実装用装置間を頻繁に行き来する人や運搬用のワゴン等が溶剤収納容器に衝突してこれを破損させることがあった。また、函体の外側に張り出した溶剤収納容器により設置場所の制限を受けることが多く、装置レイアウトの自由度に欠けるという問題があった。 However, since various mounting devices are laid out in close proximity at the mounting site of electronic components, people who frequently travel between mounting devices and transport wagons collide with the solvent storage container. Could be damaged. In addition, the installation location is often limited by the solvent storage container projecting outside the box, and there is a problem that the degree of freedom of the device layout is lacking.

そこで本発明は、溶剤収納容器の破損を防止するとともに装置レイアウトの自由度を確保することができるスクリーン印刷装置を提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a screen printing apparatus that can prevent damage to a solvent storage container and can secure a degree of freedom in apparatus layout.

請求項１記載の発明は、所定のパターン孔が形成されたマスクに位置合わせされた基板の表面にペーストをパターン印刷する際に前記マスクに付着した前記ペーストを除去するマスクのクリーニング装置を備えたスクリーン印刷装置であって、クリーニングペーパーと、このクリーニングペーパーをマスクの裏面に押接させるクリーニングヘッドからなる
クリーニング部と、このクリーニング部を前記マスクの下方で移動させて前記クリーニングペーパーを前記マスクの裏面に摺動させる移動手段と、前記クリーニングペーパーにクリーニング用の溶剤を供給する溶剤供給部と、この溶剤供給部に移送する溶剤を収納する溶剤収納容器を備え、前記溶剤収納容器を前記スクリーン印刷装置の函体内に配置するとともに前記溶剤収納容器から漏出した溶剤を捕集する溶剤受け具を前記函体内に設けた。 The invention according to claim 1 includes a mask cleaning device that removes the paste adhered to the mask when pattern printing is performed on the surface of the substrate aligned with the mask in which the predetermined pattern hole is formed. A screen printing apparatus, comprising: a cleaning paper; a cleaning unit comprising a cleaning head that presses the cleaning paper against the back surface of the mask; and the cleaning paper is moved below the mask to move the cleaning paper to the back surface of the mask. And a solvent supply unit for supplying a cleaning solvent to the cleaning paper, and a solvent storage container for storing the solvent to be transferred to the solvent supply unit, the solvent storage container being used as the screen printing apparatus. And leak from the solvent storage container. The solvent receptacle for collecting the solvent provided in the box making body.

請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記溶剤受け具が、前記溶剤収納容器が載置されて装着される底板と、この底板の外周のうち一部を除いた外周から上方へ延出して形成された壁部と、前記底板の前記一部の外周から外側に延出するとともに端部に向けて下方に傾斜した溶剤流出部を備え、この溶剤流出部を前記函体の外側に突出させた。 According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, the solvent receiver includes a bottom plate on which the solvent storage container is mounted and an outer periphery excluding a part of an outer periphery of the bottom plate. A wall portion formed to extend upward, and a solvent outflow portion extending outward from the outer periphery of the part of the bottom plate and inclined downward toward the end portion. Projected outside.

請求項３記載の発明は、請求項２記載の発明において、前記溶剤受け具の上方に前記溶剤収納容器を覆う保護具を設けるとともに、この保護具に前記溶剤収納容器の出し入れ用の開口部を形成し、前記溶剤収納容器を前記溶剤受け具に対して脱着できるようにした。 According to a third aspect of the present invention, in the second aspect of the present invention, a protective device for covering the solvent storage container is provided above the solvent receiver, and an opening for taking in and out the solvent storage container is provided in the protective device. And the solvent storage container can be attached to and detached from the solvent receiver.

請求項４記載の発明は、請求項２又は３の何れかに記載の発明において、前記溶剤受け具及び前記保護具のうち少なくとも一方に前記溶剤収納容器の装着位置を拘束する拘束手段を備えた。 According to a fourth aspect of the present invention, in the invention according to the second or third aspect, at least one of the solvent receiver and the protective device includes a restraining means for restraining a mounting position of the solvent storage container. .

本発明によれば、溶剤収納容器をスクリーン印刷装置の函体内に配置したので、衝突等による破損が防止できるとともに装置レイアウトの自由度を確保することができる。 According to the present invention, since the solvent storage container is arranged in the box of the screen printing apparatus, it is possible to prevent damage due to collision or the like and to secure the degree of freedom of the apparatus layout.

本発明の一実施の形態について図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の側面図、図２は本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の平面図、図３（ａ）は本発明の一実施の形態におけるクリーニング部と溶剤供給部の側面図、図３（ｂ）は本発明の一実施の形態におけるクリーニング部と溶剤供給部の側面図、図４は本発明の一実施の形態におけるクリーニング部と溶剤供給部の平面図、図５（ａ）は本発明の一実施の形態におけるクリーニング装置の動作説明図、図５（ｂ）は本発明の一実施の形態におけるクリーニング装置の動作説明図、図６（ａ）は本発明の一実施の形態における溶剤収納部の斜視図、図６（ｂ）は本発明の一実施の形態における溶剤受け具の斜視図である。 An embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 is a side view of a screen printing apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a plan view of the screen printing apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3A is an embodiment of the present invention. FIG. 3B is a side view of the cleaning unit and the solvent supply unit according to the embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a side view of the cleaning unit and the solvent supply unit according to the embodiment of the present invention. FIG. 5A is an operation explanatory view of the cleaning device according to the embodiment of the present invention, FIG. 5B is an operation explanatory view of the cleaning device according to the embodiment of the present invention, and FIG. FIG. 6A is a perspective view of a solvent storage portion in one embodiment of the present invention, and FIG. 6B is a perspective view of a solvent receiver in one embodiment of the present invention.

まず、スクリーン印刷装置の全体構成について、図１乃至図３を参照して説明する。図１及び図２において、スクリーン印刷装置１は、所定のパターン孔２ａが形成されたマスク２に位置合わせされた基板３の表面にペーストをパターン印刷する装置である。スクリーン印刷装置１は、函体１ａにより外部と遮蔽されており、函体１ａの内側に、基板３を保持する基板保持手段４と、この基板保持手段４に保持された基板３をマスク２に対して相対的に移動させる基板移動手段５と、マスク２と基板３の間で水平移動してマスク２を下方から認識するとともに基板３を上方から認識する認識手段６と、マスク２の表面に供給されたペーストを塗り拡げてパターン孔２ａに滞留させて基板３の表面にパターン印刷するスキージユニット７と、マスク２に付着したペーストを除去するクリーニング装置８を備えている。 First, the overall configuration of the screen printing apparatus will be described with reference to FIGS. 1 and 2, a screen printing apparatus 1 is an apparatus for pattern-printing a paste on the surface of a substrate 3 aligned with a mask 2 in which predetermined pattern holes 2a are formed. The screen printing apparatus 1 is shielded from the outside by a box 1a. A substrate holding means 4 for holding a substrate 3 inside the box 1a and a substrate 3 held by the substrate holding means 4 as a mask 2 are used. A substrate moving means 5 that moves relative to the substrate 2; a recognition means 6 that horizontally moves between the mask 2 and the substrate 3 to recognize the mask 2 from below and recognizes the substrate 3 from above; A squeegee unit 7 that spreads the supplied paste and stays in the pattern holes 2a to perform pattern printing on the surface of the substrate 3 and a cleaning device 8 that removes the paste adhered to the mask 2 are provided.

図１において、基板保持手段４は、基板３をＸ方向に搬送する搬送レール９と、この搬送レール９により搬送される基板３を対向する辺で挟持して保持するクランパ１０により構成される。クランパ１０は、一対の搬送レール９にそれぞれ備えられて対をなしており、クランパ移動手段１１の駆動により互いに接離するようになっている。クランパ１０を
互いに隔離させた状態では、基板搬送時に基板３の移動を妨げることがなく、クランパ１０を互いに近接させた状態では、基板３の対向する辺を挟持して基板３を所定の位置に保持するようになっている。 In FIG. 1, the substrate holding means 4 includes a transport rail 9 that transports the substrate 3 in the X direction, and a clamper 10 that sandwiches and holds the substrate 3 transported by the transport rail 9 at opposite sides. The clampers 10 are provided on the pair of transport rails 9 to form a pair, and are moved toward and away from each other by driving of the clamper moving means 11. In the state where the clampers 10 are separated from each other, the movement of the substrate 3 is not hindered when the substrates are transported, and in the state where the clampers 10 are close to each other, the opposite sides of the substrate 3 are sandwiched to bring the substrate 3 into a predetermined position. It comes to hold.

図１において、基板移動手段５は、基板保持手段４により保持された基板３を水平方向（Ｘ、Ｙ、θ方向）に移動させるＹテーブル２０、Ｘテーブル２１、θテーブル２２と、鉛直方向（Ｚ方向）に移動させるＺテーブル２３を積層して構成されており、Ｚテーブル２３はθテーブル２２の上部に取り付けられたプレート２４の上方に配設されている。Ｚテーブル２３は平面視して矩形状であり、送り方向が鉛直方向である４本のボールねじ２５と４隅で螺合した状態で水平に支持されている（図１では側面の２本のボールねじを示している）。プレート２４には、ボールねじ２５を回転させる駆動手段としてのモータ２６が設けられている。ボールねじ２５とモータ２６にはそれぞれプーリ２７、２８が設けられており、プーリ２７、２８に調帯されたタイミングベルト２９によりモータ２６の回転駆動が４つのボールねじ２５に伝達されるようになっている。これにより、４つのボールねじ２５が同期して回転し、Ｚテーブル２３は水平を保った状態で昇降する。このように構成されるＹテーブル２０及びＸテーブル２１、θテーブル２２、Ｚテーブル２３の駆動を制御して基板保持手段４をマスク２に対して相対的に移動させることにより基板３とマスク２の位置合わせがなされる。 In FIG. 1, the substrate moving means 5 includes a Y table 20, an X table 21, a θ table 22 that moves the substrate 3 held by the substrate holding means 4 in the horizontal direction (X, Y, θ direction), and a vertical direction ( A Z table 23 that is moved in the Z direction) is stacked, and the Z table 23 is disposed above a plate 24 attached to the top of the θ table 22. The Z table 23 has a rectangular shape in plan view, and is horizontally supported in a state where it is screwed at four corners with four ball screws 25 whose feed direction is the vertical direction (FIG. 1 shows two side screws). Shows a ball screw). The plate 24 is provided with a motor 26 as a driving means for rotating the ball screw 25. The ball screw 25 and the motor 26 are provided with pulleys 27 and 28, respectively, and the rotational drive of the motor 26 is transmitted to the four ball screws 25 by a timing belt 29 adjusted to the pulleys 27 and 28. ing. As a result, the four ball screws 25 rotate in synchronism, and the Z table 23 moves up and down while maintaining the level. By controlling the driving of the Y table 20, the X table 21, the θ table 22, and the Z table 23 configured as described above, the substrate holding means 4 is moved relative to the mask 2 to thereby move the substrate 3 and the mask 2. Alignment is made.

図１において、基板保持手段４の下方には、基板３を昇降させて基板３の表面とクランパ１０の上面を相対的にレベル合わせする基板昇降手段３０が配設されている。基板昇降手段３０は、平面視して矩形状の可動テーブル３１を主体として構成されており、送り方向が鉛直方向である４本のボールねじ３２と４隅で螺合した状態で水平に支持されている（図１では側面の２本のボールねじを示している）。Ｚテーブル２３には、ボールねじ３２を回転させる駆動手段としてのモータ３３が設けられている。ボールねじ３２とモータ３３にはそれぞれプーリ３４、３５が設けられており、プーリ３４、３５に調帯されたタイミングベルト３６によりモータ３３の回転駆動が４つのボールねじ３２に伝達されるようになっている。これにより、４つのボールねじ３２が同期して回転し、可動プレート３１は水平を保った状態で昇降する。可動プレート３１の上部には、基板３の鉛直下方となる位置にスペーサ３７が設けられている。スペーサ３７を基板３の裏面に当接させた状態で可動プレート３１を昇降させることにより、基板３がクランパ１０に対して昇降して基板３の表面とクランパ１０の上面とを相対的にレベル合わせすることができる。 In FIG. 1, below the substrate holding means 4, there is disposed a substrate lifting means 30 that raises and lowers the substrate 3 to relatively level the surface of the substrate 3 and the upper surface of the clamper 10. The substrate elevating means 30 is mainly composed of a rectangular movable table 31 in plan view, and is horizontally supported in a state where it is screwed at four corners with four ball screws 32 whose feed direction is the vertical direction. (FIG. 1 shows two ball screws on the side). The Z table 23 is provided with a motor 33 as drive means for rotating the ball screw 32. The ball screw 32 and the motor 33 are provided with pulleys 34 and 35, respectively, and the rotational drive of the motor 33 is transmitted to the four ball screws 32 by the timing belt 36 adjusted to the pulleys 34 and 35. ing. As a result, the four ball screws 32 rotate synchronously, and the movable plate 31 moves up and down while maintaining the level. A spacer 37 is provided above the movable plate 31 at a position vertically below the substrate 3. By moving the movable plate 31 up and down while the spacer 37 is in contact with the back surface of the substrate 3, the substrate 3 moves up and down relative to the clamper 10, and the surface of the substrate 3 and the upper surface of the clamper 10 are relatively leveled. can do.

図１及び図２において、認識手段６は、Ｘビーム４０に取り付けられており、Ｘビーム４０はＹビーム４１に取り付けられている。図２において、Ｘビーム４０及びＹビーム４１の駆動を制御することにより、認識手段６を基板３とマスク２の間に進退させるとともに基板３とマスク２の間で水平移動させて基板３とマスク２のそれぞれの位置を認識させる。認識された基板３及びマスク２の相対位置から両者の位置ずれ量が検出され、この位置ずれ量に基づいて基板移動手段５の駆動を制御して基板３とマスク２の位置合わせが行われる。 1 and 2, the recognition means 6 is attached to the X beam 40, and the X beam 40 is attached to the Y beam 41. In FIG. 2, by controlling the driving of the X beam 40 and the Y beam 41, the recognition means 6 is moved back and forth between the substrate 3 and the mask 2 and moved horizontally between the substrate 3 and the mask 2 to thereby move the substrate 3 and the mask. Each position of 2 is recognized. A displacement amount between the substrate 3 and the mask 2 is detected from the recognized relative position between the substrate 3 and the mask 2, and the drive of the substrate moving means 5 is controlled based on the displacement amount to align the substrate 3 and the mask 2.

次に、クリーニング装置８について、図１乃至図６を参照して説明する。図１において、クリーニング装置８は、マスク２に付着したペーストを除去するクリーニング部５０と、クリーニング部５０にクリーニング用の溶剤を供給する溶剤供給部６０と、溶剤供給部６０に移送する溶剤を収納する溶剤収納部７０から構成される。 Next, the cleaning device 8 will be described with reference to FIGS. 1 to 6. In FIG. 1, a cleaning device 8 stores a cleaning unit 50 that removes paste adhered to the mask 2, a solvent supply unit 60 that supplies a cleaning solvent to the cleaning unit 50, and a solvent that is transferred to the solvent supply unit 60. The solvent storage unit 70 is configured.

図１及び図２において、クリーニング部５０は、認識手段６と対向してＸビーム４０に取り付けられている。Ｘビーム４０はＹビーム４１にＹ方向に移動自在に取り付けられている。クリーニング部５０は、移動手段であるＹビーム４１の駆動により認識手段６と一体的にマスク２の下方及びマスク２のＹ方向における側方に配置された溶剤供給部６０の
下方を含む範囲で移動できるようになっている。 1 and 2, the cleaning unit 50 is attached to the X beam 40 so as to face the recognition means 6. The X beam 40 is attached to the Y beam 41 so as to be movable in the Y direction. The cleaning unit 50 moves within a range including the lower part of the mask 2 and the lower part of the solvent supply unit 60 disposed on the side of the mask 2 in the Y direction by driving the Y beam 41 as a moving unit. It can be done.

図１において、クリーニング部５０は、マスク２の下方をＹ方向に水平移動してマスク２に付着したペーストを除去するものであり、図３に示すように、クリーニングペーパー５１を巻回した供給ロール５２から供給されるクリーニングペーパー５１をクリーニングヘッド５３によりマスク２の裏面に摺動させてクリーニングを行い、クリーニング後のクリーニングペーパー５１を回収ロール５４に巻回して回収する機能を備えている。クリーニングヘッド５３は、昇降手段５５により昇降可能となっており、供給ロール５２から回収ロール５４に向け送りピン５６に案内されて移動するクリーニングペーパー５１を下方から上方に向けてリフトして上方のマスク２に押接させる。このとき、マスク２に付着したペーストを吸引してクリーニングペーパー５１に捕捉させる吸引手段をクリーニングヘッド５３側に設けることにより効果的なマスク２のクリーニングが可能となる。なお、回収ロール５４には図示しない駆動手段が備えられており、回収ロール５４を回転させてクリーニングペーパー５１の送り動作を行う。 In FIG. 1, the cleaning unit 50 horizontally moves below the mask 2 in the Y direction to remove the paste attached to the mask 2, and as shown in FIG. 3, a supply roll around which the cleaning paper 51 is wound. The cleaning paper 51 supplied from 52 is slid on the back surface of the mask 2 by the cleaning head 53 to perform cleaning, and the cleaning paper 51 after cleaning is wound around a collection roll 54 and collected. The cleaning head 53 can be moved up and down by an elevating means 55, and the cleaning paper 51 guided and moved by the feed pin 56 from the supply roll 52 to the collection roll 54 is lifted upward from below to lift the upper mask. Press to 2 At this time, it is possible to effectively clean the mask 2 by providing a suction means on the cleaning head 53 side for sucking the paste adhering to the mask 2 and capturing it on the cleaning paper 51. The collection roll 54 is provided with a driving means (not shown), and the collection roll 54 is rotated to feed the cleaning paper 51.

図１において、溶剤供給部６０は、マスク２のＹ方向における側方に配置され、クリーニング用の溶剤をクリーニング部５０に供給するものであり、図３及び図４に示すように、函体６１に内装されたノズル６２から吐出される溶剤をクリーニング部５０に備えられたクリーニングペーパー５１に供給して含浸させる機能を備えている。図４において、ノズル６２は、一端が閉じた管状体６２ａに略等間隔で孔６２ｂを形成したものであり、管状体６２ａの他端は管６３により溶剤収納部７０と接続されている。管６３にはポンプ６４が介在されており、ポンプ６４の駆動により溶剤収納部７０に収納された溶剤が管状体６２ａ内に移送される。ポンプ６４に設けられたバルブ６５で圧力を調整することによりノズル６２からクリーニングペーパー５１に供給される溶剤の量を調整することができる。 In FIG. 1, the solvent supply unit 60 is disposed on the side of the mask 2 in the Y direction, and supplies a cleaning solvent to the cleaning unit 50. As shown in FIGS. A function of supplying and impregnating the solvent discharged from the nozzle 62 incorporated in the cleaning paper 51 provided in the cleaning unit 50 is provided. In FIG. 4, the nozzle 62 is formed by forming holes 62 b at substantially equal intervals in a tubular body 62 a having one end closed, and the other end of the tubular body 62 a is connected to the solvent storage unit 70 by a pipe 63. A pump 64 is interposed in the pipe 63, and the solvent stored in the solvent storage unit 70 is transferred into the tubular body 62a by driving the pump 64. The amount of solvent supplied from the nozzle 62 to the cleaning paper 51 can be adjusted by adjusting the pressure with a valve 65 provided in the pump 64.

図３（ａ）及び図５（ａ）は、溶剤供給時におけるクリーニング部５０と溶剤供給部６０の位置関係を示している。溶剤供給時には、Ｙビーム４１の駆動によりクリーニング部５０は溶剤供給部６０の近傍に位置しており、図３（ｂ）に示すように、クリーニングヘッド５３を上昇させて溶剤供給部６０の供給口６１ａにクリーニングペーパー５１を当接させている。ノズル６２から吐出された溶剤は、函体６１の内壁面に衝突して下方に流れ落ち、函体６１の下部に設けられた供給口６１ａから外部に流出し、クリーニングペーパー５１に供給される。 FIGS. 3A and 5A show the positional relationship between the cleaning unit 50 and the solvent supply unit 60 when the solvent is supplied. When the solvent is supplied, the cleaning unit 50 is positioned in the vicinity of the solvent supply unit 60 by driving the Y beam 41. As shown in FIG. 3B, the cleaning head 53 is lifted to supply the supply port of the solvent supply unit 60. The cleaning paper 51 is brought into contact with 61a. The solvent discharged from the nozzle 62 collides with the inner wall surface of the box 61 and flows down, flows out from a supply port 61 a provided in the lower part of the box 61, and is supplied to the cleaning paper 51.

図５（ｂ）は、クリーニング時におけるクリーニング部５０と溶剤供給部６０の位置関係を示している。クリーニング時には、Ｙビーム４１の駆動によりクリーニング部５０をマスク２の下方で移動させてクリーニングペーパー５１をマスク２の裏面に摺動させる。このとき、溶剤供給時に溶剤が供給されて含浸された部分がマスク２に当接するように、クリーニングペーパー５１の送りが調整されている。 FIG. 5B shows the positional relationship between the cleaning unit 50 and the solvent supply unit 60 during cleaning. At the time of cleaning, the cleaning unit 50 is moved below the mask 2 by driving the Y beam 41 and the cleaning paper 51 is slid on the back surface of the mask 2. At this time, the feeding of the cleaning paper 51 is adjusted so that the portion that is impregnated by the supply of the solvent when the solvent is supplied contacts the mask 2.

図１において、溶剤収納部７０は、溶剤供給部６０に移送する溶剤を収納するものであり、図６（ａ）に示すように、溶剤を収納する溶剤収納容器７１と、この溶剤収納容器７１から漏出した溶剤を捕集する溶剤受け具７２と、この溶剤受け具７２に装着された溶剤収納容器７１を覆う保護具７３から構成される。溶剤収納容器７１には溶剤供給部６０に移送するクリーニング用の溶剤が収納されている。 In FIG. 1, a solvent storage unit 70 stores a solvent to be transferred to the solvent supply unit 60. As shown in FIG. 6A, a solvent storage container 71 for storing a solvent and the solvent storage container 71 are provided. A solvent receiver 72 that collects the solvent leaked from the solvent, and a protector 73 that covers the solvent storage container 71 attached to the solvent receiver 72. The solvent storage container 71 stores a cleaning solvent to be transferred to the solvent supply unit 60.

図６（ｂ）において、溶剤受け具７２は、矩形状の底板７４と、この底板７４の外周の４つの辺のうちの１つの辺７４ａから外側に延出して形成された溶剤流出部７５と、残りの３つの辺から上方に延出して形成された壁部７６ａ、７６ｂから構成されている。溶剤流出部７５は辺７４ａから縁部７５ａに向けて下方に傾斜しており、溶剤収納容器７１か
ら漏出した溶剤を溶剤受け具７２の外側に排出するようにしている。 In FIG. 6B, the solvent receiver 72 includes a rectangular bottom plate 74, and a solvent outflow portion 75 formed to extend outward from one side 74 a of the four outer peripheral sides of the bottom plate 74. The wall portions 76a and 76b are formed to extend upward from the remaining three sides. The solvent outflow portion 75 is inclined downward from the side 74 a toward the edge 75 a, so that the solvent leaked from the solvent storage container 71 is discharged to the outside of the solvent receiver 72.

図６（ａ）、（ｂ）において、溶剤受け具７２には、溶剤収納容器７１を所定の装着位置に拘束して位置決めするための拘束手段７７が設けられている。この拘束手段７７は、一対の対向するブラケット７８と７９からなり、ブラケット７８は壁部７６ａに固定されて設けられており、ブラケット７９は対向する壁部７６ｂに両端部を固定されて設けられている。ブラケット７８、７９の端面７８ａ、７９ａは溶剤収納容器７１の外周と係合するようになっており、本実施の形態においては、円筒状の溶剤収納容器７１の外周と係合する円弧状に形成されている。このような拘束手段７７を設けて溶剤収納容器７１を所定の装着位置に拘束することで、図示しない透過型センサによる溶剤の残量検出の際に光線が透過する位置を一定にして検出精度を高めることができる。なお、拘束手段７７は、後述する保護具７３に設けてもよく、また、溶剤受け具７２と保護具７３にそれぞれ設けることもできる。 6A and 6B, the solvent receiver 72 is provided with a restraining means 77 for restraining and positioning the solvent storage container 71 at a predetermined mounting position. The restraining means 77 is composed of a pair of opposing brackets 78 and 79. The bracket 78 is fixed to the wall 76a, and the bracket 79 is provided with both ends fixed to the opposing wall 76b. Yes. End surfaces 78a and 79a of the brackets 78 and 79 are engaged with the outer periphery of the solvent storage container 71. In this embodiment, the end surfaces 78a and 79a are formed in an arc shape that engages with the outer periphery of the cylindrical solvent storage container 71. Has been. By providing such a restraining means 77 and restraining the solvent storage container 71 at a predetermined mounting position, the position through which the light beam is transmitted when detecting the remaining amount of the solvent by a transmission type sensor (not shown) is made constant and the detection accuracy is improved. Can be increased. The restraining means 77 may be provided on the protective device 73 described later, or may be provided on the solvent receiver 72 and the protective device 73, respectively.

図６（ａ）において、保護部７３は、矩形上の天板７３ａと、この天板７３ａの外周の４つの辺のうち３つの辺から下方に延出して形成された壁部７３ｂから構成され、壁部７３ｂで溶剤受け具７２の壁部７６ａ、７６ｂの外側を覆うようにして溶剤受け具７２に対して脱着できるようになっている。溶剤流出部７５が形成されている側面は壁部のない開口部８０となっており、この開口部８０から溶剤収納容器７１を出し入れして溶剤受け具７２に装着することができる。 In FIG. 6A, the protection part 73 includes a rectangular top plate 73a and a wall part 73b that extends downward from three sides among the four sides on the outer periphery of the top plate 73a. The wall 73 b can be attached to and detached from the solvent receiver 72 so as to cover the outside of the wall portions 76 a and 76 b of the solvent receiver 72. The side surface on which the solvent outflow portion 75 is formed is an opening portion 80 having no wall portion, and the solvent storage container 71 can be taken in and out from the opening portion 80 and attached to the solvent receiver 72.

このように構成される溶剤収納部７０は、図１に示すようにスクリーン印刷装置１の函体１ａ内に配置される。溶剤流出部７５を函体１ａの外側に突出させることにより、溶剤収納容器７１から漏出した溶剤を函体１ａの内側に漏出させないようにしている。溶剤収納部７０を函体１ａ内に配置することにより、溶剤収納容器７１が函体１ａの外側に張り出すことがなくなり、オペレータや運搬用のワゴン等の衝突による溶剤収納容器７１の破損を防止することができる。また、函体１ａからの張り出し部がなくなるので、設置場所の制約を受けることなくスクリーン印刷装置１のレイアウトの自由度を確保することができる。 The solvent storage unit 70 configured as described above is arranged in a box 1a of the screen printing apparatus 1 as shown in FIG. By causing the solvent outflow portion 75 to protrude to the outside of the box 1a, the solvent leaked from the solvent storage container 71 is prevented from leaking to the inside of the box 1a. By disposing the solvent storage unit 70 in the box 1a, the solvent storage container 71 is prevented from projecting outside the box 1a, and the solvent storage container 71 is prevented from being damaged by the collision of an operator or a transport wagon. can do. Further, since there is no protruding portion from the box 1a, the degree of freedom of layout of the screen printing apparatus 1 can be ensured without being restricted by the installation location.

このように、クリーニング装置８は、溶剤供給部６０とクリーニング部５０を接離可能に構成することにより、溶剤供給部６０と溶剤収納部７０をスクリーン印刷装置１に固定し、クリーニング部５０のみをマスク２の下方で移動させるようにしている。これにより、溶剤供給部６０と溶剤収納部７０の位置関係は変わらないので、ノズル６２と溶剤収納部７０とを接続する管６３は変形することがなく、劣化による溶剤の漏出が防止される。仮に溶剤が漏出した場合でも、溶剤供給部６０と溶剤収納部７０は、基板保持手段４や基板移動手段５から離隔された位置に配置されているので、電気系や駆動系に悪影響を与えることはない。また、マスク２の下方を移動するクリーニング部５０は、溶剤供給部６０から分離されて軽量化しているので、クリーニングの作業性が向上する。 As described above, the cleaning device 8 is configured so that the solvent supply unit 60 and the cleaning unit 50 can be brought into contact with and separated from each other, thereby fixing the solvent supply unit 60 and the solvent storage unit 70 to the screen printing apparatus 1, and only the cleaning unit 50. It is made to move below the mask 2. Thereby, since the positional relationship between the solvent supply unit 60 and the solvent storage unit 70 does not change, the pipe 63 connecting the nozzle 62 and the solvent storage unit 70 is not deformed, and leakage of the solvent due to deterioration is prevented. Even if the solvent leaks out, the solvent supply unit 60 and the solvent storage unit 70 are disposed at positions separated from the substrate holding unit 4 and the substrate moving unit 5, and thus adversely affect the electric system and the drive system. There is no. In addition, the cleaning unit 50 that moves below the mask 2 is separated from the solvent supply unit 60 to reduce the weight, so that the cleaning workability is improved.

なお、以上記載した構成、動作等は、本発明の一実施の形態であって、本発明を上記の構成、動作等に限定するものではない。 The configuration, operation, and the like described above are one embodiment of the present invention, and the present invention is not limited to the above configuration, operation, and the like.

本発明のスクリーン印刷装置によれば、溶剤収納容器をスクリーン印刷装置の函体内に配置することにより、衝突等による溶剤供給容器の破損が防止できるとともに装置レイアウトの自由度を確保することができるという利点を有し、パターン孔が形成されたマスクに位置合わせされた基板の表面にペーストをパターン印刷するスクリーン印刷の分野において有用である。 According to the screen printing apparatus of the present invention, by disposing the solvent storage container in the box of the screen printing apparatus, it is possible to prevent the solvent supply container from being damaged due to a collision or the like and to ensure the degree of freedom of the apparatus layout. It has the advantage and is useful in the field of screen printing where the paste is pattern printed onto the surface of the substrate aligned with the mask in which the pattern holes are formed.

本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の側面図The side view of the screen printing apparatus in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷装置の平面図The top view of the screen printing apparatus in one embodiment of this invention （ａ）本発明の一実施の形態におけるクリーニング部と溶剤供給部の側面図（ｂ）本発明の一実施の形態におけるクリーニング部と溶剤供給部の側面図(A) Side view of cleaning unit and solvent supply unit in one embodiment of the present invention (b) Side view of cleaning unit and solvent supply unit in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるクリーニング部と溶剤供給部の平面図The top view of the cleaning part and solvent supply part in one embodiment of this invention （ａ）本発明の一実施の形態におけるクリーニング装置の動作説明図（ｂ）本発明の一実施の形態におけるクリーニング装置の動作説明図(A) Operation explanatory diagram of cleaning device in one embodiment of the present invention (b) Operation explanatory diagram of cleaning device in one embodiment of the present invention （ａ）本発明の一実施の形態における溶剤収納部の斜視図（ｂ）本発明の一実施の形態における溶剤受け具の斜視図(A) Perspective view of solvent storage part in one embodiment of the present invention (b) Perspective view of solvent receiver in one embodiment of the present invention

Explanation of symbols

１スクリーン印刷装置
２マスク
２ａパターン孔
３基板
８クリーニング装置
４１Ｙビーム（移動手段）
５０クリーニング部
５１クリーニングペーパー
５３クリーニングヘッド
６０溶剤供給部
７０溶剤収納部
７２溶剤受け具
７３保護具
７４底板
７５溶剤流出部
７６ａ、７６ｂ壁部
７７拘束手段
８０開口部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Screen printer 2 Mask 2a Pattern hole 3 Substrate 8 Cleaning device 41 Y beam (moving means)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 50 Cleaning part 51 Cleaning paper 53 Cleaning head 60 Solvent supply part 70 Solvent storage part 72 Solvent receiving part 73 Protective tool 74 Bottom plate 75 Solvent outflow part 76a, 76b Wall part 77 Restriction means 80 Opening part

Claims

A screen printing apparatus provided with a mask cleaning device that removes the paste adhered to the mask when pattern printing the paste on the surface of the substrate aligned with the mask in which the predetermined pattern hole is formed,
A cleaning portion comprising a cleaning paper, a cleaning head for pressing the cleaning paper against the back surface of the mask, and a moving means for moving the cleaning portion below the mask and sliding the cleaning paper on the back surface of the mask. A solvent supply unit for supplying a cleaning solvent to the cleaning paper, and a solvent storage container for storing the solvent to be transferred to the solvent supply unit,
A screen printing apparatus, wherein the solvent storage container is disposed in a box of the screen printing apparatus, and a solvent receptacle for collecting the solvent leaked from the solvent storage container is provided in the box.

The solvent receiver includes a bottom plate on which the solvent storage container is placed and mounted; a wall portion formed by extending upward from an outer periphery excluding a part of an outer periphery of the bottom plate; and the bottom plate 2. The solvent outflow portion that extends outward from a part of the outer periphery and slopes downward toward the end portion, and the solvent outflow portion protrudes outside the box. Screen printing device.

A protective device for covering the solvent storage container is provided above the solvent receiver, and an opening for taking in and out the solvent storage container is formed in the protective device, and the solvent storage container is attached to and detached from the solvent receiver. The screen printing apparatus according to claim 2, wherein the screen printing apparatus can be used.

4. The screen printing apparatus according to claim 2, wherein at least one of the solvent receiver and the protector is provided with a restraining unit that restrains a mounting position of the solvent storage container. 5.