JP2007096785A - 圧電振動素子 - Google Patents
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Abstract
【課題】 落下による破損やマイクロクラックの発生が軽減される圧電振動素子を提供する。
【解決手段】 圧電振動素子10は、板状体11からなり、その主面側に、底面部12Aが振動部の役割を果たす凹部12が形成され、凹部12の平面視における輪郭形状は、幅方向の辺12Bと長さ方向の辺12Cとに挟まれた隅部Sが当該凹部の内側に張り出る円弧形状12Dとなっており、この円弧形状12Dが四隅に形成されて平面視略十字形状となる凹部12となる。
【選択図】 図1
【解決手段】 圧電振動素子10は、板状体11からなり、その主面側に、底面部12Aが振動部の役割を果たす凹部12が形成され、凹部12の平面視における輪郭形状は、幅方向の辺12Bと長さ方向の辺12Cとに挟まれた隅部Sが当該凹部の内側に張り出る円弧形状12Dとなっており、この円弧形状12Dが四隅に形成されて平面視略十字形状となる凹部12となる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、逆メサ構造の圧電振動素子に関する。
従来、圧電振動素子の基本周波数での高周波数化を図るために、板状の圧電材料を研磨加工で薄くされた素板(板状体)を用いて対応している。この板状体の機械的強度の点から考えられる厚さの限度は、20μm(周波数で70MHz帯)と言われている。
そのため、100MHz以上の基本波モードで用いられる圧電振動素子に関しては、圧電材料からなる平面視矩形形状の板状体の主面側に平面視矩形形状の凹部を有し、この凹部の底面を振動部とする逆メサ構造、言い換えれば、振動部となる平面視矩形形状の薄板部の周囲をそれよりも厚い枠部で囲んだ逆メサ構造が採用されている(例えば、特許文献1参照)。
これら圧電振動素子は、耐落下衝撃性が要求されており、落下しても破損しない圧電振動素子が求められている。特に、移動体製品においては、高い耐落下衝撃性が要求されている。
そのため、100MHz以上の基本波モードで用いられる圧電振動素子に関しては、圧電材料からなる平面視矩形形状の板状体の主面側に平面視矩形形状の凹部を有し、この凹部の底面を振動部とする逆メサ構造、言い換えれば、振動部となる平面視矩形形状の薄板部の周囲をそれよりも厚い枠部で囲んだ逆メサ構造が採用されている(例えば、特許文献1参照)。
これら圧電振動素子は、耐落下衝撃性が要求されており、落下しても破損しない圧電振動素子が求められている。特に、移動体製品においては、高い耐落下衝撃性が要求されている。
しかしながら、従来のような平面視矩形形状の凹部を有し、その凹部の底面を振動部とする逆メサ構造の圧電振動素子は、落下による衝撃で、平面視矩形形状の凹部の隅部にマイクロクラックが生じたり、そのマイクロクラックが発生した部分から破損する恐れがあった。これは、落下による衝撃で生じる応力が凹部の隅部に集中するためと考えられる。
そこで、本発明は、前記した問題を解決し、落下による破損やマイクロクラックの発生が軽減される圧電振動素子を提供することを課題とする。
前記課題を解決するため、本発明は、圧電材料からなる板状体の主面側に凹部を有し、当該凹部の底面部を振動部とする逆メサ構造の圧電振動素子であって、当該凹部の二辺に挟まれる各隅部が、当該凹部の内側に張り出る円弧形状に形成されていることを特徴とする。
このような圧電振動素子によれば、落下による破損やマイクロクラックの発生が軽減させることができる。
次に、本発明を実施するための最良の形態(以下、「実施形態」という。)について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。
なお、圧電振動素子を、いわゆるATカット水晶振動素子として説明する。
なお、圧電振動素子を、いわゆるATカット水晶振動素子として説明する。
図1は、本発明に係る圧電振動素子の一例を示す斜視図であり、図2は、本発明に係る圧電振動素子の一例を示す平面図である。
図1に示すように、本発明に係る本発明の圧電振動素子10は、板状体11からなり、その主面側に、底面部12Aが振動部の役割を果たす凹部12が形成されている。
つまり、凹部12の底面部12Aは、板状体11の枠部11Aに囲まれた状態となっている。
つまり、凹部12の底面部12Aは、板状体11の枠部11Aに囲まれた状態となっている。
また、図2に示すように、凹部12の平面視における輪郭形状は、幅方向の辺12Bと長さ方向の辺12Cとに挟まれた隅部Sが当該凹部の内側に張り出る円弧形状12Dとなっており、この円弧形状12Dが四隅に形成されて平面視略十字形状となる凹部12となる。
なお、このような凹部12は、エッチングによって形成することができる。
なお、このような凹部12は、エッチングによって形成することができる。
このように、幅方向の辺12Bと長さ方向の辺12Cとに挟まれた隅部Sが当該凹部12の内側に張り出る円弧形状12Dとなることにより、落下による破損を軽減し、また、マイクロクラックの発生を軽減させることができる。
これは、従来は凹部の直角となる隅部に応力が集中していた場合又は、圧電振動素子が水晶からなる場合に結晶の方向性による影響を受けた場合と推測されるところ、本実施形態における凹部11は、その隅部Sの形状が当該凹部12の内側に張り出る円弧形状12Dとなっているため、応力はその円弧形状12Dで分散され、幅方向の辺12Bと円弧形状12Dとの交差部分及び長さ方向の辺12Cと円弧形状12Dとの交差部分にかかる応力が減少したものと考えられる。
ここで、図2に示すように、幅方向の辺12Bと長さ方向の辺12Cとに挟まれた隅部Sの円弧形状12Dの半径Rと凹部12の幅W2との関係について説明する。なお、板状体11の幅W1と凹部12の幅W2との関係は、W1>W2となっている。
幅方向の辺12Bと長さ方向の辺12Cとに挟まれた隅部Sの円弧形状12Dの半径Rの中心点は、幅方向の辺12Bと長さ方向の辺12Cとを延長したときに交差する点上に位置している。
また、凹部の幅は、板状体11の幅方向における2つの隅部Sの円弧形状12Dの半径Rと、これらに挟まれる板状体11の幅方向と平行となる辺(幅方向の辺11B)とを加えた長さをいう。
また、凹部の幅は、板状体11の幅方向における2つの隅部Sの円弧形状12Dの半径Rと、これらに挟まれる板状体11の幅方向と平行となる辺(幅方向の辺11B)とを加えた長さをいう。
特に、円弧形状11Dの半径Rと凹部11の幅W2との比の値W2/Rを「6」とすると、より落下による破損やマイクロクラックの発生を軽減させることができる。
この場合、円弧形状11Dの半径Rと凹部11の幅W2との比の値W2/Rが「6」よりも小さくなる(円弧形状11Dの半径Rの値が凹部11の幅W2の値に近くなる)と、他のW2/Rの比率に比べて、凹部12の底面部12Aが振動部としての役割に障害が生じやすくなり、円弧形状11Dの半径Rと凹部11の幅W2との比の値W2/Rが6よりも大きくなる(円弧形状11Dの半径Rの値が凹部11の幅W2の値から離れる)と、他のW2/Rの比率に比べて、落下による衝撃で、破損やマイクロクラックの発生が生じやすくなる。
この場合、円弧形状11Dの半径Rと凹部11の幅W2との比の値W2/Rが「6」よりも小さくなる(円弧形状11Dの半径Rの値が凹部11の幅W2の値に近くなる)と、他のW2/Rの比率に比べて、凹部12の底面部12Aが振動部としての役割に障害が生じやすくなり、円弧形状11Dの半径Rと凹部11の幅W2との比の値W2/Rが6よりも大きくなる(円弧形状11Dの半径Rの値が凹部11の幅W2の値から離れる)と、他のW2/Rの比率に比べて、落下による衝撃で、破損やマイクロクラックの発生が生じやすくなる。
円弧形状11Dの半径Rと凹部11の幅W2との比の値W2/Rが「6」となる一例として、円弧形状11Dの半径Rが0.2mm、凹部11の幅W2が1.2mmとなる場合が挙げられる。
また、図1及び図2に示すように、この凹部12の底面部12Aには、電極Dが形成されている。この電極Dは、凹部12と隣接する板状体11の枠部11Aを介して、パッケージ(図示せず)へ実装するための2つ一対となる実装パターン(図示せず)の一方に電気的に接続されている。
また、底面部12Aの裏側にも電極(図示せず)が設けられ、実装パターン(図示せず)の他方に電気的に接続されている。これら電極Dに電圧を印加することで高周波数化された基本周波数を得ることができる。
また、底面部12Aの裏側にも電極(図示せず)が設けられ、実装パターン(図示せず)の他方に電気的に接続されている。これら電極Dに電圧を印加することで高周波数化された基本周波数を得ることができる。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は前記実施形態には限定されない。例えば、圧電ウェハを水晶として説明したが、これに限定されず、適宜、圧電性の材料を用いることができる。
また、円弧形状12Dの半径Rの中心点の位置を、幅方向の辺12Bと長さ方向の辺12Cとを延長したときに交差する点上としたがこれに限定されず、幅方向の辺12Bと長さ方向の辺12Cとによる角度を2等分して得られる角度の傾きで、幅方向の辺12Bと長さ方向の辺12Cとを延長したときに交差する点を通過する直線上であって、凹部の外側となるように設けても良い。
10 圧電振動素子
11 板状体
11A 枠部
12 凹部
12A 底面部
12B 幅方向の辺
12C 長さ方向の辺
12D 円弧形状
D 電極
S 隅部
11 板状体
11A 枠部
12 凹部
12A 底面部
12B 幅方向の辺
12C 長さ方向の辺
12D 円弧形状
D 電極
S 隅部
Claims (1)
- 圧電材料からなる板状体の主面側に凹部を有し、当該凹部の底面部を振動部とする逆メサ構造の圧電振動素子であって、
当該凹部の二辺に挟まれる各隅部が、当該凹部の内側に張り出る円弧形状に形成されていることを特徴とする圧電振動素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005283892A JP2007096785A (ja) | 2005-09-29 | 2005-09-29 | 圧電振動素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005283892A JP2007096785A (ja) | 2005-09-29 | 2005-09-29 | 圧電振動素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007096785A true JP2007096785A (ja) | 2007-04-12 |
Family
ID=37981940
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005283892A Pending JP2007096785A (ja) | 2005-09-29 | 2005-09-29 | 圧電振動素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007096785A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011239133A (ja) * | 2010-05-10 | 2011-11-24 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子及び発振器 |
-
2005
- 2005-09-29 JP JP2005283892A patent/JP2007096785A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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