JP2007083401A - Manufacturing method for wiring substrate, and liquid delivering head - Google Patents

Manufacturing method for wiring substrate, and liquid delivering head Download PDF

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亮一郎 黒部
Minoru Nozawa
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To simplify a wiring structure of a wiring substrate brought into ILB connection to a liquid delivering substrate. <P>SOLUTION: A wiring substrate material B is manufactured which has: an opening 11 to mount the liquid delivering substrate not illustrated, a contact part 12 for inputting an electrical signal; a wiring lead 14 arranged in the opening 11; and a wiring sharing part 15. Electrolytic plating of the contact part 12 and the wiring lead 14 is carried out while an internal wiring cable 13 extended to a substrate end edge is made a wiring cable for plating, whereby a plating layer of Au and Ni for protection is formed. Every wiring lead 14 is rendered conductive by the wiring sharing part 15, and therefore, one internal wiring cable 13 to be the wiring cable for plating is enough. After plating processing, the wiring sharing part 15 is removed by blanking or the like. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、インク等の液体を吐出して記録動作を行う液体吐出ヘッド等に用いられる配線基板の製造方法および液体吐出ヘッドに関するものである。   The present invention relates to a method of manufacturing a wiring board and a liquid discharge head used in a liquid discharge head that performs a recording operation by discharging a liquid such as ink.

本発明は、一般的なプリント装置のほか、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリント部を有するワードプロセッサ等の装置、あるいは、これらの装置を複合した多機能記録装置等に搭載される液体吐出ヘッドに適用することができる。   The present invention relates to a liquid ejection head mounted on a general printing apparatus, a copying machine, a facsimile having a communication system, a word processor having a printing unit, or a multifunction recording apparatus in which these apparatuses are combined. Can be applied to.

インクジェットプリンタ等の記録装置は、高速な記録や、様々な記録メディアに対する記録が可能であるとともに、記録時における騒音がほとんど生じないという特徴を有する。そのため、プリンタ、ワードプロセッサ、ファクシミリ、複写機等の記録機構を担う装置として広く採用されている。   A recording apparatus such as an ink jet printer has the characteristics that high-speed recording and recording on various recording media are possible and noise during recording hardly occurs. Therefore, it is widely adopted as a device that bears a recording mechanism such as a printer, a word processor, a facsimile machine, and a copying machine.

また、インク等液体の吐出方式においては、電気熱変換素子が配列された基板に対して平行に記録液を吐出させる方式(エッジシューター)や、電気熱変換素子が配列された基板に対して垂直に記録液を吐出させる方式(サイドシューター)等がある。   In addition, in the liquid ejection method such as ink, a recording liquid is ejected in parallel to the substrate on which the electrothermal conversion elements are arranged (edge shooter), or perpendicular to the substrate on which the electrothermal conversion elements are arranged. There is a method (side shooter) for discharging the recording liquid.

図6は、特許文献1等に開示された、サイドシュータータイプの一般的な液体吐出ヘッドであるインクジェット記録ヘッドの構成を示したものである。また、図7は、インクジェット記録ヘッドの断面構造を説明するもので、(a)は、図6の(a)のC−C断面を示す拡大断面図、(b)は、同図の(b)のD−D断面を示す拡大断面図である。   FIG. 6 shows a configuration of an ink jet recording head which is a side shooter type general liquid discharge head disclosed in Patent Document 1 and the like. 7A and 7B illustrate a cross-sectional structure of the ink jet recording head. FIG. 7A is an enlarged cross-sectional view showing a CC cross section of FIG. 6A, and FIG. It is an expanded sectional view which shows the DD cross section of).

このインクジェット記録ヘッドは、液体吐出基板101、配線基板110、支持部材120から構成されている。液体吐出基板101は、図7に示すように、シリコン製の基板からなるヒーターボード102の中央にインク供給口104が長穴の形状で開いており、ヒーターボード102上には複数の発熱抵抗体107がほぼ等間隔でインク供給口104の両側に並んでいる。そして、インクはヒーターボード102のインク供給口104から供給される。ヒーターボード102の外部には発熱抵抗体107に電力を供給するための配線(不図示)が引き回されていて、ヒーターボード102上の両端に設置されている外部取り出し電極パッドと結線されている。このようなヒーターボード102上に複数の吐出口106を有するオリフィスプレート105を貼り付けて、さらに、電極パッド上には、電極となるバンプ103が形成されている。   The ink jet recording head includes a liquid discharge substrate 101, a wiring substrate 110, and a support member 120. As shown in FIG. 7, the liquid discharge substrate 101 has an ink supply port 104 in the shape of an elongated hole at the center of a heater board 102 made of a silicon substrate, and a plurality of heating resistors are formed on the heater board 102. 107 are arranged on both sides of the ink supply port 104 at substantially equal intervals. Ink is supplied from an ink supply port 104 of the heater board 102. Wiring (not shown) for supplying power to the heating resistor 107 is routed outside the heater board 102 and connected to external extraction electrode pads installed at both ends on the heater board 102. . An orifice plate 105 having a plurality of discharge ports 106 is attached on the heater board 102, and bumps 103 serving as electrodes are formed on the electrode pads.

配線基板110には、例えば、フレキシブル配線基板が使用される。これは、ベースフィルム110a上に銅箔を接着剤110bにより接着し、パターニングして内部配線113、液体吐出基板101のバンプ103を電気接続する電極端子となる配線リード114、およびコンタクト部112を形成したものである。その上には、接着剤110cを介して接着されたカバーフィルム110dを有する。   For the wiring substrate 110, for example, a flexible wiring substrate is used. In this method, a copper foil is bonded to the base film 110a with an adhesive 110b and patterned to form internal wiring 113, wiring leads 114 that serve as electrode terminals for electrically connecting the bumps 103 of the liquid discharge substrate 101, and contact portions 112. It is a thing. On top of that, there is a cover film 110d bonded via an adhesive 110c.

支持部材120は、液体吐出基板101のインク供給口104と、支持部材120のインク供給口122が連通するように接着剤121により接着される。また、液体吐出基板101の電極部に対して、配線基板110がほぼ水平に接続できる構造となっており、接着剤123により、配線基板110を接着固定する。   The support member 120 is bonded by an adhesive 121 so that the ink supply port 104 of the liquid discharge substrate 101 and the ink supply port 122 of the support member 120 communicate with each other. In addition, the wiring substrate 110 can be connected to the electrode portion of the liquid discharge substrate 101 almost horizontally, and the wiring substrate 110 is bonded and fixed by the adhesive 123.

液体吐出基板101の電極部に配線基板110の配線を結線する方法として、一般的には、液体吐出基板101のバンプ103と、配線基板110の配線リード114を超音波と熱により金属接合する方法がある。これは、インナーリードボンディングと呼ばれている。そして、液体吐出基板101のバンプ103と、配線基板110の配線リード114のボンディング部は、配線リード114上に封止用の接着剤130aを、液体吐出基板101の周囲に封止用の接着剤130bを用いて封止をすることで周囲から絶縁している。   As a method of connecting the wiring of the wiring board 110 to the electrode portion of the liquid discharging substrate 101, generally, the bump 103 of the liquid discharging substrate 101 and the wiring lead 114 of the wiring board 110 are metal-bonded by ultrasonic waves and heat. There is. This is called inner lead bonding. The bonding portion between the bump 103 of the liquid discharge substrate 101 and the wiring lead 114 of the wiring substrate 110 includes a sealing adhesive 130 a on the wiring lead 114 and a sealing adhesive around the liquid discharge substrate 101. Insulation from the surroundings is achieved by sealing with 130b.

露出している配線リード114と、電気信号入力部であるコンタクト部112は、図8に示すように各配線リード114から基板端縁に延出された数多くの内部配線113をめっき用配線として用いて、ニッケル(Ni)と金(Au)により電解めっきを行う。このようにして、銅箔の腐食を防止する構成が知られている。
特開2003−211678号公報
As shown in FIG. 8, the exposed wiring leads 114 and the contact portions 112 as electric signal input portions use a number of internal wirings 113 extending from the wiring leads 114 to the edge of the substrate as plating wirings. Then, electrolytic plating is performed with nickel (Ni) and gold (Au). Thus, the structure which prevents corrosion of copper foil is known.
Japanese Patent Laid-Open No. 2003-21678

しかし、配線基板110の表面に露出する配線リード114とコンタクト部112とに対して、インク等による腐食を防止するためのめっき処理工程で以下のような問題がある。すなわち、NiやAuによる電解めっきを行うために、基板端縁に延出するめっき用配線となる内部配線113が配線リード114の本数分必要である。このため、図8に示すように、配線基板内部に敷設する配線数が増加し、またそれによる基板サイズの増大に伴うコスト上昇が問題となることがあった。   However, the wiring lead 114 and the contact portion 112 exposed on the surface of the wiring substrate 110 have the following problems in the plating process for preventing corrosion due to ink or the like. That is, in order to perform the electrolytic plating with Ni or Au, the internal wirings 113 to be the plating wirings extending to the edge of the substrate are required by the number of the wiring leads 114. For this reason, as shown in FIG. 8, the number of wirings laid inside the wiring board increases, and the cost increase accompanying the increase in the size of the board may become a problem.

本発明は、外部に露出している配線リードや電気信号入力部に電解めっきを行うためのめっき用配線数を低減し、基板サイズの増大やコスト上昇を防ぐことのできる配線基板の製造方法を提供することを目的とするものである。   The present invention provides a wiring board manufacturing method capable of reducing the number of wirings for plating for performing electrolytic plating on wiring leads and electrical signal input portions exposed to the outside, and preventing an increase in board size and cost. It is intended to provide.

本発明の配線基板の製造方法は、表面に露出する電気信号入力部および複数の内部配線と、デバイスホール内の素子チップの電極部に電気的に接続される複数の配線リードと、デバイスホール内の複数の配線リードを互いに導通させる配線共有部とを有し、少なくとも1本の内部配線を基板端縁まで延出させた配線基板を製造する工程と、配線基板の基板端縁まで延出している内部配線およびデバイスホール内の配線共有部を用いて、電気信号入力部および配線リードをめっきする工程と、デバイスホール内の配線共有部を除去する工程と、を有することを特徴とする。   The method for manufacturing a wiring board according to the present invention includes an electric signal input portion and a plurality of internal wirings exposed on the surface, a plurality of wiring leads electrically connected to the electrode portions of the element chips in the device holes, And a wiring sharing part for connecting the plurality of wiring leads to each other, and a step of manufacturing a wiring board in which at least one internal wiring is extended to the edge of the board, and extending to the board edge of the wiring board. And a step of plating the electrical signal input portion and the wiring lead using the internal wiring and the wiring sharing portion in the device hole, and a step of removing the wiring sharing portion in the device hole.

配線共有部を設けることで、装置本体からの駆動電力や電気信号を入力するための電気信号入力部および配線リードに対して電解めっきを行うのに必要な内部配線(めっき用配線)を例えば1本のみとすることができる。めっき用配線をリード配線の本数分必要とする場合に比べて、無駄な配線を省き、配線基板の基板サイズを大幅に縮小して、コスト低減に貢献できる。   By providing the wiring sharing portion, for example, 1 is provided for the internal wiring (plating wiring) necessary for performing electrolytic plating on the electric signal input portion for inputting the driving power and the electric signal from the apparatus main body and the wiring lead. It can only be a book. Compared to the case where the wiring for plating is required for the number of lead wirings, unnecessary wiring can be eliminated, the board size of the wiring board can be greatly reduced, and the cost can be reduced.

このような配線基板を液体吐出ヘッドに用いることで、液体吐出ヘッドの低価格化等を促進できる。   By using such a wiring board for the liquid discharge head, it is possible to promote the cost reduction of the liquid discharge head.

本発明を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。   The best mode for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings.

図1および図2に示すように、めっき処理前の配線基板材Bは、デバイスホールである開口11と、図示裏面側に露出する電気信号入力部であるコンタクト部12と、内部配線13と、開口11から露出する配線リード14等を有する。コンタクト部12および配線リード14は、腐食を防止する目的でニッケル(Ni)や金(Au)による電解めっきを行う。開口11内の配線リード14は、これらを互いに導通させる配線共有部15と一体に形成されており、このため、図3に示すように、基板端縁に延出しためっき用配線となる内部配線13を1本のみとすることが可能である。   As shown in FIG. 1 and FIG. 2, the wiring board material B before plating processing includes an opening 11 that is a device hole, a contact portion 12 that is an electric signal input portion exposed on the back side in the drawing, an internal wiring 13, The wiring lead 14 and the like exposed from the opening 11 are included. The contact portion 12 and the wiring lead 14 are subjected to electrolytic plating with nickel (Ni) or gold (Au) for the purpose of preventing corrosion. The wiring lead 14 in the opening 11 is formed integrally with the wiring sharing portion 15 that conducts them, and therefore, as shown in FIG. 3, the internal wiring that becomes the plating wiring extending to the edge of the substrate is formed. 13 can be only one.

なお、めっき処理後は、配線共有部15を図2に示す打ち抜きや、図5に示すレーザー加工等により除去する。このようにして製造された配線基板10を、図4に示すように、液体吐出基板1を支持する支持部材20に接着する。次いで、液体吐出基板1のヒーターボード2上のバンプ3と配線リード14との電気接続が行われる。従来例においては、少なくとも配線リードの本数分必要であっためっき用配線の多くを省くことで、配線基板10のサイズ増大に伴うコスト上昇を防ぎ、安価な液体吐出ヘッドを提供することができる。   After the plating process, the wiring sharing portion 15 is removed by punching shown in FIG. 2, laser processing shown in FIG. The wiring board 10 manufactured in this way is bonded to a support member 20 that supports the liquid discharge substrate 1 as shown in FIG. Next, electrical connection is made between the bumps 3 on the heater board 2 of the liquid discharge substrate 1 and the wiring leads 14. In the conventional example, by omitting at least most of the wiring for plating that is required for the number of wiring leads, it is possible to prevent an increase in cost associated with the increase in the size of the wiring substrate 10 and to provide an inexpensive liquid discharge head.

図3に示すように、基板端縁に延出する内部配線13には、一般に液体吐出基板1へ電力を供給しないことで極力細い配線とする信号線等よりも、液体吐出基板1へ電源を供給することから太い配線とする電源線を選ぶとよい。このようにして、安定した電力を供給し、めっき処理をすることが可能となる。   As shown in FIG. 3, the internal wiring 13 extending to the edge of the substrate is generally supplied with power to the liquid ejection substrate 1 rather than a signal line or the like that is made as thin as possible by not supplying power to the liquid ejection substrate 1. It is recommended to select a power line that is thick because it is supplied. In this way, stable power can be supplied and plating can be performed.

さらに、一般的にインクジェット記録装置に用いる液体であるインクは、発一性向上の観点から尿素成分を含むことがある。従って、配線基板を一体形態でパッケージする場合、パッケージ形態内部のインク雰囲気中に、この尿素は熱で分解されたアンモニアガスがあり、これが結露した水分に溶け込んでアンモニア水となることがある。   Furthermore, ink that is a liquid generally used in an ink jet recording apparatus may contain a urea component from the viewpoint of improving the uniformity. Therefore, when the wiring board is packaged in an integrated form, this urea has ammonia gas decomposed by heat in the ink atmosphere inside the package form, and this urea may dissolve into the condensed moisture and become ammonia water.

そこで、配線基板10の基板端縁に延出した内部配線13は、コンタクト部12から延出する基板端縁までの配線長さL1 を、他の全てのコンタクト部12の基板端縁までの距離L2 、L3 より長くすることが望ましい(図1参照)。これにより、万一上述した内部配線の腐食が基板端縁で生じた場合も信頼性を損なうことのないインクジェット記録ヘッドを提供することが可能である。 Therefore, the internal wiring 13 extending to the substrate edge of the wiring substrate 10 has a wiring length L 1 from the contact portion 12 to the substrate edge extending to the substrate edge of all other contact portions 12. It is desirable to make the distance longer than the distances L 2 and L 3 (see FIG. 1). As a result, it is possible to provide an ink jet recording head that does not impair reliability even if the above-described internal wiring corrosion occurs at the edge of the substrate.

なお、「プリント」および「記録」とは、文字、図形等、有意の情報を形成する場合のみならず、有意無意を問わず、また人間が視覚で知覚し得るように顕在化したものであるか否かを問わず、広くプリント媒体上に画像、模様、パターン等を形成する。また、媒体の加工を行う場合も言うものとする。   Note that “print” and “record” are manifested not only to form significant information such as characters and figures, but also to be perceptible by humans, regardless of significance and insignificance. Regardless of whether or not, an image, a pattern, a pattern or the like is widely formed on a print medium. The case of processing a medium is also referred to.

ここで、「プリント媒体」および「媒体」とは、一般的なプリント装置で用いられる紙のみならず、広く、布、プラスチック・フィルム、金属板等、ガラス、セラミックス、木材、皮革等、インクを受容可能な物も言うものとする。   Here, “print medium” and “medium” include not only paper used in general printing apparatuses but also a wide range of materials such as cloth, plastic film, metal plate, glass, ceramics, wood, leather, etc. Say what is acceptable.

さらに、「インク」とは、上記「プリント」の定義と同様広く解釈されるべきものである。すなわち、プリント媒体上に付与されることによって、画像、模様、パターン等の形成またはプリント媒体の加工、或いはインクの処理(例えばインク中の色材の凝固または不溶化)に供され得る液体を言い、記録に関して用いる全ての液体を含むものとする。   Further, “ink” should be interpreted widely as in the definition of “print”. That is, it refers to a liquid that can be used for forming an image, a pattern, a pattern, or the like, processing of the print medium, or processing of the ink (for example, solidification or insolubilization of the coloring material in the ink) by being applied on the print medium, All liquids used for recording shall be included.

図1ないし図4は、実施例1を示す。配線基板材Bは、めっき処理前の状態の配線基板10を示すもので、開口11内に、すべての配線リード14に繋がる配線共有部15を有し、複数の配線リード14のうちの1本に接続されためっき用配線として内部配線13が基板端縁に延出している。   1 to 4 show a first embodiment. The wiring board material B shows the wiring board 10 in a state before plating, and has a wiring sharing portion 15 connected to all the wiring leads 14 in the opening 11, and one of the plurality of wiring leads 14. The internal wiring 13 extends to the edge of the substrate as the wiring for plating connected to the substrate.

図1および図2に示すように、めっき処理後に、配線基板材Bの配線共有部15に対し直上に配置されたプレス機の打ち抜き切断冶具T1 を下方へ向けて押し当てることによって、配線共有部15を切り離して、配線基板10が製作される。 As shown in FIG. 1 and FIG. 2, after the plating process, the punching and cutting jig T 1 of the press machine disposed immediately above the wiring sharing portion 15 of the wiring board material B is pressed downward to share the wiring. The wiring board 10 is manufactured by separating the portion 15.

図3は配線基板10の配線構造を示すもので、コンタクト部12および開口11内に突出する配線リード14にはそれぞれ銅箔等のパターニングによって形成された内部配線13が接続され、多くの内部配線13のうちの1本のみが基板端縁まで延出している。   FIG. 3 shows a wiring structure of the wiring board 10, and an internal wiring 13 formed by patterning of copper foil or the like is connected to the contact portion 12 and the wiring lead 14 protruding into the opening 11. Only one of 13 extends to the edge of the substrate.

本実施例の液体吐出ヘッドであるインクジェット記録ヘッドは、電気信号に応じて膜沸騰を生じせしめる電気熱変換体を用いて記録を行う方式の記録ヘッドであり、図4に示すように、液体吐出基板1、配線基板10、支持部材20から構成されている。   The ink jet recording head, which is a liquid discharge head of the present embodiment, is a recording head that performs recording using an electrothermal transducer that causes film boiling in response to an electrical signal. As shown in FIG. The board 1, the wiring board 10, and the support member 20 are included.

液体吐出基板1は、シリコン製の基板2の中央にインク供給口4が長穴の形状で開いており、複数の発熱抵抗体がほぼ等間隔でインク供給口4の両側に並んでいる。このような発熱抵抗体を形成した基板2はヒーターボードと呼ばれている。インクはヒーターボード2のインク供給口4から供給される。ヒーターボード2の外部には発熱抵抗体に電力を供給するための配線(不図示)が引き回されていて、ヒーターボード2上の両端に設置されている電極部と結線されている。これらの配線は、一般に、数百から数千Åの厚さを有する窒化絶縁膜(SiN)で保護されている。そして、ヒーターボード2上に、フォトリソグラフィー技術により形成された複数の吐出口6を有するオリフィスプレート5を貼り付ける。さらに、電極パッド上には、電極となるバンプ3が形成されて、液体吐出基板1が完成する。なお、バンプ3は、例えば、スタッドバンプ工法により形成された5〜30μm程度の金バンプである。   In the liquid discharge substrate 1, an ink supply port 4 is opened in the shape of an elongated hole in the center of a silicon substrate 2, and a plurality of heating resistors are arranged on both sides of the ink supply port 4 at substantially equal intervals. The substrate 2 on which such a heating resistor is formed is called a heater board. Ink is supplied from an ink supply port 4 of the heater board 2. Wiring (not shown) for supplying power to the heating resistor is routed outside the heater board 2, and is connected to electrode portions installed at both ends on the heater board 2. These wirings are generally protected by a nitride insulating film (SiN) having a thickness of several hundreds to several thousands. Then, an orifice plate 5 having a plurality of discharge ports 6 formed by a photolithography technique is attached on the heater board 2. Further, bumps 3 serving as electrodes are formed on the electrode pads, and the liquid discharge substrate 1 is completed. The bump 3 is, for example, a gold bump of about 5 to 30 μm formed by a stud bump method.

配線基板10は、例えば、フレキシブル配線基板が使用され、ベースフィルム10a上に銅箔を接着剤10bにより接着し、銅箔をパターニングして、銅箔の内部配線13および配線リード14を形成する。そして、液体吐出基板1のバンプ3を電気接続する配線リード14以外を、接着剤10cによって接着されたカバーフィルム10dにより被覆している。なお、ベースフィルム10a、カバーフィルム10dは、例えば、厚みが25μmのレジストフィルムである。   For example, a flexible wiring substrate is used as the wiring substrate 10, and a copper foil is bonded onto the base film 10 a with an adhesive 10 b, and the copper foil is patterned to form an internal wiring 13 and a wiring lead 14 of the copper foil. Then, except for the wiring leads 14 that electrically connect the bumps 3 of the liquid discharge substrate 1, they are covered with a cover film 10d bonded with an adhesive 10c. The base film 10a and the cover film 10d are, for example, resist films with a thickness of 25 μm.

配線リード14、コンタクト部12は、例えば、厚み30μmの銅箔に金メッキが施される。また、接着剤10b、10cは、例えば、10μmの厚みを有している。   For example, the wiring lead 14 and the contact portion 12 are plated with gold on a copper foil having a thickness of 30 μm. The adhesives 10b and 10c have a thickness of 10 μm, for example.

配線基板10の全ての銅箔配線に繋がる配線共有部15を有するため、1本の内部配線13を基板端縁に延出させ、これをめっき用配線として配線リード14とコンタクト部12に対して金めっき等を施す。その後、不要となった配線共有部15をプレス機により打ち抜き、配線リード14の先端部14aを形成し、かつ、配線リード14の先端部14aと根元部との間で撓み14bを有する形状とする。   Since the wiring sharing part 15 connected to all the copper foil wirings of the wiring board 10 is provided, one internal wiring 13 is extended to the edge of the board, and this is used as plating wiring with respect to the wiring lead 14 and the contact part 12. Apply gold plating. Thereafter, the wiring sharing portion 15 that is no longer needed is punched out by a press to form the tip portion 14a of the wiring lead 14 and has a shape having a bend 14b between the tip portion 14a and the root portion of the wiring lead 14. .

図4の(a)、(b)に示すように、配線基板10の撓み形状は、インクジェット記録ヘッド製造時に配線基板10へ熱が加わった際の熱膨張等の影響を緩和するものである。なお、配線基板10をプレス機により打ち抜いて液体吐出基板1と電気的接合をする際、配線リード14の先端に下向きのダレや、バリ等のエッジ14cが発生し、液体吐出基板1に干渉して、傷をつけたり、その他悪影響を与えるおそれがある。そこで、図1および図2に示すように、コンタクト部12を表側として、配線基板10の裏面側から配線共有部15をプレス機で打ち抜き切断することが望ましい。   As shown in FIGS. 4A and 4B, the bent shape of the wiring board 10 alleviates the influence of thermal expansion or the like when heat is applied to the wiring board 10 at the time of manufacturing the ink jet recording head. When the wiring board 10 is punched out by a press machine and electrically connected to the liquid discharge substrate 1, a downward sag or an edge 14 c such as a burr is generated at the tip of the wiring lead 14 and interferes with the liquid discharge substrate 1. May cause scratches or other adverse effects. Therefore, as shown in FIGS. 1 and 2, it is desirable that the contact portion 12 be the front side and the wiring sharing portion 15 be punched and cut from the back side of the wiring substrate 10 with a press.

こうすることで、図4の(a)に示すように、配線共有部15を切り離した後に配線リード14の先端部14aにできるダレや、バリ等のエッジが液体吐出基板1を傷つける懸念のない良好な電気的接合状態が得られる。   By doing so, as shown in FIG. 4A, there is no fear that the edge of the leading end portion 14a of the wiring lead 14 after cutting the wiring sharing portion 15 or the edge such as a burr damages the liquid discharge substrate 1. A good electrical connection state can be obtained.

支持部材20は、液体吐出基板1のインク供給口4と、支持部材20のインク供給口22が連通するように接着剤21により接着される。また、液体吐出基板1の電極部に対して、配線基板10がほぼ水平に接続できる構造となっており、接着剤23により、配線基板10を接着固定する。   The support member 20 is bonded by an adhesive 21 so that the ink supply port 4 of the liquid ejection substrate 1 and the ink supply port 22 of the support member 20 communicate with each other. In addition, the wiring substrate 10 can be connected to the electrode portion of the liquid discharge substrate 1 almost horizontally, and the wiring substrate 10 is bonded and fixed by the adhesive 23.

そして、液体吐出基板1のバンプ3と、配線基板10の配線リード14を超音波と熱を用いて金属接合(インナーリードボンディング)し、両電極間を電気的に接続固定する。次いで、配線リード14上に図示しない第1の封止用の接着剤を、液体吐出基板1の周囲に第2の封止用の接着剤を用いて封止することで、周囲からボンディング部を絶縁し、被覆する。これらの接着剤に、例えば熱硬化性接着剤を用いれば、両電極間が十分に固定される。   Then, the bumps 3 of the liquid discharge substrate 1 and the wiring leads 14 of the wiring substrate 10 are metal-bonded (inner lead bonding) using ultrasonic waves and heat, and the electrodes are electrically connected and fixed. Next, a first sealing adhesive (not shown) is sealed on the wiring lead 14 by using the second sealing adhesive around the liquid discharge substrate 1, so that the bonding portion is surrounded from the periphery. Insulate and coat. If a thermosetting adhesive is used for these adhesives, for example, the gap between both electrodes is sufficiently fixed.

本実施例によれば、配線基板の表面に露出している配線リードとコンタクト部に対して、ニッケル(Ni)や金(Au)による電解めっきを行うのに必要なめっき用配線は、配線基板の基板端縁に延出した1本の内部配線のみとなる。その結果、これまで配線リードの本数分必要であった無駄な配線を省くことができ、基板のサイズ増大に伴うコスト上昇を防ぐことが可能である。   According to this embodiment, the wiring for plating necessary for performing electrolytic plating with nickel (Ni) or gold (Au) on the wiring leads and contact portions exposed on the surface of the wiring board is the wiring board. There is only one internal wiring extending to the edge of the substrate. As a result, it is possible to eliminate useless wiring that has been necessary for the number of wiring leads so far, and to prevent an increase in cost due to an increase in the size of the substrate.

なお、本実施例では配線基板の基板端縁に延出するめっき用配線を1本としたが、これは、液体吐出基板に電源を供給する電源線等、他の配線より配線幅が広いものを選ぶことが望ましい。さらに、配線基板の基板端縁に延出する内部配線のコンタクト部より延出する基板端縁までの配線長さは、腐食による悪影響を防ぐ観点から他のコンタクト部から基板端縁までの距離よりも長いことが望ましい。   In this embodiment, the number of wiring for plating extending to the substrate edge of the wiring board is one, but this is wider than other wiring such as a power supply line for supplying power to the liquid discharge substrate. It is desirable to choose. Furthermore, the wiring length from the contact part of the internal wiring that extends to the board edge of the wiring board to the board edge that extends from the distance from the other contact part to the board edge from the viewpoint of preventing adverse effects due to corrosion. It is desirable that the length be too long.

図5は、実施例2による液体吐出ヘッドの製造方法を示す。本実施例は、配線基板材Bの配線共有部15を鉛直上方より打ち抜くためのプレス機の代わりに、配線共有部15の上方にレーザー加工機T2 と、位置合わせを行うためのカメラユニットSを配置したものである。配線共有部15の上方にあるレーザー加工機T2 を配線基板材Bに対し、位置合わせを行いながら開口11内の二点鎖線Nに沿ってレーザーで切断し、配線共有部15を切り離すことで、図5の(b)に示す状態となる。 FIG. 5 shows a method of manufacturing a liquid discharge head according to the second embodiment. In this embodiment, instead of a press machine for punching out the wiring sharing portion 15 of the wiring board material B from above, the laser processing machine T 2 above the wiring sharing portion 15 and a camera unit S for alignment. Is arranged. The laser beam machine T 2 above the wiring sharing unit 15 is cut with a laser along the two-dot chain line N in the opening 11 while aligning the wiring board material B with the wiring board material B, and the wiring sharing unit 15 is separated. The state shown in FIG.

本実施例では、液体吐出基板と電気接続する配線リード14の先端をレーザー加工により形成するため、実施例1のようなプレス機による打ち抜きに比べて、切り離した配線リード14の先端にダレやバリ等が残りにくい。従って、配線基板10を液体吐出基板に電気的に接続する際に、より信頼性のある電気接続が可能である。   In this embodiment, the tip of the wiring lead 14 that is electrically connected to the liquid discharge substrate is formed by laser processing. Etc. are difficult to remain. Therefore, more reliable electrical connection is possible when the wiring substrate 10 is electrically connected to the liquid ejection substrate.

実施例1による配線基板のめっき処理前の状態を説明する図である。It is a figure explaining the state before the plating process of the wiring board by Example 1. FIG. 実施例1による配線共有部の切断工程を説明する図である。It is a figure explaining the cutting process of the wiring share part by Example 1. FIG. 実施例1による配線基板の配線構成を示すもので、(a)はその全体を示す平面図、(b)は(a)の枠Q内を拡大して示す拡大部分平面図である。The wiring structure of the wiring board by Example 1 is shown, (a) is the top view which shows the whole, (b) is the expansion partial top view which expands and shows the inside of the frame Q of (a). 実施例1によるインクジェット記録ヘッドの主要部を断面で示す図である。FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a main part of the ink jet recording head according to the first embodiment. 実施例2による配線基板の製造方法を説明する図である。6 is a diagram illustrating a method of manufacturing a wiring board according to Example 2. FIG. 一従来例によるインクジェット記録ヘッドを示すもので、(a)はその主要部を分解して示す分解斜視図、(b)は(a)を組み立てた状態で示す斜視図である。An ink jet recording head according to a conventional example is shown, in which (a) is an exploded perspective view showing an exploded main part thereof, and (b) is a perspective view showing an assembled state of (a). 図6の装置の一部分を示すもので、(a)は図6のC−C線に沿ってとった断面図、(b)は図6のD−D線に沿ってとった断面図である。FIG. 7 shows a part of the apparatus of FIG. 6, (a) is a cross-sectional view taken along line CC in FIG. 6, and (b) is a cross-sectional view taken along line DD in FIG. 6. . 図6の配線基板の配線構造を示すもので、(a)はその全体を示す平面図、(b)は(a)の枠P内を拡大して示す拡大部分平面図である。FIGS. 7A and 6B show a wiring structure of the wiring board of FIG. 6, wherein FIG. 7A is a plan view showing the whole and FIG. 6B is an enlarged partial plan view showing the inside of a frame P of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

1 液体吐出基板
2 ヒーターボード
3 バンプ
4 インク供給口
5 オリフィスプレート
6 吐出口
10 配線基板
11 開口
12 コンタクト部
13 内部配線
14 配線リード
15 配線共有部
20 支持部材
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Liquid ejection board | substrate 2 Heater board 3 Bump 4 Ink supply port 5 Orifice plate 6 Ejection port 10 Wiring board 11 Opening 12 Contact part 13 Internal wiring 14 Wiring lead 15 Wiring sharing part 20 Support member

Claims (10)

表面に露出する電気信号入力部および複数の内部配線と、デバイスホール内の素子チップの電極部に電気的に接続される複数の配線リードと、デバイスホール内の複数の配線リードを互いに導通させる配線共有部とを有し、少なくとも1本の内部配線を基板端縁まで延出させた配線基板を製造する工程と、
配線基板の基板端縁まで延出している内部配線およびデバイスホール内の配線共有部を用いて、電気信号入力部および配線リードをめっきする工程と、
デバイスホール内の配線共有部を除去する工程と、を有することを特徴とする配線基板の製造方法。
Electrical signal input part exposed on the surface and a plurality of internal wirings, a plurality of wiring leads electrically connected to the electrode part of the element chip in the device hole, and a wiring for electrically connecting the plurality of wiring leads in the device hole to each other Producing a wiring board having a shared portion and extending at least one internal wiring to the edge of the board;
Plating the electrical signal input portion and the wiring lead using the internal wiring extending to the substrate edge of the wiring substrate and the wiring sharing portion in the device hole;
And a step of removing the wiring sharing portion in the device hole.
素子チップが、電気信号に応じて液体を吐出する液体吐出基板であることを特徴とする請求項1記載の配線基板の製造方法。   2. The method of manufacturing a wiring substrate according to claim 1, wherein the element chip is a liquid discharge substrate that discharges liquid in response to an electric signal. 基板端縁まで延出している内部配線が、液体吐出基板に電源を供給するための電源線であることを特徴とする請求項2記載の配線基板の製造方法。   3. The method for manufacturing a wiring board according to claim 2, wherein the internal wiring extending to the edge of the board is a power line for supplying power to the liquid discharge board. 基板端縁まで延出している内部配線に繋がる電気信号入力部が、他の電気信号入力部よりも基板端縁から離れた位置にあることを特徴とする請求項1ないし3いずれか1項記載の配線基板の製造方法。   4. The electric signal input unit connected to the internal wiring extending to the substrate edge is located farther from the substrate edge than other electric signal input units. Wiring board manufacturing method. 配線共有部を打ち抜くことを特徴とする請求項1ないし4いずれか1項記載の配線基板の製造方法。   5. The method of manufacturing a wiring board according to claim 1, wherein the wiring sharing part is punched out. 電気信号入力部のある面と反対側の面より配線共有部を打ち抜くことを特徴とする請求項5記載の配線基板の製造方法。   6. The method of manufacturing a wiring board according to claim 5, wherein the wiring sharing portion is punched from a surface opposite to the surface having the electric signal input portion. 配線共有部をレーザー加工によって切断することを特徴とする請求項1ないし4いずれか1項記載の配線基板の製造方法。   The method of manufacturing a wiring board according to claim 1, wherein the wiring sharing part is cut by laser processing. 配線共有部を除去する際に、同時に配線リードを撓み変形させることを特徴とする請求項1ないし6いずれか1項記載の記載の配線基板の製造方法。   7. The method of manufacturing a wiring board according to claim 1, wherein the wiring lead is bent and deformed simultaneously when the wiring sharing portion is removed. 請求項1ないし8いずれか1項記載の配線基板の製造方法によって製造されたことを特徴とする配線基板。   A wiring board manufactured by the method for manufacturing a wiring board according to claim 1. 請求項2ないし8いずれか1項記載の配線基板の製造方法によって製造された配線基板と、前記配線基板のデバイスホールに組み込まれた液体吐出基板を有することを特徴とする液体吐出ヘッド。   9. A liquid discharge head comprising: a wiring board manufactured by the method for manufacturing a wiring board according to claim 2; and a liquid discharge board incorporated in a device hole of the wiring board.
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