JP2007092175A - 中空体プラズマ均一性調整デバイスと方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】開口端が処理スペースに面する状態で、中空体をチャンバ軸の上に位置決めすることによって、処理チャンバの軸へのピークに対する傾向を持ったプラズマ分布の均一性が改善される。中空体は中央から離れたプラズマの分布を制御し、プラズマの中央への配置を可能にする。中空体の幾何学構成は、所与の状態にプラズマを均一化ならしめるよう最適化できる。同時的および連続的なエッチングとiPVD処理のような、組み合わせられた蒸着とエッチング処理において、中空体はエッチングのための均一なプラズマを提供する一方で、蒸着のために蒸着パラメータを最適化することを可能にする。
【選択図】図1
Description
処理条件を変更するとき、例えば誘導結合プラズマ(ICP)アンテナ幾何学構成からの、またチャンバ内部の異なるプラズマ処理の同時的な組み合わせからの金属源からの静磁界の相互作用によって生じうる。
11 チャンバ
12 ICP源(プラズマ源)
13 金属源
14 ウェハホルダ(基板ホルダ)
15 ウェハ
16 処理スペース
17 プラズマ
30 プラズマ源
30a、30b プラズマ調整デバイス(中空体デバイス)
40 プラズマ調整デバイス(中空体デバイス)
51 チャンバ
52 ICP源
53 トップ部分
55 処理スペース
56 金属源
57 誘導アンテナ
58 テフロン(登録商標)スペーサー
60 蒸着シールド
Claims (20)
- 半導体ウェハの処理における均一性を提供する方法であって、
チャンバ内の処理スペースにおける環状領域の中央に、処理スペースに開いた端部を持った中空体を提供する段階と、
前記中空体から見て処理スペースと反対のサポート上でチャンバ内のサポート上に、前記処理スペースに面するよう半導体ウェハを保持する段階と、
前記環状の領域中のプラズマに前記処理チャンバの端部におけるアンテナからRFエネルギーを誘導結合する段階と、
を有することを特徴とする方法。 - 前記アンテナは、前記処理チャンバの外から前記処理スペースの環状領域の中に、前記チャンバ壁の誘電体部を通してRFエネルギーを誘導結合するよう構成されたリング形のアンテナである
ことを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記中空体は、前記リング形のアンテナと軸方向に整列して、前記チャンバ壁の誘電体部の内部にマウントされるよう構成される
ことを特徴とする請求項2に記載の方法。 - プラズマによって半導体ウェハをエッチングする段階
をさらに有することを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記エッチングする段階は、10mTorr未満のチャンバ内圧力で行なわれる
ことを特徴とする請求項4に記載の方法。 - 前記半導体ウェハの上に、iPVD処理によって、プラズマによる蒸着のためにイオン化された金属を蒸着する段階
をさらに有することを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記iPVD処理は、少なくとも30mTorrのチャンバ内圧力によって行なわれる
ことを特徴とする請求項6に記載の方法。 - 半導体ウェハ上への、インシチュで組み合わせられた蒸着とエッチング処理におけるエッチング均一性を提供するための請求項1に記載の方法であって、
プラズマによって前記半導体ウェハをエッチングする段階と、
前記半導体ウェハの上に、iPVD処理によって、プラズマによる蒸着のためにイオン化された金属を蒸着する段階と、
をさらに有することを特徴とする方法。 - 前記iPVD処理は、処理スペース内でプラズマを熱運動化するのに十分に高い圧力において行なわれ、
前記エッチングは、処理スペース内でプラズマを熱運動化するのに必要であるよりも低い圧力において行なわれ、
前記iPVD処理とエッチングは、
圧力が前記iPVD処理とエッチングとの間で切り替えられる状態で、連続的に行なわれる
ことを特徴とする請求項8に記載の方法。 - 前記iPVD処理と前記エッチングは同時に行なわれる
ことを特徴とする請求項8に記載の方法。 - 前記iPVD処理と前記エッチングは、網状蒸着を作らないように同時に行なわれる
ことを特徴とする請求項8に記載の方法。 - 半導体ウェハの処理における広範囲の処理パラメータにわたるプラズマ均一性を提供するためのプラズマ源であって、
真空処理チャンバの外から前記チャンバ内の処理スペースの中に、チャンバ壁の誘電体部を通してRFエネルギーを誘導結合するよう構成されたリング形のアンテナと、
リング形のアンテナと軸方向に整列して、前記チャンバ壁の誘電体部の内部にマウントされるよう構成される中空体であって、前記処理スペースに面する開口端を有する中空体と、
を有することを特徴とするプラズマ源。 - 前記中空体は、前記開口端が円形である状態で、前記リング形のアンテナと軸方向に整列した一様な円筒形状を持つ
ことを特徴とする請求項12に記載のシステム。 - 前記中空体は、前記開口端が円形である状態で、前記リング形のアンテナと軸方向に整列した一様な円筒形状を持つ
ことを特徴とする請求項12に記載のシステム。 - 処理スペースを囲む真空処理チャンバと、
前記真空処理チャンバ内の真空処理圧力を保持するよう動作可能な真空システムと、
チャンバ内で前記処理スペースと連通するスパッタリング表面を持ったスパッタリングターゲットと、
前記処理スペース内の分布領域の中にRFエネルギーを組み合わせるよう構成された電極を有する高濃度プラズマ源と、
前記処理スペースに面するチャンバ内の基板サポートと、
前記分布領域の中央にあって前記処理スペースへ開口する端部を持った中空体と、
を有し、
前記スパッタリングターゲット、前記プラズマ源、前記中空体、前記処理スペース、および前記基板サポートは、真空処理チャンバの軸方向に整列しており、そして、
前記真空処理チャンバ内の基板サポートの上で半導体ウェハのプラズマ処理を制御するように動作可能なコントローラ
を有することを特徴とする半導体ウェハ処理装置。 - 請求項15に記載の装置であって、
イオン化物理的気相蒸着システムであって、前記コントローラが
プラズマが前記処理スペース生成される時に、そのプラズマの熱運動化をもたらすのに十分に高い圧力であるような、前記真空処理チャンバ内の真空処理圧力を保持するよう前記真空システムを制御し、
前記真空処理スペースの中にコーティング材料をスパッタリングするようスパッタリングターゲットを制御し、
前記処理スペース内に高い濃度の熱運動化プラズマを作るように高濃度プラズマ源を制御する
ように動作可能であるイオン化物理的気相蒸着システムと、
プラズマエッチングシステムであって、前記コントローラが、さらに、
プラズマが前記処理スペースで生成される時に、エッチングのためには効果的で、そのプラズマの熱運動化をもたらすのに不十分な高さの圧力であるような、前記真空処理チャンバ内の真空処理圧力を保持するよう前記真空システムを制御し、
前記半導体ウェハ上に網状蒸着がないようにスパッタリングターゲットを制御し、
効果的に前記基板をエッチングするために前記高濃度プラズマ源と前記基板サポートのバイアス電圧を制御する
ように動作可能であるプラズマエッチングシステムと、
をさらに有することを特徴とする装置。 - 前記コントローラは、前記基板を、前記処理チャンバ内にある時に同時的または連続的に被覆およびエッチングするために、前記蒸着システムおよび前記エッチングシステムを動作させるようプログラムされることを特徴とする請求項16に記載の装置。
- 前記コントローラは、さらに、前記処理チャンバ内のサポート上の半導体ウェハに連続的または同時的にiPVD処理およびエッチング処理を行なうための装置を動作させるよう動作可能であることを特徴とする請求項15に記載の装置。
- 前記コントローラは、前記処理スペース内でプラズマを熱運動化するのに十分に高い圧力において前記iPVD処理を行なうよう前記装置を動作させ、前記処理スペース内でプラズマを熱運動化するのに十分な高さよりも低い圧力において前記エッチング処理を行なうよう前記装置を動作させるように、プログラムされることを特徴とする請求項18に記載の装置。
- 前記電極アンテナはリング形をしており、前記処理スペースの中に誘導的にRFエネルギーを結合するよう構成した処理チャンバの端部に位置していることを特徴とする請求項15に記載の装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20220069897A (ko) * | 2016-06-30 | 2022-05-27 | 램 리써치 코포레이션 | 갭 충진에서 증착 및 에칭을 위한 장치 및 방법 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8382941B2 (en) | 2008-09-15 | 2013-02-26 | Micron Technology, Inc. | Plasma reactor with adjustable plasma electrodes and associated methods |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002513862A (ja) * | 1998-05-06 | 2002-05-14 | 東京エレクトロン株式会社 | イオン化物理蒸着方法およびその装置 |
JP2003017472A (ja) * | 2001-06-29 | 2003-01-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマ処理方法及び装置 |
JP2004526868A (ja) * | 2001-05-04 | 2004-09-02 | 東京エレクトロン株式会社 | シーケンシャルな堆積及びエッチングを備えたイオン化pvd |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5391281A (en) * | 1993-04-09 | 1995-02-21 | Materials Research Corp. | Plasma shaping plug for control of sputter etching |
US5569363A (en) * | 1994-10-25 | 1996-10-29 | Sony Corporation | Inductively coupled plasma sputter chamber with conductive material sputtering capabilities |
US6132564A (en) * | 1997-11-17 | 2000-10-17 | Tokyo Electron Limited | In-situ pre-metallization clean and metallization of semiconductor wafers |
US5556521A (en) * | 1995-03-24 | 1996-09-17 | Sony Corporation | Sputter etching apparatus with plasma source having a dielectric pocket and contoured plasma source |
US5589041A (en) * | 1995-06-07 | 1996-12-31 | Sony Corporation | Plasma sputter etching system with reduced particle contamination |
US6534922B2 (en) * | 1996-09-27 | 2003-03-18 | Surface Technology Systems, Plc | Plasma processing apparatus |
TW358964B (en) * | 1996-11-21 | 1999-05-21 | Applied Materials Inc | Method and apparatus for improving sidewall coverage during sputtering in a chamber having an inductively coupled plasma |
KR20010024504A (ko) * | 1997-10-15 | 2001-03-26 | 히가시 데쓰로 | 플라즈마의 밀도분포를 조정하기 위한 장치 및 방법 |
US6287435B1 (en) * | 1998-05-06 | 2001-09-11 | Tokyo Electron Limited | Method and apparatus for ionized physical vapor deposition |
US6197165B1 (en) * | 1998-05-06 | 2001-03-06 | Tokyo Electron Limited | Method and apparatus for ionized physical vapor deposition |
US6117279A (en) * | 1998-11-12 | 2000-09-12 | Tokyo Electron Limited | Method and apparatus for increasing the metal ion fraction in ionized physical vapor deposition |
US6237526B1 (en) * | 1999-03-26 | 2001-05-29 | Tokyo Electron Limited | Process apparatus and method for improving plasma distribution and performance in an inductively coupled plasma |
US20030042227A1 (en) * | 2001-08-29 | 2003-03-06 | Tokyo Electron Limited | Apparatus and method for tailoring an etch profile |
US7041201B2 (en) * | 2001-11-14 | 2006-05-09 | Applied Materials, Inc. | Sidewall magnet improving uniformity of inductively coupled plasma and shields used therewith |
US20040028837A1 (en) * | 2002-06-28 | 2004-02-12 | Tokyo Electron Limited | Method and apparatus for plasma processing |
US20030047536A1 (en) * | 2002-10-02 | 2003-03-13 | Johnson Wayne L. | Method and apparatus for distributing gas within high density plasma process chamber to ensure uniform plasma |
US7183716B2 (en) * | 2003-02-04 | 2007-02-27 | Veeco Instruments, Inc. | Charged particle source and operation thereof |
US20050263070A1 (en) * | 2004-05-25 | 2005-12-01 | Tokyo Electron Limited | Pressure control and plasma confinement in a plasma processing chamber |
-
2005
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-
2006
- 2006-09-25 JP JP2006259418A patent/JP5154778B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002513862A (ja) * | 1998-05-06 | 2002-05-14 | 東京エレクトロン株式会社 | イオン化物理蒸着方法およびその装置 |
JP2004526868A (ja) * | 2001-05-04 | 2004-09-02 | 東京エレクトロン株式会社 | シーケンシャルな堆積及びエッチングを備えたイオン化pvd |
JP2003017472A (ja) * | 2001-06-29 | 2003-01-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマ処理方法及び装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20220069897A (ko) * | 2016-06-30 | 2022-05-27 | 램 리써치 코포레이션 | 갭 충진에서 증착 및 에칭을 위한 장치 및 방법 |
KR102580991B1 (ko) | 2016-06-30 | 2023-09-20 | 램 리써치 코포레이션 | 갭 충진에서 증착 및 에칭을 위한 장치 및 방법 |
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