JP2007104237A - 弾性表面波デバイスおよび集積回路 - Google Patents
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Abstract
著しく高いバイアス電圧を印加することなく、弾性表面波の強度を高速で変調しうる弾性表面波デバイスを提供することにある。
【解決手段】
サファイア基板11と、GaNからなる伝搬層12と、GaNと比較して広いバンドギャッブを持つAlGaNからなるバリア層13と、バリア層13の表面に形成された一組の電極である第一の櫛形電極16および、第二の櫛形電極17と、を備えるトランスバーサルフィルタ10において、第一の櫛形電極16および、第二の櫛形電極17を、ショットキ電極16a、17aと、オーミック電極16b、17bとから構成し、オーミック電極16b、17bを伝搬層12とバリア層13との接合面付近に存在する二次元電子ガス15と導通する構造とした。
【選択図】図1
Description
Voltage Controlled SAW filters on 2DEG AlGaN/GaN heterostructures(2004 IEEE MTT-S Digest PP.387-390).
12 伝搬層、13 バリア層、14 積層構造、15 二次元電子ガス、
16 第一の櫛形電極、16a ショットキ電極、16b オーミック電極、
16c オーミック領域、17 第二の櫛形電極、17a ショットキ電極、
17b オーミック電極、17c オーミック領域、18 平行電極指、
23 バリア層、24 積層構造、25 二次元電子ガス、
26 第一の櫛形電極、26a ショットキ電極、26b オーミック電極、
26c オーミック領域、27 第二の櫛形電極、27a ショットキ電極、
27b オーミック電極、27c オーミック領域、31 サファイア基板、32 伝搬層、33 バリア層、34 積層構造、35 二次元電子ガス、36 第一の櫛形電極、36a ショットキ電極、36b オーミック電極、36c オーミック領域、37 第二の櫛形電極、37a ショットキ電極、37b オーミック電極、37c オーミック領域、
50 従来のトランスバーサルフィルタ、51 サファイア基板、
52 伝搬層、53 バリア層、54 積層構造、55 二次元電子ガス、
56 第一の櫛形電極、56a、56b ショットキ電極、
57 第二の櫛形電極、57a、57b ショットキ電極
Claims (5)
- 基板と、第一の窒化物半導体材料からなる伝搬層と、前記第一の窒化物半導体材料と比較して広いバンドギャッブを持つ第二の窒化物半導体材料からなるバリア層と、前記バリア層の表面に形成された一組ないし数組の櫛形電極と、を備える弾性表面波デバイスにおいて、
前記櫛形電極は、ショットキ特性を有する電極と、オーミック特性を有する電極とから構成され、
前記オーミック特性を有する電極は、前記伝搬層と前記バリア層との接合面に存在する二次元電子ガスと導通していることを特徴とする弾性表面波デバイス。 - 請求項1に記載の弾性表面波デバイスにおいて、
前記バリア層は、前記第二の窒化物半導体材料にn型不純物を積極的に添加されて形成されたことを特徴とする弾性表面波デバイス。 - 請求項1または2に記載の弾性表面波デバイスにおいて、
前記基板は、(0001)方向に配向するサファイア基板であり、
前記伝搬層は、(0001)方向に配向する前記第一の窒化物半導体材料から形成され、
前記バリア層は、(0001)方向に配向する前記第二の窒化物半導体材料から形成され、
前記バリア層の前記表面は、III族元素面であることを特徴とする弾性表面波デバイス。 - 請求項1に記載の弾性表面波デバイスにおいて、
前記基板は、(11−20)方向に配向するサファイア基板であり、
前記伝搬層は、(11−20)方向に配向する前記第一の窒化物半導体材料から形成され、
前記バリア層は、(11−20)方向に配向する前記第二の窒化物半導体材料にn型不純物を積極的に添加させて形成され、
前記櫛形電極は、該櫛形電極の電極指の配列方向を(0001)方向と整合させて形成されることを特徴とする弾性表面波デバイス。 - 請求項1〜4のいずれかに記載の弾性表面波デバイスと、それらと同一積層構造にオーミック特性を有するソース電極、ドレイン電極および、ショットキ特性を有するゲート電極を形成することにより構成される電界効果型トランジスタを備えることを特徴とする集積回路。
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CN109891748A (zh) * | 2016-08-22 | 2019-06-14 | 艾皮乔尼克控股有限公司 | 用于材料和结构感测的表面声波rfid传感器 |
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