JP2007121474A - 基板貼合装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】上下基板をそれぞれ搬入するための2段の基板載置台を有する基板搬入台車を備えた第1チャンバン室と、中真空状態で2枚の基板を受け取り、高真空状態で2枚の基板をそれぞれ保持する上テーブルと、下テーブルとを備え、いずれか一方のテーブルを水平方向に移動して、上下2枚の基板の位置合せをし、上下いずれか一方のテーブルを上下に動作させて基板間隔を狭めて貼り合せを行う第2チャンバ室と、中真空状態で、貼り合せた基板を第2チャンバ室から搬出する載置台を備えた完成基板搬出台車と、前記基板搬出台車を備え、大気状態で前記完成基板を室外に搬出する第3チャンバ室とを備え、前記搬入台車の上基板載置台には、前記上基板を搬送方向に基板中央部を凸状態に湾曲させて保持する上基板湾曲保持機構を備えている。
【選択図】 図1
Description
図1には各処理室の断面を示す。本発明になる基板貼合装置1は、基板を搬入する第1チャンバ室C1(前予備室)、第2チャンバ室C2(真空貼合室)、貼り合せた基板(液晶パネル)を搬出する第3チャンバ室C3(後予備室)を備えている。第1チャンバ室C1には2枚の基板(上基板30と下基板31)をそれぞれ第2チャンバ室C2内に搬入するために、上下基板搬入台車51が設けてある。また、第3チャンバ室C3には貼り合せの終わった基板を搬出するための搬出用搬送台車61が設けてある。さらに、第1チャンバ室C1の入口側に第1ドアバルブ2が、第1チャンバ室C1と第2チャンバ室C2の間には第1ゲートバルブ3が設けてある。同様に第2チャンバ室C2と第3チャンバ室C3との間には第2ゲートバルブ4が第3チャンバ室C3の出口側には第2ドアバルブ5が設けてある。
また、上段の載置台上に搬送方向の中央部が凸に湾曲状態で搬入された上基板30は、上テーブルを基板面まで降下するとその凸部から接触し吸引吸着される。このように、基板中央部から吸着保持することで基板が大きくなり撓みやすくても、テーブル面に撓みなく吸着保持できるものである。
まず、第1チャンバ室C1の入口の第1ドアバルブ2を開放して、貼り合せる下基板31を室内に設けてある基板搬入台車51の下段の載置台に搭載する(ステップ100)。次に、上基板30を基板搬入台車51の上部の載置台に搭載する(ステップ101)。このとき、上基板は基板サイドサポート57上に乗せられ、その後、基板エッジクランプ59と複数の基板支持機構58とによって湾曲保持される。
なお、上テーブル9に上基板の吸引吸着が完了すると、上基板に設けた静電吸着機構、又は粘着吸着機構を動作させて、第2チャンバ室が高真空状態になって、吸引吸着力が小さくなっても上基板がした基板上に落下しないようにしている(ステップ111)。本フローチャートでは、便宜上第1ゲートバルブ閉の後に、静電吸着機構を動作させるようにしているが、前述のように、吸引吸着による基板吸上げが完了すると静電吸着機構を動作させてよい。
Claims (4)
- 上下基板をそれぞれ搬入するための2段の基板載置台を有する基板搬入台車と、前記基板搬入台車を備えた第1チャンバン室と、第1チャンバ室内を大気圧から中真空状態にする真空ポンプと、
中真空状態で2枚の基板を受け取り、高真空状態で2枚の基板をそれぞれ保持する上テーブルと、下テーブルとを備え、いずれか一方のテーブルを水平方向に移動して、上下2枚の基板の位置合せをし、上下いずれか一方のテーブルを上下に動作させて基板間隔を狭めて貼り合せを行う第2チャンバ室と、
中真空状態で、貼り合せた基板を第2チャンバ室から搬出する載置台を備えた完成基板搬出台車と、前記基板搬出台車を備え、大気状態で前記完成基板を室外に搬出する第3チャンバ室とを備え、
前記搬入台車の上基板載置台には、前記上基板を搬送方向に基板中央部を凸状態に湾曲させて保持する上基板湾曲保持機構を供えていること特徴とする基板貼合装置。 - 請求項1に記載の基板貼合装置において、
前記第1チャンバン室内と前記第3チャンバ室内とは大気圧から中真空状態にまで可変制御し、前記第2チャンバ室は中真空から高真空まで可変制御するように構成したこと特徴とする基板貼合装置。 - 請求項1に記載の基板貼合装置において、
上部基板を凸形状に湾曲させた状態で、貼り合せ装置の上部テーブルに基板凸形状の頂点から順次吸着受け渡しすることで、上部テーブルに吸着不良による基板変形を与えないように構成したことを特徴とする基板貼合装置。 - 請求項1に記載の基板貼合装置において、
各真空チャンバを仕切るゲートバルブを基板搬送台車が通過するため、搬送台車に2連鎖ポートローラとガイドレールをもちいたことを特徴とする基板貼合装置。
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