JP2007117988A - Component for holding optical component - Google Patents

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Sadao Minegishi
峯岸貞夫
Shiro Yamashita
山下史郎
Munetaka Tezuka
手塚宗孝
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Nihon Seikan KK
Optoquest Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a component for holding optical components, which does not need the manual wiping work which requires a worker to conduct training for a long time and have high-level skill but which is suitable for cleaning and drying optical components, so that many cleaned optical components can be dried excellently all together even when optical components are small and many special optical components such as block-shaped or long optical components can be cleaned and dried all together. <P>SOLUTION: Optical components are placed in an optical component placement part having a plurality of through-holes each of which has a slender opening and which are formed in parallel, cleaned and dried. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は光通信などに用いられるアイソレーター、サーキュレーター、WDM、フィルター等のモジュールに組み込まれる水晶、イットリュウム、バナデート、方解石、バリウム等の単結晶、多層膜フィルターなどの光学部品、近年広く用いられているプリズムや小型のレンズなどの光学部品、特殊な形状をした光学部品(これら光通信などに用いられるモジュールに組み込まれる光学部品と、前記プリズムや小型のレンズのような光学部品と、特殊な形状をした光学部品などを総称して、以下、光学部品ともいう)などの洗浄や洗浄した後に被洗浄物に付着している洗浄液を除去する乾燥のいずれかまたは双方に用いることができる光学部品保持部品(以下、保持部品のことを保持治具ともいう)に関する。   The present invention is widely used in recent years for optical parts such as single crystals such as quartz, yttrium, vanadate, calcite, barium, multilayer filters, etc. incorporated in modules such as isolators, circulators, WDM, filters used for optical communication, etc. Optical parts such as prisms and small lenses, optical parts with special shapes (optical parts incorporated into modules used for optical communications, etc., optical parts such as prisms and small lenses, and special shapes Optical component holders that can be used for either or both of cleaning and cleaning to remove the cleaning liquid adhering to the object to be cleaned after cleaning, etc. The present invention relates to parts (hereinafter, holding parts are also referred to as holding jigs).

光通信では、光アイソレーター、サーキュレーター、WDM、フィルター等の様々なモジュールが使用されるが これらのモジュールにはガーネット、水晶、方解石等の結晶や多層膜フィルター等が組み込まれている。   In optical communications, various modules such as optical isolators, circulators, WDMs, filters, etc. are used, but these modules incorporate crystals such as garnet, crystal, calcite, and multilayer filters.

通常、アイソレータ、フィルター等のモジュールは、たとえば光ファイバーからモジュールに入力された光を、たとえば多層膜フィルター等に入力させて、透過、反射、分離、および屈折等の光学現象を利用することにより、モジュールの機能を実現させている。フィルター等の表面が汚れていると、光ファイバーからモジュールに入力された光が汚れたフィルター等の表面で減衰したり乱反射したりして結合損失が増大したり、モジュールの機能を損なってしまうことがある。モジュールに用いる光学部品の表面の清浄度はモジュールの品質上きわめて重要である。   Usually, a module such as an isolator or a filter is obtained by inputting light input to the module from an optical fiber, for example, into a multilayer filter or the like, and utilizing optical phenomena such as transmission, reflection, separation, and refraction. The function of is realized. If the surface of a filter or the like is dirty, light input from the optical fiber to the module may be attenuated or diffusely reflected on the surface of the dirty filter or the like, resulting in increased coupling loss or impaired module functionality. is there. The cleanliness of the surface of the optical components used in the module is extremely important for the quality of the module.

このため、これらの光学部品の洗浄には多くの工夫が施されてきた。   For this reason, many contrivances have been made for cleaning these optical components.

従来は、たとえば3本の棒状の支持部品で多数の光学部品を3方向から3点支持(以下、支持を保持ともいう)をしたり、光学部品を光学部品挿入部を有する光学部品保持部品(前記光学部品保持部品は、ケースと呼称するのが適切な場合もあるが、以下、そのような場合も、そして、前記のような3点支持をするように棒状の支持部品を組み合わせて構成した保持部品も、特に必要な場合を除き光学部品保持部品とも称する)に入れて保持して超音波洗浄機で光学部品の汚れを落とし、光学部品の表面を清浄にして後、スピン乾燥機で付着した洗浄液を除去しようとしていた。しかし、光学部品の最大面の大きさが8mm角(すなわち、一辺の寸法が8mmの正方形)以下のような小さいものを洗浄する際には、従来の3点支持をする治具で光学部品を支持して洗浄すると、支持部品で光学部品を確実に支持するには支持部品の強度を保つために支持部品をあまり細くすることができないため、超音波洗浄するときに、光学部品の支持部品の陰になった部分に超音波が効果的に当たらずに光学部品の汚れが残ってしまったり、洗浄中や洗浄後の乾燥時に光学部品が欠落することがある上に、洗浄の仕上げ工程としてのいわゆる水切り工程、すなわち光学部品に付着した洗浄液を除去する乾燥工程で、洗浄残液を完全に取り去ることが出来ず、そのままでは光学部品の汚れとして残ってしまい、正常なモジュールを構成するのに用いることができない光学部品が多発してしまうという大問題があった。   Conventionally, for example, a large number of optical components are supported at three points from three directions (hereinafter also referred to as holding) by using three rod-shaped support components, or an optical component holding component having an optical component insertion portion (hereinafter referred to as “support”). The optical component holding component may be appropriately referred to as a case. Hereinafter, in such a case, the optical component holding component is configured by combining rod-shaped support components so as to support the above three points. The holding parts are also referred to as optical parts holding parts unless otherwise required) and are cleaned with an ultrasonic cleaner to clean the surface of the optical parts, and the surface of the optical parts is cleaned and then attached with a spin dryer. Trying to remove the cleaning solution. However, when cleaning an optical component with a maximum surface size of 8 mm square (that is, a square with a side dimension of 8 mm) or less, the optical component is mounted with a conventional three-point supporting jig. When supporting and cleaning, since the support component cannot be made very thin to maintain the strength of the support component in order to securely support the optical component with the support component, Optical parts may remain dirty because the ultrasonic waves are not effectively applied to the shaded area, or optical parts may be lost during drying after or during cleaning. In the so-called draining process, that is, the drying process that removes the cleaning liquid adhering to the optical components, the cleaning residual liquid cannot be completely removed, and the optical components are left as they are, and a normal module is formed. Optical components that can not be used to that there has been a large problem that frequently.

そのため、実際には、光学部品をモジュールに実装するときに、あるいは洗浄後に、1個ずつ専用のピンセットなどで光学部品を持ち、その表面を溶剤を浸したクリーニングペーパーや綿棒などで拭き上げる拭き作業に頼らざるを得なかった。   Therefore, in practice, when mounting optical components on the module or after cleaning, each optical component is held with dedicated tweezers one by one, and the surface is wiped with a cleaning paper or cotton swab dipped in a solvent. I had to rely on.

この光学部品の拭き作業は、光学部品を1個ずつピンセットで注意深くつかみ、有機溶剤等をつけたクリーニングペーパーや綿棒で汚れを拭き取る作業で、一辺が11mmぐらいの大きな光学部品の場合でも高度な熟練を要する難しい時間のかかる作業であるが、特に、表面を清浄にする光学部品の大きさが1mm角前後のように小さい場合には、非常に高度な熟練を要し、満足な品質特性を有するように光学部品を清浄にすることが出来るようになるためには、少なくとも数ヶ月の訓練が必要であった。この拭き作業は作業効率が悪く、多層膜フィルタの例では、1時間に20個程度しか清浄にすることが出来なかった。   This optical component wiping operation involves carefully grasping each optical component with tweezers one by one and wiping off dirt with a cleaning paper or cotton swab with an organic solvent, etc., even for large optical components with a side of about 11 mm. Although it is a difficult and time-consuming operation that requires a large amount of time, especially when the size of the optical component that cleans the surface is as small as about 1 mm square, it requires very high skill and has satisfactory quality characteristics. In order to be able to clean the optical parts, it was necessary to train for at least several months. This wiping operation is poor in work efficiency, and in the example of the multilayer filter, only about 20 can be cleaned per hour.

光学部品の洗浄においては、洗浄液中で光学部品に付着している汚れを除去する工程は当然重要な洗浄工程であるが、洗浄工程のあとに光学部品に付着している洗浄液(超純水も含めて洗浄液または洗剤という)を除去する乾燥工程も洗浄の重要な工程である。   In cleaning optical components, the process of removing dirt adhering to optical components in the cleaning liquid is naturally an important cleaning step, but the cleaning solution (including ultrapure water) that has adhered to optical components after the cleaning step is also included. A drying process for removing the cleaning liquid or detergent is also an important process for cleaning.

図21は、この乾燥工程に使用される従来のスピン乾燥機の要部をモデル的に示した図である。   FIG. 21 is a diagram schematically showing a main part of a conventional spin dryer used in this drying process.

図21で、符号1301は従来のスピン乾燥装置、1302はスピン乾燥装置1301の外枠、1303はスピン乾燥装置1301を構成する回転させることが出来る回転板を有する回転体、1310〜1313は回転体1303の回転板に取り付けられたホルダで被乾燥物としての光学部品(以下、ワークとも称する)を保持した乾燥用の光学部品保持部品や光学部品保持部品を保持した保持枠(以下、クレードルともいう)(図示せず)を保持するためのホルダ、1310c、1311c、1312c、1313cはそれぞれホルダ1310〜1313の側壁、1310a,1310b,1311a,1311b,1312a,1312b,1313a,1313bはそれぞれ側壁1310c、1311c、1312c,1313cに設けられたクレードル設置用溝、1315は前記クレードルの位置決めのための支持棒、1316は回転方向を示す矢印、1320はスピン乾燥装置の蓋、1323は蓋1320に設けられた送風口、1322は送風口に取り付けられているフィルタである。   In FIG. 21, reference numeral 1301 denotes a conventional spin drying apparatus, 1302 denotes an outer frame of the spin drying apparatus 1301, 1303 denotes a rotating body having a rotating plate constituting the spin drying apparatus 1301, and 1310 to 1313 denote rotating bodies. An optical component holding component for holding an optical component (hereinafter also referred to as a workpiece) held by a holder attached to a rotating plate 1303 and a holding frame (hereinafter also referred to as a cradle) for holding the optical component holding component. ) (Not shown) holders, 1310c, 1311c, 1312c and 1313c are the side walls of the holders 1310 to 1313, and 1310a, 1310b, 1311a, 1311b, 1312a, 1312b, 1313a and 1313b are the side walls 1310c and 1311c, respectively. , 1312c, 1313c The cradle installation groove 1313 is a support rod for positioning the cradle, 1316 is an arrow indicating the direction of rotation, 1320 is a lid of the spin dryer, 1323 is an air outlet provided in the lid 1320, and 1322 is an air outlet. It is the filter attached to.

図21で、ホルダ1310〜1313は回転体1303にネジなどで固定された状態で保持されている。   In FIG. 21, the holders 1310 to 1313 are held in a state of being fixed to the rotating body 1303 with screws or the like.

図21のようなスピン乾燥装置で、洗浄したワークのスピン乾燥を行う際は、ワークを保持した光学部品保持部品を入れたクレードルを、クレードルに設けられた突起部(図30に図示)をホルダ1310〜1313のそれぞれのクレードル設置用溝1310a,1310b,1311a,1311b,1312a,1312b,1313a,1313bに挿入してホルダ1310〜1313のそれぞれに配置した後に、回転体1303をたとえば矢印1316の方向に回転させることによってスピン乾燥を行う。このとき、回転体に装着されたクレードルの底面は、図30のように、回転体の回転により与えられる遠心力に対してクレードルが最も安定に保持されるように、回転体の回転により与えられる遠心力の方向に直交するように前記ホルダに取り付けられるようになっている。   When spin-drying a washed workpiece with a spin drying apparatus as shown in FIG. 21, a cradle containing an optical component holding part holding the workpiece is used, and a protrusion (shown in FIG. 30) provided on the cradle is used as a holder. After inserting into each of the cradle installation grooves 1310a, 1310b, 1311a, 1311b, 1312a, 1312b, 1313a and 1313b of 1310 to 1313 and disposing them in the holders 1310 to 1313, the rotating body 1303 is placed in the direction of the arrow 1316, for example. Spin drying is performed by rotating. At this time, the bottom surface of the cradle mounted on the rotating body is given by the rotation of the rotating body so that the cradle is most stably held against the centrifugal force given by the rotation of the rotating body as shown in FIG. It is attached to the holder so as to be orthogonal to the direction of centrifugal force.

ワークの3点支持による保持方法については、たとえば、特開平6−208093(以下、特許文献1という)にも記載されており、その細部についてはあまり詳細でないが、図と文章からおおむね知ることができる。   The holding method by supporting the workpiece at three points is also described in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 6-208093 (hereinafter referred to as Patent Document 1), and the details are not so detailed, but can be generally understood from the drawings and texts. it can.

図22〜図25は、ワークの3点支持による保持方法について説明する図で、特許文献1と完全に同じではないが、本発明の発明者等の分類では同種の技術思想に基づくワークの3点支持による保持方法であるということができるもので、現在光学部品の洗浄・乾燥に使用されているものである。   FIGS. 22 to 25 are diagrams for explaining a holding method by supporting a workpiece at three points, which is not completely the same as Patent Document 1, but in the classification of the inventors of the present invention, the workpiece 3 based on the same kind of technical idea is used. It can be said that it is a holding method by point support, and is currently used for cleaning and drying of optical components.

図22は、ワークの3点支持による保持方法について説明する図である。   FIG. 22 is a diagram for explaining a holding method by supporting a workpiece at three points.

図22で、符号1331は被乾燥物としてのワーク、1332〜1334はワーク1331を固定するための光学部品支持部品である。   In FIG. 22, reference numeral 1331 denotes a work as an object to be dried, and 1332-1334 denote optical component support parts for fixing the work 1331.

図22で光学部品支持部品1332および1334は、ワーク1331の側面の両辺のおおよそ中央にそれぞれ配置されており、光学部品支持部品1333は光学部品支持部品1332と1334を結ぶ線分の垂直2等分線近傍の光学部品側面に配置されている。   In FIG. 22, the optical component supporting components 1332 and 1334 are respectively arranged at approximately the center of both sides of the workpiece 1331, and the optical component supporting component 1333 is divided into two equal bisectors connecting the optical component supporting components 1332 and 1334. It is arranged on the side of the optical component near the line.

図22において、ワーク1331を洗浄・乾燥する際には、ワークを固定するための光学部品支持部品1332〜1334の接触面積は可能な限り少ない方が良いとされている。   In FIG. 22, when cleaning and drying the workpiece 1331, the contact area of the optical component supporting components 1332 to 1334 for fixing the workpiece is preferably as small as possible.

図23〜図25は、図22の光学部品支持部品の例を説明するための図で、図23は1本の光学部品支持部品の斜視図、図24は図23の光学部品支持部品を図23の直線Y1−Y2で切った断面から斜めに見た図、図25は図23の光学部品支持部品がワークを保持している状態を説明するための図である。   23 to 25 are diagrams for explaining an example of the optical component support component of FIG. 22, FIG. 23 is a perspective view of one optical component support component, and FIG. 24 is a diagram of the optical component support component of FIG. FIG. 25 is a diagram viewed obliquely from a cross section cut along a straight line Y1-Y2 of FIG. 23, and FIG. 25 is a diagram for explaining a state in which the optical component supporting component of FIG.

図23〜図25で、符号1340は従来の光学部品支持部品、1341は光学部品支持部品1340を構成する支柱、1342は支柱1341の端部に設けられたネジ、1343は光学部品支持部品1340を構成する支持板、1341a,1341bは支柱1341の溝に入れた支持板1343をカシメによって固定しているカシメ部分、1344は支持板1343に形成されたV字溝である。   23 to 25, reference numeral 1340 denotes a conventional optical component support component, 1341 denotes a column constituting the optical component support component 1340, 1342 denotes a screw provided at an end of the column 1341, and 1343 denotes an optical component support component 1340. The supporting plates 1341a and 1341b are the caulking portions where the supporting plates 1343 inserted in the grooves of the support columns 1341 are fixed by caulking, and 1344 is a V-shaped groove formed in the supporting plate 1343.

図23および図24に示した光学部品支持部品1340には支柱1341の先端部にネジ1342が設けられており、図示しないが、複数本の光学部品支持部品1340を支持部品取り付け枠に光学部品を保持するのに適当な間隔で固定できるように形成して洗浄・乾燥用の光学部品保持部品が構成されている。また、支持板1343はフッ素樹脂で形成されており、ある程度の弾力性を有しており、形状が図示の如くV字型の溝を有するノコギリの刃状に形成されている。前記V字型の溝は、同一形状・寸法の溝が、同一光学部品保持部品として使用する全ての支柱1341の長手方向の同じ位置に設けられている。   The optical component support component 1340 shown in FIG. 23 and FIG. 24 is provided with a screw 1342 at the tip of the support 1341, and although not shown, a plurality of optical component support components 1340 are attached to the support component mounting frame. An optical component holding part for cleaning and drying is formed so as to be fixed at an appropriate interval for holding. The support plate 1343 is made of a fluororesin, has a certain degree of elasticity, and has a saw blade shape having a V-shaped groove as shown in the figure. The V-shaped groove has the same shape and size at the same position in the longitudinal direction of all the columns 1341 used as the same optical component holding part.

図25で、ワーク1331は、水平方向の左右に2つとそれに直交する方向の1つの計3つの方向から3つの光学部品支持部品1340の支持板1343のV字形の溝部分によって支えられている。   In FIG. 25, the work 1331 is supported by the V-shaped groove portions of the support plate 1343 of the three optical component support components 1340 from three directions, two on the left and right in the horizontal direction and one perpendicular to the workpiece.

図23〜図25を用いて説明したような光学部品支持部品を用いてワーク1331を固定した場合、支持板1343のワークを支持する部分がV字型の溝形状に形成されているために、ワーク1331は3方の側面の稜線部分だけが支持板1343のV字型の溝に支持されており、支持板1343との接触面積が比較的小さいように緩く固定される。   When the workpiece 1331 is fixed using the optical component support component described with reference to FIGS. 23 to 25, the portion of the support plate 1343 that supports the workpiece is formed in a V-shaped groove shape. The work 1331 is supported by the V-shaped groove of the support plate 1343 only at the ridges on the three side surfaces, and is loosely fixed so that the contact area with the support plate 1343 is relatively small.

しかし、図23〜図25を用いて説明したような光学部品支持部品1340の支持板1343は、フッ素樹脂であるテトラフルオロエチレンで形成されていることなどから、一辺が10mm以上のあまり重くないワークしか固定することが出来ず、これ以下の小さいワークに関しては別の方法で保持しなければならなかった。   However, since the support plate 1343 of the optical component support component 1340 as described with reference to FIGS. 23 to 25 is formed of tetrafluoroethylene, which is a fluororesin, a workpiece that is not very heavy with a side of 10 mm or more. It was only possible to fix it, and smaller workpieces below this had to be held in a different way.

図26および図27は光学部品支持部品の図23〜図25を用いて説明した例とは別の従来例を説明する図で、特許文献1とは異なるものということができるものである。   FIG. 26 and FIG. 27 are diagrams for explaining a conventional example different from the example explained with reference to FIG. 23 to FIG. 25 of the optical component support component, and can be said to be different from Patent Document 1.

図26は1本の光学部品支持部品の斜視図、図27は図26の光学部品支持部品3本によってワークが固定(緩く固定)されている状態を説明するための図である。   FIG. 26 is a perspective view of one optical component support component, and FIG. 27 is a view for explaining a state in which the workpiece is fixed (loosely fixed) by the three optical component support components of FIG.

図26および図27で、符号1350は光学部品支持部品、1351は光学部品支持部品1350を構成する支柱、1353は支柱1351に設けられたワークを固定するためのV字形の溝である。   26 and 27, reference numeral 1350 is an optical component support component, 1351 is a column constituting the optical component support component 1350, and 1353 is a V-shaped groove for fixing a workpiece provided on the column 1351.

図26で、支柱1351は円柱形であり、直径はφ6mm〜10mmである。また、溝1353は同一形状・寸法の溝が一定の間隔で支柱1351に、支柱1351の長さ方向に切った断面がV字形の溝として設けられている。   In FIG. 26, the support column 1351 has a cylindrical shape and a diameter of φ6 mm to 10 mm. In addition, the groove 1353 is provided with the same shape and size on the support column 1351 at regular intervals, and a cross section cut in the length direction of the support column 1351 as a V-shaped groove.

図27で、ワーク1331は支柱1351に形成された溝1353の部分にワーク1331の一部を入れることによって緩く固定されている。この場合、図中のワーク1331の左右の辺は、中央より少し上の方を支持されている。この緩く固定されているという状態は、ワークをピンセットなどで注意して持ち、たとえば、3点支持の光学部品支持部品として組み上げられた3本の支柱1351に形成された溝1353の部分にワーク1331の一部を入れて保持したとき、ワークを超音波洗浄したり、スピン乾燥したりしたときに、ワークが溝1353の部分から抜け出すことはないが、ワークをピンセットなどで持って溝1353の部分から取り出したり、ワークを溝1353の部分に挿入したりすることが出来る程度に固定されているという意味である。以下、3点支持の記述において、特に断らない場合には、このような緩く固定することを、単に、固定するあるいは束縛するともいう。図25と図27に示した保持の状態も、この緩く固定した状態である。   In FIG. 27, the work 1331 is loosely fixed by inserting a part of the work 1331 into a groove 1353 formed in the support column 1351. In this case, the left and right sides of the work 1331 in the figure are supported slightly above the center. In this loosely fixed state, the workpiece is carefully held with tweezers or the like. For example, the workpiece 1331 is formed in a portion of the groove 1353 formed in the three support columns 1351 assembled as an optical component supporting component of three-point support. When the workpiece is inserted and held, the workpiece will not come out of the groove 1353 when the workpiece is ultrasonically cleaned or spin-dried, but the workpiece is held by tweezers etc. It means that it is fixed to such an extent that it can be taken out from the machine or inserted into the groove 1353. Hereinafter, in the description of the three-point support, unless otherwise specified, such loose fixing is simply referred to as fixing or binding. The holding state shown in FIGS. 25 and 27 is also this loosely fixed state.

図28は、ワーク1331が光学部品支持部品によって固定されているときのワークと光学部品支持部品との接触状態を説明するための図であり、図26の矢印1354の方向から見た図である。   FIG. 28 is a diagram for explaining the contact state between the workpiece and the optical component support component when the workpiece 1331 is fixed by the optical component support component, and is a diagram viewed from the direction of the arrow 1354 in FIG. .

図28でワーク1331は、支柱1351に形成された溝1353が作る斜面に接することによって緩く固定されている。   In FIG. 28, the work 1331 is loosely fixed by coming into contact with a slope formed by a groove 1353 formed in the support column 1351.

図26および図27を用いて説明したような光学部品支持部品を用いてワークを固定した場合、支柱1351が円柱形に構成されているため、溝1353の部分も円柱形となっており、ワークとの接触面積が極めて少なくて済む。しかし、ワークの一辺が8mm以下である場合、図28からもわかるように支柱1351がワークに非常に近い位置にある状態でワークを固定することになるため、洗浄する際にワークに支柱1351の影の部分になる部分が生じ、超音波を効果的にワークに当てることが出来ず、洗浄自体がうまくいかないという欠点があった。   When the workpiece is fixed using the optical component supporting component as described with reference to FIGS. 26 and 27, since the support column 1351 is formed in a cylindrical shape, the groove 1353 is also formed in a cylindrical shape. Requires very little contact area. However, when one side of the workpiece is 8 mm or less, as shown in FIG. 28, the workpiece 135 is fixed in a state where the column 1351 is very close to the workpiece. There was a disadvantage that a shadow part was generated, the ultrasonic wave could not be effectively applied to the workpiece, and the cleaning itself was not successful.

支持板1343をカシメによって固定する支柱1341や溝1353が形成された支柱1351は、機械加工によって1本ずつ加工されているのが現状である。支柱の材料としてはステンレス鋼や、加工によって溝をつけた金属に樹脂をコーティングしたものが多く用いられている。樹脂だけでつくった支柱は、強度に問題があり、溝を付けた金属や溝を付けた金属に樹脂をコートしたものが主に用いられていた。   At present, the columns 1341 for fixing the support plate 1343 by caulking and the columns 1351 formed with the grooves 1353 are processed one by one by machining. As the material for the support, stainless steel or a metal coated with a resin is used. The strut made of resin alone has a problem in strength, and a grooved metal or a grooved metal coated with a resin was mainly used.

以上説明したように、従来は、ワークが小さい場合は光学部品支持部品によってワークを固定できなかったり、固定できた場合でもワークを効果的に洗浄することが出来ないという大きな問題があった。   As described above, conventionally, when the work is small, there has been a big problem that the work cannot be fixed by the optical component support component, or even if the work can be fixed, the work cannot be effectively cleaned.

そのため、小さなワークを洗浄・乾燥する際には、通常、ワークを洗浄治具に収納した後に、洗浄治具をクレードルなどに入れて、前記のようにスピン乾燥装置に装着して洗浄・乾燥する方法が採られている。   Therefore, when cleaning and drying small workpieces, usually, after the workpieces are stored in a cleaning jig, the cleaning jig is put in a cradle, etc., and mounted on a spin dryer as described above to be cleaned and dried. The method is taken.

図29は、従来の洗浄・乾燥用の光学部品保持部品の斜視図である。   FIG. 29 is a perspective view of a conventional optical component holding part for cleaning and drying.

図29で、符号1355は従来の洗浄・乾燥用の光学部品保持部品、1356はワークを入れるための光学部品挿入部である。光学部品挿入部1356は穴状になっており、穴の底部の周縁部にはそこに挿入した光学部品を保持するための光学部品載置枠1356aが設けられており、その内側に洗浄液を通過させるための貫通孔1356bが設けられている。この貫通孔1356bの直径はワークより十分小さく、光学部品載置枠1356aの中央部に設けられている。   In FIG. 29, reference numeral 1355 denotes a conventional optical part holding part for cleaning and drying, and 1356 denotes an optical part insertion part for inserting a workpiece. The optical component insertion portion 1356 has a hole shape, and an optical component placement frame 1356a for holding the optical component inserted therein is provided at the peripheral portion of the bottom portion of the hole, and the cleaning liquid passes through the inside thereof. A through hole 1356b is provided. The diameter of the through hole 1356b is sufficiently smaller than the workpiece, and is provided at the center of the optical component placement frame 1356a.

図29からも推察できるように、光学部品保持部品1355の基本的な技術思想は、光学部品を3点支持のように緩く固定せずに光学部品載置枠1356aに載置し、洗浄・乾燥中に光学部品の特に重要なところである光学面の重要部分を貫通孔1356bのところで周囲のものと非接触に保つことができるように考慮しているところにある。   As can be inferred from FIG. 29, the basic technical idea of the optical component holding component 1355 is that the optical component is placed on the optical component mounting frame 1356a without being loosely fixed like three-point support, and is washed and dried. The important part of the optical surface, which is a particularly important part of the optical component, is taken into consideration so that it can be kept out of contact with the surrounding part at the through hole 1356b.

図29のような洗浄・乾燥用の光学部品保持部品を用いて洗浄と乾燥を行うときは、光学部品挿入部にワークを入れて、光学部品保持部品ごとクレードルなどに入れて洗浄装置やスピン乾燥装置の所定位置に載置する。   When performing cleaning and drying using the cleaning / drying optical component holding component as shown in FIG. 29, a work is put in the optical component insertion portion, and the optical component holding component is put in a cradle or the like, and the cleaning device or spin drying is performed. Place it at a predetermined position on the device.

図30は従来のスピン乾燥装置を説明するための断面図である。   FIG. 30 is a cross-sectional view for explaining a conventional spin drying apparatus.

図30において、符号1010はスピン乾燥装置の回転体、1011は回転体1010を回転させるときの回転軸、1012a,1012b,1013a,1013bは回転体1010と回転軸1011を連結・固定する固定ネジ、1014,1015は乾燥するワークを入れて保持する洗浄・乾燥用の光学部品保持部品、1016,1017はワークを載置し保持する洗浄・乾燥用の光学部品保持部品1014,1015を載置するクレードル、1018a,1019aはクレードルの突起部を保持するホルダ、1020は回転体の上部枠、1018b、1019bはホルダ1018a,1019aに設けられたクレードル吊り下げ用の溝、1018,1019はクレードルの突起部でホルダ1018a,1019aの溝1018b、1019bに入れてホルダ1018a,1019aにクレードル1016,1017を保持する連結ピン,1021〜1024は回転体1010の回転時にクレードルを支えるためにホルダ1018a,1019aに取り付けられている支持棒、1370は回転板である。   In FIG. 30, reference numeral 1010 denotes a rotating body of the spin drying apparatus, 1011 denotes a rotating shaft for rotating the rotating body 1010, 1012a, 1012b, 1013a, 1013b denote fixing screws for connecting and fixing the rotating body 1010 and the rotating shaft 1011; Reference numerals 1014 and 1015 denote optical component holding parts for cleaning and drying for holding and holding a work to be dried. Reference numerals 1016 and 1017 denote cradles for mounting optical parts holding parts 1014 and 1015 for cleaning and drying for placing and holding the work. 1018a and 1019a are holders for holding the cradle protrusions, 1020 is an upper frame of the rotating body, 1018b and 1019b are cradle hanging grooves provided on the holders 1018a and 1019a, and 1018 and 1019 are cradle protrusions. Grooves 1018b, 1019a of holders 1018a, 1019a 9b, connecting pins for holding the cradles 1016 and 1017 in the holders 1018a and 1019a, 1021 to 1024 are support bars attached to the holders 1018a and 1019a to support the cradle when the rotating body 1010 rotates, and 1370 is a rotating plate It is.

図30で、クレードル1016,1017は、洗浄・乾燥用の光学部品保持部品の上面部分1014a,1015aが(洗浄・乾燥用の光学部品保持部品が平行平板のときは、同様に、前記クレードルの底面も)、回転軸1011の回転中心となる中心軸線A1−A2にそれぞれ平行になるように、かつ、洗浄・乾燥用の光学部品保持部品の上面部分1014a,1015aの中央における前記中心軸線A1−A2を中心とする仮想の円筒の外側面の接平面(図示せず)にそれぞれ平行になるように、さらに、回転体1010の中心軸線であるA1−A2に対して対称に配置されており、洗浄・乾燥用の光学部品保持部品に載置した洗浄後の光学部品を、回転軸1011を中心にして回転体全体を回転させることによって洗浄した光学部品に残った洗浄液を除去して光学部品を乾燥させるようになっている。   In FIG. 30, the cradles 1016 and 1017 are arranged such that the upper surface portions 1014a and 1015a of the cleaning / drying optical component holding parts are the same as the bottom surface of the cradle. And the central axis A1-A2 at the center of the upper surface portions 1014a and 1015a of the optical component holding parts for cleaning and drying so as to be parallel to the central axis A1-A2 that is the rotation center of the rotary shaft 1011. Are further arranged symmetrically with respect to the central axis A1-A2 of the rotating body 1010 so as to be parallel to the tangential plane (not shown) of the outer surface of the virtual cylinder centering around The cleaned optical component placed on the optical component holding component for drying is cleaned by rotating the entire rotating body around the rotation shaft 1011. The cleaning liquid Tsu removed and is adapted to dry the optical components.

図31は、従来の光学部品のスピン乾燥方法を説明する模式的断面図で、図30のスピン乾燥装置に、光学部品を載置した図29の洗浄・乾燥用の光学部品保持部品をとりつけて乾燥する状態を説明する図である。   FIG. 31 is a schematic cross-sectional view for explaining a conventional spin drying method for optical components. The spin drying apparatus shown in FIG. 30 is attached with the cleaning / drying optical component holding component shown in FIG. It is a figure explaining the state to dry.

図31において、符号1041〜1045はスピン乾燥後に残った純水などの洗浄液、1049は被乾燥物である光学部品から洗浄液が除去される(以下、洗浄液が切れるともいう)方向を示す矢印、1046は洗浄・乾燥用の光学部品保持部品ならびにワークにかかる遠心力の方向を示す矢印、1047は洗浄・乾燥されるワークとしての光学部品、1048は洗浄・乾燥用の光学部品保持部品に取り付ける蓋、1048aは蓋1048に設けられた穴である。   In FIG. 31, reference numerals 1041 to 1045 are cleaning liquids such as pure water remaining after spin drying, and 1049 is an arrow indicating the direction in which the cleaning liquid is removed from the optical component that is an object to be dried (hereinafter also referred to as the cleaning liquid running out). Is an optical component holding part for cleaning / drying and an arrow indicating the direction of centrifugal force applied to the work, 1047 is an optical part as a work to be cleaned / dried, 1048 is a lid attached to the optical part holding part for cleaning / drying, Reference numeral 1048a denotes a hole provided in the lid 1048.

図31で、乾燥されるワーク1047は光学部品挿入部1356の光学部品載置枠1356aに載置されており、ワーク1047を保持している光学部品挿入部1356は洗浄・乾燥用の光学部品保持部品とともに矢印1046の方向に遠心力がかかるように回転される。この場合、回転中における光学部品保持部品1355の内側表面(回転の中心軸側の表面)と光学部品挿入部1356の光学部品載置枠1356aに載置されているワークとしての光学部品1047の内側表面(回転の中心軸側の表面)は平行になっており、それら両表面は回転軸1011の回転中心となる中心軸線A1−A2にそれぞれ平行になっているとともに矢印1046で示した遠心力の方向に直交している。   In FIG. 31, the workpiece 1047 to be dried is placed on the optical component placement frame 1356a of the optical component insertion portion 1356, and the optical component insertion portion 1356 holding the workpiece 1047 holds the optical component for cleaning and drying. It rotates so that a centrifugal force may be applied in the direction of arrow 1046 together with the parts. In this case, the inner surface of the optical component holding component 1355 during rotation (the surface on the central axis side of the rotation) and the inner side of the optical component 1047 as a work placed on the optical component placement frame 1356a of the optical component insertion portion 1356. The surfaces (surfaces on the central axis side of rotation) are parallel to each other, and both surfaces are parallel to the central axis A1-A2 serving as the rotation center of the rotation shaft 1011 and the centrifugal force indicated by the arrow 1046 is shown. It is orthogonal to the direction.

スピン乾燥時には、回転体1010の回転によって、洗浄したときにワーク1047に付着した洗浄液としての水分は、矢印1046の方向に働く遠心力によって、矢印1049の方向に貫通孔1356bを通って除去されていく。   At the time of spin drying, due to the rotation of the rotating body 1010, the water as the cleaning liquid adhering to the workpiece 1047 at the time of cleaning is removed through the through hole 1356b in the direction of the arrow 1049 by the centrifugal force acting in the direction of the arrow 1046. Go.

しかし、本発明の発明者等の調査の結果、図29〜図31を用いて説明したような従来の乾燥方法では、洗浄液1043〜1045などのように、洗浄液の残りをワークから完全に除去することが出来ないうえに、スピン乾燥装置の回転を止めると、残った洗浄液1043〜1045はワークの他の面に回り込んで水分が再付着してしまい、また、残った洗浄液1041,1042も流れ出してワークを濡らしてしまうことが多く、残った水分が多層膜フィルターなどのワークにシミなどを作ってしまうため、良好な洗浄・乾燥が出来なかった。   However, as a result of the investigation by the inventors of the present invention, in the conventional drying method as described with reference to FIGS. 29 to 31, the remaining cleaning liquid such as the cleaning liquids 1043 to 1045 is completely removed from the workpiece. In addition, when the spin drying apparatus stops rotating, the remaining cleaning liquids 1043 to 1045 flow around to the other surface of the workpiece and moisture adheres again, and the remaining cleaning liquids 1041 and 1042 also flow out. In many cases, the workpiece is wetted, and the remaining water creates stains on the workpiece such as the multilayer filter.

そのため、従来は残った水分を除去するために多層膜フィルターなどのワークをピンセットで注意深くつまみ、クリーニングペーパーや綿棒などで水分を拭き取る手作業を必要としていた。   For this reason, conventionally, in order to remove the remaining water, a work such as a multilayer filter is carefully picked up with tweezers, and a manual operation of wiping off the water with a cleaning paper or a cotton swab is required.

図32および図33は従来の光学部品の洗浄・乾燥方法における残留洗浄液のふき取り方法について説明するための模式図である。   FIG. 32 and FIG. 33 are schematic diagrams for explaining a method of wiping off a residual cleaning liquid in a conventional cleaning / drying method for optical components.

図32および図33において、符号400はワーク、501は綿棒、502,503は綿棒501の端部、504は綿棒の動く方向を示す矢印、510はハンドラップ、511は有機溶剤、512はハンドラップの皿部、513はピンセット、514は管である。 図32で、ハンドラップ510の内部には有機溶剤511が入っており、皿部512をたとえば綿棒501の端部502もしくは503で押し下げると、有機溶剤511は管514を毛管現象によって皿部512まで上がり、綿棒501の端部502もしくは503に適量の有機溶剤511を付けることが出来る。   32 and 33, reference numeral 400 is a workpiece, 501 is a cotton swab, 502 and 503 are ends of the cotton swab 501, 504 is an arrow indicating the direction of movement of the swab, 510 is a hand wrap, 511 is an organic solvent, and 512 is a hand wrap. , 513 is tweezers, and 514 is a tube. In FIG. 32, the organic solvent 511 is contained in the hand wrap 510. When the dish 512 is pushed down by, for example, the end 502 or 503 of the cotton swab 501, the organic solvent 511 causes the pipe 514 to reach the dish 512 by capillary action. Then, an appropriate amount of the organic solvent 511 can be attached to the end 502 or 503 of the cotton swab 501.

図33で、ワーク400をピンセット513によってつまみ、有機溶剤をしみこませた綿棒501の端部502もしくは503を矢印504の方向へ動かしながら、ワーク400の光学面401と402を拭いて清浄にすることが出来る。   In FIG. 33, the work 400 is picked by the tweezers 513, and the optical surfaces 401 and 402 of the work 400 are wiped and cleaned while moving the end 502 or 503 of the cotton swab 501 soaked with an organic solvent in the direction of the arrow 504. I can do it.

また、綿棒501に有機溶剤を付けないでワーク400をふき、水分をワーク400から除去することも出来る。   Further, the work 400 can be wiped without attaching an organic solvent to the cotton swab 501 to remove moisture from the work 400.

図32および図33を用いて説明したような洗浄・乾燥方法は、図21〜図31を用いて説明したような方法では洗浄・乾燥出来ないものの洗浄・乾燥に用いられることが多い。しかし、一辺が8mm以下のように小さなワーク、たとえば、光通信に通常用いられている光学面が1.4mm角の薄いフィルタのような場合、ワークが非常に小さくて、これをピンセットで掴みながら水分をふき取ったりする作業は非常に困難な作業である。   The cleaning / drying method described with reference to FIGS. 32 and 33 is often used for cleaning / drying although it cannot be cleaned / dried by the method described with reference to FIGS. However, in the case of a small work with a side of 8 mm or less, for example, a thin filter with a 1.4 mm square optical surface usually used for optical communication, the work is very small, The work of wiping off moisture is a very difficult work.

また、重くて比較的大きな直方体の光学部品や長さの長い光学部品の場合、図22〜図28で説明した光学部品では安定に支持できない。このような場合の洗浄・乾燥方法に適切な方法がなく、シミをつくらず、量産に適した洗浄・乾燥方法の実現が強く望まれていた。   Further, in the case of a heavy and relatively large rectangular parallelepiped optical component or a long optical component, the optical component described with reference to FIGS. 22 to 28 cannot be stably supported. There is no appropriate method for cleaning / drying in such a case, and it has been strongly desired to realize a cleaning / drying method suitable for mass production without causing stains.

従来の洗浄・乾燥用の光学部品保持部品の図29に示した例とは異なる例が、特開2000−249466(以下,特許文献2という)に記載されている。特許文献2には,パレットに設けられたすり鉢状の貫通穴に光学部品をいれて乾燥を行うことが記載されている(特許文献2の図1〜図3参照)。そして、特許文献2の図2,図5〜図7には前記穴に蓋を取り付けた断面図が記載されており,前記蓋には,適当にあけられた穴が設けられている。この蓋の穴に関しては,空気をすり鉢状貫通穴に流すこと以外の特別の作用は記載されていない。   An example different from the example shown in FIG. 29 of a conventional optical component holding part for cleaning and drying is described in Japanese Patent Laid-Open No. 2000-249466 (hereinafter referred to as Patent Document 2). Patent Document 2 describes that an optical component is placed in a mortar-shaped through-hole provided on a pallet to perform drying (see FIGS. 1 to 3 of Patent Document 2). 2 and 5 to 7 of Patent Document 2 describe cross-sectional views in which a lid is attached to the hole, and the lid is provided with a hole that is appropriately formed. With respect to the hole in the lid, no special action other than flowing air through the mortar-shaped through hole is described.

本発明の発明者らは,特許文献2のような光学部品保持部品を用いて前記と同様な洗浄と乾燥を行ったが、良好な洗浄および乾燥を行うことができず、手拭き作業が不可欠であった。さらに,光学部品によっては損傷を生じてしまい,光学部品の着脱がしにくいなど、大きな問題があることがわかった。   The inventors of the present invention performed cleaning and drying in the same manner as described above using an optical component holding part as in Patent Document 2, but good cleaning and drying cannot be performed, and hand wiping work is indispensable. there were. Furthermore, it was found that some optical components were damaged, and it was difficult to attach and remove the optical components.

特開平6−208093JP-A-6-208093 特開2000−249466JP 2000-249466 A

以上説明したように、従来の光学部品保持部品に小型の光学部品を保持して、一度に多数の前記光学部品を超音波洗浄し、スピン乾燥を行っただけでは、たとえば光通信の部品として使用することができるような清浄な光学面を歩留まり良く得ることが難しいという大きな問題があった。   As described above, simply holding a small optical component on a conventional optical component holding component, ultrasonically cleaning a large number of the optical components at once, and performing spin drying, for example, can be used as an optical communication component. There is a big problem that it is difficult to obtain a clean optical surface that can be obtained with good yield.

すなわち、超音波洗浄した多層膜フィルターなどのワークをスピン乾燥しても、ワークに洗浄液が残ってしまい、良好な洗浄を施された清浄な光学面の多層膜フィルターなどを得ることができず、残留洗浄液やそれにより生じたシミを拭き取るために多層膜フィルターなどのワークをピンセットで注意深くつまみ、クリーニングペーパーや綿棒などでそれらを拭き取る手作業を必要としていた。特に、ワークが小型の場合、この拭き作業は避けられなかった。   That is, even when a workpiece such as a multilayer filter that has been subjected to ultrasonic cleaning is spin-dried, the cleaning liquid remains on the workpiece, and it is not possible to obtain a multilayer filter with a clean optical surface that has been subjected to good cleaning. In order to wipe off the residual cleaning liquid and stains caused by the cleaning liquid, it is necessary to carefully pick up a work such as a multilayer filter with tweezers and wipe it with a cleaning paper or a cotton swab. In particular, when the workpiece is small, this wiping work is inevitable.

この拭き作業は、非常に高度な熟練を要し、満足した品質特性を得るためには、数ヶ月の作業者トレーニングが必要であった。そして、この拭き作業を収得した作業者が行った場合でも、作業効率が悪く、高々20個/時間の多層膜フィルターしか清浄にすることが出来なかった。   This wiping operation required very high skill and required several months of worker training in order to obtain satisfactory quality characteristics. And even if the operator who acquired this wiping work performed, the working efficiency was poor, and only 20 / hour multilayer filters could be cleaned at most.

そのため、従来のような、長時間の作業者トレーニングが不可欠で高度な熟練を要する拭き作業を必要とせず、一度に多数の光学部品を洗浄・乾燥することが出来て、モジュールの機能を満足に発揮できるような清浄な光学面を有する光学部品を得ることが出来る洗浄・乾燥手段とそれに好適な光学部品保持部品の実現が強く望まれていた。   Therefore, long-time worker training is indispensable and it is not necessary to perform highly skilled wiping work, and many optical parts can be cleaned and dried at the same time, satisfying the function of the module. There has been a strong demand for a cleaning / drying means capable of obtaining an optical component having a clean optical surface that can be exhibited and an optical component holding component suitable for it.

また、形状・寸法・重さなどの多様な光学部品を洗浄・乾燥する場合、そのための光学部品保持部品が多種類になってしまうことは、その製造コストが高めるという問題があった。   Further, when various optical parts such as shapes, dimensions, and weights are washed and dried, the fact that there are many kinds of optical part holding parts for that purpose has a problem that the manufacturing cost increases.

本発明はこのような点に鑑みて成されたものであり、本発明の目的の一つは、長時間の作業者トレーニングが必要で高度な熟練を要する手拭き作業を不可欠とせず、小型の光学部品の場合でも、一度に多数の洗浄後の光学部品を良好な状態に乾燥することが可能な洗浄・乾燥に適した光学部品保持部品を提供することにある。また、一度に多数のブロック状や長い光学部品など特殊な光学部品の洗浄・乾燥を可能にする光学部品保持部品を提供することにもある。   The present invention has been made in view of such points, and one of the objects of the present invention is that it requires a long-time worker training and does not require a highly skilled hand-wiping operation, and is a compact optical device. Even in the case of parts, an object is to provide an optical part holding part suitable for cleaning and drying, which can dry a large number of optical parts after cleaning to a good state at a time. Another object of the present invention is to provide an optical component holding component that enables cleaning and drying of special optical components such as a large number of blocks and long optical components at a time.

本発明は前記の課題を解決せんとしてなされたものである。   The present invention has been made to solve the above problems.

光学部品の、洗浄・乾燥品質が良く、歩留まりの良い洗浄・乾燥を実現するため、本発明の発明者等は、洗浄と乾燥の両面から洗浄方法と洗浄装置ならびに乾燥方法と乾燥装置に関して種々の検討を行い、それらの改善を行った。   In order to realize cleaning / drying of optical parts with good cleaning / drying quality and good yield, the inventors of the present invention have various methods regarding cleaning methods and cleaning devices and drying methods and drying devices from both the cleaning and drying aspects. We reviewed and made improvements.

その結果、洗浄・乾燥の真の改善を行うには、洗浄・乾燥方法と装置の改善だけではだめで、洗浄・乾燥工程においてワークとしての光学部品を保持する光学部品保持部品の改善も重要であるとの結論に達した。それに基づき、光学部品保持部品の改善を行った結果、光学部品の洗浄・乾燥の画期的な改善を行うことができた。   As a result, in order to truly improve cleaning and drying, it is not enough to improve the cleaning and drying method and equipment. It is also important to improve the optical component holding parts that hold the optical components as workpieces in the cleaning and drying process. A conclusion was reached. Based on this, the optical component holding parts were improved, and as a result, the optical parts were cleaned and dried dramatically.

本発明の光学部品保持部品は、ワークとしての光学部品を光学部品を固定しないで光学部品載置部上である程度動けるように保持して洗浄・乾燥を行う光学部品保持部品である。   The optical component holding component of the present invention is an optical component holding component that holds and cleans and dries the optical component as a work so that it can move to some extent on the optical component mounting portion without fixing the optical component.

以下、本発明の特徴を詳細に説明する。   Hereinafter, the features of the present invention will be described in detail.

前記の課題を解決せんとしてなされた本発明の例としての第1の発明(以下、発明1ともいう)は、光学部品の洗浄と洗浄した光学部品のスピン乾燥の少なくとも一方に使用することができる光学部品保持部品であって、前記光学部品保持部品は被洗浄物あるいは被乾燥物としての光学部品を載置して保持することができる光学部品保持部を複数有しており、複数の前記光学部品保持部は、そこに保持される光学部品を載置することができる光学部品載置部を有しているとともに、それぞれ隣にある他の光学部品保持部と互いに区別される仕切部を有しており、前記光学部品載置部には前記光学部品載置部の表側すなわち前記光学部品を載置する側から前記光学部品を載置する側とは反対側(以下、光学部品保持部品の裏側ともいう)まで貫通して形成されている貫通孔が少なくとも3つ形成されており、前記貫通孔の少なくとも3つは前記光学部品載置部において各貫通孔の開口部が細長い形状をしており、前記開口部が細長い形状をしている少なくとも3つの貫通孔のうちの2つの貫通孔は、前記貫通孔の開口部の細長い方の一辺の半分以上が当該光学部品載置部の対向する両端部のうちのいずれかの端部に0.5mm以内の誤差を許容してそれぞれ接して形成されていることを特徴とする光学部品保持部品である。   The first invention (hereinafter also referred to as invention 1) as an example of the present invention, which has been made by solving the above problems, can be used for at least one of cleaning of an optical component and spin drying of the cleaned optical component. An optical component holding component, wherein the optical component holding component has a plurality of optical component holding portions on which an optical component as an object to be cleaned or an object to be dried can be placed and held. The component holding portion has an optical component placement portion on which an optical component held therein can be placed, and a partition portion that is distinguished from each other adjacent optical component holding portion. The optical component placement portion is arranged on the opposite side of the optical component placement portion from the front side of the optical component placement portion, that is, the side on which the optical component is placed (hereinafter referred to as the optical component holding component). (Also called the back side) At least three through-holes are formed, and at least three of the through-holes have an elongated shape in each through-hole in the optical component mounting portion, and the openings are Two of the at least three through-holes having an elongated shape may be any one of the opposite end portions of the optical component mounting portion at least half of one side of the elongated portion of the opening of the through-hole. The optical component holding component is characterized in that it is formed in contact with each of the end portions while allowing an error within 0.5 mm.

本発明の例としての発明1を展開してなされた第2の発明(以下、発明2ともいう)は、発明1に記載の光学部品保持部品において、前記貫通孔の開口部の細長い方の一辺の半分以上が前記光学部品載置部の対向する両端部のうちのいずれかの端部に0.5mm以内の誤差を許容してそれぞれ接して形成されている2つの貫通孔は、各貫通孔の開口部の細長い方の一辺のおおむね全体が前記光学部品載置部の対向する両端部のうちのいずれかの端部に0.5mm以内の誤差を許容してそれぞれ接して形成されている(以下、前記各貫通孔の開口部の細長い方の一辺の半分以上が前記光学部品載置部の対向する両端部のうちのいずれかの端部に0.5mm以内の誤差を許容してそれぞれ接して形成されている状態のことを、あるいは前記各貫通孔の開口部の細長い方の一辺のおおむね全体が前記光学部品載置部の対向する両端部のうちのいずれかの端部に0.5mm以内の誤差を許容してそれぞれ接して形成されている状態のことを、単に、前記各貫通孔の開口部の細長い方の一辺が前記光学部品載置部の対向する両端部のうちのいずれかの端部に接して形成されているともいう)ことを特徴とする光学部品保持部品である。   A second invention (hereinafter also referred to as Invention 2) made by developing Invention 1 as an example of the present invention is an optical component holding part according to Invention 1, wherein one side of the elongated portion of the opening of the through hole is provided. Two through-holes formed so that more than half of them are in contact with either one of the opposing end portions of the optical component mounting portion with an error of 0.5 mm or less are provided for each through-hole. In general, the entire side of the elongated side of each of the openings is formed so as to be in contact with any one of the opposite ends of the optical component mounting portion with an error of 0.5 mm or less (see FIG. In the following, more than half of one side of the elongated portion of the opening of each through hole is in contact with one of the opposing ends of the optical component mounting portion with an error of 0.5 mm or less. The state that is formed by the above, or each through A state in which substantially the entire one side of the elongated part of the opening of the optical part is formed in contact with either one of the opposing ends of the optical component mounting part with an error of 0.5 mm or less. (It is also said that the elongated one side of the opening of each through-hole is formed in contact with one of the opposing ends of the optical component mounting portion). This is an optical component holding component.

本発明の例としての発明1または2を展開してなされた第3の発明(以下、発明3ともいう)は、発明1または2に記載の光学部品保持部品において、光学部品載置部の対向する両端部のうちのいずれかの端部に接して形成されている前記2つの各貫通孔の開口部が、光学部品載置部の前記開口部の細長い方の一辺が接して形成されている対向する両端部とは異なる方向で対向している2つの端部のうちの一方の端部から他方の端部まで連続して形成されていることを特徴とする光学部品保持部品である。   A third invention (hereinafter also referred to as invention 3) made by developing invention 1 or 2 as an example of the present invention is the optical component holding component according to invention 1 or 2, wherein the optical component mounting portion is opposed. An opening of each of the two through holes formed in contact with one of the two ends is formed in contact with an elongated side of the opening of the optical component mounting portion. The optical component holding component is characterized in that it is formed continuously from one end portion to the other end portion of two end portions facing in opposite directions to the opposite end portions.

本発明の例としての発明1〜3を展開してなされた第4の発明(以下、発明4ともいう)は、発明1〜3のいずれかに記載の光学部品保持部品において、少なくとも1つの前記光学部品載置部の前記細長い方の一辺が前記光学部品載置部の対向する両端部のうちのいずれかの端部に接して形成されている貫通孔を除く貫通孔の過半数が細長い形状の開口部を有しており、前記開口部は同じ方向に細長く形成されているとともに、当該光学部品載置部の前記開口部の細長い方の一辺が接して形成されている前記対向する両端部とは異なる方向で対向している両端部のうちの一方の端部から他方の端部まで連続して形成されていることを特徴とする光学部品保持部品である。   A fourth invention (hereinafter also referred to as invention 4) made by developing inventions 1-3 as examples of the present invention is the optical component holding part according to any one of inventions 1-3, wherein at least one of the above The majority of the through holes excluding the through holes formed in such a manner that one side of the elongated part of the optical component placement part is in contact with either end of the opposite ends of the optical part placement part has an elongated shape. The opening is formed in an elongated shape in the same direction, and the opposing both end portions formed by contacting one of the elongated sides of the opening of the optical component mounting portion Is an optical component holding component that is formed continuously from one end portion to the other end portion of both end portions facing in different directions.

本発明の例としての発明1〜4を展開してなされた第5の発明(以下、発明5ともいう)は、発明1〜4のいずれかに記載の光学部品保持部品において、少なくとも1つの前記光学部品載置部の前記少なくとも3つの貫通孔のうちの前記開口部の細長い方の一辺が当該光学部品載置部の対向する端部に接して形成されている2つの貫通孔とは異なる1つの貫通孔は、前記光学部品載置部の中央部に、当該光学部品載置部の前記開口部の細長い方の一辺が接して形成されている前記対向する両端部とは異なる方向で対向している両端部のうちの一方の端部から他方の端部まで連続して形成されていることを特徴とする光学部品保持部品である。   A fifth invention (hereinafter also referred to as invention 5) made by developing inventions 1 to 4 as examples of the present invention is the optical component holding part according to any one of inventions 1 to 4, wherein at least one of the above Of the at least three through-holes of the optical component placement portion, one of the elongated sides of the opening is different from two through-holes formed in contact with opposite ends of the optical component placement portion. The two through-holes face each other in a direction different from the opposite opposite end portions formed in contact with the central part of the optical component placement portion with one side of the elongated portion of the opening of the optical component placement portion. The optical component holding part is formed continuously from one end to the other end of the two ends.

本発明の例としての発明1〜5を展開してなされた第6の発明(以下、発明6ともいう)は、発明1〜5のいずれかに記載の光学部品保持部品において、少なくとも1つの前記光学部品載置部の全ての貫通孔が細長い形状の開口部を有しており、前記開口部は同じ方向に細長く形成されているとともに、当該光学部品載置部の前記開口部の細長い方の一辺が接して形成されている前記対向する両端部とは異なる方向で対向している両端部のうちの一方の端部から他方の端部まで連続して形成されていることを特徴とする光学部品保持部品である。   A sixth invention (hereinafter also referred to as invention 6) made by developing inventions 1 to 5 as examples of the present invention is the optical component holding part according to any one of inventions 1 to 5, wherein at least one of the above All through-holes of the optical component mounting portion have elongated openings, the openings are elongated in the same direction, and the elongated one of the openings of the optical component mounting portion An optical device characterized in that it is formed continuously from one end portion to the other end portion of both end portions facing each other in a direction different from the opposing both end portions formed in contact with one side. It is a component holding component.

本発明の例としての発明1〜6を展開してなされた第7の発明(以下、発明7ともいう)は、発明1〜6のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品載置部の貫通孔の少なくとも2つは、その光学部品載置部表面における開口部の長さ方向の中心線が互いに平行になっていることを特徴とする光学部品保持部品である。   A seventh invention (hereinafter also referred to as invention 7) made by developing inventions 1 to 6 as examples of the present invention is the optical component holding part according to any one of inventions 1 to 6, wherein the optical part mounting is described above. At least two of the through holes of the mounting portion are optical component holding components characterized in that the center lines in the length direction of the openings on the surface of the optical component mounting portion are parallel to each other.

本発明の例としての発明1〜7を展開してなされた第8の発明(以下、発明8ともいう)は、発明1〜7のいずれかに記載の光学部品保持部品において、少なくとも1つの前記光学部品載置部には、細長い形状の開口部を有する少なくとも3つの貫通孔が、互いに平行に形成されていることを特徴とする光学部品保持部品である。   An eighth invention (hereinafter also referred to as invention 8) made by developing inventions 1 to 7 as examples of the present invention is the optical component holding part according to any one of inventions 1 to 7, wherein at least one of the above In the optical component mounting portion, at least three through holes having elongated openings are formed in parallel with each other, and the optical component holding component is an optical component holding component.

本発明の例としての発明1〜8を展開してなされた第9の発明(以下、発明9ともいう)は、発明1〜8のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部の前記仕切部の端部の少なくとも一部が前記光学部品載置部の端部の少なくとも一部に0.5mm以内の誤差を許容して接して形成されていることを特徴とする光学部品保持部品である。   A ninth invention (hereinafter also referred to as invention 9) made by developing inventions 1 to 8 as examples of the present invention is the optical component holding part according to any one of inventions 1 to 8, wherein the optical part holding An optical component characterized in that at least a part of the end of the partition part is in contact with at least a part of the end of the optical component mounting part while allowing an error within 0.5 mm. It is a holding part.

本発明の例としての発明1〜9を展開してなされた第10の発明(以下、発明10ともいう)は、発明1〜9のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部の前記光学部品載置部よりも上の部分すなわち光学部品を挿入する側の部分の形状が一様な寸法・形状であることを特徴とする光学部品保持部品である。   A tenth invention (hereinafter also referred to as invention 10) made by developing inventions 1 to 9 as examples of the present invention is the optical component holding part according to any one of inventions 1 to 9, wherein the optical part holding The optical component holding component is characterized in that the shape of the portion above the optical component placement portion, that is, the portion on the side where the optical component is inserted is uniform in size and shape.

本発明の例としての発明1〜10を展開してなされた第11の発明(以下、発明11ともいう)は、発明1〜10のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品が、前記光学部品保持部品の表側と裏側における前記複数の光学部品保持部の形成されている部分等の細部の凹凸形状を除いて、少なくとも主要部分が全体としておおむね平行平板であることを特徴とする光学部品保持部品である。   An eleventh invention (hereinafter also referred to as invention 11) made by developing inventions 1 to 10 as examples of the present invention is the optical component holding part according to any one of inventions 1 to 10, wherein the optical part holding The component is generally a parallel plate as a whole at least as a whole, except for the uneven shape of details such as the portions where the plurality of optical component holding portions are formed on the front side and the back side of the optical component holding component. It is an optical component holding component.

本発明の例としての発明1〜11を展開してなされた第12の発明(以下、発明12ともいう)は、発明1〜11のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部の前記仕切部の少なくとも一つが着脱可能な仕切部であることを特徴とする光学部品保持部品である。   A twelfth invention (hereinafter also referred to as invention 12) made by developing inventions 1 to 11 as examples of the present invention is the optical component holding part according to any one of inventions 1 to 11, wherein the optical part holding An optical component holding component, wherein at least one of the partition portions is a detachable partition portion.

本発明の例としての発明1〜12を展開してなされた第13の発明(以下、発明13ともいう)は、発明1〜12のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品の前記光学部品載置部の貫通孔の縁部が面取りされているか曲面形状に形成されていることを特徴とする光学部品保持部品である。   A thirteenth invention (hereinafter also referred to as invention 13) made by developing inventions 1 to 12 as examples of the present invention is the optical component holding part according to any one of inventions 1 to 12, wherein the optical part holding An optical component holding component, wherein an edge portion of the through hole of the optical component mounting portion of the component is chamfered or formed in a curved shape.

本発明の例としての発明1〜13を展開してなされた第14の発明(以下、発明14ともいう)は、発明1〜13のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部の全ての貫通孔の光学部品載置部表面における開口部が互いに平行に形成されていることを特徴とする光学部品保持部品である。   A fourteenth invention (hereinafter also referred to as the invention 14) made by developing the inventions 1 to 13 as examples of the present invention is the optical component holding part according to any one of the inventions 1 to 13, wherein the optical part holding The optical component holding component is characterized in that the openings in the surface of the optical component placement portion of all the through holes of the portion are formed in parallel to each other.

本発明の例としての発明1〜14を展開してなされた第15の発明(以下、発明15ともいう)は、発明1〜14のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記開口部の細長い方の一辺が前記光学部品載置部の対向する各端部にそれぞれ接して形成されている貫通孔でない前記貫通孔の光学部品載置部表面における開口部が、前記開口部の両端部近傍を除いて一様な幅の開口部であることを特徴とする光学部品保持部品である。   A fifteenth invention (hereinafter also referred to as invention 15) made by developing inventions 1 to 14 as examples of the present invention is the optical component holding part according to any one of inventions 1 to 14, wherein The opening on the surface of the optical component mounting portion of the through hole that is not a through hole formed in such a manner that one side of the elongated side is in contact with each opposing end of the optical component mounting portion is in the vicinity of both ends of the opening. It is an optical component holding part characterized by being an opening having a uniform width except for.

本発明の例としての発明1〜15を展開してなされた第16の発明(以下、発明16ともいう)は、発明1〜15のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記貫通孔が光学部品載置部表面から光学部品保持部品の裏側まで、5°以内の傾きを許容しておおむね一様な貫通孔であることを特徴とする光学部品保持部品である。   A sixteenth invention (hereinafter also referred to as invention 16) made by developing inventions 1 to 15 as examples of the present invention is the optical component holding part according to any one of inventions 1 to 15, wherein the through-hole is The optical component holding component is a substantially uniform through-hole allowing an inclination within 5 ° from the surface of the optical component mounting portion to the back side of the optical component holding component.

本発明の例としての発明1〜16を展開してなされた第17の発明(以下、発明17ともいう)は、発明1〜16のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品の前記光学部品保持部の形成されている部分の裏側の縁部が面取りされていることを特徴とする光学部品保持部品である。   A seventeenth invention (hereinafter also referred to as an invention 17) made by developing the inventions 1 to 16 as examples of the invention is the optical component holding part according to any one of the inventions 1 to 16, wherein the optical part holding The optical component holding component is characterized in that the edge portion on the back side of the part where the optical component holding portion of the component is formed is chamfered.

本発明の例としての発明1〜17を展開してなされた第18の発明(以下、発明18ともいう)は、発明1〜17のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品の前記光学部品保持部の形成されている部分の裏側の全ての貫通孔の開口部の縁部が面取りされていることを特徴とする光学部品保持部品である。   An eighteenth invention (hereinafter also referred to as invention 18) made by developing inventions 1 to 17 as examples of the present invention is the optical component holding part according to any one of inventions 1 to 17, wherein the optical part holding An optical component holding component characterized in that the edges of all through-hole openings on the back side of the portion where the optical component holding portion of the component is formed are chamfered.

本発明の例としての発明1〜18を展開してなされた第19の発明(以下、発明19ともいう)は、発明1〜18のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品載置部になっている光学部品保持部の底部を構成している肉部のうちの隣り合った2つの貫通孔の間の部分、すなわち、隣り合った2つの貫通孔の間の部分を島部と定義して、前記光学部品載置部の島部の当該光学部品載置部における幅寸法が0.6〜2mmであることを特徴とする光学部品保持部品である。   A nineteenth invention (hereinafter also referred to as an invention 19) made by developing the inventions 1 to 18 as examples of the present invention is the optical component holding part according to any one of the inventions 1 to 18, wherein the optical part mounting is described above. The portion between two adjacent through-holes of the meat portion constituting the bottom of the optical component holding portion that is the mounting portion, that is, the portion between the two adjacent through-holes is an island portion The optical component holding component is characterized in that the width dimension of the island portion of the optical component mounting portion in the optical component mounting portion is 0.6 to 2 mm.

本発明の例としての発明1〜19を展開してなされた第20の発明(以下、発明20ともいう)は、発明1〜19のいずれかに記載の光学部品保持部品において、複数の隣り合った前記光学部品保持部の間には、前記光学部品保持部の前記光学部品載置部の周縁部よりも0.5mm以上浅い溝(以下、連結溝ともいう)が形成されていることを特徴とする光学部品保持部品である。   A twentieth invention (hereinafter also referred to as an invention 20) made by developing the inventions 1 to 19 as examples of the present invention is the optical component holding part according to any one of the inventions 1 to 19, wherein a plurality of adjacent parts are provided. In addition, a groove (hereinafter also referred to as a connecting groove) that is shallower by 0.5 mm or more than the peripheral edge of the optical component mounting portion of the optical component holding portion is formed between the optical component holding portions. It is an optical component holding component.

本発明の例としての発明20を展開してなされた第21の発明(以下、発明21ともいう)は、発明20に記載の光学部品保持部品において、複数の前記連結溝が光学部品保持部品の表面で一方向に平行に形成されていることを特徴とする光学部品保持部品である。   A twenty-first invention (hereinafter also referred to as invention 21) made by developing Invention 20 as an example of the present invention is the optical component holding component according to Invention 20, wherein the plurality of connecting grooves are optical component holding components. An optical component holding part formed on a surface in parallel in one direction.

本発明の例としての発明1〜21を展開してなされた第22の発明(以下、発明22ともいう)は、発明1〜21のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品の表面の周辺部に複数のピン状の凸部と前記ピン状の凸部をはめ込むことができる複数の凹部(以下、表面凹部ともいう)が形成されており、前記光学部品保持部品の表面の前記凸部が形成されている位置の裏面には、前記ピン状の凸部をはめ込むことができる凹部(以下、裏面凹部ともいう)が形成されており、前記表面の凸部をその裏側に形成されている凹部にはめ込んで、複数の前記光学部品保持部品を結合させることができる構造になっていることを特徴とする光学部品保持部品である。   A twenty-second invention (hereinafter also referred to as invention 22) made by developing inventions 1-21 as examples of the present invention is the optical component holding part according to any one of inventions 1-21, wherein the optical part holding A plurality of pin-shaped convex portions and a plurality of concave portions (hereinafter also referred to as surface concave portions) capable of fitting the pin-shaped convex portions are formed in the peripheral portion of the surface of the component, and the surface of the optical component holding component A concave portion (hereinafter also referred to as a rear concave portion) into which the pin-shaped convex portion can be fitted is formed on the back surface of the position where the convex portion is formed, and the convex portion on the front surface is on the back side. An optical component holding part characterized in that the optical part holding part is structured so as to be fitted into a formed recess and to couple a plurality of the optical part holding parts.

本発明の例としての発明1〜22を展開してなされた第23の発明(以下、発明23ともいう)は、発明1〜22のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品の表側周縁部、すなわち、前記光学部品保持部が形成されている側の周縁部の形状は、高さの異なる表側外側周縁部とその内側の周縁部(以下、表側内側周縁部ともいう)の2種類の周縁部を有する2段形状(以下、表側2段形状ともいう)になっており、前記表側2段形状は、当該光学部品保持部品の表面から裏面に向かう方向を高さの低い方向と定義して、前記表側外側周縁部が前記表側内側周縁部よりも高さが低く形成されており、前記表側内側周縁部に前記凸部と表面凹部が形成されており、前記表側内側周縁部の内側に前記光学部品保持部が形成されており、前記光学部品保持部品の裏側周縁部は高さの異なる裏側外側周縁部とその内側の周縁部(以下、裏側内側周縁部ともいう)の2段形状(以下、裏側2段形状ともいう)になっており、前記裏側2段形状は、前記裏側外側周縁部が前記裏側内側周縁部よりも高さが低く、すなわち、前記光学部品保持部品の裏面において前記裏側外側周縁部から前記裏側内側周縁部が窪んでいるように形成されており、前記裏側内側周縁部の内側に前記光学部品保持部の貫通孔が形成されており、異なる2つの前記光学部品保持部品を、一方の前記光学部品保持部品の前記表側内側周縁部を他方の前記光学部品保持部品の前記裏側内側周縁部に係合させて、前記一方の光学部品保持部品の前記表側内側周縁部に形成されている凸部を前記他方の光学部品保持部品の前記裏側内側周縁部に形成されている裏面凹部にはめ込んで接続することができる構造になっていることを特徴とする光学部品保持部品である。   A twenty-third invention (hereinafter also referred to as invention 23) made by developing inventions 1-22 as examples of the present invention is the optical component holding part according to any one of inventions 1-22, wherein the optical part holding The shape of the front peripheral edge of the component, that is, the peripheral edge on the side where the optical component holding part is formed is the front outer peripheral edge and the inner peripheral edge (hereinafter also referred to as the front inner peripheral edge) having different heights. The two-stage shape (hereinafter also referred to as the front-side two-stage shape) having the two types of peripheral portions is the height of the front-side two-stage shape in the direction from the front surface to the back surface of the optical component holding component. The front outer periphery is defined to be lower in height than the front inner periphery, and the front inner periphery is formed with the protrusion and the surface recess. The optical component holding part is formed inside the part The back side peripheral edge of the optical component holding component has a two-stage shape (hereinafter referred to as a back-side two-stage shape) of a back-side outer peripheral edge having a different height and an inner peripheral edge (hereinafter also referred to as back-side inner peripheral edge) The backside two-stage shape is such that the backside outer peripheral edge has a lower height than the backside inner peripheral edge, that is, the backside outer peripheral edge on the backside of the optical component holding component. An inner peripheral edge is formed to be depressed, a through hole of the optical component holding part is formed inside the back inner peripheral edge, and two different optical component holding parts are connected to one of the optical parts. A convex portion formed on the front inner peripheral edge of the one optical component holding component by engaging the front inner peripheral edge of the component holding component with the rear inner peripheral portion of the other optical component holding component. The other optical An optical component holding parts, characterized in that has a structure which can be connected is fitted on the back recess formed on the back side inner periphery of the article holding part.

本発明の例としての発明1〜23を展開してなされた第24の発明(以下、発明24ともいう)は、発明1〜23のいずれかに記載の光学部品保持部品において、異なる2つの前記光学部品保持部品を、一方の前記光学部品保持部品は光学部品保持部が形成されている表側を上側にして、他方の前記光学部品保持部品は光学部品保持部が形成されている表側を下側にして、2つの前記光学部品保持部品を重ね合わせたときに、前記一方の光学部品保持部品の前記表側内側周縁部に形成されている凸部を前記他方の光学部品保持部品の前記表側内側周縁部に形成されている表面凹部にはめ込んで、接続することができる構造になっていることを特徴とする光学部品保持部品である。   A twenty-fourth invention (hereinafter also referred to as invention 24) made by developing inventions 1 to 23 as examples of the present invention is the optical component holding part according to any one of inventions 1 to 23. The optical component holding component is arranged such that one of the optical component holding components has the front side on which the optical component holding unit is formed as the upper side, and the other optical component holding component has the front side on which the optical component holding unit is formed as the lower side. When the two optical component holding components are overlapped, the convex portion formed on the front side inner peripheral portion of the one optical component holding component is changed to the front side inner peripheral portion of the other optical component holding component. It is an optical component holding part characterized in that it has a structure that can be connected by being fitted into a surface recess formed in the part.

本発明の例としての発明24を展開してなされた第25の発明(以下、発明25ともいう)は、発明24に記載の光学部品保持部品において、2つの前記光学部品保持部品を、一方の前記光学部品保持部品は光学部品保持部が形成されている表側を上側にして、他方の前記光学部品保持部品は光学部品保持部が形成されている表側を下側にして、2つの前記光学部品保持部品を重ね合わせたときに、少なくとも一部の前記一方の光学部品保持部品の表面と前記他方の光学部品保持部品の表面との間に0.1〜0.5mmのギャップができる構造になっていることを特徴とする光学部品保持部品である。   A twenty-fifth invention (hereinafter also referred to as invention 25) made by developing the invention 24 as an example of the present invention is the optical component holding part according to the invention 24, wherein the two optical part holding parts are The optical component holding component has the front side on which the optical component holding portion is formed facing up, and the other optical component holding component is on the bottom side where the optical component holding portion is formed facing down. When the holding components are overlapped, a gap of 0.1 to 0.5 mm is formed between at least a part of the surface of the one optical component holding component and the surface of the other optical component holding component. It is an optical component holding component.

本発明の例としての発明1〜25を展開してなされた第26の発明(以下、発明26ともいう)は、発明1〜25のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品の隣り合った2つの前記光学部品保持部の間隔が0.6mm以上であることを特徴とする光学部品保持部品である。   A twenty-sixth invention (hereinafter also referred to as invention 26) made by developing inventions 1 to 25 as examples of the present invention is the optical component holding part according to any one of inventions 1 to 25. An optical component holding component, wherein an interval between two optical component holding portions adjacent to each other is 0.6 mm or more.

本発明の例としての発明23〜26を展開してなされた第27の発明(以下、発明28ともいう)は、発明23〜26のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品の表側内側周縁部に、前記表側内側周縁部の半分以上の周部分に当該光学部品保持部品の前記裏側内側周縁部に達する貫通孔が形成されていることを特徴とする光学部品保持部品である。   A twenty-seventh invention (hereinafter also referred to as invention 28) made by developing inventions 23 to 26 as examples of the present invention is the optical component holding part according to any one of inventions 23 to 26, wherein An optical component holding component characterized in that a through-hole reaching the back inner peripheral edge of the optical component holding component is formed in a peripheral portion of the front side inner peripheral portion of the component at a half or more of the peripheral portion of the front side inner peripheral portion. is there.

本発明の例としての発明1〜27を展開してなされた第28の発明(以下、発明28ともいう)は、発明1〜27のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品の前記光学部品保持部の上方から見た輪郭形状が四角形であることを特徴とする光学部品保持部品である。   A twenty-eighth invention (hereinafter also referred to as invention 28) made by developing inventions 1-27 as an example of the present invention is the optical component holding part according to any one of inventions 1-27. An optical component holding component characterized in that a contour shape of the component viewed from above the optical component holding portion is a quadrangle.

本発明の例としての発明28を展開してなされた第29の発明(以下、発明29ともいう)は、発明28に記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品の四角形の一隅に切欠部が形成されていることを特徴とする光学部品保持部品である。   A twenty-ninth invention (hereinafter also referred to as invention 29) made by developing the invention 28 as an example of the present invention is an optical component holding part according to the invention 28, in which a cut-out is formed at one corner of the square of the optical part holding part. An optical component holding component characterized in that a portion is formed.

本発明の例としての発明1〜29を展開してなされた第30の発明(以下、発明30ともいう)は、発明1〜29のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部が縦横にマトリクス状に配置されていることを特徴とする光学部品保持部品である。   A thirtieth invention (hereinafter also referred to as invention 30) made by developing inventions 1 to 29 as examples of the present invention is the optical component holding part according to any one of inventions 1 to 29, wherein the optical part holding It is an optical component holding part characterized in that the parts are arranged in a matrix in the vertical and horizontal directions.

本発明の例としての発明1〜30を展開してなされた第31の発明(以下、発明31ともいう)は、発明1〜30のいずれかに記載の光学部品保持部品において、少なくとも1つの前記光学部品保持部における前記光学部品載置部の上方から見た前記光学部品保持部の輪郭形状が四角形であることを特徴とする光学部品保持部品である。   A thirty-first invention (hereinafter also referred to as invention 31) made by developing inventions 1 to 30 as examples of the present invention is the optical component holding part according to any one of inventions 1 to 30, wherein at least one of the above The optical component holding component of the optical component holding unit is characterized in that a contour shape of the optical component holding unit viewed from above the optical component mounting unit is a quadrangle.

本発明の例としての発明31を展開してなされた第32の発明(以下、発明32ともいう)は、発明31に記載の光学部品保持部品において、少なくとも1つの前記光学部品保持部における前記光学部品載置部の上方から見た前記光学部品保持部の輪郭形状が長方形であることを特徴とする光学部品保持部品である。   A thirty-second invention (hereinafter also referred to as invention 32) made by developing the invention 31 as an example of the present invention is the optical component holding part according to the invention 31, wherein the optical in the at least one optical part holding part is The optical component holding component is characterized in that a contour shape of the optical component holding portion viewed from above the component placement portion is rectangular.

本発明の例としての発明1〜30を展開してなされた第33の発明(以下、発明33ともいう)は、発明1〜30のいずれかに記載の光学部品保持部品において、少なくとも1つの前記光学部品保持部における前記光学部品載置部の上方から見た前記光学部品保持部の輪郭形状が円形であることを特徴とする光学部品保持部品である。   A thirty-third invention (hereinafter also referred to as invention 33) made by developing inventions 1 to 30 as examples of the present invention is the optical component holding part according to any one of inventions 1 to 30, wherein at least one of the above An optical component holding component, wherein the optical component holding portion of the optical component holding portion as viewed from above the optical component holding portion has a circular contour shape.

本発明の例としての発明1〜30を展開してなされた第34の発明(以下、発明34ともいう)は、発明1〜30のいずれかに記載の光学部品保持部品において、少なくとも1つの前記光学部品保持部における前記光学部品載置部の上方から見た前記光学部品保持部の輪郭形状が楕円形あるいは長円形であることを特徴とする光学部品保持部品である。   A thirty-fourth invention (hereinafter also referred to as invention 34) made by developing inventions 1 to 30 as examples of the present invention is the optical component holding part according to any one of inventions 1 to 30, wherein at least one of the above The optical component holding component of the optical component holding portion is characterized in that an outline shape of the optical component holding portion viewed from above the optical component placement portion is an ellipse or an oval.

本発明の例としての発明1〜30を展開してなされた第35の発明(以下、発明35ともいう)は、発明1〜30のいずれかに記載の光学部品保持部品において、少なくとも1つの前記光学部品保持部における前記光学部品載置部の上方から見た前記光学部品保持部の輪郭形状が長穴形状すなわち細長い穴の形状であることを特徴とする光学部品保持部品である。   A thirty-fifth invention (hereinafter also referred to as invention 35) made by developing inventions 1 to 30 as examples of the present invention is the optical component holding part according to any one of inventions 1 to 30, wherein at least one of the above The optical component holding component of the optical component holding portion is characterized in that the outline shape of the optical component holding portion viewed from above the optical component placing portion is an elongated hole shape, that is, an elongated hole shape.

本発明の例としての発明1〜35を展開してなされた第36の発明(以下、発明36ともいう)は、発明1〜35のいずれかに記載の光学部品保持部品において、少なくとも1つの前記光学部品保持部が、光学部品保持部の少なくとも一方向の寸法を変えることができる光学部品保持部(以下、可変光学部品保持部ともいう)として形成されていることを特徴とする光学部品保持部品である。   A thirty-sixth invention (hereinafter also referred to as invention 36) made by developing inventions 1-35 as examples of the present invention is the optical component holding part according to any one of inventions 1-35, wherein at least one of the above An optical component holding part, wherein the optical component holding part is formed as an optical part holding part (hereinafter also referred to as a variable optical part holding part) capable of changing a dimension in at least one direction of the optical component holding part. It is.

本発明の例としての発明36を展開してなされた第37の発明(以下、発明37ともいう)は、発明36に記載の光学部品保持部品において、前記可変光学部品保持部の少なくとも一方向の寸法を変える手段が着脱可能な仕切部(以下、可変仕切部ともいう)による手段であることを特徴とする光学部品保持部品である。   A thirty-seventh invention (hereinafter also referred to as invention 37) made by developing the invention 36 as an example of the present invention is the optical component holding part according to the invention 36, wherein at least one direction of the variable optical part holding part is provided. The optical component holding component is characterized in that the means for changing the dimension is a means by a detachable partition (hereinafter also referred to as a variable partition).

本発明の例としての発明36または37を展開してなされた第38の発明(以下、発明38ともいう)は、発明36または37に記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部の上方から見た前記光学部品保持部品は、その一方の方向(以下、縦方向ともいう)に、前記可変光学部品保持部が、固定されている仕切部(以下、固定仕切部ともいう)によって仕切られて、複数列配置されており、前記可変光学部品保持部は、前記光学部品保持部品の縦方向におおむね直交する方向(以下、横方向ともいう)に前記可変仕切部を移動して配置することができる構造になっていることを特徴とする光学部品保持部品である。   A thirty-eighth invention (hereinafter also referred to as invention 38) made by developing the invention 36 or 37 as an example of the present invention is the optical component holding part according to the invention 36 or 37, above the optical part holding part. The optical component holding component viewed from above is partitioned in one direction (hereinafter also referred to as a vertical direction) by a partition portion (hereinafter also referred to as a fixed partition portion) to which the variable optical component holding portion is fixed. The variable optical component holding part is arranged by moving the variable partitioning part in a direction generally orthogonal to the vertical direction of the optical component holding part (hereinafter also referred to as a horizontal direction). It is an optical component holding part characterized by having a structure capable of.

本発明の例としての発明36〜38を展開してなされた第39の発明(以下、発明39ともいう)は、発明36〜38のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部の上方から見た前記光学部品保持部品は、その一方の方向(以下、縦方向ともいう)に、前記可変光学部品保持部が、可変仕切部によって仕切られて、複数列配置されており、前記可変光学部品保持部は、前記光学部品保持部品の縦方向におおむね直交する方向(以下、横方向ともいう)に前記可変仕切部を移動して配置することができるとともに、縦方向にも前記可変仕切部を移動して配置することができる構造になっていることを特徴とする光学部品保持部品である。   A thirty-ninth invention (hereinafter also referred to as invention 39) made by developing the inventions 36 to 38 as examples of the present invention is the optical component holding part according to any one of the inventions 36 to 38. The optical component holding component viewed from above the portion is arranged in a plurality of rows in one direction (hereinafter, also referred to as a vertical direction), the variable optical component holding portion being partitioned by a variable partitioning portion, The variable optical component holding portion can be arranged by moving the variable partition portion in a direction (hereinafter, also referred to as a horizontal direction) generally orthogonal to the vertical direction of the optical component holding component, and also in the vertical direction. An optical component holding component characterized in that the variable partition portion can be moved and arranged.

本発明の例としての発明37〜39を展開してなされた第40の発明(以下、発明40ともいう)は、発明37〜39のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記可変仕切部を前記固定仕切部または当該可変仕切部とは異なる可変仕切部に装着することができる取付部(以下、可変仕切部取付部ともいう)が設けられていることを特徴とする光学部品保持部品である。   A fortieth invention (hereinafter also referred to as invention 40) made by developing the inventions 37 to 39 as examples of the present invention is the optical component holding part according to any of the inventions 37 to 39, wherein the variable partition portion An optical component holding component characterized in that an attachment portion (hereinafter also referred to as a variable partition portion attachment portion) that can be attached to the fixed partition portion or a variable partition portion different from the variable partition portion is provided. is there.

本発明の例としての発明36〜40を展開してなされた第41の発明(以下、発明41ともいう)は、発明36〜40のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部には、少なくとも2つの前記貫通孔が、前記可変仕切部に平行な方向に、当該光学部品載置部の一端から他端に至る開口部を有するように形成されていることを特徴とする光学部品保持部品である。   A forty-first invention (hereinafter also referred to as invention 41) made by developing inventions 36 to 40 as examples of the present invention is the optical component holding part according to any one of inventions 36 to 40, wherein In the part, at least two of the through holes are formed so as to have openings from one end to the other end of the optical component mounting portion in a direction parallel to the variable partition portion. It is an optical component holding component.

本発明の例としての発明36〜41を展開してなされた第42の発明(以下、発明42ともいう)は、発明36〜41のいずれかに記載の光学部品保持部品において、少なくとも1つの前記可変光学部品保持部は、横方向の両端部に固定仕切部を有し、前記両固定仕切部の間には可変仕切部を着脱可能に取付けることができる取付部が複数設けられていることを特徴とする光学部品保持部品である。   A forty-second invention (hereinafter also referred to as an invention 42) made by developing the inventions 36 to 41 as examples of the present invention is the optical component holding part according to any one of the inventions 36 to 41. The variable optical component holding portion has fixed partition portions at both ends in the lateral direction, and a plurality of attachment portions to which the variable partition portions can be detachably attached are provided between the both fixed partition portions. This is an optical component holding component.

本発明の例としての発明36〜42を展開してなされた第43の発明(以下、発明43ともいう)は、発明36〜42のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品の縦方向に前記可変光学部品保持部が複数列配置されており、各列の横方向には少なくとも1つの前記可変光学部品保持部が配置されていることを特徴とする光学部品保持部品である。   A forty-third invention (hereinafter also referred to as invention 43) made by developing inventions 36 to 42 as an example of the present invention is the optical component holding part according to any one of inventions 36 to 42. A plurality of the variable optical component holding portions are arranged in the vertical direction of the component, and at least one of the variable optical component holding portions is arranged in the horizontal direction of each row. is there.

本発明の例としての発明42または43を展開してなされた第44の発明(以下、発明44ともいう)は、発明42または43に記載の光学部品保持部品において、前記複数列の可変光学部品保持部を仕切っている固定仕切部または可変仕切部には、前記複数列の可変光学部品保持部にまたがって各可変光学部品保持部を仕切ることができる前記可変仕切部を装着することができる前記可変仕切部取付部が複数箇所に設けられていることを特徴とする光学部品保持部品である。   A forty-fourth invention (hereinafter also referred to as an invention 44) made by developing the invention 42 or 43 as an example of the present invention is the optical component holding part according to the invention 42 or 43, wherein the plurality of rows of variable optical parts are arranged. The fixed partition portion or the variable partition portion that partitions the holding portion can be equipped with the variable partition portion that can partition each variable optical component holding portion across the plurality of rows of variable optical component holding portions. An optical component holding component, wherein the variable partition mounting portion is provided at a plurality of locations.

本発明の例としての発明44を展開してなされた第45の発明(以下、発明45ともいう)は、発明44に記載の光学部品保持部品において、前記固定仕切部または可変仕切部には前記可変仕切部取付部が等間隔に配置されていることを特徴とする光学部品保持部品である。   A forty-fifth invention (hereinafter also referred to as invention 45) made by developing the invention 44 as an example of the present invention is the optical component holding part according to the invention 44, wherein the fixed partition portion or the variable partition portion includes the An optical component holding component, wherein the variable partition mounting portions are arranged at equal intervals.

本発明の例としての発明40〜45を展開してなされた第46の発明(以下、発明46ともいう)は、発明40〜45のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記可変仕切部の前記可変仕切部取付部に装着する部分には、前記可変仕切部取付部に挿入することが出来る凸部(以下、係合凸部ともいう)が設けられていることを特徴とする光学部品保持部品である。   A forty-sixth invention (hereinafter also referred to as invention 46) made by developing inventions 40 to 45 as examples of the present invention is the optical component holding part according to any one of inventions 40 to 45, wherein the variable partition portion An optical component characterized in that a convex portion (hereinafter also referred to as an engaging convex portion) that can be inserted into the variable partition portion mounting portion is provided in a portion that is attached to the variable partition portion mounting portion. It is a holding part.

本発明の例としての発明46を展開してなされた第47の発明(以下、発明47ともいう)は、発明46に記載の光学部品保持部品において、前記係合凸部の外形が細長い曲面であることを特徴とする光学部品保持部品である。   A forty-seventh invention (hereinafter also referred to as invention 47) made by developing invention 46 as an example of the present invention is the optical component holding part according to invention 46, wherein the outer shape of the engaging convex portion is a slender curved surface. It is an optical component holding part characterized by being.

本発明の例としての発明46または47を展開してなされた第48の発明(以下、発明48ともいう)は、発明46または47に記載の光学部品保持部品において、前記係合凸部の外形が円筒の側面の一部であることを特徴とする光学部品保持部品である。   A forty-eighth invention (hereinafter also referred to as invention 48) made by developing invention 46 or 47 as an example of the present invention is the optical component holding part according to invention 46 or 47, wherein the outer shape of the engaging convex portion is as follows. Is a part of the side surface of the cylinder.

本発明の例としての発明46を展開してなされた第49の発明(以下、発明49ともいう)は、発明46に記載の光学部品保持部品において、前記係合凸部の外形が球面の一部であることを特徴とする光学部品保持部品である。   A forty-ninth aspect of the invention (hereinafter also referred to as "invention 49") developed by developing the invention 46 as an example of the present invention is the optical component holding part according to the invention 46, wherein the outer shape of the engaging convex portion is a spherical surface. It is an optical component holding part characterized by being a part.

本発明の例としての発明46を展開してなされた第50の発明(以下、発明50ともいう)は、発明46に記載の光学部品保持部品において、前記係合凸部の外形が三角柱の一部であることを特徴とする光学部品保持部品である。   According to a fifty invention (hereinafter also referred to as invention 50) made by developing the invention 46 as an example of the present invention, in the optical component holding part according to the invention 46, the outer shape of the engaging convex portion is a triangular prism. It is an optical component holding part characterized by being a part.

本発明の例としての発明46〜50を展開してなされた第51の発明(以下、発明51ともいう)は、発明46〜50のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記可変仕切部の前記可変仕切部取付部が、前記可変仕切部の、それを装着することができる全ての各固定仕切部または可変仕切部に交差する位置に設けられていることを特徴とする光学部品保持部品である。   A fifty-first invention (hereinafter also referred to as invention 51) made by developing the inventions 46 to 50 as examples of the present invention is the optical component holding part according to any one of the inventions 46 to 50, wherein the variable partition portion. The variable partition portion mounting portion is provided at a position of the variable partition portion that intersects all the fixed partition portions or variable partition portions to which the variable partition portion can be mounted. It is.

本発明の例としての発明46〜51を展開してなされた第52の発明(以下、発明52ともいう)は、発明46〜51のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記可変仕切部の前記係合凸部を含めた厚み寸法が、前記係合凸部が装着される前記可変仕切部取付部の寸法よりも0.01〜0.1mm大きいことを特徴とする光学部品保持部品である。   A fifty-second invention (hereinafter also referred to as invention 52) made by developing the inventions 46 to 51 as examples of the present invention is the optical component holding part according to any one of the inventions 46 to 51, wherein the variable partition portion. An optical component holding part characterized in that a thickness dimension including the engaging convex part is 0.01 to 0.1 mm larger than a dimension of the variable partition mounting part to which the engaging convex part is attached. is there.

本発明の例としての発明37〜52を展開してなされた第53の発明(以下、発明53ともいう)は、発明37〜52のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記可変仕切部の前記光学部品保持部の底部に当接する部分の形状が、光学部品保持部の底部の形状と同じ形状であることを特徴とする光学部品保持部品である。   A thirty-third invention (hereinafter also referred to as an invention 53) made by developing the inventions 37 to 52 as examples of the present invention is the optical component holding part according to any one of the inventions 37 to 52, wherein the variable partition portion The optical component holding component is characterized in that the shape of the portion in contact with the bottom of the optical component holding portion is the same as the shape of the bottom of the optical component holding portion.

本発明の例としての発明1〜53を展開してなされた第54の発明(以下、発明54ともいう)は、発明1〜53のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品が樹脂の一体成形技術によって形成されていることを特徴とする光学部品保持部品である。   A fifty-fourth invention (hereinafter also referred to as invention 54) made by developing inventions 1 to 53 as examples of the present invention is the optical component holding part according to any one of inventions 1 to 53, wherein An optical component holding component, wherein the component is formed by a resin integral molding technique.

前記の課題を解決せんとしてなされた本発明の例としての第55の発明(以下、発明55ともいう)は、光学部品の洗浄と洗浄した光学部品のスピン乾燥の少なくとも一方に使用することができる光学部品保持部品であって、前記光学部品保持部品は被洗浄物あるいは被乾燥物としての光学部品を載置して保持することができる光学部品保持部を複数有しており、複数の前記光学部品保持部は、そこに保持される光学部品を載置することができる光学部品載置部を有しているとともに、それぞれ隣にある他の光学部品保持部と互いに区別される仕切部を有しており、前記光学部品載置部には前記光学部品載置部の表側すなわち前記光学部品を載置する側から前記光学部品保持部の光学部品挿入側とは反対側(以下、光学部品保持部品の裏側ともいう)まで貫通して形成されている貫通孔が少なくとも2つ形成されており、前記貫通孔の少なくとも2つは、前記光学部品載置部において、各貫通孔の開口部の一部が前記光学部品載置部の対向する両端部のうちのいずれかの端部に0.5mm以内の誤差を許容してそれぞれ接して形成されていることを特徴とする光学部品保持部品である。   The 55th invention (hereinafter also referred to as invention 55) as an example of the present invention, which has been made by solving the above-mentioned problems, can be used for at least one of cleaning of an optical component and spin drying of the cleaned optical component. An optical component holding component, wherein the optical component holding component has a plurality of optical component holding portions on which an optical component as an object to be cleaned or an object to be dried can be placed and held. The component holding portion has an optical component placement portion on which an optical component held therein can be placed, and a partition portion that is distinguished from each other adjacent optical component holding portion. The optical component placement section has a side opposite to the optical component insertion side of the optical component holding portion from the front side of the optical component placement portion, that is, the side on which the optical component is placed (hereinafter referred to as the optical component holding portion). On the back of the parts At least two through-holes formed so as to penetrate the optical component mounting portion, and at least two of the through-holes are formed in the optical component placement portion so that a part of the opening of each through-hole is the optical The optical component holding component is characterized in that it is formed in contact with any one of the opposing end portions of the component mounting portion while allowing an error within 0.5 mm.

以上、本発明の例を説明したが、本発明はこれらに狭く限定されるものではなく、多くのバリエーションを可能とするものであることは、以上の説明と以下の説明から明らかである。   As mentioned above, although the example of this invention was demonstrated, this invention is not limited to these narrowly and it is clear from the above description and the following description that many variations are possible.

以上説明したような本発明により、従来は手拭き工程を使わなければ到底乾燥することができなかった洗浄後の小型の光学部品のスピン乾燥を、手拭き工程を不可欠とせずに、一度に大量に短時間で、高い品質で乾燥することができるようになった。   According to the present invention as described above, spin drying of a small optical component after cleaning, which could not be dried without using a hand wiping process, has been shortened in large quantities at once without making the hand wiping process indispensable. In time, it became possible to dry with high quality.

本発明によって、シミや傷のない清浄な光学面を、バラツキの少ない、量産に適した製造方法で実現することができた。   According to the present invention, a clean optical surface free from spots and scratches can be realized by a manufacturing method suitable for mass production with little variation.

本発明は、本発明の光学部品保持部品を用いた洗浄・乾燥によって、その後につける蒸着膜の強度が向上し、従来のような蒸着膜の剥げ落ちも心配しなくて良くなり、また、被洗浄物が清浄に洗浄されることから、たとえば、ディジカメ(ディジタルカメラ)等に使用されるレンズのプレス加工工程において、その原料となるボール材を型成形する際にボール材の汚れによって型に生じていた型の傷の発生を防ぐことができ、ボールレンズをプレス加工する型の寿命が大幅に長くなるなどの多くの効果をもたらした。前記型は非常に高価なものであり、本発明は、レンズの品質向上のみならず製造コストの大幅低減をもたらした効果は大きい。   In the present invention, the strength of the deposited film to be applied thereafter is improved by washing and drying using the optical component holding part of the present invention, and there is no need to worry about the peeling off of the deposited film as in the prior art. Since the washed object is washed cleanly, for example, in the press working process of a lens used for a digital camera (digital camera) or the like, when the ball material as the raw material is molded, it is generated in the mold due to the contamination of the ball material. It was possible to prevent the occurrence of scratches on the mold that had been used, and brought many effects such as significantly extending the service life of the mold that presses the ball lens. The mold is very expensive, and the present invention has a great effect of not only improving the quality of the lens but also greatly reducing the manufacturing cost.

前記のように、本発明の光学部品保持部品を用いた洗浄・乾燥によって、極めて高品質な清浄な光学面を高い歩留まりで得ることができるようになったため、従来は、検査において傷なのか汚れなのかを先ず綿棒などでこすって確認する必要があったのが、本発明の実施によって、汚れがなくなったので、傷であることの判定が容易になり、洗浄・乾燥後の光学面の検査時間を大幅に短縮することができた。   As described above, the cleaning and drying using the optical component holding component of the present invention has made it possible to obtain a very high-quality clean optical surface with a high yield. First of all, it was necessary to check by rubbing with a cotton swab etc., but since the dirt was removed by the implementation of the present invention, it was easy to judge that it was a scratch, and the optical surface was inspected after cleaning and drying. I was able to save a lot of time.

本発明の光学部品保持部品は樹脂成形加工を用いることができ、適切な樹脂の選定により、高性能な光学部品保持部品を安価に得ることができる。   The optical component holding component of the present invention can use resin molding, and a high-performance optical component holding component can be obtained at a low cost by selecting an appropriate resin.

また、本発明により、多種類の光学部品の洗浄・乾燥にも、従来のように多種類の光学部品保持部品を用意する必要がなくなった効果は大きい。   In addition, according to the present invention, it is not necessary to prepare various types of optical component holding parts as in the prior art for cleaning and drying various types of optical components.

以上のように、本発明は工業上多大な効果を発揮するものである。   As described above, the present invention exhibits a great industrial effect.

以下、図面を参照して本発明の実施の形態の例について説明する。なお、説明に用いる各図は本発明の例を理解できる程度に各構成成分の寸法、形状、配置関係などを概略的に示してある。そして本発明の説明の都合上、部分的に拡大率を変えて図示する場合もあり、本発明の例の説明に用いる図は、必ずしも実施例などの実物や記述と相似形でない場合もある。また、各図において、同様な構成成分については同一の番号を付けて示し、重複する説明を省略することもある。   Examples of embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. The drawings used for the description schematically show the dimensions, shapes, arrangement relationships, and the like of each component to the extent that an example of the present invention can be understood. For convenience of explanation of the present invention, there may be cases where the enlargement ratio is partially changed for illustration, and the drawings used for explanation of the examples of the present invention may not necessarily be similar to the actual objects and descriptions of the embodiments. Moreover, in each figure, about the same component, it attaches and shows the same number, The overlapping description may be abbreviate | omitted.

図34は、洗浄や乾燥工程において用いるクレードルについて説明する図である。図34中の(A)はクレードルを上方から見た図、(B)はクレードルを手前から見た図、(C)はクレードルを右側方から見た図で、点線801〜804でそれらの対応する位置関係を示してある。   FIG. 34 is a diagram illustrating a cradle used in a cleaning or drying process. 34A is a view of the cradle as viewed from above, FIG. 34B is a view of the cradle as viewed from the front side, and FIG. 34C is a view of the cradle as viewed from the right side. The positional relationship is shown.

図34で、符号800はクレードル、811〜814はクレードルの側壁、820と821は側壁812と813の下部につけられているピン、830はクレードル800をもつときに用いる取っ手部分、852〜855はそれぞれ側壁811〜814の内側の下方(すなわち、クレードルの底部)に設けられた支柱、851は洗浄・乾燥用の光学部品保持部品を載置する載置部で支柱852〜854に固定されている。クレードル800は、たとえばステンレス鋼製のものを用いることができる。   34, reference numeral 800 is a cradle, 811 to 814 are side walls of the cradle, 820 and 821 are pins attached to the lower portions of the side walls 812 and 813, 830 is a handle portion used when the cradle 800 is held, and 852 to 855 are respectively A support column 851 provided below the inner side of the side walls 811 to 814 (that is, the bottom of the cradle) is a mounting unit for mounting an optical component holding component for cleaning and drying, and is fixed to the columns 852 to 854. The cradle 800 can be made of, for example, stainless steel.

図34で、光学部品を保持した洗浄・乾燥用の光学部品保持部品をクレードル800に入れて洗浄した光学部品のスピン乾燥を行う場合、洗浄・乾燥用の光学部品保持部品を載置部851の上に載置して、クレードルをスピン乾燥装置に装着する。載置部851は、これに限定されないが、クレードルの下方、たとえばピン820,821の位置よりわずかに上に形成しておき、平行平板の洗浄・乾燥用の光学部品保持部品を用いる場合は、スピン乾燥装置の回転体に装着した状態のクレードルの底面と載置部851と平行平板の洗浄・乾燥用の光学部品保持部品の表面と裏面がすべて平行になるように形成しておくと取扱上好都合である。   In FIG. 34, when the optical component holding component for cleaning / drying holding the optical component is placed in the cradle 800 and the cleaned optical component is spin-dried, the optical component holding component for cleaning / drying is placed on the mounting portion 851. Place the cradle on the spin dryer. The mounting portion 851 is not limited to this, but is formed below the cradle, for example, slightly above the position of the pins 820 and 821, and when using an optical component holding component for cleaning and drying parallel plates, For handling, if the bottom surface of the cradle mounted on the rotating body of the spin dryer and the front and back surfaces of the optical component holding parts for cleaning and drying the mounting portion 851 and the parallel plate are formed in parallel, Convenient.

図1〜図6は本発明の光学部品保持部品の実施の形態例を説明する図である。図1は光学部品保持部品200を光学部品を光学部品保持部に挿入する側すなわち表側から見た平面図、図2は光学部品保持部品200を光学部品を光学部品保持部に挿入する側とは反対側すなわち裏側から見た平面図で、図1のB1−B2を軸に左右回転させた状態の平面図である。図3は光学部品保持部品200の図1のB7−B8の位置における断面図である。図4は図1の光学部品保持部品200に形成された光学部品保持部202を光学部品保持部品200の表側から見た平面図、図5は図1の光学部品保持部品200の係合穴204近傍の断面図、図6は図1の光学部品保持部品200の係合突起部205近傍の断面図である。   FIGS. 1-6 is a figure explaining the example of embodiment of the optical component holding component of this invention. FIG. 1 is a plan view of the optical component holding component 200 as viewed from the side where the optical component is inserted into the optical component holding portion, that is, the front side. FIG. 2 is the side where the optical component holding component 200 is inserted into the optical component holding portion. It is the top view seen from the other side, ie, a back side, and is a top view of the state rotated right and left centering on B1-B2 of FIG. 3 is a cross-sectional view of the optical component holding component 200 at the position B7-B8 in FIG. 4 is a plan view of the optical component holding part 202 formed in the optical component holding component 200 of FIG. 1 as viewed from the front side of the optical component holding component 200, and FIG. 5 is an engagement hole 204 of the optical component holding component 200 of FIG. FIG. 6 is a cross-sectional view of the vicinity of the engaging protrusion 205 of the optical component holding component 200 of FIG.

図1〜図6で、符号200,200a,200bは本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品、201は基板、201aは基板200の表側すなわち光学部品保持部が形成されている側、201bは基板200の裏側すなわち光学部品保持部が形成されている側とは反対側、202は基板201の表側201aに凹部として形成されている光学部品保持部、203は光学部品保持部を結んで形成されている溝、204は基板201の表側のコーナー部に形成されている穴、205は基板201の表側のコーナー部に形成されている係合突起部、206はスペーサー突起、208と209は穴、212は光学部品載置部、213は光学部品保持部202の形成されている裏側部分、214a〜214dは光学部品載置部の島部(以下、島部それぞれをあるいはそれらを総称して島部214ともいう)、215a〜215eは光学部品載置部の貫通孔(以下、貫通孔それぞれをあるいはそれらを総称して貫通孔215ともいう)である。   1 to 6, reference numerals 200, 200a, and 200b denote optical component holding components as embodiments of the present invention, 201 denotes a substrate, 201a denotes the front side of the substrate 200, that is, the side on which the optical component holding portion is formed, 201b is the back side of the substrate 200, that is, the side opposite to the side where the optical component holding portion is formed, 202 is an optical component holding portion formed as a recess in the front side 201a of the substrate 201, and 203 is an optical component holding portion that is connected. Grooves formed, 204 are holes formed in the corners on the front side of the substrate 201, 205 are engaging projections formed in the corners on the front side of the substrate 201, 206 are spacer projections, and 208 and 209 are Holes 212, an optical component placement portion 213, a back side portion where the optical component holding portion 202 is formed, and 214 a to 214 d island portions (hereinafter referred to as islands) of the optical component placement portion. Each or also called island portion 214 a generic name of them), 215A~215e the through hole of the optical component placing part (hereinafter, a respective through hole or collectively referred to as a through-hole 215).

図1のように、本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品200は、平板状の基板201の表面201aに凹部として光学部品保持部202を縦横10行10列のマトリクス状に形成し、縦方向の各列に形成された各光学部品保持部202の間には溝203が形成されている。   As shown in FIG. 1, an optical component holding component 200 according to an embodiment of the present invention has an optical component holding portion 202 formed as a concave portion on a surface 201a of a flat substrate 201 in a matrix of 10 rows and 10 columns. A groove 203 is formed between the optical component holding portions 202 formed in each column in the vertical direction.

基板201の裏側201bには、基板表側の各光学部品保持部202が形成されている部分に、各光学部品保持部の位置する部分に光学部品保持部202の形成されている裏側部分213が形成されている。光学部品保持部202の形成されている裏側部分213は、同一形状・寸法の光学部品保持部品200を2枚、一方の光学部品保持部品200の裏側を他方の光学部品保持部品200の表側に重ねたときに、各光学部品保持部202の形成されている裏側部分213全体がそれぞれ各光学部品保持部202の位置に対応して形成されている。この構造は、スピン乾燥の水切れをよくするのみならず、光学部品がスピン乾燥時に飛び出すのを抑制する効果をもたらす。   On the back side 201b of the substrate 201, a back side portion 213 where the optical component holding portion 202 is formed is formed in a portion where each optical component holding portion 202 is formed on the front side of the substrate. Has been. The back side portion 213 on which the optical component holding part 202 is formed has two optical component holding components 200 having the same shape and dimensions, and the back side of one optical component holding component 200 is overlapped with the front side of the other optical component holding component 200. The entire back side portion 213 on which each optical component holding portion 202 is formed is formed corresponding to the position of each optical component holding portion 202. This structure not only improves drainage of spin drying, but also has an effect of suppressing the optical component from popping out during spin drying.

裏側201bの四隅に、穴208と穴209が対角線状に形成されており、同一形状・寸法の光学部品保持部品200を2枚、一方の光学部品保持部品200の裏側を他方の光学部品保持部品200の表側に重ねたときに、係合突起205が穴208に入って2枚の光学部品保持部品200が少し持ち上げられない限り、簡単にはずれないようになっている。このとき、スペーサ突起と基板の表面によって、重ねられた2枚の光学部品保持部品の表面間(すなわち、一方の光学部品保持部品の裏面と他方の光学部品保持部品の表面の間)に所定の間隔が保たれるようになっている。本実施の形態例においては、この所定の間隔を0.1〜0.5mmになっている。   A hole 208 and a hole 209 are formed diagonally at the four corners of the back side 201b. Two optical component holding components 200 having the same shape and size are provided, and the back side of one optical component holding component 200 is the other optical component holding component. When the two optical component holding parts 200 are slightly lifted when the engaging projection 205 enters the hole 208 when they are stacked on the front side of 200, they cannot be easily removed. At this time, a predetermined distance between the surfaces of the two stacked optical component holding components (that is, between the back surface of one optical component holding component and the surface of the other optical component holding component) is determined by the spacer protrusion and the surface of the substrate. The interval is kept. In the present embodiment, the predetermined interval is 0.1 to 0.5 mm.

1つの光学部品保持部202を図1の表面201aの真上から見ると、光学部品載置部には、図4のように、貫通孔215と島部214が交互に形成されている。光学部品載置部212は、図4のB9とB10を結んだ直線に関したおおむね対称形になっている。ように、貫通孔215と島部214が交互に形成されている。   When one optical component holding portion 202 is viewed from directly above the surface 201a in FIG. 1, through holes 215 and island portions 214 are alternately formed in the optical component mounting portion as shown in FIG. The optical component mounting portion 212 is generally symmetrical with respect to the straight line connecting B9 and B10 in FIG. As described above, the through holes 215 and the islands 214 are alternately formed.

光学部品保持部の外周形状すなわちその輪郭は、図1〜図6の例では、図1や図4のような平面図において円形の例について示しているが、この輪郭形状はこれに限られず、後述の例の四角形のものや、図示しないが、楕円形や長円形のような細長形状のものを用いることができる。したがって、以下の説明においては、円形の輪郭の外周形状の光学部品保持部を例に取りながら、前記他の形状にも当てはめることができる特徴等の説明を行う場合もある。これらの非厳密性は、本発明の技術思想からその適用性を容易に判断できるものである。   The outer peripheral shape of the optical component holding portion, that is, the contour thereof is shown in the example of FIGS. 1 to 6 as a circular example in a plan view such as FIG. 1 or FIG. 4, but this contour shape is not limited to this, A rectangular shape as described below, or an elongated shape such as an oval shape or an oval shape can be used. Therefore, in the following description, there may be a case where a feature that can be applied to the other shapes is described while taking an optical component holding portion having an outer peripheral shape with a circular outline as an example. These non-rigidities can be easily determined from the technical idea of the present invention.

光学部品載置部212には、図4のように、開口部が細長い形状の6個の貫通孔215a〜215eが形成されており、各貫通孔は、光学部品載置部の表面から基板裏側201bまで一様な形状・寸法の貫通孔になっている。この貫通孔の開口部が細長形状になっていることにより、乾燥時の洗浄液を除去する際に、洗浄液の泡により貫通孔の液流が止まってしまうことを防いでいる。   As shown in FIG. 4, the optical component placement section 212 has six through holes 215 a to 215 e with elongated openings, and each through hole extends from the surface of the optical component placement section to the back side of the substrate. The through hole has a uniform shape and size up to 201b. Since the opening of the through hole has an elongated shape, when the cleaning liquid at the time of drying is removed, the liquid flow in the through hole is prevented from being stopped by bubbles of the cleaning liquid.

図4で、各貫通孔215a〜215eはその島部側の辺が互いに平行に形成されている。そして、貫通孔215b、215c、215dは、(厳密には、その長手方向の端部を除いていう形状の場合もある)その中心線が互いに平行に(従って、各貫通孔が互いに平行に)形成されているとともに、光学部品載置部212の外周部212bの互いに対向している一端から他端まで連続して形成されている。貫通孔215cが光学部品載置部212の中心を通るように形成されている。光学部品載置部212の両端部に形成されている細長い貫通孔215aと貫通孔215eは、その細長い辺の一つ(それぞれ符号215a1と215e1で示した辺)が、光学部品載置部212の外周部212bの、貫通孔215b、212c、215dについて説明した互いに対向している端部とは別の、互いに対向している端部212cと端部212dのいずれかの端部に、それぞれ0.5mm以内の誤差を許容して、接して形成されている。これらの構造は、スピン乾燥時の洗剤残液の水切れを促進する効果を有する。貫通孔の開口部の一辺と光学部品載置部212の端部(外周部212b)の一部が0.5mm以内の誤差を許容して接して形成されていることは、樹脂を用いた成形技術で製造する場合、特別に製造コストの上昇を招かずにこの範囲の誤差で成形することが可能であることと、水切れ効果をあまり妨げずに済むことが、本発明の発明者等の検討によって確認されたことによる。   In FIG. 4, the through holes 215 a to 215 e are formed so that the sides on the island side are parallel to each other. The through-holes 215b, 215c, and 215d are formed so that their centerlines are parallel to each other (thus, strictly speaking, there may be shapes other than the longitudinal ends) (therefore, the through-holes are parallel to each other). In addition, the outer peripheral portion 212b of the optical component mounting portion 212 is continuously formed from one end to the other end facing each other. The through hole 215c is formed so as to pass through the center of the optical component placement portion 212. One of the elongated sides (sides indicated by reference numerals 215a1 and 215e1) of the elongated through hole 215a and the through hole 215e formed at both ends of the optical component placing unit 212 is the optical component placing unit 212. Each of the end portions 212c and 212d facing each other, which is different from the end portions facing the through holes 215b, 212c, and 215d of the outer peripheral portion 212b, is set to 0. It is formed so as to allow an error of 5 mm or less. These structures have an effect of promoting water drainage of the detergent residual liquid during spin drying. The fact that one side of the opening portion of the through hole and a part of the end portion (outer peripheral portion 212b) of the optical component mounting portion 212 are in contact with each other with an error of 0.5 mm or less is formed by using resin In the case of manufacturing by technology, the inventors of the present invention consider that it is possible to mold with an error within this range without incurring a special increase in manufacturing cost, and that the water draining effect is not much disturbed. Due to being confirmed by.

前記細長い貫通孔の細長い辺の一つの、光学部品載置部212の端部に接している長さは、全長が接している状態が最も水切れ効果が特に顕著であるが、細長い辺の半分以上が接している場合にも比較的大きな効果がある。複数の貫通孔の開口部が、前記のように光学部品載置部212の端部に接して形成されていることが、水切れ効果を高める見地からも重要なことである。   The length of one of the elongated sides of the elongated through-hole that is in contact with the end of the optical component mounting portion 212 is most remarkable when the entire length is in contact with the drainage effect. There is a relatively large effect even when the is in contact. It is important from the standpoint of enhancing the drainage effect that the openings of the plurality of through holes are formed in contact with the end of the optical component mounting portion 212 as described above.

光学部品保持部212の外周部212bは、そこに入れて洗浄や乾燥を行う光学部品の載置部に載置される部分の最大寸法よりも、10%以上大きく形成しておくと、洗浄・乾燥時に光学部品が適宜動いて、たとえばスピン乾燥時に貫通孔の開口部を塞がないようになり水切れ効果を妨げないように作用するなど、適切な状態で洗浄や乾燥が行われ、洗浄・乾燥効果を一層高めることができる。   If the outer peripheral portion 212b of the optical component holding portion 212 is formed to be 10% or more larger than the maximum size of the portion placed on the placement portion of the optical component that is put into the optical component and cleaned and dried, Cleaning and drying are performed in an appropriate state, such as when the optical components move appropriately during drying, for example, they prevent clogging of the opening of the through-hole during spin drying and prevent the water draining effect. The effect can be further enhanced.

光学部品保持部202の側壁は、光学部品を挿入する開口部から光学部品載置部212との境界である光学部品載置部の外周部212bまで同じ直径の一様な円筒面の形状に形成されている。この構造は、光学部品を挿入しやすいこと、洗浄・乾燥中に光学部品保持部上で光学部品が動いた時の損傷の危険性を低減すること、対象光学部品の制約を少なくすることなど多くの効果をもたらす。   The side wall of the optical component holding unit 202 is formed in the shape of a uniform cylindrical surface having the same diameter from the opening for inserting the optical component to the outer peripheral portion 212b of the optical component mounting unit which is the boundary with the optical component mounting unit 212. Has been. This structure is easy to insert optical components, reduces the risk of damage when optical components move on the optical component holder during cleaning and drying, reduces the restrictions on target optical components, etc. Bring about the effect.

光学部品保持部202の側壁の開口部すなわち光学部品保持部202の入口部分は、テーパ面やいわゆるR面のような曲面に形成しておくことにより、洗浄・乾燥対象の光学部品の出し入れがし易く、また、光学部品保持部品200を重ねて使用するときに、光学部品の損傷リスクを効果的に低減することができ、本実施の形態例において適用したところ、良好な結果を得た。   The opening of the side wall of the optical component holding unit 202, that is, the entrance portion of the optical component holding unit 202 is formed into a curved surface such as a tapered surface or a so-called R surface, so that the optical components to be cleaned and dried can be taken in and out. In addition, when the optical component holding component 200 is used in an overlapping manner, the risk of damage to the optical component can be effectively reduced, and when applied in the present embodiment, good results have been obtained.

光学部品載置部212の各2つの貫通孔の間には、光学部品載置部212の肉部である前記島部214が形成されている。すなわち、貫通孔215aと貫通孔215bの間には島部214aがあり、貫通孔215bと貫通孔215cの間には島部214bがあり、貫通孔215cと貫通孔215dの間には島部214cがあり、貫通孔215dと貫通孔215eの間には島部214dがある。互いに平行に形成されている島部の適切な幅は、0.6〜2mmである。樹脂を用いた一体成形加工の観点からと洗浄・乾燥効果の観点から、この範囲の幅寸法が特に好ましい。0.6mm以下の幅にすると、前記樹脂加工の時に樹脂が流れにくいという問題がある。洗浄・乾燥効果の観点からは、水切れの良い2mm以下の幅にすることが好ましい。   Between the two through holes of the optical component placement portion 212, the island portion 214 that is a flesh portion of the optical component placement portion 212 is formed. That is, there is an island portion 214a between the through hole 215a and the through hole 215b, an island portion 214b between the through hole 215b and the through hole 215c, and an island portion 214c between the through hole 215c and the through hole 215d. There is an island 214d between the through hole 215d and the through hole 215e. A suitable width of the island portions formed in parallel with each other is 0.6 to 2 mm. A width dimension in this range is particularly preferable from the viewpoint of integral molding processing using a resin and from the viewpoint of cleaning and drying effects. If the width is 0.6 mm or less, there is a problem that the resin hardly flows during the resin processing. From the viewpoint of the washing / drying effect, it is preferable to set the width to 2 mm or less, which allows good drainage.

光学部品載置部の貫通孔の側面の形状、すなわちその両側の島部の貫通孔を形成している部分の形状は、光学部品載置部の表面から光学部品保持部品の裏面方向に、おおむね5°以内の傾きあるいは変化を許容して、平行に形成されている。すなわち、各貫通孔215は互いに平行に形成されており、その断面形状も一様に形成されている。この貫通孔の構造は、洗浄液の効果的な除去に大きな効果がある。   The shape of the side surface of the through hole of the optical component mounting part, that is, the shape of the part forming the through hole of the island part on both sides is generally from the surface of the optical component mounting part to the back surface of the optical component holding part. They are formed in parallel with an inclination or change within 5 °. That is, each through-hole 215 is formed in parallel with each other, and its cross-sectional shape is also formed uniformly. This structure of the through hole has a great effect on the effective removal of the cleaning liquid.

また、複数の光学部品保持部品200を前記のように重ねて使用する場合、被洗浄・乾燥物に傷を付けないという観点から、基板裏面においてもその島部の周縁部が、面取りされている形状などが好ましい。   In addition, when the plurality of optical component holding components 200 are used in a stacked manner as described above, the peripheral portion of the island portion is chamfered also on the back surface of the substrate from the viewpoint of not damaging the object to be cleaned / dried. Shape etc. are preferred.

光学部品保持部品200を形成している基板201は、基板表面と裏面の光学部品保持部202が形成されている部分の細部構造(凹凸構造)を除いて、平行平板である。この形状は、複数の光学部品保持部品を重ねて使用するときに、条件を設定しやすく、洗浄・乾燥品質を高めることができ、量産において大きな効果を発揮するものである。   The substrate 201 on which the optical component holding component 200 is formed is a parallel plate except for the detailed structure (uneven structure) of the portion where the optical component holding portion 202 on the front surface and the back surface of the substrate is formed. This shape makes it easy to set conditions when a plurality of optical component holding components are used in an overlapping manner, can improve the cleaning / drying quality, and exhibits a great effect in mass production.

図3は図1の基板の表側201aに形成されている溝の部分の断面図で、溝203は、光学部品保持部202の光学部品載置部の端部よりも0.5mm以上浅い溝として設けられており、光学部品のタイプによっては、この溝を利用して、たとえばピンセットで光学部品を出し入れすることができる。溝の深さを、光学部品載置部の端部の位置で、光学部品載置部の端部からの浅さを0.5mm未満にすると、光学部品の着脱作業性が低下する。   3 is a cross-sectional view of a groove portion formed on the front side 201a of the substrate in FIG. 1. The groove 203 is a groove shallower by 0.5 mm or more than the end of the optical component placement portion of the optical component holding portion 202. Depending on the type of optical component, this groove can be used to insert and remove the optical component with, for example, tweezers. When the depth of the groove is set at the position of the end of the optical component placement portion and the shallowness from the end of the optical component placement portion is less than 0.5 mm, the detachability of the optical component is reduced.

溝203は、図1の例では、隣り合った光学部品保持部202の間にそれらの連結溝として、基板の表側201aに縦方向に互いに平行に形成されており、光学部品の出し入れをし易くしている。   In the example of FIG. 1, the grooves 203 are formed between the adjacent optical component holding portions 202 as connecting grooves between them in parallel to each other in the vertical direction on the front side 201 a of the substrate, so that the optical components can be easily taken in and out. is doing.

図5と図6は、図1の基板201のコーナー部の穴と突起部の周辺を拡大したもので、穴204,穴209は、基板201を後述のように重ねて用いたときに、基板の表側に形成した突起部205をはめ込むことができるように、その形状と寸法が形成されている。   5 and 6 are enlarged views of the corner hole and the periphery of the protruding portion of the substrate 201 of FIG. 1, and the holes 204 and 209 are formed when the substrate 201 is used in an overlapping manner as will be described later. The shape and dimensions are formed so that the protrusion 205 formed on the front side of the can be fitted.

スペーサ突起206は、2つの光学部品保持部品200を重ねて用いたときに、両者間の隙間を所定の間隔にする作用をする。   When the two optical component holding components 200 are used in an overlapping manner, the spacer projection 206 acts to make a gap between them a predetermined interval.

図7〜図10は、本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品200を複数個重ねて使用する場合について説明する断面図で、図7と図9の各単独の光学部品保持部品200a,200bについては図3に対応しており、図8と図10は前記突起部と穴の係合について説明する図である。   7 to 10 are cross-sectional views for explaining a case where a plurality of optical component holding components 200 according to embodiments of the present invention are used in an overlapping manner, and each of the individual optical component holding components 200a shown in FIGS. 7 and 9 is used. , 200b corresponds to FIG. 3, and FIGS. 8 and 10 are diagrams for explaining the engagement between the protrusion and the hole.

図7〜図10で、符号200a,200b,220は本発明の光学部品保持部品、216,217は拡大部分を示す符号である。   7 to 10, reference numerals 200a, 200b, and 220 denote optical component holding parts of the present invention, and 216 and 217 denote enlarged portions.

図7と図8は、2つの光学部品保持部品200a,200bを、一方の光学部品保持部品200bを下側に、他方の光学部品保持部品200aを上側に、それぞれの基板の表側を向き合わせる状態で重ね合わせて光学部品保持部品220にした例である。   FIGS. 7 and 8 show two optical component holding components 200a and 200b, with one optical component holding component 200b facing downward, the other optical component retaining component 200a facing upward, and the front side of each substrate facing each other. This is an example in which the optical component holding component 220 is superposed.

図7は溝203が同じ方向(紙面に垂直方向)に平行に配置され、向き合っている状態を示している。   FIG. 7 shows a state in which the grooves 203 are arranged parallel to each other in the same direction (perpendicular to the paper surface).

また、図7の場合、図示していないが、それぞれの光学部品保持部202がその開口部を向き合わせて重なる位置にあり、光学部品保持部品200bの光学部品保持部202に光学部品を載置し、光学部品保持部品200aの光学部品保持部202が蓋となっている。このような構成の光学部品保持部品220は、一つの光学部品保持部202の深さを多少超える高さを有する光学部品の洗浄や乾燥にも用いることができ、向き合わせた2つの光学部品保持部202の中で、光学部品が洗浄や乾燥過程において適当に動くことができ、良好な洗浄や乾燥を行うことができる。   In the case of FIG. 7, although not shown, the respective optical component holding portions 202 are in positions where the openings face each other and overlap, and the optical components are placed on the optical component holding portion 202 of the optical component holding component 200 b. The optical component holding part 202 of the optical component holding component 200a serves as a lid. The optical component holding component 220 having such a configuration can be used for cleaning and drying an optical component having a height that slightly exceeds the depth of one optical component holding portion 202, and holds two optical components facing each other. In the unit 202, the optical component can move appropriately during the cleaning and drying process, and good cleaning and drying can be performed.

図8は、図7の円116で囲んだ部分を拡大して示した図で、図8のように、光学部品保持部品200aの係合用の突起205が光学部品保持部品200bの係合用の穴204に挿入されて光学部品保持部品200aと光学部品保持部品200bが、適当なギャップを有して結合されている。このギャップは、スペーサ突起206によって適切な間隔に維持されている。   8 is an enlarged view of a portion surrounded by a circle 116 in FIG. 7. As shown in FIG. 8, the engagement protrusion 205 of the optical component holding component 200a has a hole for engagement of the optical component holding component 200b. The optical component holding component 200a and the optical component holding component 200b are inserted into 204 and coupled with an appropriate gap. This gap is maintained at an appropriate interval by the spacer protrusion 206.

図9と図10は、2つの光学部品保持部品200a,200bを、一方の光学部品保持部品200aの下側に他方の光学部品保持部品200bを、光学部品保持部品200aの基板の裏側201b1の下に光学部品保持部品200bの基板の表側201a2が位置する状態で重ね合わせて用いた例である。   9 and 10 show two optical component holding components 200a and 200b, the other optical component holding component 200b below the one optical component holding component 200a, and the bottom side 201b1 of the substrate of the optical component holding component 200a. In this example, the front side 201a2 of the substrate of the optical component holding component 200b is overlaid.

図9は溝203が同じ方向(紙面に垂直方向)に配置されている状態を示している。   FIG. 9 shows a state in which the grooves 203 are arranged in the same direction (perpendicular to the paper surface).

図10は、図9の円117で囲んだ部分を拡大して示した図で、図8のように、光学部品保持部品200bの表面の係合用の突起が光学部品保持部品200aの裏面の係合用の穴に挿入されて光学部品保持部品200aと光学部品保持部品200bが、適当なギャップを有して結合されている。このギャップは、スペーサ突起206によって適切な間隔に維持されている。   FIG. 10 is an enlarged view of a portion surrounded by a circle 117 in FIG. 9. As shown in FIG. 8, the engagement protrusion on the surface of the optical component holding component 200b is connected to the back surface of the optical component holding component 200a. The optical component holding component 200a and the optical component holding component 200b are inserted into the combination holes and joined with an appropriate gap. This gap is maintained at an appropriate interval by the spacer protrusion 206.

前記光学部品保持部品の重ね方で、3枚以上の光学部品保持部品を重ねて、たとえば、スピン乾燥に用いることもできる。   Three or more optical component holding components can be stacked in the manner of stacking the optical component holding components and used for spin drying, for example.

以上説明した光学部品保持部品を複数枚重ねる用い方における前記2つの基板の間のギャップ(間隔)の好適な例として、0.1〜0.5mmにしたときに、極めて良好な光学部品の洗浄・乾燥を行うことができた。前記2つの基板の間のギャップを0.1mm以上にすると本発明者等のスピン乾燥における水切れ効果が大きく好ましいが、前記ギャップを0.5mmよりも大きくすると、ワークの形状・寸法によっては、ギャップからワークが飛び出してしまう恐れがあり、0.1〜0.5mmは特に好ましいギャップである。   As a preferable example of the gap (interval) between the two substrates in the usage method in which a plurality of optical component holding components described above are stacked, extremely good optical component cleaning is achieved when the thickness is 0.1 to 0.5 mm. -Drying was possible. If the gap between the two substrates is 0.1 mm or more, the effect of water drainage in the spin drying of the present inventors is great, but if the gap is larger than 0.5 mm, depending on the shape and dimensions of the workpiece, the gap The workpiece may jump out from the top, and 0.1 to 0.5 mm is a particularly preferable gap.

また、本発明の前記各種の光学部品保持部品は、光学部品の洗浄や乾燥のみならず、洗浄・乾燥後に清浄な環境で清浄に、たとえば透明な薄いプラスチック材料などで梱包して、適当な緩衝の梱包をして、納入先などに発送することもでき、その用途は極めて広いものである。   Further, the various optical component holding parts of the present invention are not only cleaned and dried of optical components, but also cleaned in a clean environment after cleaning and drying, for example, packed with a transparent thin plastic material, etc. And can be shipped to customers, etc., and its application is extremely wide.

以上説明した本発明の実施の形態例における大きな特徴の一つは、光学部品載置部における主たる貫通孔が平行に形成されていることである。   One of the major features of the embodiment of the present invention described above is that the main through holes in the optical component mounting portion are formed in parallel.

つぎに、主たる貫通孔が平行に形成されている他の形態例について説明する。   Next, another embodiment in which main through holes are formed in parallel will be described.

図11〜図14は、本発明の実施の形態例としての、可変仕切部を用いた可変光学部品保持部を有する光学部品保持部品250を説明する図で、図11は光学部品保持部品全体の平面図、図12は可変仕切部の係合凸部を説明する側面図で可変仕切部の長手方向端部から見た図、図13は光学部品保持部品の部分拡大図で可変仕切部取付部260に可変仕切部256を取り付けた状態の平面図、図14は光学部品保持部品の部分拡大図で可変仕切部取付部260に可変仕切部を取り付けていない状態の平面図である。   FIGS. 11 to 14 are views for explaining an optical component holding component 250 having a variable optical component holding portion using a variable partitioning portion as an embodiment of the present invention. FIG. FIG. 12 is a side view for explaining the engaging convex portion of the variable partition portion, and is a view seen from the longitudinal end of the variable partition portion. FIG. 13 is a partially enlarged view of the optical component holding part. FIG. 14 is a partially enlarged view of the optical component holding part, and is a plan view of a state in which the variable partition part is not attached to the variable partition part attachment part 260. FIG.

図11〜図14で、符号250は光学部品保持部品、251は基板、251aは基板251の表側、252,252a,252b,252cは可変光学部品保持部、254a〜254dは光学部品載置部の島部(以下、島部それぞれをあるいはそれらを総称して島部254ともいう)、254eは可変仕切部取付位置に形成されている島部、255a〜255eは光学部品載置部の貫通孔(以下、貫通孔それぞれをあるいはそれらを総称して貫通孔255ともいう)、256は可変仕切部、256aは可変仕切部を構成する仕切板、256bは基板251に設けられた可変仕切部取付部260に可変仕切部256を取り付ける係合突部で仕切板の側面に設けられた球状の突起、256cは可変仕切部を構成する仕切板の上面、256dは可変仕切部を構成する仕切板の下面、260は可変仕切部取付部、261は基板の表側251aの対角位置のコーナーに設けられた係合突起部、262は基板の表側251aの係合突起部261が設けられているコーナーとは別の対角位置のコーナーに設けられた穴、263はスペーサー突起である。   11 to 14, reference numeral 250 denotes an optical component holding component, 251 denotes a substrate, 251 a denotes a front side of the substrate 251, 252, 252 a, 252 b, and 252 c denote variable optical component holding portions, and 254 a to 254 d denote optical component placement portions. Island portions (hereinafter, the island portions are also collectively referred to as island portions 254), 254e is an island portion formed at the variable partition mounting position, and 255a to 255e are through-holes of the optical component mounting portion ( Hereinafter, each of the through holes or they are collectively referred to as a through hole 255) 256 is a variable partition portion, 256a is a partition plate constituting the variable partition portion, and 256b is a variable partition portion mounting portion 260 provided on the substrate 251. Spherical protrusions provided on the side surface of the partition plate with engaging protrusions for attaching the variable partition portion 256 to the upper surface, 256c is the upper surface of the partition plate constituting the variable partition portion, and 256d is variable The lower surface of the partition plate constituting the cut portion, 260 is a variable partition mounting portion, 261 is an engaging protrusion provided at a corner at a diagonal position on the front side 251a of the board, and 262 is an engaging protrusion on the front side 251a of the board. Holes 263 provided at the corners at diagonal positions different from the corners at which 261 are provided are spacer protrusions.

光学部品保持部品250は、図11のように、可変光学部品保持部252が基板251の表側251aに凹部として7列、基板251の表側251aの縦方向に形成されている。各列の可変光学部品保持部252は、図のように、横方向の6カ所に各一対の可変仕切部取付部260を有しており、必要な位置の可変仕切部取付部260に可変仕切部256を取り付けて、必要な大きさの光学部品保持部を形成することができるようになっている。   In the optical component holding component 250, as shown in FIG. 11, the variable optical component holding portions 252 are formed as concave portions on the front side 251a of the substrate 251 in seven rows and in the vertical direction of the front side 251a of the substrate 251. As shown in the figure, each row of the variable optical component holders 252 has a pair of variable partition mounting portions 260 at six locations in the horizontal direction, and the variable partition mounting portions 260 at the necessary positions are divided into variable partitions. By attaching the part 256, an optical component holding part having a required size can be formed.

可変光学部品保持部252の横方向の端部とその直近の可変仕切部取付部260の間で形成される光学部品保持部あるいは隣り合った2つの可変仕切部取付部260の間で形成される光学部品保持部がこの例の場合の最小の大きさの光学部品保持部となり、この最小の大きさの光学部品保持部を、この例の場合、単位光学部品保持部と称することにする。   It is formed between the optical component holding portion formed between the lateral end of the variable optical component holding portion 252 and the nearest variable partition mounting portion 260, or between two adjacent variable partition mounting portions 260. The optical component holding unit is the minimum size optical component holding unit in this example, and the minimum size optical component holding unit is referred to as a unit optical component holding unit in this example.

図11の例では、各列の可変光学部品保持部252で、図の右側から2番目と3番目の可変仕切部取付部260に可変仕切部256を取り付けて、各列の可変光学部品保持部252を、2つの単位光学部品保持部を横方向に連結した状態の可変光学部品保持部252a、1つの単位光学部品保持部から成る可変光学部品保持部252b、4つの単位光学部品保持部を横方向に連結した状態の可変光学部品保持部252cの3種類の光学部品保持部に分割している。   In the example of FIG. 11, the variable optical component holding portions 252 in each row are attached to the second and third variable partition attachment portions 260 from the right side of the drawing, and the variable optical component holding portions in each row are attached. 252 is a variable optical component holding unit 252a in a state where two unit optical component holding units are connected in the horizontal direction, a variable optical component holding unit 252b including one unit optical component holding unit, and four unit optical component holding units in the horizontal direction. It is divided into three types of optical component holders, variable optical component holders 252c connected in the direction.

各列の可変光学部品保持部252a,252b,252cにはそれぞれの寸法に適した光学部品を挿入して、超音波洗浄とスピン乾燥を行うことができる。   An optical component suitable for each dimension can be inserted into the variable optical component holders 252a, 252b, and 252c in each row, and ultrasonic cleaning and spin drying can be performed.

図11に示した可変仕切部256は、7列の可変光学部品保持部252すべてを一つの可変仕切部で仕切ることができるように形成されているが、本発明は、もちろんこれに狭く限定されるものではなく、たとえば、1列の可変光学部品保持部252だけを仕切ることができる長さの可変仕切部として形成しても良い。このようにすることで、横方向寸法が単位光学部品保持部の任意の整数倍の光学部品保持部を、各列に任意に形成することができる。また、複数列の可変光学部品保持部252を一つの可変仕切部で仕切ることができるように形成した可変仕切部を形成しておき、これを用いて、あるいは複数種類の可変仕切部を適宜組み合わせて用いて、前記と同様にして必要な寸法の光学部品保持部を形成することができる。このような可変光学部品保持部を有する光学部品保持部品は、多種少量品種の光学部品の効率の良い洗浄・乾燥を行うことができ、また、同じ光学部品保持部品を同一種類の多数の光学部品の量産における洗浄・乾燥に用いることもできる。   The variable partitioning portion 256 shown in FIG. 11 is formed so that all of the seven rows of variable optical component holding portions 252 can be partitioned by one variable partitioning portion, but the present invention is of course limited to this. For example, you may form as a variable partition part of the length which can partition only one row of variable optical component holding parts 252. By doing in this way, the optical component holding | maintenance part whose horizontal direction dimension is arbitrary integer multiples of the unit optical component holding | maintenance part can be arbitrarily formed in each row | line | column. In addition, a variable partition portion formed so that a plurality of rows of variable optical component holding portions 252 can be partitioned by one variable partition portion is formed, and using this, or a plurality of types of variable partition portions are appropriately combined. In this manner, an optical component holding part having a required size can be formed in the same manner as described above. An optical component holding component having such a variable optical component holding portion can perform efficient cleaning and drying of various types of optical components, and the same optical component holding component can be used for many optical components of the same type. It can also be used for washing and drying in mass production.

図11で、図の上下方向すなわち7列の各可変光学部品保持部252が形成されている方を各可変光学部品保持部の縦方向、図の左右方向すなわち各可変光学部品保持部において可変仕切部を移動させることができる方向を各可変光学部品保持部の縦方向ということにして、各光学部品載置部には、可変光学部品保持部の縦方向に平行な開口部を有する複数の貫通孔とその間に島部が形成されている。前記島部は、各単位光学部品保持部の光学部品載置部を形成している島部254a〜254dと、各単位光学部品保持部の間の可変仕切部を装着したときにその下に位置する島部254eの2種類があり、各島部254a〜254dならびに254eはそれぞれ互いに平行に形成されている。島部254eは、各単位光学部品保持部の間に可変仕切部を装着したときに、たとえば、2枚の同一形状・寸法の光学部品保持部品を前記の例のように重ねて使用した場合に、島部254eの基板裏側の部分が可変仕切部の表面256cとぶつからないように形成されている。   In FIG. 11, the vertical direction of the drawing, that is, the direction in which each of the seven rows of variable optical component holding portions 252 is formed is the vertical direction of each variable optical component holding portion, and the horizontal direction of the drawing, ie, each variable optical component holding portion. The direction in which the movable part can be moved is referred to as the vertical direction of each variable optical component holding part, and each optical component mounting part has a plurality of through holes having openings parallel to the vertical direction of the variable optical part holding part. An island is formed between the hole and the hole. The island portion is positioned below the island portions 254a to 254d forming the optical component placement portion of each unit optical component holding portion and the variable partition portion between each unit optical component holding portion. There are two types of island portions 254e, and the island portions 254a to 254d and 254e are formed in parallel to each other. When the variable partitioning portion is mounted between the unit optical component holding portions, the island portion 254e is used, for example, when two optical component holding components having the same shape and size are used as in the above example. The part of the island part 254e on the back side of the substrate is formed so as not to collide with the surface 256c of the variable partition part.

各島部254a〜254dの適切な寸法や作用効果に関しては、前記他の例において記したことが当てはまる。   With respect to appropriate dimensions and operational effects of the island portions 254a to 254d, what is described in the other examples is applicable.

光学部品載置部の貫通孔255a〜255eは、長方形の開口部を有する細長い形状の開口部の貫通孔である。   The through holes 255a to 255e of the optical component placement unit are elongated through holes having a rectangular opening.

光学部品載置部の貫通孔255a〜255eは、図示のように四角形の光学部品保持部の光学部品載置部の、互いに対向する周縁部(たとえば、図11に符号252fと252gで示した辺)の間に、一方の周縁部(端部)から他方の周縁部に至るまで連続した開口部を有して形成されている。貫通孔255aと貫通孔255eは、符号252fと252gで示した光学部品載置部の前記互いに対向する周縁部とは別の互いに対向する周縁部(たとえば、可変仕切部取付部260に可変仕切部256を取り付けたときに、その可変仕切部256に平行な周縁部)に、その細長い形状の開口部の細長い方の1辺が接するように形成されている。この場合、実際には貫通孔255aの一部は可変仕切部の下に入り込むように形成されることもあるが、本発明では、本発明の技術思想からも明らかなように、その場合の貫通孔255aは、上方から見て可変仕切部に接するところまでを貫通孔255aと定義することにし、貫通孔の可変仕切部の下に入り込む部分は、貫通孔255aと一体化された別の貫通孔と定義することにする。   The through-holes 255a to 255e of the optical component mounting portion are formed as peripheral edges (for example, sides indicated by reference numerals 252f and 252g in FIG. 11) of the optical component mounting portion of the rectangular optical component holding portion as shown in the figure. ) Between the one peripheral portion (end portion) and the other peripheral portion. The through-hole 255a and the through-hole 255e are opposite to the opposite peripheral portions of the optical component placement portion indicated by reference numerals 252f and 252g (for example, the variable partition portion mounting portion 260 and the variable partition portion). When the 256 is attached, it is formed so that one of the elongated sides of the elongated opening is in contact with a peripheral edge parallel to the variable partition portion 256. In this case, in practice, a part of the through hole 255a may be formed so as to enter under the variable partition portion. However, as is apparent from the technical idea of the present invention, the through hole in that case is formed in the present invention. The hole 255a is defined as a through-hole 255a up to the point where it comes into contact with the variable partition when viewed from above, and the portion of the through-hole that enters under the variable partition is another through-hole integrated with the through-hole 255a. We will define

光学部品載置部の貫通孔の適切な形状寸法とその作用効果に関しては、前記他の例で説明したことが当てはまる。   With regard to the appropriate shape and size of the through hole of the optical component mounting portion and the function and effect thereof, what has been described in the other examples is applicable.

光学部品載置部の貫通孔のこれらの特徴は、洗浄・乾燥効果に極めて良好な結果をもたらすものである。   These characteristics of the through-hole of the optical component mounting portion give extremely good results for the cleaning / drying effect.

つぎに、可変仕切部256について説明する。可変仕切部は可変仕切板というのが適切な場合もあるが、前記説明も含めて、可変仕切部を構成する仕切板の場合も可変仕切部と称して説明することもある。   Next, the variable partition portion 256 will be described. In some cases, it is appropriate that the variable partition portion is a variable partition plate. However, including the above description, the partition plate constituting the variable partition portion may also be referred to as a variable partition portion.

可変仕切部256は、図12のように、平板状の仕切り板256aの取付部の位置に半球状の係合凸部256bを設けた板で構成されている。その下面256dは光学部品載置部の形状と同じ形状に形成されている。そして、可変仕切部256を可変仕切部取付部260に取り付けたときに、可変仕切部256の下面256dの下に大きな隙間ができて、そこから被洗浄・乾燥物である光学部品が向け出さないように、各寸法が決められている。   As shown in FIG. 12, the variable partition portion 256 is configured by a plate provided with a hemispherical engagement convex portion 256b at the position of the mounting portion of the flat partition plate 256a. The lower surface 256d is formed in the same shape as the optical component placement portion. And when the variable partition part 256 is attached to the variable partition part attachment part 260, a large gap is formed under the lower surface 256d of the variable partition part 256, and the optical component that is the object to be cleaned / dried does not face from there. Thus, each dimension is determined.

図12に示した可変仕切部256の下面256dの、半球状の係合凸部256bの位置の下の形状は、可変仕切部取付部260の形状に合わせて平坦に形成されている。   The shape of the lower surface 256 d of the variable partition portion 256 shown in FIG. 12 below the position of the hemispherical engagement convex portion 256 b is formed flat according to the shape of the variable partition portion mounting portion 260.

可変仕切部256の係合凸部256bは、平板状の仕切り板256aの両側面に等間隔に形成されており、図12の両側の係合凸部256bの頂点間の寸法は、それを取り付ける可変仕切部取付部260の幅よりもわずかに大きく形成されている。   The engaging projections 256b of the variable partitioning portion 256 are formed at equal intervals on both side surfaces of the flat partition plate 256a, and the dimensions between the apexes of the engaging projections 256b on both sides in FIG. It is formed slightly larger than the width of the variable partition mounting part 260.

前記両側の係合凸部256bの頂点間の寸法の特に好適な寸法は、それを取り付ける可変仕切部取付部260の幅よりも0.01〜0.1mm大きい寸法である。このように形成すれば、可変仕切部256のように複数対の係合凸部を有する可変仕切部でも、その着脱餓死安く、信頼性が高い。   A particularly preferable dimension between the vertices of the engaging protrusions 256b on both sides is a dimension that is 0.01 to 0.1 mm larger than the width of the variable partition mounting part 260 to which the engaging convex parts 256b are mounted. If formed in this way, even with a variable partitioning portion having a plurality of pairs of engaging projections, such as the variable partitioning portion 256, the attachment / detachment starvation is low and the reliability is high.

図13は可変仕切部取付部260に可変仕切部256を取り付けた状態の光学部品保持部品の部分拡大図で、各貫通孔と各島部が交互に互いに平行に形成されており、可変仕切部が各貫通孔と各島部に平行に形成されている。可変仕切部256と可変仕切部取付部260の表面ならびに基板251の可変仕切部256に面する面が同じ形状になっている。   FIG. 13 is a partially enlarged view of the optical component holding component in a state in which the variable partition portion 256 is attached to the variable partition portion attachment portion 260. The through holes and the island portions are alternately formed in parallel with each other. Are formed in parallel to each through hole and each island. The surfaces of the variable partition portion 256 and the variable partition portion mounting portion 260 and the surface of the substrate 251 facing the variable partition portion 256 have the same shape.

図14は可変仕切部取付部260に可変仕切部256を取り付けていない状態の光学部品保持部品の部分拡大図で、各貫通孔と各島部が交互に互いに平行に形成されている。   FIG. 14 is a partially enlarged view of the optical component holding component in a state where the variable partition portion 256 is not attached to the variable partition portion attachment portion 260, and each through hole and each island portion are alternately formed in parallel with each other.

基板の表側251aの係合突起部261と穴262は、前記他の例と同様の使い方をすることができ、スペーサー突起263についても同様である。   The engaging projection 261 and the hole 262 on the front side 251a of the substrate can be used in the same manner as in the other examples, and the same applies to the spacer projection 263.

また、本発明の光学部品保持部品を複数重ねて用いるときの各光学部品保持部品の間に形成させるギャップの作り方は、前記のスペーサ突起によることに狭く限定されず、たとえば、係合突起部261の外周部の構造を直径の異なる2段構造にし、長い方の直径の小さい方が穴262に係合する係合突起、その根本に所定の高さで形成されている直径の大きい方が穴262に入らずに各光学部品保持部品間のギャップを決めるなど、種々の方法を用いることができる。   Further, the method of creating a gap formed between the optical component holding components when using a plurality of the optical component holding components of the present invention is not limited to the use of the spacer projection, and for example, the engagement projection portion 261 is used. The structure of the outer peripheral portion is a two-stage structure with different diameters, the longer one having the smaller diameter engages with the hole 262, and the larger diameter formed at the root at the predetermined height is the hole. Various methods can be used such as determining the gap between the optical component holding components without entering 262.

図15は、可変仕切部の係合凸部の他の例を説明する図で、可変仕切部の仕切板を装着する光学部品保持部品の基板表面の上方から見た平面図である。   FIG. 15 is a diagram for explaining another example of the engaging convex portion of the variable partition portion, and is a plan view seen from above the substrate surface of the optical component holding component on which the partition plate of the variable partition portion is mounted.

図15で、符号266は可変仕切部、267は平板状の仕切り板、268と269は可変仕切部取付部に可変仕切部を取り付ける係合凸部である。係合凸部268と269は円筒の上と下に半球を取り付けた状態のものを両半球を上下にして縦方向に2分割した形状をして、仕切り板267の両端部近傍とその間に等間隔に合計11対形成されている。この図から容易に判断できることであるが、この可変仕切部266は、光学部品保持部品の基板表面の縦方向に10列の可変光学部品保持部を有する光学部品保持部品用のものである。   In FIG. 15, reference numeral 266 is a variable partition portion, 267 is a flat partition plate, and 268 and 269 are engaging convex portions for attaching the variable partition portion to the variable partition portion mounting portion. Engagement convex portions 268 and 269 are formed by splitting a hemisphere attached to the top and bottom of a cylinder into two vertically divided with both hemispheres up and down, and at equal intervals near both ends of the partition plate 267. A total of 11 pairs are formed. This variable partitioning portion 266 is for an optical component holding component having 10 rows of variable optical component holding portions in the vertical direction of the substrate surface of the optical component holding component, as can be easily determined from this figure.

可変仕切部の係合凸部の形状は、取り付けやすく、不用意に外れにくいことが肝要であり、前記球状や円筒状や長円を回転したような形状は条件に好適なものである。   It is important that the shape of the engaging projection of the variable partitioning portion is easy to attach and difficult to come off unintentionally, and a shape such as a spherical shape, a cylindrical shape, or an elliptical shape is suitable for the conditions.

図11〜図14を用いて説明した光学部品保持部品を用いて、図16〜図20に示すような各種の形状の光学部品を一度に多数個の超音波洗浄とスピン乾燥を行ったところ、従来のように手拭き作業に頼ることなく、量産レベルでの、シミのない、極めて良好な洗浄・乾燥結果を得た。このような光学部品の洗浄・乾燥は、従来は手拭き作業に頼らざるを得なかったもので、光学部品が小型の場合は特に難航していたものである。   Using the optical component holding component described with reference to FIGS. 11 to 14, when optical components having various shapes as shown in FIGS. 16 to 20 were subjected to ultrasonic cleaning and spin drying at a number of times, Without relying on hand-wiping work as before, we obtained very good cleaning and drying results at the mass production level without any spots. Such cleaning / drying of optical components has heretofore been dependent on hand-wiping operations, and is particularly difficult when the optical components are small.

図16〜図20は本発明の光学部品保持部品を用いて超音波洗浄やスピン乾燥を行うことができる光学部品の形状の例を示す図で、符号265a〜265eは光学部品である。   16 to 20 are diagrams showing examples of shapes of optical components that can be subjected to ultrasonic cleaning and spin drying using the optical component holding component of the present invention, and reference numerals 265a to 265e are optical components.

本発明の光学部品保持部品は、前記の特徴から、洗浄・乾燥後にたとえばそのまま防塵性の梱包を行って、適当な防振材でくるむなどして、送ったり持ち運びしたりすることができる。   The optical component holding component of the present invention can be transported and carried by, for example, performing dustproof packaging as it is after cleaning and drying and wrapping with a suitable vibration isolator after the above-described characteristics.

本発明の技術思想の大きな特徴の一つは、光学部品保持部品の光学部品載置部に細長い開口部の貫通孔を3個以上設け、2個の貫通孔は光学部品載置部の互いに対向する端部に接して設け、被洗浄・乾燥物としての光学部品を保持するのに、光学部品を適当な範囲で可動に光学部品載置部に載置し、超音波洗浄・スピン乾燥を行うところにある。そして、それに種々のさらなる改善を加えて、前記のような大きな効果をもたらしたところにある。   One of the major features of the technical idea of the present invention is that three or more elongated through holes are provided in the optical component mounting portion of the optical component holding component, and the two through holes are opposed to the optical component mounting portion. In order to hold the optical component as the object to be cleaned / dried, the optical component is placed on the optical component mounting part so as to be movable within an appropriate range, and subjected to ultrasonic cleaning / spin drying. By the way. And various further improvements are added to it, and it is in the place which brought about the above big effects.

以上、図面を参照しながら本発明の実施の形態例を説明したが、本発明はこれに狭く限定されるものではなく、多くのバリエーションを可能とするものである。   The embodiment of the present invention has been described above with reference to the drawings. However, the present invention is not limited to this, and many variations are possible.

以上説明したように、本発明により、従来は手拭き工程を使わなければ到底乾燥することができなかった洗浄後の小型の光学部品のスピン乾燥を、手拭き工程を不可避とせずに、一度に大量に短時間で高い品質で乾燥することができるようになった。そして、本発明は、光学部品の洗浄と乾燥を、洗浄と乾燥で同一の治具で保持し、一環工程として行うことを可能にした。   As described above, according to the present invention, spin drying of a small optical component after cleaning, which could not be dried without using a hand wiping process, is performed in a large amount at once without making the hand wiping process inevitable. It became possible to dry with high quality in a short time. The present invention makes it possible to perform cleaning and drying of an optical component as a single process by holding the same jig for cleaning and drying.

以上のように、本発明は光通信分野に限らず、カメラ業界、携帯電話業界、眼鏡業界など工業上広い範囲で多大な効果を発揮するものである。   As described above, the present invention is not limited to the optical communication field, and exhibits great effects in a wide range of industries such as the camera industry, the mobile phone industry, and the eyeglass industry.

本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品の表側の平面図である。It is a top view of the front side of the optical component holding component as an embodiment of the present invention. 本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品の裏側の平面図である。It is a top view of the back side of the optical component holding component as an embodiment of the present invention. 本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品の断面図である。It is sectional drawing of the optical component holding component as an example of embodiment of this invention. 本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品の光学部品保持部の平面図である。It is a top view of the optical component holding | maintenance part of the optical component holding component as an embodiment of this invention. 本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品の係合穴近傍の断面図である。It is sectional drawing of the engagement hole vicinity of the optical component holding component as an embodiment of this invention. 本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品の係合突起部近傍の断面図である。It is sectional drawing of the engagement protrusion part vicinity of the optical component holding component as an example of embodiment of this invention. 本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品を複数個重ねて使用する場合について説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the case where two or more optical component holding components are used as an example of embodiment of this invention. 本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品を複数個重ねて使用する場合について説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the case where two or more optical component holding components are used as an example of embodiment of this invention. 本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品を複数個重ねて使用する場合について説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the case where two or more optical component holding components are used as an example of embodiment of this invention. 本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品を複数個重ねて使用する場合について説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the case where two or more optical component holding components are used as an example of embodiment of this invention. 本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品を説明する平面図である。It is a top view explaining the optical component holding component as an example of an embodiment of the invention. 本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品を説明する図で、可変仕切部の係合凸部を説明する側面図である。It is a figure explaining the optical component holding | maintenance component as an embodiment of this invention, and is a side view explaining the engagement convex part of a variable partition part. 本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品の部分拡大図で、可変仕切部取付部に可変仕切部を取り付けた状態の平面図である。It is the elements on larger scale of the optical component holding | maintenance component as an example of embodiment of this invention, and is a top view of the state which attached the variable partition part to the variable partition part attachment part. 本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品の部分拡大図で、可変仕切部取付部に可変仕切部を取り付けていない状態の平面図である。It is the elements on larger scale of the optical component holding | maintenance component as an example of embodiment of this invention, and is a top view of the state which has not attached the variable partition part to the variable partition part attachment part. 本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品の可変仕切部の平面図である。It is a top view of the variable partition part of the optical component holding component as an embodiment of the present invention. 被洗浄・乾燥物としての光学部品の形状の例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the example of the shape of the optical component as a to-be-cleaned and dried material. 被洗浄・乾燥物としての光学部品の形状の例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the example of the shape of the optical component as a to-be-cleaned and dried material. 被洗浄・乾燥物としての光学部品の形状の例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the example of the shape of the optical component as a to-be-cleaned and dried material. 被洗浄・乾燥物としての光学部品の形状の例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the example of the shape of the optical component as a to-be-cleaned and dried material. 被洗浄・乾燥物としての光学部品の形状の例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the example of the shape of the optical component as a to-be-cleaned and dried material. 従来のスピン乾燥装置の要部をモデル的に示した斜視図である。It is the perspective view which showed the principal part of the conventional spin dryer as a model. ワークの3点支持による保持方法について説明する図である。It is a figure explaining the holding | maintenance method by 3 point | piece support of a workpiece | work. 光学部品支持部品の例を説明するための図で、光学部品支持部品1本の斜視図である。It is a figure for demonstrating the example of an optical component support component, and is a perspective view of one optical component support component. 図23の光学部品支持部品を直線Y1−Y2の位置で切った断面から斜めに見た図である。It is the figure which looked at the optical component support component of FIG. 23 diagonally from the cross section cut in the position of the straight line Y1-Y2. 図23の光学部品支持部品3本でワークを保持している状態を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the state holding the workpiece | work with three optical component support components of FIG. 光学部品支持部品の例を説明するための図で、光学部品支持部品一本の斜視図である。It is a figure for demonstrating the example of an optical component support component, and is a perspective view of one optical component support component. 図26の光学部品支持部品3本でワークを保持している状態を説明する図である。It is a figure explaining the state holding the workpiece | work with three optical component support components of FIG. ワークと支持部品の接触状態を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the contact state of a workpiece | work and support components. 従来の洗浄・乾燥用の光学部品保持部品の斜視図である。It is a perspective view of the conventional optical component holding component for washing and drying. 従来のスピン乾燥装置を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the conventional spin dryer. 従来のスピン乾燥方法を説明する模式的断面図である。It is typical sectional drawing explaining the conventional spin drying method. 従来の光学部品の洗浄・乾燥方法における残留洗浄液の手拭き作業を説明する図である。It is a figure explaining the manual wiping operation | work of the residual cleaning liquid in the washing | cleaning and drying method of the conventional optical component. 従来の光学部品の洗浄・乾燥方法における残留洗浄液の手拭き作業を説明する図である。It is a figure explaining the manual wiping operation | work of the residual cleaning liquid in the washing | cleaning and drying method of the conventional optical component. クレードルについて説明する図である。図中、(A)はクレードルを上方から見た図、(B)はクレードルを手前から見た図、(C)はクレードルを右側方から見た図である。It is a figure explaining a cradle. In the figure, (A) is a view of the cradle viewed from above, (B) is a view of the cradle viewed from the front, and (C) is a view of the cradle viewed from the right side.

符号の説明Explanation of symbols

200,200a,200b,220,250,1014,1015,1355:光学部品保持部品
1332〜1334,1340,1350:光学部品支持部品(光学部品支持棒)
201,251:基板
1356:光学部品挿入部
215,215a〜215e,255,255a〜255e,1356b:貫通孔
265a〜265e,400,1047,1331:ワーク(光学部品)
1048:蓋
204,208,209,262,1048a:穴
1041〜1045:洗浄液
201a,251a:基板の表側
201b,251b:基板の裏側
202:光学部品保持部
203:光学部品保持部を結んで形成されている溝
205,261:基板の表側の係合突起部
206,263:スペーサー突起
212:光学部品載置部
212b:光学部品載置部の外周部(周縁部)
212c,212d:光学部品載置部の外周部の互いに対向している端部
213:光学部品保持部の裏側部分
214,214a〜214d,254,254a〜254d:光学部品載置部の島部
215a1,215e1:貫通孔の細長い辺の一つ
252,252a,252b,252c:可変光学部品保持部
254e:可変仕切部取付部の底部に形成されている島部
256,266:可変仕切部
256a,267:可変仕切部を構成する仕切板
256b,268,269:可変仕切部に設けられた係合凸部
256c:可変仕切部を構成する仕切板の上面
256d:可変仕切部を構成する仕切板の下面
260:可変仕切部取付部
501:綿棒
502,503:端部
504,1316,1046,1049:矢印
510:ハンドラップ
511:有機溶剤
512:皿部
513:ピンセット
514:管
800,1016,1017:クレードル
830:取っ手部分
1010,1303:回転体
1011:回転軸
1012a,1012b,1013a,1013b:固定ネジ
1020:上部枠
1018,1019:連結ピン
1018a,1019a,1310〜1313:ホルダ
1018b,1019b:溝
1021〜1024,1315:支持棒
1301:スピン乾燥装置
1370:回転板
1310c、1311c、1312c、1313c:側壁
1310a,1310b,1311a,1311b,1312a,1312b,1313a,1313b:クレードル設置用溝
1332〜1334,1340,1350:光学部品支持部品
1356a:光学部品載置枠
200, 200a, 200b, 220, 250, 1014, 1015, 1355: Optical component holding component 1332-1334, 1340, 1350: Optical component support component (optical component support rod)
201, 251: Substrate 1356: Optical component insertion portion 215, 215a to 215e, 255, 255a to 255e, 1356b: Through hole 265a to 265e, 400, 1047, 1331: Workpiece (optical component)
1048: Lid 204, 208, 209, 262, 1048a: Holes 1041 to 1045: Cleaning liquid 201a, 251a: Front side of substrate 201b, 251b: Back side of substrate 202: Optical component holding unit 203: Optical component holding unit is formed. Grooves 205, 261: Engaging protrusions 206, 263: Spacer protrusions 212: Optical component placement part 212b: Outer peripheral part (peripheral part) of the optical component placement part
212c, 212d: End portions of the outer peripheral portion of the optical component placement portion facing each other 213: Back side portions of the optical component holding portion 214, 214a to 214d, 254, 254a to 254d: Island portion 215a1 of the optical component placement portion , 215e1: One of the long and narrow sides of the through hole 252, 252a, 252b, 252c: Variable optical component holding part 254e: Island part 256, 266: Variable partition part 256a, 267 formed at the bottom of the variable partition mounting part : Partition plates 256b, 268, 269 constituting the variable partition portion: Engaging convex portions 256c provided on the variable partition portion 256c: Upper surface of the partition plate constituting the variable partition portion 256d: Lower surface of the partition plate constituting the variable partition portion 260: Variable partition mounting part 501: Cotton swab 502, 503: End 504, 1316, 1046, 1049: Arrow 510: Hand wrap 511: Organic solvent 512: Plate part 513: Tweezers 514: Tube 800, 1016, 1017: Cradle 830: Handle part 1010, 1303: Rotating body 1011: Rotating shaft 1012a, 1012b, 1013a, 1013b: Fixing screw 1020: Upper frame 1018 , 1019: Connecting pin 1018a, 1019a, 1310-1313: Holder 1018b, 1019b: Groove 1021-1024, 1315: Support rod 1301: Spin drying device 1370: Rotating plate 1310c, 1311c, 1312c, 1313c: Side wall 1310a, 1310b, 1311a , 1311b, 1312a, 1312b, 1313a, 1313b: Cradle installation grooves 1332-1334, 1340, 1350: Optical component support components 1356a: Optical component mounting frame

Claims (55)

光学部品の洗浄と洗浄した光学部品のスピン乾燥の少なくとも一方に使用することができる光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品は被洗浄物あるいは被乾燥物としての光学部品を載置して保持することができる光学部品保持部を複数有しており、複数の前記光学部品保持部は、そこに保持される光学部品を載置することができる光学部品載置部を有しているとともに、それぞれ隣にある他の光学部品保持部と互いに区別される仕切部を有しており、前記光学部品載置部には前記光学部品載置部の表側すなわち前記光学部品を載置する側から前記光学部品を載置する側とは反対側(以下、光学部品保持部品の裏側ともいう)まで貫通して形成されている貫通孔が少なくとも3つ形成されており、前記貫通孔の少なくとも3つは前記光学部品載置部において各貫通孔の開口部が細長い形状をしており、前記開口部が細長い形状をしている少なくとも3つの貫通孔のうちの2つの貫通孔は、前記貫通孔の開口部の細長い方の一辺の半分以上が当該光学部品載置部の対向する両端部のうちのいずれかの端部に0.5mm以内の誤差を許容してそれぞれ接して形成されていることを特徴とする光学部品保持部品。   In an optical component holding component that can be used for at least one of cleaning of an optical component and spin drying of the cleaned optical component, the optical component holding component places and holds an object to be cleaned or an optical component as an object to be dried. A plurality of optical component holders, and the plurality of optical component holders have optical component placement portions on which optical components held therein can be placed, Each of the optical component mounting portions has a partition portion that is distinguishable from other optical component holding portions that are adjacent to each other, and the optical component mounting portion has a front side, that is, the optical component mounting side. At least three through holes formed so as to penetrate to the side opposite to the side on which the optical component is placed (hereinafter also referred to as the back side of the optical component holding component) are formed, and at least three of the through holes are Above The opening of each through hole has an elongated shape in the school part mounting portion, and two of the at least three through holes in which the opening has an elongated shape are the openings of the through hole. More than half of one side of the elongated part of the optical component is formed so as to be in contact with any one of the opposite ends of the optical component mounting portion while allowing an error within 0.5 mm. Optical component holding parts. 請求項1に記載の光学部品保持部品において、前記貫通孔の開口部の細長い方の一辺の半分以上が前記光学部品載置部の対向する両端部のうちのいずれかの端部に0.5mm以内の誤差を許容してそれぞれ接して形成されている2つの貫通孔は、各貫通孔の開口部の細長い方の一辺のおおむね全体が前記光学部品載置部の対向する両端部のうちのいずれかの端部に0.5mm以内の誤差を許容してそれぞれ接して形成されている(以下、前記各貫通孔の開口部の細長い方の一辺の半分以上が前記光学部品載置部の対向する両端部のうちのいずれかの端部に0.5mm以内の誤差を許容してそれぞれ接して形成されている状態のことを、あるいは前記各貫通孔の開口部の細長い方の一辺のおおむね全体が前記光学部品載置部の対向する両端部のうちのいずれかの端部に0.5mm以内の誤差を許容してそれぞれ接して形成されている状態のことを、単に、前記各貫通孔の開口部の細長い方の一辺が前記光学部品載置部の対向する両端部のうちのいずれかの端部に接して形成されているともいう)ことを特徴とする光学部品保持部品。   2. The optical component holding component according to claim 1, wherein at least half of one side of the elongated portion of the opening of the through hole is 0.5 mm at either end of the opposite end portions of the optical component mounting portion. The two through holes formed so as to be in contact with each other with an error of within are substantially the whole of one side of the elongated part of the opening of each through hole. Are formed in contact with each other with an error of 0.5 mm or less (hereinafter, more than half of one side of the elongated portion of each through hole is opposed to the optical component mounting portion). A state in which an error within 0.5 mm is allowed in contact with any one of both end portions, or the whole of one side of the elongated side of the opening of each through-hole Of opposite ends of the optical component mounting portion The state in which each of the end portions is formed in contact with each other with an error of 0.5 mm or less is simply indicated by the fact that one side of the elongated portion of the opening of each through-hole is the optical component mounting portion. The optical component holding component is also characterized in that it is formed in contact with either one of the opposite end portions. 請求項1または2に記載の光学部品保持部品において、光学部品載置部の対向する両端部のうちのいずれかの端部に接して形成されている前記2つの各貫通孔の開口部が、光学部品載置部の前記開口部の細長い方の一辺が接して形成されている対向する両端部とは異なる方向で対向している2つの端部のうちの一方の端部から他方の端部まで連続して形成されていることを特徴とする光学部品保持部品。   The optical component holding component according to claim 1 or 2, wherein the opening of each of the two through holes formed in contact with any one of the opposite ends of the optical component placement portion, One end portion to the other end portion of two end portions facing each other in a direction different from opposite end portions formed by contacting one side of the elongated portion of the opening of the optical component mounting portion An optical component holding part characterized by being formed continuously. 請求項1〜3のいずれかに記載の光学部品保持部品において、少なくとも1つの前記光学部品載置部の前記細長い方の一辺が前記光学部品載置部の対向する両端部のうちのいずれかの端部に接して形成されている貫通孔を除く貫通孔の過半数が細長い形状の開口部を有しており、前記開口部は同じ方向に細長く形成されているとともに、当該光学部品載置部の前記開口部の細長い方の一辺が接して形成されている前記対向する両端部とは異なる方向で対向している両端部のうちの一方の端部から他方の端部まで連続して形成されていることを特徴とする光学部品保持部品。   The optical component holding component according to any one of claims 1 to 3, wherein one side of the elongated side of at least one of the optical component mounting portions is one of both opposing end portions of the optical component mounting portion. A majority of the through-holes excluding the through-holes formed in contact with the end portions have elongated openings, and the openings are elongated in the same direction, and the optical component mounting portion The opening is formed continuously from one end to the other end of both ends opposed to each other in a direction different from the opposite ends formed in contact with one side of the elongated side. An optical component holding part. 請求項1〜4のいずれかに記載の光学部品保持部品において、少なくとも1つの前記光学部品載置部の前記少なくとも3つの貫通孔のうちの前記開口部の細長い方の一辺が当該光学部品載置部の対向する端部に接して形成されている2つの貫通孔とは異なる1つの貫通孔は、前記光学部品載置部の中央部に、当該光学部品載置部の前記開口部の細長い方の一辺が接して形成されている前記対向する両端部とは異なる方向で対向している両端部のうちの一方の端部から他方の端部まで連続して形成されていることを特徴とする光学部品保持部品。   5. The optical component holding component according to claim 1, wherein an elongated one side of the opening portion of the at least three through holes of the at least one optical component mounting portion is the optical component mounting portion. One through-hole different from the two through-holes formed in contact with the opposite ends of the part is formed in the center of the optical component mounting portion at the elongated direction of the opening of the optical component mounting portion. It is characterized in that it is formed continuously from one end to the other end of both ends facing each other in a direction different from the opposing both ends formed in contact with each other. Optical component holding component. 請求項1〜5のいずれかに記載の光学部品保持部品において、少なくとも1つの前記光学部品載置部の全ての貫通孔が細長い形状の開口部を有しており、前記開口部は同じ方向に細長く形成されているとともに、当該光学部品載置部の前記開口部の細長い方の一辺が接して形成されている前記対向する両端部とは異なる方向で対向している両端部のうちの一方の端部から他方の端部まで連続して形成されていることを特徴とする光学部品保持部品。   The optical component holding component according to any one of claims 1 to 5, wherein all the through holes of at least one of the optical component mounting portions have elongated openings, and the openings are in the same direction. One of the end portions facing each other in a direction different from the opposing both end portions formed in contact with the one side of the elongated portion of the opening of the optical component mounting portion. An optical component holding part formed continuously from one end to the other end. 請求項1〜6のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品載置部の貫通孔の少なくとも2つは、その光学部品載置部表面における開口部の長さ方向の中心線が互いに平行になっていることを特徴とする光学部品保持部品。   The optical component holding component according to any one of claims 1 to 6, wherein at least two of the through holes of the optical component mounting portion have a center line in the length direction of the opening on the surface of the optical component mounting portion. An optical component holding part characterized by being parallel to each other. 請求項1〜7のいずれかに記載の光学部品保持部品において、少なくとも1つの前記光学部品載置部には、細長い形状の開口部を有する少なくとも3つの貫通孔が、互いに平行に形成されていることを特徴とする光学部品保持部品。   The optical component holding component according to any one of claims 1 to 7, wherein at least three through-holes having elongated openings are formed in parallel with each other in at least one of the optical component mounting portions. An optical component holding part. 請求項1〜8のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部の前記仕切部の端部の少なくとも一部が前記光学部品載置部の端部の少なくとも一部に0.5mm以内の誤差を許容して接して形成されていることを特徴とする光学部品保持部品。   9. The optical component holding component according to claim 1, wherein at least a part of the end portion of the partition portion of the optical component holding portion is set to at least a portion of the end portion of the optical component mounting portion. An optical component holding part, wherein the optical part holding part is formed so as to allow an error within 5 mm. 請求項1〜9のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部の前記光学部品載置部よりも上の部分すなわち光学部品を挿入する側の部分の形状が一様な寸法・形状であることを特徴とする光学部品保持部品。   The optical component holding component according to any one of claims 1 to 9, wherein a shape of a portion of the optical component holding portion above the optical component placement portion, that is, a portion on the side where the optical component is inserted is uniform. An optical component holding part characterized by a shape. 請求項1〜10のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品が、前記光学部品保持部品の表側と裏側における前記複数の光学部品保持部の形成されている部分等の細部の凹凸形状を除いて、少なくとも主要部分が全体としておおむね平行平板であることを特徴とする光学部品保持部品。   The optical component holding component according to claim 1, wherein the optical component holding component is a detail such as a portion where the plurality of optical component holding portions are formed on the front side and the back side of the optical component holding component. An optical component holding part characterized in that at least the main part is generally a parallel plate as a whole, except for the concave-convex shape. 請求項1〜11のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部の前記仕切部の少なくとも一つが着脱可能な仕切部であることを特徴とする光学部品保持部品。   The optical component holding component according to claim 1, wherein at least one of the partition portions of the optical component holding portion is a detachable partition portion. 請求項1〜12のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品の前記光学部品載置部の貫通孔の縁部が面取りされているか曲面形状に形成されていることを特徴とする光学部品保持部品。   The optical component holding component according to any one of claims 1 to 12, wherein an edge portion of the through hole of the optical component mounting portion of the optical component holding component is chamfered or formed in a curved shape. Optical component holding parts. 請求項1〜13のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部の全ての貫通孔の光学部品載置部表面における開口部が互いに平行に形成されていることを特徴とする光学部品保持部品。   The optical component holding component according to any one of claims 1 to 13, wherein openings on the surface of the optical component mounting portion of all through holes of the optical component holding portion are formed in parallel to each other. Optical component holding component. 請求項1〜14のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記開口部の細長い方の一辺が前記光学部品載置部の対向する各端部にそれぞれ接して形成されている貫通孔でない前記貫通孔の光学部品載置部表面における開口部が、前記開口部の両端部近傍を除いて一様な幅の開口部であることを特徴とする光学部品保持部品。   The optical component holding component according to any one of claims 1 to 14, wherein one side of the elongated portion of the opening is not a through-hole formed in contact with each opposing end of the optical component placement portion. An optical component holding component, wherein the opening of the through hole on the surface of the optical component mounting portion is an opening having a uniform width except for the vicinity of both ends of the opening. 請求項1〜15のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記貫通孔が光学部品載置部表面から光学部品保持部品の裏側まで、5°以内の傾きを許容しておおむね一様な貫通孔であることを特徴とする光学部品保持部品。   The optical component holding component according to any one of claims 1 to 15, wherein the through-hole allows an inclination within 5 ° from the surface of the optical component mounting portion to the back side of the optical component holding component and is substantially uniform. An optical component holding part characterized by being a hole. 請求項1〜16のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品の前記光学部品保持部の形成されている部分の裏側の縁部が面取りされていることを特徴とする光学部品保持部品。   The optical component holding component according to any one of claims 1 to 16, wherein an edge on the back side of a portion of the optical component holding component where the optical component holding portion is formed is chamfered. Parts holding parts. 請求項1〜17のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品の前記光学部品保持部の形成されている部分の裏側の全ての貫通孔の開口部の縁部が面取りされていることを特徴とする光学部品保持部品。   The optical component holding component according to any one of claims 1 to 17, wherein edges of all through-hole openings on the back side of the portion where the optical component holding portion of the optical component holding component is formed are chamfered. An optical component holding part characterized by comprising: 請求項1〜18のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品載置部になっている光学部品保持部の底部を構成している肉部のうちの隣り合った2つの貫通孔の間の部分、すなわち、隣り合った2つの貫通孔の間の部分を島部と定義して、前記光学部品載置部の島部の当該光学部品載置部における幅寸法が0.6〜2mmであることを特徴とする光学部品保持部品。   The optical component holding component according to any one of claims 1 to 18, wherein two adjacent through-holes in a meat portion constituting a bottom portion of the optical component holding portion serving as the optical component placing portion. The portion between the two, that is, the portion between two adjacent through holes is defined as an island portion, and the width dimension of the island portion of the optical component placement portion in the optical component placement portion is 0.6 to Optical component holding component characterized by being 2 mm. 請求項1〜19のいずれかに記載の光学部品保持部品において、複数の隣り合った前記光学部品保持部の間には、前記光学部品保持部の前記光学部品載置部の周縁部よりも0.5mm以上浅い溝(以下、連結溝ともいう)が形成されていることを特徴とする光学部品保持部品。   The optical component holding component according to any one of claims 1 to 19, wherein a distance between a plurality of adjacent optical component holding portions is less than a peripheral portion of the optical component placing portion of the optical component holding portion. An optical component holding part in which a groove (hereinafter also referred to as a connecting groove) shallower than 5 mm is formed. 請求項20に記載の光学部品保持部品において、複数の前記連結溝が光学部品保持部品の表面で一方向に平行に形成されていることを特徴とする光学部品保持部品。   21. The optical component holding component according to claim 20, wherein the plurality of connecting grooves are formed in parallel in one direction on the surface of the optical component holding component. 請求項1〜21のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品の表面の周辺部に複数のピン状の凸部と前記ピン状の凸部をはめ込むことができる複数の凹部(以下、表面凹部ともいう)が形成されており、前記光学部品保持部品の表面の前記凸部が形成されている位置の裏面には、前記ピン状の凸部をはめ込むことができる凹部(以下、裏面凹部ともいう)が形成されており、前記表面の凸部をその裏側に形成されている凹部にはめ込んで、複数の前記光学部品保持部品を結合させることができる構造になっていることを特徴とする光学部品保持部品。   The optical component holding component according to any one of claims 1 to 21, wherein a plurality of pin-shaped convex portions and a plurality of concave portions capable of fitting the pin-shaped convex portions into a peripheral portion of a surface of the optical component holding component. (Hereinafter, also referred to as a front surface concave portion), and a concave portion (hereinafter referred to as a pin-shaped convex portion) that can be fitted into the back surface of the optical component holding component where the convex portion is formed. , Also referred to as a back surface recess), and a structure in which a plurality of the optical component holding parts can be coupled by fitting the convex portion on the front surface into the concave portion formed on the back side thereof. Features optical component holding parts. 請求項1〜22のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品の表側周縁部、すなわち、前記光学部品保持部が形成されている側の周縁部の形状は、高さの異なる表側外側周縁部とその内側の周縁部(以下、表側内側周縁部ともいう)の2種類の周縁部を有する2段形状(以下、表側2段形状ともいう)になっており、前記表側2段形状は、当該光学部品保持部品の表面から裏面に向かう方向を高さの低い方向と定義して、前記表側外側周縁部が前記表側内側周縁部よりも高さが低く形成されており、前記表側内側周縁部に前記凸部と表面凹部が形成されており、前記表側内側周縁部の内側に前記光学部品保持部が形成されており、前記光学部品保持部品の裏側周縁部は高さの異なる裏側外側周縁部とその内側の周縁部(以下、裏側内側周縁部ともいう)の2段形状(以下、裏側2段形状ともいう)になっており、前記裏側2段形状は、前記裏側外側周縁部が前記裏側内側周縁部よりも高さが低く、すなわち、前記光学部品保持部品の裏面において前記裏側外側周縁部から前記裏側内側周縁部が窪んでいるように形成されており、前記裏側内側周縁部の内側に前記光学部品保持部の貫通孔が形成されており、異なる2つの前記光学部品保持部品を、一方の前記光学部品保持部品の前記表側内側周縁部を他方の前記光学部品保持部品の前記裏側内側周縁部に係合させて、前記一方の光学部品保持部品の前記表側内側周縁部に形成されている凸部を前記他方の光学部品保持部品の前記裏側内側周縁部に形成されている裏面凹部にはめ込んで接続することができる構造になっていることを特徴とする光学部品保持部品。   The optical component holding component according to any one of claims 1 to 22, wherein the shape of the front side peripheral portion of the optical component holding component, that is, the peripheral portion on the side where the optical component holding portion is formed is It has a two-stage shape (hereinafter also referred to as a front-side two-stage shape) having two types of peripheral edges, ie, a different front-side outer peripheral edge and an inner peripheral edge (hereinafter also referred to as a front-side inner peripheral edge). The step shape defines a direction from the front surface to the back surface of the optical component holding component as a low height direction, and the front outer peripheral edge is formed lower in height than the front inner peripheral edge, The convex part and the surface concave part are formed in the front side inner peripheral part, the optical component holding part is formed inside the front side inner peripheral part, and the back side peripheral part of the optical part holding part is different in height. Back side outer edge and inner edge (Hereinafter also referred to as back side inner peripheral edge) has a two-step shape (hereinafter also referred to as back side two-step shape), and the back side two-step shape is such that the back side outer peripheral edge is higher than the back side inner peripheral edge. The back side inner peripheral edge portion is recessed from the back outer peripheral edge portion on the back surface of the optical component holding component, and the optical component holding portion is formed on the inner side of the back inner peripheral edge portion. A through hole is formed, and two different optical component holding components are engaged by engaging the front side inner periphery of one optical component holding component with the back inner periphery of the other optical component holding component. The convex portion formed on the front side inner peripheral edge portion of the one optical component holding component can be fitted and connected to the back surface concave portion formed on the back side inner peripheral edge portion of the other optical component holding component. Optical component holding component, wherein it is in the concrete. 請求項1〜23のいずれかに記載の光学部品保持部品において、異なる2つの前記光学部品保持部品を、一方の前記光学部品保持部品は光学部品保持部が形成されている表側を上側にして、他方の前記光学部品保持部品は光学部品保持部が形成されている表側を下側にして、2つの前記光学部品保持部品を重ね合わせたときに、前記一方の光学部品保持部品の前記表側内側周縁部に形成されている凸部を前記他方の光学部品保持部品の前記表側内側周縁部に形成されている表面凹部にはめ込んで、接続することができる構造になっていることを特徴とする光学部品保持部品。   The optical component holding component according to any one of claims 1 to 23, wherein two different optical component holding components are arranged, with one optical component holding component having the front side on which the optical component holding portion is formed on the upper side. The other optical component holding component has the front side on the front side of the one optical component holding component when the two optical component holding components are overlapped with the front side on which the optical component holding portion is formed facing down. An optical component having a structure that can be connected by fitting a convex portion formed on the surface into a concave portion on the surface formed on the front inner peripheral edge of the other optical component holding component Holding parts. 請求項24に記載の光学部品保持部品において、2つの前記光学部品保持部品を、一方の前記光学部品保持部品は光学部品保持部が形成されている表側を上側にして、他方の前記光学部品保持部品は光学部品保持部が形成されている表側を下側にして、2つの前記光学部品保持部品を重ね合わせたときに、少なくとも一部の前記一方の光学部品保持部品の表面と前記他方の光学部品保持部品の表面との間に0.1〜0.5mmのギャップができる構造になっていることを特徴とする光学部品保持部品。   25. The optical component holding component according to claim 24, wherein the two optical component holding components are arranged such that one of the optical component holding components has the front side on which the optical component holding portion is formed facing upward and the other optical component holding component. When the two optical component holding components are overlapped with each other with the front side on which the optical component holding portion is formed facing down, at least a part of the surface of the one optical component holding component and the other optical An optical component holding part characterized in that a gap of 0.1 to 0.5 mm is formed between the surface of the part holding part and the part holding part. 請求項1〜25のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品の隣り合った2つの前記光学部品保持部の間隔が0.6mm以上であることを特徴とする光学部品保持部品。   The optical component holding component according to any one of claims 1 to 25, wherein an interval between two adjacent optical component holding portions of the optical component holding component is 0.6 mm or more. parts. 請求項23〜26のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品の表側内側周縁部に、前記表側内側周縁部の半分以上の周部分に当該光学部品保持部品の前記裏側内側周縁部に達する貫通孔が形成されていることを特徴とする光学部品保持部品。   27. The optical component holding component according to any one of claims 23 to 26, wherein the optical component holding component is provided at a front side inner peripheral edge portion of the optical component holding component and at least a half portion of the front side inner peripheral edge portion. An optical component holding part, wherein a through hole reaching the peripheral edge is formed. 請求項1〜27のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品の前記光学部品保持部の上方から見た輪郭形状が四角形であることを特徴とする光学部品保持部品。   28. The optical component holding component according to claim 1, wherein a contour shape of the optical component holding component viewed from above the optical component holding portion is a quadrangle. 請求項28に記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品の四角形の一隅に切欠部が形成されていることを特徴とする光学部品保持部品。   29. The optical component holding component according to claim 28, wherein a notch is formed at one corner of the quadrangle of the optical component holding component. 請求項1〜29のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部が縦横にマトリクス状に配置されていることを特徴とする光学部品保持部品。   30. The optical component holding component according to claim 1, wherein the optical component holding portion is arranged in a matrix in the vertical and horizontal directions. 請求項1〜30のいずれかに記載の光学部品保持部品において、少なくとも1つの前記光学部品保持部における前記光学部品載置部の上方から見た前記光学部品保持部の輪郭形状が四角形であることを特徴とする光学部品保持部品。   31. The optical component holding component according to claim 1, wherein a contour shape of the optical component holding portion as viewed from above the optical component placing portion in at least one of the optical component holding portions is a quadrangle. Optical component holding parts characterized by 請求項31に記載の光学部品保持部品において、少なくとも1つの前記光学部品保持部における前記光学部品載置部の上方から見た前記光学部品保持部の輪郭形状が長方形であることを特徴とする光学部品保持部品。   32. The optical component holding component according to claim 31, wherein a contour shape of the optical component holding portion as viewed from above the optical component placing portion in at least one of the optical component holding portions is a rectangle. Parts holding parts. 請求項1〜30のいずれかに記載の光学部品保持部品において、少なくとも1つの前記光学部品保持部における前記光学部品載置部の上方から見た前記光学部品保持部の輪郭形状が円形であることを特徴とする光学部品保持部品。   The optical component holding component according to any one of claims 1 to 30, wherein a contour shape of the optical component holding portion viewed from above the optical component placing portion in at least one of the optical component holding portions is circular. Optical component holding parts characterized by 請求項1〜30のいずれかに記載の光学部品保持部品において、少なくとも1つの前記光学部品保持部における前記光学部品載置部の上方から見た前記光学部品保持部の輪郭形状が楕円形あるいは長円形であることを特徴とする光学部品保持部品。   The optical component holding component according to any one of claims 1 to 30, wherein an outline shape of the optical component holding portion viewed from above the optical component placement portion in at least one of the optical component holding portions is elliptical or long. Optical component holding part characterized by being circular. 請求項1〜30のいずれかに記載の光学部品保持部品において、少なくとも1つの前記光学部品保持部における前記光学部品載置部の上方から見た前記光学部品保持部の輪郭形状が長穴形状すなわち細長い穴の形状であることを特徴とする光学部品保持部品。   The optical component holding component according to any one of claims 1 to 30, wherein an outline shape of the optical component holding portion viewed from above the optical component mounting portion in at least one of the optical component holding portions is an elongated hole shape, An optical component holding part having a shape of an elongated hole. 請求項1〜35のいずれかに記載の光学部品保持部品において、少なくとも1つの前記光学部品保持部が、光学部品保持部の少なくとも一方向の寸法を変えることができる光学部品保持部(以下、可変光学部品保持部ともいう)として形成されていることを特徴とする光学部品保持部品。   The optical component holding component according to any one of claims 1 to 35, wherein at least one of the optical component holding portions can change the dimension of at least one direction of the optical component holding portion (hereinafter, variable). An optical component holding part formed as an optical part holding part). 請求項36に記載の光学部品保持部品において、前記可変光学部品保持部の少なくとも一方向の寸法を変える手段が着脱可能な仕切部(以下、可変仕切部ともいう)による手段であることを特徴とする光学部品保持部品。   37. The optical component holding component according to claim 36, wherein the means for changing the dimension in at least one direction of the variable optical component holding portion is a means by a removable partition portion (hereinafter also referred to as a variable partition portion). Optical component holding parts. 請求項36または37に記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部の上方から見た前記光学部品保持部品は、その一方の方向(以下、縦方向ともいう)に、前記可変光学部品保持部が、固定されている仕切部(以下、固定仕切部ともいう)によって仕切られて、複数列配置されており、前記可変光学部品保持部は、前記光学部品保持部品の縦方向におおむね直交する方向(以下、横方向ともいう)に前記可変仕切部を移動して配置することができる構造になっていることを特徴とする光学部品保持部品。   38. The optical component holding component according to claim 36 or 37, wherein the optical component holding component viewed from above the optical component holding portion holds the variable optical component in one direction (hereinafter also referred to as a vertical direction). The parts are partitioned by a fixed partition part (hereinafter also referred to as a fixed partition part) and arranged in a plurality of rows, and the variable optical component holding part is substantially orthogonal to the longitudinal direction of the optical component holding part. An optical component holding part characterized in that the variable partition portion can be moved and arranged in a direction (hereinafter also referred to as a lateral direction). 請求項36〜38のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部の上方から見た前記光学部品保持部品は、その一方の方向(以下、縦方向ともいう)に、前記可変光学部品保持部が、可変仕切部によって仕切られて、複数列配置されており、前記可変光学部品保持部は、前記光学部品保持部品の縦方向におおむね直交する方向(以下、横方向ともいう)に前記可変仕切部を移動して配置することができるとともに、縦方向にも前記可変仕切部を移動して配置することができる構造になっていることを特徴とする光学部品保持部品。   The optical component holding component according to any one of claims 36 to 38, wherein the optical component holding component viewed from above the optical component holding portion is variable in one direction (hereinafter also referred to as a vertical direction). The optical component holding portions are partitioned by a variable partitioning portion and arranged in a plurality of rows, and the variable optical component holding portions are generally orthogonal to the vertical direction of the optical component holding component (hereinafter also referred to as a horizontal direction). An optical component holding component having a structure in which the variable partition portion can be moved and arranged in the vertical direction, and the variable partition portion can also be moved and arranged in the vertical direction. 請求項37〜39のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記可変仕切部を前記固定仕切部または当該可変仕切部とは異なる可変仕切部に装着することができる取付部(以下、可変仕切部取付部ともいう)が設けられていることを特徴とする光学部品保持部品。   The optical component holding component according to any one of claims 37 to 39, wherein the variable partition portion can be attached to the fixed partition portion or a variable partition portion different from the variable partition portion (hereinafter, variable partition portion). An optical component holding part provided with a part mounting part). 請求項36〜40のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部には、少なくとも2つの前記貫通孔が、前記可変仕切部に平行な方向に、当該光学部品載置部の一端から他端に至る開口部を有するように形成されていることを特徴とする光学部品保持部品。   41. The optical component holding component according to claim 36, wherein at least two of the through holes are provided in the optical component holding portion in a direction parallel to the variable partition portion. An optical component holding part, wherein the optical part holding part is formed to have an opening from one end to the other end. 請求項36〜41のいずれかに記載の光学部品保持部品において、少なくとも1つの前記可変光学部品保持部は、横方向の両端部に固定仕切部を有し、前記両固定仕切部の間には可変仕切部を着脱可能に取付けることができる取付部が複数設けられていることを特徴とする光学部品保持部品。   The optical component holding component according to any one of claims 36 to 41, wherein at least one of the variable optical component holding portions has a fixed partition portion at both ends in a lateral direction, and between the fixed partition portions. An optical component holding component comprising a plurality of attachment portions to which the variable partition portion can be detachably attached. 請求項36〜42のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品の縦方向に前記可変光学部品保持部が複数列配置されており、各列の横方向には少なくとも1つの前記可変光学部品保持部が配置されていることを特徴とする光学部品保持部品。   The optical component holding component according to any one of claims 36 to 42, wherein the variable optical component holding portions are arranged in a plurality of rows in the vertical direction of the optical component holding component, and at least one in the horizontal direction of each row. An optical component holding component, wherein the variable optical component holding portion is disposed. 請求項42または43に記載の光学部品保持部品において、前記複数列の可変光学部品保持部を仕切っている固定仕切部または可変仕切部には、前記複数列の可変光学部品保持部にまたがって各可変光学部品保持部を仕切ることができる前記可変仕切部を装着することができる前記可変仕切部取付部が複数箇所に設けられていることを特徴とする光学部品保持部品。   44. The optical component holding component according to claim 42 or 43, wherein each of the fixed partition portion or the variable partition portion that partitions the plurality of rows of variable optical component holding portions extends over the plurality of rows of variable optical component holding portions. An optical component holding component, wherein the variable partition mounting portion capable of mounting the variable partition portion capable of partitioning the variable optical component holding portion is provided at a plurality of locations. 請求項44に記載の光学部品保持部品において、前記固定仕切部または可変仕切部には前記可変仕切部取付部が等間隔に配置されていることを特徴とする光学部品保持部品。   45. The optical component holding component according to claim 44, wherein the variable partition portion mounting portions are arranged at equal intervals in the fixed partition portion or the variable partition portion. 請求項40〜45のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記可変仕切部の前記可変仕切部取付部に装着する部分には、前記可変仕切部取付部に挿入することが出来る凸部(以下、係合凸部ともいう)が設けられていることを特徴とする光学部品保持部品。   The optical component holding component according to any one of claims 40 to 45, wherein a portion of the variable partition portion to be mounted on the variable partition portion mounting portion is a convex portion that can be inserted into the variable partition portion mounting portion ( Hereinafter, an optical component holding component provided with an engagement convex portion). 請求項46に記載の光学部品保持部品において、前記係合凸部の外形が細長い曲面であることを特徴とする光学部品保持部品。   The optical component holding component according to claim 46, wherein an outer shape of the engaging convex portion is an elongated curved surface. 請求項46または47に記載の光学部品保持部品において、前記係合凸部の外形が円筒の側面の一部であることを特徴とする光学部品保持部品。   48. The optical component holding component according to claim 46, wherein an outer shape of the engaging convex portion is a part of a side surface of a cylinder. 請求項46に記載の光学部品保持部品において、前記係合凸部の外形が球面の一部であることを特徴とする光学部品保持部品。   The optical component holding component according to claim 46, wherein an outer shape of the engaging convex portion is a part of a spherical surface. 請求項46に記載の光学部品保持部品において、前記係合凸部の外形が三角柱の一部であることを特徴とする光学部品保持部品。   The optical component holding component according to claim 46, wherein an outer shape of the engaging convex portion is a part of a triangular prism. 請求項46〜50のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記可変仕切部の前記可変仕切部取付部が、前記可変仕切部の、それを装着することができる全ての各固定仕切部または可変仕切部に交差する位置に設けられていることを特徴とする光学部品保持部品。   The optical component holding component according to any one of claims 46 to 50, wherein the variable partition portion mounting portion of the variable partition portion includes all the fixed partition portions on which the variable partition portion can be mounted or An optical component holding part provided at a position intersecting with the variable partition. 請求項46〜51のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記可変仕切部の前記係合凸部を含めた厚み寸法が、前記係合凸部が装着される前記可変仕切部取付部の寸法よりも0.01〜0.1mm大きいことを特徴とする光学部品保持部品。   52. The optical component holding component according to any one of claims 46 to 51, wherein a thickness dimension of the variable partition portion including the engagement convex portion of the variable partition portion mounting portion to which the engagement convex portion is attached. An optical component holding part characterized by being 0.01 to 0.1 mm larger than the dimension. 請求項37〜52のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記可変仕切部の前記光学部品保持部の底部に当接する部分の形状が、光学部品保持部の底部の形状と同じ形状であることを特徴とする光学部品保持部品。   The optical component holding component according to any one of claims 37 to 52, wherein a shape of a portion of the variable partitioning portion that abuts on a bottom portion of the optical component holding portion is the same shape as a shape of a bottom portion of the optical component holding portion. An optical component holding part. 請求項1〜53のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品が樹脂の一体成形技術によって形成されていることを特徴とする光学部品保持部品。   The optical component holding component according to any one of claims 1 to 53, wherein the optical component holding component is formed by an integral molding technique of resin. 光学部品の洗浄と洗浄した光学部品のスピン乾燥の少なくとも一方に使用することができる光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品は被洗浄物あるいは被乾燥物としての光学部品を載置して保持することができる光学部品保持部を複数有しており、複数の前記光学部品保持部は、そこに保持される光学部品を載置することができる光学部品載置部を有しているとともに、それぞれ隣にある他の光学部品保持部と互いに区別される仕切部を有しており、前記光学部品載置部には前記光学部品載置部の表側すなわち前記光学部品を載置する側から前記光学部品保持部の光学部品挿入側とは反対側(以下、光学部品保持部品の裏側ともいう)まで貫通して形成されている貫通孔が少なくとも2つ形成されており、前記貫通孔の少なくとも2つは、前記光学部品載置部において、各貫通孔の開口部の一部が前記光学部品載置部の対向する両端部のうちのいずれかの端部に0.5mm以内の誤差を許容してそれぞれ接して形成されていることを特徴とする光学部品保持部品。
In an optical component holding component that can be used for at least one of cleaning of an optical component and spin drying of the cleaned optical component, the optical component holding component places and holds an object to be cleaned or an optical component as an object to be dried. A plurality of optical component holders, and the plurality of optical component holders have optical component placement portions on which optical components held therein can be placed, Each of the optical component mounting portions has a partition portion that is distinguishable from other optical component holding portions that are adjacent to each other, and the optical component mounting portion has a front side, that is, the optical component mounting side. At least two through holes formed so as to penetrate to the side opposite to the optical component insertion side of the optical component holding part (hereinafter also referred to as the back side of the optical component holding component) are formed. In the optical component placement portion, a part of the opening of each through hole allows an error of 0.5 mm or less at one of the opposing ends of the optical component placement portion. Optical component holding parts characterized by being formed in contact with each other.
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