JP2007101642A - 光変調器及びその製造方法 - Google Patents
光変調器及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007101642A JP2007101642A JP2005288277A JP2005288277A JP2007101642A JP 2007101642 A JP2007101642 A JP 2007101642A JP 2005288277 A JP2005288277 A JP 2005288277A JP 2005288277 A JP2005288277 A JP 2005288277A JP 2007101642 A JP2007101642 A JP 2007101642A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- reflective film
- thin plate
- manufacturing
- optical modulator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
Abstract
薄板化された基板を利用した光変調器の製造に際し、研磨工程中や研磨工程後の基板の検査や状態測定を正確に行えると共に、基板の研磨用冶具からの取外しに際し、基板の損傷を抑制することが可能な光変調器の製造方法を提供すること。
【解決手段】
電気光学効果を有する基板1で形成され、厚みが50μm以下の薄板と、該薄板の表面又は裏面に形成された光導波路2と、該光導波路を伝搬する光波を変調するための変調電極とを有する光変調器の製造方法において、該基板の一方の面上に反射膜10を形成する反射膜形成工程と、該反射膜が形成されていない基板面を研磨する研磨工程と、該研磨工程中又は該研磨工程終了後、研磨されている面側から光Aを照射し、該反射膜からの反射光Cを利用して該基板の検査又は該基板の状態を測定する検査測定工程とを有することを特徴とする。
【選択図】図2
Description
光変調周波数の広帯域化を実現するためには、変調信号であるマイクロ波と光波との速度整合を図ることが重要であり、これまでに、様々な方法が考案されている。具体例を挙げれば、バッファ層の厚膜化、電極の高アスペクト化やリッジ構造などがこれにあたる。
Y.Yamane et.al., "Investigation of sandblast machining techniques for broadband LN modulators", Sumitomo Osaka Cement Technical report 2002, pp49-54 (2003)
また、適正な薄板を成形するには、研磨中又は研磨終了後に、基板の割れや傷の検出を行うこと、さらには、基板の厚みや研磨面の平滑度などのように、基板の状態を正確に測定することが必要である。このため、図1に示すように光Aを基板1に照射して基板の検査や基板の状態測定が行われている。
本発明における「反射膜」とは、照射光を効率的に反射させるものに限らず、特定波長(単一波長だけでなく、離散的波長、連続波長でも良い。以下同様である)の光を反射させるものや、特定波長を吸収し反射を抑制するものも含むものである。
また、反射膜は、必ずしも基板の全面に形成される必要は無く、少なくとも検査測定工程で必要とする基板面に形成されていれば良い。
なお、「薄板の固定面」とは、薄板における薄板が研磨用冶具に固定されている側の面を意味する。
しかも、薄板に形成された反射膜が薄板の固定面を保護する役目を担っているため、より一層、薄板の損傷を抑制することが可能となる。
本発明は、電気光学効果を有する基板で形成され、厚みが50μm以下の薄板と、該薄板の表面又は裏面に形成された光導波路と、該光導波路を伝搬する光波を変調するための変調電極とを有する光変調器の製造方法において、該基板の一方の面上に反射膜を形成する反射膜形成工程と、該反射膜が形成されていない基板面を研磨する研磨工程と、該研磨工程中又は該研磨工程終了後、研磨されている面側から光を照射し、該反射膜からの反射光を利用して該基板の検査又は該基板の状態を測定する検査測定工程とを有することを特徴とする。
この構成により、基板の検査や基板の状態を測定する際にノイズとなる、研磨用冶具3の表面からの反射光を除去することができ、検査や測定の精度を向上させることが可能となるものである。
例えば、基板自体が透過波長や反射波長に対する波長選択性を有する場合は、選択される波長に合わせて反射効率を調整した材料を選定することが望ましい。また、基板内の比較的大きな割れや傷の検出を行う際には、可能な限り多くの光量を反射することが好ましいため、金属色や白色系の反射光を形成するAl,Ti,Auなどが好適に利用可能である。また、ミクロン以下の極めて微細な欠陥を発見するためには、波長の短い光に対応する反射膜を利用することがより好ましい。さらに、基板内の状態を観察するには、基板の下面からの反射光を極力抑制するものが好ましい。
なお、一つの基板に設ける反射膜は一種類に限らず、反射膜が配置される基板の面を複数の領域に分割し、検査や測定項目に応じた複数種類の反射膜を配置したり、反射膜を所定のパターン形状に形成することも可能である。反射膜は、少なくとも検査測定工程で必要とする基板面に形成されていれば良い。
必要に応じて、反射膜にTiやAuなどを使用し、該反射膜を変調電極の下地層と兼用することも可能である。これにより、製造工程を増やすことなく反射膜を使用した光変調器の製造方法を実現することができる。
図3は、薄板の製造方法を示した一つの実施例である。
(a)基板1を準備し、(b)基板1の表面に光導波路2を形成する。(c)光導波路2を形成した基板の面上に、バッファ層11及び反射膜10を順次形成する。
しかも、薄板1に形成された反射膜10が薄板の固定面を保護する役目を担っているため、より一層、薄板の損傷を抑制することが可能となる。
(h)反射膜10やバッファ層11が不要な場合には、全て除去される。
2 光導波路
3 研磨用冶具
4 固定媒体
10 反射膜
11 バッファ層
Claims (6)
- 電気光学効果を有する基板で形成され、厚みが50μm以下の薄板と、該薄板の表面又は裏面に形成された光導波路と、該光導波路を伝搬する光波を変調するための変調電極とを有する光変調器の製造方法において、
該基板の一方の面上に反射膜を形成する反射膜形成工程と、
該反射膜が形成されていない基板面を研磨する研磨工程と、
該研磨工程中又は該研磨工程終了後、研磨されている面側から光を照射し、該反射膜からの反射光を利用して該基板の検査又は該基板の状態を測定する検査測定工程とを有することを特徴とする光変調器の製造方法。 - 請求項1に記載の光変調器の製造方法において、該基板の反射膜を形成した面を固定媒体を介して研磨用冶具に固定することを特徴とする光変調器の製造方法。
- 請求項2に記載の光変調器の製造方法において、研磨された基板である該薄板を該研磨用冶具から取り外す際に、該固定媒体を軟化させ、該薄板の固定面に平行な方向に該薄板と該研磨用冶具とを相対的に移動させて両者を分離することを特徴とする光変調器の製造方法。
- 請求項1乃至3のいずれかに記載の光変調器の製造方法において、該基板の光導波路が形成された面に、該反射膜を形成することを特徴とする光変調器の製造方法。
- 請求項1乃至4のいずれかに記載の光変調器の製造方法において、該反射膜を形成する材料は、Al,Ti,Auの少なくとも一つを含むことを特徴とする光変調器の製造方法。
- 請求項1乃至5のいずれかに記載の光変調器の製造方法において、該反射膜は、該基板の一方の面上に形成されたバッファ層の上に形成されていることを特徴とする光変調器の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005288277A JP4628236B2 (ja) | 2005-09-30 | 2005-09-30 | 光変調器及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005288277A JP4628236B2 (ja) | 2005-09-30 | 2005-09-30 | 光変調器及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007101642A true JP2007101642A (ja) | 2007-04-19 |
JP4628236B2 JP4628236B2 (ja) | 2011-02-09 |
Family
ID=38028670
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005288277A Expired - Fee Related JP4628236B2 (ja) | 2005-09-30 | 2005-09-30 | 光変調器及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4628236B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6033034A (ja) * | 1983-08-01 | 1985-02-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜の偏向解析方法 |
JPH06241992A (ja) * | 1993-02-19 | 1994-09-02 | Sony Corp | 赤外反射スペクトル測定方法及びその試料 |
JP2003270601A (ja) * | 2002-03-19 | 2003-09-25 | Ngk Insulators Ltd | 光変調器の製造方法 |
-
2005
- 2005-09-30 JP JP2005288277A patent/JP4628236B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6033034A (ja) * | 1983-08-01 | 1985-02-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜の偏向解析方法 |
JPH06241992A (ja) * | 1993-02-19 | 1994-09-02 | Sony Corp | 赤外反射スペクトル測定方法及びその試料 |
JP2003270601A (ja) * | 2002-03-19 | 2003-09-25 | Ngk Insulators Ltd | 光変調器の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4628236B2 (ja) | 2011-02-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4658658B2 (ja) | 光変調器 | |
JP4874685B2 (ja) | 光変調器 | |
US7310453B2 (en) | Optical modulator | |
US7548678B2 (en) | Optical element and method for producing the same | |
JP5454547B2 (ja) | 光変調器 | |
US8773750B2 (en) | Optical coupling device having KBBF group crystal coupled with prisms and method for manufacturing same | |
US20070147722A1 (en) | Optical waveguide devices and travelling wave type optical modulators | |
JPH10133055A (ja) | 光結合器及びその製造方法 | |
JP2007264548A (ja) | 光変調素子 | |
JP2007272121A (ja) | 光素子 | |
JP2011075906A (ja) | 光導波路素子 | |
JP2007101641A (ja) | 光変調器及びその製造方法 | |
US8784675B2 (en) | Optical device, a method of manufacturing optical device, and exposure apparatus | |
KR20090093427A (ko) | 표면 플라즈몬 공명을 이용한 전광 스위치 | |
JP4628236B2 (ja) | 光変調器及びその製造方法 | |
US6999668B2 (en) | Method for manufacturing optical waveguide device, optical waveguide device, and coherent light source and optical apparatus using the optical waveguide device | |
JP2003270467A (ja) | 光導波路デバイスの製造方法、光導波路デバイス並びに当該光導波路デバイスを用いたコヒーレント光源及び光学装置 | |
JP2000137125A (ja) | 拡散型光導波路構造を基板に製作する方法 | |
JP5254855B2 (ja) | 進行波型光変調器 | |
JPS5919907A (ja) | 光導波路装置 | |
JP2003043437A (ja) | 光変調器 | |
WO2020202606A1 (ja) | 光導波路素子 | |
JP2003270600A (ja) | 光変調器の製造方法 | |
JP2003270601A (ja) | 光変調器の製造方法 | |
JPH0756036A (ja) | 光導波路デバイス及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080313 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101025 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101102 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101109 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131119 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4628236 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |