JP2007099589A - 石英ガラスインゴットの製造方法および製造装置ならびに石英ガラスインゴット製造装置用ストリームガイド - Google Patents
石英ガラスインゴットの製造方法および製造装置ならびに石英ガラスインゴット製造装置用ストリームガイド Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】石英ガラスインゴット5を形成させるためのターゲット4と、ターゲット4を回転させつつ昇降させる回転昇降装置(図示しない)と、石英ガラス原料粉3を溶融しつつターゲット4に吹き付けるための酸水素火炎バーナー2と、石英ガラスインゴット5の加熱状態を保持するための炉1と、酸水素火炎2および溶融した石英ガラス原料粉3を整流するためのストリームガイド8を有することを特徴とする石英ガラスインゴットの製造装置7。
【選択図】 図1
Description
2.酸水素火炎バーナー
3.石英ガラス原料粉
4.ターゲット
5.石英ガラスインゴット
6.生成物
7.本発明の石英ガラスインゴットの製造装置
8.ストリームガイド
10.固定部
11.酸水素火炎バーナー設置部
12.胴体部
Claims (6)
- 酸水素火炎により石英ガラス原料粉を溶融し、回転しつつ降下するターゲット上に堆積させて石英ガラスインゴットを製造する方法であって、ストリームガイドにより酸水素火炎および溶融した石英ガラス原料粉を整流することを特徴とする石英ガラスインゴットの製造方法。
- ストリームガイドの下端からターゲット(既に石英ガラスインゴットが形成されている場合には、石英ガラスインゴット)の上端までの鉛直長さが30〜100mmとなるようにターゲットを降下させることを特徴とする請求項1に記載の石英ガラスインゴットの製造方法。
- 石英ガラスインゴットを形成させるためのターゲットと、ターゲットを回転させつつ昇降させる回転昇降装置と、石英ガラス原料粉を溶融しつつターゲットに吹き付けるための酸水素火炎バーナーと、石英ガラスインゴットの加熱状態を保持するための炉と、酸水素火炎および溶融した石英ガラス原料粉を整流するためのストリームガイドを有することを特徴とする石英ガラスインゴットの製造装置。
- ストリームガイドの下端の内径は、酸水素火炎バーナー先端内径よりも20〜40mm大きいことを特徴とする請求項3に記載の石英ガラスインゴットの製造装置。
- 酸水素火炎バーナーの下端からストリームガイドの下端までの鉛直長さは、80〜180mmであることを特徴とする請求項3または請求項4に記載の石英ガラスインゴットの製造装置。
- 炉への固定部と、酸水素火炎バーナー設置部と、酸水素火炎および溶融した石英ガラス原料粉を整流する円筒状の胴体部とを有することを特徴とする石英ガラスインゴット製造装置用ストリームガイド。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2005
- 2005-10-07 JP JP2005294746A patent/JP2007099589A/ja active Pending
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