JP2007095820A - Manufacturing method of solid-state electrolytic capacitor - Google Patents
Manufacturing method of solid-state electrolytic capacitor Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007095820A JP2007095820A JP2005280464A JP2005280464A JP2007095820A JP 2007095820 A JP2007095820 A JP 2007095820A JP 2005280464 A JP2005280464 A JP 2005280464A JP 2005280464 A JP2005280464 A JP 2005280464A JP 2007095820 A JP2007095820 A JP 2007095820A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- paste
- electrolytic capacitor
- valve metal
- comb tooth
- element intermediate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Abstract
Description
本発明は、固体電解コンデンサの製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a solid electrolytic capacitor.
従来の固体電解コンデンサの製造方法として、弁金属基体と、弁金属基体上に形成された誘電体層と、誘電体層上に形成された固体電解質層とを備える素子中間体を、その所定の部分に導電性ペーストが付着するように導電性ペーストに浸漬させる工程を含むものが知られている(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、上記従来技術においては、素子中間体に対する導電性ペーストの濡れ性や導電性ペーストの表面張力等の影響により、素子中間体と導電性ペーストとのなじみが悪い場合がある。このような場合に素子中間体を導電性ペーストに浸漬させると、素子中間体に導電性ペーストの表面が追動し、素子中間体を中心として凹状のうねりが導電性ペーストの表面に生じるおそれがある。このようなうねりが導電性ペーストの表面に生じると、素子中間体の所定の部分の上端まで導電性ペーストが付着しなくなってしまう。そして、素子中間体の所定の部分に導電性ペーストが精度良く付着しないと、導電性ペーストは固体電解コンデンサにおいて弁金属基体と対極をなす導電体層となるため、固体電解コンデンサの容量の周波数特性が劣化してしまう。 However, in the above-described prior art, the familiarity between the element intermediate and the conductive paste may be poor due to the influence of the wettability of the conductive paste with respect to the element intermediate and the surface tension of the conductive paste. In such a case, when the element intermediate is immersed in the conductive paste, the surface of the conductive paste may follow the element intermediate, and a concave undulation may occur on the surface of the conductive paste around the element intermediate. is there. When such waviness occurs on the surface of the conductive paste, the conductive paste does not adhere to the upper end of a predetermined portion of the element intermediate. If the conductive paste does not adhere to a predetermined part of the element intermediate with high accuracy, the conductive paste becomes a conductive layer that forms a counter electrode with the valve metal substrate in the solid electrolytic capacitor, so the frequency characteristics of the capacitance of the solid electrolytic capacitor Will deteriorate.
そこで、本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、素子中間体の所定の部分に導電性ペーストを精度良く付着させることができる固体電解コンデンサの製造方法を提供することを目的とする。 Accordingly, the present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to provide a method for manufacturing a solid electrolytic capacitor capable of accurately attaching a conductive paste to a predetermined portion of an element intermediate. And
上記目的を達成するために、本発明に係る固体電解コンデンサの製造方法は、弁金属基体と、弁金属基体上に形成された誘電体層と、誘電体層上に形成された固体電解質層とを備える素子中間体を、その所定の部分に導電性ペーストが付着するように導電性ペーストに浸漬させる工程を含む固体電解コンデンサの製造方法であって、素子中間体を導電性ペーストに浸漬させる工程においては、素子中間体を導電性ペーストに浸漬させた状態で、素子中間体、及び導電性ペーストを貯留したペースト槽の少なくとも一方を揺動させることを特徴とする。 In order to achieve the above object, a method of manufacturing a solid electrolytic capacitor according to the present invention includes a valve metal base, a dielectric layer formed on the valve metal base, a solid electrolyte layer formed on the dielectric layer, A method of manufacturing a solid electrolytic capacitor including a step of immersing an element intermediate including the element intermediate in a conductive paste so that the conductive paste adheres to a predetermined portion thereof, wherein the element intermediate is immersed in the conductive paste Is characterized in that at least one of the element intermediate and the paste tank storing the conductive paste is swung while the element intermediate is immersed in the conductive paste.
この固体電解コンデンサの製造方法では、素子中間体を導電性ペーストに浸漬させた状態で、素子中間体及びペースト槽の少なくとも一方を揺動させる。これにより、素子中間体の周辺における導電性ペーストの流動性が高まり、たとえ素子中間体と導電性ペーストとのなじみが悪い場合であっても、うねりを抑えて導電性ペーストの表面を平坦化させることができる。従って、素子中間体の所定の部分に導電性ペーストを精度良く付着させることが可能となる。 In this method of manufacturing a solid electrolytic capacitor, at least one of the element intermediate and the paste tank is swung while the element intermediate is immersed in a conductive paste. As a result, the fluidity of the conductive paste around the element intermediate increases, and even if the familiarity between the element intermediate and the conductive paste is poor, the undulation is suppressed and the surface of the conductive paste is flattened. be able to. Therefore, it is possible to attach the conductive paste to a predetermined portion of the element intermediate with high accuracy.
また、素子中間体及びペースト槽の少なくとも一方を揺動させる方向は、素子中間体の主面と交差する方向であることが好ましい。素子中間体と導電性ペーストとのなじみが悪い場合、導電性ペーストの表面は、特に素子中間体の主面に追動し易い。そこで、素子中間体の主面と交差する方向に素子中間体及びペースト槽の少なくとも一方を揺動させることにより、素子中間体の所定の部分が導電性ペーストと積極的に接触し、確実かつ容易に導電性ペーストの表面を平坦化させることができる。 The direction in which at least one of the element intermediate and the paste tank is swung is preferably a direction intersecting the main surface of the element intermediate. When the compatibility between the element intermediate and the conductive paste is poor, the surface of the conductive paste tends to easily follow the main surface of the element intermediate. Therefore, by swinging at least one of the element intermediate and the paste tank in a direction intersecting with the main surface of the element intermediate, a predetermined portion of the element intermediate is positively brought into contact with the conductive paste, so that it is reliable and easy. The surface of the conductive paste can be flattened.
本発明によれば、素子中間体の所定の部分に導電性ペーストを精度良く付着させることができる。 According to the present invention, the conductive paste can be attached to a predetermined portion of the element intermediate with high accuracy.
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、本実施形態において、「上」、「下」等の語は、図面に示される状態に基づいており、便宜的なものである。 DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the present embodiment, terms such as “upper” and “lower” are based on the state shown in the drawings and are for convenience.
図1に示されるように、固体電解コンデンサ1は、プリント基板2を備えている。プリント基板2は、エポキシ樹脂等からなる基板3を有しており、基板3の上面には、陽極配線4及び陰極配線5が銅等によりパターン形成され、基板3の下面には、陽極端子6及び陰極端子7が銅等によりパターン形成されている。陽極配線4と陽極端子6とは、基板3に設けられたスルーホール8の内壁面に形成されたメッキ層9により電気的に接続され、同様に、陰極配線5と陰極端子7とは、基板3に設けられたスルーホール8の内壁面に形成されたメッキ層9により電気的に接続されている。
As shown in FIG. 1, the solid
プリント基板2上には、コンデンサ素子積層体10が固定されている。コンデンサ素子積層体10は、4層のコンデンサ素子11が積層されて構成されている。
A
コンデンサ素子11は、アルミニウム、タンタル又はニオブ等の弁金属からなる箔状の弁金属基体12を有している。弁金属基体12は、プリント基板2の陰極配線5上に位置するコンデンサ部12aと、コンデンサ部12aからプリント基板2の陽極配線4上に延在する電極部12bとにより構成されている。弁金属基体12においてコンデンサ部12aと電極部12bとの間に位置する部分の外側表面には、エポキシ樹脂等からなるレジスト層13が形成されている。なお、弁金属基体12は、コンデンサ素子11において陽極として機能する。
The
図2に示されるように、弁金属基体12の外側表面は、エッチングにより粗面化されて拡面化されている。弁金属基体12のコンデンサ部12aの外側表面には、弁金属の酸化物からなる誘電体層15が形成されており、誘電体層15の外側表面には、導電性高分子からなる固体電解質層16が形成されている。更に、固体電解質層16の外側表面には、カーボンを含む導電性材料からなる内側導電体層17が形成されており、内側導電体層17の外側表面には、銀を含む導電性材料からなる外側導電体層18が形成されている。なお、固体電解質層16、内側導電体層17及び外側導電体層18は、コンデンサ素子11において陰極として機能する。
As shown in FIG. 2, the outer surface of the
図1に示すように、コンデンサ素子積層体10においては、隣り合うコンデンサ素子11,11の外側導電体層18,18同士が導電性接着剤21により接着されており、最下層のコンデンサ素子11の外側導電体層18がプリント基板2の陰極配線5に導電性接着剤21により接着されている。また、コンデンサ素子積層体10においては、各コンデンサ素子11の弁金属基体12の電極部12bがプリント基板2の陽極配線4上に積層されて、レーザ光の照射により陽極配線4に溶接されている。なお、プリント基板2上に固定されたコンデンサ素子積層体10は、樹脂モールド22により覆われている。
As shown in FIG. 1, in the
次に、上述した固体電解コンデンサ1の製造方法について説明する。
Next, a method for manufacturing the above-described solid
まず、外側表面が拡面化された弁金属箔を用意して、櫛歯状に打ち抜く。この弁金属箔の各櫛歯部がコンデンサ素子11の弁金属基体12に対応する。続いて、スクリーン印刷によって、櫛歯部の外側表面における所定の部分にレジスト層13を形成する。これにより、櫛歯部において、レジスト層13より先端側の部分がコンデンサ部12aに対応し、レジスト層13より基端側の部分が電極部12bに対応することとなる。
First, a valve metal foil having an enlarged outer surface is prepared and punched into a comb shape. Each comb tooth portion of the valve metal foil corresponds to the
続いて、陽極酸化処理によって、櫛歯部の外側表面に誘電体層15を形成する。そして、化学酸化重合処理又は電解酸化重合処理によって、レジスト層13を超えないように、誘電体層15の外側表面に固体電解質層16を形成する。その後、浸漬法(ディップ法)によって、レジスト層13を超えないように、固体電解質層16の外側表面に内側導電体層17を形成し、更に、内側導電体層17の外側表面に外側導電体層18を形成する。
Subsequently, the
続いて、櫛歯状に打ち抜かれた弁金属箔を4枚重ね合わせ、積層方向に隣り合う櫛歯部の外側導電体層18,18同士を導電性接着剤21により接着する。そして、重ね合わされた弁金属箔から櫛歯部を切り取って、コンデンサ素子積層体10を得る。
Subsequently, four pieces of valve metal foil punched out in a comb shape are overlapped, and the
続いて、コンデンサ素子積層体10をプリント基板2上に固定する。具体的には、最下層のコンデンサ素子11の外側導電体層18をプリント基板2の陰極配線5に導電性接着剤21により接着すると共に、各コンデンサ素子11の弁金属基体12の電極部12bをプリント基板2の陽極配線4上に積層して、レーザ光の照射により陽極配線4に溶接する。
Subsequently, the
最後に、キャスティングモールド、インジェクション又はトランスモールド等によって、樹脂モールド22を形成して、固体電解コンデンサ1を完成させる。
Finally, the
次に、固体電解質層16の外側表面に内側導電体層17を形成するための浸漬法について、より詳細に説明する。
Next, the immersion method for forming the
まず、図3に示されるように、カーボンペースト(導電性ペースト)25を貯留したペースト槽26を用意する。なお、カーボンペースト25は、カーボン粒子、樹脂及び溶剤の混合物であり、例えば200mPa・s以下の粘度を有している。
First, as shown in FIG. 3, a
続いて、レジスト層13、誘電体層15、固体電解質層16が形成された櫛歯部(素子中間体)27を複数有する弁金属箔28を下降させ、各櫛歯部27においてレジスト層13の上端13aより先端側の所定の部分27aにカーボンペースト25が塗布されるように、各櫛歯部27をペースト槽26内のカーボンペースト25に浸漬させる。この櫛歯部27の所定の部分27aに塗布されたカーボンペースト25が内側導電体層17となる。
Subsequently, the
しかしながら、カーボンペースト25と櫛歯部27とのなじみが悪いと、カーボンペースト25の表面25aが櫛歯部27に追動してしまう。特に、カーボンペースト25の表面25aは、櫛歯部27の表面(主面)27b及び裏面(主面)27cに追動し易く、図4(a)に示されるように、カーボンペースト25の表面25aに櫛歯部27を中心とした凹状のうねりが発生してしまう。この凹状のうねりのために、レジスト層13の上端13aにカーボンペースト25が到達しない。
However, when the familiarity between the
そこで、図4(b)に示されるように、櫛歯部27の表面27b及び裏面27cと直交する方向に弁金属箔28を1往復だけ揺動させる。これにより、櫛歯部27の周辺のカーボンペースト25の流動性が高まり、図4(c)に示されるように、カーボンペースト25の表面25aに生じたうねりが抑えられて、カーボンペースト25の表面25aが平坦化される。そして、櫛歯部27は、レジスト層13の上端13aまでカーボンペースト25に確実に浸漬される。
Therefore, as shown in FIG. 4B, the
以上説明したように、上述した固体電解コンデンサ1の製造方法では、カーボンペースト25の表面25aのうねりを抑え、各櫛歯部27の所定の部分27aをカーボンペースト25に確実に浸漬させることができる。更に、櫛歯部27の表面27b及び裏面27cにカーボンペースト25の表面25aが追動し易いことから、櫛歯部27の表面27b及び裏面27cと直交する方向に弁金属箔28を揺動させ、櫛歯部27の所定の部分27aをカーボンペースト25と積極的に接触させることで、確実かつ容易にカーボンペースト25の表面25aを平坦化させることができる。従って、櫛歯部27の所定の部分27aにカーボンペースト25を精度良く塗布することが可能となる。その結果、固体電解コンデンサ1の容量の周波数特性を向上させることができ、ひいては、固体電解コンデンサ1の歩留まりを向上させることができる。
As described above, in the method of manufacturing the solid
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。 The present invention is not limited to the embodiment described above.
例えば、上記実施形態では、固体電解コンデンサ1は、4層のコンデンサ素子11を有していたが、これに限定されない。本発明では、固体電解コンデンサは、1層、或いは4層以外の複数層のコンデンサ素子を有するものであってもよい。
For example, in the above embodiment, the solid
また、上記実施形態では、固体電解質層16の外側表面に内側導電体層17を形成するための浸漬法において櫛歯部27を複数有する弁金属箔28を揺動させたが、これに限定されず、内側導電体層17の外側表面に外側導電体層18を形成するための浸漬法において弁金属箔28を揺動させてもよい。この場合には、レジスト層13、誘電体層15、固体電解質層16、内側導電体層17が形成された櫛歯部が素子中間体となる。更に、揺動させるのは弁金属箔28に限定されず、ペースト槽26であってもよいし、弁金属箔28及びペースト槽26の両方であってもよい。
In the above embodiment, the
また、上記実施形態では、櫛歯部27の表面27b及び裏面27cと直交する方向に1往復だけ弁金属箔28を揺動させたが、これに限定されない。本発明では、揺動させる方向は必ずしも櫛歯部27の表面27b及び裏面27cと直交する方向でなくてもよく、揺動は1往復以上動かすものであっても、或いは片方向に動かすものであってもよい。更に揺動は、円を描くように揺れ動かすものであってもよい。
Moreover, in the said embodiment, although the
以下、本発明の実施例について説明する。 Examples of the present invention will be described below.
まず、外側表面が拡面化されたアルミニウム製の弁金属箔を用意して、櫛歯状に打ち抜き、3.5mm×6.5mmの長方形状の櫛歯部を6個形成した。そして、スクリーン印刷によって、櫛歯部の外側表面における所定の部分にレジスト層を形成した。 First, an aluminum valve metal foil having an enlarged outer surface was prepared, and punched into a comb shape to form six rectangular comb teeth of 3.5 mm × 6.5 mm. And the resist layer was formed in the predetermined part in the outer surface of a comb-tooth part by screen printing.
続いて、化成溶液としてのアジピン酸アンモニウム水溶液に弁金属箔の所定の部分を浸漬させた後、弁金属箔に6Vの電圧を印加して陽極酸化反応を進行させて、酸化アルミニウムからなる誘電体層を弁金属箔の表層に形成した。 Subsequently, after a predetermined portion of the valve metal foil is immersed in an aqueous solution of ammonium adipate as a chemical conversion solution, a voltage of 6 V is applied to the valve metal foil to advance an anodic oxidation reaction, and a dielectric made of aluminum oxide The layer was formed on the surface layer of the valve metal foil.
続いて、3,4−エチレンジオキシチオフェン(Bayel社製 BAYTRONM)0.9g、パラトルエンスルホン酸鉄溶液(Bayel社製 BAYTRON C-B 50)10.81g、ブタノール2.63gからなる混合溶液を用意した。そして、この混合溶液に弁金属箔の所定の部分を浸漬させて引き上げ、温度150℃の炉内で熱処理を約5分間行った後、水洗いして乾燥させた。この工程を数回繰り返して、3,4−エチレンジオキシチオフェンからなる固体電解質層を誘電体層の外側表面に形成した。 Subsequently, a mixed solution consisting of 0.9 g of 3,4-ethylenedioxythiophene (BAYTRONM manufactured by Bayel), 10.81 g of iron paratoluenesulfonate (BAYTRON CB 50 manufactured by Bayel) and 2.63 g of butanol was prepared. . Then, a predetermined portion of the valve metal foil was immersed in this mixed solution and pulled up, and after heat treatment in a furnace at a temperature of 150 ° C. for about 5 minutes, it was washed with water and dried. This process was repeated several times to form a solid electrolyte layer made of 3,4-ethylenedioxythiophene on the outer surface of the dielectric layer.
続いて、粘度100mPa・sのカーボンペーストが貯留されたペースト槽を用意し、浸漬法によって固体電解質層の外側表面にペースト槽内のカーボンペーストを塗布して、厚さ3μm程度の内側導電体層を形成した。このとき、カーボンペーストに櫛歯部を浸漬させた状態で、櫛歯部の表面及び裏面に直交する方向に1往復だけ弁金属箔を揺動させた。更に、銀ペーストが貯留されたペースト槽を用意し、浸漬法によって内側導電体層の外側表面にペースト槽内の銀ペーストを塗布して、厚さ20μm程度の外側導電体層を形成した。 Subsequently, a paste tank in which a carbon paste with a viscosity of 100 mPa · s is stored is prepared, and the carbon paste in the paste tank is applied to the outer surface of the solid electrolyte layer by an immersion method, and an inner conductor layer having a thickness of about 3 μm is applied. Formed. At this time, the valve metal foil was swung only once in a direction orthogonal to the front and back surfaces of the comb tooth portion while the comb tooth portion was immersed in the carbon paste. Furthermore, a paste tank storing silver paste was prepared, and the silver paste in the paste tank was applied to the outer surface of the inner conductor layer by a dipping method to form an outer conductor layer having a thickness of about 20 μm.
続いて、誘電体層、固体電解質層、内側導電体層及び外側導電体層が形成された櫛歯部を弁金属箔から切り取って、コンデンサ素子を得た。そして、コンデンサ素子に鉄製の陽極リード及び陰極リードを接続した後、陽極リード及び陰極リードが部分的に露出するようにコンデンサ素子をエポキシ樹脂で覆って樹脂モールドを形成し、固体電解コンデンサを完成させた。 Subsequently, the comb tooth portion on which the dielectric layer, the solid electrolyte layer, the inner conductor layer, and the outer conductor layer were formed was cut from the valve metal foil to obtain a capacitor element. Then, after connecting the iron anode lead and cathode lead to the capacitor element, the capacitor element is covered with epoxy resin so that the anode lead and cathode lead are partially exposed, and a resin mold is formed to complete the solid electrolytic capacitor. It was.
ここで、ペースト槽内のカーボンペーストに櫛歯部を浸漬させた際に弁金属箔を揺動させて製造した上述の実施例1に係る固体電解コンデンサと、弁金属箔ではなくペースト槽を揺動させて製造した実施例2に係る固体電解コンデンサと、ペースト槽及び弁金属箔のいずれも揺動させずに製造した比較例に係る固体電解コンデンサとについて、それぞれ100個ずつ所定の部分までカーボンペーストが付着しているか否かを目視にて判定した。その結果、比較例に係る固体電解コンデンサでは、規格範囲内に収まったものが71%であったのに対し、実施例1に係る固体電解コンデンサでは、規格範囲内に収まったものが94%であり、実施例2に係る固体電解コンデンサでは、規格範囲内に収まったものが96%であった。この結果から、固体電解コンデンサの歩留まりを向上させることができるという本発明に係る固体電解コンデンサの製造方法の効果を確認することができた。 Here, the solid electrolytic capacitor according to Example 1 described above manufactured by swinging the valve metal foil when the comb tooth portion was immersed in the carbon paste in the paste tank, and the paste tank instead of the valve metal foil was shaken. 100 of each of the solid electrolytic capacitor according to Example 2 manufactured by moving and the solid electrolytic capacitor according to the comparative example manufactured without swinging any of the paste tank and the valve metal foil, up to a predetermined portion. It was visually determined whether or not the paste was adhered. As a result, the solid electrolytic capacitor according to the comparative example was 71% within the standard range, whereas the solid electrolytic capacitor according to Example 1 was 94% within the standard range. In the solid electrolytic capacitor according to Example 2, 96% was within the standard range. From this result, the effect of the manufacturing method of the solid electrolytic capacitor according to the present invention that the yield of the solid electrolytic capacitor can be improved was confirmed.
1…固体電解コンデンサ、12…弁金属基体、15…誘電体層、16…固体電解質層、25…カーボンペースト(導電性ペースト)、26…ペースト槽、27…櫛歯部(素子中間体)、27a…所定の部分、27b…表面(主面)、27b…裏面(主面)。
DESCRIPTION OF
Claims (2)
前記素子中間体を前記導電性ペーストに浸漬させる工程においては、前記素子中間体を前記導電性ペーストに浸漬させた状態で、前記素子中間体、及び前記導電性ペーストを貯留したペースト槽の少なくとも一方を揺動させることを特徴とする固体電解コンデンサの製造方法。 A conductive paste adheres to a predetermined portion of an element intermediate comprising a valve metal substrate, a dielectric layer formed on the valve metal substrate, and a solid electrolyte layer formed on the dielectric layer. A method of manufacturing a solid electrolytic capacitor including a step of immersing in the conductive paste,
In the step of immersing the element intermediate in the conductive paste, at least one of the element intermediate and the paste tank storing the conductive paste in a state where the element intermediate is immersed in the conductive paste. A method of manufacturing a solid electrolytic capacitor, wherein
The method for manufacturing a solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein a direction in which at least one of the element intermediate and the paste tank is swung is a direction intersecting a main surface of the element intermediate.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005280464A JP2007095820A (en) | 2005-09-27 | 2005-09-27 | Manufacturing method of solid-state electrolytic capacitor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005280464A JP2007095820A (en) | 2005-09-27 | 2005-09-27 | Manufacturing method of solid-state electrolytic capacitor |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007095820A true JP2007095820A (en) | 2007-04-12 |
Family
ID=37981184
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005280464A Withdrawn JP2007095820A (en) | 2005-09-27 | 2005-09-27 | Manufacturing method of solid-state electrolytic capacitor |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007095820A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013074081A (en) * | 2011-09-28 | 2013-04-22 | Hitachi Aic Inc | Method for manufacturing sintered body electrode for electrolytic capacitor |
-
2005
- 2005-09-27 JP JP2005280464A patent/JP2007095820A/en not_active Withdrawn
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013074081A (en) * | 2011-09-28 | 2013-04-22 | Hitachi Aic Inc | Method for manufacturing sintered body electrode for electrolytic capacitor |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5274308B2 (en) | Solid electrolytic capacitor | |
JP4757698B2 (en) | Solid electrolytic capacitor | |
JP2011071559A (en) | Solid electrolytic capacitor | |
KR101051614B1 (en) | Solid electrolytic capacitors | |
JP4664396B2 (en) | Metal capacitor and manufacturing method thereof | |
JP2006040938A (en) | Solid electrolytic capacitor, laminated capacitor using the same and its manufacturing method | |
JP2007266247A (en) | Solid electrolytic capacitor | |
JP2010225921A (en) | Solid electrolytic capacitor | |
JP6186584B2 (en) | Solid electrolytic capacitor and manufacturing method thereof | |
JP4343652B2 (en) | Solid electrolytic capacitor and solid electrolytic capacitor device | |
JP2009246236A (en) | Solid electrolytic capacitor, and method for manufacturing the same | |
JP2008078312A (en) | Solid electrolytic capacitor | |
JP2007095820A (en) | Manufacturing method of solid-state electrolytic capacitor | |
JP2007273502A (en) | Solid electrolytic capacitor | |
JP2005216953A (en) | Electrolytic capacitor element, electrolytic capacitor and their production process | |
JP3433478B2 (en) | Solid electrolytic capacitors | |
JP4334423B2 (en) | Capacitor element manufacturing method | |
JP2007081336A (en) | Method for manufacturing solid electrolytic capacitor | |
JP4285346B2 (en) | Manufacturing method of solid electrolytic capacitor | |
JP2007123812A (en) | Method of manufacturing solid electrolytic capacitor | |
JP6647124B2 (en) | Solid electrolytic capacitor and method for manufacturing solid electrolytic capacitor | |
JP3976055B2 (en) | Solid electrolytic capacitor | |
JP5164213B2 (en) | Solid electrolytic capacitor | |
JPH0693421B2 (en) | Method for manufacturing solid electrolytic capacitor | |
JP2006073638A (en) | Solid electrolytic capacitor |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20081202 |