JP2007092582A - Fluid control device and fluid control method - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a fluid control device properly performing highly efficient fluid control to stably pressure-feed fluid. <P>SOLUTION: The fluid control device comprises: a pressure sensor 41 (pressure measuring part) measuring pressure of fluid pressure-fed by a plurality of pump 11 to 13; an operation control part 10 performing a control of the operating number of a plurality of pumps 11 to 13 and an operational status control of each of pumps 11 to 13 based on the measurement result of the pressure sensor 41; flow rate sensors 31 to 33 (flow rate measuring part) measuring an individual flow rate of each of the pumps 11 to 13; and drive control parts 21 to 23 performing a drive control of each of the pump 11 to 13 based on the measurement result of the flow rate sensors 31 to 33. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、流体制御装置及び流体制御方法に関するものである。   The present invention relates to a fluid control device and a fluid control method.

従来から、空調システムの熱媒体供給装置等に備えられている流体制御装置として、ポンプ等のモータをインバータ制御するものが知られており、かかる流体制御装置によれば、熱媒体の流量やその流路の負荷等に応じた運転が可能になる。例えば特許文献１には、ポンプをインバータ制御するとともに台数制御することで熱媒体の流量制御を適切に行えるようにしたものが開示されている。
特開２００１−００４２４２号公報 2. Description of the Related Art Conventionally, as a fluid control device provided in a heat medium supply device or the like of an air conditioning system, a device that performs inverter control of a motor such as a pump is known. Operation according to the load of the flow path and the like becomes possible. For example, Patent Document 1 discloses an apparatus in which the flow rate of the heat medium can be appropriately controlled by controlling the number of pumps and controlling the number of pumps.
JP 2001-004242 A

上記インバータを用いた流量制御によれば、理論的には適切な流量制御を行うことが可能である。しかしながら、流体が流通する経路における負荷には種々の要因が存在し、例えば複数台のポンプを備えた流体制御装置では、各ポンプの能力が異なっていたり、ポンプ毎に配管抵抗が異なっている。そのため、供給装置全体では適切な流量が確保できており、各ポンプが適正に運転ているよう見えても、実際には各ポンプ毎に流体の流量が著しく低くなっているような場合があり、供給装置の効率低下やポンプの過負荷等を生じることがあった。   According to the flow control using the inverter, it is theoretically possible to perform appropriate flow control. However, there are various factors in the load in the path through which the fluid flows. For example, in a fluid control device including a plurality of pumps, the capacity of each pump is different or the pipe resistance is different for each pump. Therefore, it is possible to secure an appropriate flow rate in the entire supply device, and even if each pump seems to be operating properly, the flow rate of the fluid may actually be extremely low for each pump. In some cases, the efficiency of the supply device is reduced and the pump is overloaded.

本発明は、上記従来技術の問題点に鑑み成されたものであって、高効率の流体制御を適正に行うことができ、安定的に流体を圧送することができる流体供給装置とその制御方法を提供することを目的としている。   The present invention has been made in view of the above-described problems of the prior art, and is capable of appropriately performing high-efficiency fluid control and capable of stably pumping fluid and a control method thereof. The purpose is to provide.

本発明は、上記課題を解決するために、流体を圧送する複数の流体圧送装置を制御する流体制御装置であって、前記複数の流体圧送装置によって圧送される流体全体のパラメータを計測する第１計測部と、前記各流体圧送装置から圧送される流体の個別のパラメータを計測する第２計測部と、前記第１計測部の測定結果に基づいて稼動させる前記流体圧送装置の台数を制御するとともに、前記第２計測部の測定結果に基づいて前記各流体圧送装置から圧送される流体を制御する制御部と、を有することを特徴とする。   In order to solve the above-described problem, the present invention provides a fluid control apparatus that controls a plurality of fluid pumping apparatuses that pump a fluid, and that measures a parameter of an entire fluid pumped by the plurality of fluid pumping apparatuses. While controlling the number of measuring units, a second measuring unit that measures individual parameters of the fluid pumped from each fluid pumping device, and the number of the fluid pumping devices to be operated based on the measurement results of the first measuring unit And a control unit that controls the fluid pumped from each of the fluid pumping devices based on the measurement result of the second measuring unit.

上記流体のパラメータは、当該流体制御装置が適用される装置における流体の特徴に応じて適用される。すなわち、流体としては液体ないし気体が用いられるが、空調装置等の流体供給装置に本発明に係る流体制御装置を適用する場合、上記パラメータとしては液体／気体の圧力、流量を好適に用いることができ、真空装置に適用する場合には、上記パラメータとして、真空度を好適に用いることができる。   The fluid parameters are applied according to the characteristics of the fluid in the device to which the fluid control device is applied. That is, liquid or gas is used as the fluid, but when the fluid control device according to the present invention is applied to a fluid supply device such as an air conditioner, the liquid / gas pressure and flow rate are preferably used as the above parameters. When applied to a vacuum apparatus, the degree of vacuum can be suitably used as the parameter.

本発明の構成によれば、複数の流体圧送装置の台数制御を行うためのパラメータを取得する第１計測部に加えて、前記流体圧送装置から圧送される流体の個別パラメータを計測する第２計測部を設けたことで、流体全体のパラメータを計測して制御する場合には必ずしも最適化されない各流体圧送装置の駆動状態を最適化することができる。特に、流体圧送装置間で設計値には表れない能力差がある場合に、一部の流体圧送装置が締め切り運転となってしまうのを防止することができるので、無駄なエネルギー消費を無くし、高効率に運転できるようになる。   According to the configuration of the present invention, in addition to the first measurement unit that acquires a parameter for performing the number control of a plurality of fluid pumping devices, the second measurement that measures individual parameters of the fluid pumped from the fluid pumping device. By providing the unit, it is possible to optimize the driving state of each fluid pressure feeding device that is not necessarily optimized when measuring and controlling the parameters of the whole fluid. In particular, when there is a capacity difference that does not appear in the design value between the fluid pumping devices, it is possible to prevent some fluid pumping devices from being deadlined. It becomes possible to drive efficiently.

本発明の流体制御装置は、前記運転制御部に、前記第１測定部の測定結果に基づいて前記各流体圧送装置の出力値を異ならせるスイッチ手段が設けられていることを特徴とする。この構成によれば、各流体圧送装置における運転状態の変更を自在に行うことができるので、多様な運転方式による流体圧送装置の運転が可能になり、安定かつ高効率に流体の圧送を行えるようになる。   The fluid control device according to the present invention is characterized in that the operation control unit is provided with switch means for making the output value of each fluid pressure feeding device different based on the measurement result of the first measurement unit. According to this configuration, it is possible to freely change the operation state in each fluid pressure feeding device, so that the fluid pressure feeding device can be operated by various operation methods, and fluid can be pumped stably and efficiently. become.

本発明の流体制御装置は、前記複数の流体圧送装置に対応した複数の駆動制御部を前記制御部に有し、前記複数の駆動制御部にインバータが備えられており、前記出力値を異ならせるスイッチ手段は、前記流体圧送装置のインバータ制御運転と商用周波数運転とを切り替えるスイッチ手段であることを特徴とする。この場合、インバータ制御運転と商用周波数運転とを流体の圧力変動や流量変動を抑えつつ自在に切り替えることができるので、流体の圧送に係る効率を高めることができる。   The fluid control device according to the present invention includes a plurality of drive control units corresponding to the plurality of fluid pumping devices in the control unit, the plurality of drive control units being provided with inverters, and the output values are varied. The switch means is switch means for switching between an inverter control operation and a commercial frequency operation of the fluid pumping device. In this case, since the inverter control operation and the commercial frequency operation can be freely switched while suppressing the fluid pressure fluctuation and the flow fluctuation, the efficiency related to the fluid pressure feeding can be increased.

本発明の流体制御装置は、前記第１計測部が、前記流体の圧力を計測する圧力計測部であり、前記第２計測部が、前記流体の流量を計測する流量計測部であることを特徴とする。かかる構成によれば、流体全体ではその圧力をモニタし、個別の流体圧送装置では流量をモニタする構成となり、目標量への合わせ込みと個々の流体圧送装置の最適化とを効率よく実行することができる制御装置となる。   In the fluid control device of the present invention, the first measurement unit is a pressure measurement unit that measures the pressure of the fluid, and the second measurement unit is a flow rate measurement unit that measures the flow rate of the fluid. And According to such a configuration, the pressure of the entire fluid is monitored, and the flow rate of the individual fluid pumping device is monitored, so that the adjustment to the target amount and the optimization of the individual fluid pumping device can be efficiently performed. It becomes a control device that can.

本発明の流体制御方法は、複数の流体圧送装置による流体の圧送に際して、前記複数の流体圧送装置により圧送される流体の圧力を計測する第１ステップと、前記第１ステップの測定結果に基づいて前記複数の流体圧送装置の必要な台数を稼働させる第２ステップと、前記各流体圧送装置における個別の流量を計測する第３ステップと、前記第３ステップの測定結果に基づいて前記各流体圧送装置から圧送される流体を制御する第４ステップと、を有することを特徴とする。   The fluid control method of the present invention is based on the first step of measuring the pressure of the fluid pumped by the plurality of fluid pumping devices and the measurement result of the first step when pumping the fluid by the plurality of fluid pumping devices. A second step of operating the required number of the plurality of fluid pumping devices, a third step of measuring individual flow rates in the fluid pumping devices, and the fluid pumping devices based on the measurement results of the third step. And a fourth step of controlling the fluid pumped from.

本発明に係る流体制御装置について、図面を参照しつつ説明する。
図１は、本発明に係る流体制御装置を備えた流体供給装置の概略図である。本実施形態に係る流体供給装置１００は、例えば、空調装置や冷凍装置に対して水や冷却液等の熱媒体を圧送する装置として用いることができるものである。 A fluid control apparatus according to the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a schematic view of a fluid supply apparatus including a fluid control apparatus according to the present invention. The fluid supply device 100 according to the present embodiment can be used as, for example, a device that pumps a heat medium such as water or coolant to an air conditioner or a refrigeration apparatus.

流体供給装置１００は、当該流体供給装置１００を制御する運転制御部１０と、複数台のポンプ（流体圧送装置）１１〜１３と、ポンプ１１〜１３にそれぞれ併設された駆動制御部２１〜２３と、ポンプ１１｜〜１３の吐出側にそれぞれ配設された流量センサ（流量計測部；第２計測部）３１〜３３と、流量センサ３１〜３３の下流側の集合配管部分に接続された圧力センサ（圧力計測部；第１計測部）４１とを備えて構成されている。本実施形態の場合、流体供給装置１００は、運転制御部１０と駆動制御部２１〜２３と、流量センサ３１〜３３と、圧力センサ４１とを備えた本発明に係る流体制御装置を、ポンプ１１〜１３に接続した構成である。   The fluid supply device 100 includes an operation control unit 10 that controls the fluid supply device 100, a plurality of pumps (fluid pumping devices) 11 to 13, and drive control units 21 to 23 that are provided alongside the pumps 11 to 13, respectively. , Flow sensors (flow rate measuring units; second measuring units) 31 to 33 disposed on the discharge sides of the pumps 11 to 13 and pressure sensors connected to the collective piping part downstream of the flow rate sensors 31 to 33, respectively. (Pressure measuring unit; first measuring unit) 41. In the case of this embodiment, the fluid supply apparatus 100 includes a pump 11 that is a fluid control apparatus according to the present invention that includes the operation control unit 10, the drive control units 21 to 23, the flow rate sensors 31 to 33, and the pressure sensor 41. It is the structure connected to ~ 13.

運転制御部１０は、駆動制御部２１〜２３、流量センサ３１〜３３、及び圧力センサ４１と接続されており、流量センサ３１〜３３、及び圧力センサ４１において計測された流量情報及び圧力情報を受信するとともに、駆動制御部２１〜２３に対してポンプ１１〜１３の運転状態を制御するための制御情報を送信するようになっている。   The operation control unit 10 is connected to the drive control units 21 to 23, the flow rate sensors 31 to 33, and the pressure sensor 41, and receives flow rate information and pressure information measured by the flow rate sensors 31 to 33 and the pressure sensor 41. At the same time, control information for controlling the operation states of the pumps 11 to 13 is transmitted to the drive control units 21 to 23.

ポンプ１１〜１３は、３台（又はそれ以上の台数）を並列に設けられており、駆動制御部２１〜２３が各ポンプ１１〜１３のモータ（駆動部）に接続されている。駆動制御部２１〜２３は、前記モータに供給する周波数を可変として回転数を制御するインバータを備えるとともに、インバータをバイパスしてモータに商用周波数（定格周波数）を供給可能とするスイッチ手段とも備えた構成となっている。   Three (or more) pumps 11 to 13 are provided in parallel, and drive control units 21 to 23 are connected to motors (drive units) of the respective pumps 11 to 13. The drive control units 21 to 23 include an inverter that controls the rotation speed by changing the frequency supplied to the motor, and also includes switch means that can supply a commercial frequency (rated frequency) to the motor by bypassing the inverter. It has a configuration.

本実施形態では、前記スイッチ手段として電子式のものが用いられており、従来の機械式（マグネット式等）のスイッチ手段を用いる場合に比してインバータ制御運転と商用運転との切替ショックを大きく低減することができ、ポンプの運転方式を迅速にかつ円滑に切り替えることができるようになっている。また、駆動制御部２１〜２３には、上記運転方式の切替を行うスイッチ手段のほか、対応するポンプ１１〜１３の運転／停止を切り替えるスイッチ手段も備えられているが、かかるスイッチ手段についても電子式のものが用いられており、ポンプの運転／停止の切替時における切替ショックも抑えられるようになっている。
なお、スイッチ手段としては電子式に限定されず非接触式のものであれば適用が可能である。 In the present embodiment, an electronic type is used as the switch means, and the switching shock between the inverter control operation and the commercial operation is larger than in the case where a conventional mechanical (magnet type or the like) switch means is used. Therefore, the operation method of the pump can be switched quickly and smoothly. Further, the drive control units 21 to 23 are provided with switch means for switching the operation / stop of the corresponding pumps 11 to 13 in addition to the switch means for switching the operation method. The type is used, and the switching shock at the time of switching between operation / stop of the pump is also suppressed.
Note that the switch means is not limited to an electronic type, and any non-contact type can be applied.

ポンプ１１〜１３の吐出側配管に接続された流量センサ３１〜３３は、各ポンプ１１〜１３から圧送される流体の流量を計測するとともに、計測した流量情報を対応する駆動制御部２１〜２３と、運転制御部１０とに送信するようになっている。また、圧力センサ４１は、当該流体供給装置１００の吐出圧力を検出するとともに、検出した圧力情報を運転制御部１０に送信するようになっている。   The flow rate sensors 31 to 33 connected to the discharge side pipes of the pumps 11 to 13 measure the flow rate of the fluid pumped from each of the pumps 11 to 13, and correspond to the drive control units 21 to 23 corresponding to the measured flow rate information. , Is transmitted to the operation control unit 10. The pressure sensor 41 detects the discharge pressure of the fluid supply device 100 and transmits the detected pressure information to the operation control unit 10.

そして、運転制御部１０は、操作者からの入力情報ないし空調機等の負荷（流体の需用量）と、圧力センサ４１から受信した圧力情報とに基づいて、各ポンプ１１〜１３の運転台数を決定するとともに、ポンプ１１〜１３の運転方式（インバータ制御運転、商用運転）を決定し、各ポンプ１１〜１３と接続された駆動制御部２１〜２３に対して各ポンプ１１〜１３の制御情報を送信するようになっている。また、制御部１０は、流量センサ３１〜３３から受信した流量情報に基づいて各ポンプ１１〜１３の運転状態を把握し、当該運転状態に応じて各ポンプ１１〜１３の運転速度を再計算し、それに基づき補正した運転速度情報を含む制御情報を適宜駆動制御部２１〜２３に送信することができるようになっている。   Then, the operation control unit 10 determines the number of operating pumps 11 to 13 based on the input information from the operator or the load of the air conditioner (fluid demand) and the pressure information received from the pressure sensor 41. In addition to determining, the operation method (inverter control operation, commercial operation) of the pumps 11 to 13 is determined, and the control information of each pump 11 to 13 is sent to the drive control units 21 to 23 connected to each pump 11 to 13. It is supposed to send. Moreover, the control part 10 grasps | ascertains the operation state of each pump 11-13 based on the flow volume information received from the flow sensors 31-33, and recalculates the operation speed of each pump 11-13 according to the said operation state. The control information including the driving speed information corrected based on the information can be appropriately transmitted to the drive control units 21 to 23.

上記構成を備えた流体供給装置では、運転制御部１０が流体を供給する空調装置等の負荷に応じてポンプ１１〜１３の運転台数、及び運転方式を決定する。このとき、例えばポンプ１．５台分の吐出圧に対応する需用量がある場合に、運転制御部１０はポンプ１１，１２の２台を運転させるための制御情報とともに、ポンプ１１を商用運転とする一方、ポンプ１２をインバータ制御運転とする制御情報を駆動制御部２１，２２に送信する。また、ポンプ１３が運転中であれば停止させるための制御情報を送信する。そして、駆動制御部２１〜２３では、そのスイッチ手段を動作させてポンプ１１，１２の運転方式切替、及びポンプ１３の運転状態切替を必要に応じて行う。   In the fluid supply apparatus having the above configuration, the operation control unit 10 determines the number of operating pumps 11 to 13 and the operation method according to the load of the air conditioner or the like that supplies the fluid. At this time, for example, when there is a demand amount corresponding to the discharge pressure of 1.5 pumps, the operation control unit 10 sets the pump 11 to commercial operation together with control information for operating the two pumps 11 and 12. On the other hand, control information for setting the pump 12 to the inverter control operation is transmitted to the drive control units 21 and 22. If the pump 13 is in operation, control information for stopping the pump 13 is transmitted. And in the drive control parts 21-23, the switch means is operated and the driving | operation system switching of the pumps 11 and 12 and the driving | running state switching of the pump 13 are performed as needed.

ここで本実施形態では、駆動制御部２１〜２３に備えられたスイッチ手段が、非接触の電子式のものであるため、上記切替動作におけるショックを抑えることができるので、ポンプ１１，１２を完全に停止させなくともその切替動作を行うことが可能である。すなわち、ポンプ１１，１２の運転方式切替においては、ポンプ１１，１２への駆動電力供給を停止して惰性運転状態とし、この惰性運転中に運転方式の切替を電子式のスイッチ手段により行うことで、迅速にかつ安全に運転方式の切替を行うことができ、流体の圧力変動、流量変動を低減して装置を高稼働率で運転させることができる。また、このように運転方式の変更が容易であることから、複雑な切替制御を行うことも可能であり、より高効率の装置稼働を実現することができる。
また、本実施形態では、稼働する２台のポンプ１１，１２の運転方式を、一方はインバータ制御運転、他方を商用運転とするので、両方のポンプをインバータ制御運転とする場合に比して消費電力を低減することができる。 Here, in this embodiment, since the switch means provided in the drive control units 21 to 23 is a non-contact electronic type, the shock in the switching operation can be suppressed. The switching operation can be performed without stopping. That is, in the operation system switching of the pumps 11 and 12, the drive power supply to the pumps 11 and 12 is stopped to enter the inertia operation state, and the operation system is switched by the electronic switch means during the inertia operation. The operation method can be quickly and safely switched, and the pressure fluctuation and flow fluctuation of the fluid can be reduced, and the apparatus can be operated at a high operating rate. In addition, since the operation method can be easily changed in this way, it is possible to perform complicated switching control, and it is possible to realize more efficient operation of the apparatus.
Moreover, in this embodiment, since the operation system of the two pumps 11 and 12 which operate | move is set as one inverter control operation and the other is commercial operation, it consumes compared with the case where both pumps are inverter control operation. Electric power can be reduced.

さらに本実施形態では、負荷に応じた必要な吐出圧を得られるよう、圧力センサ４１により吐出圧をモニタし、圧力センサ４１から送信される圧力情報に基づきポンプ１１〜１３の動作を制御することができるようになっているのに加え、各ポンプ１１〜１３に対応して設けられた流量センサ２１〜２３によって各ポンプ１１〜１３吐出側における流量をモニタし、ポンプ１１〜１３の実際の運転状況に基づいた稼働が可能になっている。   Further, in the present embodiment, the discharge pressure is monitored by the pressure sensor 41 so that a necessary discharge pressure corresponding to the load can be obtained, and the operations of the pumps 11 to 13 are controlled based on the pressure information transmitted from the pressure sensor 41. In addition, the flow rates on the discharge side of the pumps 11 to 13 are monitored by the flow rate sensors 21 to 23 provided corresponding to the pumps 11 to 13, and the actual operation of the pumps 11 to 13 is monitored. Operation based on the situation is possible.

図１に示すような複数台のポンプ１１〜１３を並列に設けた構成において、ポンプ１１〜１３の能力（能力カーブ）は完全に同等なものではないため、流体供給装置１００と需要側の装置とを接続する流体供給経路５１に設けられている圧力センサ４１の圧力情報のみによって各ポンプの運転速度を決定すると、ポンプ１１〜１３同士の能力差によって一部のポンプが締め切り運転状態となることがある。例えば、ポンプ１１，１２のみをインバータ制御運転している状態で、ポンプ１２の能力がポンプ１１の能力を上回っていると、ポンプ１２から圧送された流体の圧力でポンプ１１の吐出側における流量が著しく低下することがある。このような状態になると、ポンプ１１の過熱によって流体の温度が変化したり、装置寿命が短かくなるいった問題が生じる。   In the configuration in which a plurality of pumps 11 to 13 as shown in FIG. 1 are provided in parallel, the capacities (capacity curves) of the pumps 11 to 13 are not completely equivalent. When the operation speed of each pump is determined only by the pressure information of the pressure sensor 41 provided in the fluid supply path 51 that connects to the pump, some pumps are in a shut-off operation state due to the difference in capacity between the pumps 11 to 13. There is. For example, when only the pumps 11 and 12 are operated by inverter control and the capacity of the pump 12 exceeds the capacity of the pump 11, the flow rate on the discharge side of the pump 11 is increased by the pressure of the fluid pumped from the pump 12. May decrease significantly. In such a state, there are problems that the temperature of the fluid changes due to overheating of the pump 11 and the life of the apparatus is shortened.

そこで本実施形態では、各ポンプ１１〜１３の吐出側にそれぞれ流量センサ２１〜２３を設けてポンプ１１〜１３の吐出側における実際の流量を監視し、かかる流量情報に基づきポンプ１１〜１３を駆動することで、全てのポンプ１１〜１３が適正な状態で運転されるようにすることができる。例えばポンプ１１が締め切り運転となる状況では、ポンプ１１を増速し、またはポンプ１２を減速することで両ポンプのバランスを調整し、流体の圧送について両者が同等に寄与し得る状態とすることができる。   Therefore, in the present embodiment, flow rate sensors 21 to 23 are provided on the discharge sides of the pumps 11 to 13, respectively, and the actual flow rates on the discharge side of the pumps 11 to 13 are monitored, and the pumps 11 to 13 are driven based on the flow rate information. By doing so, all the pumps 11 to 13 can be operated in an appropriate state. For example, in a situation where the pump 11 is in a deadline operation, the pump 11 is accelerated or the pump 12 is decelerated to adjust the balance between the two pumps so that both can contribute equally to the fluid pumping. it can.

このように、本実施形態の流体供給装置１００では、本発明に係る流体制御装置を備えたことで、複数台のポンプ１１〜１３を無駄なエネルギー消費がなく高効率に運転させることができる。また、電子式のスイッチ手段を備えていることで、流体の供給圧力、流量等について要求に応じた複雑な制御も迅速に対応可能となっており、効率よく安定に流体を供給することができる。また、個別の流量センサ２１〜２３の流量情報に基づきポンプ１１〜１３の駆動状況を制御するので、個別のポンプの最適化によって全体の最適化をさらに促進することが可能である。   Thus, in the fluid supply apparatus 100 of the present embodiment, the fluid control apparatus according to the present invention is provided, so that the plurality of pumps 11 to 13 can be operated with high efficiency without wasteful energy consumption. In addition, by providing electronic switch means, it is possible to quickly respond to complex control according to demands regarding the supply pressure, flow rate, etc. of the fluid, and fluid can be supplied efficiently and stably. . In addition, since the drive status of the pumps 11 to 13 is controlled based on the flow rate information of the individual flow sensors 21 to 23, it is possible to further promote the overall optimization by optimizing the individual pumps.

なお、上記実施の形態では、本発明に係る流体制御装置を、流体供給装置に適用した場合について説明したが、本発明に係る流体制御装置は、流体を圧送する装置であれば問題なく適用することができ、例えば流体圧送装置として真空ポンプを備えた真空装置にも適用することができる。この場合には、図１に示した流体供給装置とは流体の流れる方向が逆向きとなり、各真空ポンプの吸気側に圧力センサ４１に対応する圧力計測部が配置され、各真空ポンプの吐出側（排気側）に流量センサ２１〜２３に対応する流量計測部が配置された構成とされる。そして、圧力計測部及び流量計測部から得られる圧力情報及び流量情報に基づき運転制御部が決定した台数及び運転方式により各真空ポンプが運転され、さらに個別の真空ポンプの流量情報に基づき各真空ポンプの運転状態を制御しつつ運転することができる。   In the above embodiment, the case where the fluid control device according to the present invention is applied to a fluid supply device has been described. However, the fluid control device according to the present invention can be applied without any problem as long as it is a device that pumps fluid. For example, the present invention can also be applied to a vacuum device provided with a vacuum pump as a fluid pumping device. In this case, the flow direction of the fluid is opposite to that of the fluid supply device shown in FIG. 1, and a pressure measuring unit corresponding to the pressure sensor 41 is arranged on the intake side of each vacuum pump, and the discharge side of each vacuum pump. It is set as the structure by which the flow volume measurement part corresponding to the flow sensors 21-23 is arrange | positioned (exhaust side). Then, each vacuum pump is operated by the number and operation method determined by the operation control unit based on the pressure information and flow rate information obtained from the pressure measurement unit and the flow rate measurement unit, and further based on the flow rate information of the individual vacuum pumps. It is possible to drive while controlling the operation state.

本発明に係る流体制御装置を備えた流体供給装置の概略図。1 is a schematic view of a fluid supply device including a fluid control device according to the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

１００ 流体供給装置、１０ 運転制御部、１１〜１３ ポンプ（流体圧送装置）、２１〜２３ 駆動制御部、３１〜３３ 流量センサ（流量計測部；第２計測部）、４１ 圧力センサ（圧力計測部；第２計測部）   DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Fluid supply apparatus, 10 Operation control part, 11-13 Pump (fluid pumping apparatus), 21-23 Drive control part, 31-33 Flow rate sensor (flow rate measurement part; 2nd measurement part), 41 Pressure sensor (pressure measurement part) ; 2nd measurement part)

Claims (5)

流体を圧送する複数の流体圧送装置を制御する流体制御装置であって、
前記複数の流体圧送装置によって圧送される流体全体のパラメータを計測する第１計測部と、
前記各流体圧送装置から圧送される流体の個別のパラメータを計測する第２計測部と、
前記第１計測部の測定結果に基づいて稼動させる前記流体圧送装置の台数を制御するとともに、前記第２計測部の測定結果に基づいて前記各流体圧送装置から圧送される流体を制御する制御部と、を有することを特徴とする流体制御装置。 A fluid control device for controlling a plurality of fluid pumping devices for pumping fluid,
A first measuring unit for measuring parameters of the whole fluid pumped by the plurality of fluid pumping devices;
A second measuring unit for measuring individual parameters of the fluid pumped from each fluid pumping device;
A control unit that controls the number of the fluid pumping devices to be operated based on the measurement result of the first measurement unit, and controls the fluid pumped from each of the fluid pumping devices based on the measurement result of the second measurement unit. And a fluid control device. 前記制御部に、前記第１測定部の測定結果に基づいて前記各流体圧送装置の出力値を異ならせるためのスイッチ手段が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の流体制御装置。   2. The fluid control device according to claim 1, wherein the control unit is provided with switch means for making the output value of each fluid pumping device different based on a measurement result of the first measurement unit. 3. . 前記複数の流体圧送装置に対応した複数の駆動制御部を前記制御部に有し、前記複数の駆動制御部にはインバータが備えられており、
前記出力値を異ならせるスイッチ手段は、前記複数の流体圧送装置のインバータ制御運転と商用周波数運転とを切り替えるスイッチ手段であることを特徴とする請求項２に記載の流体制御装置。 The control unit has a plurality of drive control units corresponding to the plurality of fluid pumping devices, and the plurality of drive control units are provided with inverters,
The fluid control device according to claim 2, wherein the switch unit that varies the output value is a switch unit that switches between an inverter control operation and a commercial frequency operation of the plurality of fluid pumping devices. 前記第１計測部が、前記流体の圧力を計測する圧力計測部であり、前記第２計測部が、前記流体の流量を計測する流量計測部であることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の流体制御装置。   The first measurement unit is a pressure measurement unit that measures the pressure of the fluid, and the second measurement unit is a flow rate measurement unit that measures the flow rate of the fluid. The fluid control apparatus according to any one of the above. 複数の流体圧送装置による流体の圧送に際して、
前記複数の流体圧送装置により圧送される流体全体のパラメータを計測する第１ステップと、
前記第１ステップの測定結果と流体の圧送に係る目標量とに基づいて前記複数の流体圧送装置の必要な台数を稼動させる第２ステップと、
前記各流体圧送装置から圧送される流体の個別のパラメータを計測する第３ステップと、
前記第３ステップの測定結果に基づいて前記各流体圧送装置から圧送される流体を制御する第４ステップと、
を有することを特徴とする流体制御方法。 When pumping fluid with multiple fluid pumping devices,
A first step of measuring parameters of the whole fluid pumped by the plurality of fluid pumping devices;
A second step of operating a necessary number of the plurality of fluid pumping devices based on a measurement result of the first step and a target amount relating to fluid pumping;
A third step of measuring individual parameters of the fluid pumped from each of the fluid pumping devices;
A fourth step of controlling the fluid pumped from each fluid pumping device based on the measurement result of the third step;
A fluid control method characterized by comprising:
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