JP2007080545A - Manufacturing method of organic electroluminescent display device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、インクジェット方式等の選択塗布方式で発光層を形成する有機EL表示装置に関するものである。 The present invention relates to an organic EL display device in which a light emitting layer is formed by a selective coating method such as an ink jet method.
最近のインクジェット方式による塗工方法が発達し、有機EL表示装置における画素の発光層の塗工に用いられている。 A recent inkjet coating method has been developed and used for coating a light emitting layer of a pixel in an organic EL display device.
例えば、特許文献1には、有機EL表示装置の画素にインクジェットヘッドのノズルから第1の方向に断続的に発光材料を吐出して発光層を形成し、さらに、他の色の発光層を形成する発光材料を第1の方向とほぼ直交する第2の方向にノズルから断続的に吐出して発光層を形成する製造方法が提案されている。
しかし、上記のようなインクジェット方式等の選択塗布方式で発光層を形成する製造方法の場合に、隣接する画素同士の塗工ムラを低減することが難しく、この塗工ムラが点灯の際に輝度ムラとして現れることがある。 However, in the case of a manufacturing method in which a light emitting layer is formed by a selective coating method such as the ink jet method as described above, it is difficult to reduce coating unevenness between adjacent pixels. May appear as unevenness.
そこで、本発明は上記問題点に鑑み、選択塗布方式で発光層を形成する場合に塗工ムラが発生しない有機EL表示装置の製造方法を提供する。 In view of the above problems, the present invention provides a method for manufacturing an organic EL display device that does not cause uneven coating when a light emitting layer is formed by a selective coating method.
請求項1に係る発明は、アレイ基板上に画素が格子状に縦横に配置された有機EL表示装置であって、前記各画素に対応する位置に選択塗布ヘッドのノズルから発光材料をそれぞれ吐出して各画素に発光層を形成する有機EL表示装置の製造方法において、前記アレイ基板の第1の対角線方向である第1の方向に沿って前記選択塗布ヘッドを移動しながら前記発光材料を吐出させて前記各画素に発光層を形成する工程と、前記アレイ基板の第2の対角線方向である第2の方向に沿って前記選択塗布ヘッドを移動しながら前記発光材料を吐出させて前記各画素の前記発光層の上にさらに前記発光材料を上塗りする工程と、を有することを特徴とする有機EL表示装置の製造方法である。 The invention according to claim 1 is an organic EL display device in which pixels are arranged vertically and horizontally in a grid pattern on an array substrate, and a light emitting material is discharged from a nozzle of a selective application head to a position corresponding to each pixel. In the method of manufacturing an organic EL display device in which a light emitting layer is formed on each pixel, the light emitting material is ejected while moving the selective coating head along a first direction which is a first diagonal direction of the array substrate. Forming a light emitting layer on each pixel, and discharging the light emitting material while moving the selective application head along a second direction which is a second diagonal direction of the array substrate. And a step of overcoating the light-emitting material on the light-emitting layer.
請求項2に係る発明は、アレイ基板上に画素が格子状に縦横に配置された有機EL表示装置であって、前記各画素に対応する位置に選択塗布ヘッドのノズルから発光材料をそれぞれ吐出して各画素に発光層を形成する有機EL表示装置の製造方法において、前記アレイ基板の第1の方向に沿って前記選択塗布ヘッドを移動しながら前記発光材料を吐出させて前記各画素に発光層を形成する工程と、前記アレイ基板の前記第1の方向と直交する第2の方向に沿って前記選択塗布ヘッドを移動しながら前記発光材料を吐出させて前記各画素の前記発光層の上にさらに前記発光材料を上塗りする工程と、を有することを特徴とする有機EL表示装置の製造方法である。 The invention according to claim 2 is an organic EL display device in which pixels are arranged vertically and horizontally in a grid pattern on an array substrate, and a light emitting material is discharged from a nozzle of a selective application head to a position corresponding to each pixel. In the method of manufacturing an organic EL display device in which a light emitting layer is formed on each pixel, the light emitting material is ejected while moving the selective coating head along the first direction of the array substrate to cause each pixel to emit a light emitting layer. And forming the light emitting material on the light emitting layer of each pixel by discharging the light emitting material while moving the selective coating head along a second direction orthogonal to the first direction of the array substrate. And a step of overcoating the luminescent material.
本発明の有機EL表示装置の製造方法であると、第1の方向に沿って選択塗布ヘッドを移動しながら発光材料を吐出させて発光層を形成し、この第1の方向とは異なる第2の方向に沿って選択塗布ヘッドを移動しながら発光材料を吐出させて上塗りすることにより、発光材料の塗工ムラが発生しない。そのため、点灯の際に輝度ムラも発生しない。 In the manufacturing method of the organic EL display device of the present invention, the light emitting material is ejected while moving the selective coating head along the first direction to form the light emitting layer, and the second direction is different from the first direction. When the selective coating head is moved along the direction, the light emitting material is discharged and overcoating is performed, so that uneven coating of the light emitting material does not occur. Therefore, luminance unevenness does not occur when lighting.
図2は、有機EL表示装置の一部構造を概略的に示す縦断面図であり、ここでは特に一画素分で、かつ、発光層を形成する前のアレイ基板10の縦断面図を示している。
FIG. 2 is a longitudinal sectional view schematically showing a partial structure of the organic EL display device, and here, in particular, shows a longitudinal sectional view of the
アレイ基板10上には、走査線と、この走査線に直交するように配置された信号線と、信号線と走査線との交点付近に配置されたスイッチング素子である画素TFT(薄膜トランジスタ)と、画素TFTを介して信号線に接続される駆動トランジスタと称す)14と、駆動トランジスタ14に接続された画素20を有している。
On the
ガラス基板から構成された支持基板12上にこれら画素TFT、駆動トランジスタ14が形成され、ここではトップゲート構造の薄膜トランジスタを採用している。これらTFTは、支持基板12上に形成されたポリシリコン半導体層Pと、このポリシリコン半導体層Pと第1絶縁膜16を介して配置されたゲート電極Gと、第1絶縁膜16と第2絶縁膜18を介してポリシリコン半導体層Pのソース領域にコンタクトしたソース電極Sと、第1絶縁膜16及び第2絶縁膜18を介してポリシリコン半導体層Pのドレイン領域にコンタクトしたドレイン電極Dを備えている。画素TFTのソース電極は信号線に接続され、ゲート電極は走査線に接続される。また、画素TFTのドレイン電極は、駆動トランジスタ14のゲート電極Gに接続される。駆動トランジスタ14のソース電極Sは定電位端子に接続され、ドレイン電極Dは画素20の下部電極26に接続する。
The pixel TFT and the
画素20は、第2絶縁膜18の上に配置された第3絶縁膜22の上に配置されている。すなわち、画素20の下部電極26が第3絶縁膜22の上層に形成され、第3絶縁膜22に設けられているコンタクトホール28によって駆動トランジスタ14のドレイン電極Dと接続されている。下部電極26は、光透過性導電材料であるITO(Indium Tin Oxide)で形成され、ここでは陽極として機能している。
The
この下部電極26の上層にはアクリル樹脂よりなる隔壁24が形成されている。隔壁24は横方向に隣接する画素20を区画する。このアクリル樹脂で形成された隔壁24を形成するには、UV光でマスク露光する。
A
隔壁24の開口により露出された下部電極26の上に、少なくとも発光層を含む光活性層が積層される。この光活性層は、下部電極26に対向配置された陰極の上部電極(不図示)との間に挟持されるものである。この光活性層は、RGB各色共通に形成されるホール輸送層、エレクトロン輸送層、及び各色毎に形成される有機発光層の多層構造で構成されてもよいし、または、各層が機能的に複合された層構造で形成されてもよい。本実施形態では、ホール輸送層30と有機発光層32の二層で構成されている。
A photoactive layer including at least a light emitting layer is stacked on the
ホール輸送層30は、芳香族アミン誘導体やポリチオフェン誘導体、ポリアニリン誘導体より形成され、有機発光層は赤(R)、緑(G)、青(B)に発光する有機化合物によって形成されている。この有機発光層32は、例えば高分子系材料を採用する場合には、PPV(ポリパラフェニデンビニデン)やポリフルオレン誘導体またはその前駆体などを積層して構成されている。
The
このホール輸送層30と有機発光層32を形成には、まず、インクジェット方式によりホール輸送層30を形成する材料を滴下する。次に、その上に有機発光層32を形成する発光材料を滴下する。
In forming the
有機発光層32を形成するためのインクジェット方式の塗工装置について図1に基づいて説明する。
An ink jet type coating apparatus for forming the organic
アレイ基板10を載置するためのテーブル50が設けられている。このテーブル50の対角線の方向の外方には、それぞれ第1のインクジェットヘッド(第1のヘッドという)52と、第2のインクジェットヘッド(第2のヘッドという)54が配置されている。第1のヘッド52は、塗工したいアレイ基板10の対角線方向Bの長さと同じ幅を有し、その下面に赤色、緑色、青色の各発光材料を吐出するためのノズル36が幅方向に沿って並べられている。第2のヘッド54も同様の構成を有している。
A table 50 for mounting the
第1のヘッド52は、テーブル50に載置されたアレイ基板10の第1の対角線方向Aに沿って移動する。
The
第2のヘッド54は、前記第1の対角線方向Aと交わる第2の対角線方向Bに沿って移動するものであり、第1の対角線方向Aと第2の対角線方向Bの交わる角度をθとする。また、第1のヘッド52及び第2のヘッド54ともに、ノズル36とアレイ基板10の距離は、約300μmに設定されている。
The
次に、このインクジェット方式の塗工装置を用いた有機発光層32を形成する工程について説明する。
Next, the process of forming the organic
図1に示すように下部電極26の上に隔壁24を形成したアレイ基板10を、テーブル50の上に載置する。
As shown in FIG. 1, the
次に、第1のヘッド52を、第1の対角線方向Aに沿って移動させながら、発光材料を間欠的に画素20に相当する位置に吐出する。この場合に、第1のヘッド52の移動速度に合わせて、赤色の画素20Rの位置には、赤色の発光材料を吐出するノズル36Rが吐出し、緑色のノズル36Gが緑色の画素20Gにきたときに緑色の発光材料を吐出し、青色のノズル36Bが緑色の画素20Bにきたときに青色の発光材料を吐出する。また、図1に示すように、アレイ基板10の角部において塗布する画素20の数が少ないため、第1のヘッド52の中央部でかつ必要なノズル36のみ発光材料を吐出し、移動とともにその吐出するノズル36の数を次第に増やし、アレイ基板10のほぼ中央部、即ち第2の対角線方向Bの位置にきたときに第1のヘッド52の幅方向にある全てのノズル36から発光材料を吐出させる。その後、第1のヘッド52の移動とともに逆に吐出するノズル36の数を次第に減らし、アレイ基板10の反対側の角部において最小の数とする。そして、1回目の塗工を終了させる。
Next, while moving the
次に、この第1のヘッド52による塗工が済んだ後に、第2のヘッド54を第2の対角線方向Bに沿って移動させる。この塗工方法は第1のヘッド52と同様である。
Next, after the coating by the
このようにすることで画素20毎に、第1のヘッド52によって塗工された第1の発光層の上に、第2のヘッド54から吐出された発光材料が上塗りされることにより、塗工ムラが線状に視認されることを抑制でき、塗工ムラの視認を抑制することができる。
In this way, the light emitting material discharged from the
また、信号線の配線方向と所定の角度を持って塗布するため、筋状のムラの視認を低減することも可能となる。 In addition, since application is performed at a predetermined angle with respect to the wiring direction of the signal lines, it is possible to reduce the visibility of streaky unevenness.
そのため、このアレイ基板10を用いた有機EL表示装置を点灯させた場合に、輝度ムラが発生を効果的に抑制することが可能となる。
Therefore, when the organic EL display device using the
なお、上述の実施形態においては、対角線方向に沿って塗布したがこれに限定されず、アレイ基板の一辺に対して所定の角度をもっと方向に沿ってスキャンしても同様の効果を得ることができる。 In the above-described embodiment, coating is performed along the diagonal direction, but the present invention is not limited to this, and the same effect can be obtained by scanning a predetermined angle along one direction with respect to one side of the array substrate. it can.
また、上述の実施形態においては、ヘッドの幅とヘッドの長軸方向と平行なアレイ基板の幅とを一致させたが、これに限定されず、ヘッドの幅を幅狭とし、同一方向に複数回スキャンすることにより全面に塗布してもよい。 In the above embodiment, the width of the head and the width of the array substrate parallel to the major axis direction of the head are matched. However, the present invention is not limited to this. You may apply | coat to the whole surface by scanning once.
また、個々のパネルに対応するアレイ基板に塗布することを例にとり説明したが、複数のパネルを一のアレイ基板上に形成するものであってもよい。 Moreover, although it demonstrated taking as an example apply | coating to the array substrate corresponding to each panel, you may form a some panel on one array substrate.
なお、ホール輸送層30も有機発光層32の塗工前に同様に塗工している。このように他の光活性層にも本発明を適用することができる。
The
また、インクジェット方式について説明したが、他の選択塗布方式を用いてもよい。 Further, although the ink jet method has been described, other selective coating methods may be used.
次に、図3に基づいて第2の実施形態の有機EL表示装置の製造方法について説明する。 Next, a method for manufacturing the organic EL display device according to the second embodiment will be described with reference to FIG.
本実施形態と第1の実施形態の異なる点は、第1のヘッド52と第2のヘッド54の配置の仕方にある。
The difference between this embodiment and the first embodiment lies in the arrangement of the
図3に示すように本実施形態では、第1のヘッド52がアレイ基板10のY軸方向に沿って移動し、第2のヘッド54がX軸方向に沿って移動する。即ち、第1のヘッド52と第2のヘッド54が直交するように移動する。
As shown in FIG. 3, in this embodiment, the
本実施形態においても、1つの画素について発光材料が2回塗工されることとなり、アレイ基板10全体において塗工ムラが発生しない。そのため、点灯時に輝度ムラも発生しない。
Also in the present embodiment, the light emitting material is applied twice for one pixel, and coating unevenness does not occur in the
上記各実施形態では、移動方向毎に第1のヘッド52及び第2のヘッド54を設けたが、これに代えて、ヘッドは1個だけ設け、各塗工が終わった場合にテーブル50をθ度または90度回転させ、1つのヘッドで2方向の塗工を可能にしてもよい。
In each of the above embodiments, the
10 アレイ基板
14 駆動トランジスタ
20 画素
24 隔壁
30 ホール輸送層
32 有機発光層
50 テーブル
52 第1のヘッド
54 第2のヘッド
DESCRIPTION OF
Claims (6)
前記アレイ基板の第1の対角線方向である第1の方向に沿って前記選択塗布ヘッドを移動しながら前記発光材料を吐出させて前記各画素に発光層を形成する工程と、
前記アレイ基板の第2の対角線方向である第2の方向に沿って前記選択塗布ヘッドを移動しながら前記発光材料を吐出させて前記各画素の前記発光層の上にさらに前記発光材料を上塗りする工程と、
を有する
ことを特徴とする有機EL表示装置の製造方法。 An organic EL display device in which pixels are arranged vertically and horizontally in a grid pattern on an array substrate, and a light emitting material is ejected from a nozzle of a selective coating head to a position corresponding to each pixel to form a light emitting layer on each pixel In the manufacturing method of the organic EL display device,
Forming a light emitting layer on each pixel by discharging the light emitting material while moving the selective application head along a first direction which is a first diagonal direction of the array substrate;
The light emitting material is discharged while moving the selective application head along a second direction which is a second diagonal direction of the array substrate, and the light emitting material is further coated on the light emitting layer of each pixel. Process,
A method for producing an organic EL display device, comprising:
前記アレイ基板の第1の方向に沿って前記選択塗布ヘッドを移動しながら前記発光材料を吐出させて前記各画素に発光層を形成する工程と、
前記アレイ基板の前記第1の方向と直交する第2の方向に沿って前記選択塗布ヘッドを移動しながら前記発光材料を吐出させて前記各画素の前記発光層の上にさらに前記発光材料を上塗りする工程と、
を有する
ことを特徴とする有機EL表示装置の製造方法。 An organic EL display device in which pixels are arranged vertically and horizontally in a grid pattern on an array substrate, and a light emitting material is ejected from a nozzle of a selective coating head to a position corresponding to each pixel to form a light emitting layer on each pixel In the manufacturing method of the organic EL display device,
Forming the light emitting layer on each pixel by discharging the light emitting material while moving the selective coating head along the first direction of the array substrate;
The light emitting material is ejected while moving the selective coating head along a second direction orthogonal to the first direction of the array substrate, and the light emitting material is further coated on the light emitting layer of each pixel. And a process of
A method for producing an organic EL display device, comprising:
前記一の選択塗布ヘッドで前記第1の方向で塗工した後、前記他の選択塗布ジェットで前記第2の方向を塗工する
ことを特徴とする請求項1または2記載の有機EL表示装置の製造方法。 Equipped with different selective application heads for each moving direction,
The organic EL display device according to claim 1, wherein the second direction is applied by the other selective application jet after coating by the first selective application head in the first direction. Manufacturing method.
前記選択塗布ヘッドで前記第1の方向を塗工した後、前記テーブルを所定角度回転させ、同一の前記選択塗布ヘッドで前記第2の方向を塗工する
ことを特徴とする請求項1または2記載の有機EL表示装置の製造方法。 The array substrate is placed on a rotatable table,
The first direction is applied by the selective application head, and then the table is rotated by a predetermined angle, and the second direction is applied by the same selective application head. The manufacturing method of the organic electroluminescence display of description.
前記2方向の塗工を前記色毎に行う
ことを特徴とする請求項1または2記載の有機EL表示装置の製造方法。 The pixel has three colors of R, G, and B,
The method of manufacturing an organic EL display device according to claim 1, wherein the coating in the two directions is performed for each color.
前記2方向の塗工を三色同時に行う
ことを特徴とする請求項1または2記載の有機EL表示装置の製造方法。
The pixel has three colors of R, G, and B,
The method for manufacturing an organic EL display device according to claim 1, wherein the three colors are applied simultaneously in three colors.
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2009144912A1 (en) | 2008-05-29 | 2009-12-03 | パナソニック株式会社 | Organic electroluminescent display and manufacturing method therefor |
-
2005
- 2005-09-09 JP JP2005263082A patent/JP2007080545A/en active Pending
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WO2009144912A1 (en) | 2008-05-29 | 2009-12-03 | パナソニック株式会社 | Organic electroluminescent display and manufacturing method therefor |
US7932109B2 (en) | 2008-05-29 | 2011-04-26 | Panasonic Corporation | Organic electroluminescent display and manufacturing method therefor |
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